JPH09253549A - 可とう性基板のコーティング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被コーティング材にキズ、クラック等を発生さ
せずにコーティング液を付着させることを可能とし、且
つ、コーティング液のレベリング性の向上が図られ、膜
厚の均一性が確保できるコーティング方法を提供するこ
と。 【解決手段】透明電極２が表面に形成された被コーティ
ング材１を送りローラー５によって搬送し、被コーティ
ング材１と表面に複数の溝部を有したコーティングロー
ラー４との間にギャップを設け、被コーティング材１の
搬送方向と同一方向にコーティングローラー４を回転さ
せてコーティング液３を付着させた構造とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、可とう性を有する
被コーティング材のコ−ティング方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プラスチィックフィルム等可とう
性を有する被コーティング材にコーティング液を付着さ
せる方法として、図２に示すようにコ−ティングロ−ラ
−４が可とう性を有する被コーティング材１に接触、も
しくは、数μｍ程度落とし込んでコーティング液３を付
着させていた。また、コーティング液３の膜厚を均一に
する為に、被コーティング材１の搬送方向とコーティン
グロ−ラ−４の回転方向は逆転方向（リバースコート）
となっていた。しかしながら、この方法を用いた場合、
被コーティング材１のたわみ、歪み、位置ズレ等が生
じ、被コーティング材１とコーティングロ−ラ−４がコ
ーティング液３の付着部、及びそれ以外の箇所で接触す
るので、付着部で発生する応力、あるいは張力によって
被コーティング材１にキズ、クラック等が発生し、品質
を著しく低下させていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術では可とう性を有する被コーティング材を用い
ていることから、コーティング液を付着させる際にコー
ティングローラーとの接触、及び外部応力等により被コ
ーティング材にキズ、クラック等が入り、著しく良品率
を低下させていた。

【０００４】そこで本発明は、図１に示すようなコーテ
ィング方法を用いて、可とう性を有する被コーティング
材にコーティング液を付着させることにより、被コーテ
ィング材にはコーティングローラーの接触、及び外部応
力等がなくコーティング液の膜厚の均一性が確保でき、
且つキズ、クラック等を発生させないコーティング方法
を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
コーティングローラーと被コーティング材とは非接触状
態にあって該被コーティング材は該コーティングローラ
ーの回転により該コーティング液が付着され、同時に該
被コーティング材は送りローラーにより所定の速度で搬
送されることを特徴とする。

【０００６】請求項２記載の発明は、該コーティングロ
ーラーと該被コーティング材との間隔は、２０μｍから
１００μｍであることを特徴とする。

【０００７】請求項３記載の発明は、該コーティングロ
ーラーの表面は複数の溝部を有することを特徴とする。

【０００８】請求項４記載の発明は、該送りローラーの
回転により、該被コーティング材は０．６ｍ／ｍｉｎか
ら１．０ｍ／ｍｉｎの移動速度で搬送され、且つ該コー
ティングローラーは０．１ｍ／ｍｉｎから２ｍ／ｍｉｎ
の速度で回転することを特徴とする。

【０００９】請求項５記載の発明は、該コーティング液
はフォトレジスト液、カラーフィルター用顔料、ポリイ
ミド樹脂等の有機系材料、及び無機系材料からなること
を特徴とする。

【００１０】請求項６記載の発明は、該コーティング材
に付着させる該コーティング液の粘度は５ｃｐから５０
ｃｐからなることを特徴とする。

【００１１】請求項７記載の発明は、該送りローラーは
該被コーティング材の搬送方向に回転することを特徴と
する。

【００１２】請求項８記載の発明は、該送りローラーに
挿入された該被コーティング材は該送りローラーにより
挿入方向とほぼ逆方向に搬送されることを特徴とする。

【００１３】

【作用】請求項１〜請求項２、及び、請求項７の発明で
は、被コーティング材とコーティングローラーとに間隔
を設けることによって非接触状態となり、被コーティン
グ材にコーティング液を付着させることで被コーティン
グ材にキズ、クラック等が発生するのが防止される。

【００１４】請求項３〜請求項６の発明では、コーティ
ングローラーの表面に複数の溝部を有することで該コー
ティングローラーにコーティング液が付着し、且つ該コ
ーティング液の表面張力によって該コーティング液が被
コーティング材に付着することにより膜の均一性が確保
できる。また、コーティングローラーの回転速度、もし
くは、コーティング液の粘度（固形分の濃度）によって
膜厚を制御できる。

【００１５】請求項８の発明では、送りローラーに挿入
された被コーティング材にコーティング液を付着させた
後、挿入方向とほぼ逆方向に該被コーティング材を搬送
することにより膜の均一性が確保できる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下本発明を図面に基づいて説明
する。

【００１７】〔実施例１〕図１に本発明のコーティング
方法の断面図を示す。ここで１は可とう性を有する被コ
ーティング材であり、該被コーティング材のコーティン
グ液付着面には低温スパッタリング法によりＩＴＯ（イ
ンジウム・スズ酸化物）膜からなる透明電極２が形成さ
れた厚み１００μｍのポリカーボネート（ＰＣ）系のフ
ィルムを用いた。３はコーティング液でありフォトレジ
スト液を用いた。４はローラー表面に複数の溝部を有し
たコーティングローラー、５は被コーティング材１を送
る送りローラー、６はコーティング液３をコーティング
ローラー４に付着させるためのオフセットローラーであ
る。

【００１８】前記コーティング方法に基づき、被コーテ
ィング材１の搬送方向と同一方向にコーティングローラ
ー４を回転、且つ該コーティングローラー４の回転速度
と該被コーティング材１の搬送速度を同一にさせフォト
レジスト液３を透明電極２上に付着させた結果、透明電
極２、及び被コーティング材１にはキズ、クラック等、
何の異常も見られなかったのに対し、図２に示す従来の
コーティング方法では、コーティングローラー４の回転
方向と被コーティング材１の搬送方向が逆方向、つま
り、該被コーティング材１の搬送を押さえるような方向
に応力、あるいは張力が該被コーティング材１に対して
働き、キズ、クラック等の発生によって品質を著しく低
下させていた。

【００１９】〔実施例２〕実施例１と同様の方法でコー
ティングローラー４と被コーティング材１との間隔を２
０μｍから１００μｍ、好ましくは４０μｍから８０μ
ｍ、特に好ましくは５０μｍから７０μｍとり非接触の
状態でフォトレジスト３を透明電極２上に付着させた結
果、膜厚の均一性に異常は無く、且つ透明電極２、及び
被コーティング材１にはキズ、クラック等の発生も見ら
れなかったのに対し、図２に示す従来のコーティング方
法では、コーティングローラー４を被コーティング材１
に接触、もしくは、数μｍ程度落とし込んでコーティン
グ液３を付着させていた為、被コーティング材１にはた
らく応力や張力によって、たわみ、歪み、位置ズレ等が
生じ、透明電極２、及び被コーティング材１にキズ、ク
ラック等の品質に影響を及ぼす異常が見られた。また、
図２に示す方法でコーティングローラー４と被コーティ
ング材１との間隔を５０μｍから７０μｍとり被コーテ
ィング材１上の透明電極２にフォトレジスト３を付着さ
せた結果、図３に示す現象が発生、つまり、コーティン
グローラー４の両端面にフォトレジスト液３が回り込み
付着ムラとなることで膜厚の均一性に異常が見られた。

【００２０】〔実施例３〕コーティングローラー４の表
面に溝部が無い平坦なコーティングローラーを作成し、
実施例１と同様の方法でフォトレジスト液３を被コーテ
ィング材１に付着させた結果、オフセットローラー６か
らコーティングローラー７へフォトレジスト液３が均一
に付着しない為、膜厚の均一性に異常が見られたのに対
し、実施例１に示すローラー表面に複数の溝部を有した
コーティングローラー４を用いると、オフセットローラ
ー６からフォトレジスト液３が該溝に沿って追従し、均
一に充填されることによって、膜厚の均一性を確保する
ことができた。

【００２１】〔実施例４〕実施例１と同様の方法で被コ
ーティング材１を送る送りローラー５の回転速度を０．
６ｍ／ｍｉｎから１．０ｍ／ｍｉｎ、好ましくは０．８
ｍ／ｍｉｎに設定し、コ−ティングローラー４の回転速
度を該送りローラー５と同じ回転速度にして、被コーテ
ィング材１上の透明電極２の表面にフォトレジスト液３
を付着させた結果、透明電極２、及び被コーティング材
１にはキズ、クラック等、何の異常も見られなかったの
に対し、図２に示す従来のコーティング方法では、送り
ローラー５の回転速度とコーティングローラー４の回転
速度を同じにすると膜厚の均一性に異常が見られた。

【００２２】〔実施例５〕実施例１と同様の方法で送り
ローラー５に挿入された被コーティング材１上の透明電
極２の表面にフォトレジスト液３を付着させた後、挿入
方向とほぼ逆方向に被コーティング材１を搬送すること
によってフォトレジスト液３にレベリング性が生じ、膜
厚の均一性が確保できたのに対し、図２に示す従来のコ
ーティング方法では、フォトレジスト液３の付着後のレ
ベリング性が悪く、膜厚の均一性に異常が見られた。

【００２３】〔実施例６〕実施例１と同様の方法で被コ
ーティング材１上の透明電極２の表面に付着させるフォ
トレジスト液３の粘度を５ｃｐから５０ｃｐ、好ましく
は９ｃｐから３０ｃｐに調整し、透明電極２の表面に付
着させた結果、１μｍから５μｍの膜厚を制御すること
ができたのに対し、前記粘度の範囲を越えたフォトレジ
スト液を用いて付着させた結果、付着ムラとなり膜厚の
均一性に異常が見られた。

【００２４】

【発明の効果】以上述べたように本発明のコーティング
方法を使用すれば、可とう性を有する被コーティング材
にキズ、クラック等を発生させることもなく、コーティ
ング液を付着させることが可能となり、且つ、コーティ
ング液のレベリング性が向上し、膜厚の均一性が確保で
きるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１のコ−ティング方法の断面を
示す図。

【図２】従来のコーテイング方法の断面を示す図。

【図３】実施例２に記す付着ムラを示す図。

【符号の説明】

１ ． 被コーティング材 ２ ． 被コーティング材１上に形成された透明電極 ３ ． コーティング液（フォトレジスト液） ４ ． コーティングローラー ５ ． 送りローラー ６ ． オフセットローラー ７ ． コーティング液（フォトレジスト液）の付着ム
ラ ８ ． ドクターローラー ９ ． スキージローラー １０ ． 被コーティング材の蛇行防止を行う端面支持
ローラー １１ ． 被コーティング材を搬送するローラー

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】可とう性を有する被コーティング材を送る
   送りローラー（バックアップローラー）と該送りローラ
   ーの下方に配置され該送りローラーと該被コーティング
   材を介して対向するように所定の間隔で配置された該被
   コーティング材にコーティング液を付着させるコーティ
   ングローラー（アプリケーションローラー）とからな
   り、該コーティングローラーと該被コーティング材とは
   非接触状態にあって該被コーティング材は該コーティン
   グローラーの回転により該コーティング液が付着され、
   同時に該被コーティング材は該送りローラーにより所定
   の速度で搬送されることを特徴とする可とう性基板のコ
   ーティング方法。
2. 【請求項２】該非接触状態の該コーティングローラーと
   該被コーティング材との間隔は、２０μｍから１００μ
   ｍであることを特徴とする請求項第１項記載の可とう性
   基板のコ−ティング方法。
3. 【請求項３】該コーティングローラーの表面は複数の溝
   部を有することを特徴とする請求項第１項記載の可とう
   性基板のコ−ティング方法。
4. 【請求項４】該送りローラーの回転により、該被コーテ
   ィング材は０．６ｍ／ｍｉｎから１．０ｍ／ｍｉｎの移
   動速度で搬送され、且つ該コーティングローラーは０．
   １ｍ／ｍｉｎから２ｍ／ｍｉｎの速度で回転することを
   特徴とする請求項第１項記載の可とう性基板のコ−ティ
   ング方法。
5. 【請求項５】該コーティング液はフォトレジスト液、カ
   ラーフィルター用顔料、ポリイミド樹脂等の有機系材
   料、及び無機系材料からなることを特徴とする請求項第
   １項記載の可とう性基板のコ−ティング方法。
6. 【請求項６】該コーティング材に付着させる該コーティ
   ング液の粘度は５ｃｐから５０ｃｐからなることを特徴
   とする請求項第５項記載の可とう性基板のコ−ティング
   方法。
7. 【請求項７】該送りローラーは該被コーティング材の搬
   送方向に回転することを特徴とする請求項第１項記載の
   可とう性基板のコ−ティング方法。
8. 【請求項８】該送りローラーに挿入された該被コーティ
   ング材は該送りローラーにより挿入方向とほぼ逆方向に
   搬送されることを特徴とする請求項第７項記載の可とう
   性基板のコ−ティング方法。