JPH09239736A - 金型原盤保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】スタンパ保持精度と着脱操作性を維持し、かつ
簡素化と小型化に結び付く金型原盤保持装置を提供す
る。 【解決手段】スタンパ２を保持する金型原盤保持装置
は、スタンパ２を載置するターンテーブル４と、該ター
ンテーブル４と共に回転し、スタンパ２を保持する保持
力を維持する保持力維持手段としての穴部５と磁石６と
支持片７と支持片付勢ばね８と昇降部９と、ターンテー
ブル４の回転領域外にあって、ターンテーブル４の回転
が停止したときに回転領域内に入り、保持力維持手段の
保持力を減少させる保持力減少手段としての直動部材１
３と支持軸１５と駆動モータ１６とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクの製造
に用いられる金型原盤を検査する金型原盤検査装置の金
型原盤を保持する金型原盤保持装置に係り、金型原盤を
装着あるいは取り外す際に金型原盤を変形させることな
く金型原盤を確実に保持する金型原盤保持装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来技術の金型原盤保持装置としては、
真空ポンプを用いて金型原盤を真空吸着する金型原盤保
持装置に関するものが、 特開平2−127078号公報， 特
開平2−177033号公報，特開平3−284919号公報及び特開
平6−166062号公報に開示されている。 また、金型
原盤を載置するターンテーブルに磁石を設けて金型原盤
を吸着する金型原盤保持装置に関する発明が実開平4−8
6227号公報及び実開平6−68120号公報に開示されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来技術には、金型原盤保持装置に真空ポンプの他に、圧
力レギュレータ，エアミストセパレータ等空気圧制御機
器が必要であり、金型原盤検査装置が小型化できないと
いう欠点がある。 また、ターン
テーブルに金型原盤を載置したり、ターンテーブルから
金型原盤を取り外す際に吸着磁力が変化するものではな
く、磁力が大きい場合は磁力により金型原盤を反らせ、
また、磁力が小さい場合は確実に固定できないという欠
点があった。

【０００４】したがって、本発明の目的は、小型で、か
つ、金型原盤に損傷を与えず確実に固定する金型原盤保
持装置を提供するにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的は、光ディスク
用金型原盤を保持する金型原盤保持装置において、前記
光ディスク用金型原盤を載置するターンテーブルと、該
ターンテーブルと共に回転し、前記光ディスク用金型原
盤を保持する保持力を維持する保持力維持手段と、前記
ターンテーブルの回転が停止したときに、前記保持力維
持手段の前記保持力を減少させる保持力減少手段とを備
えることにより達成される。

【０００６】本発明により、光ディスク用金型原盤を変
形させることなく確実に保持する金型原盤保持装置が提
供される。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照し説明する。本発明による金型原盤保持
装置の機構系の実施例を図１〜図４に示す。 図１
は、本発明による一実施例の金型原盤保持装置を示す断
面図である。ターンテーブルの非回転時であり、スタン
パの取付・取外しが行われる場合の状態を示している。
図２は、図１のターンテーブルを示す平面図である。図
３は、図１の昇降部を示す平面図である。図４は、図１
の金型原盤保持装置のスタンパを保持したターンテーブ
ルの回転時の状態を示す示す断面図である。

【０００８】図１において、金型原盤保持装置は、ター
ンテーブル４と、ターンテーブル４と共に回転し、光デ
ィスク用金型原盤としてのスタンパ２を保持する保持力
を維持する保持力維持手段と、ターンテーブル４の回転
領域外にあって、該ターンテーブル４の回転が停止した
ときに回転領域内に入り、保持力維持手段の保持力を減
少させる保持力減少手段とから構成される。そして図１
の実施例では、保持力維持手段は、ターンテーブル４に
設けられた穴部５と、永久磁石としての磁石６と、支持
体と、弾性体としての支持片付勢ばね８とから構成され
る。支持体は、支持片７とガイド部としての昇降部９と
から成る。また、保持力減少手段としての駆動体は、直
動部と駆動部としての駆動モータ１６とから構成され
る。直動部は、直動部材１３と支持軸１５とから成る。

