JPH09236807A - 液晶配向膜のイミド化率評価装置 - Google Patents
液晶配向膜のイミド化率評価装置Info
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- JPH09236807A JPH09236807A JP4372796A JP4372796A JPH09236807A JP H09236807 A JPH09236807 A JP H09236807A JP 4372796 A JP4372796 A JP 4372796A JP 4372796 A JP4372796 A JP 4372796A JP H09236807 A JPH09236807 A JP H09236807A
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】大面積の配向膜を施工した基板表面のイミド化
率不均一の分布を短時間で評価することは困難であるな
ど。 【解決手段】配向膜に赤外光を投光する赤外光光源(2)
と、赤外光の反射光の吸収スペクトルにおいて、ポリイ
ミドでは吸収率が低くポリアミドでは吸収率が高い第１
波長に対する第１の帯域通過フィルター(10)と、第１波
長の前後でポリアミド及びポリイミドの双方に対して吸
収率の低い第２，第３波長に夫々対する第２，第３の帯
域通過フィルター(16 ，19) と、第１の帯域通過フィル
ターを通過した光を受光するカメラ(11)と、第２の帯域
通過フィルターを通過した光を受光する受光センサー(1
7)と、第３の帯域通過フィルターを通過した光を受光す
る受光センサー(20)と、受光センサーの出力画像の輝度
レベル及び分布を評価する画像処理装置とを具備する液
晶配向膜のイミド化率評価装置。
率不均一の分布を短時間で評価することは困難であるな
ど。 【解決手段】配向膜に赤外光を投光する赤外光光源(2)
と、赤外光の反射光の吸収スペクトルにおいて、ポリイ
ミドでは吸収率が低くポリアミドでは吸収率が高い第１
波長に対する第１の帯域通過フィルター(10)と、第１波
長の前後でポリアミド及びポリイミドの双方に対して吸
収率の低い第２，第３波長に夫々対する第２，第３の帯
域通過フィルター(16 ，19) と、第１の帯域通過フィル
ターを通過した光を受光するカメラ(11)と、第２の帯域
通過フィルターを通過した光を受光する受光センサー(1
7)と、第３の帯域通過フィルターを通過した光を受光す
る受光センサー(20)と、受光センサーの出力画像の輝度
レベル及び分布を評価する画像処理装置とを具備する液
晶配向膜のイミド化率評価装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は液晶配向膜のイミ
ド化率評価装置に関し、詳しくはポリアミド膜を乾燥・
焼成してポリイミド膜とする液晶表示の配向膜のイミド
化率（ポリアミド→ポリイミド）を評価する装置に関す
る。
ド化率評価装置に関し、詳しくはポリアミド膜を乾燥・
焼成してポリイミド膜とする液晶表示の配向膜のイミド
化率（ポリアミド→ポリイミド）を評価する装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示の配向膜は、ポリアミド
膜を印刷，乾燥，焼成してポリイミド膜とした上で、ラ
ビング処理して形成している。また、従来、ポリイミド
膜のイミド化率を評価する装置は存在しなかった。
膜を印刷，乾燥，焼成してポリイミド膜とした上で、ラ
ビング処理して形成している。また、従来、ポリイミド
膜のイミド化率を評価する装置は存在しなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶表示市
場は急激な成長をする有望市場であるが、液晶表示のコ
ストダウンが重要となっている。そのコストダウンの阻
害要因の一つが歩留り低下である。液晶表示の歩留り低
下は最終工程の点灯検査で顕在化する色ムラ，輝度ムラ
等の画像品質不良が一つの大きな要因となっている。
場は急激な成長をする有望市場であるが、液晶表示のコ
ストダウンが重要となっている。そのコストダウンの阻
害要因の一つが歩留り低下である。液晶表示の歩留り低
下は最終工程の点灯検査で顕在化する色ムラ，輝度ムラ
等の画像品質不良が一つの大きな要因となっている。
【０００４】この色ムラ，輝度ムラの原因の一つが配向
膜のイミドか率の不均一であることが判明してきてお
り、以下それを説明する。ポリアミドはポリイミドに比
