JPH09243986A - 空間光変調装置およびそれを用いた表示装置 - Google Patents
空間光変調装置およびそれを用いた表示装置Info
- Publication number
- JPH09243986A JPH09243986A JP8055696A JP5569696A JPH09243986A JP H09243986 A JPH09243986 A JP H09243986A JP 8055696 A JP8055696 A JP 8055696A JP 5569696 A JP5569696 A JP 5569696A JP H09243986 A JPH09243986 A JP H09243986A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- layer
- spatial
- wavelength
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造容易な白色光の読み出しに対応する空間
光変調装置を得る。 【解決手段】 空間光変調装置の光反射層１３を、特定
波長光を反射する多重積層薄膜反射鏡３０、３１を複数
個組み合わせて構成する。
光変調装置を得る。 【解決手段】 空間光変調装置の光反射層１３を、特定
波長光を反射する多重積層薄膜反射鏡３０、３１を複数
個組み合わせて構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光によって情報を
書き込み、プロジェクターや動画、静止画のアナログ並
列処理を行う、空間光変調装置およびそれを用いた表示
装置に関するものである。
書き込み、プロジェクターや動画、静止画のアナログ並
列処理を行う、空間光変調装置およびそれを用いた表示
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光によって情報の書き込みを行う空間光
変調装置としては、従来、例えばオプティクス・レタ
ー、１９９１年、Ｖｏｌ．１６、７６４〜７６６頁や、
アイ・イー・イー・イー・トランザクション・オン・エ
レクトロン・デバイシズ１９８９年、Ｖｏｌ．３６、２
９５９〜２９６４頁に公表されている。図３に従来技術
による空間光変調装置の断面構造概略図を示す。透光性
電極１１、ａ−Ｓｉ：Ｈからなる光導電膜１２、多重積
層薄膜からなる光反射層１３、液晶からなる光変調層１
４、透光性電極１１を、２枚のガラス基板１０により挟
んだ構造をしている。
変調装置としては、従来、例えばオプティクス・レタ
ー、１９９１年、Ｖｏｌ．１６、７６４〜７６６頁や、
アイ・イー・イー・イー・トランザクション・オン・エ
レクトロン・デバイシズ１９８９年、Ｖｏｌ．３６、２
９５９〜２９６４頁に公表されている。図３に従来技術
による空間光変調装置の断面構造概略図を示す。透光性
電極１１、ａ−Ｓｉ：Ｈからなる光導電膜１２、多重積
層薄膜からなる光反射層１３、液晶からなる光変調層１
４、透光性電極１１を、２枚のガラス基板１０により挟
んだ構造をしている。
【０００３】本装置では上記２枚の透光性電極１１の間
に電圧を印加し、光導電膜に書き込み光２０を入射し、
その光強度に応じて装置の反対側から入射する読み出し
光２１の反射率を変化させ、出力光２２を得る。すなわ
ち、書き込み光２０が光導電膜１２に入射すると、光電
流が流れ上記光導電膜１２の抵抗値が下がるので、上記
光導電膜１２と電気的に直列に接続された液晶からなる
光変調層１４にかかる電圧が変調される。読み出し光２
１は光変調層１４に入射し光反射層１３で反射され、ふ
たたび光変調層１４を通り出力光２２となる。このと
き、光変調層１４は印加される電圧に応じて読み出し光
の位相、偏光方向または振幅を変調するので、出力光２
２は書き込み光２０に応じて変調される。
に電圧を印加し、光導電膜に書き込み光２０を入射し、
その光強度に応じて装置の反対側から入射する読み出し
光２１の反射率を変化させ、出力光２２を得る。すなわ
ち、書き込み光２０が光導電膜１２に入射すると、光電
流が流れ上記光導電膜１２の抵抗値が下がるので、上記
光導電膜１２と電気的に直列に接続された液晶からなる
光変調層１４にかかる電圧が変調される。読み出し光２
１は光変調層１４に入射し光反射層１３で反射され、ふ
たたび光変調層１４を通り出力光２２となる。このと
