JPH09260208A - 積層コンデンサの製造方法 - Google Patents
積層コンデンサの製造方法Info
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- JPH09260208A JPH09260208A JP6856196A JP6856196A JPH09260208A JP H09260208 A JPH09260208 A JP H09260208A JP 6856196 A JP6856196 A JP 6856196A JP 6856196 A JP6856196 A JP 6856196A JP H09260208 A JPH09260208 A JP H09260208A
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 11
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 積層精度の改善を図れる積層コンデンサの製
造方法を提供する。 【解決手段】 等間隔をあけて導体層６がマトリクス状
に複数形成されたグリーンシート５を用い、上下層の導
体層６がその幅方向にややずれて対向するように、導体
層６をその幅方向に所定枚数毎にずらしてグリーンシー
ト５を複数層積層した後、所定位置において層方向に切
断して積層体を形成すると共に、積層体の外面に所定の
内部電極に導通する複数の外部電極を形成して積層コン
デンサを形成する。これにより、グリーンシート５を複
数層積層した際、グリーンシート５の積層位置が導体層
６の幅方向に規定値よりもずれていても、このずれの大
きさは全ての導体層６において同一となるので、これに
より得られる積層コンデンサにおける容量分布は狭ま
り、その静電容量値はほぼ同一値となると共に、歩留ま
りの向上を図ることができる。
造方法を提供する。 【解決手段】 等間隔をあけて導体層６がマトリクス状
に複数形成されたグリーンシート５を用い、上下層の導
体層６がその幅方向にややずれて対向するように、導体
層６をその幅方向に所定枚数毎にずらしてグリーンシー
ト５を複数層積層した後、所定位置において層方向に切
断して積層体を形成すると共に、積層体の外面に所定の
内部電極に導通する複数の外部電極を形成して積層コン
デンサを形成する。これにより、グリーンシート５を複
数層積層した際、グリーンシート５の積層位置が導体層
６の幅方向に規定値よりもずれていても、このずれの大
きさは全ての導体層６において同一となるので、これに
より得られる積層コンデンサにおける容量分布は狭ま
り、その静電容量値はほぼ同一値となると共に、歩留ま
りの向上を図ることができる。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、積層コンデンサの
製造方法に関し、特に積層精度の改善を図った積層コン
デンサの製造方法に関するものである。
製造方法に関し、特に積層精度の改善を図った積層コン
デンサの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、周知のように積層コンデンサ１
は、図２に示すように誘電体セラミックスよりなる焼結
体２内に、誘電体セラミックス層を介して重なり合う複
数の内部電極３を配置し、例えばその内部電極をＡ層３
Ａ、Ｂ層３Ｂを交互に焼結体端面に形成された一対の外
部電極４に接続した構成を有する。
は、図２に示すように誘電体セラミックスよりなる焼結
体２内に、誘電体セラミックス層を介して重なり合う複
数の内部電極３を配置し、例えばその内部電極をＡ層３
Ａ、Ｂ層３Ｂを交互に焼結体端面に形成された一対の外
部電極４に接続した構成を有する。
【０００３】また、高周波領域（数１００ＭＨｚ〜数Ｇ
Ｈｚ）で使用されるコンデンサとしては、図３の（ａ）
（ｂ）のそれぞれに三角法を用いて積層コンデンサを示
したように、内部電極３を交互にずらして積層した応力
分散パターンが用いられている。この応力分散パターン
を用いることにより、高周波領域でのＱ値を良好にでき
ると共に、デラミネーションの発生を抑制することがで
きる。
Ｈｚ）で使用されるコンデンサとしては、図３の（ａ）
（ｂ）のそれぞれに三角法を用いて積層コンデンサを示
したように、内部電極３を交互にずらして積層した応力
分散パターンが用いられている。この応力分散パターン
を用いることにより、高周波領域でのＱ値を良好にでき
