JPH09251842A

JPH09251842A - ガス放電型表示パネルおよびその製造方法

Info

Publication number: JPH09251842A
Application number: JP9002669A
Authority: JP
Inventors: Eiji Matsuzaki; 永二松崎; Nobuyuki Ushifusa; 信之牛房; Seiichi Tsuchida; 誠一槌田; Teruo Takai; 輝男高井
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-01-12
Filing date: 1997-01-10
Publication date: 1997-09-22

Abstract

(57)【要約】【課題】表示画面のコントラストの向上。【解決手段】不透明なバス電極６２，１９２を、前面基
板１の外側から見ると、個々の表示セル３００を区分け
するような枠状（帯状部材１８ａおよび該部材から伸び
た枝状部材１８ｂからなる格子（短絡を防ぐための間隙
を除く））にする。これにより、バス電極は表示画面の
ブラックマトリクスとして働くため、黒表示状態の品位
を高くできる、コントラストが向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イなどのガス放電型表示パネルに係り、特に、コントラ
ストが高い交流駆動型のガス放電型表示パネルおよびそ
の製造方法に関し、さらにまた、ガス放電型表示パネル
を用いたモニタのようなデイスプレイユニットに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】プラズマディスプレイなどのガス放電型
表示パネルは、自己発光により表示を行うため、視野角
が広い、表示が見やすい。また、薄型のものが作製でき
ことや、大画面を実現できるなどの特徴を有しており、
情報端末機器の表示装置や、高品位テレビジョン受像機
等への応用が期待されている。

【０００３】ガス放電型表示パネルは直流駆動型と交流
駆動型に大別される。このうち交流駆動型のプラズマデ
ィスプレイは、電極を覆っている誘電体層の作用により
メモリ機能を有しており、輝度が高い。近年、保護膜の
適用などにより実用に絶える寿命が得られるようにな
り、多用途のビデオ・モニタとして交流駆動型が実用化
されている。

【０００４】図９に、実用化されたプラズマディスプレ
イパネルの構造を示す部分斜視図を示す。このガス放電
型カラー表示パネルは、互いに対向して配置された背面
基板２および前面基板１を備える。背面基板２は、前面
基板１との間隙を一定に保つためのバリアリブ３ａを備
え、前面基板１と背面基板２とは、このバリアリブ３ａ
を介して接続されている。なお、図９は、図を見やすく
するために、前面基板１と背面基板２のバリアリブ３ａ
とを分離して図示した。

【０００５】前面基板１は前面ガラス板４上に表示電極
（透明電極）６１，７１、バス電極６２，７２、誘電体
層８、およびＭｇＯ膜（保護膜）９が形成された構造と
なっている。背面基板２は背面ガラス板５上にアドレス
電極１４、バリアリブ３ａ、および蛍光体層１２が形成
された構造となっている。そして、前面基板１と背面基
板２とを、それぞれ電極の形成された面が対向するよう
に、互いに平行に配置してはりあわせることにより、前
面基板１と背面基板２の間に放電空間３ｆを形成してい
る。なお、表示電極６，７とアドレス電極１４とは、放
電空間３ｆを挟んで直交するようにする。

【０００６】このガス放電型表示パネルの断面図を、図
１０（ａ）〜（ｃ）および図２２に示す。図１０（ａ）
はアドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に垂直な
平面で本実施例の表示パネルの一部を切断した場合の断
面図である。また、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＡ
の位置での断面図であり、その切断面は、アドレス電極
１４に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面である。図
１０（ｃ）は、図１０（ａ）のＢの位置での断面図であ
り、その切断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板
１，２表面に垂直な平面である。なお、図１０（ａ）〜
（ｃ）では、図を見やすくするために、断面のみを図示
し、画面奥に見えるであろう構成の図示は省略した。ま
た、図１０（ａ）においてＣで示した平面での断面図
を、図２２に示す。

【０００７】図１０（ｂ）、図１０（ｃ）に示すよう
に、両基板１，２との間は、表示電極６１，７１の組ご
とに、表示セル（放電セルともいう）が形成され、両基
板１，２とバリアリブ３ａとにより放電空間３ｆが形成
される。この放電セルの内部には、蛍光体層１２が形成
されている。また、セル内の空間３ｆには放電ガスが封
入されている。この従来の表示パネルでは、図２２に示
すように、バリアリブ３ａは平行な棒状をしており、横
（または縦）に連続したセルの放電空間３ｆは、バリア
リブ３ａによって隔てられていない。図２２は放電空間
の平行断面である。

【０００８】この前面基板１の電極６，７と、背面基板
２に形成されたアドレス電極１４との間にパルス電圧を
印加すると、前面基板１、背面基板２およびバリアリブ
３ａにより形成される各セル内３ｆに補助放電が発生す
る。この補助放電を利用して、各セルごとに前面基板１
に形成されている平行した電極６と電極７を覆っている
保護層９の表面に壁電荷を形成する。そして、この壁電
荷の形成されている電極６と電極７との間にパルス電圧
を印加すると、主放電が発生する。この主放電により生
じる紫外線は、セル内部に塗布されている螢光体１２を
発光させる。この表示パネルの表示は、前面基板１を通
して観察されるこの蛍光体１２からの光によるものであ
る。

【０００９】ここで示したガス放電型表示装置の従来例
は、フラットパネル・ディスプレイ１９９４（日経マイ
クロデバイス編、１９９３年）の第１９８頁〜第２０１
頁に記載されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、アドレス電極１４が延伸した方向に配列さ
れる表示セルの分離を、表示電極６，７の位置関係のみ
で行っており、隣接する表示セル間での誤放電を防止す
るためには、隣接する表示セル間の表示電極の間の距離
を大きくする必要がある。この表示セルの間の空間は表
示に寄与しないが、存在する蛍光体１２の発光により、
光のにじみや混色等が発生する。また、表示電極６、７
には電極抵抗を低くするためのバス電極６２、７２が設
けられており、表示電極が延伸する方向に配列した表示
セル間には、多くのバリアリブ１１が存在している。バ
ス電極６、７は不透明材料で形成されるため、表示には
寄与しない。このバス電極存在の悪影響は、電極幅を広
げて電極抵抗を低くする場合に大きくなる。このよう
に、表示セル周辺の表示に寄与しない部分の存在はパネ
ルの開口率を低くするため、輝度低下の原因となる。ま
た、表示セル間の発光や黒色でないバリアリブ１１の存
在は、黒表示状態の品位を下げる原因となっている。こ
のように、上記従来技術では、暗状態での輝度低下と明
状態での輝度向上が困難であり、高コントラストを実現
することはできなかった。

【００１１】本発明の目的は、上記従来技術の難点を解
消して、コントラストの高いガス放電パネルを提供し、
またその製造方法並びに、これを用いたモニタを提供す
ることにある。また、このガス放電型表示パネルは、バ
ス電極の抵抗が低い。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記本発明の目的を達成
するため、本発明のガス放電パネルは次のように構成さ
れている。

【００１３】一般に、ガス放電型表示パネルでは、前面
基板に備える主放電用電極として、透明な表示電極に加
えて、表示電極の抵抗を下げるために、不透明な導体
（多くの場合、金属）からなるバス電極を設ける。そこ
で、本発明では、上記目的を達成するため、この不透明
なバス電極を、個々の表示セルを区分けするような形
状、すなわち、帯状部材と該部材から伸びた枝状部材と
により構成される形状にする。さらに、本発明では、バ
ス電極を、表示セルを囲むような配置にすることが望ま
しい。

【００１４】そこで、本発明では、表示を行なうための
主放電用電極群を備える前面基板と、該前面基板に間隔
を保って対向して配設された、発光させる表示セルを選
択するための補助放電用電極群を備える背面基板と、主
放電の行なわれる空間の内壁に形成された蛍光体層とを
備えるガス放電型表示パネルであって、主放電用電極
が、不透明材料からなるバス電極を備え、バス電極が、
ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前面基
板側から見ると、個々の表示セルの周囲を少なくとも部
分的に囲む枠を構成しているガス放電型表示パネルが提
供される。

【００１５】具体的には、バス電極に、表示電極の延伸
方向に延伸した帯状部材と、該帯状部材から延伸した複
数の枝状部材とを設け、帯状部材は、前面基板側から見
て、隣接する表示セル列（表示電極の延伸方向に沿った
表示セルの列）の間を隔てるように設け、各枝状部材
が、各セル列における隣接する表示セルの間を隔てるよ
うに設ければよい。このようにすれば、前面基板側から
見て、個々の表示セルの周囲の４辺のうちの平行な２辺
に倣って２本のバス電極の帯状部材が配置され、残りの
２辺のそれぞれに倣って、隣接する２本のバス電極の帯
状部材からそれぞれ伸びた２本の枝状部材（合計４本の
枝状部材）が配置され、全体では、個々の表示セルの周
囲（枝状部材間の短絡を防ぐための間隙を除く）が２本
のバス電極に囲まれるようになるため、表示セルの光の
にじみや混色を防ぐことができる。すなわち、バス電極
がブラックストライプまたはブラックマトリクスとして
の役割を果たすことになる。

【００１６】また、本発明の構成によれば、バス電極６
２、７２の枝状部分１８bを有しているため、枝状部分
を有していない従来例のバス電極に比べて抵抗が低くな
る。これを図２５a、図２５bを用いて説明する。この図
は、バス電極パターンの形状を模式的に示したものであ
る。図２５aは本発明による電極パターン形状を、図２
５bは従来例の電極パターン形状を示している。

【００１７】図において、Lは表示セルの表示電極６、
７が延伸する方向の長さを、L1はバス電極の枝状部分１
８bの幅を、Wは表示電極６、７の幅を、W1はバス電極６
２、７２（図２５aではバス電極の帯状部分１８a）の幅
を示している。この図の場合、図２５aに示したバス電
極の枝状部分１８bの長さはW−W1となる。１個の表示セ
ルの領域を波線で囲んで示した。放電空間を区切るバリ
アリブは、表示電極６、７が延伸する方向に対して直交
している波線部と重なって存在しているが、表示電極が
延伸する方向と平行な波線部と重なって存在するとは限
らない。

【００１８】図２５aのように、バス電極が本発明によ
る電極パターン形状である場合、表示電極が延伸する方
向の単一セル当たりのバス電極の抵抗R1は次式で表すこ
とができる。

【００１９】 R1 = Rs × L / W1 − Rs × L1 ( 1 / W1 − 1 / W ) ここで、Rsは、バス電極６２、７２を構成する電極層の
シート抵抗を示している。

【００２０】また、図２５bに示した従来例のバス電極
の表示電極が延伸する方向の単一表示セル当たりの抵抗
R0は、次式によって表すことができる。

【００２１】R0 = Rs × L / W1 上述した２式を比較することにより、バス電極に枝状部
分１８bを設けることにより、バス電極の抵抗は、従来
に比べて、（ L1 / L ） × （ 1 − W1 / W ） × 100 % の大きさだけ低くなることが分かる。

【００２２】これは、バス電極６、７の電極幅が枝状部
分１８bで大きくすることによって、抵抗を低くしてい
ることを示しているが、逆から見れば、バス電極の帯状
部分１８aの幅を小さくできることを示している。この
ため、本発明の構成によれば、不透明なバス電極の帯状
部分の占有面積を小さくすることによって開口率を上げ
ることができる。従って、表示パネルの輝度が上がり、
コントラストを高くできる。

【００２３】なお、上述の従来例では、前面基板１側か
ら見ると、表示セル間には多くのバリアリブ３ａが存在
している。このように、表示セル周辺の表示のコントロ
ールのできない部分の存在は、黒表示状態の品位を下
げ、結果的にコントラストを下げる原因となっている。
そこで、バス電極の帯状部材および枝状部材は、それぞ
れ、前面側から見てバリアリブを覆うように配置される
ことが望ましい。このようにすれば、バリアリブとして
白色のセラミックを用いても、高品位の黒表示状態を確
保でき、結果として、コントラストを高くできるからで
ある。また、バス電極をこのように配置すれば、表示画
面の開口率が高くなって、表示に有効な蛍光体から発せ
られた光が効率良く前面基板を通して外部に放射される
ようになり、輝度を高くできる。

【００２４】また、バス電極の他に、不透明材料からな
る帯状の遮蔽部材を設け、この遮蔽部材によって、バス
電極に覆われていない部分のバリアリブや表示セル間の
蛍光体が存在する部分を覆うようにすれば、表示セル周
辺の表示に寄与しない部分の表示画質に対する影響を小
さくできるため、さらに望ましい。

【００２５】

【発明の実施の形態】本発明のガス放電型表示パネル
は、表示を行なうための主放電用電極群を備える前面基
板と、前面基板に間隔を保って対向して配設された、発
光させる表示セルを選択するための補助放電用電極群を
備える背面基板と、前面基板および背面基板の間隙を表
示セルに分画する絶縁材料から成るバリアリブと、主放
電の行なわれる空間の内壁に形成された蛍光体層とを備
える。ここで、主放電用電極群は、互いに延伸方向の等
しい、複数の主放電用電極からなり、各主放電用電極
は、透明材料からなる、上記前面基板の主表面に対して
並行な帯状電極である表示電極と、該表示電極ごとに設
けられた、表裏一方の面が該表示電極に接する、不透明
材料からなるバス電極とを備える。また、上記補助放電
用電極は、バス電極は、表示電極の延伸方向に延伸した
帯状部材と、該帯状部材から延伸した複数の枝状部材と
を備える。

