JPH09254113A - グリーンシート製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄いグリーンシートを製造する場合、クレー
タが発生し易く、キャリアテープ４３からグリーンシー
トを剥す際、これがクレータより破れ易く、製品歩留り
が低かった。 【解決手段】 回転するバッキングロール４１と、バッ
キングロール４１上にキャリアテープ４３を供給するキ
ャリアテープ供給手段４２と、キャリアテープ４３上に
所定厚みのスラリ４５ａを供給するスラリ供給手段４４
とを備えたグリーンシート製造装置１０であって、バッ
キングロール４１に付着した異物を除去するための異物
除去手段１１を装備させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はグリーンシート製造
装置に関し、より詳細には、比較的厚いグリーンシート
と共に積層・焼成され、セラミック多層基板中の内蔵コ
ンデンサとして用いられるような、厚み（焼成後）が約
３０μｍ以下の薄いグリーンシートを製造する際に使用
されるグリーンシート製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は従来のこの種グリーンシート製造
装置の主要部を概略的に示した断面図であり、図中４１
はバッキングロールを示している。バッキングロール４
１は直径が例えば約２５．０ｃｍ（外周が約７８．５０
ｃｍ）に設定され、矢印Ａ方向に回転するようになって
いる。バッキングロール４１近傍にはアジャストロール
４２ａ、ガイドロール４２ｂ、ルミラーロール（図示せ
ず）等が回転可能に配設され、このルミラーロールには
例えばポリエチレン製のキャリアテープ４３の一端部側
が巻回されている。そして、キャリアテープ４３はガイ
ドロール４２ｂ、バッキングロール４１下面、アジャス
トロール４２ａを通ってバッキングロール４１上面に供
給された後、矢印Ｂ方向に移動するようになっており、
これらアジャストロール４２ａ、ガイドロール４２ｂ等
を含んでキャリアテープ供給手段４２が構成されてい
る。またバッキングロール４１、アジャストロール４２
ａ間のキャリアテープ４３上にはタンク４４ａが設置さ
れ、タンク４４ａ後部にはドクターブレード４４ｂが上
下位置調整可能に配設され、タンク４４ａ内にはスラリ
４５ａが充填されるようになっている。またバッキング
ロール４１の上方には断面視略半円形状のコーター（co
ater）４４ｄが配設されており、これらタンク４４ａ、
ドクターブレード４４ｂ、コーター４４ｄを含んでスラ
リ供給手段４４が構成されている。これらバッキングロ
ール４１、キャリアテープ供給手段４２、キャリアテー
プ４３、スラリ供給手段４４等を含んでグリーンシート
製造装置４０が構成されている。

【０００３】このように構成されたグリーンシート製造
装置４０を用いてグリーンシートを製造する場合、ドク
ターブレード４４ｂ下端面とキャリアテープ４３上面と
の間隙４４ｃ、及びコーター４４ｄ下面とキャリアテー
プ４３上面との間隙４４ｅを調整し、その後、タンク４
４ａ内にセラミック微粉末と結合剤、溶剤等とが混合・
調整されたスラリ４５ａを充填する。次に駆動ロール
（図示せず）を駆動させてキャリアテープ４３を所定速
度で矢印Ｂ方向に移動させると、間隙４４ｃを通ってス
ラリ４５ａがキャリアテープ４３上に引き出され、これ
がある程度乾燥して可塑性を有するものとなる。次にこ
の可塑性を有するスラリ４５ａが間隙４４ｅを通ると、
厚みが精密に制御されたグリーンシート４５がキャリア
テープ４３上に形成された後、剥離手段（図示せず）に
よりキャリアテープ４３から分離されて厚みの薄いグリ
ーンシート４５が製造される。次に別に用意した比較的
厚いグリーンシート（図示せず）内にコンデンサ形成用
としてのグリーンシート４５を積層して適当な大きさに
カットした後、焼成装置（図示せず）を用いて所定温度
で焼成すると、厚み（焼成後）が３０μｍ以下のコンデ
ンサが内蔵されたセラミック多層基板（図示せず）が形
成される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のグリー
ンシート製造装置４０においては、比較的厚いグリーン
シートを製造する場合には発生し難いが、薄いグリーン
シート４５を製造する場合、図５に示したようなクレー
タ４５ｂが発生し易く、クレータ４５ｂが形成されると
前記剥離手段によりグリーンシート４５をキャリアテー
プ４３から分離する際、グリーンシート４５がクレータ
４５ｂ部分から破れ易く、製品歩留りが低下するという
課題があった。