ると共に、デラミネーションの発生を抑制することがで
きる。
【０００４】このような応力分散パターンによって内部
電極が積層された積層コンデンサ１の製造に際しては、
誘電体セラミックスからなる矩形状のグリーンシート５
上に図４に示すような印刷パターンで、内部電極を形成
する複数の導体層６がマトリクス状に印刷形成される。
この導体層６は、例えばＡｇ、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ、Ｎ
ｉ、Ｃｕ等からなり、この金属ペーストがグリーンシー
ト上に印刷される。
電極が積層された積層コンデンサ１の製造に際しては、
誘電体セラミックスからなる矩形状のグリーンシート５
上に図４に示すような印刷パターンで、内部電極を形成
する複数の導体層６がマトリクス状に印刷形成される。
この導体層６は、例えばＡｇ、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ、Ｎ
ｉ、Ｃｕ等からなり、この金属ペーストがグリーンシー
ト上に印刷される。
【０００５】これらの内部電極を形成する導体層の印刷
パターンは、図５の（ａ）（ｂ）に示すように、Ａ層３
Ａ、Ｂ層３Ｂではグリーンシート上にそれぞれＡ層のス
クリーン、Ｂ層のスクリーンを用いて異なるパターンの
導体層が印刷されており、前述した応力分散パターンに
対応して導体層の印刷形成位置がずらされている。ここ
では、隣接する導体層６の間に大きい列間隔Ｓｂのとこ
ろと小さい列間隔Ｓｓのところが交互に存在するような
スクリーンパターンが設定されている。
パターンは、図５の（ａ）（ｂ）に示すように、Ａ層３
Ａ、Ｂ層３Ｂではグリーンシート上にそれぞれＡ層のス
クリーン、Ｂ層のスクリーンを用いて異なるパターンの
導体層が印刷されており、前述した応力分散パターンに
対応して導体層の印刷形成位置がずらされている。ここ
では、隣接する導体層６の間に大きい列間隔Ｓｂのとこ
ろと小さい列間隔Ｓｓのところが交互に存在するような
スクリーンパターンが設定されている。
【０００６】こうして導体層６が印刷されたグリーンシ
ート５を、図６に示すようにＡ層３Ａ、Ｂ層３Ｂが設定
キャパシタンスに応じて交互になるように、或いは目的
に応じて２枚ずつ、又はランダムに積み重ねてシート積
層物が形成される。
ート５を、図６に示すようにＡ層３Ａ、Ｂ層３Ｂが設定
キャパシタンスに応じて交互になるように、或いは目的
に応じて２枚ずつ、又はランダムに積み重ねてシート積
層物が形成される。
【０００７】この後、シート積層物の全体を熱圧着し、
該シート積層物を単一部品の幅及び長さに基づき決定し
た２方向の切断線７に沿って格子状に切断して積層チッ
プを得る。さらに、該積層チップを焼成した後、その端
面に外部電極４を形成することにより積層コンデンサ１
が製造されている。
該シート積層物を単一部品の幅及び長さに基づき決定し
た２方向の切断線７に沿って格子状に切断して積層チッ
プを得る。さらに、該積層チップを焼成した後、その端
面に外部電極４を形成することにより積層コンデンサ１
が製造されている。
【０００８】また、上記の導体層６は内部電極の２倍の
長さを有しており、切断時に２分されてその切断縁を積
層チップの端面に露出し、これと外部電極４が接続され
る。
長さを有しており、切断時に２分されてその切断縁を積
層チップの端面に露出し、これと外部電極４が接続され
る。
【０００９】一方、ＪＩＳ規格のＢ特性、Ｅ特性、Ｆ特
性のような高容量タイプのコンデンサでは、できるだけ
容量を稼ぐために、内部電極の印刷面積を大きく設計し
ている。また、ＣＨ特性、ＲＨ特性のような温度補償用
コンデンサや高周波領域で使用されるコンデンサは、Ｑ
値を良好にするために内部電極の印刷厚みを厚く設定し
ている。
性のような高容量タイプのコンデンサでは、できるだけ
容量を稼ぐために、内部電極の印刷面積を大きく設計し
ている。また、ＣＨ特性、ＲＨ特性のような温度補償用
コンデンサや高周波領域で使用されるコンデンサは、Ｑ
値を良好にするために内部電極の印刷厚みを厚く設定し
ている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た導体層６の印刷精度が少しでも低下すると、図７に示
すように、１列おきに導体層６の交差面積（対向面積）
の大きい列と小さい列が生じてしまい、容量分布が大き
くなると共に歩留まりの低下を招いていた。
