JPH09237673A

JPH09237673A - セラミックヒータ

Info

Publication number: JPH09237673A
Application number: JP17049696A
Authority: JP
Inventors: Katsuto Hashimoto; 勝人橋本
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1995-12-28
Filing date: 1996-06-28
Publication date: 1997-09-09

Abstract

(57)【要約】【課題】導電性を有するセラミック体１０に通電して発
熱させるようにしたヒータにおいて、給電部１２の発熱
を防止して均熱を保つとともに、長期使用しても給電固
定部に歪みや緩みが生じることを防止する。【解決手段】セラミック体１０の両端に備えた給電部１
２を他の部分よりも厚肉とするとともに、この給電部１
２に金属層２１を介して給電板２２を当接させ、両側か
ら絶縁体２５、２６で挟着して金属層２１に給電板２２
を圧接した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主にガラス管の真
空封止等に用いられる筒型のセラミックヒータに関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、一般産業機械分野や半導体分
野など、さまざまな分野でヒータが使用されており、用
途に応じて、板状や円筒状をしたヒータが使われてい
る。

【０００３】その一例として、ガラス管の真空封止に用
いられているヒーターがある。以下、ガラス管の真空封
止方法を例にあげて説明する。

【０００４】一般に、ガラス管の真空封止は、ランプ、
真空管又はブラウン管の製造に用いられている。図９に
示すように、真空管は片側封止のガラス容器４１内に電
極４２を挿入し、未封止側から真空ポンプで脱気を行い
ながら、ヒータでガラス管４３を加熱、溶断させ、内部
を真空封止することによって作られる。

【０００５】上記のような真空封止には、図１０に示す
ような治具５１が用いられるが、この治具５１には、耐
熱材５２の内側に筒状のヒータ５３を内蔵してある。そ
して、このヒータ５３の内側に上記真空管のガラス管４
３を挿入して加熱、溶断するようになっている。

【０００６】上記ヒータ５３の構造は図１１に示すよう
に、筒状の絶縁スペーサ５６の表裏にヒータ線５７を螺
旋状に備えたものを耐熱金属からなるケース５５の内部
に備え、上記ヒータ線５７に導通するリード線５４を導
出してある。上記ヒータ線５７にはニクロム線等が用い
られるが、体積固有抵抗が非常に小さいことからガラス
管４３を溶断する温度を得るためには、幅２ｍｍ、厚さ
０．５ｍｍ程度の帯状とし、図１１のように絶縁スペー
サ５６を介して表裏の二重に螺旋状としてある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記治具５
１を用いてガラス管４３の真空封止を行う場合に、ガラ
ス管４３と治具５１の軸心を合わせ、ガラス管４３の外
周とヒータ５３の間に一定のクリアランスを保った状態
で治具５１を配置して加熱を繰り返すと、ヒータ５３が
熱膨張の影響により変形し、ガラス管４３と一定のクリ
アランスを保てなくなるといった問題があった。

【０００８】その結果、ガラス管４３の一部分が他より
先に溶解し、ガラス管４３内部を完全に真空封止するこ
とができないばかりか、変形を起こしたヒータ線５７が
ガラス管４３と接触し、ヒータ線５７にガラスが付着す
るとその部分の負荷容量が急激に増し、断線する等の不
都合があった。

【０００９】また、上記ヒータ５３はヒータ線５７の体
積固有抵抗値が小さいため、帯状のヒータ線５７を絶縁
スペーサ５６を介して螺旋状に巻くことで所望の抵抗値
を得るようにしているが、このような複雑な構造では均
熱がとれないばかりか無駄な発熱が多く、消費電力が大
きかった。また、ヒータ線５７自体が酸化され易いこと
から特性劣化を招き、安定した発熱量が長期間にわたり
得られにくいという問題もあった。

【００１０】また上記治具５１において、ヒータ線５７
への給電部と給電するリード線５４は種々の耐熱金属を
用いて固定されているが、その固定部分は使用時に熱サ
イクルを受け、ヒータ線５７や耐熱金属が熱膨張を繰り
返すことにより、しだいにひずみを発生して緩みを生じ
ることから、上記ヒータ線５７の給電部とリード線５４
の接触部がショートし、断線しやすくなるという問題も
あった。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記に鑑みて本発明は、
導電性を有するセラミック体に通電して発熱させるよう
にしたヒータにおいて、上記セラミック体の両端に備え
た給電部を他の部分よりも厚肉とするとともに、この給
電部に金属層を介して給電板を当接し、上記給電部と給
電板を両側から押さえ板で挟着して、金属層に給電板を
圧接したことを特徴とする。