【００２６】バス電極は、ガス放電型表示パネルの積層
方向に沿って前面基板側から見ると、黒色に見えるよう
に構成することが望ましい。コントロールのできない迷
光を抑制することにより、黒表示状態の品位を上げられ
るからである。

【００２７】なお、ガス放電型表示パネルの積層方向に
そって、前面基板側から見ると、帯状部材は、上記表示
電極の延伸方向に沿った表示セル列の間を隔て、枝状部
材は、上記表示セル列の、上記表示電極の延伸方向に隣
接する表示セルの間を隔てるように設けられていること
が望ましい。上述のように、このような配置にすれば、
個々の表示セルを、不透明なバス電極で分画することが
できるからである。

【００２８】また、上述のように、黒表示状態の品位向
上のためには、バリアリブを覆うことが望ましい。一般
に、表示セルはマトリクス状に配置される。従って、表
示セルを区画するために設けられるバリアリブは、表示
電極の延伸方向に沿った表示セル列に属する各表示セル
を分画する第１の部材、および／または、該表示セル列
と隣接する表示セル列とを区画する第２の部材を有す
る。そこで、ガス放電型表示パネルの積層方向にそっ
て、前面基板側から見ると、バス電極の枝状部材は、バ
リアリブの第１の部材の前面基板側の底面と、少なくと
も一部が重なって見えるように配置されることが望まし
く、バス電極の帯状部材は、バリアリブの第２の部材の
前面基板側の底面と、少なくとも一部が重なって見える
ように配置されることが望ましい。

【００２９】すなわち、枝状部材は、バリアリブの第１
の部材の上記底面を、上記積層方向に沿って、背面基板
側からバス電極の設けられた面に投影して得られる像
に、少なくとも一部が重なるように配置されていること
が望ましく、帯状部材は、バリアリブの第２の部材の上
記底面を、上記積層方向に沿って、背面基板側からバス
電極の設けられた面に投影して得られる像に、少なくと
も一部が重なるように配置されていることが望ましい。

【００３０】また、ガス放電型表示パネルの積層方向に
沿って前面基板側から見ると、バリアリブの第２の部材
の上記前面基板側の底面と、少なくとも一部が重なるよ
うに、上述の遮蔽部材を設けてもよい。

【００３１】本発明では、バス電極は、不透明な導体か
らなり、通常電極として用いられる金属を用いることが
できる。バス電極および補助放電用電極の材料として
は、Ｃｕ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｗ、またはＭｏな
どの金属や、これらの合金などを用いることができる。
これらの電極の形成方法としては、スパッタリング法、
電子線蒸着法、めっき法、あるいは抵抗加熱蒸着法、厚
膜印刷法などを適用することができる。また、バス電極
を、第１の高融点金属と、銅またはアルミニウムと、第
２の高融点金属とを、この順で積層した複合膜としても
よい。ここで、第１の高融点金属および第２の高融点金
属は、それぞれ、クロム、チタン、ニッケル、タングス
テン、およびモリブデンのうちの一種の金属、または、
該金属の合金である。なお、バス電極の表裏のうち、前
面基板の外部に面した側の表面は、上記高融点金属の酸
化膜を備えることが望ましい。

【００３２】表示電極には、酸化スズやＩＴＯなどの導
電性を有する透明な材料を用いる。この表示電極の形成
方法としては、スパッタリング法、電子線蒸着法、化学
気相反応法、ゾル−ゲル法などを用いることができる。

【００３３】また、本発明では、主放電用電極は透明な
絶縁材料からなる基材の表面に形成されるが、この基材
の主放電用電極を形成する表面は、粗面化されているこ
とが望ましい。これは、バス電極のパネル前面側表面の
反射率を低下させるためである。この粗面化処理は、例
えば、サンドブラスト法などにより行なうことができ
る。

【００３４】なお、前面基板の作製に際して、透明材料
からなる基材表面に、まずバス電極を形成してから表示
電極を形成するようにすれば、バス電極と透明基材（ガ
ラス板など）との界面に、金属表面よりも反射率の低い
金属酸化膜を容易に形成できる。従って、前面基板の積
層順は、透明材料からなる基材、バス電極、表示電極、
誘電体層の順にすることが望ましい。

【００３５】上述の従来技術では、補助放電が、主放電
と同じ、蛍光体層１２を備える空間で行なわれるため、
補助放電によっても蛍光体層１２が発光する。従って、
このような表示パネルでは、十分なコントラストが得る
ことは困難であった。そこで、本発明の表示パネルは、
放電セル内の空間を、前面基板側の主放電用空間と、背
面基板側の補助放電用空間とに分離する放電空間分離用
隔壁をさらに備えることが望ましい。ただし、この放電
空間分離用隔壁は、主放電空間と、補助放電空間とを連
通させるための貫通孔を有する。この場合、蛍光体層１
２は、主放電空間の内壁を構成する、バリアリブ側面お
よび隔壁表面に形成される。このようにすれば、主放電
用空間と補助放電用空間とが分離され、隔壁によって補
助放電の光も遮られるため、高いコントラストを得るこ
とができる。この分離用隔壁は、多くの場合は備えてい
ることが望ましいが、必ずしも必要ではない。

【００３６】このように隔壁を設ける場合、バス電極
を、ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前
面基板側から見ると、隔壁の貫通孔の前面基板側開口部
を覆うように配置することが望ましい。このようにすれ
ば、貫通孔を介して漏れ出る補助放電の光を遮蔽するこ
とができるため、さらに高いコントラストを得ることが
できる。

【００３７】つぎに、本発明におけるバス電極の形状お
よび配置の具体的態様例について説明する。なお、「表
示セル列」とは、表示電極の延伸方向に沿った表示セル
の列を意味するものとする。

【００３８】本発明の第１の態様によれば、図１に示す
ように、主放電用電極６，７は表示セル列ごとに２本備
えられ（主放電用電極６は表示セル列ごとに１本備えら
れ、主放電用電極７は表示セル列ごとに１本備えられて
いるので、主放電用電極は表示セル列ごとに計２本備え
られていることになる）、バス電極６２の枝状部材１８
ｂは、バス電極６２，７２の帯状部材１８ａの一方の側
に設けられ、一の表示セル列に対応する二の主放電用電
極のバス電極６２，７２は、枝状部材１８ｂの設けられ
た側を内側に、対向して配設されている。また、枝状部
材１８ｂは、ガス放電型表示パネルの積層方向にそっ
て、前面基板側から見ると、バリアリブの第１の部材の
前面基板側の底面を重なるように配置される。

【００３９】この第１の態様では、図２に示すように、
バス電極６２，７２の一方（図２では６２）の帯状部材
が、ガス放電型表示パネルの積層方向にそって前面基板
側から見ると、隔壁１３の貫通孔（プライミングパス）
１５の前面基板側開口部を覆うように配置することが望
ましい。

【００４０】また、この第１の態様では、図５に示すよ
うに、主放電用電極６または７と、隣接する表示セル列
に備えられた主放電用電極７または６との間に、帯状の
不透明材料からなる遮蔽部材１７を設けて、表示セル列
間のバリアリブ１１の上面を覆うことが望ましい。

【００４１】本発明の第２の態様によれば、図６に示す
ように、主放電用電極６，１９は、表示セル列２本ごと
に３本備えられ、この３本の主放電用電極６，１９のう
ち、中央の１本７は、２列の表示セル列にまたがって備
えられている。この態様では、３本の主放電用電極６，
１９のうち、中央の主放電用電極１９のバス電極１９２
は、両側に枝状部材１８ｂを備え、他の主放電用電極６
のバス電極６２は、一方の側に枝状部材１８ｂを備え、
上記他の主放電用電極６のバス電極６２は、枝状部材１
８ｂの設けられた側を、中央の主放電用電極７に向けて
配設されることが望ましい。このように構成することに
より、個々の表示セルの周囲をバス電極で囲むことがで
きるからである。

【００４２】本発明の第３の態様によれば、主放電用電
極は、表示電極の延伸方向に沿った表示セル列ごとに備
えられ、各主放電用電極は、２列の表示セル列にまたが
って備えられている。この場合、バス電極の枝状部材
は、該バス電極の帯状部材の両側に設けることが望まし
い。

【００４３】この第３の態様では、図７に示すように、
３本の主放電用電極６，１９のうちの両側の２本６と、
隣接する表示セル列に備えられた主放電用電極６との間
に、帯状の不透明材料からなる遮蔽部材１７を設けて、
表示セル列間のバリアリブ１１の上面を覆うことが望ま
しい。

【００４４】上述の第２の態様または第３の態様では、
ガス放電型表示パネルの積層方向にそって前面基板側か
ら見ると、２列の表示セル列にまたがって備えられてい
る主放電用共通電極１９のバス電極１９２の帯状部材１
８ａを、バリアリブの第２の部材の前面基板側の底面に
重なるように配置することが望ましい。また、第１の態
様と同様、枝状部材１８ｂは、ガス放電型表示パネルの
積層方向にそって、前面基板側から見ると、バリアリブ
の第１の部材の前面基板側の底面を重なるように配置さ
れることが望ましい。

【００４５】本発明の第４の態様では、図８に示すよう
に、各主放電用電極６，１９は、表示セル列ごとに３本
備えられ、３本の主放電用電極６，１９のうち、両側の
２本１９は、隣接する表示セル列の主放電用電極１９と
共通の電極である。この場合、バス電極６２，１９２の
枝状部材１８ｂは、該バス電極６２，１９２の帯状部材
１８ａの両側に設けることが望ましい。

【００４６】また、この第４の態様の場合、上述の放電
空間分離用隔壁１３をさらに備える構成では、積層方向
にそって前面基板側から見ると、各表示セルごとの３本
の主放電用電極６，１９のうち、両側の主放電用共通電
極１９のバス電極１９２の帯状部材１８ａは、バリアリ
ブの第２の部材の前面基板側の底面に重なるように配置
され、中央の主放電用非共通電極６のバス電極６２の帯
状部材１８ａは、貫通孔（プライミングパス）１５の前
面基板側開口部を覆うように配置されることが望まし
い。また、共通電極１９のバス電極１９２の帯状部材１
８ａは、ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、前
面基板側から見ると、バリアリブの第２の部材の前面基
板側の底面に重なるように配置されることが望ましい。

【００４７】つぎに、本発明の実施例を、図面を用いて
説明する。なお、「上」は積層方向の背面基板から前面
基板への方向を表わし、「下」は積層方向の前面基板か
ら背面基板への方向を表わすものとする。また、「補助
放電セル列」とは、補助放電電極の延伸方向に沿った表
示セルの列を意味するものとする。以下の説明で述べる
材質や大きさ、製造条件、製造装置等は、実施の一態様
を示しているにすぎない。従って、この発明がこれらの
条件等のみによって限定されるものではない。

【００４８】＜実施例１＞本実施例のガス放電型カラー
表示パネルの断面を、図１に示す。なお、図１（ａ）は
アドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に垂直な平
面で表示パネルを切断した断面図である。また、図１
（ｂ）は、図１（ａ）のＡの位置での断面図であり、そ
の切断面は、バス電極６２，７２の延伸方向に沿って、
ガラス板４表面に平行な平面である。なお、図１（ｂ）
において、表示電極６１，７１は断面ではないが、図を
見やすくするために、梨地模様を付して表現した。図１
（ｃ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ’の位置での断面図であ
り、その切断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板
１，２表面に垂直な平面である。

【００４９】本実施例のガス放電型カラー表示パネル
は、図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、前面基板１と、
背面基板２と、それらの間隙を区画して画素となるセル
を形成する隔壁基板３とを備える。前面基板１と背面基
板２との間の空隙には、ＨｅとＸｅとの混合ガス（本実
施例ではＸｅ含有量５体積％）が封入されている。

【００５０】前面基板１は、ソーダガラス板４と、その
表面に形成された、図１の紙面に垂直方向のセル列の全
セルに共通な２つ一組の主放電用電極６，７と、該電極
６，７を覆うようにソーダガラス板４表面に形成された
誘電体層８と、さらに誘電体層８表面に形成された保護
膜（ＭｇＯ膜）９とを備える。主放電用電極は、透明な
表示電極であるＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉ
ｄｅ）電極６１，７１と、ＩＴＯ電極６１，７１の表面
に形成されたバス電極６２，７２とからなる。

【００５１】表示電極６１，７１の電極パターンは、マ
トリクス状に配列されたセルのうち、一方の方向に並ぶ
セル列の各セルに対して平行な２つの電極が設けられる
ように、多数の並行な直線状のパターンとしてパターン
ニングされる。

【００５２】また、バス電極６２，７２は、表示電極６
１，７１ごとに備えられ、図１（ｂ）に示すように、帯
状部材１８ａと枝状部材１８ｂとからなる。バス電極６
２の枝状部材１８ｂは、バス電極６２，７２の帯状部材
１８ａの一方の側に設けられ、一の表示セル列に対応す
る二の主放電用電極のバス電極６２，７２は、枝状部材
１８ｂの設けられた側を内側に、対向して配設されてい
る。また、図１（ｃ）に示すように、枝状部材１８ｂ
は、短絡を防ぐための間隙を除いて、ガス放電型表示パ
ネルの積層方向にそって、前面基板側から見ると、バリ
アリブの第１の部材の前面基板側の底面を重なってい
る。

【００５３】図１（ｂ）からわかるように、バス電極６
２，７２の形状および配置を、上述のようにすること
で、前面側から見たとき、各表示セル３００の周囲（電
極の短絡を防ぐための間隙を除く）が、それぞれ、不透
明なバス電極６２，７２によって囲まれるため、表示セ
ルの発色のにじみや混色が防止される。