き、光変調層１４は印加される電圧に応じて読み出し光
の位相、偏光方向または振幅を変調するので、出力光２
２は書き込み光２０に応じて変調される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、高い反
射率を得るためと、解像度劣化を防止するため、光反射
層として多重積層薄膜を用いている。読み出し光として
レーザ光等の単色光源を用い、その発光波長は光反射層
における反射率のピーク波長が読み出し光の波長と一致
するように設計している。しかし、多重積層薄膜では特
定波長以外の光に対する反射率は極めて低い。すなわ
ち、可視光の全波長領域において良好な反射率を有して
いない。このため、読み出し光を白色光とした場合には
その一部が光反射層を透過するため、出力光は十分な強
度とならず、また、白色の出力光が得られなかった。ま
た、光反射層を透過した光は光導電膜に漏れ込み光電流
を発生する。このようにして発生した光電流は、書き込
みに対してのノイズ成分となり、空間光変調装置のＳＮ
比やコントラスト比を低下させる原因となっていた。こ
のため上記従来技術による空間光変調装置では、読み出
し光として白色光を使用することはできなかった。白色
光の読み出しに対応した空間光変調装置としては、光反
射層として画素ごとに分割した金属材料を用いた素子が
特開平０５−１７３１７０に開示されている。しかしな
がら、本素子は構造が複雑であるため製造が容易でない
という問題があった。
射率を得るためと、解像度劣化を防止するため、光反射
層として多重積層薄膜を用いている。読み出し光として
レーザ光等の単色光源を用い、その発光波長は光反射層
における反射率のピーク波長が読み出し光の波長と一致
するように設計している。しかし、多重積層薄膜では特
定波長以外の光に対する反射率は極めて低い。すなわ
ち、可視光の全波長領域において良好な反射率を有して
いない。このため、読み出し光を白色光とした場合には
その一部が光反射層を透過するため、出力光は十分な強
度とならず、また、白色の出力光が得られなかった。ま
た、光反射層を透過した光は光導電膜に漏れ込み光電流
を発生する。このようにして発生した光電流は、書き込
みに対してのノイズ成分となり、空間光変調装置のＳＮ
比やコントラスト比を低下させる原因となっていた。こ
のため上記従来技術による空間光変調装置では、読み出
し光として白色光を使用することはできなかった。白色
光の読み出しに対応した空間光変調装置としては、光反
射層として画素ごとに分割した金属材料を用いた素子が
特開平０５−１７３１７０に開示されている。しかしな
がら、本素子は構造が複雑であるため製造が容易でない
という問題があった。
【０００５】本発明は、製造が容易な白色光の読み出し
に対応した空間光変調装置を得ることを目的とする。
に対応した空間光変調装置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、少なくとも
一対の透光性電極の間に光変調層と光反射層、光導電膜
を有し、該光導電膜に入射する書き込み光に応じて、上
記光変調層に入射する読み出し光に対する反射率を変調
する空間光変調装置において、上記光反射層が特定波長
光を反射する多重積層薄膜反射鏡を複数個組み合わせて
構成することにより達成できる。
一対の透光性電極の間に光変調層と光反射層、光導電膜
を有し、該光導電膜に入射する書き込み光に応じて、上
記光変調層に入射する読み出し光に対する反射率を変調
する空間光変調装置において、上記光反射層が特定波長
光を反射する多重積層薄膜反射鏡を複数個組み合わせて
構成することにより達成できる。
【０００７】上記光反射層は、ほとんどの可視波長領域
の光を反射する多重積層薄膜であり、また、特定波長光
を反射する多重積層反射鏡を３個以上組合わせることに
より、さらにまた、複数の多重積層薄膜反射鏡から反射
する特定波長のうち、短波長の反射鏡が読み出し側から
配列されていることにより達成される。
の光を反射する多重積層薄膜であり、また、特定波長光
を反射する多重積層反射鏡を３個以上組合わせることに
より、さらにまた、複数の多重積層薄膜反射鏡から反射
する特定波長のうち、短波長の反射鏡が読み出し側から
配列されていることにより達成される。
【０００８】さらにまた、光導電層と書き込み光の光源
との間にフィルタまたは遮光膜を具備し、光反射層が反