【０００５】本発明は上記課題に鑑みなされたものであ
り、比較的薄いグリーンシートを製造する場合であって
も、クレータの発生を抑制することができ、この結果、
製品歩留りを向上させることができるグリーンシート製
造装置を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段及びその効果】図６は従来
のグリーンシート製造装置４０を用いて製造されたグリ
ーンシート４５（図４）におけるクレータ４５ｂの発生
頻度とクレータ４５ｂどうしの間隔（以下、クレータピ
ッチＰ（図５）と記す）との関係について調査した結果
を示したヒストグラムである。総数７８６個のクレータ
４５ｂのうち、７７８個のもののクレータピッチＰは約
７８．５ｃｍ（バッキングロール４１の外周と一致）に
集中しており、クレータ４５ｂの発生とバッキングロー
ル４１との間に深い関係があることが推察された。この
結果に基づき顕微鏡を用いて観察すると、バッキングロ
ール４１の表面に静電気力等に起因した約２０〜１００
μｍの大きさの異物が付着していることが確認された。
キャリアテープ４３及びスラリ４５ａが間隙４４ｅを通
過する際、この異物の形状がキャリアテープ４３を介し
て可塑性を有するスラリ４５ａに転写され、キャリアテ
ープ４３は弾性により復元し、スラリ４５ａには前記異
物の形状と同様の空胴部が形成されることとなる。比較
的厚いグリーンシートの場合には乾燥が遅く、弾性を多
分に有しているので、該弾性に伴う復元力に基づいて前
記空洞部が平坦化され易く、クレータ４５ｂとはなり難
い。一方、比較的薄いグリーンシート４５の場合には乾
燥が速く、早く弾性がなくなってしまうので、前記空洞
部が平坦化され難く、クレータ４５ｂとなって残存して
しまうこととなる。

【０００７】本発明は上記知見に基づいてなされたもの
であり、本発明に係るグリーンシート製造装置は、回転
するバッキングロールと、該バッキングロール上にキャ
リアテープを供給するキャリアテープ供給手段と、前記
キャリアテープ上に所定厚みのスラリを供給するスラリ
供給手段とを備えたグリーンシート製造装置において、
前記バッキングロールに付着した異物を除去するための
異物除去手段が装備されていることを特徴としている
（１）。

【０００８】上記グリーンシート製造装置（１）によれ
ば、前記バッキングロールの表面に静電気力で付着する
異物が前記異物除去手段により常時除去され、前記スラ
リ供給手段と前記バッキングロールとの間に前記キャリ
アテープ及び前記スラリを通した際、該スラリの膜厚が
確実に制御されると共に、膜厚が薄い場合であっても前
記異物に基づくクレータの発生が抑制される。この結
果、前記キャリアテープからグリーンシートを、該グリ
ーンシートが前記クレータ部分から破れることなく確実
に剥すことができ、該グリーンシートの製品歩留りを向
上させることができる。

【０００９】また本発明に係るグリーンシート製造装置
は、上記グリーンシート製造装置（１）における異物除
去手段が粘着性表面を有するロールを含んで構成されて
いることを特徴としている（２）。

【００１０】上記グリーンシート製造装置（２）によれ
ば、前記粘着性表面を有するロールがバッキングロール
に接触し、該バッキングロールの回転に伴い、この表面
に付着していた異物を前記ロール側に移動させるため、
前記バッキングロール上の異物を常時確実に除去するこ
とができ、この結果、クレータの発生を防止することが
できる。

【００１１】また本発明に係るグリーンシート製造装置
は、上記グリーンシート製造装置（１）における異物除
去手段が粘着テープ製のエンドレスベルトを含んで構成
されていることを特徴としている（３）。

【００１２】上記グリーンシート製造装置（３）によれ
ば、前記粘着テープ製のエンドレスベルトがバッキング
ロールに接触し、該バッキングロールの回転に伴い、こ
の表面に付着していた異物を前記エンドレスベルト側に
移動させるため、前記バッキングロール上の異物を常時
確実に除去することができる。

【００１３】また本発明に係るグリーンシート製造装置
は、上記グリーンシート製造装置（１）における異物除
去手段が高圧エアクリーナからなることを特徴としてい
る（４）。

【００１４】上記グリーンシート製造装置（４）によれ
ば、バッキングロールの表面に付着していた異物を前記
高圧エアクリーナからの高圧エアにより吹き飛ばし、こ
の吹き飛ばされた異物を系外に排出するため、前記バッ
キングロール上の異物を常時確実に除去することができ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るグリーンシー
ト製造装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。な
お、従来例と同一機能を有する構成部品には同一の符号
を付すこととする。図１は実施の形態１に係るグリーン
シート製造装置を示した図であり、図中４１はバッキン
グロールを示している。バッキングロール４１に接して
これと略同じ長さのロール１２が配設されており、ロー
ル１２はロール本体１２ａの外周に粘着テープ１２ｂが
接着されて構成されている。この粘着テープ１２ｂは生
地上に例えばゴム系エラストマ等の粘着剤（共に図示せ
ず）が塗布されることにより構成されている。この粘着
ロール１２には粘着ロール１３、１４が隣接して配設さ
れ、これら粘着ロール１３、１４はそれぞれロール本体
１３ａ、１４ａ及び粘着テープ１３ｂ、１４ｂを含んで
構成されており、その粘着力は粘着テープ１２ｂ、１３
ｂ、１４ｂの順に次第に強くなるように設定されてい
る。また粘着ロール１２〜１４は軸受部１５ａ〜１５ｃ
に回動可能に枢支され、各軸受部１５ａ〜１５ｃは枠体
１６に摺動可能に配設され、軸受部１５ｃはネジ部１６
ａにより軸受部１５ａ側に押し付けられており、これら
粘着ロール１２〜１４、軸受部１５ａ〜１５ｃ、枠体１
６等を含んで異物除去手段１１が構成されている。その
他の構成は図４に示したグリーンシート製造装置と同様
であるので、ここではその詳細な説明は省略することと
する。これら異物除去手段１１、バッキングロール４
１、キャリアテープ供給手段４２、キャリアテープ４
３、スラリ供給手段４４等を含んでグリーンシート製造
装置１０が構成されている。

【００１６】このように構成されたグリーンシート製造
装置１０を用いてグリーンシートを製造する場合、異物
除去手段１１の粘着ロール１２をバッキングロール４１
に押し当てた状態で、バッキングロール４１を矢印Ａ方
向に回転させると、粘着ロール１２〜１４が矢印Ｃ方向
に回転し、バッキングロール４１に付着している異物
（図示せず）が粘着ロール１２に剥ぎ取られ、粘着ロー
ル１３、１４へと順次移動してゆく。また粘着ロール１
４の下面を有機溶剤中（図示せず）に浸漬しておくと、
前記異物を溶剤中に分散させて粘着ロール１４より離脱
させることができる。次に異物除去手段１１を駆動させ
ながらキャリアテープ供給手段４２によりキャリアテー
プ４３をバッキングロール４１上に供給すると共に、ス
ラリ供給手段４４によりスラリ４５ａをキャリアテープ
４３上に供給してゆくと、厚みが精密に制御されたグリ
ーンシート１７がキャリアテープ４３上に形成される。

【００１７】上記説明から明らかなように、実施の形態
１に係るグリーンシート製造装置１０では、バッキング
ロール４１の表面に静電気力で付着する異物が異物除去
手段１１により常時除去され、スラリ供給手段４４とバ
ッキングロール４１との間にキャリアテープ４３及びス
ラリ４５ａを通した際、スラリ４５ａの膜厚が確実に制
御されると共に、膜厚が薄い場合であっても前記異物に
基づくクレータの発生が抑制される。この結果、キャリ
アテープ４３からグリーンシート１７を、グリーンシー
ト１７がクレータ部分から破れることなく確実に剥すこ
とができ、グリーンシート１７の製品歩留りを向上させ
ることができる。

