JPH09249960A - ゲートバルブ - Google Patents
ゲートバルブInfo
- Publication number
- JPH09249960A JPH09249960A JP5952396A JP5952396A JPH09249960A JP H09249960 A JPH09249960 A JP H09249960A JP 5952396 A JP5952396 A JP 5952396A JP 5952396 A JP5952396 A JP 5952396A JP H09249960 A JPH09249960 A JP H09249960A
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- Japan
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- processing chamber
- valve
- valve body
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 処理室と排気ポンプとの間を開閉する弁体を
有するゲートバルブの弁箱のシール面に付着した堆積物
により生じるリークの発生を防止する構造に関し、簡単
且つ容易に処理室と弁箱の間の内部リークの発生を防止
することが可能となるゲートバルブの提供を目的とす
る。 【解決手段】 処理室５と排気ポンプ６との間を開閉す
る弁体１を有するゲートバルブにおいて、この弁体１
は、貫通孔1bを備えた貫通部分と、遮断部1cを備えた遮
断部分と、この貫通孔1bとこの遮断部1cのそれぞれの周
囲に設けられた溝に挿着され、この弁体１が収納されて
いる弁箱２の内壁に密着して気密を保持することが可能
なＯリング1aとを備えているものであり、この弁体１
は、この処理室５と連通する排気孔2bに、貫通部分が移
動したとき、処理室５と排気ポンプ６を連通させ、遮断
部分が移動したとき、この処理室５と排気ポンプ６を遮
断するものであるように構成する。
有するゲートバルブの弁箱のシール面に付着した堆積物
により生じるリークの発生を防止する構造に関し、簡単
且つ容易に処理室と弁箱の間の内部リークの発生を防止
することが可能となるゲートバルブの提供を目的とす
る。 【解決手段】 処理室５と排気ポンプ６との間を開閉す
る弁体１を有するゲートバルブにおいて、この弁体１
は、貫通孔1bを備えた貫通部分と、遮断部1cを備えた遮
断部分と、この貫通孔1bとこの遮断部1cのそれぞれの周
囲に設けられた溝に挿着され、この弁体１が収納されて
いる弁箱２の内壁に密着して気密を保持することが可能
なＯリング1aとを備えているものであり、この弁体１
は、この処理室５と連通する排気孔2bに、貫通部分が移
動したとき、処理室５と排気ポンプ６を連通させ、遮断
部分が移動したとき、この処理室５と排気ポンプ６を遮
断するものであるように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、処理室と排気ポン
プとの間を開閉する弁体を有するゲートバルブに係り、
特にゲートバルブの弁箱のシール面に付着した堆積物に
より生じるリークの発生を防止する構造に関するもので
ある。
プとの間を開閉する弁体を有するゲートバルブに係り、
特にゲートバルブの弁箱のシール面に付着した堆積物に
より生じるリークの発生を防止する構造に関するもので
ある。
【０００２】装置の処理室と排気ポンプとの間を開閉す
るのに用いる現用のゲートバルブにおいては、弁箱のシ
ール面が露出しているため処理室内で発生して浮遊した
塵埃や反応生成物がこのシール面に付着して堆積するよ
うになり、リーク発生の原因となっている。
るのに用いる現用のゲートバルブにおいては、弁箱のシ
ール面が露出しているため処理室内で発生して浮遊した
塵埃や反応生成物がこのシール面に付着して堆積するよ
うになり、リーク発生の原因となっている。
【０００３】以上のような状況から、処理室内で発生し
て浮遊した塵埃や反応生成物が弁箱のシール面に付着し
て堆積するのを防止することが可能なゲートバルブが要
望されている。
て浮遊した塵埃や反応生成物が弁箱のシール面に付着し
て堆積するのを防止することが可能なゲートバルブが要
望されている。
【０００４】
【従来の技術】従来のゲートバルブの構造について図３
〜図４により詳細に説明する。図３は従来のゲートバル
ブを開いた状態の構造を示す図、図４は従来のゲートバ
