JPH0924557A - 光学部品の作製方法 - Google Patents
光学部品の作製方法Info
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- JPH0924557A JPH0924557A JP11604796A JP11604796A JPH0924557A JP H0924557 A JPH0924557 A JP H0924557A JP 11604796 A JP11604796 A JP 11604796A JP 11604796 A JP11604796 A JP 11604796A JP H0924557 A JPH0924557 A JP H0924557A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大面積の光学部品を効率的に作製するための
方法を提供すること。 【解決手段】 小面積の原盤の端面を複数枚貼り合わせ
ることによって、大面積の原盤を作製し、該原盤から電
鋳工程を経て作製されるスタンパを用いることによって
大面積の光学部品を作製する。ここで、原盤の貼合わせ
加工は面精度を維持するためにパターン面を下側にして
光学研磨ガラス上で行い、小面積原盤を高粘度の接着剤
で仮固定した後に、低粘度の接着剤を塗布したガラス板
で裏打ち処理を行うことによることが好ましい。
方法を提供すること。 【解決手段】 小面積の原盤の端面を複数枚貼り合わせ
ることによって、大面積の原盤を作製し、該原盤から電
鋳工程を経て作製されるスタンパを用いることによって
大面積の光学部品を作製する。ここで、原盤の貼合わせ
加工は面精度を維持するためにパターン面を下側にして
光学研磨ガラス上で行い、小面積原盤を高粘度の接着剤
で仮固定した後に、低粘度の接着剤を塗布したガラス板
で裏打ち処理を行うことによることが好ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は超微細パターンを
持つ大面積の精密光学部品を製造するための方法に関す
る。
持つ大面積の精密光学部品を製造するための方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】超微細パターンを持つ精密光学部品とし
て、マイクロレンズアレイ、回折格子、液晶表示装置の
ドット解消のための光学フィルタ、スクリーン、プリズ
ムシート等がある。これらマイクロレンズアレイ、回折
格子、光学フィルタ等の微細パターンは、リソグラフィ
法、電子ビーム描画法、レーザービーム描画法等によっ
て作製されている。リソグラフィ法では感光性樹脂をコ
ートした基板と、あるパターンをもつフォトマスクとを
用いて、感光性樹脂を紫外線露光した後に現像処理する
ことにより感光性樹脂の未反応部または反応部を除去す
ることによってパターンを作製することが一般的であ
る。この方法では、形成されるパターンの最大寸法は露
光装置の大きさにより制限され、一般に８インチ径程度
が最大である。また、電子ビーム描画法およびレーザー
ビーム描画法では長い描画時間を要し、しかも超平坦な
領域を持つステージの確保が困難であることから、一般
的に数ｃｍ角程度のパターンが最大である。しかしなが
ら、近年８インチ径以上の大面積を持つマイクロレンズ
アレイ、回折格子、光学フィルタ等の必要性が高まって
いる。一方、スクリーンやプリズムシートは超精密旋盤
を用いて金属製の原盤を作製し、該金属原盤または該金
属原盤から複製された樹脂原盤を用いてプレス法、紫外
線硬化樹脂を用いた２Ｐ法等を行うことにより作製され
ることが一般的である。この場合、超精密旋盤のチャッ
クテーブルの大きさが作製されるスクリーンの最大寸法
を決めることとなる。
て、マイクロレンズアレイ、回折格子、液晶表示装置の
ドット解消のための光学フィルタ、スクリーン、プリズ
ムシート等がある。これらマイクロレンズアレイ、回折
格子、光学フィルタ等の微細パターンは、リソグラフィ
法、電子ビーム描画法、レーザービーム描画法等によっ
て作製されている。リソグラフィ法では感光性樹脂をコ
ートした基板と、あるパターンをもつフォトマスクとを
用いて、感光性樹脂を紫外線露光した後に現像処理する
ことにより感光性樹脂の未反応部または反応部を除去す
ることによってパターンを作製することが一般的であ
る。この方法では、形成されるパターンの最大寸法は露