【００１２】また、本発明は、上記セラミック体が、体
積固有抵抗１０^-4〜１０Ω・ｃｍであり、かつ負の抵抗
温度係数（ＴＣＲ）を有するとともに、蛇行状または螺
旋状の筒体としたことを特徴とする。

【００１３】さらに本発明は、上記セラミック体を蛇行
状または螺旋状の筒体とし、給電部と同じ側の端面にお
ける発熱部に給電部と同程度の厚みの保持部を形成した
ことを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明によれば、セラミック体の両端部の給電
部を厚肉として抵抗値を低下させることによって、給電
部の発熱を防止でき均熱を保つことができる。また、給
電板を接合せずに圧接して取り付けたことによって、セ
ラミック体の給電部と金属製の給電板との熱膨張差が生
じても、両者の圧接面がずれることによって熱膨張差を
吸収でき、歪みや緩みを回避できる。しかも、給電部と
給電板の間に金属層を介在させることによって、両者の
密着性を高められる。

【００１５】また、上記セラミック体を負のＴＣＲをも
つ導電性セラミックスで形成したため、昇温時間を短縮
でき、しかも熱変形等を生じることがなく長期にわたっ
て均一加熱を行うことができる。また、螺旋状あるいは
蛇行状筒体としてあるため、全長や幅を容易に調整する
ことができ、所定の抵抗値に調整することが容易であ
る。

【００１６】さらに、上記セラミック体を筒体として、
給電部側の端面における発熱部に保持部を形成したこと
によって、ケーシングとの組立精度を向上させ、接合強
度を高くすることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
る。

【００１８】図１に本発明のセラミックヒータに用いる
セラミック体１０のみを示す。このセラミック体１０
は、導電性セラミックスからなる蛇行状筒体の両端を給
電部１２としたものである。即ち、このセラミック体１
０は、全体的に円筒形状であるが、軸方向に１ケ所のス
リット１４を有し、両端面から交互に延びる溝１３を備
えることによって蛇行状の発熱部１１を形成し、その両
端を中心軸に垂直な方向に扇状に広がる形状の給電部１
２としてある。

【００１９】そして、この給電部１２は発熱部１１に比
べて厚肉としてあり、両方の給電部１２間に電圧を印可
すれば、導電性セラミックスからなる蛇行状筒体のセラ
ミック体１０自体に通電し、発熱させることができる。

【００２０】次に、上記セラミック体１０に通電するた
めの給電構造を説明する。

【００２１】図２（ａ）に分解図を、図２（ｂ）に組立
図をそれぞれ示すように、予め給電部１２の後端面には
白金等の金属ペーストを塗布して焼き付けることにより
金属層２１を形成しておく。そして、この金属層２１の
表面に白金等の金属からなる給電板２２を当接させ、両
側から押さえ板を成す絶縁体２５、２６で挟着し、ネジ
２８で両方の絶縁体２５、２６を固定することによっ
て、給電板２２を給電部１２に圧接する。なお、両方の
絶縁体２５、２６の固定方法はネジに限らず、さまざま
な方法で固定することができる。

【００２２】また、給電板２２には爪２２ａを備えてお
り、この爪２２ａを給電部１２の側面に合致させて横方
向の位置合わせを行うようになっている。さらに、給電
部２１と同じ厚さの絶縁スペーサ２４を介在させて絶縁
体２５、２６で挟み込むことにより、安定して給電板２
２を保持することができる。

【００２３】また、上記給電板２２には予め白金等の金
属からなる給電線２３を接合しておき、この給電線２３
は一方の絶縁体２５に備えた貫通孔２５ａを通して外部
に導出してある。そして、２つの給電部１２にそれぞれ
接続した給電線２３間に電圧を印加すれば、上記セラミ
ック体１０に通電して発熱させることができる。

【００２４】このとき、給電部１２は厚肉として断面積
を大きくしてあるため抵抗値が低くなり、その結果、発
熱部１１のみを効率的に発熱させて、給電部１２の発熱
を防止できる。また、給電部１２と給電板２２は接合せ
ずに圧接してあることから、両者の熱膨張差が生じて
も、互いの圧接面がずれることにより歪み等が生じるこ
とはない。さらに給電部１２と給電板２２の間には金属
層２１を介在させてあることからこの金属層２１と給電
板２２が良好に密着して接触抵抗を生じることを防止で
きる。