して硬度が低い。そのため、ポリアミド膜を乾燥・焼成
してポリイミド膜とした際にポリアミドが不均一に残存
していると、ラビング処理時に問題が生じる。ここに、
ラビング処理は、物理的接触によってポリイミド膜に微
細溝を形成する処理であり、残存ポリアミド部は硬度が
低く、配向膜の不均一が生じる。
膜のイミドか率の不均一であることが判明してきてお
り、以下それを説明する。ポリアミドはポリイミドに比
して硬度が低い。そのため、ポリアミド膜を乾燥・焼成
してポリイミド膜とした際にポリアミドが不均一に残存
していると、ラビング処理時に問題が生じる。ここに、
ラビング処理は、物理的接触によってポリイミド膜に微
細溝を形成する処理であり、残存ポリアミド部は硬度が
低く、配向膜の不均一が生じる。
【０００５】こうしたことから、イミド化率の均一性評
価装置が望まれているが、生産現場での評価に適用でき
る速度を有する装置は存在しない。しかし、研究室レベ
ルでのイミド化率の評価は可能である。例えば、赤外光
吸収スペクトルのフーリエ解析装置（以下、ＩＲ（Ｉnf
ra Ｒed）分析装置と略す）を用いれば可能である。し
かしながら、ＩＲ分析装置は評価対象とする点の赤外光
の吸収又は反射スペクトルをフーリエ解析するため、１
点当りの分析時間も大きい。また、通常ＩＲ分析装置は
試料サイズに制約がある。
価装置が望まれているが、生産現場での評価に適用でき
る速度を有する装置は存在しない。しかし、研究室レベ
ルでのイミド化率の評価は可能である。例えば、赤外光
吸収スペクトルのフーリエ解析装置（以下、ＩＲ（Ｉnf
ra Ｒed）分析装置と略す）を用いれば可能である。し
かしながら、ＩＲ分析装置は評価対象とする点の赤外光
の吸収又は反射スペクトルをフーリエ解析するため、１
点当りの分析時間も大きい。また、通常ＩＲ分析装置は
試料サイズに制約がある。
【０００６】そのため、大面積の配向膜を施工したガラ
ス基板、例えば３６０×４６０ｍｍの基板表面のイミド
化率不均一の分布を短時間で評価することは困難であ
り、生産ラインでのイミド化率評価装置として使用する
ことに無理がある。
ス基板、例えば３６０×４６０ｍｍの基板表面のイミド
化率不均一の分布を短時間で評価することは困難であ
り、生産ラインでのイミド化率評価装置として使用する
ことに無理がある。
【０００７】この発明はこうした事情を考慮してなされ
たもので、生産ラインで配向膜のイミド化率均一性の評
価を可能とする，生産性と信頼性の高い液晶配向膜のイ
ミド化率評価装置を提供することを目的とする。
たもので、生産ラインで配向膜のイミド化率均一性の評
価を可能とする，生産性と信頼性の高い液晶配向膜のイ
ミド化率評価装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願第１の発明は、配向
膜に赤外光を投光する装置と、前記赤外光の反射光の吸
収スペクトルにおいて、ポリイミドでは吸収率が低くポ
リアミドでは吸収率が高い波長に対する帯域通過フィル
ターと、このフィルターを通過した光を受光する受光器
と、この受光器の出力画像の輝度レベル及び分布を評価
する画像評価装置とを具備することを特徴とする液晶配
向膜のイミド化率評価装置である。
膜に赤外光を投光する装置と、前記赤外光の反射光の吸
収スペクトルにおいて、ポリイミドでは吸収率が低くポ
リアミドでは吸収率が高い波長に対する帯域通過フィル
ターと、このフィルターを通過した光を受光する受光器
と、この受光器の出力画像の輝度レベル及び分布を評価
する画像評価装置とを具備することを特徴とする液晶配
向膜のイミド化率評価装置である。
【０００９】第１の発明において、前記受光器としては
例えばカメラが挙げられる。本願第２の発明は、配向膜
に赤外光を投光する装置と、前記赤外光の反射光の吸収
スペクトルにおいて、ポリイミドでは吸収率が低くポリ
アミドでは吸収率が高い第１波長に対する第１の帯域通
過フィルターと、前記第１波長の前後でポリアミド及び
ポリイミドの双方に対して吸収率の低い第２，第３波長
に夫々対する第２，第３の帯域通過フィルターと、前記
第１の帯域通過フィルターを通過した光を受光する第１
の受光器と、前記第２の帯域通過フィルターを通過した
光を受光する第２の受光器と、前記第３の帯域通過フィ
ルターを通過した光を受光する第３の受光器と、前記第
２，第３の受光器の出力画像の輝度レベル及び分布を評
価する画像処理装置とを具備することを特徴とする液晶
配向膜のイミド化率評価装置である。