【００５４】また、バス電極６２、７２の抵抗は、枝状
部分の存在により低くなっているため、枝状部分を設け
ない従来例に比べて帯状部分１８aの幅を小さくでき
る。図２５を参照して説明すると次のようになる。例え
ば、表示セルの表示電極６、７が延伸する方向の長さ
(L)を0.4mm、バス電極の枝状部分１８bの幅(L1)を0.1m
m、バス電極６２、７２の帯状部分１８aの幅(W1)を0.08
mm、枝状部分１８bの長さ（W−W1)を0.42mmとすると、
図２５bのように枝状部分を有しない従来例のバス電極
で本実施例と同じ抵抗にするためには、バス電極の幅を
0.1mm以上にする必要がある。この効果は、バス電極の
幅W1を小さくして開口率を上げる場合や、バス電極の帯
状部分１８aの幅を大きくしないでバス電極の抵抗値を
低くする場合に大きい。すなわち、本実施例によれば、
開口率向上による輝度とコントラストの向上、バス電極
の低抵抗化による高速駆動化に効果がある。

【００５５】背面基板２は、ソーダガラス板５と、その
表面に形成された補助放電用電極１４と、補助放電用電
極１４表面に形成された誘電体層８と、誘電体層８表面
を覆うように形成された保護膜（ＭｇＯ膜）９とを備え
る。補助放電用電極１４は、表示電極の延伸方向に直角
に並んだ表示セルの列（補助放電セル列）ごとに、２本
の帯状のアドレス電極１４１，１４２からなる。アドレ
ス電極１４１，１４２は、基板表面に平行であり、かつ
互いに平行な、表示電極６１，７１の延伸方向に直角な
方向に延伸された多数の直線状パターンとしてパターン
ニングされる。

【００５６】前面基板１および背面基板２に形成される
ＭｇＯ膜９は、スパッタリング率が低く耐スパッタリン
グ性に優れているため、放電におけるスパッタリングに
よる損傷を抑制でき、誘電体層８の保護膜として働く。
ＭｇＯ膜９は、放電によるスパッタを抑制することから
表示パネルの長寿命化に有効であり、２次電子放電係数
が高いことから放電電圧の低下と放電の安定化に有効で
ある。また、ＭｇＯ膜９は透明であるから、螢光体１２
から発光した光を通しやすく、表示パネルに用いるのに
適している。

【００５７】隔壁基板３は、前面基板１のＭｇＯ膜９と
背面基板２のＭｇＯ膜９とに接続したバリアリブ３ａ
と、バリアリブ３ａに接続された、前面基板１および背
面基板２に平行な隔壁１３と、バリアリブ３ａおよび隔
壁１３の前面基板側に形成された蛍光体層１２とを備え
る。蛍光体層１２は、放電で発生した紫外線により緑、
青、または赤を発光する蛍光体からなる。なお、いずれ
の色を発色する蛍光体を用いるかは、セルごとに、基板
全体の配色が所定のパターンとなるように定められてい
る。

【００５８】バリアリブ３ａは、前面基板側のバリアリ
ブ１１と、背面基板側のバリアリブ１６とからなる。バ
リアリブ１１，１６は隔壁１３と一体に成形されてお
り、これらは、ガラスまたはセラミックからなる。表示
セル内で発光した光が隣の表示セルに漏れ込むことによ
って混色が生じないようにするために、バリアリブ１１
や隔壁１３は、不透明な白色または有色とし、遮光する
ようにすることが望ましい。

【００５９】前面基板１、背面基板２、隔壁基板３によ
り形成されるセルは、バリアリブ３ａにより隣接するセ
ルと隔離される。このセル内の空間は、隔壁１３によっ
て主放電空間１００と補助放電空間２００とに分離され
ている。隔壁１３は貫通孔１５を備えており、この貫通
孔１５は、主放電空間１００と補助放電空間２００とを
連通させる導通路（プライミングパス）として働く。な
お、本実施例では、隔壁１３はガラス板４，５に対して
平行に設けられているが、荷電粒子等の移動を妨げない
限り、必ずしも水平でなくてもよい。

【００６０】図１（ａ）に示すように、主放電空間１０
０はバリアリブ１１および隔壁１３によって囲まれてお
り、個々の放電セルがそれぞれ分離されている。それに
対し、補助放電空間２００は、図１（ａ）および（ｃ）
に示すように、補助放電用電極１４に平行なバリアリブ
１６によってストライプ状に形成されており、補助放電
用電極１４に沿って配置される放電セルの補助放電空間
２００は、区画されていない。すなわち、補助放電用電
極１４に沿って配置される放電セルは、ストライプ状の
補助放電空間を共有することになる。

【００６１】バリアリブ１１は、格子状に形成され、表
示電極６１，７１の延伸方向の厚さは、０．１０ｍｍで
あり、該方向のピッチは１．２ｍｍ、補助放電用電極１
４の延伸方向の厚さは０．０７ｍｍであり、該方向のピ
ッチは０．４ｍｍである。バリアリブ１６は補助放電用
電極１４の延伸方向に延伸されたストライプ状に形成さ
れ、厚さは０．０７ｍｍ、ピッチは０．４ｍｍである。

【００６２】隔壁１３の厚さは０．１ｍｍであり、表示
電極６１，７１の延伸方向に沿ったバリアリブ３ａに接
し、補助放電用電極１４の延伸方向に沿ったバリアリブ
３ａより０．１ｍｍ離れる位置に、貫通孔１５を備え
る。主放電空間１００のサイズは、高さ０．３ｍｍ、表
示電極６１，７１の延伸方向の奥行き０．３３ｍｍ、補
助放電用電極１４の延伸方向の奥行き１．１ｍｍであ
る。補助放電セルの列に共通な補助放電空間のサイズ
は、高さ０．１ｍｍ、表示電極６１，７１の延伸方向の
奥行き０．３３ｍｍである。なお、ここであげたバリア
リブ１１やバリアリブ１６、隔壁１３、主放電空間１０
０、補助放電空間２００の各寸法は、４０インチ以上の
大きさを有する表示画面における代表的な値であり、表
示画面のサイズや要求される解像度に応じて適宜定める
ことが望ましい。

【００６３】本実施例では、表示セル列ごとに、延伸方
向の等しい主放電用電極６，７が主放電用電極対として
設けられ、また、補助放電セル列ごとに、延伸方向の等
しいアドレス電極１４１，１４２が補助放電用電極対と
して設けられている。

【００６４】なお、アドレス電極１４１，１４２は、隣
の補助放電セル列に対応するアドレス電極１４１，１４
２と短絡しない限り、その一部が補助放電空間２００の
下からはみ出して、バリアリブ１６の下になってもさし
つかえない。これは、表示電極６１，７１の延伸方向に
並ぶ各放電セルの補助放電空間２００が、背面基板側バ
リアリブ１６によって分離されているからである。

【００６５】本実施例のガス放電型カラー表示パネルで
は、主放電用電極対の一方（主電極）６と、補助放電用
電極対の一方１４１との間に電圧を印加することによっ
て発光する表示セルが選択される。これについて、以下
に説明する。

【００６６】ある表示セルを発光させるためには、ま
ず、この発光させる表示セルの下を通る補助放電用電極
対１４１および１４２にパルス電圧を印加して、補助放
電を発生させる。この補助放電の蛍光体１２への影響
は、隔壁１３によって遮断されるため、このとき蛍光体
１２は発光しない。この状態で、発光させる表示セルの
上を通る主電極６と、発光させる表示セルの下を通る補
助放電用電極１４１との間に電圧を印加し、さらに、発
光させる表示セルの上を通る主放電用電極対６，７にパ
ルス電圧を印加する。すると、補助放電空間２００にお
ける放電により発生した荷電粒子等がプライミングパス
１５を通して主放電空間１００に広がり、前面基板側保
護膜９の表面に、誘電体層８を介して壁電荷パターンが
形成され、この壁電荷による電圧が、主放電用電極対
６，７に印加された電圧に畳重されて、主放電が発生す
る。すなわち、発光させる所定の表示セルにおいて主放
電が発生することになる。

【００６７】この主放電によって、封止ガス（本実施例
では５％のＸｅを含むＮｅガス）が励起されて紫外線を
発生し、この紫外線によって蛍光体１２が発光する。こ
の発光した光が前面基板１を通って外部に放出される。

【００６８】以上述べてきたように、指定した放電セル
の下を通る補助放電電極対１４１，１４２にパルス電圧
を印加することによって補助放電を発生させ、指定した
表示セルの上を通る主電極６と補助放電用電極１４１と
の間に電圧を印加して主放電を起こす表示セルを指定
し、指定したセルの上を通る主放電用電極対６，７にパ
ルス電圧を印加することによって、所定の表示セルに主
放電を起し、この主放電により可視光を発生させ、該可
視光が前面基板１を通して外部に放射されることによ
り、本表示パネルに画像が形成される。

【００６９】このように、この実施例では、各セルを、
バリアリブ３ａで区切るほか、前面基板１と背面基板２
の間の空間を隔壁１３で区切ることにより、補助放電に
より発生する放射線が蛍光体１２に当たらないように、
補助放電を蛍光体１２から隠す。このため、本実施例の
表示パネルでは、背面基板２側の補助放電用電極１４に
より補助放電を発生さても、この補助放電による発光が
隔壁１３によって阻止されることになり、主放電によっ
てのみ螢光体１２が発光することになるため、補助放電
のみが起こり、主放電が起きていないセルでは、蛍光体
１２が発光せず、主放電による発光だけが前面基板１側
から観察できるから、充分なコントラストを得ることが
できる。

【００７０】本実施例では、図１（ｂ）および（ｃ）か
らわかるように、バス電極６２，７２の枝状部材１８ｂ
が、バリアリブ１１の上で対向電極に向かって延伸して
いる。すなわち、主放電空間１００を区画するバリアリ
ブ１１の上で、主電極６のバス電極６２の枝状部材１８
ｂが、電極対を構成するもう一方の主放電用電極７に向
かって伸びており、この主放電用電極７のバス電極７２
の枝状部材１８ｂは、電極対を構成する主電極６に向か
って伸びている。図１（ｂ）より分かるように、前面基
板の電極６、７が延伸する方向に配列された表示セル間
に不透明材料からなるバス電極が存在しており、従来の
表示パネルに比べて、制御できない迷光が少なく、黒表
示状態の品位が高い。

【００７１】また、本実施例では、図１（ａ）より分か
るように、主電極６のバス電極６２とプライミングパス
１５の前面基板側開口部とが、上から見て重なるように
位置している。これにより、補助放電による光が前面基
板を通して外部に漏れなくなり、コントラストを高くで
きる。

【００７２】なお、本実施例では、表示電極６１，７１
は、帯状に伸延されている。しかし、バス電極６２、７
２により電源からの導通は確保されているので、表示電
極６１，７１を表示セル列に沿って連続させる必要はな
く、各放電セル毎に独立した電極として形成し、それぞ
れの表示電極をバス電極６２，７２によって接続しても
良い。

【００７３】つぎに、本実施例のガス放電型表示パネル
の製造方法を、図２３（ａ）〜（ｏ）を用いて説明す
る。図２３は、本実施例の表示パネルの製造方法を模式
的に示した説明図である。

【００７４】Ａ．前面基板の作製（１）主放電用電極の形成まず、前面基板１を作製した。中性洗剤等を用いて洗浄
したソーダライムガラス板４（幅：約８５ｃｍ、奥行：
約７０ｃｍ、厚さ：約２．８ｍｍ）の表裏一方の面に、
スパッタリング法（電子線蒸着法など、他の成膜法でも
よい）により、ＩＴＯ膜（酸化スズ（ＳｎＯ2）膜な
ど、他の透明導電膜でもよい）５ｃを形成した（図２３
（ａ））。

【００７５】室温１５〜２５℃、湿度６０％の防塵室内
で、このＩＴＯ膜５ｃ表面に感光性樹脂組成物を塗布
し、この感光性樹脂組成物塗膜を、所定パターンのマス
クを介して３ｋＷ（出力８ｋＷ）の超高圧水銀灯により
露光量を２００〜２５０ｍＪ／ｃｍ2として露光させ、
０．７〜１．０％の炭酸ナトリウム水溶液を用いて、現
像温度２５℃、圧力１．２ｋｇ／ｃｍ2の条件で、１０
５秒間スプレー現像したのち、水洗し、乾燥して、所定
パターンのレジスト膜を形成した。つぎに、エッチング
液によりＩＴＯ膜５ｃの露出部分をエッチングしたの
ち、剥離液でレジスト膜を剥離した。これにより、ＩＴ
Ｏ膜５ｃがパターン化され、所定の位置にＩＴＯ電極６
１，７１が形成された（図２３（ｂ））。なお、表示電
極６１，７１のパターン寸法は、製造する表示セルの大
きさに合わせて定めればよい。

【００７６】つぎに、表示電極６１、７１を形成した前
面ガラス基板４上に、スパッタリング法や電子線蒸着法
等の成膜手法を用いて、クロム膜、銅膜、およびクロム
膜をこの順で成膜した。これにより、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ
積層膜が形成された。この積層膜を、上述と同様のフォ
トエッチング法によりパターン化し、表示電極６１、７
１の表面にバス電極６２、７２を形成した（図２３
（ｃ））。なお、Ｃｕ膜の膜厚とバス電極のパターン寸
法はバス電極に要求される抵抗値によって定めればよ
い。