【００２５】なお、上記金属層２１として、金属シート
状体を給電部１２と給電板２２の間に挟み込むこともで
きる。

【００２６】したがって、このような給電部１２の固定
構造によれば、使用時に給電部１２と給電板２２間の歪
みが生じることがなく、しかも熱サイクルによる固定部
の緩みもないことから長時間にわたって安定して使用で
きる。

【００２７】また、給電部１２を絶縁体２５、２６で挟
着することにより、他の部分を支持せずにセラミック体
１０を保持することができ、セラミック体１０の給電と
保持を同時に行うことができるため簡単な構造とでき
る。なお、セラミック体１０は剛性が高く、しかも給電
部１２を厚肉としてあるため、この給電部１２のみで保
持しても変形などの恐れはない。

【００２８】そして、このセラミックヒータを用いて、
図９に示すようなガラス管４３の封止を行えば、蛇行状
筒体の発熱部１１がセラミックスからなるため熱サイク
ルによる変形を生じることはなく、長期間にわたって均
一な加熱を行うことができる。また、図示していない
が、上記封止を行う際に、セラミック体１０の内面とガ
ラス間４３の間にリング状のセラミックス製スペーサを
介在させれば、両者の間隔を正確に位置決めすることが
できる。

【００２９】なお、上記絶縁スペーサ２４、絶縁体２
５、２６は、絶縁性、耐熱性に優れた材質を用い、コー
ジライト等のセラミックスで形成することが好ましい。
また、上記金属層２１、給電板２２、給電線２３を成す
金属としては、白金の他に、白金−ロジウム、銀、銀−
パラジウム、ニッケルなどの耐熱金属又は合金を用い
る。

【００３０】次に、給電構造の他の例を説明する。図
３、４に示すように、絶縁体２５をリング状とし、その
内周面２５ｂでセラミック体１０の端部を保持すること
ができる。この場合も、給電部１２の後端面に金属層２
１を形成し、この表面に給電板２２を当接させ、上記絶
縁体２５ともう一方の絶縁体２６で挟着することによっ
て、給電板２２を給電部１２に圧接してある。

【００３１】また、給電部１２の形状については、図１
に示した扇形状のものに限らず、図５のように発熱部１
１よりも厚肉とした形状であれば良く、上記発熱部１１
の厚みに対して給電部１２の厚みを２〜５倍とした形状
であればよい。これによって給電部１２の抵抗値は発熱
部１１より低い値となり、給電部１２自体の発熱を防止
できることから、金属製の給電板２２と給電部１２の熱
膨張差による歪みの発生を抑えられる。しかも、給電部
１２の強度が大きくなることから、給電部１２のみを挟
着してセラミック体１０を保持することができる。

【００３２】次に、本発明の他の実施形態を説明する。

【００３３】図６に示すセラミック体１０は、図１に示
したものとほぼ同じ形状であるが、発熱部１１における
給電部１２と同じ側の端面に、保持部１５を一体的に備
えてある。この保持部１５は、中心軸に垂直な方向に扇
状に広がる形状であり、給電部１２とほぼ同じ肉厚とし
てある。そのため、後述するように、このセラミック体
１０を保持する際に、給電部１２とともに保持部１５を
も挟み込んで保持することができる。

【００３４】このセラミック体１０の給電構造を説明す
る。図７にセラミック体１０をケーシングに取り付けた
状態の図を、図８に給電構造の拡大図をそれぞれ示す。

【００３５】まず、図８（ａ）に示すように、セラミッ
ク体１０の二つの給電部１２の後端面には白金等の金属
ペーストを塗布して焼き付けることにより、それぞれ金
属層３１を形成しておく。一方、図７に示すように、セ
ラミックス等の絶縁材からなるケーシング３５は円筒状
体であり、一方の端面には二つの座繰り３５ａ、３５ｂ
を備え、内側の座繰り３５ａに上記給電部１２及び保持
部１５を合致させてセラミック体１０を嵌め込む。

【００３６】この状態でセラミック体１０の二カ所の給
電部１２に備えた金属層３１にそれぞれ給電板３２を当
接させ、該給電板３２に備えたネジ孔３２ｂとケーシン
グ３５のネジ孔３５ｃの間にネジ３８を通し、ナット３
９で螺着する。また、給電板３２には爪３２ａを備えて
おり、この爪３２ａを給電部１２の側面とケーシング５
の溝３５ｄ（図７（ｂ）参照）に合致させてセラミック
体１０の回転方向の位置決めを行うようになっている。