光装置の大きさにより制限され、一般に８インチ径程度
が最大である。また、電子ビーム描画法およびレーザー
ビーム描画法では長い描画時間を要し、しかも超平坦な
領域を持つステージの確保が困難であることから、一般
的に数ｃｍ角程度のパターンが最大である。しかしなが
ら、近年８インチ径以上の大面積を持つマイクロレンズ
アレイ、回折格子、光学フィルタ等の必要性が高まって
いる。一方、スクリーンやプリズムシートは超精密旋盤
を用いて金属製の原盤を作製し、該金属原盤または該金
属原盤から複製された樹脂原盤を用いてプレス法、紫外
線硬化樹脂を用いた２Ｐ法等を行うことにより作製され
ることが一般的である。この場合、超精密旋盤のチャッ
クテーブルの大きさが作製されるスクリーンの最大寸法
を決めることとなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように超微細パタ
ーンを持つ精密光学部品に関しては、旋盤、露光装置、
描画装置等により原盤の大きさが限定され、ひいては製
品サイズも決定され、その原盤以上の面積を有する製品
を作製することはできない。
ーンを持つ精密光学部品に関しては、旋盤、露光装置、
描画装置等により原盤の大きさが限定され、ひいては製
品サイズも決定され、その原盤以上の面積を有する製品
を作製することはできない。
【０００４】この発明は上記課題に鑑みてなされたもの
で、大面積の光学部品を効率的に作製するための方法を
提供することを目的とする。さらに、大面積の光学部品
を製造するための原盤作製工程において、貼合せ端部の
視認性を低下するために貼合せ端部のすき間、段差、平
面度を小さくする方法を提供することを目的とする。
で、大面積の光学部品を効率的に作製するための方法を
提供することを目的とする。さらに、大面積の光学部品
を製造するための原盤作製工程において、貼合せ端部の
視認性を低下するために貼合せ端部のすき間、段差、平
面度を小さくする方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決する本
発明の光学部品の作製方法では、一般的な露光装置を用
いて作製した、例えば８インチ径以下の複数枚の原盤の
端面同士を貼り合わせることによって大面積の原盤を作
製し、該原盤から電鋳工程を経て作製されるスタンパを
用いることによって大面積の光学部品を作製することを
特徴とする。ここで、貼合わせ端面の平行度および平滑
性を上げるためには超精密端面研磨加工装置によるか、
またはダミーガラスを貼合わせた原盤を作製し、超精密
切断装置やダイシング・ソーによりカットすることによ
ってチッピングの非常に小さい端面を持つ原盤を作製す
ることが好ましい。また、原盤の貼合わせ加工は面精度
を維持するためにパターン面を下側にして光学研磨ガラ
ス上で行い、原盤を高粘度の接着剤で仮固定した後、低
粘度の接着剤を塗布したガラス板等で裏打ち処理を行う
ことによることが好ましい。小面積原盤はプラスチック
のほか、ガラス、金属等を用いて作製することができ
る。原盤の貼合わせ加工は、複数枚のプラスチック製の
小面積原盤を光学研磨ガラス上で当該プラスチックに対
する良溶媒を接着剤として用いて仮固定した後、低粘度
の接着剤を塗布したガラス板等で裏打ちすることによっ
て行っても良い。
発明の光学部品の作製方法では、一般的な露光装置を用
いて作製した、例えば８インチ径以下の複数枚の原盤の
端面同士を貼り合わせることによって大面積の原盤を作
製し、該原盤から電鋳工程を経て作製されるスタンパを
用いることによって大面積の光学部品を作製することを
特徴とする。ここで、貼合わせ端面の平行度および平滑
性を上げるためには超精密端面研磨加工装置によるか、
またはダミーガラスを貼合わせた原盤を作製し、超精密
切断装置やダイシング・ソーによりカットすることによ
ってチッピングの非常に小さい端面を持つ原盤を作製す
ることが好ましい。また、原盤の貼合わせ加工は面精度
を維持するためにパターン面を下側にして光学研磨ガラ
ス上で行い、原盤を高粘度の接着剤で仮固定した後、低
粘度の接着剤を塗布したガラス板等で裏打ち処理を行う
ことによることが好ましい。小面積原盤はプラスチック
のほか、ガラス、金属等を用いて作製することができ
る。原盤の貼合わせ加工は、複数枚のプラスチック製の
小面積原盤を光学研磨ガラス上で当該プラスチックに対
する良溶媒を接着剤として用いて仮固定した後、低粘度