【００７７】（２）誘電体層の形成得られた電極６１，６２，７１，７２を覆うように、ガ
ラス板４表面に、Ａｌ、Ｓｉ、Ｏを主成分とする周知の
加水分解型コーティング剤をブレード法で塗布し、１０
０〜４００℃の温度で１〜６０分間加熱することによ
り、厚さ：０．００５〜０．０３ｍｍの誘電体層８を形
成した（図２３（ｄ））。

【００７８】なお、Ａｌ、Ｓｉ、Ｏを主成分とする加水
分解型コーティング剤として、ここでは、トリ（ｎ−ブ
トキシ）アルミニウムと、テトラ（ｎ−ブチル）シリケ
ートとを、酸化物に換算したときの３７：６３の重量比
で含むｎ−ブタノール溶液を常温で加水分解して得られ
たゲルを用いた。

【００７９】（３）保護膜の形成得られた誘電体層８表面に、スパッタリング法（電子線
蒸着法などでもよい）により、厚さ０．０００１〜０．
００５ｍｍのＭｇＯ膜９を形成した（図２３（ｅ））。
以上の工程（１）〜（３）により、前面基板１が作製さ
れた。

【００８０】Ｂ．背面基板の作製（４）アドレス電極の形成つぎに、背面基板２を作製した。まず、中性洗剤等を用
いて洗浄した幅：約９０ｃｍ、奥行：約６５ｃｍ、厚
さ：約２．８ｍｍのソーダライムガラス板５（図２３
（ｆ））に、スパッタリング法や電子線蒸着法等の成膜
手法を用いて、クロム膜、銅膜、およびクロム膜をこの
順で成膜した。これにより、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層膜が
形成された。この積層膜を、上述と同様のフォトエッチ
ング法によりパターン化し、アドレス電極１４１，１４
２を形成した（図２３（ｇ））。なお、Ｃｕ膜の膜厚と
アドレス電極のパターン寸法は補助放電用電極に要求さ
れる抵抗値によって定めればよい。

【００８１】（５）誘電体層の形成得られたアドレス電極１４を覆うように、ガラス板５上
に工程（２）と同じ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｏを主成分とする加
水分解型コーティング剤をブレード法で塗布し、上述の
工程（２）と同様にして、厚さ０．００５〜０．０３ｍ
ｍの誘電体層８を形成した（図２３（ｈ））。

【００８２】（６）保護膜の形成以上により誘電体層８が形成されたので、その表面に、
上記工程（３）と同様にして、厚さ０．００１〜０．０
０５ｍｍのＭｇＯ膜９を形成した（図２３（ｉ））。以
上の工程（４）〜（６）により、背面基板２が作製され
た。なお、本実施例における表示パネルの構造の説明で
述べたのと同様、背面基板２には、パネル組立後に排気
およびガス導入のためのチップ管（図示せず）を取り付
けた。

【００８３】Ｃ．隔壁基板の作製（７）レジスト膜の形成次に、隔壁基板３を作製した。まず、幅：約８５ｃｍ、
奥行：約６５ｃｍ、厚さ：０．５ｍｍのアルミナを主成
分とするセラミック板３０（あるいは、硼珪酸ガラス板
でもよい）を用意し、その表裏一方の面に感光性樹脂組
成物を塗布し、各セルにおける前面基板側と背面基板側
との放電の導通経路を作成するための所定パターンを有
するマスクを介して、３ｋＷ（出力８ｍＷ）の超高圧水
銀灯を用い、２００ｍＪ／ｃｍ2〜２５０ｍＪ／ｃｍ2の
感光量で、感光性樹脂組成物膜を露光させた。つぎに、
０．２％〜０．５％の炭酸ナトリウム水溶液を用いて、
現像温度：２５℃、圧力：１．２ｋｇ／ｃｍ2、時間：
１０５秒間の条件でスプレー現像を行ったのち、０．１
％程度の希酸で中和し、水洗、乾燥を行って、所定のパ
ターンのレジスト膜３１を形成した（図２３（ｊ））。

【００８４】（８）導通経路の形成つぎに、サンドブラスト法により、レジスト膜３１に覆
われていない部分のセラミック板３０に貫通孔をあけ、
前面基板１側の空間１００と背面基板２側の空間２００
との放電の導通経路１５を形成し、レジスト膜３１を剥
離液で剥離した（図２３（ｋ））。導通経路１５は、底
面が０．１ｍｍ×０．１５ｍｍの貫通孔である。

【００８５】（９）レジスト膜の形成得られた導通経路１５を備えるセラミック板３０の両面
に、上記工程（７）と同様にして、所定のパターンのレ
ジスト膜３２を得た（図２３（ｌ））。

【００８６】（１０）バリアリブおよび隔壁の形成つぎに、両面サンドブラスト法により、レジスト膜３２
に覆われていない部分のセラミック板３０を削り、セル
の主放電用の空間１００および補助放電用の空間２００
を形成し、剥離液によりレジスト膜３２を剥離した。こ
れにより、前面基板側のバリアリブ１１と背面基板側の
バリアリブ１６とを一体に構成したバリアリブ３ａと、
主放電と補助放電とを隔離する隔壁１３とからなる部品
が形成された（図２３（ｍ））。

【００８７】（１１）蛍光体層の形成この部品の前面基板側に、緑用、青用、赤用の所定のパ
ターンのマスクをそれぞれ介して、スプレー法（ブレー
ド法などでもよい）により、緑、青、赤の各蛍光体を塗
布した後、１５０℃〜３００℃の温度で５分〜６０分間
乾燥させて、蛍光体層１２を形成した（図２３
（ｎ））。なお、カラー表示が不要な場合には、全セル
に同一色の蛍光体層を形成すればたりる。

【００８８】以上の（７）〜（１１）の工程により、バ
リアリブ３ａと、隔壁１３と、蛍光体層１２とを有する
部品である隔壁基板３が得られた。

【００８９】Ｄ．組立（１２）基板１〜３の組立以上のようにして得られた基板１〜３を位置合わせし、
その周囲を、封止材（フリットガラス）をディスペンサ
で塗布して覆った後、３５０℃〜４５０℃で熱処理して
封止材３３を固定した（図２３（ｏ））。このとき、前
面基板１に設けた主放電用電極６、７の延伸方向と、背
面基板５に設けた補助放電用電極１４の延伸方向とが直
交するようにする。

【００９０】（１３）ガスの注入さらに、背面基板２に設けられているチップ管を介して
前面基板１と背面基板２との間の空気を吸引して真空に
したのち、５％のＸｅを含むＮｅガスを３５〜７０ｋＰ
ａの内圧になるまで導入した。その後、局部加熱によっ
てチップ管を加熱し、チップオフして、図１に示したガ
ス放電型カラー表示パネルを作成した。

【００９１】Ｅ．結果以上の工程（１）〜（１３）により作製したガス放電型
表示パネルでは、バス電極６２，７２が、図１（ｂ）に
示すような形状および配置になっているため、前面側か
ら見たとき、バス電極６２，７２が、表示セル３００を
縦横に区切るマトリクスに見え、これにより、制御でき
ない迷光が防止され、暗状態での輝度を下げることがで
きた。また、補助放電の発光は、隔壁１３で遮光され、
主放電による発光のみが観察されることになるため、主
放電の発生したセルと、主放電の発生していないセルと
の間に、充分なコントラスト（１００：１以上）を得る
ことができた。

【００９２】なお、本実施例では、バス電極６２，７２
および補助放電用電極１４の材料として、Ｃｒ／Ｃｕ／
Ｃｒ積層膜を用いているが、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ａｌ、
Ｔｉ、Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏなど、あるいはこれらの金属の合
金、またはこれらの金属あるいは合金の積層膜を用いて
もさしつかえない。また、バス電極６２，７２および補
助放電用電極１４は、厚膜印刷法や、真空蒸着法（電子
線蒸着法、抵抗加熱蒸着法）、あるいは、めっき法（無
電解めっき法、電解めっき法）などで形成してもよい。
表示電極７１，７２を構成する材料も、ＩＴＯに限定さ
れるものではなく、酸化スズなど、十分な導電性を有す
る透明な材料であればよい。また、その形成方法として
も、スパッタリング法に限られず、真空蒸着法（電子線
蒸着法、抵抗加熱蒸着法）、化学気相反応法、あるいは
ゾル−ゲル法など、適宜選択してさしつかえない。

【００９３】誘電体層８の形成方法にも特に制限はな
く、スパッタリング法、化学気相反応法、ゾル−ゲル
法、厚膜印刷法など適宜選択してさしつかえない。ま
た、本実施例では保護層としてＭｇＯを用いているが、
放電ガスに対するスパッタリング率が低く、２次電子放
出能が高い材料であれば良く、ＭｇＯのほか、ＣａＯや
ＳｒＯ、あるいは、これらの混合物を用いても良い。

【００９４】また、本実施例では、隔壁基板３の形成に
サンドブラスト法を用いているが、他の方法を用いても
さしつかえない。ただし、サンドブラスト法やエッチン
グ法などは、位置精度がよいため、セラミックのスラリ
を成形して焼結する方法などよりも、本発明に適してい
る。なお、特に背面基板側バリアリブ１６の形成に際し
ては、フィルムパターンを形成したのちにガラス材料や
セラミック材料を埋め込むリフトオフ法や厚膜印刷技術
も有効な形成方法である。

【００９５】さらに、本実施例では、放電ガスとしてＮ
ｅとＸｅの混合気体を用いているが、これらに限定され
るものではなく、例えばＨｅとＸｅの混合気体など、放
電により蛍光体を発光させるのに必要や放射線を発生さ
せるものであればよい。

【００９６】また、本実施例では基板１，２の基材とし
てソーダガラス板４，５を用いたが、他の基材を用いて
もよい。ただし、前面基板１の基材としては、透明な材
料を用いる。

【００９７】なお、本実施例のガス放電型表示装置は４
００℃以下の低温プロセスで製造できるため、歪点が低
い安価なソーダガラス等のガラスを基板とし使用でき
る。しかし、製造プロセスの温度を４００℃以下にする
ことを要求している訳ではなく、製造プロセスの温度を
４００℃以上にした場合にも本実施例のガス放電型表示
装置は製造できる。

【００９８】本実施例のように、バス電極６２，７２の
構成材料としてＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒのような薄膜材料を用
いる場合には、前面ガラス基板４のＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒパ
ターンを形成する場所に対してサンドブラストなどによ
る粗面化処理を施し、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒの反射率を下げ
ることが有効である。これは、Ｃｒの反射率が高いため
である。反射率の高い材料をバス電極６２，７２に用い
ると、前面基板１側から入射する光の反射光が強くな
る。そこで、黒表示状態の品位を高くするため、バス電
極の前面側表面を粗面化し、入射光を乱反射させること
が望ましい。

【００９９】＜実施例２＞本実施例のガス放電型カラー
表示パネルの断面を、図２に示す。なお、図２（ａ）は
アドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に垂直な平
面で表示パネルを切断した断面図である。また、図２
（ｂ）は、図２（ａ）のＡの位置での断面図であり、そ
の切断面は、バス電極６２，７２の延伸方向に沿って、
ガラス板４表面に平行な平面である。なお、図２（ｂ）
において、表示電極６１，７１は断面ではないが、図を
見やすくするために、梨地模様を付して表現した。図２
（ｃ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ’の位置での断面図であ
り、その切断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板
１，２表面に垂直な平面である。

【０１００】図２（ｃ）からわかるように、本実施例と
実施例１との相違点は、補助放電用電極１４の一方の電
極を、隣接する表示セルとの共通電極１４３とした点に
ある。本実施例の表示パネルには、隣接する２つの表示
セルを単位として、表示セルのアドレス選択のための２
本の補助放電用電極１４１と、補助放電セル列にまたが
った１本の共通電極１４３が備えられている。補助放電
用共通電極１４３の中央部の上には、誘電体層８と保護
層９とを介してバリアリブ１６が設けられ、隣接する補
助放電セル列の補助放電空間２００の間を分離してい
る。

【０１０１】この表示パネルでは、補助放電用非共通電
極１４１と、主電極６の間に電圧を印加することによ
り、主放電を起す表示セルが選択される。

【０１０２】このように補助放電用電極１４を構成する
ことにより、補助放電用電極の数を著しく低減できる。
これは、補助放電空間を小さくできることを意味してお
り、高精細な表示画面を実現する上では有効になる。ま
た、共通化された補助放電用電極１４３の大きさを小さ
くすることにより、共通化されていない補助放電用電極
１４１のプライミングパス１５と重なりあう面積を大き
くでき、位置合わせが容易になる。そのため、本実施例
の製造プロセスは、実施例１に比べて安定になり、プラ
イミングパス１５の大きさも小さくでき、コントラスト
をさらに高くできる。

【０１０３】本発明は、補助放電用電極の構造に拘りな
く適用できる。従って、実施例１と補助放電用電極１４
の構成のみが異なる本実施例においても、実施例１と同
様の高品位、高コントラストな表示パネルを得ることが
できた。

【０１０４】＜実施例３＞本実施例のガス放電型カラー
表示パネルの断面を、図３に示す。なお、図３（ａ）は
アドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に垂直な平
面で表示パネルを切断した断面図である。また、図３
（ｂ）は、図３（ａ）のＡの位置での断面図であり、そ
の切断面は、バス電極６２，７２の延伸方向に沿って、
ガラス板４表面に平行な平面である。なお、図３（ｂ）
において、表示電極６１，７１は断面ではないが、図を
見やすくするために、梨地模様を付して表現した。図３
（ｃ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ’の位置での断面図であ
り、その切断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板
１，２表面に垂直な平面である。