【００３７】さらに、ケーシング３５の外側の座繰り３
５ｂにセラミックス等の絶縁板３６をはめ込み、さらに
金属板３７を上から覆い、これら絶縁板３６、金属板３
７とケーシング３５との間をネジ４０で螺着して固定す
る。

【００３８】そのため、ケーシング３５と絶縁板３６が
押さえ板として作用し、給電板３２を金属層３１に押圧
して強固に固定することができる。しかも、この時セラ
ミック体１０に備えた保持部１５もケーシング３５と絶
縁板３６の間で挟持されて固定される。したがって、セ
ラミック体１０の端面を全周で固定することができ、強
固に、かつ組立精度を高くして取り付けることができ
る。

【００３９】また、二つの給電部１２に給電板３２を螺
着する際に、それぞれネジ３８に給電線３３を巻付け、
ナット３９で固定するとともに、この給電線３３の他端
はケーシング３５の貫通孔３５ｅを通して外部に導き出
してある。そのため、これらの給電線３３間に電圧を印
加すれば、セラミック体１０に通電して発熱させること
ができる。

【００４０】以上の実施形態において、セラミック体１
０を製造する場合は、セラミック原料を筒状に成形した
後、未焼成時または焼成後に軸方向に加工を施して溝１
３を形成すればよいため、溝１３の切り込み長さを調節
することによって、その発熱部１１の長さを自由に変え
られ、更に溝１３の本数や発熱部１１の幅を変えること
によって、セラミック体１０の抵抗値を自由に調整する
ことができる。

【００４１】ただし、上記溝１３は、合計３本以上形成
することが好ましい。これは溝１３が３本未満である
と、均一に加熱することが困難となるためである。さら
に、両端の給電部１２は軸方向に同一側に形成すること
によって、給電構造を簡略化できる。

【００４２】さらに、セラミック体１０を螺旋状にする
こともできる。また、以上の例ではセラミック体１０を
ほぼ円筒状としたものを示したが、角筒状やその他の形
状とすることもできる。

【００４３】上記セラミック体１０を成す導電性セラミ
ックスとしては、効率的に発熱するために、体積固有抵
抗値が１０^-4〜１０Ω・ｃｍで、抵抗温度係数（ＴＣ
Ｒ）が負の値を示すものを用いる。ここでＴＣＲが負で
あるとは、温度が高くなるほど抵抗値が低くなることで
あり、常温から高温までの昇温速度を極めて速くできる
という効果がある。

【００４４】上記特性を満たす導電性セラミックスとし
て、具体的にはランタンクロマイト系セラミックスを用
いる。ランタンクロマイト系セラミックスとは、ＬａＣ
ｒＯ₃の組成に対し、Ｌａの一部をＣａ，Ｓｒ，Ｂａ等
の周期律表２ａ族元素の一種以上で置換し、Ｃｒの一部
をＭｎ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｅ，Ｚｒ等の元素、周期
律表第３ａ族、第４ａ族の元素のうち一種以上で置換し
たものである。このセラミックスは、体積固有抵抗値が
１０^-1〜１０Ω・ｃｍであり、その結晶構造がペロブス
カイト型であるため、耐熱性に優れ、高温中でも特性劣
化が少ない。

【００４５】また、ランタンクロマイト系セラミックス
はそのＴＣＲが負の値を示すという特性を持っているた
め、高温まで急速昇温を必要とする場合に適した材料で
あるといえる。

【００４６】例えばＬａ_0.8Ｃａ_0.22ＣｒＯ₃という化
学式で表されるものを用い、この原料を成形、生加工、
焼成、後加工することによって、図１のようなセラミッ
ク体１０を得ることができる。上記のような化学式で表
されるセラミックスの熱膨張係数は、１×１０^-7／℃と
比較的小さいことから変形による発熱ムラが少なく、し
かも比熱が０．２ｃａｌ／℃以下と小さいことからヒー
タの熱容量を小さく抑えることができる。

【００４７】また、常温では０．３〜０．４Ω・ｃｍの
体積固有抵抗値であるが、ガラスの溶解温度である９０
０〜１０００℃では３×１０^-4Ω・ｃｍと低くなり、そ
のＴＣＲが負の特性を持つため、他の金属ヒータ等に比
べて高温度域までの昇温時間が極めて早い。