の接着剤を塗布したガラス板等で裏打ちすることによっ
て行っても良い。
【０００６】超精密旋盤、露光装置、電子ビーム描画装
置、レーザービーム描画装置等で作製された原盤、また
は該原盤から複製された複製原盤を複数枚貼り合わせる
貼合せ原盤作製工程において、原盤または複製原盤の材
質と接着剤の種類との最適な組み合わせを選択すること
が好ましく、これによって貼合わせ端面のすき間および
段差を小さくすることができて貼合せ原盤における貼合
わせ端部の視認性が大きく低下する。ここで、貼合せ端
面の視認性をより低下させるため、貼合わされる複数の
原盤の各パターン面を下側にして光学研磨ガラスの表面
上に押し当てて真空吸着させることによって貼合せ面を
同一平面に維持すると共に、貼合わされる原盤を両側か
ら力を加えて端面同士を強く押し当てて貼合せ面のすき
間をできるだけ小さくすることが好ましい。
置、レーザービーム描画装置等で作製された原盤、また
は該原盤から複製された複製原盤を複数枚貼り合わせる
貼合せ原盤作製工程において、原盤または複製原盤の材
質と接着剤の種類との最適な組み合わせを選択すること
が好ましく、これによって貼合わせ端面のすき間および
段差を小さくすることができて貼合せ原盤における貼合
わせ端部の視認性が大きく低下する。ここで、貼合せ端
面の視認性をより低下させるため、貼合わされる複数の
原盤の各パターン面を下側にして光学研磨ガラスの表面
上に押し当てて真空吸着させることによって貼合せ面を
同一平面に維持すると共に、貼合わされる原盤を両側か
ら力を加えて端面同士を強く押し当てて貼合せ面のすき
間をできるだけ小さくすることが好ましい。
【０００７】貼り合わされた原盤を用いてパターン転写
を行い、次いで、端面加工および端面貼合わせを行うこ
とによって、さらに大きな原盤を作製することができ
る。この方法によると１枚の原盤から理論的には無制限
の大きさの原盤を作製することが可能である。そして、
この原盤により、超微細な繰り返しパターンを持つ光学
部品を製造するための大面積原盤を作製することができ
る。なお、貼合わせ面でのパターンのずれを小さくする
ため、貼合わせ端面のすき間は１０μｍ以下であること
が好ましい。
を行い、次いで、端面加工および端面貼合わせを行うこ
とによって、さらに大きな原盤を作製することができ
る。この方法によると１枚の原盤から理論的には無制限
の大きさの原盤を作製することが可能である。そして、
この原盤により、超微細な繰り返しパターンを持つ光学
部品を製造するための大面積原盤を作製することができ
る。なお、貼合わせ面でのパターンのずれを小さくする
ため、貼合わせ端面のすき間は１０μｍ以下であること
が好ましい。
【０００８】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 実施例１ ５インチ径で厚さが１ｍｍのガラス基板上に感光性樹脂
をコートし、フォトマスクと露光装置とを用いて格子パ
ターンを露光した。格子パターンを現像後、ダイシング
・ソーを用いて縦横５５ｍｍにカットし、超精密端面研
磨装置で端面のチッピングがなくなるまで研磨し、平行
度および平面度を整えた。同様に処理した縦横５５ｍｍ
のガラス原盤４枚を、縦横３００ｍｍで厚さが１ｍｍの
光学研磨加工したガラス基板上でパターン面を下側にし
て端面同士を高粘度のエポキシ樹脂で仮固定し、その後
低粘度のエポキシ樹脂をガラス基板面に均一にコートし
た。次いで、縦横１１０ｍｍで厚さが１ｍｍのガラス基
板を接着して裏打ち加工を行い、縦横１１０ｍｍの原盤
を作製した。なお、ガラス原盤の接着端面のすき間は最
大１０μｍであった。
る。 実施例１ ５インチ径で厚さが１ｍｍのガラス基板上に感光性樹脂
をコートし、フォトマスクと露光装置とを用いて格子パ
ターンを露光した。格子パターンを現像後、ダイシング
・ソーを用いて縦横５５ｍｍにカットし、超精密端面研
磨装置で端面のチッピングがなくなるまで研磨し、平行
度および平面度を整えた。同様に処理した縦横５５ｍｍ
のガラス原盤４枚を、縦横３００ｍｍで厚さが１ｍｍの
光学研磨加工したガラス基板上でパターン面を下側にし
て端面同士を高粘度のエポキシ樹脂で仮固定し、その後
低粘度のエポキシ樹脂をガラス基板面に均一にコートし
た。次いで、縦横１１０ｍｍで厚さが１ｍｍのガラス基
板を接着して裏打ち加工を行い、縦横１１０ｍｍの原盤
を作製した。なお、ガラス原盤の接着端面のすき間は最
大１０μｍであった。