【０００９】以下、詳細の構成について説明する。装置
フレーム(図示せず)には、スタンパ２を回転させるスピ
ンドルモータ３がとりつけられ、その先端には該スタン
パ２を装着するターンテーブル４が備えられている。タ
ーンテーブル４の内部には、図１や図２に示すように、
ターンテーブル４の中心に関して対称的に、穴部として
の支持片案内溝５と、永久磁石としての磁石６と、支持
体の一部を構成する支持片７と、支持片付勢ばね８と
が、それぞれ同数個設けられる。

【００１０】スタンパ２を吸着保持するための磁石６
は、それぞれ支持片案内溝５内の穴部５ａに配設されて
いる。支持片７は、支持片案内溝５内の穴部５ｂに、ス
タンパ２の面に垂直な方向に、すなわち、スタンパ２の
着脱方向に摺動可能であるように嵌合され、その一端
(上方端)は磁石６を下面より支持し、その他端(下方端)
がターンテーブル４の下部より突出しているように設け
られている。

【００１１】ターンテーブルの支持片案内溝５内の穴部
５ａには、磁石６を支持する支持片７の一端(上方端)
を、即ち、磁石６をスタンパ２に近づける方向に付勢す
る、弾性体としての支持片付勢ばね８が設けられてい
る。また、支持片７の他端(下方端)は、ターンテーブル
４の下部に位置する外周円筒状側面４ａにスタンパ２に
垂直な方向に、即ち、上下方向に摺動可能であるように
設けられた、円筒状の昇降部９に拘束されるように連接
される。すなわち、昇降部９の止め穴１０に貫通した支
持片７の他端(下方端)は、ストッパ７ａによって昇降部
９に連接され、該昇降部９に拘束されている。したがっ
て、本実施例の支持体は、穴部５と嵌合し一端に支持し
ている磁石６をスタンパ２の着脱方向に摺動可能とす
る、支持片７と昇降部９とから構成されると言える。

【００１２】上記の構成によって、支持片７の支持片付
勢ばね８によるスタンパ２に近づく方向への移動が、昇
降部９の位置によって規制されるようになっている。一
方、ガイド部としての昇降部９には、その上面がターン
テーブル４の半径方向に関して傾斜する傾斜面１１が有
り、該傾斜面１１の高さはターンテーブルの円周方向に
関して同一であるような円筒状のガイド部位１２が有
る。

【００１３】また、スピンドルモータ３付近には、ター
ンテーブル４の半径方向へ往復動可能であるように直動
部材１３が設けられる。そして、直動部材１３の一部が
半径方向に突出し形成された接触片１４が、ガイド部位
１２の傾斜面１１と接触(当接)する。なお、この当接
は、後述するようにターンテーブル４の回転が停止した
ときに行われる。すなわち、直動部材１３はターンテー
ブル４の回転領域外にあって、当該ターンテーブル４の
回転が停止したときに直動部材１３が移動し、回転領域
内に入るものであると言える。

【００１４】直動部材１３は、直動部材１３を支持する
支持軸１５によって支持されると共に、ターンテーブル
４の半径方向に、直動部材１３を移動させる駆動部とし
ての駆動モータ１６によって往復動させられる。したが
って、直動部は直動部材１３と支持軸１５とから構成さ
れる。また、直動部材１３の位置を検出する位置検出ス
イッチ３１，３２によって、直動部材１３がスピンドル
モータ３に最も近づいた場合と、最も離れた場合の位置
が検出される。