例えばカメラが挙げられる。本願第２の発明は、配向膜
に赤外光を投光する装置と、前記赤外光の反射光の吸収
スペクトルにおいて、ポリイミドでは吸収率が低くポリ
アミドでは吸収率が高い第１波長に対する第１の帯域通
過フィルターと、前記第１波長の前後でポリアミド及び
ポリイミドの双方に対して吸収率の低い第２，第３波長
に夫々対する第２，第３の帯域通過フィルターと、前記
第１の帯域通過フィルターを通過した光を受光する第１
の受光器と、前記第２の帯域通過フィルターを通過した
光を受光する第２の受光器と、前記第３の帯域通過フィ
ルターを通過した光を受光する第３の受光器と、前記第
２，第３の受光器の出力画像の輝度レベル及び分布を評
価する画像処理装置とを具備することを特徴とする液晶
配向膜のイミド化率評価装置である。
【００１０】第２の発明において、前記第２，第３の受
光器としては、夫々例えばカメラ又は受光センサーが挙
げられる。以下に、この発明の作用を、(1) 配向膜の膜
厚分布が均一な場合、(2) 配向膜の膜厚分布が不均一の
場合の夫々について説明する。
光器としては、夫々例えばカメラ又は受光センサーが挙
げられる。以下に、この発明の作用を、(1) 配向膜の膜
厚分布が均一な場合、(2) 配向膜の膜厚分布が不均一の
場合の夫々について説明する。
【００１１】(1) 配向膜の膜厚分布が均一な場合 この場合、反射赤外光の光強度は、配向膜の膜質のみに
依存する。従って、ポリイミドでは吸収率が低くポリア
ミドでは吸収率の高い波長に対する帯域通過フィルター
に前記反射赤外光を通過させ、この通過光を波長域に充
分の感度を有するカメラで受光して前記配向膜表面の一
定面積の画像を得た場合、ポリイミドの部分は輝度レベ
ルが高く、ポリアミドの部分では輝度レベルが低くな
る。また、前記輝度レベルは、ポリイミドの比率即ちイ
ミド化率で決まる。
依存する。従って、ポリイミドでは吸収率が低くポリア
ミドでは吸収率の高い波長に対する帯域通過フィルター
に前記反射赤外光を通過させ、この通過光を波長域に充
分の感度を有するカメラで受光して前記配向膜表面の一
定面積の画像を得た場合、ポリイミドの部分は輝度レベ
ルが高く、ポリアミドの部分では輝度レベルが低くな
る。また、前記輝度レベルは、ポリイミドの比率即ちイ
ミド化率で決まる。
【００１２】(2) 配向膜の膜厚分布が不均一の場合 この場合、反射赤外光の光強度は、配向膜の膜質のみな
らず、膜厚の影響をも受ける。従って、ポリイミドでは
吸収率が低くポリアミドでは吸収率の高い波長の光強度
も、膜質と膜厚の両方の影響を受ける。前記第２，第３
の帯域通過フィルターと第２，第３の受光器は、膜厚不
均一の影響を除去することを目的としたものである。
らず、膜厚の影響をも受ける。従って、ポリイミドでは
吸収率が低くポリアミドでは吸収率の高い波長の光強度
も、膜質と膜厚の両方の影響を受ける。前記第２，第３
の帯域通過フィルターと第２，第３の受光器は、膜厚不
均一の影響を除去することを目的としたものである。
【００１３】即ち、イミド化率という膜質を評価するた
めの第１の波長域の光強度の評価を行う際、ポリアミ
ド，ポリイミド共に吸収率が低くかつ第１の波長域の前
後にある第２，第３の波長域の輝度レベルを基準とする
ことによって、第１の波長域の光強度を較正して、膜厚
不均一の影響をキャンセルさせる。
めの第１の波長域の光強度の評価を行う際、ポリアミ
ド，ポリイミド共に吸収率が低くかつ第１の波長域の前
後にある第２，第３の波長域の輝度レベルを基準とする
ことによって、第１の波長域の光強度を較正して、膜厚
不均一の影響をキャンセルさせる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施例を図１
〜４を参照して説明する。ここで、図１はこの発明に係
る液晶配向膜のイミド化率評価装置の一構成である光学
ヘッドの説明図である。図２は同イミド化率評価装置の
一構成である画像処理及び制御装置の説明図である。図
２及び図３は液晶配向膜の赤外光吸収スペクトルのデー
タ例であり、図２はイミド化率の高い場合、図３はイミ
ド化率の低い場合を示す。図４は画像処理及び制御装置
の構成説明図である。
〜４を参照して説明する。ここで、図１はこの発明に係
る液晶配向膜のイミド化率評価装置の一構成である光学
ヘッドの説明図である。図２は同イミド化率評価装置の
一構成である画像処理及び制御装置の説明図である。図
２及び図３は液晶配向膜の赤外光吸収スペクトルのデー
タ例であり、図２はイミド化率の高い場合、図３はイミ