【０００９】次に、格子パターン面に紫外線硬化型のハ
ードコート剤を塗布した後、縦横１１０ｍｍで厚さが１
ｍｍのガラス基板にパターンを転写し、図１に示す子原
盤１ａを作製した。その後ダイシング・ソーを用いて縦
横１００ｍｍにカットし、超精密端面研磨装置で端面の
チッピングがなくなるまで研磨し、平行度および平面度
を整えた。同様に処理した縦横１００ｍｍの子原盤（１
ａ〜１ｉ）９枚の端面同士を、縦横３００ｍｍで厚さが
１ｍｍの光学研磨加工したガラス基板上にパターン面を
下側にして高粘度のエポキシ樹脂で仮固定し、その後低
粘度のエポキシ樹脂を均一にコートした後、縦横３００
ｍｍで厚さが１ｍｍのガラス基板を接着し裏打ち加工を
行って、図１に示す縦横３００ｍｍの孫原盤２を作製し
た。
ードコート剤を塗布した後、縦横１１０ｍｍで厚さが１
ｍｍのガラス基板にパターンを転写し、図１に示す子原
盤１ａを作製した。その後ダイシング・ソーを用いて縦
横１００ｍｍにカットし、超精密端面研磨装置で端面の
チッピングがなくなるまで研磨し、平行度および平面度
を整えた。同様に処理した縦横１００ｍｍの子原盤（１
ａ〜１ｉ）９枚の端面同士を、縦横３００ｍｍで厚さが
１ｍｍの光学研磨加工したガラス基板上にパターン面を
下側にして高粘度のエポキシ樹脂で仮固定し、その後低
粘度のエポキシ樹脂を均一にコートした後、縦横３００
ｍｍで厚さが１ｍｍのガラス基板を接着し裏打ち加工を
行って、図１に示す縦横３００ｍｍの孫原盤２を作製し
た。
【００１０】この孫原盤を用いて、電鋳処理により縦横
３００ｍｍのＮｉスタンパを作製した。このＮｉスタン
パから転写した光学部品の目視検査では貼合わせ部は認
識できなかった。このＮｉスタンパを用いることによっ
て、大面積の格子パターンを持つ光学部品を容易に作製
することが可能となる。
３００ｍｍのＮｉスタンパを作製した。このＮｉスタン
パから転写した光学部品の目視検査では貼合わせ部は認
識できなかった。このＮｉスタンパを用いることによっ
て、大面積の格子パターンを持つ光学部品を容易に作製
することが可能となる。
【００１１】実施例２ ５インチ径で厚さが１ｍｍのガラス基板上に感光性樹脂
をコートし、フォトマスクと露光装置とを用いて格子パ
ターンを露光した。格子パターンを現像後、それぞれの
厚さが１５０μｍと１ｍｍのダミーガラスをガラス基板
の表裏にワックスを用いて貼り合わせ、ダイシング・ソ
ーを用いて縦横５５ｍｍにカットした。チッピングは最
大３μｍであった。同様に処理した縦横５５ｍｍのガラ
ス原盤４枚の端面同士を、縦横３００ｍｍで厚さが１ｍ
ｍの光学研磨加工したガラス基板上にパターン面を下側
にして高粘度のエポキシ樹脂で仮固定し、その後低粘度
のエポキシ樹脂をガラス基板面に均一にコートした後、
縦横１１０ｍｍで厚さが１ｍｍのガラス基板を接着して
裏打ち加工を行い、縦横１１０ｍｍの原盤を作製した。
なお、端面のすき間は最大１０μｍであった。
をコートし、フォトマスクと露光装置とを用いて格子パ
ターンを露光した。格子パターンを現像後、それぞれの
厚さが１５０μｍと１ｍｍのダミーガラスをガラス基板
の表裏にワックスを用いて貼り合わせ、ダイシング・ソ
ーを用いて縦横５５ｍｍにカットした。チッピングは最
大３μｍであった。同様に処理した縦横５５ｍｍのガラ
ス原盤４枚の端面同士を、縦横３００ｍｍで厚さが１ｍ
ｍの光学研磨加工したガラス基板上にパターン面を下側
にして高粘度のエポキシ樹脂で仮固定し、その後低粘度
のエポキシ樹脂をガラス基板面に均一にコートした後、
縦横１１０ｍｍで厚さが１ｍｍのガラス基板を接着して
裏打ち加工を行い、縦横１１０ｍｍの原盤を作製した。
なお、端面のすき間は最大１０μｍであった。
【００１２】次に、格子パターン面に紫外線硬化型のハ
ードコート剤を塗布した後、縦横１１０ｍｍで厚さが１
ｍｍのガラス基板にパターンを転写し、子原盤を作製し
た。その後、それぞれの厚さが１５０μｍと１ｍｍのダ
ミーガラスをガラス基板の表裏にワックスを用いて貼り
合わせ、ダイシング・ソーを用いて縦横１００ｍｍにカ
ットした。チッピングは最大３μｍであった。同様に処
理した縦横１００ｍｍの子原盤９枚の端面同士を、縦横
３００ｍｍで厚さが１ｍｍの光学研磨加工したガラス基
板上でパターン面を下側にして高粘度のエポキシ樹脂で
仮固定し、その後低粘度のエポキシ樹脂を均一にコート
した後、縦横３００ｍｍで厚さが１ｍｍのガラス基板を
接着し裏打ち加工を行って、縦横３００ｍｍの孫原盤を