【０１０５】図３（ｃ）からわかるように、本実施例と
実施例１の相違点は、補助放電セル列ごとに３本のアド
レス電極１４３，１４１，１４３を設け、これらの内、
両側の２本１４３を、隣接する補助放電セル列との共通
の電極にした点である。共通電極１４３の中央部の上に
は、誘電体層８とＭｇＯからなる保護層９を介してバリ
アリブ１６が設けられ、補助放電セル列の補助放電空間
２００の間を分離している。

【０１０６】本実施例の表示パネルでは、補助放電は、
補助放電用非共通電極１４１と、２本の補助放電用共通
電極１４３との間で起こり、各表示セルの選択は、補助
放電用非共通電極１４１と主放電用主電極６との間に電
圧を印加することにより行なわれる。

【０１０７】本実施例では、各表示セルにおける補助放
電を１本の非共通アドレス電極１４１と２本の共通アド
レス電極１４３との間の２つの電極間で発生させるた
め、補助放電空間が広がる。そのため、荷電粒子等を、
プライミングパス１５を通して主放電空間１００へ広げ
ることが容易になる。また、補助放電が２つの電極間で
発生するため、補助放電空間２００を形成する隔壁基板
３と背面基板２との間に少々の位置ずれが発生した場合
にも、各表示セルに対応した補助放電を発生させること
ができ、隔壁基板と背面基板の組み立てが容易になる。

【０１０８】上述のように、本発明は、補助放電用電極
の構造に拘りなく適用できる。従って、実施例１と補助
放電用電極１４の構成のみが異なる本実施例において
も、実施例１と同様の高品位、高コントラストな表示パ
ネルを得ることができた。

【０１０９】＜実施例４＞本実施例のガス放電型カラー
表示パネルの断面を、図４に示す。なお、図４（ａ）は
アドレス電極１４１に平行で、基板１，２表面に垂直な
平面で表示パネルを切断した断面図である。また、図４
（ｂ）は、図４（ａ）のＡの位置での断面図であり、そ
の切断面は、バス電極６２，７２の延伸方向に沿って、
ガラス板４表面に平行な平面である。なお、図４（ｂ）
において、表示電極６１，７１は断面ではないが、図を
見やすくするために、梨地模様を付して表現した。図４
（ｃ）は、図４（ａ）のＢ−Ｂ’の位置での断面図であ
り、その切断面は、アドレス電極１４１に垂直で、基板
１，２表面に垂直な平面である。

【０１１０】図４（ａ）および（ｃ）から分かるよう
に、本実施例と実施例１との相違点は背面基板２の構造
にある。これ以外の構成や製造方法は実施例１の場合と
同じである。本実施例の補助放電用電極１４は、アドレ
ス電極１４１と、該アドレス電極１４１の延伸方向に直
角な方向に延伸されたトリガ電極１４４とからなる。ア
ドレス電極１４１と、トリガ電極１４４とは、誘電体層
８を挟んで配設されている。

【０１１１】本実施例の表示セルでは、放電が発生する
補助放電空間２００を２つの補助放電用電極１４１，１
４４に電圧を印加することによって指定することによ
り、主放電を発生させる表示セルが選択される。補助放
電による荷電粒子等を主放電空間１００に広げるために
は、主電極６とアドレス電極１４１との間に電圧を印加
すればよい。

【０１１２】上述の各実施例１と補助放電用電極１４の
構成のみが異なる本実施例においても、バス電極６２，
７２のブラックストライプとしての働きにより、高品
位、高コントラストな表示パネルを得ることができた。

【０１１３】なお、実施例１〜３の表示パネルでは、補
助放電による過電粒子を移動させるための電圧の印加に
より主放電を起す表示セルが選択される。しかし、本実
施例では、補助放電用電極対が、延伸方向の交叉する２
本の補助放電用電極１４１，１４４からなるため、電圧
を印加する補助放電用電極対を選択することにより、補
助放電を発生させる補助放電空間２００そのものを選択
できる。従って、本実施例の表示パネルでは、主放電を
発生させない表示セルでは補助放電が発生しない。ま
た、本実施例では、アドレス電極１４１とトリガ電極１
４４とを別の層に形成しているため、補助放電用電極１
４の存在密度が実施例１に比べて低い。このため、主電
極６と対向させるアドレス電極１４１の配置に対する自
由度が大きくなり、アドレス電極１４１とライミングパ
ス１５との重なり合う面積を大きくできる。これらによ
り、本実施例では、補助放電による発光の表示画質に対
する影響をほとんどなくすことができ、また、補助放電
による荷電粒子等を主放電空間１００に広げるための電
圧を低くできるという効果が得られる。

【０１１４】なお、本実施例の表示パネルの製造方法
は、背面基板２の作製方法以外は実施例１と同様であ
る。そこで、ここでは、背面基板２の作製方法のみを、
図２４を用いて説明する。

【０１１５】（ｉ）トリガ電極の形成まず、中性洗剤等で洗浄した、幅：約９０ｃｍ、奥行：
約６５ｃｍ、厚さ：約２．８ｍｍのソーダガラス板５の
表面に、上述の工程（１）と同様にして、Ｃｒ／Ｃｕ／
Ｃｒ積層膜を形成し、この積層膜を、工程（１）と同様
のフォトエッチング法によりパターン化して、幅０．１
ｍｍ、厚さ０．００２ｍｍのトリガ電極１４４を形成し
た（図２４（ｂ））。なお、トリガ電極１４４の厚さお
よびパターン寸法は、必要とされる抵抗値に応じて定め
ればよい。

【０１１６】（ii）誘電体層の形成得られたトリガ電極１４４を覆うように、ガラス板５上
に、工程（２）と同様にして誘電体層８の一部８ｃ（厚
さ：０．００５〜０．０３ｍｍ）を形成した（図２４
（ｃ））。

【０１１７】（iii）アドレス電極および誘電体層の形
成さらに、得られた誘電体層の一部８ｃの表面に、上述の
工程（ｉ）と同様の方法により、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層
膜からなるアドレス電極１４１を形成し（図２４
（ｄ））、得られたアドレス電極１４１を覆うように、
誘電体層８ｃ上に、工程（ii）と同様にして背面基板側
誘電体層８の残り（厚さ：０．００５〜０．０３ｍｍ）
を形成した（図２４（ｅ））た。

【０１１８】（iv）保護膜の形成以上により誘電体層８が形成されたので、その表面に、
工程（３）と同様にして、厚さ０．０００１〜０．００
５ｍｍのＭｇＯ膜９を形成した。なお、背面基板２に
は、パネル組み立て後に行う排気とガス導入のためにチ
ップ管（図示せず）を取り付けた。

【０１１９】以上のようにして得られた背面基板２と、
実施例１と同様にして作製した前面基板１（図２４
（ａ））および隔壁基板３（図２４（ｇ））とを、実施
例と同様にして組み立て（図２４（ｈ））、ガスを封入
して本実施例の表示パネルが得られた。

【０１２０】トリガ電極１４４の材料として、本実施例
では、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層膜を用いているが、アドレ
ス電極１４１と同様、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｎｉ、
Ｗ、およびＭｏやこれらの合金またはこれらの積層膜な
どから適宜選択できる。また、このトリガ電極１４４の
形成方法としても、アドレス電極１４４と同様、電子線
蒸着法、めっき法、抵抗加熱蒸着法、印刷法などを適宜
用いることができる。

【０１２１】＜実施例５＞本実施例のガス放電型カラー
表示パネルの断面を、図５に示す。なお、図５（ａ）は
アドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に垂直な平
面で表示パネルを切断した断面図である。また、図５
（ｂ）は、図５（ａ）のＡの位置での断面図であり、そ
の切断面は、バス電極６２，７２の延伸方向に沿って、
ガラス板４表面に平行な平面である。なお、図５（ｂ）
において、表示電極６１，７１および遮蔽部材１７は断
面ではないが、図を見やすくするために、梨地模様を付
して表現した。図５（ｃ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ’の
位置での断面図であり、その切断面は、アドレス電極１
４に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面である。

【０１２２】図５（ａ）および（ｂ）からわかるよう
に、本実施例と実施例１の相違点は、主放電用電極対と
主放電用電極対との間に、遮蔽部材１７が設けられてい
る点である。遮蔽部材１７は、表示電極６１，７１の延
伸方向と同じ方向に延伸された帯状の不透明材料からな
るパターンである。この遮蔽部材１７は、格子状に形成
されたバリアリブ１１の、表示電極６１，７１の延伸方
向と同じ方向に延伸された部材の上面の少なくとも一部
を、前面基板上部から見て覆うように配置されている。

【０１２３】なお、遮蔽部材１７は、本実施例では、バ
ス電極６２，７２と同じ材料からなる。この遮蔽部材１
７は、上述の工程（１）において、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積
層膜をフォトエッチングする際に用いるマスクを変える
ことにより、バス電極６２，７２の形成と同時に形成す
ることができる。従って、遮蔽部材１７を設けても、製
造工程が長くなることはない。これ以外の構成や製造方
法は実施例１の場合と同じである。

【０１２４】本実施例では、実施例１と比べて、前面基
板１内での不透明材料からなるパターンの占有面積が広
くなっており、前面基板１の上から見て、透明材料を通
して見えるバリアリブ１１（本実施例では白色）の上面
が、ほぼ、遮蔽部材１７およびバス電極６２，７２に覆
い画されている。このため、本実施例の黒表示状態の品
位は、実施例１に比べて高い。なお、遮蔽部材１７は、
表示に寄与しないバリアリブ１１と重なるように形成さ
れるため、この遮蔽部材１７を設けても、輝度を下げる
ことにはならない。従って、本実施例によるガス放電型
表示装置のコントラストは実施例１に比べて高くなる。

【０１２５】＜実施例６＞本実施例のガス放電型カラー
表示パネルの断面を、図６に示す。なお、図６（ａ）は
アドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に垂直な平
面で表示パネルを切断した断面図である。また、図６
（ｂ）は、図６（ａ）のＡの位置での断面図であり、そ
の切断面は、バス電極６２，１９２の延伸方向に沿っ
て、ガラス板４表面に平行な平面である。なお、図６
（ｂ）において、表示電極６１，１９１は断面ではない
が、図を見やすくするために、梨地模様を付して表現し
た。図６（ｃ）は、図６（ａ）のＢ−Ｂ’の位置での断
面図であり、その切断面は、アドレス電極１４に垂直
で、基板１，２表面に垂直な平面である。

【０１２６】図６からわかるように、本実施例と実施例
１との相違点は、主放電用電極６，１９が、表示セル列
２本ごとに３本備えられ、この３本の主放電用電極６，
１９のうち、中央の１本１９が、２列の表示セル列にま
たがって備えられている点である。主放電用共通電極１
９のバス電極１９２は、両側に枝状部材１８ｂを備え
る。また、主放電用非共通電極６のバス電極６２は、一
方の側に枝状部材１８ｂを備え、この枝状部材１８ｂの
設けられた側を、主放電用共通電極１９に向けて配設さ
れている。また、各共通電極１９のバス電極１９２の帯
状部材１８ａは、バリアリブ１１の表示セル列間を区画
する部材の上に形成され、各バス電極６２，１９２の枝
状部材１８ｂは、表示セル列内の各表示セルを区画する
バリアリブ１１の部材の上に形成されている。

【０１２７】本実施例では、前面から見たときの、不透
明材料からなるパターンの占有面積が、実施例１に比べ
て広いにもかかわらず、表示セル３００の面積は変わっ
ていない。これは、バリアリブ１１の表示セル列に沿っ
た部材の上面が、一本おきに、共通電極１９のバス電極
１９２の帯状電極１８ａによって覆われているからであ
る。従って、本実施例の表示パネルでは、黒表示状態の
品位が実施例１に比べて高い。

【０１２８】また、実施例１では、主放電空間１００の
前面から見た開口部が、バス電極７２によって、一部覆
われているのに対し、本実施例では、主放電用共通電極
１９のバス電極１９２がバアリブ１１上に位置している
ため、主放電空間１００の前面から見た開口面積が広
い。従って、本実施例のガス放電型表示パネルは、実施
例１より輝度が高い。

【０１２９】これらにより、本実施例のガス放電型表示
パネルの方が、実施例１に比べて高いコントラストが得
られる。また、本実施例の場合、前面基板１の電極の数
が実施例１に比べて少なく、製造しやすいという効果も
ある。

【０１３０】なお、本実施例では、表示電極１９１は、
表示セル列にまたがった共通電極となっているが、表示
電極１９１は必ずしも共通電極である必要はなく、バス
電極１９２が共通電極であれば足りる。また、本実施例
のパネルでは、背面基板の電極構造は実施例１と同じに
なっているが、本実施例の効果は、背面基板の電極構造
にかかわらず得ることができ、実施例２〜４の構造にし
ても差支えない。