ド化率の低い場合を示す。図４は画像処理及び制御装置
の構成説明図である。
【００１５】図１において、符番１は約０．１μｍの膜
厚の配向膜が施工された基板である。この基板１は、図
示しないＸＹテーブル上に載置されて、矢印ａ，ｂ方向
のＸ軸方向及び紙面に垂直なＹ軸方向に駆動位置決めさ
れるようになっている。赤外光光源２の投光３は、前記
基板１の配向膜表面で反射光４となり、ハーフプリズム
５により分割光６，７となる。
厚の配向膜が施工された基板である。この基板１は、図
示しないＸＹテーブル上に載置されて、矢印ａ，ｂ方向
のＸ軸方向及び紙面に垂直なＹ軸方向に駆動位置決めさ
れるようになっている。赤外光光源２の投光３は、前記
基板１の配向膜表面で反射光４となり、ハーフプリズム
５により分割光６，７となる。
【００１６】このうち、一方の分割光６は、レンズ６，
絞り９，第１の帯域通過フィルター10を介して第１の受
光器としてのカメラ11に至るようになっている。他方の
分割光７は、ハーフプリズム12によって更に分割光13，
14となる。そして、前記分割光13は、レンズ15，第２の
帯域通過フィルタ16を介して第２の受光器である受光セ
ンサー17に至るようになっている。他方の分割光14は、
レンズ18，第３の帯域通過フィルタ19を介して第３の受
光器である受光センサー20に至るようになっている。
絞り９，第１の帯域通過フィルター10を介して第１の受
光器としてのカメラ11に至るようになっている。他方の
分割光７は、ハーフプリズム12によって更に分割光13，
14となる。そして、前記分割光13は、レンズ15，第２の
帯域通過フィルタ16を介して第２の受光器である受光セ
ンサー17に至るようになっている。他方の分割光14は、
レンズ18，第３の帯域通過フィルタ19を介して第３の受
光器である受光センサー20に至るようになっている。
【００１７】次に、第１，第２，第３の帯域通過フィル
ターの通過波長域の設定について図３及び図４を参照し
て説明する。図３，４において、横軸は波長（ｃｍ-1）
を、縦軸は反射率（％）を示す。ここで、反射率は、膜
のない（素ガラス）の反射光量を１００とし、これと比
較して膜を生成したものの反射光量がいくらかになるか
を示したものである。
ターの通過波長域の設定について図３及び図４を参照し
て説明する。図３，４において、横軸は波長（ｃｍ-1）
を、縦軸は反射率（％）を示す。ここで、反射率は、膜
のない（素ガラス）の反射光量を１００とし、これと比
較して膜を生成したものの反射光量がいくらかになるか
を示したものである。
【００１８】図３は配向膜のイミド化率の低い部分の赤
外光吸収スペクトルを示し、２９５０ｃｍ-1の波長の近
傍で吸収のピークが見られ、ポリアミドの特性を示して
いる。また、上記ピークの大きさは、イミド化率の低い
ほど即ちポリアミドの比率の大きいほど大きなピークと
なり、このピークの大きさからイミド化率が評価でき
る。
外光吸収スペクトルを示し、２９５０ｃｍ-1の波長の近
傍で吸収のピークが見られ、ポリアミドの特性を示して
いる。また、上記ピークの大きさは、イミド化率の低い
ほど即ちポリアミドの比率の大きいほど大きなピークと
なり、このピークの大きさからイミド化率が評価でき
る。
【００１９】図４は配向膜のイミド化率の高い部分の赤
外光吸収スペクトルを示し、２９５０ｃｍ-1の波長近傍
では吸収のピークがほとんどない。前記第１の帯域通過
フィルター10は、２９５０ｃｍ-1の波長を中心とした狭
波長域を設定通過波長域として設定しており、図３の領
域ｃである。前記第２の帯域通過フィルター16は、図３
の領域ｄの狭波長域を設定通過波長域としている。同様
に、第２の帯域通過フィルター19は、図３の領域ｅを設
定通過波長域としている。
外光吸収スペクトルを示し、２９５０ｃｍ-1の波長近傍
では吸収のピークがほとんどない。前記第１の帯域通過
フィルター10は、２９５０ｃｍ-1の波長を中心とした狭
波長域を設定通過波長域として設定しており、図３の領
域ｃである。前記第２の帯域通過フィルター16は、図３
の領域ｄの狭波長域を設定通過波長域としている。同様
に、第２の帯域通過フィルター19は、図３の領域ｅを設
定通過波長域としている。
【００２０】次に、図２の画像処理及び制御装置の構成
について説明する。図２において、前記カメラ11の出力
画像は、主制御装置21から送られる図示しない同期クロ
ックパルスでトリガーされて、３３ｍ秒間隔で、カメラ