射しない波長の光の一部を、吸収または反射することに
よって達成される。
との間にフィルタまたは遮光膜を具備し、光反射層が反
射しない波長の光の一部を、吸収または反射することに
よって達成される。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明による空間光変調装
置の断面を示す構造の概略図である。本装置は透光性電
極１１、光導電膜１２、光反射層１３、光変調層１４、
透光性電極１１を２枚のガラス基板１０により挟んだ構
造を有している。そして、光反射層１３は反射中心波長
をλ1＝４５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３０、λ2
＝５５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３１、λ3＝６
５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３２を組み合わせて
構成されている。従来技術による空間光変調装置におい
て、光反射層の分光反射率は図２の破線で示すように単
色読み出し光のわずか近傍を覆うだけであった。これに
対し本発明による空間光変調器の光反射層は、図２の実
線で示すように全ての可視光領域において良好な反射率
を有している。したがって、読み出し光として白色光を
用いた場合でも、十分な強度を有する白色の出力光を得
ることができる。
置の断面を示す構造の概略図である。本装置は透光性電
極１１、光導電膜１２、光反射層１３、光変調層１４、
透光性電極１１を２枚のガラス基板１０により挟んだ構
造を有している。そして、光反射層１３は反射中心波長
をλ1＝４５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３０、λ2
＝５５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３１、λ3＝６
５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３２を組み合わせて
構成されている。従来技術による空間光変調装置におい
て、光反射層の分光反射率は図２の破線で示すように単
色読み出し光のわずか近傍を覆うだけであった。これに
対し本発明による空間光変調器の光反射層は、図２の実
線で示すように全ての可視光領域において良好な反射率
を有している。したがって、読み出し光として白色光を
用いた場合でも、十分な強度を有する白色の出力光を得
ることができる。
【００１０】光反射層を構成する多重積層薄膜反射鏡
は、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ａ−Ｓｉ、ＺｎＯ2、ＺｎＳ
ｅ、ＴｈＦ4、Ａｓ2Ｓ3等の中の、少なくとも屈折率が
異なる２種類の材料を周期的に積層することによって得
られる。ここで反射中心波長をλ0とする反射鏡を形成
するためには、屈折率をｎ1、ｎ2とする２種類の薄膜の
膜厚をｄ1＝λ0／４ｎ1、ｄ2＝λ0／４ｎ2として、数層
以上周期的に積層すればよい。
は、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ａ−Ｓｉ、ＺｎＯ2、ＺｎＳ
ｅ、ＴｈＦ4、Ａｓ2Ｓ3等の中の、少なくとも屈折率が
異なる２種類の材料を周期的に積層することによって得
られる。ここで反射中心波長をλ0とする反射鏡を形成
するためには、屈折率をｎ1、ｎ2とする２種類の薄膜の
膜厚をｄ1＝λ0／４ｎ1、ｄ2＝λ0／４ｎ2として、数層
以上周期的に積層すればよい。
【００１１】このようにして得られる多重積層薄膜反射
鏡は単体では高い反射率を有する波長領域が、可視光の
全波長領域を覆うには必ずしも十分ではなかった。した
がって、中心波長が５０ｎｍ〜２００ｎｍ程度離れた複
数の多重積層反射鏡を組み合わせて用いると、可視光の
ほとんどの波長領域に対して良好な反射特性が得られ
る。さらに３つ以上の組み合わせるとさらに良好にな
る。
鏡は単体では高い反射率を有する波長領域が、可視光の
全波長領域を覆うには必ずしも十分ではなかった。した
がって、中心波長が５０ｎｍ〜２００ｎｍ程度離れた複
数の多重積層反射鏡を組み合わせて用いると、可視光の
ほとんどの波長領域に対して良好な反射特性が得られ
る。さらに３つ以上の組み合わせるとさらに良好にな
る。
