JPH1092325A - ガス放電表示パネル及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明はガス放電表示パネル及びその製造方
法に関し、表示電極間の非放電部での光反射防止と表示
電極を構成する透明電極に積層する金属補助電極の低抵
抗化と光反射率の低下を図って表示パネルにおける表示
画面のコントラストを向上させることを目的とする。 【解決手段】 表示面側の一方のガラス基板11の内面に
帯状の透明電極12a と該透明電極12a に重ねた幅の狭い
銀膜の金属補助電極37とからなり、複数の表示ラインを
形成する面放電用の複数対の表示電極38を配列してなる
ガス放電表示パネルであって、上記表示ライン間の非表
示ラインである表示電極38対の間及び各表示電極38にお
ける透明電極12a と金属補助電極37との間に、導電性で
該金属補助電極37よりも低反射率の帯状の第１暗色遮光
膜33と第２暗色遮光層34とを同じ塗布膜形成工程、パタ
ーニング工程と焼成工程で同時に形成した構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はコンピュータの表示
端末や表示装置等に用いられるガス放電表示パネル及び
その製造方法に関するものである。

【０００２】ガス放電表示パネルとして知られるプラズ
マディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、一般に表示の輝度
及びコントラストの点で優れていることから、ＯＡ機器
の表示手段として広く用いられ、近年ではカラー表示化
に伴ってテレビジョン表示が可能な大型フルカラーフラ
ットパネルディスプレイとして注目されている。そのた
め、前記フラットパネルとしては更にコントラストの良
い鮮明な高表示品質の画面の実現と、製造工程での工数
削減と歩留りの向上により、低コスト化を図ることが要
望されている。

【０００３】

【従来の技術】従来の例えばＡＣ駆動型のガス放電表示
パネルとして、カラー表示用面放電型のプラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）の基本的な構造としては、図４
の要部分解斜視図に示すようにマトリクス表示の単位発
光領域ＥＵに一対のＸ, Ｙからなる表示電極12とアドレ
ス電極Ａとが対応する３電極構造を有している。

【０００４】この表示ラインを形成する面放電のための
一対のＸ, Ｙからなる表示電極12は、放電空間24に対し
て表示面Ｈ側のガラス基板11上に設けられており、表示
光の遮光を最小限にするためにネサ膜やＩＴＯ(Indium
Tin Oxide)膜などの透明導電膜からなる透明電極12a と
その導電性を補う (低抵抗化) ための金属膜からなる金
属補助電極12b とを積層した構成からなっている。

【０００５】またその表示電極12上は壁電荷を利用して
ガス放電を維持するＡＣ駆動のための誘電体層13によっ
て放電空間24に対して絶縁状態に被覆されており、該誘
電体層13の表面には更に数千Å程度の厚さのMgＯ膜から
なる保護膜14が設けられている。

【０００６】一方、単位発光領域ＥＵを選択的に発光さ
せるためのアドレス電極Ａは、背面側のガラス基板21上
に、前記一対のＸ, Ｙからなる表示電極12と直交するよ
うに一定のピッチで配列され、各アドレス電極Ａの間に
は 100〜150 μｍ程度の高さを有するストライプ状の隔
壁22が設けられ、これによって放電空間24がライン方向
(表示電極12の延長方向) に単位発光領域ＥＵ毎に区画
され、かつ放電空間24の間隔寸法が規定されている。

【０００７】更に、前記ガラス基板21には、アドレス電
極Ａの上面及び隔壁22の側面を含めた背面側の内面を被
覆するように、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３原色
の蛍光体23が設けられている。そしてこのような構成の
ＰＤＰ１では各色の蛍光体23は面放電時に放電空間24内
のガス放電より放射される紫外線により励起されて発光
し、Ｒ，Ｇ，Ｂの組合せによるフルカラー表示が可能で
あり、その表示に際して隔壁22により単位発光領域ＥＵ
間のクロストークが防止されている。

【０００８】以上の構成のＰＤＰ１は、上述のように各
ガラス基板11と21に対して個別に所定の構成要素を設け
た後、該ガラス基板11と21とを対向配置してその間隙の
周囲を気密に封止して内部を一旦真空に排気すると共
に、放電ガスを封入する一連の工程によって製造されて
いる。