コントロールユニット22を介して画像処理装置23に転送
されるようになっている。前記受光センサー17の出力
は、アンプ24，Ａ／Ｄ変換器25を介して、前記同期クロ
ックパルスでトリガーされて、画像処理装置23に転送さ
れるようになっている。また、前記受光センサー20の出
力は、アンプ26，Ａ／Ｄ変換器27を介して、前記同期ク
ロックパルスでトリガーされて、画像処理装置23に転送
されるようになっている。
について説明する。図２において、前記カメラ11の出力
画像は、主制御装置21から送られる図示しない同期クロ
ックパルスでトリガーされて、３３ｍ秒間隔で、カメラ
コントロールユニット22を介して画像処理装置23に転送
されるようになっている。前記受光センサー17の出力
は、アンプ24，Ａ／Ｄ変換器25を介して、前記同期クロ
ックパルスでトリガーされて、画像処理装置23に転送さ
れるようになっている。また、前記受光センサー20の出
力は、アンプ26，Ａ／Ｄ変換器27を介して、前記同期ク
ロックパルスでトリガーされて、画像処理装置23に転送
されるようになっている。
【００２１】前記画像処理装置23では、前記カメラ11の
画像出力の中の輝度レベルの低い部分，即ちイミド化率
の低い部分の抽出を行う際の画像２値化しきい値の設定
を、前記Ａ／Ｄ変換器25，27のデータ，即ち受光センサ
ー17，20の出力レベルに基づいて行うようになってい
る。前記受光センサー17，20は、予め赤外光吸収スペク
トルの分析で膜質を明らかとし、厚さ分析装置で膜厚を
明らかとした配向膜について較正を行っているものとす
る。
画像出力の中の輝度レベルの低い部分，即ちイミド化率
の低い部分の抽出を行う際の画像２値化しきい値の設定
を、前記Ａ／Ｄ変換器25，27のデータ，即ち受光センサ
ー17，20の出力レベルに基づいて行うようになってい
る。前記受光センサー17，20は、予め赤外光吸収スペク
トルの分析で膜質を明らかとし、厚さ分析装置で膜厚を
明らかとした配向膜について較正を行っているものとす
る。
【００２２】前記主制御装置21には、ＸＹテーブル（図
示せず）のＮＣ制御装置28から前記同期クロックパルス
でトリガーされて３３ｍ秒ごとに得られるＸＹテーブル
の座標データ（Ｘk ，Ｙk ）が転送される。前記主制御
装置21では、前記座標データ（Ｘk ，Ｙk ）と画像処理
装置23の出力とをリンクさせて、基板１の配向膜全面の
画像取り込みが終了した時点で、基板１のイミド化率の
低い部分をマップ表示データとして、モニターＴＶまた
はプリンター29に出力する。また、主制御装置21では、
イミド化率不良部のサイズや個数から、基板１の良否判
定を行うようになっている。
示せず）のＮＣ制御装置28から前記同期クロックパルス
でトリガーされて３３ｍ秒ごとに得られるＸＹテーブル
の座標データ（Ｘk ，Ｙk ）が転送される。前記主制御
装置21では、前記座標データ（Ｘk ，Ｙk ）と画像処理
装置23の出力とをリンクさせて、基板１の配向膜全面の
画像取り込みが終了した時点で、基板１のイミド化率の
低い部分をマップ表示データとして、モニターＴＶまた
はプリンター29に出力する。また、主制御装置21では、
イミド化率不良部のサイズや個数から、基板１の良否判
定を行うようになっている。
【００２３】上述したように、上記実施例に係る液晶配
向膜のイミド化率評価装置は、基板１表面の配向膜に赤
外光を投光する赤外光光源２と、前記赤外光の反射光４
の吸収スペクトルにおいて、ポリイミドでは吸収率が低
くポリアミドでは吸収率が高い第１波長に対する第１の
帯域通過フィルター10と、第１波長の前後でポリアミド
及びポリイミドの双方に対して吸収率の低い第２，第３
波長に夫々対する第２，第３の帯域通過フィルター16，
19と、前記第１の帯域通過フィルター16を通過した光を
受光するカメラ11と、前記第２の帯域通過フィルター16
を通過した光を受光する受光センサー17と、前記第３の
帯域通過フィルター19を通過した光を受光する受光セン
サー20、前記第２，第３の受光器17，20の出力画像の輝
度レベル及び分布を評価する画像処理装置23とを具備し
た構成となっている。
向膜のイミド化率評価装置は、基板１表面の配向膜に赤
外光を投光する赤外光光源２と、前記赤外光の反射光４
の吸収スペクトルにおいて、ポリイミドでは吸収率が低
くポリアミドでは吸収率が高い第１波長に対する第１の
帯域通過フィルター10と、第１波長の前後でポリアミド
及びポリイミドの双方に対して吸収率の低い第２，第３
波長に夫々対する第２，第３の帯域通過フィルター16，
19と、前記第１の帯域通過フィルター16を通過した光を
受光するカメラ11と、前記第２の帯域通過フィルター16
を通過した光を受光する受光センサー17と、前記第３の
帯域通過フィルター19を通過した光を受光する受光セン
サー20、前記第２，第３の受光器17，20の出力画像の輝
度レベル及び分布を評価する画像処理装置23とを具備し
た構成となっている。
【００２４】従って、以下に述べる効果を有する。つま
り、本装置によれば、予め設定されたしきい値より低い
イミド化率の部分，即ちポリイミドに対する残存ポリア
ミドの比率の高い部分の２次元分布表示データを短時間
に得ることができるので、生産性の高いイミド化率評価
ができる。また、配向膜のイミド化率評価に対する膜厚
変動の影響を除去するので、信頼性の高いイミド化率評
価ができる。
り、本装置によれば、予め設定されたしきい値より低い
イミド化率の部分，即ちポリイミドに対する残存ポリア
ミドの比率の高い部分の２次元分布表示データを短時間
に得ることができるので、生産性の高いイミド化率評価
ができる。また、配向膜のイミド化率評価に対する膜厚
変動の影響を除去するので、信頼性の高いイミド化率評
価ができる。
【００２５】なお、上記実施例では、第１の帯域通過フ
ィルターの評定中心波長を２９５０ｃｍ-1としたが、ポ
リイミドとポリアミドの種類によってはこの波長に限定
しないものとする。
ィルターの評定中心波長を２９５０ｃｍ-1としたが、ポ
リイミドとポリアミドの種類によってはこの波長に限定
しないものとする。
【００２６】また、上記実施例では、第２，第３の受光
器として受光センサーを用いた場合について述べたが、
これに限らず、カメラを用いても良い。更に、上記実施
例では、カメラ11以外に第２，第３の受光器として受光
センサーを用いた場合について述べたが、膜厚分布が均
一な場合、キャリブレーションのための受光センサー
（17，20）の少なくともいずれか一方が不要となり、カ
メラ11の明暗（輝度レベル）で評価するだけで良いこと
になる。即ち、膜厚分布が将来安定すれば、受光センサ
ー17，20は不要になり、装置のコスト低減が可能とな
る。
器として受光センサーを用いた場合について述べたが、
これに限らず、カメラを用いても良い。更に、上記実施
例では、カメラ11以外に第２，第３の受光器として受光
センサーを用いた場合について述べたが、膜厚分布が均
一な場合、キャリブレーションのための受光センサー
（17，20）の少なくともいずれか一方が不要となり、カ
メラ11の明暗（輝度レベル）で評価するだけで良いこと
になる。即ち、膜厚分布が将来安定すれば、受光センサ
ー17，20は不要になり、装置のコスト低減が可能とな
る。
【００２７】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明によれば、
生産ラインで配向膜のイミド化率均一性の評価を可能と
する，生産性と信頼性の高い液晶配向膜のイミド化率評
価装置を提供できる。
生産ラインで配向膜のイミド化率均一性の評価を可能と
する，生産性と信頼性の高い液晶配向膜のイミド化率評
価装置を提供できる。
【図１】この発明の一実施例に係る液晶配向膜のイミド
化率評価装置の一構成である光学ヘッドの説明図。
化率評価装置の一構成である光学ヘッドの説明図。
【図２】この発明の一実施例に係る液晶配向膜のイミド
化率評価装置の一構成である画像処理及び制御装置の説
明図。
化率評価装置の一構成である画像処理及び制御装置の説
明図。
【図３】液晶配向膜の赤外光吸収スペクトルのデータ例
で、イミド化率の低い場合の特性図。
で、イミド化率の低い場合の特性図。
【図４】液晶配向膜の赤外光吸収スペクトルのデータ例
で、イミド化率の高い場合の特性図。
で、イミド化率の高い場合の特性図。
１…基板、 ２…赤外光光源、 １０…第１の帯域通過フィルター、 １１…カメラ、 １６…第２の帯域通過フィルター、 １７、２０…受光センサー、 １９…第２の帯域通過フィルター、 ２３…画像処理装置。
Claims (2)
- 【請求項１】 配向膜に赤外光を投光する装置と、前記
赤外光の反射光の吸収スペクトルにおいて、ポリイミド
では吸収率が低くポリアミドでは吸収率が高い波長に対
する帯域通過フィルターと、このフィルターを通過した
光を受光する受光器と、この受光器の出力画像の輝度レ
ベル及び分布を評価する画像評価装置とを具備すること
を特徴とする液晶配向膜のイミド化率評価装置。 - 【請求項２】 配向膜に赤外光を投光する装置と、前記
赤外光の反射光の吸収スペクトルにおいて、ポリイミド
では吸収率が低くポリアミドでは吸収率が高い第１波長
に対する第１の帯域通過フィルターと、前記第１波長の
前後でポリアミド及びポリイミドの双方に対して吸収率
の低い第２，第３波長に夫々対する第２，第３の帯域通
過フィルターと、前記第１の帯域通過フィルターを通過
した光を受光する第１の受光器と、前記第２の帯域通過
フィルターを通過した光を受光する第２の受光器と、前
記第３の帯域通過フィルターを通過した光を受光する第
３の受光器と、前記第２，第３の受光器の出力画像の輝
度レベル及び分布を評価する画像処理装置とを具備する
ことを特徴とする液晶配向膜のイミド化率評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4372796A JPH09236807A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 液晶配向膜のイミド化率評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4372796A JPH09236807A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 液晶配向膜のイミド化率評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236807A true JPH09236807A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=12671828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4372796A Withdrawn JPH09236807A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 液晶配向膜のイミド化率評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09236807A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866665B1 (ko) * | 2006-11-02 | 2008-11-04 | 하리손 도시바 라이팅구 가부시키가이샤 | 액정 패널 제조 장치 및 액정 패널의 제조 방법 |
| WO2010134361A1 (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | シャープ株式会社 | 液晶パネル及び液晶パネル検査方法 |
| CN112697845A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-23 | 上海中化科技有限公司 | 聚酰亚胺的酰亚胺化率的检测方法 |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP4372796A patent/JPH09236807A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866665B1 (ko) * | 2006-11-02 | 2008-11-04 | 하리손 도시바 라이팅구 가부시키가이샤 | 액정 패널 제조 장치 및 액정 패널의 제조 방법 |
| WO2010134361A1 (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | シャープ株式会社 | 液晶パネル及び液晶パネル検査方法 |
| JP5285151B2 (ja) * | 2009-05-18 | 2013-09-11 | シャープ株式会社 | 液晶パネル及び液晶パネル検査方法 |
| CN112697845A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-23 | 上海中化科技有限公司 | 聚酰亚胺的酰亚胺化率的检测方法 |
| CN112697845B (zh) * | 2020-12-16 | 2024-09-24 | 上海中化科技有限公司 | 聚酰亚胺的酰亚胺化率的检测方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030506 |