【００１２】一般に多重積層薄膜反射鏡を構成する薄膜
は可視光の一部を吸収する。その吸収率は短波長ほど大
きい。したがって、上記光反射鏡を構成する複数の多重
積層薄膜反射鏡は、その反射中心波長が短いものから読
み出し光入射側に配列すると、光反射層における光の吸
収が最小となり好適である。
は可視光の一部を吸収する。その吸収率は短波長ほど大
きい。したがって、上記光反射鏡を構成する複数の多重
積層薄膜反射鏡は、その反射中心波長が短いものから読
み出し光入射側に配列すると、光反射層における光の吸
収が最小となり好適である。
【００１３】また、上記のような可視光全域にわたって
良好な反射率を有する光反射層を形成しても、主に紫外
光や赤外光からなる反射率が低い領域の光は透過する。
透過した光の一部は光導電層に吸収されて書き込み光の
ノイズ成分となり、空間光変調器のＳＮ比やコントラス
ト比を低下させる原因となる。このような波長の光成分
は光導電層と書き込み光の光源の間にフィルターを設け
て、光反射層が反射しない波長の光の少なくとも一部を
吸収することで抑制できる。または、光導電層と書き込
み光の光源の間に遮光膜を設けて、光反射層が反射しな
い波長の光の少なくとも一部を反射することで抑制でき
る。これら光は主に紫外光または赤外光であり、人の目
は感度を有さない。したがって、これらの光成分を除外
しても出力光強度は影響されない。フィルターまたは遮
光膜を設ける位置は装置外の読み出し光の光路上、読み
出し光入射側基板上、光反射層を構成する薄膜、光反射
鏡と光導電膜の間のいずれに設置してもよい。
良好な反射率を有する光反射層を形成しても、主に紫外
光や赤外光からなる反射率が低い領域の光は透過する。
透過した光の一部は光導電層に吸収されて書き込み光の
ノイズ成分となり、空間光変調器のＳＮ比やコントラス
ト比を低下させる原因となる。このような波長の光成分
は光導電層と書き込み光の光源の間にフィルターを設け
て、光反射層が反射しない波長の光の少なくとも一部を
吸収することで抑制できる。または、光導電層と書き込
み光の光源の間に遮光膜を設けて、光反射層が反射しな
い波長の光の少なくとも一部を反射することで抑制でき
る。これら光は主に紫外光または赤外光であり、人の目
は感度を有さない。したがって、これらの光成分を除外
しても出力光強度は影響されない。フィルターまたは遮
光膜を設ける位置は装置外の読み出し光の光路上、読み
出し光入射側基板上、光反射層を構成する薄膜、光反射
鏡と光導電膜の間のいずれに設置してもよい。
【００１４】光導電材料としては、比較的大きな面積で
一様な特性を有する薄膜の形成が比較的容易で、可視光
領域において吸収係数が大きいａ−Ｓｉ：Ｈやａ−Ｓｅ
を主体とした非晶質材料や、Ｓｉ、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、
ＣｄＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＣｕＩｎ
Ｓ2、ＣｕＩｎＳｅ2、ＣｕＧａＳ2、ＣｕＧａＳｅ2等の
光導電材料を主体とする多結晶材料が好ましい。このよ
うな光導電材料はある特定の波長より短波長の光は吸収
するが、長波長の光は吸収しない。この境界の波長を光
学ギャップと呼ぶ。光学ギャップが可視光領域にある光
導電材料では紫外光を吸収し光電流を生成するが、赤外
光が入射された場合には吸収されない。したがって、こ
の場合には上記フィルターまたは遮光膜により除外する
光成分を紫外光に対してのみ行えば、読み出し光の光導
電膜への漏れ込みによる光電流のノイズ成分に抑制効果
が得られ、装置のＳＮ比とコントラスト比を向上する。
一様な特性を有する薄膜の形成が比較的容易で、可視光
領域において吸収係数が大きいａ−Ｓｉ：Ｈやａ−Ｓｅ
を主体とした非晶質材料や、Ｓｉ、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、
ＣｄＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＣｕＩｎ
Ｓ2、ＣｕＩｎＳｅ2、ＣｕＧａＳ2、ＣｕＧａＳｅ2等の
光導電材料を主体とする多結晶材料が好ましい。このよ
うな光導電材料はある特定の波長より短波長の光は吸収
するが、長波長の光は吸収しない。この境界の波長を光
学ギャップと呼ぶ。光学ギャップが可視光領域にある光