【０１３１】なお、本実施例の表示パネルは、実施例５
の表示パネルに比べて、黒表示状態の品位が劣るが、輝
度に優れている。

【０１３２】＜実施例７＞本実施例のガス放電型カラー
表示パネルの断面を、図７に示す。なお、図７（ａ）は
アドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に垂直な平
面で表示パネルを切断した断面図である。また、図７
（ｂ）は、図７（ａ）のＡの位置での断面図であり、そ
の切断面は、バス電極６２，１９２の延伸方向に沿っ
て、ガラス板４表面に平行な平面である。なお、図７
（ｂ）において、表示電極６１，１９１および遮蔽部材
１７は断面ではないが、図を見やすくするために、梨地
模様を付して表現した。図７（ｃ）は、図７（ａ）のＢ
−Ｂ’の位置での断面図であり、その切断面は、アドレ
ス電極１４に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面であ
る。

【０１３３】図７（ａ）および（ｂ）からわかるよう
に、本実施例と実施例６との相違点は、主放電用非共通
電極６と、隣接する表示セルの非共通電極６との間に、
遮蔽部材１７を設けることによって、実施例６では前面
から見えていたバリアリブ１１の上面を覆った点にあ
る。これ以外の構成や製造方法は実施例６と同様であ
る。

【０１３４】本実施例では、前面から見たときの、不透
明材料からなるパターンの占有面積が、実施例６に比べ
て広いにもかかわらず、表示セル３００の面積は変わっ
ていない。これは、バリアリブ１１の表示セル列に沿っ
た部材の上面が、すべて、バス電極１９２の帯状電極１
８ａ、または、遮蔽部材１７によって覆われているから
である。従って、本実施例の表示パネルでは、黒表示状
態の品位が実施例６に比べて高い。また、遮蔽部材１７
は、主放電空間１００の前面から見た開口面積を狭めな
いため、遮蔽部材１７を設けても、輝度を下げることに
はならない。従って、本実施例のガス放電型表示パネル
のコントラストは、実施例６の場合に比べて高い。

【０１３５】本実施例の表示パネルを、同様に遮蔽部材
１７を備える実施例５の表示パネルと比較すると、前面
から見た遮蔽部材１７の占有面積は同等であるが、本実
施例では、主放電用共通電極１９のバス電極１９２がバ
アリブ１１上に位置しているため、主放電空間１００の
前面側の開口面積は、本実施例の方が広い。従って、本
実施例のガス放電型表示パネルの方が、実施例５のパネ
ルに比べて輝度が高いため、コントラストも高い。な
お、遮蔽部材１７は、実施例５と同様、バス電極６２，
１９２の形成工程で同時に形成されるため、本実施例の
製造工程数は実施例６と同じである。

【０１３６】＜実施例８＞本実施例のガス放電型カラー
表示パネルの断面を、図８に示す。なお、図８（ａ）は
アドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に垂直な平
面で表示パネルを切断した断面図である。また、図８
（ｂ）は、図８（ａ）のＡの位置での断面図であり、そ
の切断面は、バス電極６２，１９２の延伸方向に沿っ
て、ガラス板４表面に平行な平面である。なお、図８
（ｂ）において、表示電極６１，１９１は断面ではない
が、図を見やすくするために、梨地模様を付して表現し
た。図８（ｃ）は、図８（ａ）のＢ−Ｂ’の位置での断
面図であり、その切断面は、アドレス電極１４に垂直
で、基板１，２表面に垂直な平面である。

【０１３７】本実施例と実施例１との相違点は、図８か
らわかるように、各主放電用電極６，１９が、表示セル
列ごとに３本備えられ、この３本の主放電用電極６，１
９のうち、両側の２本１９が、隣接する表示セル列の主
放電用電極１９と共通になっている点にある。本実施例
では、バス電極６２，１９２は、それぞれ、枝状部材１
８ｂを帯状部材１８ａの両側に備える。これ以外の構成
や製造方法は実施例１の場合と同じである。

【０１３８】本実施例では、各共通電極１９のバス電極
１９２の帯状部材１８ａは、バリアリブ１１の表示セル
列間を区画する部材の上に形成され、各バス電極６２，
１９２の枝状部材１８ｂは、表示セル列内の各表示セル
を区画するバリアリブ１１の部材の上に形成されてい
る。また、各非共通電極６のバス電極６２の帯状部材１
８ａは、プライミングパス１５の前面基板側開口部の上
を通るように配置されている。従って、前面から見る
と、バリアリブ１１の上面のほぼ全面が、バス電極６
２，１９２によって覆われており、プライミングパス１
５の開口部はバス電極６２によって覆われている。

【０１３９】従って、本実施例の表示パネルは、実施例
１〜７の表示パネルのいずれに比べても、主放電空間１
００の前面基板１の上から見た開口率が最も大きくな
り、主放電空間１００の周辺の表示に寄与しない部分の
ほぼ全面が不透明材料によって覆われていることにな
る。このため実施例１〜７に比べ、本実施例は、最も高
いコントラストを得ることができる。

【０１４０】また、本実施例では、表示セル列を特徴付
ける主電極として主放電用非共通電極６が、表示セルの
中央に配置され、この共通電極６の両側に形成される２
つの電極対によって主放電を行っている。従って、本実
施例の構成によれば、つぎの（ａ）〜（ｃ）のような効
果も得られる。

【０１４１】（ａ）各表示セルの主放電空間１００内に
２組の電極対によって２つの主放電が発生するため、主
放電空間１００内に発生する紫外線が強くなり、放電空
間も広がる。このため、蛍光体からの発光量が多くな
り、実施例１に比べて更に輝度やコントラストを上げる
ことができる。本実施例では、特に、バリアリブ１１の
側壁に塗布された蛍光体１２からの発光が、表示に対し
て効果的に寄与するようになる。

【０１４２】（ｂ）本実施例では、プライミングパス１
５の開口部がバス電極６２によって覆われているため、
プライミングパス１５を主放電空間１００の中央部に形
成しても差支えなく、隔壁基板３の製造が容易になる。

【０１４３】（ｃ）各表示セルの主放電が２つの電極対
間で発生するため、主放電空間１００を形成する隔壁基
板１３と前面基板１との間に少々の位置ずれが存在して
も、各表示セルに対応した主放電を発生させることがで
き、隔壁基板３と前面基板１の組み立てが容易になる。

【０１４４】なお、実施例６と同様、共通電極１９の表
示電極１９１は必ずしも２本のセル列にまたがっている
必要はなく、バス電極１９２が共通電極であれば足り
る。また、実施例１と同様、表示電極６１，１９１を表
示セル列に沿って連続させる必要はなく、各放電セル毎
に独立した電極として形成し、それぞれの表示電極をバ
ス電極６２，１９２によって接続しても良い。

【０１４５】＜実施例９＞本実施例のガス放電型カラー
表示パネルの断面を、図１１に示す。なお、図１１
（ａ）はアドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に
垂直な平面で表示パネルを切断した断面図である。ま
た、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＡの位置での断面
図であり、その切断面は、バス電極６２，１９２の延伸
方向に沿って、ガラス板４表面に平行な平面である。な
お、図１１（ｂ）において、表示電極６１，１９１は断
面ではないが、図を見やすくするために、梨地模様を付
して表現した。図１１（ｃ）は、図１１（ａ）のＢ−
Ｂ’の位置での断面図であり、その切断面は、アドレス
電極１４に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面であ
る。

【０１４６】図１１の（ｃ）からわかるように、本実施
例と実施例８とは、背面基板２に形成された補助放電用
電極１４の構成のみが異なっている。本実施例では、補
助放電用電極１４が、補助放電セル列２本ごとに３本備
えられ、この３本の補助放電用電極１４のうち、中央の
１本１４３が、２列の補助放電セル列にまたがって備え
られている。

【０１４７】本実施例の表示パネルでは、表示セルの選
択は、補助放電用非共通電極１４１と、主電極６との間
に電圧を印加することにより行なわれる。補助放電用共
通電極１４３は、表示セル列内の各表示セルの補助放電
空間２００を分画するバリアリブ１６の下に位置するよ
うに設けられている。

【０１４８】本実施例の場合、補助放電用電極対の一方
の電極を、補助放電セル列２本の間で共有しているた
め、補助放電用電極の数を低減できる。また、共通化さ
れた補助放電用電極１４３の大きさを小さくすることに
より、共通化されていない補助放電用電極１４１のプラ
イミングパス１５と重なりあう面積を大きくできる。そ
の結果、プライミングパス１５の位置合わせが容易にな
る。このため、プライミングパス１５の大きさを小さく
できるのでコントラストをさらに高くでき、また、本実
施例の製造プロセスは、実施例８に比べて安定である。

【０１４９】本実施例からわかるように、実施例８と同
様の主放電電極構造にすることにより、背面基板２の構
造に拘りなく、実施例８と同じ効果が得られる。

【０１５０】＜実施例１０＞本実施例のガス放電型カラ
ー表示パネルの断面を、図１２に示す。なお、図１２
（ａ）はアドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に
垂直な平面で表示パネルを切断した断面図である。ま
た、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＡの位置での断面
図であり、その切断面は、バス電極６２，１９２の延伸
方向に沿って、ガラス板４表面に平行な平面である。な
お、図１２（ｂ）において、表示電極６１，１９１は断
面ではないが、図を見やすくするために、梨地模様を付
して表現した。図１２（ｃ）は、図１２（ａ）のＢ−
Ｂ’の位置での断面図であり、その切断面は、アドレス
電極１４に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面であ
る。

【０１５１】図１２からわかるように、本実施例の表示
パネルは、実施例８と同様の前面基板１と、実施例１と
同様の隔壁基板３と、実施例３と同様の背面基板２とが
積層された構成を有している。本実施例においては、実
施例８と同様の高コントラストが得られ、さらに、実施
例３と同様の、補助放電を補助放電用電極対２組の間で
発生させることに伴う効果が得られる。

【０１５２】＜実施例１１＞本実施例のガス放電型カラ
ー表示パネルの断面を、図１３に示す。なお、図１３
（ａ）はアドレス電極１４１に平行で、基板１，２表面
に垂直な平面で表示パネルを切断した断面図である。ま
た、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＡの位置での断面
図であり、その切断面は、バス電極６２，１９２の延伸
方向に沿って、ガラス板４表面に平行な平面である。な
お、図１３（ｂ）において、表示電極６１，１９１は断
面ではないが、図を見やすくするために、梨地模様を付
して表現した。図１３（ｃ）は、図１３（ａ）のＢ−
Ｂ’の位置での断面図であり、その切断面は、アドレス
電極１４１に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面であ
る。

【０１５３】図１２からわかるように、本実施例の表示
パネルは、実施例８と同様の前面基板１と、実施例１と
同様の隔壁基板３と、実施例４と同様の背面基板２とが
積層された構成を有している。本実施例においては、実
施例８と同様の高コントラストが得られ、さらに、実施
例４と同様の、補助放電を交叉する補助放電用電極１４
１，１４４の対の間で発生させることに伴う効果が得ら
れる。

【０１５４】＜実施例１２＞以上の実施例１〜１１で
は、隔壁１３を備えるガス放電型表示パネルに本発明を
適用した例について説明したが、本発明は、本実施例の
ように、隔壁１３を備えていないガス放電型表示パネル
にも、適用できる。

【０１５５】本実施例のガス放電型カラー表示パネルの
断面図を、図１４（ａ）〜（ｃ）に示す。図１４（ａ）
はアドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に垂直な
平面で本実施例の表示パネルの一部を切断した場合の断
面図である。また、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＡ
の位置での断面図であり、その切断面は、アドレス電極
１４に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面である。図
１４（ｃ）は、図１４（ａ）のＢの位置での断面図であ
り、その切断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板
１，２表面に垂直な平面である。なお、図１４（ａ）〜
（ｃ）では、断面のみを図示し、画面奥に見えるであろ
う構成の図示は省略した。

【０１５６】図１４（ｂ）および（ｃ）に示すように、
両基板１，２との間は、表示電極６１，７１の組ごと
に、表示セル３００が形成され、両基板１，２とバリア
リブ３ａとにより放電空間３ｆが形成される。この表示
セルの内部には、蛍光体層１２が形成されている。ま
た、セル内の空間３ｆには放電ガスが封入されている。
本実施例の表示パネルでは、図２２に示したものと同様
に、バリアリブ３ａは平行な棒状をしており、補助放電
セル列の各表示セルの放電空間３ｆは、バリアリブ３ａ
によって隔てられていない。

【０１５７】また、本実施例の表示パネルのバス電極６
２，７２は、図１４（ｂ）からわかるように、実施例１
のバス電極６２，７２と同様の形状をしており、実施例
１と同様に、表示セル３００の枠を構成している。従っ
て、この枠により、表示のにじみや混色が抑えられ、図
１０に示した従来の表示パネルに比べて、黒表示状態の
品位が高いため、高いコントラストが得られた。また、
抵抗の低いバス電極６２、７２の枝状部材１８ｂを、バ
リアリブ３ａ上で対向電極に向かって伸延させることに
より、表示電極６，７全体の抵抗値を低くできる効果が
得られる。

【０１５８】なお、本実施例の表示パネルは、隔壁基板
３を備えていない。そこで、本実施例の表示パネルの製
造方法を、つぎに説明する。

【０１５９】まず、中性洗剤等を用いて洗浄したソーダ
ライムガラス等からなる背面ガラス基板５上に、厚膜印
刷法により、銀ペーストを用いて所定のパターンを印刷
し、１００〜１５０℃の温度で乾燥した後、５００〜６
００℃の温度で焼成することにより、アドレス電極１４
を形成した。

【０１６０】この基板上に、厚膜印刷法により、バリア
リブ形成用ペーストを所定のパターンに印刷し、１００
〜１５０℃の温度で乾燥した。バリアリブ３ａは厚いこ
とが要求されるので、このバリアリブ形成用ペーストの
印刷と乾燥は、複数回繰り返したのち、５００〜６００
℃の温度で焼成することにより、バリアリブ３ａを形成
した。