【０００９】なお、上記した表示面Ｈ側のガラス基板11
上に配列されている複数の表示電極12間の非放電部（非
表示ライン）には、背面側のガラス基板21に設けた前記
蛍光体23での外部からの光の反射によりコントラストが
低下する不都合を防止するために図５の要部断面図に示
すように遮光膜15が配設されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来のＰＤＰ１における一対のＸ, Ｙからなる表示電極12
としては、図５に示すように透明導電膜からなる透明電
極12a 上にその導電性を補う (低抵抗化) ための金属補
助電極12b として電気的特性及びガラス基板11や誘電体
層などと密着性に優れたクロム(Cr)−銅(Cu)−クロム(C
r)の三層構造の金属膜をスパッタ工程、或いは真空蒸着
工程等により重ねて形成しているが、その金属補助電極
12b の電気抵抗値が未だに高い (20〜30 mΩ／□程度)
傾向にあり、これを更に10 mΩ／□程度に低抵抗化する
必要があることと、そのようなＰＤＰ１の大型化に対応
して前記金属補助電極12b の形成装置 (スパッタ装置
等) の大型化が困難であるといった問題が生じていた。

【００１１】そこで、そのような問題を解決する方法と
して、金属補助電極に銀(Ag)膜を適用して低抵抗化を図
ることが周知であることから、金属補助電極を銀(Ag)ペ
ーストを用いて塗布工程とフォトリソグラフィ工程等に
より形成したところ、銀(Ag)膜からなる金属補助電極は
焼成後は白色となり、この白色面での外部からの光の反
射が強いためにコントラストが低下して表示画像が見難
いという問題が発生し、表示品質を悪くする欠点があっ
た。

【００１２】本発明は上記した従来の問題点に鑑み表示
電極間の非放電部での光反射防止用の遮光膜の配設は勿
論のこと、透明電極に積層する金属補助電極の低抵抗化
と光反射率の低下を図って表示画面のコントラストの低
下を防止し、表示品質を向上させた新規なガス放電表示
パネル及びその製造方法を提供することを目的とするも
のである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、対向する一対の基板間に放電空間を形成
し、表示面側の一方の基板の内面に複数の表示ラインを
形成する面放電用の複数対の表示電極を配列し、各表示
電極を帯状の透明電極と該透明電極に重ねた幅の狭い金
属補助電極とから構成してなるガス放電表示パネルであ
って、上記表示ライン間の非表示ラインである表示電極
対の間および各表示電極における透明電極と金属補助電
極間に、導電性で前記金属補助電極よりも反射率が低い
帯状の暗色遮光層をそれぞれが設けた構成とする。

【００１４】また、前記ガス放電表示パネルの製造方法
としては、基板上に面放電用の複数対の透明電極を形成
した後、その基板上に全面的に導電性の暗色遮光層を形
成し、該遮光層を透明電極上および透明電極対の間のみ
残す工程と、前記透明電極、暗色遮光層が形成された基
板上に全面的に補助電極用の金属膜を形成し、該暗色遮
光層上を覆っている該金属膜を選択的に残して金属補助
電極とする工程とを含んでなることを特徴とする。

【００１５】そして、本発明では表示電極を構成する透
明電極と銀膜等の金属補助電極との間と、隣り合う一対
の透明電極間の非放電部とに、該金属補助電極よりも光
の反射率が低い、例えばマンガン(Mn)−鉄(Fe)−銅(Cu)
系の酸化物及びクロム(Cr)−Cu系の酸化物からなる黒色
顔料とCu,Ni 及びAgからなる金属微粒子を含む導電性の
暗色遮光層を同時に設けた構成とすることにより、前記
非放電部での光反射の防止は勿論のこと、金属補助電極
の低抵抗化と光反射率を低下させることができるので、
表示画面のコントラストが全面にわたって改善されて見
やすくなり、工数短縮による低コストで表示品質を向上
させることが可能となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施例
について詳細に説明する。図１は本発明のガス放電表示
パネルの一実施例を示す要部断面図であり、図５と同等
の機能を有する部分には同一符号を付している。

【００１７】本実施例では図示のように表示面側のガラ
ス基板11上にストライプ状に設けられた一対のＸ, Ｙか
らなる表示電極38における、ネサ膜やＩＴＯ(Indium Ti
n Oxide)膜などの透明導電膜からなる透明電極12a と、
それにそれぞれ重ねて設けた導電性を補う (低抵抗化)
ための銀(Ag)膜からなる金属補助電極37との間と、配列
された複数対の透明電極12a において隣り合う一対の透
明電極12a 間の非放電部とに、該金属補助電極37よりも
光の反射率が低い、例えばマンガン(Mn)−鉄(Fe)−銅(C
u)系の酸化物及びクロム(Cr)−Cu系の酸化物からなる黒
色顔料とCu,Ni及びAgからなる金属微粒子を含む導電性
の第１暗色遮光層33と第２暗色遮光層34とを同時に設け
た構成とされている。