導電材料では紫外光を吸収し光電流を生成するが、赤外
光が入射された場合には吸収されない。したがって、こ
の場合には上記フィルターまたは遮光膜により除外する
光成分を紫外光に対してのみ行えば、読み出し光の光導
電膜への漏れ込みによる光電流のノイズ成分に抑制効果
が得られ、装置のＳＮ比とコントラスト比を向上する。
【００１５】光変調層としてはネマティック液晶や強誘
電性液晶等の液晶材料がいずれも使用可能である。
電性液晶等の液晶材料がいずれも使用可能である。
【００１６】
第１実施例 本発明による空間光変調装置の断面構造概略図を図１に
示す。まず、ガラス基板１０の上にＩＴＯからなる透光
性電極１１をスパッタリング法によって１００ｎｍ堆積
する。この上にＰを添加したａ−Ｓｉ：Ｈを１０ｎｍ、
無添加のａ−Ｓｉ：Ｈを５μｍ、Ｂを添加したａ−Ｓ
ｉ：Ｈを１０ｎｍ順次積層して光導電膜１２を得る。こ
の上にＳｉＯ2を７５．０ｎｍとＴｉＯ2を４８．９ｎｍ
スパッタリング法により交互に１０層堆積して、反射中
心波長をλ1＝４５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３
０を得る。さらにこの上にＳｉＯ2を９１．７ｎｍとＴ
ｉＯ2を５９．８ｎｍスパッタリング法により交互に１
０層堆積して、反射中心波長をλ1＝５５０ｎｍとする
多重積層薄膜反射鏡３１を得る。この上にＳｉＯ2を１
０８．３ｎｍとＴｉＯ2を７０．７ｎｍスパッタリング
法により交互に１０層堆積して、反射中心波長をλ1＝
６５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３２を得る。この
３組の多重積層薄膜反射鏡により光反射層１３を形成す
る。そしてこの上に配向膜１６を堆積する。一方、もう
１枚のガラス基板１０の上にＩＴＯからなる透光性電極
１１を１００ｎｍスパッタリング法によって堆積し、さ
らに配向膜１６を堆積する。両者をスペーサー１７を介
して貼り合わせ、ネマチック液晶を注入して空間光変調
装置を得る。
示す。まず、ガラス基板１０の上にＩＴＯからなる透光
性電極１１をスパッタリング法によって１００ｎｍ堆積
する。この上にＰを添加したａ−Ｓｉ：Ｈを１０ｎｍ、
無添加のａ−Ｓｉ：Ｈを５μｍ、Ｂを添加したａ−Ｓ
ｉ：Ｈを１０ｎｍ順次積層して光導電膜１２を得る。こ
の上にＳｉＯ2を７５．０ｎｍとＴｉＯ2を４８．９ｎｍ
スパッタリング法により交互に１０層堆積して、反射中
心波長をλ1＝４５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３
０を得る。さらにこの上にＳｉＯ2を９１．７ｎｍとＴ
ｉＯ2を５９．８ｎｍスパッタリング法により交互に１
０層堆積して、反射中心波長をλ1＝５５０ｎｍとする
多重積層薄膜反射鏡３１を得る。この上にＳｉＯ2を１
０８．３ｎｍとＴｉＯ2を７０．７ｎｍスパッタリング
法により交互に１０層堆積して、反射中心波長をλ1＝
６５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３２を得る。この
３組の多重積層薄膜反射鏡により光反射層１３を形成す
る。そしてこの上に配向膜１６を堆積する。一方、もう
１枚のガラス基板１０の上にＩＴＯからなる透光性電極
１１を１００ｎｍスパッタリング法によって堆積し、さ
らに配向膜１６を堆積する。両者をスペーサー１７を介
して貼り合わせ、ネマチック液晶を注入して空間光変調
装置を得る。
【００１７】本装置を書き込み光入射側の透光性電極１
１を負にバイアスして使用する。そして読み出し光とし
て白色光を用いると、可視の全波長領域にわたって良好
な光変調が行われる。本装置を例えば図５に示すように
読み出し用白色光源やビームスプリッターと組み合わせ
ると、出力光を得るための光学系を形成することがで
き、このとき紫外光を吸収するフィルター１５を読み出
し光の入射光路上に設けると、光導電膜に漏れ込む紫外
光成分が抑制され、装置のＳＮ比およびコントラスト比
が向上する。この紫外光を吸収するフィルターは、また
紫外光を反射する遮光板であってもよい。
１を負にバイアスして使用する。そして読み出し光とし
て白色光を用いると、可視の全波長領域にわたって良好
な光変調が行われる。本装置を例えば図５に示すように
読み出し用白色光源やビームスプリッターと組み合わせ
ると、出力光を得るための光学系を形成することがで