【０１６１】さらに、バリアリブ３ａによって形成され
た各放電セルの内壁を構成するバリアリブ側面、ガラス
板５表面、およびアドレス電極１４表面に、赤、青、ま
たは緑の蛍光体用ペーストを、厚膜印刷法を用いて印刷
し、１００〜１５０℃の温度での乾燥したのち、５００
〜６００℃で焼成して、蛍光体層１２を形成した。

【０１６２】最後に、以上により作製された、バリアリ
ブ３ａと蛍光体層１２とを設けた背面基板２と、実施例
１と同様にして作製した前面基板とを、位置合わせして
対向させ、実施例１の組み立て工程と同様にしてガスを
封入した。

【０１６３】なお、本実施例では、アドレス電極１４を
厚膜印刷法によって形成しているが、実施例１〜１１に
示したように、スパッタリング法や電子線蒸着法等の真
空蒸着法によって形成しても良い。アドレス電極１４の
材料も、銅やアルミニウム、または、これらをクロムや
チタン、ニッケル、タングステン、モリブデンなどの高
融点金属ではさんだものとしても差支えない。また、バ
リアリブ３ａを厚膜ペーストの印刷と乾燥、焼成の繰り
返しで作製しているが、厚膜ペーストを全面に厚塗り
し、その上に感光性樹脂からなる所定のパターンのレジ
スト膜を形成し、サンドブラスト等により不要な領域を
除去して形成しても良く、また、レジスト膜を形成して
からバリアリブ用ペーストを埋め込んでも差支えない。
また、蛍光体層１２の形成も、厚膜印刷法に限定される
ものではなく、スプレー法などを用いても差支えない。

【０１６４】＜実施例１３＞本実施例のガス放電型カラ
ー表示パネルの断面図を、図１５（ａ）〜（ｃ）に示
す。図１５（ａ）はアドレス電極１４に平行で、基板
１，２表面に垂直な平面で本実施例の表示パネルの一部
を切断した場合の断面図である。また、図１５（ｂ）
は、図１５（ａ）のＡの位置での断面図であり、その切
断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板１，２表面に
垂直な平面である。なお、図７（ｂ）において、表示電
極６１，１９１および遮蔽部材１７は断面ではないが、
図を見やすくするために、梨地模様を付して表現した。
図１５（ｃ）は、図１５（ａ）のＢの位置での断面図で
あり、その切断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板
１，２表面に垂直な平面である。なお、図１５（ａ）〜
（ｃ）では、断面のみを図示し、画面奥に見えるであろ
う構成の図示は省略した。

【０１６５】本実施例の表示パネルは、実施例５と同様
の遮蔽部材１７を備える点のみが、実施例１２と異なっ
ている。本実施例においても、実施例５と同様に、遮蔽
部材１７を備えることによる、輝度を下げることなく黒
表示状態の品位を向上させるという効果が得られた。

【０１６６】＜実施例１４＞本実施例のガス放電型カラ
ー表示パネルの断面図を、図１６（ａ）〜（ｃ）に示
す。図１６（ａ）はアドレス電極１４に平行で、基板
１，２表面に垂直な平面で本実施例の表示パネルの一部
を切断した場合の断面図である。また、図１６（ｂ）
は、図１６（ａ）のＡの位置での断面図であり、その切
断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板１，２表面に
垂直な平面である。図１６（ｃ）は、図１６（ａ）のＢ
の位置での断面図であり、その切断面は、アドレス電極
１４に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面である。な
お、図１６（ａ）〜（ｃ）では、断面のみを図示し、画
面奥に見えるであろう構成の図示は省略した。

【０１６７】本実施例の表示パネルは、主放電用電極の
構成が実施例６と同様になっている点のみが、実施例１
２と異なっている。本実施例においても、実施例６と同
様に、共通電極１９のバス電極１９２がバリアリブ３ａ
上面を覆うことによる、黒表示状態の品位および輝度の
向上という効果が得られた。

【０１６８】＜実施例１５＞本実施例のガス放電型カラ
ー表示パネルの断面図を、図１７（ａ）〜（ｃ）に示
す。図１７（ａ）はアドレス電極１４に平行で、基板
１，２表面に垂直な平面で本実施例の表示パネルの一部
を切断した場合の断面図である。また、図１７（ｂ）
は、図１７（ａ）のＡの位置での断面図であり、その切
断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板１，２表面に
垂直な平面である。なお、図７（ｂ）において、表示電
極６１，１９１および遮蔽部材１７は断面ではないが、
図を見やすくするために、梨地模様を付して表現した。
図１７（ｃ）は、図１７（ａ）のＢの位置での断面図で
あり、その切断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板
１，２表面に垂直な平面である。なお、図１７（ａ）〜
（ｃ）では、断面のみを図示し、画面奥に見えるであろ
う構成の図示は省略した。

【０１６９】本実施例の表示パネルは、前面基板１が、
実施例７と同様の、共通電極１９と遮蔽部材１７とを備
える点が実施例１２の表示パネルと異なっている。本実
施例においても、実施例７と同様に、遮蔽部材１７を備
えることによる、輝度を下げることなく黒表示状態の品
位を向上させるという効果、および、主放電電極対の一
方の電極１９を共通電極にし、該電極１９のバス電極１
９２でバリアリブ３ａの上面を覆うことによる、黒表示
状態の品位および輝度の向上という効果が得られた。

【０１７０】＜実施例１６＞本実施例のガス放電型カラ
ー表示パネルの断面図を、図１８（ａ）〜（ｃ）に示
す。図１８（ａ）はアドレス電極１４に平行で、基板
１，２表面に垂直な平面で本実施例の表示パネルの一部
を切断した場合の断面図である。また、図１８（ｂ）
は、図１８（ａ）のＡの位置での断面図であり、その切
断面は、アドレス電極１４に垂直で、基板１，２表面に
垂直な平面である。図１８（ｃ）は、図１８（ａ）のＢ
の位置での断面図であり、その切断面は、アドレス電極
１４に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面である。な
お、図１８（ａ）〜（ｃ）では、断面のみを図示し、画
面奥に見えるであろう構成の図示は省略した。

【０１７１】本実施例の表示パネルは、前面基板１が、
実施例８と同様の、表示セル列ごとに、２本の共通電極
１９と１本の非共通電極６とを備える点が実施例１２の
表示パネルと異なっている。本実施例においても、２組
の主放電電極対によって主放電を発生させることによ
る、発光量の増大、放電空間３ｆの開口率の増大、およ
び製造プロセスの安定、共通電極１９のバス電極１９２
でバリアリブ３ａの上面を覆うことによる、黒表示状態
の品位および輝度の向上などの、コントラストを高める
効果の他に、一つの放電セル列に２組の主放電電極対を
備えることによる製造プロセスの安定という効果も得ら
れた。

【０１７２】＜実施例１７＞本実施例のガス放電型カラ
ー表示パネルの断面を、図１９に示す。なお、図１９
（ａ）はアドレス電極１４に平行で、基板１，２表面に
垂直な平面で表示パネルを切断した断面図である。ま
た、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）のＡの位置での断面
図であり、その切断面は、バス電極６２，１９２の延伸
方向に沿って、ガラス板４表面に平行な平面である。な
お、図１９（ｂ）において、表示電極６１，１９１は断
面ではないが、図を見やすくするために、ハッチングを
付して表現した。図１９（ｃ）は、図１９（ａ）のＢ−
Ｂ’の位置での断面図であり、その切断面は、アドレス
電極１４に垂直で、基板１，２表面に垂直な平面であ
る。

【０１７３】図１９からわかるように、本実施例と実施
例１０との相違点は、表示電極（透明電極）６１，１９
１と、バス電極６２，１９２との積層順序が逆になって
いる点にある。すなわち、実施例１０の前面基板１は、
ガラス板４、表示電極６１，１９１、バス電極６２，１
９２、誘電体層８、保護膜９の順に積層されているのに
対し、本実施例のの前面基板１は、ガラス板４、バス電
極６２，１９２、表示電極６１，１９１、誘電体層８、
保護膜９の順に積層されている。

【０１７４】本実施例における前面基板１の断面を、図
２０（ａ）に示す。ただし、図２０（ａ）では、誘電体
層８および保護膜９の図示は省略した。本実施例のバス
電極６２，１９２は、ガラス板４表面に直接形成され、
実施例１０と同様、第１の高融点金属層６２１，１９２
１と、低抵抗金属層６２２，１９２２と、第２の高融点
金属層６２３，１９２３とを、この順で積層させた積層
膜からなる。なお、本実施例では、第１の高融点金属層
６２１，１９２１および第２の高融点金属層６２３，１
９２３はＣｒからなり、低抵抗金属層６２２，１９２２
はＣｕからなる。

【０１７５】バス電極６２，７２に表示パネル前面を表
示セル３００に区画するブラックマトリクス（ブラック
マスク）としての働きを持たせる場合、前面基板１側か
らの入射光のバス電極表面での反射を少なくすること
が、黒表示状態での品位向上のため好ましい。そこで、
本実施例では、第１の高融点金属層６２１、１９２１の
ガラス板４側表面を、該高融点金属の酸化膜で被覆して
いる。これにより、バス電極６２，１９２表面の金属光
沢が消失するため、反射が抑制されるので、表示画面の
品質が向上する。

【０１７６】なお、表示電極（透明電極）６１，７１を
構成する薄膜層に比べてバス電極６２，７２を構成する
薄膜層の膜厚が大きい場合、バス電極パターン６２、７
２に対する透明電極パターン６１、７１の被覆性が良好
でなく、段切れが発生したり、大きな抵抗が発生したり
することがある。このような場合には、ガラス板４、表
示電極６１，１９１、バス電極６２，１９２を、実施例
１０と同様、この順に積層しなければならない。そこ
で、図２０（ｂ）に示すように、ガラス板４と、表示電
極６１，１９１との間に、高融点金属酸化物からなる遮
蔽膜６２０，７２０を形成し、この遮蔽膜６２０，７２
０によってバス電極６２，１９２の前面を覆うようにし
てもよい。ここで、遮蔽膜６２０，７２０の膜厚は、前
面用ガラス板４の屈折率と板厚、ＩＴＯ膜６１，１９１
の屈折率と膜厚、高融点金属の屈折率、高融点金属酸化
膜の屈折率を基に、反射率が小さくなるように定めれば
良い。

【０１７７】本実施例の表示パネルは、実施例１で説明
した製造工程と、電極のパターンのみならず、前面基板
１の電極形成工程（工程（１））のプロセスが異なって
いる。そこで、つぎに、前面基板１の電極形成工程を、
図２１を用いて説明する。

【０１７８】まず、中性洗剤等を用いて洗浄したソーダ
ライムガラス板４（幅：約８５ｃｍ、奥行：約７０ｃ
ｍ、厚さ：約２．８ｍｍ）の表裏一方の面に、スパッタ
リング法（電子線蒸着法など、他の成膜法でもよい）に
より、酸化クロム膜およびクロム膜７２１０と、銅膜７
２２０と、クロム膜７２３０とをこの順で成膜した。こ
れにより、ガラス板４との界面が酸化膜になっているＣ
ｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層膜２１が形成された（図２１
（Ａ））。なお、最上層の酸化クロム膜は、基板前面側
から見て反射率が小さくなるように膜厚を定めることが
望ましい。この積層膜２１を、実施例１の工程（１）で
用いた方法と同様のフォトエッチング法によりパターン
化し、ガラス板４の表面にバス電極６２，１９２を形成
した（図２１（Ｂ））。

【０１７９】つぎに、スパッタリング法（電子線蒸着法
など、他の成膜法でもよい）により、ガラス板４の表面
に、バス電極６２，１９２を覆うように、ＩＴＯ膜（酸
化スズ（ＳｎＯ2）膜など、他の透明導電膜でもよい）
２２を形成した（図２１（Ｃ））。このＩＴＯ膜２２
を、実施例１の工程（１）で用いた方法と同様のフォト
エッチング法によりパターン化し、ガラス板４の表面
に、バス電極６２，１９２を覆うように、表示電極６
１，１９１を形成した（図２１（Ｄ））。

【０１８０】以上により、ガラス板４表面に主放電用電
極が形成されたので、この電極を覆うように、ガラス板
４表面に、実施例１と同様にして誘電層８および保護層
９を形成して、本実施例の前面基板１を作製した。

【０１８１】本実施例では、バス電極６２，１９２を表
示電極６１，１９１を形成する前に形成するため、バス
電極６２，１９２の上面（基板前面側の底面）に、高融
点金属酸化膜を容易に形成できる。

【０１８２】〈実施例１８〉本発明を適用したガス放電
表示パネルを用いたデイスプレイユニットのブロック構
成図を図２６に示す。図において、１１００はアドレス
ドライバを、１２００はスキャンドライバを、１３００
はパルスジェネレータを、１４００はレベルシフタを、
１５００はコントロールユニットを、１６００はオート
パワーコントロール回路を、１７００はDC/DCコンバー
タを示す。本実施例では、アドレスドライバ１１００と
スキャンドライバ１２００によって表示セルの選択を行
い、パルスジェネレータ１３００で発生した電圧によっ
て表示のための主放電を発生させる。これらの制御は、
コントロール回路によって行われる。コントロール回路
１５００からスキャンドライバ１２００への制御信号の
転送は、レベルシフタ１４００を介して行われる。オー
バーパワーコントロール回路は高圧電源電流を検出して
規定値を越えた場合に維持放電パルスの数を減少させる
信号を送り出すものであり、DC/DCコンバータ１７００
は外部回路から供給される電圧から駆動回路用の内部電
圧を発生させるものである。