【００１８】なお、前記第２暗色遮光層34は図に示すよ
うに表示電極38とは電気的に非導通とするため、該表示
電極38との間に隙間を設けている。また、このような構
成の一対のＸ, Ｙからなる表示電極38が配列された表示
面側のガラス基板11上には、30〜40μｍ程度の厚さの誘
電体層13によって前記表示電極を放電空間に対して絶縁
状態となるように被覆され、該誘電体層13の表面には更
に数千Å程度の厚さのMgＯ膜からなる保護膜14が設けら
れている。

【００１９】そして、このような構成の表示面側のガラ
ス基板11と、別途に従来例で説明したと同様なアドレス
電極及びアドレス電極上に設けた複数の隔壁の各隔壁間
に蛍光体を設けてなる構成の背面側のガラス基板とを放
電間隙を介して重ね合わせると共に、その対向間隙の周
囲を気密封止し、内部の排気と放電ガスを封入してパネ
ルを完成させる。

【００２０】このように構成したパネルでは、透明電極
12a の導電性を補うための金属補助電極37に従来よりも
低抵抗で、外光の反射率の大きい銀(Ag)膜を用いても、
該透明電極12a と金属補助電極37との間に該金属補助電
極37よりも光の反射率の低い前記導電性の第１暗色遮光
層33と、隣り合う一対の透明電極12a 間の非放電部にも
同様な材質の前記導電性の第２暗色遮光層34を設けてい
るので、前記金属補助電極37の光の反射率が低下され、
その非放電部での第２暗色遮光層34による光の反射率の
低下と相俟って、表示画面のコントラストが全面にわた
って容易に改善され、見やすくなる。

【００２１】次に前記ガス放電表示パネルの製造方法つ
いて説明する。図２及び図３は本発明のガス放電表示パ
ネルの製造方法の一実施例を順に説明する要部断面図で
ある。

【００２２】先ず、図２(a) に示すように、表示面側の
ガラス基板11の全表面に真空蒸着法、或いはスパッタリ
ング法等によりSnO₂、またはＩＴＯ（Indium Tin Oxid
e) 等の透明導電膜を形成し、該透明導電膜をフォトリ
ソグラフィ工程でストライプ状にパターニングして平行
に隣接するＸ，Ｙからなる一対の透明電極12a を所定間
隔をもって複数列に形成する。

【００２３】また、その各一対の透明電極12a を含むガ
ラス基板11上には、例えばMn−Fe−Cu系の酸化物及びCr
−Cu系の酸化物からなる黒色顔料とCu,Ni 及びAgからな
る金属微粒子とを感光性のバインダと混合したペースト
をスクリーン印刷法等によって一様に塗布し、80〜120
℃程度の温度で乾燥させて感光性の黒色膜31を形成す
る。

【００２４】次に、その感光性の黒色膜31を図２(b) に
示すように、所定の露光用マスク32を通して光照射し、
現像するフォトリソグラフィ工程によりパターニングし
て図２(c) に示すように、前記各透明電極12a 上に第１
暗色遮光層33と、隣り合う一対の透明電極12a との間の
非放電部に第２暗色遮光層34とを同時に形成し、引続き
その第１暗色遮光層33と第２暗色遮光層34を100 〜150
℃程度の温度で熱硬化処理、或いは光硬化処理を行う。

【００２５】次に、前記各透明電極12a 上に第１暗色遮
光層33が形成され、隣り合う一対の透明電極12a 間の非
放電部にも第２暗色遮光層34がそれぞれ形成されたガラ
ス基板11の全表面に、図３(a) に示すように銀(Ag)微粉
末を感光性のバインダと混合した銀ペーストをスクリー
ン印刷法等によって一様に塗布し、80〜120 ℃程度の温
度で乾燥させて感光性の金属膜35を形成する。

【００２６】次に、図３(b) に示すように前記感光性の
金属膜35を、所定の露光用マスク36を通して光照射し、
現像するフォトリソグラフィ工程によりパターニングし
て図３(c) に示すように、前記各透明電極12a 上に第１
暗色遮光層33を介して銀(Ag)膜からなる金属補助電極37
を形成した後、前記第１暗色遮光層33、第２暗色遮光層
34及び金属補助電極37を同時に 500〜600 ℃程度の温度
で焼成処理を行う。

【００２７】引き続き図１に示されるように、上記した
構成の一対のＸ, Ｙからなる表示電極38と第２暗色遮光
層34が配列された表示面側のガラス基板11上に、低融点
ガラス等の絶縁ペーストをスクリーン印刷法等によって
一様に塗布し、 100〜150 ℃程度の温度で乾燥させた
後、その低融点ガラス等からなる絶縁膜を 500〜600 ℃
程度の温度で焼成処理を行うことにより、前記透明電極
12a 上に１〜３μｍの厚さの第１暗色遮光層33と、１〜
５μｍの厚さの金属補助電極37、また１〜３μｍの厚さ
の第２暗色遮光層34及び30〜40μｍ程度の厚さの低融点
ガラス等の絶縁膜からなる誘電体層13と、その全表面に
更に数千Å程度の厚さのMgＯ膜からなる保護膜14を設け
た表示面側のガラス基板11が得られる。