き、このとき紫外光を吸収するフィルター１５を読み出
し光の入射光路上に設けると、光導電膜に漏れ込む紫外
光成分が抑制され、装置のＳＮ比およびコントラスト比
が向上する。この紫外光を吸収するフィルターは、また
紫外光を反射する遮光板であってもよい。
【００１８】第２実施例 本発明による空間光変調装置の他の断面構造概略図を図
４に示す。まず、ガラス基板１０の上にＩＴＯからなる
透光性電極１１をスパッタリング法によって１００ｎｍ
堆積する。この上にａ−Ｓｅからなる光導電膜１２を５
μｍ蒸着法によって堆積する。この上にＳｉＯ2を７
５．０ｎｍとＴｉＯ2を４８．９ｎｍスパッタリング法
により交互に１０層堆積して反射中心波長がλ1＝４５
０ｎｍの多重積層薄膜反射鏡３０を得る。この上にＳｉ
Ｏ2を１０８．３ｎｍとＴｉＯ2を７０．７ｎｍスパッタ
リング法により交互に１０層堆積して反射中心波長をλ
1＝６５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３１を得る。
この２組の多重積層薄膜反射鏡により光反射層１３を形
成し、この上に配向膜１６を堆積する。一方、もう１枚
のガラス基板１０の上にＩＴＯからなる透光性電極１１
をスパッタリング法によって１００ｎｍ堆積し、さらに
配向膜１６を堆積する。そして、その反射面に紫外線を
吸収するフィルター１５を堆積する。両者をスペーサー
１７を介して貼り合わせ、強誘電性液晶を注入して光変
調層１４を設け、空間光変調装置を得る。
４に示す。まず、ガラス基板１０の上にＩＴＯからなる
透光性電極１１をスパッタリング法によって１００ｎｍ
堆積する。この上にａ−Ｓｅからなる光導電膜１２を５
μｍ蒸着法によって堆積する。この上にＳｉＯ2を７
５．０ｎｍとＴｉＯ2を４８．９ｎｍスパッタリング法
により交互に１０層堆積して反射中心波長がλ1＝４５
０ｎｍの多重積層薄膜反射鏡３０を得る。この上にＳｉ
Ｏ2を１０８．３ｎｍとＴｉＯ2を７０．７ｎｍスパッタ
リング法により交互に１０層堆積して反射中心波長をλ
1＝６５０ｎｍとする多重積層薄膜反射鏡３１を得る。
この２組の多重積層薄膜反射鏡により光反射層１３を形
成し、この上に配向膜１６を堆積する。一方、もう１枚
のガラス基板１０の上にＩＴＯからなる透光性電極１１
をスパッタリング法によって１００ｎｍ堆積し、さらに
配向膜１６を堆積する。そして、その反射面に紫外線を
吸収するフィルター１５を堆積する。両者をスペーサー
１７を介して貼り合わせ、強誘電性液晶を注入して光変
調層１４を設け、空間光変調装置を得る。
【００１９】本装置は書き込み光入射側の透光性電極１
１を書き込み時に正にバイアスして使用する。本装置
は、可視光全域にわたる反射特性が第１実施例に比して
劣るが、光反射層は膜厚が比較的薄いため、この部分に
おける電圧降下が少ない。したがって、光変調層の駆動
にとっては好適である。また、本実施例において紫外光
を吸収するためのフィルターは、紫外光を反射するため
の遮光膜であってもよい。しかし、発熱のおそれがある
ので、遮光膜よりフィルターの方が好ましい。
１を書き込み時に正にバイアスして使用する。本装置
は、可視光全域にわたる反射特性が第１実施例に比して
劣るが、光反射層は膜厚が比較的薄いため、この部分に
おける電圧降下が少ない。したがって、光変調層の駆動
にとっては好適である。また、本実施例において紫外光
を吸収するためのフィルターは、紫外光を反射するため
の遮光膜であってもよい。しかし、発熱のおそれがある
ので、遮光膜よりフィルターの方が好ましい。
【００２０】第３実施例 本発明の上記実施例から空間光変調装置を用いた表示装
置の一例として、プロジェクターシステムを図６に示
す。ブラウン管から発せられる画像信号を、本発明の空
間光変調装置の光導電層側からレンズを介して入力す
る。すると、画像信号に応じて空間光変調装置の反対側
の面の反射率が変調される。本装置をビームスプリッタ
ープリズムを組み合わせて構成することにより、光によ
って情報を書き込み、プロジェクターや動画、静止画の
アナログ並列処理を行う空間光変調装置において、白色
光読み出しを可能にし、また、読み出し光の光導電膜へ
の漏れ込みに起因するノイズ成分を抑制し、空間光変調
装置のＳＮ比やコントラスト比を高めるものである。
置の一例として、プロジェクターシステムを図６に示
す。ブラウン管から発せられる画像信号を、本発明の空