ルブを閉じた状態の構造を示す図である。
〜図４により詳細に説明する。図３は従来のゲートバル
ブを開いた状態の構造を示す図、図４は従来のゲートバ
ルブを閉じた状態の構造を示す図である。
【０００５】従来のゲートバルブにおいて排気ポンプ16
で処理室15内の空気を排気する場合には、図３に示すよ
うに、弁体押圧クランク13を介して弁体駆動シリンダ14
により弁体11を図示の位置に移動して処理室15内の空気
を排気ポンプ16により排気すると、処理室15内で発生し
た塵埃や反応生成物が空気とともに処理室15から弁箱12
内に移動し、弁箱12のシール面12a に付着する。
で処理室15内の空気を排気する場合には、図３に示すよ
うに、弁体押圧クランク13を介して弁体駆動シリンダ14
により弁体11を図示の位置に移動して処理室15内の空気
を排気ポンプ16により排気すると、処理室15内で発生し
た塵埃や反応生成物が空気とともに処理室15から弁箱12
内に移動し、弁箱12のシール面12a に付着する。
【０００６】処理室15の室内圧が所望の値に到達した場
合に、図４に示すように、弁体押圧クランク13を介して
弁体駆動シリンダ14により弁体11を図示の位置に移動し
て弁体11を弁箱12のシール面12a に接近させ、Ｏリング
11a をシール面12a に押し付けて処理室15と弁箱12とを
遮断分離しようとすると、弁箱12内で浮遊した塵埃や反
応生成物が付着して堆積したシール面12a とＯリング11
a が接触するようになる。
合に、図４に示すように、弁体押圧クランク13を介して
弁体駆動シリンダ14により弁体11を図示の位置に移動し
て弁体11を弁箱12のシール面12a に接近させ、Ｏリング
11a をシール面12a に押し付けて処理室15と弁箱12とを
遮断分離しようとすると、弁箱12内で浮遊した塵埃や反
応生成物が付着して堆積したシール面12a とＯリング11
a が接触するようになる。
【０００７】この場合、塵埃や反応生成物がシール面12
a とＯリング11a の間に介在して弁箱12のシール面12a
とＯリング11a の間に隙間が生じると、処理室15と弁箱
12との間に内部リークが発生することがある。
a とＯリング11a の間に介在して弁箱12のシール面12a
とＯリング11a の間に隙間が生じると、処理室15と弁箱
12との間に内部リークが発生することがある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来のゲ
ートバルブにおいては、処理室内の空気を排気ポンプに
より排気すると処理室内で発生した塵埃や反応生成物が
空気とともに処理室から弁箱内に移動し、この塵埃や反
応生成物が弁箱内で浮遊してシール面に付着するように
なり、処理室の室内圧が所望の値に到達した場合に、弁
体押圧クランクを介して弁体駆動シリンダにより弁体を
移動して処理室と弁箱とを遮断分離しようとすると、塵
埃や反応生成物が付着して堆積したシール面とＯリング
が接触するようになり、塵埃や反応生成物がシール面と
Ｏリングの間に介在すると、処理室と弁箱の間に内部リ
ークが発生するという問題点があった。
ートバルブにおいては、処理室内の空気を排気ポンプに
より排気すると処理室内で発生した塵埃や反応生成物が
空気とともに処理室から弁箱内に移動し、この塵埃や反
応生成物が弁箱内で浮遊してシール面に付着するように
なり、処理室の室内圧が所望の値に到達した場合に、弁
体押圧クランクを介して弁体駆動シリンダにより弁体を
移動して処理室と弁箱とを遮断分離しようとすると、塵
埃や反応生成物が付着して堆積したシール面とＯリング
が接触するようになり、塵埃や反応生成物がシール面と
Ｏリングの間に介在すると、処理室と弁箱の間に内部リ
ークが発生するという問題点があった。
【０００９】本発明は以上のような状況から、簡単且つ
容易に処理室と弁箱の間の内部リークの発生を防止する
ことが可能となるゲートバルブの提供を目的としたもの
である。
容易に処理室と弁箱の間の内部リークの発生を防止する
ことが可能となるゲートバルブの提供を目的としたもの
である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のゲートバルブ
は、処理室と排気ポンプとの間を開閉する弁体を有する
ゲートバルブにおいて、この弁体は、貫通孔を備えた貫
通部分と、遮断部を備えた遮断部分と、この貫通孔とこ
の遮断部のそれぞれの周囲に設けられた溝に挿着され、