【００１５】スタンパ２の再生を行う光学式ピックアッ
プ１８は、スライドメカベース２０上に設けられたスラ
イド軸１９によって、ターンテーブル４の半径方向への
移動が可能であるように支持されており、該スライドメ
カベース２０は、スタンパ２のターンテーブル４からの
着脱時には、スライドメカ移動機構(図示せず)によって
ターンテーブル４の外側方向へ移動するようになってい
る。また、スタンパ２の再生時には、光学式ピックアッ
プ１８はスタンパ２の記録領域の最内周に移動し、ピッ
クアップの移動が完了したことを検出する内周スイッチ
２１が設けられている。

【００１６】以上を要約すれば、スタンパ２を保持する
金型原盤保持装置は、スタンパ２を載置するターンテー
ブル４と、該ターンテーブル４と共に回転し、スタンパ
２を保持する保持力を維持する保持力維持手段と、ター
ンテーブル４の回転領域外にあって、ターンテーブル４
の回転が停止したときに回転領域内に入り、保持力維持
手段の保持力を減少させる保持力減少手段とを備えるも
のであると言える。

【００１７】次に、本発明による金型原盤保持装置の制
御系を使用した機構系の動作について、図１，図４およ
び図５を同時に参照して説明する。図５は、本発明によ
る一実施例の金型原盤保持装置の制御法を示すブロック
図である。スタンパ２をターンテーブル４へ装着する前
には、金型原盤保持装置は図１のような状態となってお
り、直動部材１３はスピンドルモータ３に最も近づいた
位置にあり、システムコントローラ３０が位置検出スイ
ッチ３１により位置を検出している。

【００１８】また、直動部材１３の接触片１４が、ガイ
ド部位１２の傾斜面１１と当接して昇降部９(のガイド
部位１２)をターンテーブル４に対して下降させること
によって、昇降部９に拘束されている支持片７は、ター
ンテーブル４に対して下方向に引張される。このとき、
支持片付勢ばね８は圧縮される。また、磁石６は、支持
片案内溝５によって案内される支持片７と共に、下方向
に移動させられる。 このとき、スライドメカベース２
０は、スライドメカ移動機構(図示していない機構)によ
りターンテーブル４の外側方向に移動させられている。

【００１９】スタンパ２がターンテーブル４上面に載置
された後には、図１の状態から図４の状態に移行する。
このとき、スライドメカベース２０は、スライドメカ移
動機構によりターンテーブル４の内側方向へ移動させら
れる。そして、操作キー４０により再生が命令される
と、システムコントローラ３０は、スライドモータ３５
を制御しスタンパ２の記録領域の最内周に光学式ピック
アップ１８を移動させ、内周スイッチ２１は、その移動
を確認する。

【００２０】次に、システムコントローラ３０は、レー
ザ駆動回路(図示していない回路)に基づいて、光学式ピ
ックアップ１８が発光するレーザ光を利用して信号再生
回路３６によってスタンパ２がターンテーブル４上面に
装着されていることを確認する。そして、システムコン
トローラ３０は、直動部材１３を駆動モータ１６によっ
てスピンドルモータ３から離れる外側方向に徐々に移動
させる。直動部材１３が移動すると、接触片１４がガイ
ド部位１２の傾斜面１１から徐々に離れる。即ち、直動
部材１３は、ターンテーブル４の回転領域外に離れると
言える。

【００２１】離れると、昇降部９や支持片７が、支持片
付勢ばね８によって、ターンテーブル４に対して上昇
し、従って、磁石６も上昇し、スタンパ２に対し磁石６
の吸着力が働き始める。すなわち、磁石６はスタンパ２
を保持するスタンパ２の着方向に移動させられる。さら
に、図４のように直動部材１３が、スピンドルモータ３
から最も離れる位置に移動させられると、接触片１４と
傾斜面１１との当接がなくなる。このように、直動部材
１３がターンテーブル４の回転領域外に完全に離れるこ
とにより、ターンテーブル４が回転可能になると共に、
磁石６がスタンパ２を完全に吸着する。すなわち、ター
ンテーブル４と共に回転しても、スタンパ２を保持する
保持力が維持される。そして、システムコントローラ３
０は、位置検出スイッチ３２により、直動部材１３の位
置を確認した後、スタンパ２の再生動作を実行する。