【００４８】さらに、以上の例では真空管のガラス封止
用のヒータについて説明したが、本発明のセラミックヒ
ータは、パイプ内の流体の加熱やその他のさまざまな用
途に好適に用いることができる。また、本発明のセラミ
ックヒータを成すセラミック体１０の形状も、筒体に限
らず、さまざまなものとすることができる。

【００４９】

【実施例】実施例１ここで図１に示すセラミック体１０を試作した。Ｌａ
_0.8Ｃａ_0.22ＣｒＯ₃の組成からなるセラミックスを、
外径１４ｍｍ，内径１２ｍｍの円筒体にし、両端面から
合計１２本の溝１３を溝幅が０．５ｍｍになるように切
り込み、中央をスリット１４で切り離して、給電部１２
を発熱部１１より５ｍｍ厚く４ｍｍ程度の長さで軸方向
の同一側に設置した。さらに、溝１３の数を１０本、２
本としたものも用意した。

【００５０】このセラミック体１０を図３、４に示す構
造で絶縁体２５、２６に取りつけた。なお、給電板２２
は白金製で厚みは０．１ｍｍとし、絶縁体２５、２６は
コージライトセラミックスで形成した。

【００５１】このようにして作製した本発明のセラミッ
クヒータと、比較例として図８に示すニクロム線を用い
た従来のヒータ５３を用いて耐久試験を行った。

【００５２】実験は、それぞれのヒータに１００Ｖ程度
の電圧を印可して、４０秒間で９００℃まで昇温した
後、４０秒間保持し、１５０秒間で８０℃以下に冷却す
る熱サイクルをかけ、発熱状態、耐久性、ひずみの大き
さを測定した。結果を表１に示す。

【００５３】

【表１】

【００５４】表１から分かるように、比較例であるニク
ロム線を用いたヒータ５３は熱膨張の影響から、１５０
０サイクル後に給電部に緩みを生じ接触不良が起きてシ
ョートし、断線してしまった。また、断線後のヒータ形
状及びヒータの治具５１に対する位置精度を歪みとして
測定したところ、ヒータ形状が１〜２ｍｍの歪みを生じ
ていたばかりか、治具５１から１〜２ｍｍの位置ずれも
見られた。

【００５５】これに対し、本発明のセラミックヒータに
ついては３５０００回の熱サイクルテストにも耐え、給
電固定部の緩みも見られず、ヒータ形状の歪みも０．１
ｍｍ以下しかなかった。従って、本発明のセラミックヒ
ータは、熱膨張の影響による給電固定部の緩みや、ヒー
タ形状の変化を十分防止することができる。

【００５６】また、昇温速度を４０秒としたとき、従来
のヒータ５３において９００℃を得るには、１０Ａ程度
の電流値を必要としたが、本発明のセラミックヒータで
あれば、電流値は１〜２Ａ程度でよく、消費電力をかな
り低減できることが判った。ただし、本発明のセラミッ
クヒータにおいて、溝１３の数を２本としたものは均一
加熱ができなかったため、溝１３の数は３本以上必要で
あることが判った。

【００５７】実施例２次に、図５に示すセラミック体１０を試作した。Ｌａ
_0.8Ｃａ_0.22ＣｒＯ₃の組成からなるセラミックスを、
外径１２ｍｍ，内径１０ｍｍの円筒体にし、両端面から
合計１２本の溝１３を溝幅が０．５ｍｍになるように切
り込み、中央をスリット１４で切り離して、給電部１２
を発熱部１１より５ｍｍ厚くし、２ｍｍ程度の長さで軸
方向の同一側に設置した。さらに、溝１３（スリット１
４を含む）の数を２本、８本、１０本としたものも用意
した。

【００５８】このセラミック体１０を図７、８に示す構
造でセラミック製のケーシング３５に取りつけた。な
お、給電板３２は白金製で厚みは０．４ｍｍとし、ケー
シング３５、絶縁板３６はコージライトセラミックスで
形成した。

【００５９】このようにして作製した本発明のセラミッ
クヒータと、比較例として図１１に示すニクロム線を用
いた従来のヒータ５３を用いて実施例１と同じ耐久試験
を行った。結果を表２に示す。