この弁体が収納されている弁箱の内壁に密着して気密を
保持することが可能なＯリングとを備えているものであ
り、この弁体は、この処理室と連通する排気孔に、貫通
部分が移動したとき、処理室と排気ポンプを連通させ、
遮断部分が移動したとき、この処理室と排気ポンプを遮
断するように構成する。
は、処理室と排気ポンプとの間を開閉する弁体を有する
ゲートバルブにおいて、この弁体は、貫通孔を備えた貫
通部分と、遮断部を備えた遮断部分と、この貫通孔とこ
の遮断部のそれぞれの周囲に設けられた溝に挿着され、
この弁体が収納されている弁箱の内壁に密着して気密を
保持することが可能なＯリングとを備えているものであ
り、この弁体は、この処理室と連通する排気孔に、貫通
部分が移動したとき、処理室と排気ポンプを連通させ、
遮断部分が移動したとき、この処理室と排気ポンプを遮
断するように構成する。
【００１１】更にこの貫通部分に周設されたＯリングの
遮蔽面積が、この遮断部分に周設されたＯリングの遮蔽
面積よりも大なるように構成する。即ち本発明において
はゲートバルブの弁体の構造が貫通孔と周囲にＯリング
を挿着する溝を備える部分（以下、貫通孔部と呼ぶ）
と、遮断部と周囲にＯリングを挿着する溝を備える部分
（以下、遮断部分と呼ぶ）とを有し、この貫通孔部の貫
通孔の周囲の領域で弁箱のシール面を覆っているので、
このゲートバルブを備えた処理室内の空気を排気する場
合に、処理室内で発生した塵埃や反応生成物が貫通孔部
の貫通孔の周囲の領域と対向する弁箱のシール面に付着
するのを防止することが可能となる。
遮蔽面積が、この遮断部分に周設されたＯリングの遮蔽
面積よりも大なるように構成する。即ち本発明において
はゲートバルブの弁体の構造が貫通孔と周囲にＯリング
を挿着する溝を備える部分（以下、貫通孔部と呼ぶ）
と、遮断部と周囲にＯリングを挿着する溝を備える部分
（以下、遮断部分と呼ぶ）とを有し、この貫通孔部の貫
通孔の周囲の領域で弁箱のシール面を覆っているので、
このゲートバルブを備えた処理室内の空気を排気する場
合に、処理室内で発生した塵埃や反応生成物が貫通孔部
の貫通孔の周囲の領域と対向する弁箱のシール面に付着
するのを防止することが可能となる。
【００１２】また、この貫通部分に周設されたＯリング
の遮蔽面積を、この遮断部分に周設されたＯリングの遮
蔽面積よりも大きくすれば、この遮断部分で処理室と弁
箱とを遮断分離する場合の弁体の位置合わせ精度に余裕
を持たすことができるので、この遮断部分のＯリングと
シール面との間への塵埃や反応生成物の付着の防止を更
に確実にすることが可能となる。
の遮蔽面積を、この遮断部分に周設されたＯリングの遮
蔽面積よりも大きくすれば、この遮断部分で処理室と弁
箱とを遮断分離する場合の弁体の位置合わせ精度に余裕
を持たすことができるので、この遮断部分のＯリングと
シール面との間への塵埃や反応生成物の付着の防止を更
に確実にすることが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図１〜図２により本発明の一
実施例のゲートバルブについて詳細に説明する。
実施例のゲートバルブについて詳細に説明する。
【００１４】図１は本発明による一実施例のゲートバル
ブを開いた状態の構造を示す図、図２は本発明による一
実施例のゲートバルブを閉じた状態の構造を示す図であ
る。本発明による一実施例のゲートバルブにおいて排気
ポンプ６で処理室５内の空気を排気する場合には、図１
に示すように、弁体１の貫通孔1bが弁箱２の排気孔2bと
重なる位置に弁体１を弁体駆動シリンダ４により移動
し、スプリング4aを伸ばして弁体押圧シリンダ３により
弁体１のＯリング1aをシール面2aに押し付けると、貫通
孔1bの周囲の領域が弁箱２のシール面2aを覆うようにな
る。
ブを開いた状態の構造を示す図、図２は本発明による一
実施例のゲートバルブを閉じた状態の構造を示す図であ
る。本発明による一実施例のゲートバルブにおいて排気
ポンプ６で処理室５内の空気を排気する場合には、図１
に示すように、弁体１の貫通孔1bが弁箱２の排気孔2bと
重なる位置に弁体１を弁体駆動シリンダ４により移動
し、スプリング4aを伸ばして弁体押圧シリンダ３により
弁体１のＯリング1aをシール面2aに押し付けると、貫通
孔1bの周囲の領域が弁箱２のシール面2aを覆うようにな
る。
【００１５】ここで処理室５内の空気を排気ポンプ６に
より排気すると処理室５内で発生した塵埃や反応生成物
が空気とともに処理室５から弁箱２内に移動するが、弁
体１の貫通孔部の貫通孔1bの周囲の領域が弁箱２のシー
ル面2aを覆っているので、この塵埃や反応生成物が浮遊
して弁箱２のこのシール面2aに付着するのを防止するこ
とが可能となる。
より排気すると処理室５内で発生した塵埃や反応生成物
が空気とともに処理室５から弁箱２内に移動するが、弁
体１の貫通孔部の貫通孔1bの周囲の領域が弁箱２のシー
ル面2aを覆っているので、この塵埃や反応生成物が浮遊
して弁箱２のこのシール面2aに付着するのを防止するこ
とが可能となる。
【００１６】処理室５の室内圧が所望の値に到達すれ
ば、図２に示すように、弁体押圧シリンダ３による弁体
１のシール面2aへの押圧を弱めてスプリング4aの引っ張
り力によってＯリング1aとシール面2aとの間に間隙を設
け、弁体駆動シリンダ４により弁体１の遮断部1cと弁箱
２の排気孔2bとが対向する位置に移動させ、弁体押圧シ
リンダ３により弁体１の遮断部分のＯリング1aを弁箱２
のシール面2aに押し付けて処理室５と弁箱２とを遮断分
離するが、この場合は、シール面2aに塵埃や反応生成物
が付着していないから、塵埃や反応生成物がシール面2a
とＯリング1aの間に介在しないので、処理室５と弁箱２
の間に内部リークが発生することがなくなる。
ば、図２に示すように、弁体押圧シリンダ３による弁体
１のシール面2aへの押圧を弱めてスプリング4aの引っ張
り力によってＯリング1aとシール面2aとの間に間隙を設
け、弁体駆動シリンダ４により弁体１の遮断部1cと弁箱
２の排気孔2bとが対向する位置に移動させ、弁体押圧シ
リンダ３により弁体１の遮断部分のＯリング1aを弁箱２
のシール面2aに押し付けて処理室５と弁箱２とを遮断分
離するが、この場合は、シール面2aに塵埃や反応生成物
が付着していないから、塵埃や反応生成物がシール面2a
とＯリング1aの間に介在しないので、処理室５と弁箱２
の間に内部リークが発生することがなくなる。
【００１７】なお、この貫通部分に周設されたＯリング
の遮蔽面積が、この遮断部分に周設されたＯリングの遮
蔽面積よりも大きくしておくと、弁体１により処理室５
と弁箱２とを遮断分離する場合に、処理室５の排気中に
塵埃や反応生成物が付着していない弁箱２のシール面2a
の領域内で、遮断部1cの周囲のＯリング1aを弁箱２のシ
ール面2aに位置合わせする際に余裕を持って接触させる
ことができるので、処理室５と弁箱２の間の内部リーク
の発生の防止を更に確実にすることが可能となる。
の遮蔽面積が、この遮断部分に周設されたＯリングの遮
蔽面積よりも大きくしておくと、弁体１により処理室５
と弁箱２とを遮断分離する場合に、処理室５の排気中に
塵埃や反応生成物が付着していない弁箱２のシール面2a
の領域内で、遮断部1cの周囲のＯリング1aを弁箱２のシ
ール面2aに位置合わせする際に余裕を持って接触させる
ことができるので、処理室５と弁箱２の間の内部リーク
の発生の防止を更に確実にすることが可能となる。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構造の弁体を用いることにより、
ゲートバルブを開いた場合に、弁箱のシール面に塵埃や
反応生成物が付着して堆積するのを防ぐことが可能とな
るから、ゲートバルブを閉じた場合に、弁体のＯリング
と弁箱のシール面との間に塵埃や反応生成物が介在する
のを防止することが可能となるので、処理室と弁箱の間
の内部リークの発生の防止を更に確実にすることが可能
となる利点があり、著しい信頼性向上の効果が期待でき
るゲートバルブの提供が可能である。
によれば極めて簡単な構造の弁体を用いることにより、
ゲートバルブを開いた場合に、弁箱のシール面に塵埃や
反応生成物が付着して堆積するのを防ぐことが可能とな
るから、ゲートバルブを閉じた場合に、弁体のＯリング
と弁箱のシール面との間に塵埃や反応生成物が介在する
のを防止することが可能となるので、処理室と弁箱の間
の内部リークの発生の防止を更に確実にすることが可能
となる利点があり、著しい信頼性向上の効果が期待でき
るゲートバルブの提供が可能である。
【図１】 本発明による一実施例のゲートバルブを開い
た状態の構造を示す図
た状態の構造を示す図
【図２】 本発明による一実施例のゲートバルブを閉じ
た状態の構造を示す図
た状態の構造を示す図
【図３】 従来のゲートバルブを開いた状態の構造を示
す図
す図
【図４】 従来のゲートバルブを閉じた状態の構造を示
す図
す図