【００２２】一方、再生後にスタンパ２を金型原盤保持
装置のターンテーブル４から取外す(磁石６はスタンパ
２を取外すスタンパ２の脱方向に移動させられる)とき
には、システムコントローラ３０は、スピンドルモータ
３の駆動電圧をスピンドルモータサーボ回路３７を介し
て検出することにより、ターンテーブル４が停止してい
ることを確認した後、直動部材１３をスピンドルモータ
３に近づく方向に移動させる。すなわち、直動部材１３
は、ターンテーブル４の回転が停止したときにターンテ
ーブル４の回転領域内に入ることになる。

【００２３】そして、装着するときの逆動作が行われ、
ターンテーブル４に載置されているスタンパ２に対する
磁石６の吸着力が解除された後に、すなわち、保持力維
持手段としての磁石６の保持力を減少させた後に、スラ
イドメカベース２０は、スライドメカ移動機構によって
ターンテーブル４の外側方向へ移動させられ、スタンパ
２を金型原盤保持装置のターンテーブル４から取外すこ
とができる。以上の構成と動作を有する金型原盤保持装
置によって、小型で、かつ、金型原盤に損傷を与えず確
実に固定する金型原盤保持装置が提供される。

【００２４】ところで、図１の実施例は、磁石６として
永久磁石を採用したが、摺動スリップを設ければ回転体
に電気を供給することができるので、永久磁石の代わり
に電磁石を用いる他の実施例の金型原盤保持装置が成立
する。例えばすなわち、保持力維持手段は、ターンテー
ブル４に設けられ保持力としての磁気吸着力を有する電
磁石と、一方の回転摺動電気接続部を有し該一方の回転
摺動接続部からターンテーブル４と共に回転している電
磁石に電気を供給する電気供給部とから構成されるもの
である。そして、保持力減少手段は、一方の回転摺動電
気接続部と摺動接続している他方の回転摺動電気接続部
と、ターンテーブル４の回転が停止したときに、電気供
給部への電気の供給を停止するまたは減少する電気供給
停止部とから構成されるものである。

【００２５】この場合は、ターンテーブルの回転領域外
にあって、ターンテーブルの回転が停止したときに回転
領域内に入る構成ではなく、保持力減少手段(の他方の
回転摺動電気接続部)は、最初からターンテーブルの回
転領域内にある。なお、これらの構成は、当業者であれ
ば、図示しなくても容易に実施可能であり、図による説
明は割愛する。そして、上記の他の実施例においても、
図１の実施例と同様の効果が得られることは明らかであ
る。

【００２６】一方、本発明において、図１における支持
片７とストッパ７ａとをねじ部などで螺設する構造と
し、ターンテーブル４に載置されたスタンパ２と支持片
案内溝５内の磁石６との間隔を該ねじ部で調節する構成
にすれば、磁石６のスタンパ２を吸着する力を可変する
ことができる。この構成によって、該間隔をスタンパ２
の内周部で遠く外周部で近くし、該吸着力をスタンパ２
の面積が狭い内周部で弱く広い外周部で強くし、すなわ
ち、スタンパ２の面積に応じて磁石６の吸着力を可変し
て、吸着力の均一化を図ることができる。勿論、磁石６
の数や大きさをスタンパ２の内周部で少・大とし、外周
部で多・小としても吸着力の均一化を図ることができ
る。

【００２７】

【発明の効果】以上のように本発明は、光ディスク用ス
タンパ検査装置の金型原盤保持装置において、装着の際
にスタンパが変形することがなく、面精度よく保持が行
えるような機構を、エアーバキュームチャッキングでは
なく、マグネット吸着によって行うことができるため、
スタンパ保持精度と着脱操作性を維持しつつ金型原盤保
持装置の簡素化と小型化を実現することができる効果を
有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による一実施例の金型原盤保持装置を示
す断面図である。

【図２】図１のターンテーブルを示す平面図である。

【図３】図１の昇降部を示す平面図である。

【図４】図１の金型原盤保持装置のスタンパを保持した
ターンテーブルの回転時の状態を示す示す断面図であ
る。

【図５】本発明による一実施例の金型原盤保持装置の制
御法を示すブロック図である。

【符号の説明】

２…スタンパ、３…スピンドルモータ、４…ターンテー
ブル、５…支持片案内溝、４ａ…外周円筒状側面、５
ａ，５ｂ…穴部、６…磁石、７…支持片、７ａ…ストッ
パ、８…支持片付勢ばね、９…昇降部、１０…止め穴、
１１…傾斜面、１２…ガイド部位、１３…直動部材、１
４…接触片、１５…支持軸、１６…駆動モータ、１８…
光学式ピックアップ、１９…スライド軸、２０…スライ
ドメカベース、２１…内周スイッチ、３０…システムコ
ントローラ、３１，３２…位置検出スイッチ、３５…ス
ライドモータ、３６…信号再生回路、３７…スピンドル
サーボ回路、４０…操作キー、４１…スライドサーボ回
路、４２…ピックアップサーボ回路。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光ディスク用金型原盤を保持する金型原盤
   保持装置において、 前記光ディスク用金型原盤を載置するターンテーブル
   と、 該ターンテーブルと共に回転し、前記光ディスク用金型
   原盤を保持する保持力を維持する保持力維持手段と、 前記ターンテーブルの回転が停止したときに、前記保持
   力維持手段の前記保持力を減少させる保持力減少手段と
   を備えたことを特徴とする金型原盤保持装置。
2. 【請求項２】請求項１において、前記保持力維持手段
   は、前記ターンテーブルに設けられた穴部と、該穴部に
   配設されていて前記保持力としての磁気吸着力を有する
   永久磁石と、 前記穴部と嵌合し、一端に支持している該永久磁石を前
   記光ディスク用金型原盤の着脱方向に摺動可能とする支
   持体と、 前記永久磁石が前記磁気吸着力を発揮し前記光ディスク
   用金型原盤を保持する着方向に該支持体を付勢する弾性
   体とから構成され、 前記保持力減少手段は、前記弾性体に抗して前記支持体
   を脱方向に駆動する駆動体から構成されることを特徴と
   する金型原盤保持装置。
3. 【請求項３】請求項２において、前記支持体は、前記永
   久磁石を一端で支持し他端が拘束されている支持片と、 前記支持片の他端と連接し前記支持片を拘束し、前記タ
   ーンテーブルの半径方向に傾斜面を有する略円錐台形状
   のガイド部とから成り、 前記駆動体は、前記ガイド部の傾斜面に当接して前記半
   径方向に往復摺動し、 前記弾性体により上方向に付勢されている前記支持片と
   前記ガイド部とを、前記ターンテーブルに近づくにつれ
   降下させ、前記ターンテーブルから遠ざかるにつれ緩や
   かに上昇させる直動部と、 該直動部を往復摺動する駆動部とからなることを特徴と
   する金型原盤保持装置。
4. 【請求項４】請求項１において、前記保持力維持手段
   は、前記ターンテーブルに設けられ前記保持力としての
   磁気吸着力を有する電磁石と、一方の回転摺動電気接続
   部を有し、該一方の回転摺動接続部から前記ターンテー
   ブルと共に回転している前記電磁石に電気を供給する電
   気供給部とから構成され、 前記保持力減少手段は、前記一方の回転摺動電気接続部
   と摺動接続している他方の回転摺動電気接続部と、前記
   ターンテーブルの回転が停止したときに前記電気供給部
   への電気の供給を停止するまたは減少する電気供給停止
   部とから構成されることを特徴とする金型原盤保持装
   置。