【００６０】

【表２】

【００６１】表２から分かるように、比較例であるニク
ロム線を用いたヒータ５３は熱膨張の影響から、１５０
０サイクル後に給電部に緩みを生じ接触不良が起きてシ
ョートし、断線してしまった。また、断線後のヒータ形
状及びヒータの治具５１に対する位置精度を歪みとして
測定したところ、ヒータ形状が１〜２ｍｍの歪みを生じ
ていたばかりか、治具５１から１〜２ｍｍの位置ずれも
見られた。

【００６２】これに対し、本発明のセラミックヒータに
ついては３５０００回の熱サイクルテストにも耐え、給
電固定部の緩みも見られず、ヒータ形状の歪みも０．１
ｍｍ以下しかなかった。従って、本発明のセラミックヒ
ータは、熱膨張の影響による給電固定部の緩みや、ヒー
タ形状の変化を十分防止することができる。

【００６３】ただし、本発明のセラミックヒータにおい
て、溝１３の数を２本としたものは均一加熱ができなか
ったため、溝１３の数は３本以上必要であることが判っ
た。

【００６４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、導電性を
有するセラミック体に通電して発熱させるようにしたヒ
ータにおいて、上記セラミック体の両端に備えた給電部
を他の部分よりも厚肉とするとともに、この給電部に金
属層を介して給電板を当接し、上記給電部と給電板を両
側から押さえ板で挟着して、金属層に給電板を圧接した
ことによって、給電部の発熱を防止でき均熱を保つとと
もに、熱膨張差による給電固定部の歪みや緩みを防止す
ることができる。

【００６５】また、上記セラミック体を負のＴＣＲをも
つ導電性セラミックスで形成したため、昇温時間を短縮
でき、しかも熱変形等を生じることがなく長期にわたっ
て均一加熱を行うことができる。また、螺旋状あるいは
蛇行状筒体としてあるため、全長や幅を容易に調整する
ことができ、所定の抵抗値に調整することが容易であ
る。

【００６６】さらに、上記セラミック体を筒体として、
給電部側の端面における発熱部に保持部を形成したこと
によって、ケーシングとの組立精度を向上させ、接合強
度を高くすることができる。

【００６７】そのため、長期間にわたって均一加熱が可
能であるばかりか、高温度域までの昇温時間の短縮及び
消費電力の低減も可能な高性能のセラミックヒータを提
供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のセラミックヒータにおけるセラミック
体の斜視図である。

【図２】本発明のセラミックヒータにおける給電構造を
示しており（ａ）は分解図、（ｂ）は組立図である。

【図３】本発明のセラミックヒータの他の実施形態を示
しており（ａ）は側面図、（ｂ）は端面図である。

【図４】図３（ｂ）中のＡ−Ａ’線断面図である。

【図５】本発明のセラミックヒータにおけるセラミック
体の他の実施形態を示す斜視図である。

【図６】本発明の他の実施形態におけるセラミック体の
斜視図である。

【図７】（ａ）（ｂ）は図６に示すセラミック体の取付
構造を説明するための図である。

【図８】（ａ）（ｂ）は図７中の給電構造を示す拡大図
である。

【図９】ガラス管の封止方法を説明するための真空管の
斜視図である。

【図１０】従来のガラス管封止用治具を示す斜視図であ
る。

【図１１】従来のガラス管封止用治具におけるヒータを
示す一部破断斜視図である。

【符号の説明】

１０：セラミック体１１：発熱部１２：給電部１３：溝１４：スリット２１：金属層２２：給電板２３：給電線２４：絶縁スペーサ２５：絶縁体２６：絶縁体２８：ネジ３１：金属層３２：給電板３３：給電線３５：ケーシング３６：絶縁板３７：金属板３８：ネジ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】導電性を有するセラミック体に通電して発
熱させるようにしたヒータであって、上記セラミック体
の両端に備えた給電部を他の部分よりも厚肉とするとと
もに、この給電部の一面に金属層を介して給電板を当接
させ、上記給電部と給電板を両側から押さえ板で挟着し
て、給電板を金属層に圧接したことを特徴とするセラミ
ックヒータ。
【請求項２】上記セラミック体が、体積固有抵抗１０^-4
〜１０Ω・ｃｍであり、かつ抵抗温度係数（ＴＣＲ）が
負の特性を示すとともに、蛇行状または螺旋状の筒体で
あることを特徴とする請求項１記載のセラミックヒー
タ。
【請求項３】上記セラミック体を蛇行状または螺旋状の
筒体とし、給電部と同じ側の端面における発熱部に、給
電部と同程度の厚みの保持部を備えたことを特徴とする
請求項１記載のセラミックヒータ。