１ 弁体 1a Ｏリング 1b 貫通孔 1c 遮断部 ２ 弁箱 2a シール面 2b 排気孔 ３ 弁体押圧シリンダ ４ 弁体駆動シリンダ 4a スプリング ５ 処理室 ６ 排気ポンプ
Claims (2)
- 【請求項１】 処理室と排気ポンプとの間を開閉する弁
体を有するゲートバルブにおいて、 前記弁体は、貫通孔を備えた貫通部分と、遮断部を備え
た遮断部分と、該貫通孔と該遮断部のそれぞれの周囲に
設けられた溝に挿着され、該弁体が収納されている弁箱
の内壁に密接して気密を保持することが可能なＯリング
とを備えているものであり、 前記弁体は、前記処理室と連通する排気孔に、貫通部分
が移動したとき、処理室と排気ポンプを連通させ、遮断
部分が移動したとき、該処理室と排気ポンプを遮断する
ものであることを特徴とするゲートバルブ。 - 【請求項２】 前記貫通部分に周設されたＯリングの遮
蔽面積が、前記遮断部分に周設されたＯリングの遮蔽面
積よりも大なることを特徴とする請求項１記載のゲート
バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05952396A JP3518142B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05952396A JP3518142B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | ゲートバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09249960A true JPH09249960A (ja) | 1997-09-22 |
| JP3518142B2 JP3518142B2 (ja) | 2004-04-12 |
Family
ID=13115721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05952396A Expired - Fee Related JP3518142B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3518142B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100132891A1 (en) * | 2007-05-08 | 2010-06-03 | Tokyo Electron Limited | Valve and processing apparatus provided with the same |
| JP2020522706A (ja) * | 2017-06-05 | 2020-07-30 | 日本テキサス・インスツルメンツ合同会社 | 光学距離測定システムのための狭帯域トランスインピーダンス増幅器及びシグナリング |
-
1996
- 1996-03-15 JP JP05952396A patent/JP3518142B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100132891A1 (en) * | 2007-05-08 | 2010-06-03 | Tokyo Electron Limited | Valve and processing apparatus provided with the same |
| US8968472B2 (en) * | 2007-05-08 | 2015-03-03 | Tokyo Electron Limited | Valve and processing apparatus provided with the same |
| JP2020522706A (ja) * | 2017-06-05 | 2020-07-30 | 日本テキサス・インスツルメンツ合同会社 | 光学距離測定システムのための狭帯域トランスインピーダンス増幅器及びシグナリング |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3518142B2 (ja) | 2004-04-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040106 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040119 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |