JPH0247472Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案は気密性検査装置に関するものである。

従来技術 被検査部材を収容する気密なチヤンバを有し、
そのチヤンバ内をクリーニングガスにて清浄化し
た後、そのチヤンバ内に収容された被検査部材の
内部に検査用ガスを供給してその検査用ガスをチ
ヤンバ内へ漏出させることにより被検査部材の気
密性を検査する気密性検査装置が知られている。

かかる気密性検査装置においては、通常、検査
に先立つて、チヤンバ内を真空引きしてそのチヤ
ンバ内に残存する検査用ガスあるいはその他の感
知ガス等を排出した後、そのチヤンバ内へクリー
ニングガスを充填することにより、チヤンバ内の
清浄化が行われるようになつている。

考案が解決すべき問題点 しかしながら、前記チヤンバの気密性が充分で
ない場合には、そのチヤンバ内の真空引きに伴つ
てチヤンバ内に外気を吸い込んでしまう場合があ
る。このような場合に、装置周辺の外気の感知ガ
ス濃度が比較的高いときには、チヤンバ内の清浄
化を確実に為し得ない場合があつた。

問題点を解決するための手段 本考案は以上の事情を背景にして為されたもの
であり、その要旨とするところは、前記のような
気密性検査装置であつて、（ａ）前記チヤンバ内
へ前記クリーニングガスを供給する供給装置と、
（ｂ）前記チヤンバ内を排気する排気装置と、
（ｃ）前記供給装置および前記排気装置を同時に
作動させる制御装置とを含むように構成したこと
にある。

作 用 このようにすれば、チヤンバ内を清浄化する場
合には、供給装置および排気装置を制御装置によ
つて同時に作動させることにより、チヤンバ内が
排気されつつそのチヤンバ内へクリーニングガス
が供給される。

考案の効果 これにより、チヤンバ内をそれ程負圧とするこ
となくクリーニングガスにて清浄化し得るので、
チヤンバ内清浄化時に外気を吸い込んでしまうの
を効果的に防止し得る。この結果、たとえ装置周
辺の感知ガス濃度が比較的高い場合においても従
来に比べてチヤンバ内を一層確実に清浄化し得る
とともに、チヤンバ内を真空引きする従来の場合
に比べてチヤンバの構造および気密性保守を簡単
とし得る。

実施例 以下、本考案の一実施例を示す図面に基づいて
詳細に説明する。

第１図は本考案が適用された気密性検査装置の
要部を示す図であつて、基台１０上には複数（本
実施例においては二本）の案内ロツド１２，１４
が突設されているとともに、それら案内ロツド１
２，１４の各先端部間に設けられた支持部材１６
にはエアシリンダ１８が固定されている。エアシ
リンダ１８のピストンロツド２０の先端部には有
底円筒状を成す覆蓋部材２２が取り付けられてい
る。覆蓋部材２２は、底壁２４において前記ピス
トンロツド２０の先端部に固着されているととも
に、周壁２６の外周側に設けられた一対のブラケ
ツト２８を介して案内ロツド１２，１４に摺動可
能に取り付けられている。これにより、覆蓋部材
２２は、その周壁２６の開口縁部が基台１０と対
向させられた状態で、エアシリンダ１８の作動に
伴つて基台１０と接近離隔する方向（図において
上下方向）の移動可能に設けられている。そし
て、覆蓋部材２２が下降させられてその開口縁部
が基台１０と当接させられたとき、一点鎖線にて
示す覆蓋部材２２と基台１０とによつて気密なチ
ヤンバ３０が形成されるようになつている。

覆蓋部材２２の内部にあつて且つ底壁２４と近
接する位置には、環状のエア噴射装置３２が底壁
２４に固着された複数（図においては二個のみ図
示）の把持部材３４により把持された状態で配設
されており、覆蓋部材２２が下降させられてその
開口縁部が基台１０と略当接するまでの間、エア
噴射装置３２の複数の噴射口（図示せず）からエ
ア（工場エア）が噴射されることにより、チヤン
バ３０形成前に覆蓋部材２２内部、基台１０上な
どがある程度清浄化されるようになつている。