た導体層６の印刷精度が少しでも低下すると、図７に示
すように、１列おきに導体層６の交差面積（対向面積）
の大きい列と小さい列が生じてしまい、容量分布が大き
くなると共に歩留まりの低下を招いていた。
【００１１】本発明の目的は上記の問題点に鑑み、積層
精度の改善を図れる積層コンデンサの製造方法を提供す
ることにある。
精度の改善を図れる積層コンデンサの製造方法を提供す
ることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために、内部電極となる導体層がマトリクス状に
複数形成されたグリーンシートを複数層積層した積層体
を所定形状に切断してなる積層コンデンサの製造方法に
おいて、等間隔をあけて導体層がマトリクス状に複数形
成されたグリーンシートを用い、上下層の導体層がその
幅方向にややずれて対向するように、前記導体層をその
幅方向に所定枚数毎にずらして前記グリーンシートを複
数層積層してシート積層物を形成した後、該シート積層
物を所定位置において層方向に切断して積層体を形成す
ると共に、該積層体の外面に所定の内部電極に導通する
複数の外部電極を形成する積層コンデンサの製造方法を
提案する。
成するために、内部電極となる導体層がマトリクス状に
複数形成されたグリーンシートを複数層積層した積層体
を所定形状に切断してなる積層コンデンサの製造方法に
おいて、等間隔をあけて導体層がマトリクス状に複数形
成されたグリーンシートを用い、上下層の導体層がその
幅方向にややずれて対向するように、前記導体層をその
幅方向に所定枚数毎にずらして前記グリーンシートを複
数層積層してシート積層物を形成した後、該シート積層
物を所定位置において層方向に切断して積層体を形成す
ると共に、該積層体の外面に所定の内部電極に導通する
複数の外部電極を形成する積層コンデンサの製造方法を
提案する。
【００１３】該積層コンデンサの製造方法によれば、等
間隔をあけて導体層がマトリクス状に複数形成されたグ
リーンシートが用いられるため、前記導体層がその幅方
向にややずれて対向するように前記導体層をその幅方向
に所定枚数毎にずらして前記グリーンシートを複数層積
層した際、前記グリーンシートの積層位置が前記導体層
の幅方向に規定値よりもずれていた場合、このずれの大
きさは全ての導体層において同一となる。従って、これ
により得られる積層コンデンサにおける容量分布は狭ま
り、その静電容量値はほぼ同一値となると共に、歩留ま
りの向上を図ることができる。
間隔をあけて導体層がマトリクス状に複数形成されたグ
リーンシートが用いられるため、前記導体層がその幅方
向にややずれて対向するように前記導体層をその幅方向
に所定枚数毎にずらして前記グリーンシートを複数層積
層した際、前記グリーンシートの積層位置が前記導体層
の幅方向に規定値よりもずれていた場合、このずれの大
きさは全ての導体層において同一となる。従って、これ
により得られる積層コンデンサにおける容量分布は狭ま
り、その静電容量値はほぼ同一値となると共に、歩留ま
りの向上を図ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態の一例を説明する。図１は本実施形態における内
部電極となる金属ペーストを印刷したグリーンシートの
一実施例を示す図である。図において、従来例と同一構
成部分は同一符号をもって表しその説明を省略する。ま
た、従来例と本実施例との相違点は、グリーンシート５
上に導体層６を形成する際、等間隔をあけてマトリクス
状に形成したことにある。
施形態の一例を説明する。図１は本実施形態における内
部電極となる金属ペーストを印刷したグリーンシートの
一実施例を示す図である。図において、従来例と同一構
成部分は同一符号をもって表しその説明を省略する。ま
た、従来例と本実施例との相違点は、グリーンシート５
上に導体層６を形成する際、等間隔をあけてマトリクス
状に形成したことにある。
【００１５】即ち、グリーンシート５は、Ｍｇ2 ＴｉＯ
4 −ＺｎＴｉＯ3 を主成分とし、誘電率２０、温度特性
がＣＨ特性を有するセラミックス材料からなり、その厚
さはチップ焼結後に２８μｍになるように設定されてい
る。
4 −ＺｎＴｉＯ3 を主成分とし、誘電率２０、温度特性
がＣＨ特性を有するセラミックス材料からなり、その厚
さはチップ焼結後に２８μｍになるように設定されてい
る。
【００１６】また、グリーンシート５上に形成する導体