作製した。
ードコート剤を塗布した後、縦横１１０ｍｍで厚さが１
ｍｍのガラス基板にパターンを転写し、子原盤を作製し
た。その後、それぞれの厚さが１５０μｍと１ｍｍのダ
ミーガラスをガラス基板の表裏にワックスを用いて貼り
合わせ、ダイシング・ソーを用いて縦横１００ｍｍにカ
ットした。チッピングは最大３μｍであった。同様に処
理した縦横１００ｍｍの子原盤９枚の端面同士を、縦横
３００ｍｍで厚さが１ｍｍの光学研磨加工したガラス基
板上でパターン面を下側にして高粘度のエポキシ樹脂で
仮固定し、その後低粘度のエポキシ樹脂を均一にコート
した後、縦横３００ｍｍで厚さが１ｍｍのガラス基板を
接着し裏打ち加工を行って、縦横３００ｍｍの孫原盤を
作製した。
【００１３】この孫原盤を用いて、電鋳処理により縦横
３００ｍｍのＮｉスタンパを作製した。このＮｉスタン
パから転写した光学部品の目視検査では貼合わせ部は認
識できなかった。このＮｉスタンパを用いることによっ
て、大面積の格子パターンを持つ光学部品を容易に作製
することが可能となる。
３００ｍｍのＮｉスタンパを作製した。このＮｉスタン
パから転写した光学部品の目視検査では貼合わせ部は認
識できなかった。このＮｉスタンパを用いることによっ
て、大面積の格子パターンを持つ光学部品を容易に作製
することが可能となる。
【００１４】実施例３ ５インチ径で厚さが１ｍｍのガラス基板上に光感光性樹
脂をコートし、フォトマスクと露光装置とを用いて８０
μｍピッチの格子パターンを露光した。格子パターンを
現像後、このガラス基板上に作製した格子パターンを紫
外線硬化樹脂が塗布された厚さが１ｍｍのＰＭＭＡ基板
４枚に転写し、この格子パターンが転写されたＰＭＭＡ
基板をダイシング・ソーを用いて縦横５５ｍｍにカット
した。次に光学研磨加工された縦横３００ｍｍの貼合せ
治具上にパターン面を下側にして載置し、ＰＭＭＡ基板
の両側から端面同士を押し合わせながら真空引きを行
い、基板の端面をＰＭＭＡの良溶媒であるクロロホルム
で溶解させて仮固定した。その後低粘度のエポキシ樹脂
をＰＭＭＡ基板面に均一にコートした。次いで、縦横１
１０ｍｍで厚さが１ｍｍのガラスで接着して裏打ち加工
を行い、縦横１１０ｍｍの原盤を作製した。なお、貼合
せ端面のすき間は５μｍ以下で、各貼合せ原盤の高さの
ばらつきも５μｍ以下であった。この貼合せ原盤から紫
外線硬化樹脂が塗布されたＴＡＣフィルムに転写された
格子パターンのピッチおよび段差は原盤と同一であり、
貼合せ部は目視で認識できなかった。貼合せ端面のすき
間が小さくなった要因は、良溶媒によるＰＭＭＡ基板の
溶解接着により真直性が向上したものと思われる。な
お、ＰＭＭＡ基板をメチルメタクリレート−スチレン共
重合体からなる基板に代えた場合にも同様の良好な結果
が得られた。
脂をコートし、フォトマスクと露光装置とを用いて８０
μｍピッチの格子パターンを露光した。格子パターンを
現像後、このガラス基板上に作製した格子パターンを紫
外線硬化樹脂が塗布された厚さが１ｍｍのＰＭＭＡ基板
４枚に転写し、この格子パターンが転写されたＰＭＭＡ
基板をダイシング・ソーを用いて縦横５５ｍｍにカット
した。次に光学研磨加工された縦横３００ｍｍの貼合せ
治具上にパターン面を下側にして載置し、ＰＭＭＡ基板
の両側から端面同士を押し合わせながら真空引きを行
い、基板の端面をＰＭＭＡの良溶媒であるクロロホルム
で溶解させて仮固定した。その後低粘度のエポキシ樹脂
をＰＭＭＡ基板面に均一にコートした。次いで、縦横１
１０ｍｍで厚さが１ｍｍのガラスで接着して裏打ち加工
を行い、縦横１１０ｍｍの原盤を作製した。なお、貼合
せ端面のすき間は５μｍ以下で、各貼合せ原盤の高さの
ばらつきも５μｍ以下であった。この貼合せ原盤から紫
外線硬化樹脂が塗布されたＴＡＣフィルムに転写された
格子パターンのピッチおよび段差は原盤と同一であり、
貼合せ部は目視で認識できなかった。貼合せ端面のすき
間が小さくなった要因は、良溶媒によるＰＭＭＡ基板の
溶解接着により真直性が向上したものと思われる。な
お、ＰＭＭＡ基板をメチルメタクリレート−スチレン共
重合体からなる基板に代えた場合にも同様の良好な結果
が得られた。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
一般的な露光装置等で作製した原盤から大面積原盤を容
易に作製することができ、該原盤から作製したスタンパ