【００１８】また、粘着性表面を有するロール１２がバ
ッキングロール４１に接触し、バッキングロール４１の
回転に伴い、この表面に付着していた異物をロール１２
〜１４側に移動させるため、バッキングロール４１上の
異物を常時確実に除去することができ、この結果、クレ
ータの発生を防止することができる。

【００１９】なお、実施の形態１に係るグリーンシート
製造装置１０では、粘着ロール１２〜１４としてロール
本体１２ａの外周に粘着テープ１２ｂ〜１４ｂが接着さ
れたものを用いた場合について説明したが、粘着ロール
としてはロール本体１２ａの外周に例えばゴム系エラス
トマ等の粘着剤が直接的に塗布されていてもよい。

【００２０】また、実施の形態１に係るグリーンシート
製造装置１０では、異物除去手段１１が３個の粘着ロー
ル１２〜１４を含んで構成されている場合について説明
したが、粘着ロールは１または２個、あるいは４個以上
であってもよい。

【００２１】図２は実施例の形態２に係るグリーンシー
ト製造装置の異物除去手段近傍を概略的に示した正面図
であり、図中４１はバッキングロールを示している。バ
ッキングロール４１の近傍には略三角形状のフレーム２
２が設置され、フレーム２２の各角部にはプーリー２３
〜２５が回転可能に配設され、プーリー２３〜２５間に
は粘着テープ製のエンドレスベルト２６が巻装され、プ
ーリー２３にはモータ等の駆動部２３ａが連結されてい
る。これらフレーム２２、プーリー２３〜２５、エンド
レスベルト２６等を含んで異物除去手段２１が構成され
ている。その他の構成は図１に示したグリーンシート製
造装置と同様であるので、ここではその構成の詳細な説
明は省略することとする。これら異物除去手段２１、バ
ッキングロール４１等を含んでグリーンシート製造装置
２０が構成されている。

【００２２】このように構成されたグリーンシート製造
装置２０を用いてグリーンシートを製造する場合、異物
除去手段２１のエンドレスベルト２６をバッキングロー
ル４１に押し当て、駆動部２３ａを介してプーリー２３
を駆動させ、エンドレスベルト２６をバッキングロール
４１と同様の速度で矢印Ｄ方向に回転させる。するとバ
ッキングロール４１に付着している異物（図示せず）が
エンドレスベルト２６に粘着・移動する。

【００２３】上記説明から明らかなように、実施の形態
２に係るグリーンシート製造装置２０では、粘着テープ
製のエンドレスベルト２６がバッキングロール４１に接
触し、バッキングロール４１の回転に伴い、この表面に
付着していた異物をエンドレスベルト２６側に移動させ
るため、バッキングロール４１上の異物を常時確実に除
去することができる。

【００２４】図３は実施例の形態３に係るグリーンシー
ト製造装置の異物除去手段近傍を示した概略図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線断面
図である。バッキングロール４１の近傍には開口部３２
ａを有する筐体３２ｂが配設され、筐体３２ｂの上下部
には複数個の接続管３２ｃを介して吸引管３２ｄ、３２
ｅがそれぞれ接続され、吸引管３２ｄ、３２ｅの他端部
はフランジ３２ｆを介して真空ポンプ（図示せず）に接
続されており、これら筐体３２ｂ、接続管３２ｃ、吸引
管３２ｄ、３２ｅ、前記真空ポンプ等を含んで吸引部３
２が構成されている。また筐体３２ｂ内にはノズル部３
３ａが形成され、筐体３２ｂ後部にはノズル部３３ａと
連結されたエア供給管３３ｂが形成され、エア供給管３
３ｂの他端部はフランジ３３ｃを介してエアコンプレッ
サ（図示せず）に接続されており、これらノズル部３３
ａ、エア供給管３３ｂ、前記エアコンプレッサ等を含ん
でエア吹き付け部３３が構成されている。これら吸引部
３２、エア吹き付け部３３を含んで異物除去手段として
の高圧エアクリーナ３１が構成されている。その他の構
成は図１に示したグリーンシート製造装置と同様である
ので、ここではその構成の詳細な説明は省略することと
する。これら高圧エアクリーナ３１、バッキングロール
４１等を含んでグリーンシート製造装置３０が構成され
ている。

【００２５】このように構成されたグリーンシート製造
装置３０を用いてグリーンシートを製造する場合、高圧
エアクリーナ３１の開口部３２ａをバッキングロール４
１近傍に配設し、吸引部３２の真空ポンプを駆動した
後、エア吹き付け部３３のエアコンプレッサを駆動す
る。次にバッキングロール４１を矢印Ａ方向に回転させ
ると、バッキングロール４１に付着している異物（図示
せず）がノズル部３３ａ先端から噴出した高圧エア３４
により次々と吹き飛ばされる一方、この異物を含んだエ
ア３５は開口部３２ａ、筐体３２ｂ内、接続管３２ｃ、
吸引管３２ｄ、３２ｅを介して前記真空ポンプ側に排出
される。

【００２６】上記説明から明らかなように、実施の形態
３に係るグリーンシート製造装置３０では、バッキング
ロール４１の表面に付着していた異物をエア吹き付け部
３３からの高圧エア３４により吹き飛ばし、この吹き飛
ばされた異物を吸引部３２により吸引して系外に排出す
るため、バッキングロール４１上の異物を常時確実に除
去することができる。

【００２７】

【実施例及び比較例】以下、実施例に係るグリーンシー
ト製造装置１０を用いて膜厚が薄いグリーンシート１７
を製造し、クレータの発生個数を調査した結果について
説明する。なお比較例としては、従来のグリーンシート
製造装置４０を用いて製造した膜厚が薄いグリーンシー
ト４５の場合を選んだ。

【００２８】この結果、比較例に係るグリーンシート４
５の場合、単位面積当り約７８５個のクレータが発生し
たが、実施例に係るグリーンシート１７の場合、クレー
タの発生はゼロであった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るグリーンシート製造装置の実施の
形態１の主要部を概略的に示した断面図である。

【図２】実施例の形態２に係るグリーンシート製造装置
の異物除去手段近傍を概略的に示した正面図である。

【図３】実施例の形態３に係るグリーンシート製造装置
の異物除去手段近傍を示した概略図であり、（ａ）は平
面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図４】従来のグリーンシート製造装置の主要部を概略
的に示した断面図である。

【図５】従来のグリーンシート製造装置を用いて製造さ
れた比較的薄いグリーンシートと、これに発生したクレ
ータとを模式的に示した断面図である。

【図６】従来のグリーンシート製造装置を用いて製造さ
れたグリーンシートにおけるクレータ発生頻度とクレー
タピッチとの関係を示したヒストグラムである。

【符号の説明】

１０ グリーンシート製造装置 １１ 異物除去手段 １２、１３、１４ 粘着ロール １７ グリーンシート ４１ バッキングロール ４２ キャリアテープ供給手段 ４３ キャリアテープ ４４ スラリ供給手段 ４５ａ スラリ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転するバッキングロールと、該バッキ
   ングロール上にキャリアテープを供給するキャリアテー
   プ供給手段と、前記キャリアテープ上に所定厚みのスラ
   リを供給するスラリ供給手段とを備えたグリーンシート
   製造装置において、前記バッキングロールに付着した異
   物を除去するための異物除去手段が装備されていること
   を特徴とするグリーンシート製造装置。
2. 【請求項２】 異物除去手段が粘着性表面を有するロー
   ルを含んで構成されていることを特徴とする請求項１記
   載のグリーンシート製造装置。
3. 【請求項３】 異物除去手段が粘着テープ製のエンドレ
   スベルトを含んで構成されていることを特徴とする請求
   項１記載のグリーンシート製造装置。
4. 【請求項４】 異物除去手段が高圧エアクリーナからな
   ることを特徴とする請求項１記載のグリーンシート製造
   装置。