上記基台１０にはポート３６，３８，４０，４
２が設けられている。ポート３６は二酸化炭素あ
るいは窒素等から成るクリーニングガスの供給源
であるボンベ４４と電磁弁４６を介して接続され
ている。ポート３８は電磁弁４８を介して吸引ポ
ンプ５０と接続されているととに排気用の電磁弁
５２と接続されている。ポート４０はたとえばフ
ロンガスあるいはヘリウムガス等の検査用ガスの
供給源であるボンベ５４と電磁弁５６を介して接
続されているとともに電磁弁５８および図示しな
い回収ポンプを介して回収ボンベ６０と接続され
ている。ポート４２は配管６１および電磁弁６２
を介してリークデイテクタ６４と接続されてお
り、その配管６１は電磁弁６２と近接した位置に
おいて前記電磁弁４８および吸引ポンプ５０と接
続されている。上記電磁弁６２は三方向弁にて構
成されており、残りの一方向が前記ボンベ４４と
接続されている。なお、６６はチヤンバ３０内の
検査用ガス等をリークデイテクタ６４へ導入する
ための吸引ポンプである。

制御装置６８は、たとえばCPU，ROM，
RAMを有して構成されており、ROMに予め記
憶されたプログラムに従つてRAMの一時記憶機
能を利用しつつ信号処理を実行し、各電磁弁４
６，４８，５２，５６，５８，６２等を制御す
る。

次に、以上のように構成された気密性検査装置
の作動を説明する。

先ず、圧力容器７０等の被検査部材を基台１０
上にボルト（図示せず）等により気密に固定し、
エア噴射装置３２からエアを噴射させつつエアシ
リンダ１８により覆蓋部材２２をその開口縁部が
基台１０と当接するまで下降させて、一点鎖線に
て示すように、内部に圧力容器７０を収容する気
密なチヤンバ３０を形成する。このとき、図示し
ない位置センサからチヤンバ形成信号が制御装置
６８へ出力される。そして、この信号に基づいて
制御装置６８から出力される駆動信号MV１によ
り電磁弁４８を開状態とし、吸引ポンプ５０によ
るチヤンバ３０内の吸引（排気）を開始する。こ
のチヤンバ３０内の吸引に伴つて、ポート４２お
よび配管６１に残存している検査用ガスも排出さ
れるようになつている。次いで、所定時間後、た
とえば数秒後に制御装置６８から出力される駆動
信号MV２により電磁弁４６を開状態として、ボ
ンベ４４からのクリーニングガスの供給を開始す
る。そして、チヤンバ３０内の排気とそのチヤン
バ３０内へのクリーニングガスの供給を予め定め
られた一定時間継続した後、駆動信号MV１によ
り電磁弁４８を閉状態としてチヤンバ３０内の排
気を停止するとともに、チヤンバ３０内の排気停
止から所定時間後、たとえば数秒後に駆動信号
MV２により電磁弁４６を閉状態としてチヤンバ
３０内へのクリーニングガスの供給を停止する。
これにより、チヤンバ３０内の清浄化が終了す
る。したがつて、本実施例においては、ボンベ４
４、電磁弁４６、および制御装置６８等が供給装
置を構成しているとともに、吸引ポンプ５０、電
磁弁４８、および制御装置６８等が排気装置を構
成している。なお、チヤンバ３０内にクリーニン
グガスが充填された後、排気用の電磁弁５２を開
状態とすることにより、必要に応じてチヤンバ３
０内のクリーニングガスを所定量排出するように
しても良い。上記予め定められた一定時間とは、
チヤンバ３０内の排気とそのチヤンバ３０内への
クリーニングガスの供給とが同時に行われる時間
であつて、その間にチヤンバ３０内を気密性検査
に必要かつ充分に清浄化し得るように、チヤンバ
３０の容量、チヤンバ３０内の排気速度、および
クリーニングガスの供給速度などに基づいて決定
されるとともに、それら排気速度および供給速度
はチヤンバ３０内が外気を吸引する程度の負圧と
ならないように予め互いに決定される。

次いで、制御装置６８により図示しない真空ポ
ンプにより圧力容器７０内を真空とした後、制御
装置６８により電磁弁５６を開状態としてボンベ
５４から検査用ガスを圧力容器７０内へ供給し
て、たとえば６〜７Kg／cm²程度まで昇圧する。次
に、制御装置６８により電磁弁６２を作動させる
ことにより、リークデイテクタ６４とチヤンバ３
０内とを連通させて圧力容器７０からチヤンバ３
０内へ漏出した検査用ガス等を吸引ポンプ６６に
より、リークデイテクタ６４内へ吸引して検査用
ガスの漏れ量を測定する。これにより、圧力容器
７０の気密性が検査される。そして、覆蓋部材２
２を上昇させるとともに制御装置６８により電磁
弁５６を閉状態とし且つ電磁弁５８を開状態とし
て前記回収ポンプにより圧力容器７０内の検査用
ガスを回収ボンベ６０内へ回収した後、その圧力
容器７０を取り外すこととなる。

なお、リークデイテクタ６４には、その内部等
に検査用ガスが残らないようにするためにボンベ
４４からクリーニングガスが常時流されており、
上記検査用ガスの漏れ量はこのクリーニングガス
にて零点補正した値で測定されるようになつてい
る。また、上記リークデイテクタ６４は、検査を
より正確に行うためにリークテスト開始から所定
時間（たとえば0.8秒程度）の間のデータは測定
に供されないように構成されている。また、リー
クデイテクタ６４への吸引量は、通常、チヤンバ
３０の容績（たとえば10程度）に比べて極少量
（たとえば100cc以内程度）であるため、吸引ポン
プ６６の作動によりチヤンバ３０内に外気が吸い
込まれる虞は殆んどないのである。

以上のように構成された気密性検査装置によれ
ば、チヤンバ３０内を殆ど負圧とすることなくク
リーニングガスにて清浄化し得るので、チヤンバ
３０内清浄化時に外気を吸い込んでしまうとが効
果的に防止される。この結果、たとえば圧力容器
７０の交換時にその内部に残存する検査用ガスが
飛散して装置周辺の感知ガス濃度が比較的高くな
つていたとしてもチヤンバ３０内を従来に比べて
一層確実に清浄化し得、且つ装置周辺の感知ガス
の濃度管理を不要とし得るとともに、チヤンバ３
０内を真空引きする従来の場合に比べてチヤンバ
３０の構造および気密性保守を一層簡単とし得
る。

また、本実施例によれば、チヤンバ３０が形成
されるまでの間においても、エア噴射装置３２か
ら噴射されるエアにより所定の清浄化が行われる
ので、チヤンバ３０が形成された後の清浄化時間
および二酸化炭素あるいは窒素等より成るクリー
ニングガスの使用量を従来に比べて一層低減し得
る。

なお、前述の実施例においては、クリーニング
ガスの供給および供給停止が、チヤンバ３０内の
排気および排気停止からそれぞれ所定時間経過し
た後に行われるように制御装置６８により制御さ
れているが、必ずしもその必要はなく、たとえ
ば、その逆にチヤンバ３０内の排気および排気停
止が、クリーニングガスの供給および供給停止か
らそれぞれ所定時間経過した後に行われるように
しても良いし、また、それらが同時に行われるよ
うにしても良い。要するに、供給装置と排気装置
とが制御装置６８により所定時間の間同時に作動
させられるように構成されておれば、本考案の効
果を得ることが可能である。

また、前述の実施例においては、覆蓋部材２２
を基台１０と接近離隔する方向へ相対移動させる
ことにより、基台１０との間に気密なチヤンバ３
０を形成し且つ被検査部材の脱着を為し得るよう
に構成されているが、必ずしもそのように構成す
る必要はなく、たとえば、所定の覆蓋部材を基台
に固定することにより気密なチヤンバを形成し、
その覆蓋部材の側面に設けられた扉から被検査部
材の脱着を行うようにしても良い。

その他、本考案はその要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々変更が加えられ得るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案が適用された気密性検査装置の
使用状態および回路図を示す図であつて、一部を
断面にして示す要部正面図である。 ３０……チヤンバ、４４……ボンベ、４６，４
８……電磁弁、５０……吸引ポンプ、６８……制
御装置、７０……圧力容器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 被検査部材を収容する気密なチヤンバを有し、
   該チヤンバ内をクリーニングガスにて清浄化した
   後、該チヤンバ内に収容された被検査部材の内部
   に検査用ガスを供給して該検査用ガスを該チヤン
   バ内へ漏出させることにより該被検査部材の気密
   性を検査する気密性検査装置であつて、 前記チヤンバ内へ前記クリーニングガスを供給
   する供給装置と、 前記チヤンバ内を排気する排気装置と、 前記供給装置および前記排気装置を同時に作動
   させる制御装置と を含むことを特徴とする気密性検査装置。