【００２８】従って、このような構成の表示面側のガラ
ス基板11と、別途に従来例と同様なアドレス電極及びア
ドレス電極上に設けた複数の隔壁の各隔壁間に蛍光体を
設けてなる構成の背面側のガラス基板とを前記隔壁によ
って形成される放電間隙を介して重ね合わせ、その対向
間隙の周囲を気密封止し、内部を排気し、放電ガスを封
入してパネルを完成させる。

【００２９】上述のような実施例によれば、第１暗色遮
光層33と第２暗色遮光層34とを同じ金属ペーストを用
い、塗布工程から硬化処理までを同時に平行して行って
形成しているので、該第１暗色遮光層33と第２暗色遮光
層34とを個別に形成する工程が不要となり、更に前記第
１暗色遮光層33、第２暗色遮光層34及び金属補助電極37
の焼成処理による形成も同時に行っているので当該ガス
放電表示パネルを効率的に低コストで製造することがで
きる。

【００３０】なお、前記各暗色遮光層、電極層のパター
ニングに用いるエッチングの手法としては、必要に応じ
てウエットエッチングとドライエッチングのどちらかを
選択して用いればよい。

【００３１】また、本実施例ではカラー表示用面放電型
のプラズマディスプレイを対象としたガス放電表示パネ
ルについて説明しているが、本発明はそのようなカラー
表示用面放電型のプラズマディスプレイに限定されるも
のではなく、例えばモノクロ表示用の面放電型のプラズ
マディスプレイ等、この種のガス放電表示パネルにも適
用することができる。

【００３２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のガス放電表示パネル及びその製造方法によれば、表示
電極を構成する透明電極と銀膜等の低抵抗な金属補助電
極との間と、配列された複数対の透明電極において隣り
合う一対の透明電極間（表示電極間）の非放電部とに、
該金属補助電極よりも光の反射率が低い、例えばMn−Fe
−Cu系の酸化物及びCr−Cu系の酸化物からなる黒色顔料
とCu,Ni 及びAgからなる金属微粒子とを含んでなる導電
性の暗色遮光層を同時に形成し、設けた構成としている
ので、前記非放電部での光反射の防止は勿論のこと、金
属補助電極の低抵抗化と光反射率を著しく低下させるこ
とができるので、表示画面のコントラストが全面にわた
って改善されて見やすくなり、表示品質が良好で、しか
も工数短縮により低コストなガス放電表示パネルを容易
に得ることが可能となり、実用上優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のガス放電表示パネルの一実施例を示
す要部断面図である。

【図２】 本発明のガス放電表示パネルの製造方法の一
実施例を順に説明する要部断面図である。

【図３】 本発明のガス放電表示パネルの製造方法の一
実施例を図２に引き続いて順に説明する要部断面図であ
る。

【図４】 ガス放電表示パネルの一例を示す要部分解斜
視図である。図である。

【図５】 従来のガス放電表示パネルを説明する要部断
面図である。

【符号の説明】 １ ＰＤＰ １１ ガラス基板 １２，３８ 表示電極 １２ａ 透明電極 １２ｂ，３７ 金属補助電極 １３ 誘電体層 １４ 保護膜 ３１ 黒色膜 ３２，３６ 露光用マスク ３３ 第１暗色遮光層 ３４ 第２暗色遮光層 ３５ 金属膜

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向する一対の基板間に放電空間を形成
   し、表示面側の一方の基板の内面に複数の表示ラインを
   形成する面放電用の複数対の表示電極を配列し、各表示
   電極を帯状の透明電極と該透明電極に重ねた幅の狭い金
   属補助電極とから構成してなるガス放電表示パネルであ
   って、 上記表示ライン間の非表示ラインである表示電極対の間
   および各表示電極における透明電極と金属補助電極間
   に、導電性で前記金属補助電極よりも反射率が低い帯状
   の暗色遮光層をそれぞれが設けたことを特徴とするガス
   放電表示パネル。
2. 【請求項２】 基板上に面放電用の複数対の透明電極を
   形成した後、その基板上に全面的に導電性の暗色遮光層
   を形成し、該遮光層を透明電極上および透明電極対の間
   のみ残す工程と、 前記透明電極、暗色遮光層が形成された基板上に全面的
   に補助電極用の金属膜を形成し、該暗色遮光層上を覆っ
   ている該金属膜を選択的に残して金属補助電極とする工
   程とを含んでなることを特徴とする請求項１記載のガス
   放電表示パネルの製造方法。