間光変調装置の光導電層側からレンズを介して入力す
る。すると、画像信号に応じて空間光変調装置の反対側
の面の反射率が変調される。本装置をビームスプリッタ
ープリズムを組み合わせて構成することにより、光によ
って情報を書き込み、プロジェクターや動画、静止画の
アナログ並列処理を行う空間光変調装置において、白色
光読み出しを可能にし、また、読み出し光の光導電膜へ
の漏れ込みに起因するノイズ成分を抑制し、空間光変調
装置のＳＮ比やコントラスト比を高めるものである。
【００２１】
【発明の効果】本発明は光によって情報を書き込み、プ
ロジェクターや動画、静止画のアナログ並列処理を行な
う空間光変調装置において、白色光読み出しを可能にし
て、また読み出し光の光導電膜への漏れ込みに起因する
ノイズ成分を抑制し、空間光変調装置のＳＮ比やコント
ラスト比を高めるものである。
ロジェクターや動画、静止画のアナログ並列処理を行な
う空間光変調装置において、白色光読み出しを可能にし
て、また読み出し光の光導電膜への漏れ込みに起因する
ノイズ成分を抑制し、空間光変調装置のＳＮ比やコント
ラスト比を高めるものである。
【図１】本発明による空間光変調装置の断面構造概略図
である。
である。
【図２】光反射層の分光反射率である。
【図３】従来技術による空間光変調装置の断面構造概略
図である。
図である。
【図４】本発明による空間光変調装置の断面構造概略図
である。
である。
【図５】白色光源と組み合わせた空間光変調装置の出力
光を得るための光学系の例を示す図である。
光を得るための光学系の例を示す図である。
【図６】本発明の空間光変調装置を用いた表示装置の例
を示す図である。
を示す図である。
１１ 透光性電極 １２ 光導電膜 １３ 光反射層 １４ 光変調層 １５ フィルター ２０ 書き込み光 ２１ 読み出し光 ３０、３１ 多重積層薄膜反射鏡
Claims (8)
- 【請求項１】少なくとも一対の透光性電極の間に光変調
層と光反射層、光導電膜を有し、該光導電膜に入射する
書き込み光に応じて、上記光変調層に入射する読み出し
光に対する反射率を変調する空間光変調装置において、
上記光反射層が特定波長光を反射する多重積層薄膜反射
鏡を、複数個組み合わせて構成したことを特徴とする空
間光変調装置。 - 【請求項２】上記光反射層は、少なくともほとんどの可
視光波長領域の光を反射する多重層薄膜であることを特
徴とする請求項１記載の空間光変調装置。 - 【請求項３】上記光反射層は、特定波長光を反射する多
重積層薄膜反射鏡を、３個以上組み合わせて構成される
ことを特徴とする請求項１記載の空間光変調装置。 - 【請求項４】上記光反射層を構成する上記複数の多重層
薄膜反射鏡は、反射する特定波長が短波長である反射鏡
が、読み出し光側から順に配列されていることを特徴と
する請求項１または請求項３に記載の空間光変調装置。 - 【請求項５】上記光導電層は、書き込み光の光源の間に
フィルターを備え、光反射層が反射しない波長の光の少
なくとも一部を反射することを特徴とする請求項１から
請求項４のいずれかに記載した空間光変調装置。 - 【請求項６】上記光導電層は、書き込み光の光源の間に
遮光膜を備え、光反射層が反射しない波長の光の少なく
とも一部を吸収することを特徴とする請求項１から請求
項４のいずれかに記載した空間光変調装置。 - 【請求項７】上記反射しない波長の光は、紫外光である
ことを特徴とする請求項５または請求項６に記載の空間
光変調装置。 - 【請求項８】上記請求項１から請求項７のいずれか記載
した空間光変調装置を用いたことを特徴とする表示装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8055696A JPH09243986A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 空間光変調装置およびそれを用いた表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8055696A JPH09243986A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 空間光変調装置およびそれを用いた表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09243986A true