【０１８３】本実施例に示したディスプレイユニットで
は、表示画質のコントラストを高くできる本発明による
ガス放電型表示パネル１０００を用いているので、コン
トラストの高い鮮明な画像が得られる効果がある。

【０１８４】

【発明の効果】本発明によるガス放電型表示パネルで
は、表示セル周辺の表示のコントロールのできない部分
をバス電極などの不透明材料からなるパターンによって
被覆できるので、黒表示状態の品位を上げることができ
る。

【０１８５】また、バス電極や不透明材料からなるパタ
ーンを、前面基板側から見てバリアリブと重なるように
配置することによって表示画面の開口率を高くでき、表
示に有効な蛍光体から発せられた光を効率良く前面基板
を通して外部に放出させることができるため、輝度を高
くできる。このように、本発明によれば、コントラスト
の高いガス放電型表示パネルを提供できる効果を得るこ
とができる。

【０１８６】また、従来のバス電極は本発明における帯
状部分からのみ構成されていたが、本発明では枝状部分
を有していて、この枝状部分がアドレス電極が延伸する
方向に配列した表示セル間のセル分離領域に設けられて
いる。セル分離がバリアリブで行われていれば、枝状部
分はこのバリアリブ上に存在することになる。これによ
り各表示セルが不透明なバス電極で囲まれることによっ
て色のにじみや混色の防止が可能となり、また、バス電
極の低抵抗化が可能となる。この結果、開口率を大きく
できるため輝度が高くなり、暗状態での輝度を下げるこ
とができるため、コントラストが高くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１のガス放電型表示パネルの部分拡大断
面図である。

【図２】実施例２のガス放電型表示パネルの部分拡大断
面図である。

【図３】実施例３のガス放電型表示パネルの部分拡大断
面図である。

【図４】実施例４のガス放電型表示パネルの部分拡大断
面図である。

【図５】実施例５のガス放電型表示パネルの部分拡大断
面図である。

【図６】実施例６のガス放電型表示パネルの部分拡大断
面図である。

【図７】実施例７のガス放電型表示パネルの部分拡大断
面図である。

【図８】実施例８のガス放電型表示パネルの部分拡大断
面図である。

【図９】ガス放電型表示パネルの従来例を示す部分斜視
図（略図）である。

【図１０】ガス放電型表示パネルの従来例を示す部分拡
大断面図である。

【図１１】実施例９のガス放電型表示パネルの部分拡大
断面図である。

【図１２】実施例１０のガス放電型表示パネルの部分拡
大断面図である。

【図１３】実施例１１のガス放電型表示パネルの部分拡
大断面図である。

【図１４】実施例１２のガス放電型表示パネルの部分拡
大断面図である。

【図１５】実施例１３のガス放電型表示パネルの部分拡
大断面図である。

【図１６】実施例１４のガス放電型表示パネルの部分拡
大断面図である。

【図１７】実施例１５のガス放電型表示パネルの部分拡
大断面図である。

【図１８】実施例１６のガス放電型表示パネルの部分拡
大断面図である。

【図１９】実施例１７のガス放電型表示パネルの部分拡
大断面図である。

【図２０】実施例１７の前面基板およびその応用例の部
分拡大断面図である。

【図２１】実施例１７の主放電用電極の作製プロセスを
示す説明図である。

【図２２】ガス放電型表示パネルの従来例におけるバリ
アリブの構造を示す部分拡大断面図である。

【図２３】実施例１のガス放電型表示パネルの製造プロ
セスを示す説明図である。

【図２４】実施例４のガス放電型表示パネルの製造プロ
セスを示す説明図である。

【図２５】ガス放電型表示パネルのバス電極の形状を示
す図である。

【図２６】ディスプレイユニットのブロック構成を示す
図である。

【符号の説明】１…前面基板、２…背面基板、３…隔壁基板、３ａ…バ
リアリブ、３ｆ…放電空間、４…前面ガラス板、５…背
面ガラス板、６…主放電用非共通電極、７…前面基板の
電極、８…誘電体層、９…保護層（ＭｇＯ）、１１…前
面基板側バリアリブ、１２…蛍光体層、１３…隔壁、１
４…補助放電用電極、１５…プライミングパス、１６…
背面基板側バリアリブ、１７…遮蔽部材、１８ａ…バス
電極の帯状部材、１８ｂ…バス電極の枝状部材、１９…
主放電用共通電極、２１…バス電極用積層膜、２２…表
示電極用ＩＴＯ膜、６１、７１、１９１…表示電極、６
２、７２、１９２…バス電極、１００…主放電空間、１
４１、１４２…非共通アドレス電極、１４３…共通アド
レス電極、１４４…トリガ電極、２００…補助放電空
間、３００…表示セル面。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者高井輝男神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所情報映像事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表示を行なうための主放電用電極群を備え
る前面基板と、上記前面基板に、間隔を保って対向して配設された、発
光させる表示セルを選択するための補助放電用電極群を
備える背面基板と、上記前面基板および上記背面基板の間隙を表示セルに分
画するバリアリブと、上記主放電の行なわれる空間の内壁に形成された蛍光体
層とを備え、上記主放電用電極群は、互いに延伸方向の等しい、複数
の主放電用電極からなり、上記主放電用電極は、透明材料からなる、上記前面基板の主表面に対して並行
に延伸された帯状電極である表示電極と、上記表示電極ごとに設けられた、表裏一方の面が該表示
電極に接するバス電極とを備え、上記補助放電用電極は、上記バス電極は、上記表示電極の延伸方向に延伸した帯
状部材と、該帯状部材から延伸した複数の枝状部材とを
備えることを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項２】請求項１において、上記ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前
面基板側から見ると、上記帯状部材は、上記表示電極の延伸方向に沿った表示
セル列の間を隔て、上記枝状部材は、上記表示セル列の、上記表示電極の延
伸方向に隣接する表示セルの間を隔てるように設けられ
ていることを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項３】請求項１において、上記バリアリブは、上記表示電極の延伸方向に沿った表示セル列に属する各
表示セルを分画する第１の部材を有し、上記バス電極の枝状部材は、上記ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前
面基板側から見ると、上記バリアリブの上記第１の部材
の上記前面基板側の底面と、少なくとも一部が重なって
見えることを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項４】請求項１において、上記バリアリブは、上記表示電極の延伸方向に沿った表示セル列と、隣接す
る表示セル列とを分画する第２の部材を有し、上記バス電極の帯状部材は、上記ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前
面基板側から見ると、上記バリアリブの上記第２の部材
の上記前面基板側の底面と、少なくとも一部が重なって
見えることを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項５】請求項１において、上記バリアリブは、上記表示電極の延伸方向に沿った表示セル列と、隣接す
る表示セル列とを分画する第２の部材を有し、上記前面基板は、上記主表面に対して並行な、不透明材料からなる、上記
表示電極の延伸方向に延伸された複数の遮蔽部材を、さ
らに備え、上記遮蔽部材は、上記ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前
面基板側から見ると、上記バリアリブの上記第２の部材
の上記前面基板側の底面と、少なくとも一部が重なるこ
とを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項６】請求項５において、上記遮蔽部材は、上記バス電極と同じ材料からなること
を特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項７】請求項１において、上記放電セル内の空間を、上記前面基板側の主放電用空
間と、上記背面基板側の補助放電用空間とに分離する放
電空間分離用隔壁を、さらに備え、上記放電空間分離用隔壁は、上記主放電用空間と、上記補助放電用空間とを連通させ
るための貫通孔を有することを特徴とするガス放電型表
示パネル。
【請求項８】請求項７において、上記バス電極は、上記ガス放電型表示パネルの積層方向
にそって、上記前面基板側から見ると、上記貫通孔の上
記前面基板側の開口部を覆うことを特徴とするガス放電
型表示パネル。
【請求項９】請求項１において、上記主放電用電極は、上記表示電極の延伸方向に沿った
上記表示セルの列ごとに、２本備えられ、上記バス電極の枝状部材は、上記バス電極の帯状部材の
一方の側に設けられ、一の表示セル列に対応する二の上記主放電用電極のバス
電極は、上記枝状部材の設けられた側を内側に、対向し
て配設されていることを特徴とするガス放電型表示パネ
ル。
【請求項１０】請求項１において、上記主放電用電極は、上記表示電極の延伸方向に沿った
上記表示セルの列２本ごとに３本備えられ、上記３本の主放電用電極のうち、中央の１本は、上記２
列の表示セル列にまたがって備えられていることを特徴
とするガス放電型表示パネル。
【請求項１１】請求項１０において、上記３本の主放電用電極のうち、中央の主放電用電極の
バス電極は、両側に上記枝状部材を備え、他の主放電用
電極のバス電極は、一方の側に上記枝状部材を備え、上記他の主放電用電極のバス電極は、上記枝状部材の設
けられた側を、上記中央の主放電用電極に向けて配設さ
れていることを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項１２】請求項１において、上記主放電用電極は、上記表示電極の延伸方向に沿った
上記表示セルの列ごとに備えられ、上記各主放電用電極は、２列の上記表示セル列にまたが
って備えられていることを特徴とするガス放電型表示パ
ネル。
【請求項１３】請求項１０または１２において、上記バリアリブは、上記表示電極の延伸方向に沿った表示セル列と、隣接す
る表示セル列とを分画する第２の部材を有し、上記２列の上記表示セル列にまたがって備えられている
主放電用電極の上記バス電極の上記帯状部材は、上記ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前
面基板側から見ると、上記バリアリブの上記第２の部材
の上記前面基板側の底面と、少なくとも一部が重なって
見えることを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項１４】請求項１において、上記各主放電用電極は、上記表示セル列ごとに３本備え
られ、上記３本の主放電用電極のうち、両側の２本は、隣接す
る表示セル列の主放電用電極と共通の電極であることを
特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項１５】請求項１２または１４において、上記バス電極の枝状部材は、上記バス電極の帯状部材の
両側に設けられていることを特徴とするガス放電型表示
パネル。
【請求項１６】請求項１４において、上記放電セル内の空間を、上記前面基板側の主放電用空
間と、上記背面基板側の補助放電用空間とに分離する放
電空間分離用隔壁を、さらに備え、上記放電空間分離用隔壁は、上記主放電用空間と、上記補助放電用空間とを連通させ
るための貫通孔を有し、上記バリアリブは、上記表示電極の延伸方向に沿った表示セル列と、隣接す
る表示セル列とを分画する第２の部材を有し、上記３本の主放電用電極のうち、両側の主放電用電極の
バス電極の上記帯状部材は、上記ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前
面基板側から見ると、上記バリアリブの上記第２の部材
の上記前面基板側の底面と、少なくとも一部が重なって
見え、上記３本の主放電用電極のうち、中央の主放電用電極の
バス電極の上記帯状部材は、上記ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前
面基板側から見ると、上記貫通孔の上記前面基板側の開
口部を覆うことを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項１７】請求項１において、上記バス電極は、第１の高融点金属と、銅またはアルミニウムと、第２の
高融点金属とを、この順で積層した複合膜からなり、上記第１の高融点金属および第２の高融点金属は、それ
ぞれ、クロム、チタン、ニッケル、タングステン、およびモリ
ブデンのうちの一種の金属、または、該金属の合金であ
ることを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項１８】請求項１７において、上記バス電極の表裏のうち、上記前面基板の外部に面し
た側の表面は、上記第１または第２の高融点金属の酸化
膜を備えることを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項１９】請求項１において、上記主放電用電極は、表面が粗化された、透明な絶縁材
料の表面に形成されていることを特徴とするガス放電型
表示パネル。
【請求項２０】請求項１において、上記前面基板は、少なくとも、透明材料からなる基材と、上記バス電極
と、上記表示電極と、上記誘電体層とが、この順で積層
されていることを特徴とするガス放電型表示パネル。
【請求項２１】表示を行なうための主放電用電極群を備
える前面基板を形成する工程と、発光させる表示セルを
選択するための補助放電用電極群を備える背面基板を形
成する工程と、上記前面基板および上記背面基板の間隙
を表示セルに分画するバリアリブを形成する工程と、上
記主放電の行なわれる空間の内壁に蛍光体層を形成する
工程と、上記前面基板および上記背面基板を組み立てる
組み立て工程とを有するガス放電型表示パネルの製造方
法において、上記前面基板を形成する工程は、透明材料からなる基材と、上記バス電極と、上記表示電
極と、上記誘電体層とを、この順で積層する工程を有す
ることを特徴とするガス放電型表示パネルの製造方法。
【請求項２２】表示を行なうための主放電用電極群を備
える前面基板と、上記前面基板に間隔を保って対向して配設された、発光
させる表示セルを選択するための補助放電用電極群を備
える背面基板と、上記主放電の行なわれる空間の内壁に形成された蛍光体
層とを備えるガス放電型表示パネルにおいて、上記主放電用電極は、不透明材料からなるバス電極を備
え、上記バス電極は、上記ガス放電型表示パネルの積層方向にそって、上記前
面基板側から見ると、個々の表示セルの周囲を少なくと
も部分的に囲む枠を構成していることを特徴とするガス
放電型表示パネル。
【請求項２３】請求項１記載のガス放電型表示パネルを
備えたことを特徴とするデイスプレイユニット。