を用いることによって大面積の光学部品を効率的に作製
することができる。
一般的な露光装置等で作製した原盤から大面積原盤を容
易に作製することができ、該原盤から作製したスタンパ
を用いることによって大面積の光学部品を効率的に作製
することができる。
【図１】本発明により作製されるスタンパの平面図であ
る。
る。
１ａ〜１ｉ 子原盤 ２ 孫原盤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀野 紘一郎 岡山県倉敷市酒津1621番地 株式会社クラ レ内 (72)発明者 林 克彦 岡山県倉敷市酒津1621番地 株式会社クラ レ内
Claims (4)
- 【請求項１】 小面積原盤の端面を複数枚貼合わせてな
る大面積原盤を用いて電鋳処理を行うことによって作製
されたスタンパを用いてパターンの転写成形を行うこと
を特徴とする光学部品の作製方法。 - 【請求項２】 貼合わせ端面における各小面積原盤のす
き間が１０μｍ以下である請求項１記載の光学部品の作
製方法。 - 【請求項３】 複数板の小面積原盤を光学研磨された板
上で高粘度の接着剤を用いて仮固定した後、低粘度の接
着剤で裏打ち処理を行うことによって小面積原盤の端面
を貼合わせる請求項１または２記載の光学部品の作製方
法。 - 【請求項４】 複数板のプラスチック製小面積原盤を光
学研磨された板上で当該プラスチックの良溶媒からなる
接着剤を用いて仮固定した後、低粘度の接着剤で裏打ち
処理を行うことによって小面積原盤の端面を貼合わせる
請求項１または２記載の光学部品の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11604796A JPH0924557A (ja) | 1995-05-11 | 1996-05-10 | 光学部品の作製方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-112200 | 1995-05-11 | ||
| JP11220095 | 1995-05-11 | ||
| JP11604796A JPH0924557A (ja) | 1995-05-11 | 1996-05-10 | 光学部品の作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0924557A true JPH0924557A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=26451429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11604796A Pending JPH0924557A (ja) | 1995-05-11 | 1996-05-10 | 光学部品の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0924557A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012006233A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Toshiba Mach Co Ltd | 型の製造方法 |
| JP2012113280A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-06-14 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ワイヤグリッド偏光子および光センサー |
| CN103981544A (zh) * | 2014-05-22 | 2014-08-13 | 山西南洋包装材料有限公司 | 一种表面具光学微结构集合体的圆环形金属模具带的无缝拼接方法 |
-
1996
- 1996-05-10 JP JP11604796A patent/JPH0924557A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041201 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A02 | Decision of refusal |
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