JPH09243986A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=13006067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8055696A Pending JPH09243986A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 空間光変調装置およびそれを用いた表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09243986A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006285242A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-19 | Xerox Corp | 分布ブラッグ反射器システムおよび方法 |
-
1996
- 1996-03-13 JP JP8055696A patent/JPH09243986A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006285242A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-19 | Xerox Corp | 分布ブラッグ反射器システムおよび方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0772478A (ja) | 液晶表示装置 | |
| US5148298A (en) | Spatial light modulator | |
| US5272554A (en) | Liquid crystal light valve having a SiO2 /TiO2 dielectric mirror and a Si/SiO2 light blocking layer | |
| US4787713A (en) | Transparent laser-addressed liquid crystal light modulator cell | |
| US5467216A (en) | Spatial light modulation device | |
| WO2002073303A1 (en) | Optically addressed spatial light modulator (oaslm) with dielectric mirror comprising layers of amorphous hydrogenated carbon | |
| JPH09243986A (ja) | 空間光変調装置およびそれを用いた表示装置 | |
| JPS63253924A (ja) | ライトバルブ及びその製造法 | |
| JPH06324326A (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP2002072183A (ja) | 投射型液晶表示装置 | |
| JPH03217825A (ja) | 空間光変調素子 | |
| JPH063693A (ja) | 誘電体ミラー及びその製造方法 | |
| JP3643658B2 (ja) | 光書込反射型空間光変調器 | |
| JPH07294956A (ja) | 光導電型液晶ライトバルブ | |
| KR100200670B1 (ko) | 액정라이트 밸브 | |
| JP3783117B2 (ja) | 画像記録装置 | |
| JPH06250204A (ja) | 空間光変調素子 | |
| JPH0422484B2 (ja) | ||
| JPH03289625A (ja) | 空間光変調素子 | |
| JPH0713186A (ja) | 空間光変調素子 | |
| JP2952610B2 (ja) | 光書き込み型液晶ライトバルブ | |
| JPH09243987A (ja) | 空間光変調装置およびそれを用いた表示装置 | |
| RU2160462C2 (ru) | Преобразователь изображения | |
| KR950009643B1 (ko) | 화상판독장치 | |
| JPH07140484A (ja) | 遮光薄膜 |