層６は、例えばＡｇ、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ、Ｎｉ、Ｃｕ等
からなり、その印刷膜厚は３μｍ〜１０μｍ（乾燥後）
程度に設定されている。
層６は、例えばＡｇ、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ、Ｎｉ、Ｃｕ等
からなり、その印刷膜厚は３μｍ〜１０μｍ（乾燥後）
程度に設定されている。
【００１７】さらに、グリーンシート５上には、等間隔
をあけてマトリクス状に導体層６が形成されている。
をあけてマトリクス状に導体層６が形成されている。
【００１８】このように等しい列間隔Ｓｃをあけて導体
層６がマトリクス状に形成されたグリーンシート５を積
層し、切断線７に沿って切断し、焼成した後、外部電極
を付けて得られる積層コンデンサの大きさは1.0mm（長
さ）×0.5mm（高さ）×0.5mm（幅）である。ここで、上
下層の導体層６がその幅方向にややずれた状態で対向す
るように、予め導体層６の印刷が行われたり、或いは導
体層６の印刷パターンは同じであるときは積層時におい
てグリーンシートがずらされて積層される。
層６がマトリクス状に形成されたグリーンシート５を積
層し、切断線７に沿って切断し、焼成した後、外部電極
を付けて得られる積層コンデンサの大きさは1.0mm（長
さ）×0.5mm（高さ）×0.5mm（幅）である。ここで、上
下層の導体層６がその幅方向にややずれた状態で対向す
るように、予め導体層６の印刷が行われたり、或いは導
体層６の印刷パターンは同じであるときは積層時におい
てグリーンシートがずらされて積層される。
【００１９】前述したように等しい列間隔Ｓｃをあけて
導体層６を形成したグリーンシート５を積層して熱圧着
した際、上下層の導体層６の対向位置が規定値よりずれ
た場合、そのずれの大きさは各導体層６において同一値
となる。
導体層６を形成したグリーンシート５を積層して熱圧着
した際、上下層の導体層６の対向位置が規定値よりずれ
た場合、そのずれの大きさは各導体層６において同一値
となる。
【００２０】従って、これにより得られる積層コンデン
サ１における容量分布は狭まり、その静電容量値はほぼ
同一値となると共に、歩留まりの向上を図ることができ
る。
サ１における容量分布は狭まり、その静電容量値はほぼ
同一値となると共に、歩留まりの向上を図ることができ
る。
【００２１】従来例及び本実施例における容量のばらつ
きを比較するために、それぞれの印刷パターンを用いて
積層コンデンサ１を製造した。この比較に用いた印刷パ
ターンは、実施例として図１に示した印刷パターン、従
来例としての図３に示す印刷パターンである。
きを比較するために、それぞれの印刷パターンを用いて
積層コンデンサ１を製造した。この比較に用いた印刷パ
ターンは、実施例として図１に示した印刷パターン、従
来例としての図３に示す印刷パターンである。
【００２２】これらの印刷パターンを用いて製造した積
層コンデンサをそれぞれ１００個づつサンプルとして抽
出し、容量のばらつきを求めた。この測定結果を図８に
示す。
層コンデンサをそれぞれ１００個づつサンプルとして抽
出し、容量のばらつきを求めた。この測定結果を図８に
示す。
【００２３】この実験結果からもわかるようにグリーン
シート５上に等間隔Ｓｃをあけてマトリクス状に導体層
６を形成することにより、これによって製造された積層
コンデンサの容量分布を狭めることができ、積層コンデ
ンサ１の容量歩留まりを向上させることができることが
証明された。これにより、容量のばらつきを低減でき、
歩留まりの低下を防止することができるので、高精度な
積層コンデンサ１を製造することができる。
シート５上に等間隔Ｓｃをあけてマトリクス状に導体層
６を形成することにより、これによって製造された積層
コンデンサの容量分布を狭めることができ、積層コンデ
ンサ１の容量歩留まりを向上させることができることが
証明された。これにより、容量のばらつきを低減でき、
歩留まりの低下を防止することができるので、高精度な
積層コンデンサ１を製造することができる。
【００２４】尚、前述した実施例は一例でありこれに限
定されることはない。また、本実施例では、導体層６の
幅方向のずれに関して説明したが、導体層６の長さ方向
のずれに関しても同様の効果が得られることは言うまで
もない。
定されることはない。また、本実施例では、導体層６の
幅方向のずれに関して説明したが、導体層６の長さ方向
のずれに関しても同様の効果が得られることは言うまで
もない。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、等
間隔をあけて導体層がマトリクス状に複数形成されたグ
リーンシートが用いられるため、前記導体層がその幅方
向にややずれて対向するように前記導体層をその幅方向
に所定枚数毎にずらして前記グリーンシートを複数層積
層した際、前記グリーンシートの積層位置が前記導体層
の幅方向に規定値よりもずれていた場合、このずれの大
きさは全ての導体層において同一となるので、これによ
り得られる積層コンデンサにおける容量分布は狭まり、
その静電容量値はほぼ同一値となると共に、歩留まりの
向上を図ることができる。
間隔をあけて導体層がマトリクス状に複数形成されたグ
リーンシートが用いられるため、前記導体層がその幅方
向にややずれて対向するように前記導体層をその幅方向
に所定枚数毎にずらして前記グリーンシートを複数層積
層した際、前記グリーンシートの積層位置が前記導体層
の幅方向に規定値よりもずれていた場合、このずれの大
きさは全ての導体層において同一となるので、これによ
り得られる積層コンデンサにおける容量分布は狭まり、
その静電容量値はほぼ同一値となると共に、歩留まりの
向上を図ることができる。
【図１】本発明の一実施例の導体層印刷パターンを示す
図
図
【図２】積層コンデンサを示す一部切り欠き断面斜視図
【図３】従来例における応力分散パターンを説明する図
【図４】従来例の導体層印刷パターンを示す図
【図５】従来例の導体層印刷パターンを示す図
【図６】導体層が形成されたグリーンシートの積層状態
を説明する図
を説明する図
【図７】従来例における積層ずれの状態を説明する図
【図８】本発明の一実施例と従来例の容量分布を示す図
１…積層コンデンサ、２…焼結体、３…内部電極、３Ａ
…Ａ層、３Ｂ…Ｂ層、４…外部電極、５…グリーンシー
ト、６…導体層、７…切断線。
…Ａ層、３Ｂ…Ｂ層、４…外部電極、５…グリーンシー
ト、６…導体層、７…切断線。
Claims (1)
- 【請求項１】 内部電極となる導体層がマトリクス状に
複数形成されたグリーンシートを複数層積層した積層体
を所定形状に切断してなる積層コンデンサの製造方法に
おいて、 等間隔をあけて導体層がマトリクス状に複数形成された
グリーンシートを用い、 上下層の導体層がその幅方向にややずれて対向するよう
に、前記導体層をその幅方向に所定枚数毎にずらして前
記グリーンシートを複数層積層してシート積層物を形成
した後、 該シート積層物を所定位置において層方向に切断して積
層体を形成すると共に、 該積層体の外面に所定の内部電極に導通する複数の外部
電極を形成することを特徴とする積層コンデンサの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6856196A JPH09260208A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 積層コンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6856196A JPH09260208A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 積層コンデンサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09260208A true JPH09260208A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13377306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6856196A Withdrawn JPH09260208A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 積層コンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09260208A (ja) |
-
1996
- 1996-03-25 JP JP6856196A patent/JPH09260208A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |