JPH09265183A - Production of phosphor pattern - Google Patents
Production of phosphor patternInfo
- Publication number
- JPH09265183A JPH09265183A JP7552996A JP7552996A JPH09265183A JP H09265183 A JPH09265183 A JP H09265183A JP 7552996 A JP7552996 A JP 7552996A JP 7552996 A JP7552996 A JP 7552996A JP H09265183 A JPH09265183 A JP H09265183A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive
- layer
- resin composition
- phosphor
- photosensitive resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 138
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 65
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 claims abstract description 95
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 48
- 238000011161 development Methods 0.000 claims abstract description 42
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 139
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 claims description 18
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 13
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 12
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract description 36
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 25
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 25
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 description 79
- -1 methacryl Octyl Chemical group 0.000 description 43
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 39
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 25
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 22
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 description 20
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 17
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 15
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 12
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 12
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 11
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 10
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 10
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 10
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 10
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 10
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical group CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 5
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 4
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 4
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 4
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 125000004181 carboxyalkyl group Chemical group 0.000 description 4
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 4
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical group CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 3
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 3
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 3
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 3
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 3
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940065472 octyl acrylate Drugs 0.000 description 3
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 3
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 3
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 3
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 3
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 description 3
- 229910052950 sphalerite Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- 229920006163 vinyl copolymer Polymers 0.000 description 3
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 3
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 3
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 3
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XGRXUECZGSQQRL-UHFFFAOYSA-N 1-(1-hydroxypropan-2-yloxy)-3-methoxypropan-2-ol;2-methylprop-2-enoic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O.COCC(O)COC(C)CO XGRXUECZGSQQRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UHLWGJNVYHBNBV-UHFFFAOYSA-N 1-(1-hydroxypropan-2-yloxy)-3-methoxypropan-2-ol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COCC(O)COC(C)CO UHLWGJNVYHBNBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZDTLUUIYCAMIMQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyethoxy)-1-methoxyethanol;2-methylprop-2-enoic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O.COC(O)COCCO ZDTLUUIYCAMIMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CMCLUJRFBZBVSW-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyethoxy)-1-methoxyethanol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(O)COCCO CMCLUJRFBZBVSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOC(=O)C=C LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JKNCOURZONDCGV-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C(C)=C JKNCOURZONDCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JQCWCBBBJXQKDE-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-hydroxyethoxy)ethoxy]-1-methoxyethanol;2-methylprop-2-enoic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O.COC(O)COCCOCCO JQCWCBBBJXQKDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- COORVRSSRBIIFJ-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-hydroxyethoxy)ethoxy]-1-methoxyethanol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(O)COCCOCCO COORVRSSRBIIFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOC(=O)C(C)=C XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C=C INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LTHJXDSHSVNJKG-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C LTHJXDSHSVNJKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PQSQUSRICBZZHK-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)propoxy]propoxy]propoxy]propoxy]propoxy]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(C)OCC(C)OCC(C)OCC(C)OCC(C)OCC(C)OC(=O)C(C)=C PQSQUSRICBZZHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GPOGMJLHWQHEGF-UHFFFAOYSA-N 2-chloroethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCl GPOGMJLHWQHEGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WHBAYNMEIXUTJV-UHFFFAOYSA-N 2-chloroethyl prop-2-enoate Chemical compound ClCCOC(=O)C=C WHBAYNMEIXUTJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VKNASXZDGZNEDA-UHFFFAOYSA-N 2-cyanoethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC#N VKNASXZDGZNEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C(C)=C WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DUCAVBJYSSNCJG-UHFFFAOYSA-N 2-fluoroethyl prop-2-enoate Chemical compound FCCOC(=O)C=C DUCAVBJYSSNCJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YXYJVFYWCLAXHO-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound COCCOC(=O)C(C)=C YXYJVFYWCLAXHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HFCUBKYHMMPGBY-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl prop-2-enoate Chemical compound COCCOC(=O)C=C HFCUBKYHMMPGBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WXUAQHNMJWJLTG-UHFFFAOYSA-N 2-methylbutanedioic acid Chemical compound OC(=O)C(C)CC(O)=O WXUAQHNMJWJLTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RUMACXVDVNRZJZ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C(C)=C RUMACXVDVNRZJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C=C CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFQHFMGRRVQFNA-UHFFFAOYSA-N 3-(dimethylamino)propyl prop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCCOC(=O)C=C UFQHFMGRRVQFNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 3-piperidin-1-ylpropane-1,2-diol Chemical compound OCC(O)CN1CCCCC1 MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 4-prop-2-enoyloxybutyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCOC(=O)C=C JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YYVYAPXYZVYDHN-UHFFFAOYSA-N 9,10-phenanthroquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(=O)C3=CC=CC=C3C2=C1 YYVYAPXYZVYDHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N Bisphenol A diglycidyl ether Chemical compound C=1C=C(OCC2OC2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OCC1CO1 LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004135 Bone phosphate Substances 0.000 description 2
- 101100334009 Caenorhabditis elegans rib-2 gene Proteins 0.000 description 2
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- LCTONWCANYUPML-UHFFFAOYSA-N Pyruvic acid Chemical compound CC(=O)C(O)=O LCTONWCANYUPML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEPKQEUBKLEPRA-UHFFFAOYSA-N VX-745 Chemical compound FC1=CC(F)=CC=C1SC1=NN2C=NC(=O)C(C=3C(=CC=CC=3Cl)Cl)=C2C=C1 VEPKQEUBKLEPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N benzyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 2
- 229910021538 borax Inorganic materials 0.000 description 2
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 229920003086 cellulose ether Polymers 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N chloroprene Chemical compound ClC(=C)C=C YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 2
- VLIHGIDKOZKVBS-UHFFFAOYSA-N cycloheptyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCCCC1 VLIHGIDKOZKVBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCCC1 OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCCC1 KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WRAABIJFUKKEJQ-UHFFFAOYSA-N cyclopentyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCC1 WRAABIJFUKKEJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BTQLDZMOTPTCGG-UHFFFAOYSA-N cyclopentyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCC1 BTQLDZMOTPTCGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GTBGXKPAKVYEKJ-UHFFFAOYSA-N decyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C GTBGXKPAKVYEKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FWLDHHJLVGRRHD-UHFFFAOYSA-N decyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCOC(=O)C=C FWLDHHJLVGRRHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JXTHNDFMNIQAHM-UHFFFAOYSA-N dichloroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(Cl)Cl JXTHNDFMNIQAHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JQCXWCOOWVGKMT-UHFFFAOYSA-N diheptyl phthalate Chemical compound CCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCC JQCXWCOOWVGKMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical group C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OCDWICPYKQMQSQ-UHFFFAOYSA-N docosyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C OCDWICPYKQMQSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KHAYCTOSKLIHEP-UHFFFAOYSA-N docosyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C KHAYCTOSKLIHEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N dodecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FKIRSCKRJJUCNI-UHFFFAOYSA-N ethyl 7-bromo-1h-indole-2-carboxylate Chemical compound C1=CC(Br)=C2NC(C(=O)OCC)=CC2=C1 FKIRSCKRJJUCNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UKFXDFUAPNAMPJ-UHFFFAOYSA-N ethylmalonic acid Chemical compound CCC(C(O)=O)C(O)=O UKFXDFUAPNAMPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 2
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- MDNFYIAABKQDML-UHFFFAOYSA-N heptyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCOC(=O)C(C)=C MDNFYIAABKQDML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SCFQUKBBGYTJNC-UHFFFAOYSA-N heptyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCOC(=O)C=C SCFQUKBBGYTJNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNAOFAIBVOMLPV-UHFFFAOYSA-N hexadecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C ZNAOFAIBVOMLPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LNCPIMCVTKXXOY-UHFFFAOYSA-N hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCOC(=O)C(C)=C LNCPIMCVTKXXOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LNMQRPPRQDGUDR-UHFFFAOYSA-N hexyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCOC(=O)C=C LNMQRPPRQDGUDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- CFBXDFZIDLWOSO-UHFFFAOYSA-N icosyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C CFBXDFZIDLWOSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NGYRYRBDIPYKTL-UHFFFAOYSA-N icosyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C NGYRYRBDIPYKTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N isophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(C(O)=O)=C1 QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- ZIYVHBGGAOATLY-UHFFFAOYSA-N methylmalonic acid Chemical compound OC(=O)C(C)C(O)=O ZIYVHBGGAOATLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N nonanedioic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCC(O)=O BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LKEDKQWWISEKSW-UHFFFAOYSA-N nonyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C LKEDKQWWISEKSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MDYPDLBFDATSCF-UHFFFAOYSA-N nonyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCOC(=O)C=C MDYPDLBFDATSCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HMZGPNHSPWNGEP-UHFFFAOYSA-N octadecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C HMZGPNHSPWNGEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FSAJWMJJORKPKS-UHFFFAOYSA-N octadecyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C FSAJWMJJORKPKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ANISOHQJBAQUQP-UHFFFAOYSA-N octyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCOC(=O)C=C ANISOHQJBAQUQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- GYDSPAVLTMAXHT-UHFFFAOYSA-N pentyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCOC(=O)C(C)=C GYDSPAVLTMAXHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ULDDEWDFUNBUCM-UHFFFAOYSA-N pentyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCOC(=O)C=C ULDDEWDFUNBUCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIWKUEJZZCOPFV-UHFFFAOYSA-N phenyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1=CC=CC=C1 QIWKUEJZZCOPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- WRAQQYDMVSCOTE-UHFFFAOYSA-N phenyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1=CC=CC=C1 WRAQQYDMVSCOTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N pimelic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCC(O)=O WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 2
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 2
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 2
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- BOQSSGDQNWEFSX-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(C)OC(=O)C(C)=C BOQSSGDQNWEFSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LYBIZMNPXTXVMV-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)OC(=O)C=C LYBIZMNPXTXVMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 2
- NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)=C NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229930195734 saturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N sebacic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCCC(O)=O CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004328 sodium tetraborate Substances 0.000 description 2
- 235000010339 sodium tetraborate Nutrition 0.000 description 2
- 239000008107 starch Substances 0.000 description 2
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 description 2
- TYFQFVWCELRYAO-UHFFFAOYSA-N suberic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCC(O)=O TYFQFVWCELRYAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)(C)C SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- ATZHWSYYKQKSSY-UHFFFAOYSA-N tetradecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C ATZHWSYYKQKSSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XZHNPVKXBNDGJD-UHFFFAOYSA-N tetradecyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C XZHNPVKXBNDGJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N trimellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K tripotassium phosphate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])([O-])=O LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 229930195735 unsaturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- LPSFUJXLYNJWPX-UHFFFAOYSA-N 1,1'-biphenyl;diphenyl hydrogen phosphate Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1.C=1C=CC=CC=1OP(=O)(O)OC1=CC=CC=C1 LPSFUJXLYNJWPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical group C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-trimethylphenanthrene Chemical compound CC1=CC=C2C3=CC(C)=CC=C3C=CC2=C1C MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VDYWHVQKENANGY-UHFFFAOYSA-N 1,3-Butyleneglycol dimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)CCOC(=O)C(C)=C VDYWHVQKENANGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMGYOBQJBQAZKC-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethylphenyl)-2-hydroxy-2-phenylethanone Chemical compound CCC1=CC=CC=C1C(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 LMGYOBQJBQAZKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KFQPRNVTVMCYEH-UHFFFAOYSA-N 1-amino-3-(4-methoxyphenoxy)propan-2-ol Chemical compound COC1=CC=C(OCC(O)CN)C=C1 KFQPRNVTVMCYEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 1
- IAKGBURUJDUUNN-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)-3-methylbutane-1,4-diol prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(C)C(CO)(CO)CO IAKGBURUJDUUNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC(CC)=C3SC2=C1 BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MDKSQNHUHMMKPP-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(4-methoxyphenyl)-4-phenyl-1h-imidazole Chemical class C1=CC(OC)=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC(OC)=CC=2)N1 MDKSQNHUHMMKPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSKOWRJEBKQTKZ-UHFFFAOYSA-N 2,6-dihydroxy-2,6-dimethylheptan-4-one Chemical compound CC(C)(O)CC(=O)CC(C)(C)O GSKOWRJEBKQTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTWRMVAKUSJNBK-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-dimethoxyphenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical class COC1=CC(OC)=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 CTWRMVAKUSJNBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RXAYEPUDXSKVHS-UHFFFAOYSA-N 2-(2-chlorophenyl)-4,5-bis(3-methoxyphenyl)-1h-imidazole Chemical class COC1=CC=CC(C2=C(NC(=N2)C=2C(=CC=CC=2)Cl)C=2C=C(OC)C=CC=2)=C1 RXAYEPUDXSKVHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSWNXQGJAPQOID-UHFFFAOYSA-N 2-(2-chlorophenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical class ClC1=CC=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 NSWNXQGJAPQOID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XIOGJAPOAUEYJO-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyphenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical class COC1=CC=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 XIOGJAPOAUEYJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNFCQJAJPFWBDJ-UHFFFAOYSA-N 2-(4-methoxyphenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical class C1=CC(OC)=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 SNFCQJAJPFWBDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJIXRGNQPBQWMK-UHFFFAOYSA-N 2-(diethylamino)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCN(CC)CCOC(=O)C(C)=C SJIXRGNQPBQWMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHVBLSNVXDSMEB-UHFFFAOYSA-N 2-(diethylamino)ethyl prop-2-enoate Chemical compound CCN(CC)CCOC(=O)C=C QHVBLSNVXDSMEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPBJAVGHACCNRL-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl prop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C=C DPBJAVGHACCNRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VIYWVRIBDZTTMH-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-[4-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]phenyl]propan-2-yl]phenoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1=CC(OCCOC(=O)C(=C)C)=CC=C1C(C)(C)C1=CC=C(OCCOC(=O)C(C)=C)C=C1 VIYWVRIBDZTTMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AEPWOCLBLLCOGZ-UHFFFAOYSA-N 2-cyanoethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCC#N AEPWOCLBLLCOGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMWGZSWSTCGVLX-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;2-methylprop-2-enoic acid Chemical class CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.CCC(CO)(CO)CO JMWGZSWSTCGVLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIAWCKFOFPPVGF-UHFFFAOYSA-N 2-ethyladamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1C(CC)C2C3 LIAWCKFOFPPVGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 2-ethylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC=C3C(=O)C2=C1 SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WPSKNCNCLSXMTN-UHFFFAOYSA-N 2-fluoroethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCF WPSKNCNCLSXMTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004777 2-fluoroethyl group Chemical group [H]C([H])(F)C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004198 2-fluorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(F)=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- VZMLJEYQUZKERO-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-(2-methylphenyl)-2-phenylethanone Chemical compound CC1=CC=CC=C1C(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 VZMLJEYQUZKERO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-(7-oxabicyclo[4.1.0]hepta-1,3,5-trien-2-yl)-2-phenylethanone Chemical compound OC(C(=O)c1cccc2Oc12)c1ccccc1 NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKAUACFRMABXRL-UHFFFAOYSA-N 2-o-(3-chloro-2-hydroxypropyl) 1-o-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethyl] benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(O)CCl IKAUACFRMABXRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXYQEGMSGMXGGK-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C(C=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 AXYQEGMSGMXGGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDBZEBXYXWWDPJ-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methylphenoxy)propanoic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1OCCC(O)=O WDBZEBXYXWWDPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WWJCRUKUIQRCGP-UHFFFAOYSA-N 3-(dimethylamino)propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCCOC(=O)C(C)=C WWJCRUKUIQRCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBVZQAXFSQKDKK-UHFFFAOYSA-N 3-Methoxy-3-oxopropanoic acid Chemical compound COC(=O)CC(O)=O PBVZQAXFSQKDKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGINADPHJQTSKN-UHFFFAOYSA-M 3-ethoxy-3-oxopropanoate Chemical compound CCOC(=O)CC([O-])=O HGINADPHJQTSKN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FQMIAEWUVYWVNB-UHFFFAOYSA-N 3-prop-2-enoyloxybutyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(C)CCOC(=O)C=C FQMIAEWUVYWVNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOJWAAUYNWGQAU-UHFFFAOYSA-N 4-(2-methylprop-2-enoyloxy)butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCOC(=O)C(C)=C XOJWAAUYNWGQAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHLKOHSAWQPOFO-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-1h-imidazole Chemical class N1C=NC=C1C1=CC=CC=C1 XHLKOHSAWQPOFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAMCLRBWHRRBCN-UHFFFAOYSA-N 5-prop-2-enoyloxypentyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCOC(=O)C=C XAMCLRBWHRRBCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SAPGBCWOQLHKKZ-UHFFFAOYSA-N 6-(2-methylprop-2-enoyloxy)hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCCCOC(=O)C(C)=C SAPGBCWOQLHKKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTRFEWTWIPAXLG-UHFFFAOYSA-N 9-phenylacridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=C(C=CC=C2)C2=NC2=CC=CC=C12 MTRFEWTWIPAXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M Bicarbonate Chemical class OC([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XWUNIDGEMNBBAQ-UHFFFAOYSA-N Bisphenol A ethoxylate diacrylate Chemical compound C=1C=C(OCCOC(=O)C=C)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(OCCOC(=O)C=C)C=C1 XWUNIDGEMNBBAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOZALWBFWGMCAU-UHFFFAOYSA-N CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.OCC(C)C(CO)(CO)CO Chemical compound CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.OCC(C)C(CO)(CO)CO JOZALWBFWGMCAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N Diethylenetriamine Chemical compound NCCNCCN RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical group CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N Furan Chemical group C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N Pentane Chemical group CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical class [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical group C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004283 SiO 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N TOTP Chemical compound CC1=CC=CC=C1OP(=O)(OC=1C(=CC=CC=1)C)OC1=CC=CC=C1C YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical group C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical group C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane trimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQPVFBDWIUVLHG-UHFFFAOYSA-N [2,2-bis(hydroxymethyl)-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CO)(CO)COC(=O)C(C)=C GQPVFBDWIUVLHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQHKDHVZYZUZMJ-UHFFFAOYSA-N [2,2-bis(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxypropyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(CO)COC(=O)C=C CQHKDHVZYZUZMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULQMPOIOSDXIGC-UHFFFAOYSA-N [2,2-dimethyl-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(C)(C)COC(=O)C(C)=C ULQMPOIOSDXIGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GCNKJQRMNYNDBI-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-2-(2-methylprop-2-enoyloxymethyl)butyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CO)(CC)COC(=O)C(C)=C GCNKJQRMNYNDBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TUOBEAZXHLTYLF-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-2-(prop-2-enoyloxymethyl)butyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(CC)COC(=O)C=C TUOBEAZXHLTYLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUDXBRVLWDGRBC-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)-2-(2-methylprop-2-enoyloxymethyl)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CO)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C JUDXBRVLWDGRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARNIZPSLPHFDED-UHFFFAOYSA-N [4-(dimethylamino)phenyl]-(4-methoxyphenyl)methanone Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 ARNIZPSLPHFDED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSKCRYMJUCLQDG-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(2,3-diethoxy-4-prop-2-enoyloxyphenyl)propan-2-yl]-2,3-diethoxyphenyl] prop-2-enoate Chemical compound CCOC1=C(OC(=O)C=C)C=CC(C(C)(C)C=2C(=C(OCC)C(OC(=O)C=C)=CC=2)OCC)=C1OCC YSKCRYMJUCLQDG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-prop-2-enoyloxyphenyl)propan-2-yl]phenyl] prop-2-enoate Chemical compound C=1C=C(OC(=O)C=C)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(OC(=O)C=C)C=C1 FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJSXBTSSSQCODU-UHFFFAOYSA-N [4-[2-[2,3-diethoxy-4-(2-methylprop-2-enoyloxy)phenyl]propan-2-yl]-2,3-diethoxyphenyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC1=C(OC(=O)C(C)=C)C=CC(C(C)(C)C=2C(=C(OCC)C(OC(=O)C(C)=C)=CC=2)OCC)=C1OCC SJSXBTSSSQCODU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001251 acridines Chemical class 0.000 description 1
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000008431 aliphatic amides Chemical class 0.000 description 1
- 229910001854 alkali hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000318 alkali metal phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 125000005577 anthracene group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008365 aromatic ketones Chemical class 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000440 bentonite Substances 0.000 description 1
- 229910000278 bentonite Inorganic materials 0.000 description 1
- SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N bentoquatam Chemical compound O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Chemical group 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUZSUMLPWDHKCJ-UHFFFAOYSA-N bisphenol A dimethacrylate Chemical compound C1=CC(OC(=O)C(=C)C)=CC=C1C(C)(C)C1=CC=C(OC(=O)C(C)=C)C=C1 QUZSUMLPWDHKCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- RNOOHTVUSNIPCJ-UHFFFAOYSA-N butan-2-yl prop-2-enoate Chemical group CCC(C)OC(=O)C=C RNOOHTVUSNIPCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- VNSBYDPZHCQWNB-UHFFFAOYSA-N calcium;aluminum;dioxido(oxo)silane;sodium;hydrate Chemical compound O.[Na].[Al].[Ca+2].[O-][Si]([O-])=O VNSBYDPZHCQWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- FOCAUTSVDIKZOP-UHFFFAOYSA-N chloroacetic acid Chemical compound OC(=O)CCl FOCAUTSVDIKZOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940106681 chloroacetic acid Drugs 0.000 description 1
- 229960004106 citric acid Drugs 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 1
- 125000001995 cyclobutyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- KRJIBMFDBVWHBJ-UHFFFAOYSA-N cycloheptyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCCCC1 KRJIBMFDBVWHBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000582 cycloheptyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 1
- DIOQZVSQGTUSAI-NJFSPNSNSA-N decane Chemical group CCCCCCCCC[14CH3] DIOQZVSQGTUSAI-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dioxosilane;oxygen(2-);hydrate Chemical compound O.[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960005215 dichloroacetic acid Drugs 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- HOSXICNCYBUYAW-UHFFFAOYSA-N dimethylamino prop-2-enoate Chemical compound CN(C)OC(=O)C=C HOSXICNCYBUYAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011180 diphosphates Nutrition 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 1
- 125000003827 glycol group Chemical group 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- KWLMIXQRALPRBC-UHFFFAOYSA-L hectorite Chemical compound [Li+].[OH-].[OH-].[Na+].[Mg+2].O1[Si]2([O-])O[Si]1([O-])O[Si]([O-])(O1)O[Si]1([O-])O2 KWLMIXQRALPRBC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000271 hectorite Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N isobutane Chemical group CC(C)C NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWTDNUCVQCZILF-UHFFFAOYSA-N isopentane Chemical group CCC(C)C QWTDNUCVQCZILF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052622 kaolinite Inorganic materials 0.000 description 1
- PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N lauryl acrylate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N linalool Chemical compound CC(C)=CCCC(C)(O)C=C CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229940099690 malic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229940117841 methacrylic acid copolymer Drugs 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical group C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YDKNBNOOCSNPNS-UHFFFAOYSA-N methyl 1,3-benzoxazole-2-carboxylate Chemical compound C1=CC=C2OC(C(=O)OC)=NC2=C1 YDKNBNOOCSNPNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940086559 methyl benzoin Drugs 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 229910052901 montmorillonite Inorganic materials 0.000 description 1
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical group CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical group CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- CRSOQBOWXPBRES-UHFFFAOYSA-N neopentane Chemical group CC(C)(C)C CRSOQBOWXPBRES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- BKIMMITUMNQMOS-UHFFFAOYSA-N nonane Chemical group CCCCCCCCC BKIMMITUMNQMOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical group CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NZIDBRBFGPQCRY-UHFFFAOYSA-N octyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCOC(=O)C(C)=C NZIDBRBFGPQCRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid group Chemical group C(CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC)(=O)O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 125000002971 oxazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N palmitic acid group Chemical group C(CCCCCCCCCCCCCCC)(=O)O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000000088 plastic resin Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920001515 polyalkylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920005650 polypropylene glycol diacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920005651 polypropylene glycol dimethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920002102 polyvinyl toluene Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011118 potassium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910000160 potassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011009 potassium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N propyl prop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C=C PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003373 pyrazinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000714 pyrimidinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000168 pyrrolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229940107700 pyruvic acid Drugs 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 125000002943 quinolinyl group Chemical group N1=C(C=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 125000001567 quinoxalinyl group Chemical group N1=C(C=NC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 description 1
- 229910000275 saponite Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000003441 saturated fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000004671 saturated fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 235000011182 sodium carbonates Nutrition 0.000 description 1
- FQENQNTWSFEDLI-UHFFFAOYSA-J sodium diphosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O FQENQNTWSFEDLI-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001488 sodium phosphate Substances 0.000 description 1
- 229910000162 sodium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940048086 sodium pyrophosphate Drugs 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RYCLIXPGLDDLTM-UHFFFAOYSA-J tetrapotassium;phosphonato phosphate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O RYCLIXPGLDDLTM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 235000019818 tetrasodium diphosphate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001577 tetrasodium phosphonato phosphate Substances 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N trichloroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(Cl)(Cl)Cl YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 1
- LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N tris Chemical compound OCC(N)(CO)CO LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K trisodium phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])([O-])=O RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 235000021122 unsaturated fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000004670 unsaturated fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光体パターンの
製造法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a phosphor pattern.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、平板ディスプレイの1つとし
て、プラズマ放電により発光する蛍光体を設けることに
よって多色表示を可能にしたプラズマディスプレイパネ
ル(以下PDPと記す)が知られている。PDPは、ガ
ラスからなる平板状の前面板と背面板とが互いに平行に
かつ対向して配設され、両者はその間に設けられたバリ
アリブにより一定の間隔に保持されており、前面板、背
面板及びバリアリブに囲まれた空間で放電する構造にな
っている。このような空間には、表示のための蛍光体が
塗布され、放電によって封入ガスから発生する紫外線に
よって蛍光体が発光させられ、この光を観察者が視認で
きるようになっている。2. Description of the Related Art Conventionally, as one of flat panel displays, a plasma display panel (hereinafter, referred to as a PDP) capable of performing multicolor display by providing a phosphor which emits light by plasma discharge has been known. In the PDP, a flat plate-shaped front plate and a rear plate made of glass are arranged in parallel and opposite to each other, and both of them are held at a constant interval by a barrier rib provided therebetween. Also, the structure is such that discharge occurs in the space surrounded by the barrier ribs. In such a space, a phosphor for display is applied, and the phosphor is caused to emit light by ultraviolet rays generated from the sealing gas by discharge, so that the light can be visually recognized by an observer.
【0003】従来、この蛍光体を設ける方法としては、
各色蛍光体を分散させたスラリー液もしくはペーストを
スクリーン印刷等の印刷方法によって塗布する方法が提
案されており、特開平1−115027号公報、特開平
1−124929号公報、特開平1−124930号公
報、特開平2−155142号公報等に開示されてい
る。しかし、上記の蛍光体分散スラリー液は液状である
ため、蛍光体の沈澱等による分散不良が生じやすく、ま
たスラリー液に液状の感光性レジストを用いた場合に
は、暗反応の促進等により保存安定性が乏しくなる等の
欠点を有する。さらにスクリーン印刷等の印刷方法は印
刷精度に劣るため、将来的なPDPの大画面化への対応
は困難である等の問題がある。Conventionally, a method of providing this phosphor is as follows.
A method of applying a slurry solution or paste in which phosphors of each color are dispersed by a printing method such as screen printing has been proposed. And Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-155142. However, since the above-mentioned phosphor dispersion slurry liquid is liquid, poor dispersion due to precipitation of the phosphor is likely to occur, and when a liquid photosensitive resist is used for the slurry liquid, it is preserved by promoting a dark reaction and the like. It has disadvantages such as poor stability. Furthermore, since printing methods such as screen printing are inferior in printing accuracy, there is a problem that it will be difficult to cope with future large screen PDPs.
【0004】これらの問題点の解決には、蛍光体を含有
させた感光性エレメント(感光性フィルムともいう)を
用いる方法が提案されている(特開平6−273925
号公報)。感光性エレメントを用いる方法とは、蛍光体
を含有する感光性樹脂層と支持体フィルムよりなる感光
性エレメントの蛍光体を含有する感光性樹脂層を、加熱
圧着(ラミネート)により前記PDP用基板の空間に埋
め込み、次に、ネガフィルムを用いて、写真法により紫
外線等の活性光で像的に露光し、その後、アルカリ水溶
液等の現像液で、未露光部分を除去し、さらに、焼成に
より不必要な有機成分を取り除いて、必要な部分のみに
蛍光体パターンを形成するものである。従って、前記P
DP用基板の空間に蛍光体パターンを形成する際には、
蛍光体の分散性を確認する必要はなく、また、蛍光体分
散スラリー液若しくはペーストに比べて保存安定性にも
優れている。さらに、写真法を用いるため、精度良く蛍
光体パターンを形成することができる。In order to solve these problems, a method using a photosensitive element containing a phosphor (also referred to as a photosensitive film) has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. Hei 6-273925).
Issue). The method of using a photosensitive element means that a photosensitive resin layer containing a phosphor of a photosensitive element composed of a photosensitive resin layer containing a phosphor and a support film is heat-pressed (laminated) to form a PDP substrate. It is embedded in a space and then imagewise exposed to actinic light such as ultraviolet rays by a photographic method using a negative film. Then, the unexposed portion is removed with a developing solution such as an alkaline aqueous solution, and the unexposed portion is further baked. By removing the necessary organic components, the phosphor pattern is formed only on the necessary portions. Therefore, P
When forming a phosphor pattern in the space of the DP substrate,
It is not necessary to check the dispersibility of the phosphor, and the storage stability is superior to that of the phosphor dispersion slurry or paste. Furthermore, since a photographic method is used, a phosphor pattern can be formed with high accuracy.
【0005】しかし、従来の方法により感光性エレメン
トを使用して蛍光体を含有する感光性樹脂層を、ラミネ
ートにより前記PDP用基板の空間(セル内)に埋め込
むと、バリアリブ壁面及び空間底面上に蛍光体パターン
を均一な層厚、形状で形成することが困難であった。However, when a photosensitive resin layer containing a phosphor is buried in a space (in a cell) of the PDP substrate by lamination using a photosensitive element by a conventional method, the barrier rib wall surface and the space bottom surface are left behind. It was difficult to form a phosphor pattern with a uniform thickness and shape.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】請求項1記載の発明
は、PDP用基板等の凹凸を有する基板の空間への埋め
込み性(PDP用基板のバリアリブ壁面及び基板面上に
おける蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層の形成性)
が優れ、混色を防止し、凹部内面のみに高精度で均一な
形状の蛍光体パターンを裕度をもって形成できる蛍光体
パターンの製造法を提供するものである。請求項2記載
の発明は、請求項1記載の発明の効果に加えて、さらに
作業性及び膜べりの抑制に優れる蛍光体パターンの製造
法を提供するものである。請求項3記載の発明は、請求
項1又は2記載の発明の効果に加えて、より作業性に優
れる蛍光体パターンの製造法を提供するものである。請
求項4記載の発明は、請求項1、2又は3記載の発明の
効果に加えて、より作業性に優れる蛍光体パターンの製
造法を提供するものである。請求項5記載の発明は、請
求項1、2、3又は4記載の発明の効果に加えて、より
作業性に優れる蛍光体パターンの製造法を提供するもの
である。According to a first aspect of the present invention, the embedding property in a space of a substrate having irregularities such as a PDP substrate (a barrier rib wall surface of the PDP substrate and a photosensitive material containing a phosphor on the substrate surface). Of resinous resin composition layer)
The present invention provides a method for producing a phosphor pattern, which is excellent in color mixing, can prevent color mixture, and can form a highly accurate and uniform shape phosphor pattern with a margin only on the inner surface of the recess. In addition to the effect of the invention described in claim 1, the invention described in claim 2 provides a method for producing a phosphor pattern which is excellent in workability and suppression of film slippage. In addition to the effect of the invention described in claim 1 or 2, the invention described in claim 3 provides a method of manufacturing a phosphor pattern that is more excellent in workability. In addition to the effect of the invention described in claim 1, 2 or 3, the invention according to claim 4 provides a method for manufacturing a phosphor pattern having a better workability. The invention described in claim 5 provides a method for manufacturing a phosphor pattern having excellent workability, in addition to the effects of the invention described in claim 1, 2, 3 or 4.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、(I)凹凸を
有する基板上に、(A)(d)蛍光体を含有する感光性
樹脂組成物層の上に(B)感光性の熱可塑性樹脂層が配
置された状態で、(B)層を加熱圧着する工程、 (II)酸素を含む気体が(B)層の上に存在する状態
で、活性光線を像的に照射する工程、 (III)現像により不要部を除去する工程及び (IV)焼成により不要分を除去する工程 の各工程を含むことを特徴とする蛍光体パターンの製造
法に関する。また、本発明は、(I)〜(III)の各工
程を繰り返して、赤、緑及び青に発色する蛍光体を含有
する感光性樹脂組成物層からなる多色のパターンを形成
した後、(IV)の工程を行ない多色の蛍光体パターンを
形成する前記蛍光体パターンの製造法に関する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention comprises: (I) a substrate having irregularities, (A) a photosensitive resin composition layer containing (d) a phosphor, and (B) a photosensitive heat-sensitive layer. A step of thermocompression-bonding the layer (B) in a state where the plastic resin layer is arranged, (II) a step of imagewise irradiation with actinic rays in a state where a gas containing oxygen is present on the layer (B), The present invention relates to a method for producing a phosphor pattern, which comprises each step of (III) removing unnecessary portions by development and (IV) removing unnecessary portions by baking. The present invention also provides a method of forming a multicolor pattern comprising a photosensitive resin composition layer containing a phosphor that emits red, green, and blue by repeating the steps (I) to (III). The present invention relates to a method for producing the phosphor pattern for forming a multicolor phosphor pattern by performing the step (IV).
【0008】また、本発明は、(A)感光性樹脂組成物
層が、(a)フィルム性付与ポリマ、(b)末端にエチ
レン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物、(c)
活性光の照射により遊離ラジカルを生成し、かつ生成し
た遊離ラジカルが酸素により失活しやすい光開始剤及び
(d)蛍光体を含むものである前記蛍光体パターンの製
造法に関する。また、本発明は、(B)感光性の熱可塑
性樹脂層が(e)熱可塑性樹脂、(f)末端にエチレン
性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物及び(g)活
性光の照射により遊離ラジカルを生成し、かつ生成した
遊離ラジカルが酸素により失活しやすい光開始剤を含む
ものである前記蛍光体パターンの製造法に関する。ま
た、本発明は、(III)現像により不要部を除去する工
程において、(A)層及び(B)層が、同一の現像液を
使用して現像する前記蛍光体パターンの製造法に関す
る。Further, in the present invention, (A) the photosensitive resin composition layer comprises (a) a film property imparting polymer, (b) a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at the terminal, (c)
The present invention relates to a method for producing the phosphor pattern, wherein free radicals are generated by irradiation with active light, and the generated free radicals include a photoinitiator that is easily deactivated by oxygen and (d) a phosphor. The present invention also provides (B) a photosensitive thermoplastic resin layer, (e) a thermoplastic resin, (f) a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at the end, and (g) irradiation with active light. To produce a free radical, and the produced free radical contains a photoinitiator that is easily deactivated by oxygen. Further, the present invention relates to the method for producing the phosphor pattern, wherein (A) layer and (B) layer are developed using the same developing solution in the step (III) of removing an unnecessary portion by development.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】本発明の蛍光体パターンの製造法
は、(I)凹凸を有する基板上に、(A)(d)蛍光体
を含有する感光性樹脂組成物層の上に(B)感光性の熱
可塑性樹脂層が配置された状態で、(B)層を加熱圧着
する工程、(II)酸素を含む気体が(B)層の上に存在
する状態で、活性光線を像的に照射する工程、(III)
現像により不要部を除去する工程及び(IV)焼成により
不要分を除去する工程の各工程を含むことを特徴とす
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The method for producing a phosphor pattern of the present invention comprises: (I) a substrate having irregularities, (A) (d) a photosensitive resin composition layer containing a phosphor (B); ) In the state where the photosensitive thermoplastic resin layer is arranged, the step of heat-pressing the (B) layer; Irradiation step, (III)
The method is characterized by including each step of removing an unnecessary portion by development and (IV) removing an unnecessary portion by baking.
【0010】本発明における凹凸を有する基板として
は、バリアリブが形成されたプラズマディスプレイパネ
ル用基板(PDP用基板)等が挙げられる。PDP用基
板としては、例えば、透明な接着のための表面処理を施
していてもよい、ガラス板、合成樹脂板等の基板に、電
極及びバリアリブが形成されたものなどが挙げられる。
バリアリブの形成には、特に制限なく、公知の材料を使
用できるが、例えば、シリカ、熱硬化性樹脂、低融点ガ
ラス(酸化鉛等)、溶剤などを含むリブ材を用いること
ができる。また、PDP用基板には、電極及びバリアリ
ブの他に、必要に応じて、誘電膜、絶縁膜、補助電極、
抵抗体等が形成されていてもよい。これらのものを、基
板へ形成する方法としては、特に制限はなく、例えば、
基板に、蒸着、スパッタリング、メッキ、塗布、印刷等
の方法で電極を形成することができ、印刷法、サンドブ
ラスト法、埋め込み法等の方法でバリアリブを形成する
ことができる。Examples of the substrate having irregularities in the present invention include a plasma display panel substrate (PDP substrate) having barrier ribs formed thereon. Examples of the PDP substrate include a substrate such as a glass plate or a synthetic resin plate on which electrodes and barrier ribs are formed, which may be subjected to a surface treatment for transparent bonding.
For forming the barrier rib, a known material can be used without any particular limitation. For example, a rib material containing silica, a thermosetting resin, a low-melting glass (such as lead oxide), a solvent, or the like can be used. In addition, in addition to the electrodes and barrier ribs, the PDP substrate may include a dielectric film, an insulating film, an auxiliary electrode,
A resistor or the like may be formed. There is no particular limitation on the method of forming these on a substrate.
An electrode can be formed on a substrate by a method such as vapor deposition, sputtering, plating, coating, or printing, and a barrier rib can be formed by a method such as a printing method, a sandblast method, or an embedding method.
【0011】図1及び図2にバリアリブが形成されたP
DP用基板の一例の模式図を示した。バリアリブは、通
常、高さが20〜500μm、幅が20〜200μmと
される。バリアリブで囲まれた放電空間の形状には、特
に制限はなく、格子状、ストライプ状、ハニカム状、3
角形状、楕円形状等が可能であるが、通常、図1及び図
2等に示すような、格子状又はストライプ状の放電空間
が形成される。図1及び図2において、基板1上にはバ
リアリブ2が形成されており、図1では格子状放電空間
3が、図2ではストライプ状放電空間4が形成されてい
る。放電空間の大きさは、PDPの大きさと解像度によ
って決められ、通常、図1のような格子状放電空間であ
れば、縦及び横の長さは、50μm〜1mmとなり、図2
のようなストライプ状放電空間であれば、間隔は、30
μm〜1mmとなる。In FIG. 1 and FIG. 2, P having a barrier rib is formed.
The schematic diagram of an example of the DP substrate is shown. The barrier ribs usually have a height of 20 to 500 μm and a width of 20 to 200 μm. The shape of the discharge space surrounded by the barrier ribs is not particularly limited, and may be a lattice shape, a stripe shape, a honeycomb shape, or 3 shapes.
Although it is possible to have a rectangular shape, an elliptical shape, or the like, a grid-shaped or stripe-shaped discharge space as shown in FIGS. 1 and 2 is usually formed. 1 and 2, a barrier rib 2 is formed on a substrate 1. In FIG. 1, a grid-like discharge space 3 is formed, and in FIG. 2, a stripe-like discharge space 4 is formed. The size of the discharge space is determined by the size and resolution of the PDP, and normally, in the case of the grid-like discharge space as shown in FIG. 1, the vertical and horizontal lengths are 50 μm to 1 mm.
If it is a striped discharge space such as
It becomes μm to 1 mm.
【0012】本発明における(A)感光性樹脂組成物層
としては、(d)蛍光体を必須成分とする感光性樹脂組
成物を含む層であれば特に制限はないが、例えば、
(a)フィルム性付与ポリマ、(b)末端にエチレン性
不飽和基を有する光重合性不飽和化合物、(c)活性光
の照射により遊離ラジカルを生成し、かつ生成した遊離
ラジカルが酸素により失活しやすい光開始剤及び(d)
蛍光体を含む層等が好ましいものとして挙げられる。The photosensitive resin composition layer (A) in the present invention is not particularly limited as long as it is a layer containing (d) a photosensitive resin composition containing a phosphor as an essential component.
(A) a film-forming polymer, (b) a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at the end, (c) free radicals generated by irradiation with active light, and the generated free radicals are lost by oxygen. Live photoinitiator and (d)
A layer containing a phosphor and the like are mentioned as preferable ones.
【0013】本発明における(a)フィルム性付与ポリ
マとしては、ビニル共重合体が好ましく、ビニル共重合
体に用いられるビニル単量体としては、例えば、アクリ
ル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン
酸、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル
酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸n−プロピ
ル、メタクリル酸n−プロピル、アクリル酸iso−プロ
ピル、メタクリル酸iso−プロピル、アクリル酸n−ブ
チル、メタクリル酸n−ブチル、アクリル酸iso−ブ
チル、メタアクリル酸iso−ブチル、アクリル酸sec
−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸tert
−ブチル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸ペン
チル、メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシル、メ
タクリル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、メタクリル
酸ヘプチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリ
ル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、メタク
リル酸オクチル、アクリル酸ノニル、メタクリル酸ノニ
ル、アクリル酸デシル、メタクリル酸デシル、アクリル
酸ドデシル、メタクリル酸ドデシル、アクリル酸テトラ
デシル、メタクリル酸テトラデシル、アクリル酸ヘキサ
デシル、メタクリル酸ヘキサデシル、アクリル酸オクタ
デシル、メタクリル酸オクタデシル、アクリル酸エイコ
シル、メタクリル酸エイコシル、アクリル酸ドコシル、
メタクリル酸ドコシル、アクリル酸シクロペンチル、メ
タクリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘキシ
ル、メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸シクロヘ
プチル、メタクリル酸シクロヘプチル、アクリル酸ベン
ジル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニル、メ
タクリル酸フェニル、アクリル酸メトキシエチル、メタ
クリル酸メトキシエチル、アクリル酸メトキシジエチレ
ングリコール、メタクリル酸メトキシジエチレングリコ
ール、アクリル酸メトキシジプロピレングリコール、メ
タクリル酸メトキシジプロピレングリコール、アクリル
酸メトキシトリエチレングリコール、メタクリル酸メト
キシトリエチレングリコール、アクリル酸2−ヒドロキ
シエチル、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリ
ル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジメチルアミ
ノエチル、アクリル酸ジエチルアミノエチル、メタクリ
ル酸ジエチルアミノエチル、アクリル酸ジメチルアミノ
プロピル、メタクリル酸ジメチルアミノプロピル、アク
リル酸2−クロロエチル、メタクリル酸2−クロロエチ
ル、アクリル酸2−フルオロエチル、メタクリル酸2−
フルオロエチル、アクリル酸2−シアノエチル、メタク
リル酸2−シアノエチル、スチレン、α−メチルスチレ
ン、ビニルトルエン、塩化ビニル、酢酸ビニル、N−ビ
ニルピロリドン、ブタジエン、イソプレン、クロロプレ
ン、アクリルアミド、メタクリルアミド、アクリロニト
リル、メタクリロニトリル等が挙げられる。これらは単
独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。The (a) film property imparting polymer in the present invention is preferably a vinyl copolymer, and the vinyl monomer used in the vinyl copolymer is, for example, acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid or fumaric acid. , Itaconic acid, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, iso-propyl acrylate, iso-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, N-Butyl methacrylate, iso-butyl acrylate, iso-butyl methacrylate, sec acrylate
-Butyl, sec-butyl methacrylate, tert-acrylate
-Butyl, tert-butyl methacrylate, pentyl acrylate, pentyl methacrylate, hexyl acrylate, hexyl methacrylate, heptyl acrylate, heptyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, octyl acrylate, methacryl Octyl acrylate, nonyl acrylate, nonyl methacrylate, decyl acrylate, decyl methacrylate, dodecyl acrylate, dodecyl methacrylate, tetradecyl acrylate, tetradecyl methacrylate, hexadecyl acrylate, hexadecyl methacrylate, octadecyl acrylate, octadecyl methacrylate , Eicosyl acrylate, eicosyl methacrylate, docosyl acrylate,
Docosyl methacrylate, cyclopentyl acrylate, cyclopentyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, cycloheptyl acrylate, cycloheptyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, methoxyethyl acrylate , Methoxyethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate , 2-hydroxyethyl methacrylate, dimethylamino acrylate Chill, dimethylaminoethyl methacrylate, diethylaminoethyl acrylate, diethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminopropyl acrylate, dimethylaminopropyl methacrylate, 2-chloroethyl acrylate, 2-chloroethyl methacrylate, 2-fluoroethyl acrylate, methacryl Acid 2-
Fluoroethyl, 2-cyanoethyl acrylate, 2-cyanoethyl methacrylate, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, vinyl chloride, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone, butadiene, isoprene, chloroprene, acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, methacryl Lonitrile and the like. These are used alone or in combination of two or more.
【0014】本発明における(a)フィルム性付与ポリ
マの重量平均分子量は、5,000〜300,000と
することが好ましく、20,000〜150,000と
することがより好ましい。この重量平均分子量が、5,
000未満では、感光性エレメントとした場合にフィル
ム形成性及び可とう性が低下する傾向があり、300,
000を超えると、現像性(不要部が現像により、容易
に除去できる性質)が低下する傾向がある。なお、重量
平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ
ー法により測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて換
算した値である。The weight average molecular weight of the film-forming polymer (a) in the present invention is preferably 5,000 to 300,000, more preferably 20,000 to 150,000. This weight average molecular weight is 5,
When it is less than 000, the film-forming property and flexibility of the photosensitive element tend to decrease,
If it exceeds 000, the developability (the property that the unnecessary portion can be easily removed by the development) tends to be deteriorated. The weight average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve.
【0015】また、(A)感光性樹脂組成物層が、公知
の各種現像液により現像可能となるように、(a)フィ
ルム性付与ポリマのカルボキシル基含有率(酸価(mgKO
H/g)で規定できる)を適宜調整することができる。例
えば、炭酸ナトリウム又は炭酸カリウム等のアルカリ水
溶液を用いて現像する場合には、酸価を、90〜260
とすることが好ましい。この酸価が、90未満では、現
像が困難となる傾向があり、260を超えると、耐現像
液性(現像により除去されずに残りパターンとなる部分
が、現像液によって侵されない性質)が低下する傾向が
ある。また、水又はアルカリ水溶液と一種以上の有機溶
剤とからなる水系現像液を用いて現像する場合には、酸
価を、16〜260とすることが好ましい。この酸価
が、16未満では、現像が困難となる傾向があり、26
0を超えると、耐現像液性が低下する傾向がある。さら
に、1,1,1−トリクロロエタン等の有機溶剤現像液
を用いる場合には、カルボキシル基を含有しなくても良
い。Further, the carboxyl group content (acid value (mgKO
H / g)) can be adjusted appropriately. For example, when developing using an alkaline aqueous solution such as sodium carbonate or potassium carbonate, the acid value is 90 to 260.
It is preferable that If the acid value is less than 90, development tends to be difficult, and if it exceeds 260, the developer resistance (the property that a portion which is not removed by development and remains as a pattern and is not attacked by the developer) decreases. Tend to. In the case of developing using an aqueous developer containing water or an alkaline aqueous solution and one or more organic solvents, the acid value is preferably 16 to 260. If the acid value is less than 16, development tends to be difficult, and
If it exceeds 0, the developer resistance tends to decrease. Further, when an organic solvent developer such as 1,1,1-trichloroethane is used, it does not need to contain a carboxyl group.
【0016】本発明における(b)末端にエチレン性不
飽和基を有する光重合性不飽和化合物としては、従来、
光重合性多官能モノマとして知られているものを全て用
いることができる。例えば、下記一般式(I)The photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at the terminal (b) in the present invention has conventionally been
All those known as photopolymerizable polyfunctional monomers can be used. For example, the following general formula (I)
【化1】 (式中、Rは水素原子又はメチル基を示し、kは1〜1
0の整数であり、Yは置換基を有していてもよい飽和又
は不飽和の炭化水素基又は複素環残基若しくはポリアル
キレングリコール残基、Embedded image (Wherein, R represents a hydrogen atom or a methyl group, and k represents 1 to 1)
Is an integer of 0, Y is a saturated or unsaturated hydrocarbon group or a heterocyclic residue or a polyalkylene glycol residue which may have a substituent,
【化2】 (式中、R1は水素原子、メチル基、エチル基、プロピ
ル基又はトリフルオロメチル基を示し、m及びnは各々
独立に1〜20の整数を示す)を示す)で表される化合
物等が挙げられる。Embedded image (Wherein R 1 represents a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a propyl group or a trifluoromethyl group, and m and n each independently represent an integer of 1 to 20) and the like. Is mentioned.
【0017】一般式(I)中、Yで示される置換基を有
していてもよい飽和又は不飽和の炭化水素残基又は複素
環残基としては、例えば、ハロゲン原子、ヒドロキシル
基、アミノ基、カルボキシル基等の置換基を有していて
もよい炭素数1〜22の直鎖、分岐若しくは脂環状のア
ルカン残基(メタン残基、エタン残基、プロパン残基、
シクロプロパン残基、ブタン残基、イソブタン残基、シ
クロブタン残基、ペンタン残基、イソペンタン残基、ネ
オペンタン残基、シクロペンタン残基、ヘキサン残基、
シクロヘキサン残基、ヘプタン残基、シクロヘプタン残
基、オクタン残基、ノナン残基、デカン残基等)、芳香
族環残基(ベンゼン残基、ナフタレン残基、アントラセ
ン残基、ビフェニル残基、ターフェニル残基等)、複素
環残基(フラン残基、チオフェン残基、ピロール残基、
オキサゾール残基、チアゾール残基、イミダゾール残
基、ピリジン残基、ピリミジン残基、ピラジン残基、ト
リアジン残基、キノリン残基、キノキサリン残基等)な
どが挙げられる。In the general formula (I), examples of the saturated or unsaturated hydrocarbon residue or heterocyclic residue optionally having a substituent represented by Y include a halogen atom, a hydroxyl group and an amino group. A straight-chain, branched or alicyclic alkane residue having 1 to 22 carbon atoms which may have a substituent such as a carboxyl group (methane residue, ethane residue, propane residue,
Cyclopropane residue, butane residue, isobutane residue, cyclobutane residue, pentane residue, isopentane residue, neopentane residue, cyclopentane residue, hexane residue,
Cyclohexane residue, heptane residue, cycloheptane residue, octane residue, nonane residue, decane residue, etc.), aromatic ring residue (benzene residue, naphthalene residue, anthracene residue, biphenyl residue, Phenyl residue), heterocyclic residue (furan residue, thiophene residue, pyrrole residue,
Oxazole residue, thiazole residue, imidazole residue, pyridine residue, pyrimidine residue, pyrazine residue, triazine residue, quinoline residue, quinoxaline residue and the like).
【0018】具体的には、一個の不飽和結合を有する単
量体としては、例えば、アクリル酸又はメタクリル酸の
エステル系モノマ(アクリル酸メチル、メタクリル酸メ
チル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリ
ル酸n−プロピル、メタクリル酸n−プロピル、アクリ
ル酸iso−プロピル、メタクリル酸iso−プロピル、アク
リル酸n−ブチル、メタクリル酸n−ブチル、アクリル
酸iso−ブチル、メタクリル酸iso−ブチル、アクリル酸
sec−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸te
rt−ブチル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸ペ
ンチル、メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシル、
メタクリル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、メタクリ
ル酸ヘプチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メタク
リル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、メタ
クリル酸オクチル、アクリル酸ノニル、メタクリル酸ノ
ニル、アクリル酸デシル、メタクリル酸デシル、アクリ
ル酸ドデシル、メタクリル酸ドデシル、アクリル酸テト
ラデシル、メタクリル酸テトラデシル、アクリル酸ヘキ
サデシル、メタクリル酸ヘキサデシル、アクリル酸オク
タデシル、メタクリル酸オクタデシル、アクリル酸エイ
コシル、メタクリル酸エイコシル、アクリル酸ドコシ
ル、メタクリル酸ドコシル、アクリル酸シクロペンチ
ル、メタクリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘ
キシル、メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸シク
ロヘプチル、メタクリル酸シクロヘプチル、アクリル酸
ベンジル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニ
ル、メタクリル酸フェニル、アクリル酸メトキシエチ
ル、メタクリル酸メトキシエチル、アクリル酸ジメチル
アミノエチル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、ア
クリル酸ジメチルアミノプロピル、メタクリル酸ジメチ
ルアミノプロピル、アクリル酸2−クロロエチル、メタ
クリル酸2−クロロエチル、アクリル酸2−フルオロエ
チル、メタクリル酸2−フルオロエチル、アクリル酸2
−シアノエチル、メタクリル酸2−シアノエチル、アク
リル酸メトキシジエチレングリコール、メタクリル酸メ
トキシジエチレングリコール、アクリル酸メトキシジプ
ロピレングリコール、メタクリル酸メトキシジプロピレ
ングリコール、アクリル酸メトキシトリエチレングリコ
ール、メタクリル酸メトキシトリエチレングリコール
等)、スチレン系モノマ(スチレン、α−メチルスチレ
ン、p−t−ブチルスチレン等)、ポリオレフィン系モ
ノマ(ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等)、ビ
ニル系モノマ(塩化ビニル、酢酸ビニル等)、ニトリル
系モノマ(アクリロニトリル、メタクリロニトリル
等)、1−(メタクリロイロキシエトキシカルボニル)
−2−(3′−クロロ−2′−ヒドロキシプロポキシカ
ルボニル)ベンゼンなどが挙げられる。Specifically, examples of the monomer having one unsaturated bond include ester monomers of acrylic acid or methacrylic acid (methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, acryl). Acid n-propyl, n-propyl methacrylate, iso-propyl acrylate, iso-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, iso-butyl acrylate, iso-butyl methacrylate, acrylic acid
sec-butyl, sec-butyl methacrylate, te acrylate
rt-butyl, tert-butyl methacrylate, pentyl acrylate, pentyl methacrylate, hexyl acrylate,
Hexyl methacrylate, heptyl acrylate, heptyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, octyl acrylate, octyl methacrylate, nonyl acrylate, nonyl methacrylate, decyl acrylate, decyl methacrylate, acrylic acid Dodecyl, dodecyl methacrylate, tetradecyl acrylate, tetradecyl methacrylate, hexadecyl acrylate, hexadecyl methacrylate, octadecyl acrylate, octadecyl methacrylate, eicosyl acrylate, eicosyl methacrylate, docosyl acrylate, docosyl methacrylate, cyclopentyl acrylate, Cyclopentyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, cycloheptyl acrylate, methacryl Cycloheptyl acid, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, methoxyethyl acrylate, methoxyethyl methacrylate, dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminopropyl acrylate, methacrylic acid Dimethylaminopropyl, 2-chloroethyl acrylate, 2-chloroethyl methacrylate, 2-fluoroethyl acrylate, 2-fluoroethyl methacrylate, acrylic acid 2
-Cyanoethyl, 2-cyanoethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate, etc.), styrene Monomer (styrene, α-methylstyrene, pt-butylstyrene, etc.), polyolefin monomer (butadiene, isoprene, chloroprene, etc.), vinyl monomer (vinyl chloride, vinyl acetate, etc.), nitrile monomer (acrylonitrile, methacrylic Lonitrile, etc.), 1- (methacryloyloxyethoxycarbonyl)
-2- (3'-chloro-2'-hydroxypropoxycarbonyl) benzene and the like.
【0019】二個の不飽和結合を有する単量体として
は、例えば、エチレングリコールジアクリレート、エチ
レングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコー
ルジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレ
ート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエ
チレングリコールジメタクリレート、テトラエチレング
リコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジ
メタクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ヘキサ
プロピレングリコールジアクリレート、ヘキサプロピレ
ングリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタ
クリレート、ブチレングリコールジアクリレート、ブチ
レングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコ
ールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタク
リレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、
1,3−ブタンジオールジメタクリレート、1,4−ブ
タンジオールジアクリレート、1,4−ブタンジオール
ジメタクリレート、1,5−ペンタンジオールジアクリ
レート、1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、
1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘ
キサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトー
ルジアクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレ
ート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメ
チロールプロパンジメタクリレート、ビスフェノールA
ジアクリレート、ビスフェノールAジメタクリレート、
2,2−ビス(4−アクリロキシエトキシフェニル)プ
ロパン、2,2−ビス(4−メタクリロキシエトキシフ
ェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アクリロキシジ
エトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−メタ
クリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビ
ス(4−アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン
2,2−ビス(4−メタクリロキシポリエトキシフェニ
ル)プロパン(一般式(I)の式中、YがExamples of the monomer having two unsaturated bonds include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, and tetraethylene glycol dimethacrylate. Ethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, hexapropylene glycol dimethacrylate, hexapropylene glycol dimethacrylate, polypropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol diacrylate, butylene glycol Jime Acrylate, neopentyl glycol diacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol diacrylate,
1,3-butanediol dimethacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,4-butanediol dimethacrylate, 1,5-pentanediol diacrylate, 1,5-pentanediol dimethacrylate,
1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane dimethacrylate, bisphenol A
Diacrylate, bisphenol A dimethacrylate,
2,2-bis (4-acryloxyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-methacryloxyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-acryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2- Bis (4-methacryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-acryloxypolyethoxyphenyl) propane 2,2-bis (4-methacryloxypolyethoxyphenyl) propane (formula of the general formula (I) Medium, Y
【化3】 (m及びnは、各々独立に、1〜20の整数であ
る))、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジアク
リレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジメ
タクリレート、ウレタンジアクリレート化合物等が挙げ
られる。Embedded image (M and n are each independently an integer of 1 to 20)), bisphenol A diglycidyl ether diacrylate, bisphenol A diglycidyl ether dimethacrylate, urethane diacrylate compound and the like.
【0020】三個の不飽和結合を有する単量体として
は、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリメタクリレート、エチレンオキシド変性トリメ
チロールプロパントリアクリレート、エチレンオキシド
変性トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリ
メチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリ
レート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテ
ルトリメタクリレート等が挙げられる。四個の不飽和結
合を有する単量体としては、例えば、テトラメチロール
プロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパ
ンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレ
ート等が挙げられる。Examples of the monomer having three unsaturated bonds include trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, ethylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate, and ethylene oxide. Modified trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether trimethacrylate and the like can be mentioned. Examples of the monomer having four unsaturated bonds include tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, and pentaerythritol tetramethacrylate.
【0021】五個の不飽和結合を有する単量体として
は、例えば、ジペンタエリスリトールペンタアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート等が
挙げられる。六個の不飽和結合を有する単量体として
は、例えば、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート等が
挙げられる。これらの不飽和結合を有する単量体は、い
ずれにしても、光照射によりラジカル重合するものであ
ればよく、また、これらの不飽和結合を有する単量体
は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
また、本発明における(A)感光性樹脂組成物層は、蛍
光体パターンの作製時に、焼成により不要分を除去する
必要があるため、前記した(b)末端にエチレン性不飽
和基を有する光重合性不飽和化合物の中から、熱分解性
が良好な、ポリエチレングリコールジメタクリレートが
より好ましい。Examples of the monomer having five unsaturated bonds include dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate and the like. Examples of the monomer having six unsaturated bonds include dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, and the like. Any of these unsaturated bond-containing monomers may be those capable of radical polymerization by light irradiation, and these unsaturated bond-containing monomers may be used alone or in combination of two or more. Used in combination.
In addition, the (A) photosensitive resin composition layer in the present invention needs to be removed of unnecessary components by baking during the production of the phosphor pattern, and thus the (b) light having an ethylenically unsaturated group at the terminal is used. Among the polymerizable unsaturated compounds, polyethylene glycol dimethacrylate, which has good thermal decomposability, is more preferable.
【0022】本発明における(c)活性光の照射により
遊離ラジカルを生成し、かつ生成した遊離ラジカルが酸
素により失活しやすい光開始剤としては、例えば、芳香
族ケトン(ベンゾフェノン、N,N′−テトラメチル−
4,4′−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケト
ン)、N,N′−テトラエチル−4,4′−ジアミノベ
ンゾフェノン、4−メトキシ−4′−ジメチルアミノベ
ンゾフェノン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェ
ニル−ケトン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−
エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等)、ベ
ンゾインエーテル(ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル
等)、ベンゾイン(メチルベンゾイン、エチルベンゾイ
ン等)、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体
(2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,
5−ジ(m−メトキシフェニル)イミダゾール二量体、
2−(o−フルオロフェニル)−4,5−フェニルイミ
ダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,
5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキ
シフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量
体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−5−フェニ
ルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメトキシフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等)、
アクリジン誘導体(9−フェニルアクリジン、1,7−
ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等)等が挙げ
られる。これらは、後述する蛍光体パターンの製造法に
おいて、凹部内面以外に形成された(A)感光性樹脂組
成物の露光部の光硬化性が不充分となることにより、そ
の部分が現像によって除去できるように、単独又は2種
以上を組み合わせて使用される。なお、図3は本発明に
おける(A)感光性樹脂組成物層を密着させる凹部内面
を示した模式図であり、図3において、前記凹部内面5
は斜線部にして示した。Examples of the photoinitiator (c) in the present invention, which produces free radicals upon irradiation with active light, and in which the produced free radicals are easily deactivated by oxygen, include aromatic ketones (benzophenone, N, N '). -Tetramethyl-
4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2,4 -Diethylthioxanthone, 2-
Ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, etc.), benzoin ether (benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, etc.), benzoin (methylbenzoin, ethylbenzoin, etc.), 2,4,5-triarylimidazole dimer (2- (O-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,
5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer,
2- (o-fluorophenyl) -4,5-phenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,
5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, 2- ( 2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer),
Acridine derivative (9-phenylacridine, 1,7-
Bis (9,9′-acridinyl) heptane, etc.) and the like. These can be removed by development when the photocurability of the exposed portion of the (A) photosensitive resin composition formed on a portion other than the inner surface of the recess is insufficient in the method for producing a phosphor pattern described later. Thus, they are used alone or in combination of two or more. 3 is a schematic view showing the inner surface of the recess to which the (A) photosensitive resin composition layer of the present invention is adhered. In FIG. 3, the inner surface 5 of the recess is shown.
Is shown as a shaded area.
【0023】また、本発明の蛍光体パターンの製造法で
は、凹部内面以外に形成された(A)感光性樹脂組成物
の露光部の光硬化性が不充分となることにより、その部
分が現像によって除去できるようにする点から、例え
ば、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−
(4− (メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ
プロパノン−1、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェ
ニルエタン−1−オン、ベンジルジメチルケタール等
を、本発明における(c)成分として、単独で使用する
ことは好ましくないが、前記の効果を妨げない程度に使
用することはできる。Further, in the method for producing a phosphor pattern of the present invention, the photocurability of the exposed portion of the photosensitive resin composition (A) formed on a portion other than the inner surface of the recess becomes insufficient, so that the portion is developed. For example, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2-methyl-1-
(4- (Methylthio) phenyl) -2-morpholinopropanone-1,2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, benzyldimethylketal and the like are used alone as the component (c) in the present invention. Although it is not preferable to use the above, it can be used to the extent that the above effects are not impaired.
【0024】本発明における(d)蛍光体としては、特
に限定はなく、通常の金属酸化物を主体とするものが使
用できる。赤色発色の蛍光体としては、例えば、Y2O2
S:Eu、Zn3(PO4)2:Mn、Y2O3:Eu、YV
O4:Eu、(Y,Gd)BO3:Eu、γ−Zn3(PO4)
2:Mn、(ZnCd)S:Ag+In2O等が挙げられ
る。緑色発色の蛍光体としては、例えば、ZnS:C
u、Zn2SiO4:Mn、ZnS:Cu+Zn2Si
O4:Mn、Gd2O2S:Tb、Y3Al5O12:Ce、
ZnS:Cu,Al、Y2O2S:Tb、ZnO:Zn、
ZnS:Cu,Al+In2O3、LaPO4:Ce,T
b、BaO・6Al2O3:Mn等が挙げられる。青色発
色の蛍光体としては、例えば、ZnS:Ag、ZnS:
Ag,Al、ZnS:Ag,Ga,Al、ZnS:A
g,Cu,Ga,Cl、ZnS:Ag+In2O3、Ca
2B5O9Cl:Eu2+、(Sr,Ca,Ba,Mg)10(P
O4)6Cl2:Eu2+、Sr10(PO4)6Cl2:Eu2+、
BaMgAl10O17:Eu2+、BaMgAl14O23:E
u2+、BaMgAl16O26:Eu2+等が挙げられる。The phosphor (d) in the present invention is not particularly limited, and a phosphor mainly composed of a normal metal oxide can be used. Examples of the phosphor that emits red light include Y 2 O 2
S: Eu, Zn 3 (PO 4 ) 2 : Mn, Y 2 O 3 : Eu, YV
O 4 : Eu, (Y, Gd) BO 3 : Eu, γ-Zn 3 (PO 4 )
2 : Mn, (ZnCd) S: Ag + In 2 O and the like. Examples of green-colored phosphors include ZnS: C
u, Zn 2 SiO 4 : Mn, ZnS: Cu + Zn 2 Si
O 4 : Mn, Gd 2 O 2 S: Tb, Y 3 Al 5 O 12 : Ce,
ZnS: Cu, Al, Y 2 O 2 S: Tb, ZnO: Zn,
ZnS: Cu, Al + In 2 O 3 , LaPO 4 : Ce, T
b, BaO · 6Al 2 O 3 : Mn , and the like. Examples of the blue-emitting phosphor include ZnS: Ag and ZnS:
Ag, Al, ZnS: Ag, Ga, Al, ZnS: A
g, Cu, Ga, Cl, ZnS: Ag + In 2 O 3 , Ca
2 B 5 O 9 Cl: Eu 2+ , (Sr, Ca, Ba, Mg) 10 (P
O 4 ) 6 Cl 2 : Eu 2+ , Sr 10 (PO 4 ) 6 Cl 2 : Eu 2+ ,
BaMgAl 10 O 17 : Eu 2+ , BaMgAl 14 O 23 : E
u 2+ , BaMgAl 16 O 26 : Eu 2+ and the like.
【0025】本発明における(d)蛍光体の粒径は、
0.1〜20μmであることが好ましく、1〜15μm
であることがより好ましく、2〜8μmであることが特
に好ましい。この粒径が0.1μm未満では、発光効率
が低下する傾向があり、また、20μmを超えると、分
散性が低下する傾向がある。また、本発明における
(d)蛍光体の形状としては、球形であることが好まし
く、その表面積はより小さい方が好ましい。The particle size of the (d) phosphor in the present invention is
0.1 to 20 μm, preferably 1 to 15 μm
Is more preferable, and particularly preferably 2 to 8 μm. When the particle size is less than 0.1 μm, the luminous efficiency tends to decrease, and when it exceeds 20 μm, the dispersibility tends to decrease. Further, the shape of the phosphor (d) in the present invention is preferably spherical, and the surface area thereof is preferably smaller.
【0026】本発明における(a)成分の配合量は、
(a)成分及び(b)成分の総量が100重量部とし
て、10〜90重量部とすることが好ましく、20〜8
0重量部とすることがより好ましい。この配合量が、1
0重量部未満では、感光性エレメントとしてロール状で
供給した場合、蛍光体含有感光性樹脂がロール端部から
しみ出す(以下エッジフュージョンと記す)ことによ
り、感光性エレメントのラミネート時にロールからの繰
り出しが困難となり、またしみ出した部分がPDP用基
板の空間に部分的に過剰に埋め込まれ、製造歩留りが著
しく低下する等の問題が生じたり、フィルム形成性が低
下する傾向があり、90重量部を超えると、感度が不充
分となる傾向がある。The blending amount of the component (a) in the present invention is
The total amount of the component (a) and the component (b) is preferably 10 to 90 parts by weight based on 100 parts by weight, and more preferably 20 to 8 parts by weight.
More preferably, it is 0 parts by weight. If this blending amount is 1
If it is less than 0 part by weight, when it is supplied in a roll form as a photosensitive element, the phosphor-containing photosensitive resin exudes from the end portion of the roll (hereinafter referred to as edge fusion), so that the photosensitive element is fed out from the roll during lamination. 90 parts by weight tend to occur, and the exuded part is partially excessively embedded in the space of the PDP substrate, resulting in problems such as a significant decrease in manufacturing yield and a decrease in film formability. If it exceeds, the sensitivity tends to be insufficient.
【0027】本発明における(b)成分の配合量は、
(a)成分及び(b)成分の総量が100重量部とし
て、10〜90重量部とすることが好ましく、20〜8
0重量部とすることがより好ましい。この配合量が、1
0重量部未満では、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物
の感度が不充分となる傾向があり、90重量部を超える
と、感光性エレメントとした場合に、蛍光体を含有する
感光性樹脂組成物が流動によって端部からしみ出した
り、フィルム形成性が低下する傾向がある。The blending amount of the component (b) in the present invention is
The total amount of the component (a) and the component (b) is preferably 10 to 90 parts by weight based on 100 parts by weight, and more preferably 20 to 8 parts by weight.
More preferably, it is 0 parts by weight. If this blending amount is 1
If it is less than 0 parts by weight, the sensitivity of the photosensitive resin composition containing the phosphor tends to be insufficient, and if it exceeds 90 parts by weight, when it is used as a photosensitive element, the photosensitive resin containing the phosphor is used. The composition tends to exude from the edges due to the flow, and the film-forming property tends to deteriorate.
【0028】本発明における(c)成分の配合量は、
(a)成分及び(b)成分の総量100重量部に対し
て、0.01〜30重量部とすることが好ましく、0.
1〜20重量部とすることがより好ましい。この配合量
が、0.01重量部未満では、蛍光体を含有する感光性
樹脂組成物の感度が不充分となる傾向があり、30重量
部を超えると、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の露
光表面での活性光の吸収が増大して、内部の光硬化が不
充分となる傾向がある。また、凹部内面以外に形成され
た(A)感光性樹脂組成物の露光部の光硬化性が不充分
となることにより、その部分が後述する現像によって除
去できるように、(c)成分の配合量を適宜調節するこ
とができる。The blending amount of the component (c) in the present invention is
The amount is preferably 0.01 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the components (a) and (b).
More preferably, it is 1 to 20 parts by weight. If the content is less than 0.01 parts by weight, the sensitivity of the photosensitive resin composition containing the phosphor tends to be insufficient, and if it exceeds 30 parts by weight, the photosensitive resin composition containing the phosphor is present. The absorption of active light on the exposed surface of the product tends to increase, and internal photocuring tends to be insufficient. Further, the component (c) is blended so that the photocurability of the exposed portion of the (A) photosensitive resin composition formed on a portion other than the inner surface of the recess becomes insufficient, so that the portion can be removed by the development described later. The amount can be adjusted appropriately.
【0029】本発明における(d)成分の配合量は、
(a)成分、(b)成分及び(c)成分の総量100重
量部に対して、10〜300重量部とすることが好まし
く、50〜250重量部とすることがより好ましく、7
0〜200重量部とすることが特に好ましい。この配合
量が、10重量部未満では、PDPとして発光させた場
合に発光効率が低下する傾向があり、300重量部を超
えると、感光性エレメントとした場合に、フィルム形成
性が低下したり、可とう性が低下する傾向がある。The blending amount of the component (d) in the present invention is
The amount is preferably from 10 to 300 parts by weight, more preferably from 50 to 250 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total of the components (a), (b) and (c).
It is particularly preferable that the amount is 0 to 200 parts by weight. If the content is less than 10 parts by weight, the luminous efficiency tends to decrease when light is emitted as a PDP, and if it exceeds 300 parts by weight, the film-forming property decreases when used as a photosensitive element, Flexibility tends to decrease.
【0030】本発明における(A)感光性樹脂組成物層
を構成する感光性樹脂組成物には、長期間増粘を起こさ
ず、貯蔵安定性を良好にするために、カルボキシル基を
有する化合物を含有させることができる。カルボキシル
基を有する化合物としては、例えば、飽和脂肪酸、不飽
和脂肪酸、脂肪族二塩基酸、芳香族二塩基酸、脂肪族三
塩基酸、芳香族三塩基酸等が挙げられる。The photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin composition layer (A) in the present invention contains a compound having a carboxyl group in order to prevent the viscosity from increasing for a long period of time and to improve the storage stability. Can be included. Examples of the compound having a carboxyl group include saturated fatty acids, unsaturated fatty acids, aliphatic dibasic acids, aromatic dibasic acids, aliphatic tribasic acids, and aromatic tribasic acids.
【0031】具体的には、例えば、ぎ酸、酢酸、クロロ
酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、プロピオン酸、
カプリン酸、ウンデカン酸、ラウリン酸、トリデカン
酸、ミリスチン酸、ペンタデカン酸、パルミチン酸、ヘ
プタデカン酸、ステアリン酸、ノナデカン酸、アラキジ
ン酸、パルミトオレイン酸、オレイン酸、エライジン
酸、リノレン酸、リノール酸、しゅう酸、マロン酸、メ
チルマロン酸、エチルマロン酸、マロン酸モノメチル、
マロン酸モノエチル、こはく酸、メチルこはく酸、アジ
ピン酸、メチルアジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、
アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、イタコン酸、
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト
酸、クエン酸、サリチル酸、ピルビン酸、リンゴ酸等が
挙げられる。中でも、増粘を抑制する効果が高い点か
ら、しゅう酸、マロン酸、メチルマロン酸、エチルマロ
ン酸、クエン酸等が好ましく、しゅう酸、マロン酸、ク
エン酸等がより好ましい。これらは単独で又は2種類以
上組み合わせて使用される。Specifically, for example, formic acid, acetic acid, chloroacetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid, propionic acid,
Capric, undecanoic, lauric, tridecanoic, myristic, pentadecanoic, palmitic, heptadecanoic, stearic, nonadecanoic, arachidic, palmitooleic, oleic, elaidic, linolenic, linoleic, Oxalic acid, malonic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, monomethyl malonate,
Monoethyl malonate, succinic acid, methylsuccinic acid, adipic acid, methyladipic acid, pimelic acid, suberic acid,
Azelaic acid, sebacic acid, maleic acid, itaconic acid,
Examples include phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, citric acid, salicylic acid, pyruvic acid, malic acid and the like. Among them, oxalic acid, malonic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, citric acid and the like are preferable, and oxalic acid, malonic acid, citric acid and the like are more preferable in terms of a high effect of suppressing thickening. These are used alone or in combination of two or more.
【0032】カルボキシル基を有する化合物の配合量
は、(a)成分100重量部に対して、0.01〜30
重量部とすることが好ましい。この配合量が、0.01
重量部未満では、保存安定性の効果が低くなる傾向があ
り、30重量部を超えると、感度が不充分となる傾向が
ある。The compounding amount of the compound having a carboxyl group is 0.01 to 30 with respect to 100 parts by weight of the component (a).
It is preferable to use parts by weight. When the blending amount is 0.01
If the amount is less than 30 parts by weight, the effect of storage stability tends to decrease, and if it exceeds 30 parts by weight, sensitivity tends to be insufficient.
【0033】本発明における(A)感光性樹脂組成物層
を構成する感光性樹脂組成物には、蛍光体の分散を良好
とするために、分散剤を添加することが好ましい。分散
剤としては、無機分散剤(シリカゲル系、ベントナイト
系、カオリナイト系、タルク系、ヘクトライト系、モン
モリロナイト系、サポナイト系、バイデライト系等)、
有機分散剤(脂肪族アマイド系、脂肪族エステル系、酸
化ポリエチレン系、硫酸エステル系アニオン活性剤、ポ
リカルボン酸アミン塩系、ポリカルボン酸系、ポリアマ
イド系、高分子ポリエーテル系、アクリル共重合物系、
特殊シリコン系等)等が挙げられる。これらは単独で又
は2種類以上を組み合わせて使用することができる。A dispersant is preferably added to the photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin composition layer (A) in the present invention in order to improve the dispersion of the phosphor. As the dispersant, an inorganic dispersant (silica gel type, bentonite type, kaolinite type, talc type, hectorite type, montmorillonite type, saponite type, beidellite type, etc.),
Organic dispersant (aliphatic amide type, aliphatic ester type, polyethylene oxide type, sulfuric acid ester type anion activator, polycarboxylic acid amine salt type, polycarboxylic acid type, polyamide type, high molecular weight polyether type, acrylic copolymer system,
Special silicon type etc.) and the like. These can be used alone or in combination of two or more.
【0034】分散剤の使用量としては、特に制限はな
く、(a)成分100重量部に対して、0.01〜10
0重量部とすることが好ましい。この使用量が、0.0
1重量部未満では、添加効果が発現しない傾向があり、
100重量部を超えると、パターン形成精度(蛍光体を
含有する感光性樹脂組成物からなるパターンを、現像
後、寸法的に正確に、所望の形状で得られる性質)が低
下する傾向がある。The amount of the dispersant used is not particularly limited, and is 0.01 to 10 relative to 100 parts by weight of the component (a).
It is preferably 0 parts by weight. This usage is 0.0
If it is less than 1 part by weight, the effect of addition tends not to be exhibited,
If the amount exceeds 100 parts by weight, pattern formation accuracy (the property of obtaining a pattern formed of a photosensitive resin composition containing a phosphor, which is dimensionally accurate and desired in a desired shape after development) tends to decrease.
【0035】本発明における(A)感光性樹脂組成物層
を構成する感光性樹脂組成物には、焼成後、PDP用基
板から蛍光体が剥離しないようにするために、結着剤を
使用することが好ましい。結着剤としては、例えば、低
融点ガラス、金属アルコキシド、シランカップリング剤
等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み
合わせて使用される。結着剤の使用量としては、特に制
限はなく、(d)成分100重量部に対して、0.01
〜100重量部とすることが好ましく、0.05〜50
重量部とすることがより好ましく、0.1〜30重量部
とすることが特に好ましい。この使用量が、0.01重
量部未満では、蛍光体の結着効果が発現しない傾向があ
り、100重量部を超えると、発光効率が低下する傾向
がある。A binder is used in the photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin composition layer (A) in the present invention in order to prevent the phosphor from peeling off from the PDP substrate after firing. It is preferable. Examples of the binder include a low-melting glass, a metal alkoxide, and a silane coupling agent. These are used alone or in combination of two or more. The amount of the binder used is not particularly limited, and is 0.01% with respect to 100 parts by weight of the component (d).
To 100 parts by weight, preferably 0.05 to 50
More preferably, the amount is 0.1 to 30 parts by weight. If the amount is less than 0.01 part by weight, the binding effect of the phosphor tends not to be exhibited, and if it exceeds 100 parts by weight, the luminous efficiency tends to decrease.
【0036】また、本発明における(A)感光性樹脂組
成物層を構成する感光性樹脂組成物には、染料、発色
剤、可塑剤、顔料、重合禁止剤、表面改質剤、安定剤、
密着性付与剤、熱硬化剤等を必要に応じて添加すること
ができる。The photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin composition layer (A) in the present invention includes a dye, a color former, a plasticizer, a pigment, a polymerization inhibitor, a surface modifier, a stabilizer,
An adhesion promoter, a thermosetting agent, etc. can be added as needed.
【0037】本発明における(A)感光性樹脂組成物層
は、100℃での粘度が1〜1×107Pa・secであるこ
とが好ましく、2〜1×106Pa・secであることがより
好ましく、5〜1×105Pa・secであることが特に好ま
しく、10〜1×104Pa・secであることが極めて好ま
しい。この100℃での粘度が、1Pa・sec未満では、室
温での粘度が低くなりすぎて感光性エレメントとした場
合に、(A)感光性樹脂組成物層が流動により端部から
滲み出す傾向があり、フィルム形成性が低下する傾向が
ある。また、1×107Pa・secを超えると、後述する凹
凸を有する基板の凹部内面への(A)感光性樹脂組成物
層の形成性が低下する傾向がある。The viscosity of the photosensitive resin composition layer (A) in the present invention at 100 ° C. is preferably 1 to 1 × 10 7 Pa · sec, and more preferably 2 to 1 × 10 6 Pa · sec. Is more preferable, 5 to 1 × 10 5 Pa · sec is particularly preferable, and 10 to 1 × 10 4 Pa · sec is extremely preferable. If the viscosity at 100 ° C. is less than 1 Pa · sec, the viscosity at room temperature becomes too low and the photosensitive resin composition layer (A) tends to exude from the end due to flow when used as a photosensitive element. Yes, the film-forming property tends to decrease. On the other hand, when it exceeds 1 × 10 7 Pa · sec, the formability of the (A) photosensitive resin composition layer on the inner surface of the concave portion of the substrate having irregularities to be described later tends to decrease.
【0038】本発明における(A)感光性樹脂組成物層
は、これを構成する前記各成分を溶解又は分散可能な溶
剤に、溶解又は混合させることにより、均一に分散した
溶液とし、支持体フィルム上に、塗布、乾燥することに
より感光性エレメントとして得ることができる。The (A) photosensitive resin composition layer in the present invention is made into a uniformly dispersed solution by dissolving or mixing each of the components constituting the photosensitive resin composition layer in a solvent capable of dissolving or dispersing the support film. It can be obtained as a photosensitive element by applying and drying it.
【0039】前記各成分を溶解又は分散可能な溶剤とし
ては、例えば、トルエン、アセトン、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチ
ルセロソルブ、γ-ブチロラクトン、N-メチルピロリド
ン、ジメチルホルムアミド、テトラメチルスルホン、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノブチルエーテル、クロロホルム、塩化メチレ
ン、メチルアルコール、エチルアルコール等があげられ
る。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用
される。Examples of the solvent capable of dissolving or dispersing the above components include toluene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, γ-butyrolactone, N-methylpyrrolidone, dimethylformamide, tetramethylsulfone, Examples include diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, chloroform, methylene chloride, methyl alcohol, ethyl alcohol and the like. These are used alone or in combination of two or more.
【0040】支持体フィルムとしては、化学的及び熱的
に安定であり、また、可とう性の物質で構成された、例
えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネー
ト、ポリエチレン、ポリプロピレン等が挙げられ、その
中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンが
好ましく、ポリエチレンテレフタレートがより好まし
い。支持体フィルムは、後に(A)感光性樹脂組成物層
から除去可能でなくてはならないため、除去が不可能と
なるような表面処理が施されたものであったり、材質で
あったりしてはならない。支持体フィルムの厚さは、5
〜100μmとすることが好ましく、10〜30μmと
することががより好ましい。The support film includes, for example, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene which are chemically and thermally stable and are made of a flexible material, and among them, polyethylene is preferable. Terephthalate and polyethylene are preferable, and polyethylene terephthalate is more preferable. Since the support film must be removable from the photosensitive resin composition layer (A) later, it may be surface-treated or made of a material that makes the removal impossible. Don't The thickness of the support film is 5
The thickness is preferably -100 μm, more preferably 10-30 μm.
【0041】塗布方法としては、公知の方法を用いるこ
とができ、例えば、ナイフコート法、ロールコート法、
スプレーコート法、グラビアコート法、バーコート法、
カーテンコート法等が挙げられる。乾燥温度は、60〜
130℃とすることが好ましく、乾燥時間は、3分〜1
時間とすることが好ましい。As a coating method, a known method can be used. For example, a knife coating method, a roll coating method,
Spray coating, gravure coating, bar coating,
Curtain coat method and the like can be mentioned. The drying temperature is 60-
The temperature is preferably 130 ° C., and the drying time is 3 minutes to 1
It is preferable to set the time.
【0042】本発明における(A)感光性樹脂組成物層
の厚さは、特に制限はないが、10〜200μmとする
ことが好ましく、20〜120μmとすることがより好
ましく、30〜80μmとすることが特に好ましい。こ
の厚さが、10μm未満では、焼成後の蛍光体パターン
が薄くなり、発光効率が低下する傾向があり、200μ
mを超えると、焼成後の蛍光体パターンが厚くなり、蛍
光面の発光面積が縮小して発光効率が低下する傾向があ
る。The thickness of the photosensitive resin composition layer (A) in the present invention is not particularly limited, but is preferably 10 to 200 μm, more preferably 20 to 120 μm, and 30 to 80 μm. Is particularly preferred. If this thickness is less than 10 μm, the phosphor pattern after firing tends to be thin, and the luminous efficiency tends to decrease.
If it exceeds m, the phosphor pattern after firing becomes thick, and the light emitting area of the phosphor screen tends to be reduced, so that the light emitting efficiency tends to decrease.
【0043】本発明における(A)感光性樹脂組成物層
の上には、さらに剥離可能なカバーフィルムを積層する
ことができる。カバーフィルムとしては、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リカーボネート等が挙げられ、支持体フィルムと(A)
感光性樹脂組成物層との接着力よりも、カバーフィルム
と(A)感光性樹脂組成物層との接着力の方が小さいも
のであることが好ましい。このようにして得られる感光
性エレメントは、ロール状に巻いて保管可能とすること
ができる。A peelable cover film can be further laminated on the (A) photosensitive resin composition layer in the present invention. Examples of the cover film include polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, and polycarbonate. The support film and (A)
The adhesive force between the cover film and the (A) photosensitive resin composition layer is preferably smaller than the adhesive force with the photosensitive resin composition layer. The photosensitive element thus obtained can be stored in a roll.
【0044】本発明における(B)感光性の熱可塑性樹
脂層としては、感光性であり、加熱圧着時の温度で軟化
するものであれば特に制限はなく、例えば、(e)熱可
塑性樹脂、(f)末端にエチレン性不飽和基を有する光
重合性不飽和化合物及び(g)活性光の照射により遊離
ラジカルを生成し、かつ生成した遊離ラジカルが酸素に
より失活しやすい光開始剤を含む感光性樹脂組成物等
が、混色防止、作業性の向上等の点から、好ましいもの
として挙げられる。The (B) photosensitive thermoplastic resin layer in the present invention is not particularly limited as long as it is photosensitive and softens at the temperature during thermocompression bonding. For example, (e) thermoplastic resin, (F) a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group, and (g) a photoinitiator that produces free radicals upon irradiation with active light, and the produced free radicals are easily deactivated by oxygen. Photosensitive resin compositions and the like are preferable as those from the viewpoint of preventing color mixture and improving workability.
【0045】本発明における(e)熱可塑性樹脂として
は、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化
ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリス
チレン、ポリビニルトルエン、ポリアクリル酸エステ
ル、ポリメタクリル酸エステル、エチレンと酢酸ビニル
の共重合体、エチレンとアクリル酸エステルの共重合
体、塩化ビニルと酢酸ビニルの共重合体、スチレンとア
クリル酸エステル又はメタクリル酸エステルとの共重合
体、ビニルトルエンとアクリル酸エステル又はメタクリ
ル酸エステルとの共重合体、ポリビニルアルコール系樹
脂(ポリアクリル酸エステル又はポリメタクリル酸エス
テルの加水分解物、ポリ酢酸ビニルの加水分解物、エチ
レンと酢酸ビニルとの共重合体の加水分解物、エチレン
とアクリル酸エステルとの共重合体の加水分解物、塩化
ビニルと酢酸ビニルとの共重合体の加水分解物、スチレ
ンとアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルとの
共重合体の加水分解物、ビニルトルエンとアクリル酸エ
ステル又はメタクリル酸エステルとの共重合体の加水分
解物等)、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、
水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキルでん
粉の水溶性塩、ポリビニルピロリドン、不飽和カルボン
酸とこれらと共重合可能な不飽和単量体を共重合するこ
とにより得られるカルボキシル基を有する樹脂などが挙
げられる。また、前記した(A)感光性樹脂組成物層を
構成する感光性樹脂組成物に使用可能な(a)フィルム
性付与ポリマを使用することができる。これらは、単独
で又は2種類以上を組み合わせて使用される。Examples of the thermoplastic resin (e) in the present invention include polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, polyvinylidene chloride, polystyrene, polyvinyltoluene, polyacrylic acid ester, polymethacrylic acid ester and ethylene. Copolymer of vinyl acetate, copolymer of ethylene and acrylic acid ester, copolymer of vinyl chloride and vinyl acetate, copolymer of styrene and acrylic acid ester or methacrylic acid ester, vinyl toluene and acrylic acid ester or methacrylic acid Copolymer with acid ester, polyvinyl alcohol resin (hydrolyzate of polyacrylic acid ester or polymethacrylic acid ester, hydrolyzate of polyvinyl acetate, hydrolyzate of copolymer of ethylene and vinyl acetate, ethylene And acrylic ester Hydrolyzate of copolymer, hydrolyzate of copolymer of vinyl chloride and vinyl acetate, hydrolyzate of copolymer of styrene and acrylic acid ester or methacrylic acid ester, vinyltoluene and acrylic acid ester or Hydrolyzate of copolymer with methacrylic acid ester), water-soluble salt of carboxyalkyl cellulose,
Water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinylpyrrolidone, resins having a carboxyl group obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated monomer copolymerizable therewith, and the like. . Further, the (a) film property imparting polymer which can be used in the photosensitive resin composition constituting the above-mentioned (A) photosensitive resin composition layer can be used. These are used alone or in combination of two or more.
【0046】(f)末端にエチレン性不飽和基を有する
光重合性不飽和化合物としては、前記した(A)感光性
樹脂組成物層を構成する感光性樹脂組成物に使用可能な
(b)末端にエチレン性不飽和基を有する光重合性不飽
和化合物を使用することができる。The photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at the terminal (f) can be used in the photosensitive resin composition constituting the above-mentioned photosensitive resin composition layer (A) (b). A photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at the terminal can be used.
【0047】(g)活性光の照射により遊離ラジカルを
生成し、かつ生成した遊離ラジカルが酸素により失活し
やすい光開始剤としては、前記した(A)感光性樹脂組
成物層を構成する感光性樹脂組成物に使用可能な(c)
活性光の照射により遊離ラジカルを生成し、かつ生成し
た遊離ラジカルが酸素により失活しやすい光開始剤が挙
げられ、これらは、凹部内面以外に形成された(B)感
光性の熱可塑性樹脂層の露光部の光硬化性が不充分とな
ることにより、その部分が現像によって除去できるよう
に使用することができる。(G) As the photoinitiator which produces free radicals upon irradiation with actinic light, and the produced free radicals are easily deactivated by oxygen, the photosensitizer constituting the above-mentioned (A) photosensitive resin composition layer is used. (C) that can be used in a resin composition
Examples include photoinitiators that generate free radicals upon irradiation with active light, and the generated free radicals are easily deactivated by oxygen. These are (B) a photosensitive thermoplastic resin layer formed on a portion other than the inner surface of the recess. Since the photocurability of the exposed part becomes insufficient, it can be used so that the part can be removed by development.
【0048】(e)成分の配合量は、(e)成分及び
(f)成分の総量が100重量部として、10〜90重
量部とすることが好ましく、20〜80重量部とするこ
とがより好ましい。この配合量が、10重量部未満で
は、感光性エレメントとした場合に、感光性樹脂組成物
が流動によって端部からしみ出したり、フィルム形成性
が低下する等の傾向があり、90重量部を超えると、感
度が不充分となる傾向がある。The amount of component (e) to be added is preferably 10 to 90 parts by weight, more preferably 20 to 80 parts by weight, with the total amount of components (e) and (f) being 100 parts by weight. preferable. If the blending amount is less than 10 parts by weight, when it is used as a photosensitive element, the photosensitive resin composition tends to exude from the end portion due to flow, the film formability may be deteriorated, and 90 parts by weight may be used. If it exceeds, the sensitivity tends to be insufficient.
【0049】(f)成分の配合量は、(e)成分及び
(f)成分の総量が100重量部として、10〜90重
量部とすることが好ましく、20〜80重量部とするこ
とがより好ましい。この配合量が、10重量部未満で
は、感度が不充分となる傾向があり、90重量部を超え
ると、感光性エレメントとした場合に、流動によって端
部からしみ出したり、フィルム形成性が低下する等の傾
向がある。The compounding amount of the component (f) is preferably 10 to 90 parts by weight, more preferably 20 to 80 parts by weight, when the total amount of the components (e) and (f) is 100 parts by weight. preferable. If the amount is less than 10 parts by weight, the sensitivity tends to be insufficient. If the amount is more than 90 parts by weight, when the photosensitive element is used, it exudes from the edge due to the flow and the film-forming property is deteriorated. Tend to do so.
【0050】(g)成分の配合量は、(e)成分及び
(f)成分の総量100重量部に対して、0.01〜3
0重量部とすることが好ましく、0.1〜20重量部と
することがより好ましい。この配合量が、0.01重量
部未満では、感度が不充分となる傾向があり、30重量
部を超えると、露光表面での活性光の吸収が増大して、
内部の光硬化が不充分となる傾向がある。また、凹部内
面以外に形成された(B)感光性の熱可塑性樹脂層の露
光部の光硬化性が不充分となることにより、その部分が
後述する現像によって除去できるように、(c)成分の
配合量を適宜調節することができる。The blending amount of the component (g) is 0.01 to 3 relative to 100 parts by weight of the total amount of the components (e) and (f).
The amount is preferably 0 part by weight, more preferably 0.1 to 20 parts by weight. If the amount is less than 0.01 parts by weight, the sensitivity tends to be insufficient, and if it exceeds 30 parts by weight, absorption of active light on the exposed surface increases,
Internal photocuring tends to be inadequate. Further, since the photocurability of the exposed portion of the photosensitive thermoplastic resin layer (B) formed on the portion other than the inner surface of the recess becomes insufficient, the portion can be removed by the development described later, so that the component (c) The compounding amount of can be adjusted appropriately.
【0051】また、本発明における(B)感光性の熱可
塑性樹脂層は、後述する現像工程において、(A)感光
性樹脂組成物層及び(B)感光性の熱可塑性樹脂層が、
同一の現像液を使用して現像できるものであることが、
工程を少なくできる点から好ましい。同一の現像液で現
像できるものとしては、水又はアルカリ水溶液に可溶な
ものが挙げられる。In addition, the (B) photosensitive thermoplastic resin layer in the present invention is a photosensitive resin composition layer (A) and a photosensitive thermoplastic resin layer (B) are
Being able to develop using the same developer,
It is preferable because the number of steps can be reduced. Those which can be developed with the same developer include those which are soluble in water or an aqueous alkaline solution.
【0052】水又はアルカリ水溶液に可溶な(B)感光
性の熱可塑性樹脂層を構成する樹脂としては、例えば、
ポリビニルアルコール系樹脂(ポリアクリル酸エステル
又はポリメタクリル酸エステルの加水分解物、ポリ酢酸
ビニルの加水分解物、エチレンと酢酸ビニルとの共重合
体の加水分解物、エチレンとアクリル酸エステルとの共
重合体の加水分解物、塩化ビニルと酢酸ビニルとの共重
合体の加水分解物、スチレンとアクリル酸エステル又は
メタクリル酸エステルとの共重合体の加水分解物、ビニ
ルトルエンとアクリル酸エステル又はメタクリル酸エス
テルとの共重合体の加水分解物等)、カルボキシアルキ
ルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル
類、カルボキシアルキルでん粉の水溶性塩、ポリビニル
ピロリドン、不飽和カルボン酸とこれらと共重合可能な
不飽和単量体を共重合することにより得られるカルボキ
シル基を有する樹脂などが挙げられる。Examples of the resin which constitutes the photosensitive thermoplastic resin layer (B) soluble in water or an aqueous alkaline solution include:
Polyvinyl alcohol resin (hydrolyzate of polyacrylic acid ester or polymethacrylic acid ester, hydrolyzate of polyvinyl acetate, hydrolyzate of copolymer of ethylene and vinyl acetate, copolymerization of ethylene and acrylic acid ester) Hydrolyzate of polymer, Hydrolyzate of copolymer of vinyl chloride and vinyl acetate, Hydrolyzate of copolymer of styrene and acrylic acid ester or methacrylic acid ester, vinyl toluene and acrylic acid ester or methacrylic acid ester Hydrolysates of copolymers with), water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinylpyrrolidone, unsaturated carboxylic acids and unsaturated copolymerizable with them Resin having a carboxyl group obtained by copolymerizing monomers Etc., and the like.
【0053】不飽和カルボン酸とこれらと共重合可能な
不飽和単量体を共重合することにより得られるカルボキ
シル基を有する樹脂としては、例えば、不飽和カルボン
酸(アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル
酸、イタコン酸等)と、前記(A)感光性樹脂組成物層
を構成する(a)フィルム性付与ポリマに使用可能なビ
ニル単量体とを共重合して得られるビニル共重合体など
を使用することが好ましい。不飽和カルボン酸とこれら
と共重合可能な不飽和単量体を共重合することにより得
られるカルボキシル基を有する樹脂は、重量平均分子量
が、5,000〜300,000とすることが好まし
く、20,000〜150,000とすることがより好
ましい。この重量平均分子量が、5,000未満では、
感光性エレメントとした場合にフィルム形成性及び可と
う性が低下する傾向があり、300,000を超える
と、現像性が低下する傾向がある。Examples of the resin having a carboxyl group obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated monomer copolymerizable therewith include, for example, unsaturated carboxylic acids (acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid). , Fumaric acid, itaconic acid, etc.), and a vinyl copolymer obtained by copolymerizing (A) a vinyl monomer which can be used in the film-forming polymer (A) constituting the photosensitive resin composition layer. And the like are preferably used. The weight average molecular weight of the resin having a carboxyl group obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated monomer copolymerizable therewith is preferably 5,000 to 300,000, 20 It is more preferable to set it as 1,000 to 150,000. When the weight average molecular weight is less than 5,000,
When it is used as a photosensitive element, the film formability and flexibility tend to decrease, and when it exceeds 300,000, the developability tends to decrease.
【0054】また、アルカリ水溶液に可溶な(B)感光
性の熱可塑性樹脂層として、公知の各種現像液により現
像可能となるように、不飽和カルボン酸とこれらと共重
合可能な不飽和単量体を共重合することにより得られる
カルボキシル基を有する樹脂のカルボキシル基含有率
(酸価(mgKOH/g)で規定できる)を適宜調整すること
ができる。例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の
アルカリ水溶液を用いて現像する場合には、酸価が、9
0〜260とすることが好ましい。この酸価が、90未
満では、現像が困難となる傾向があり、260を超える
と、耐現像液性が低下する傾向がある。また、水又はア
ルカリ水溶液と一種以上の有機溶剤とからなる水系現像
液を用いて現像する場合には、酸価が、16〜260と
することが好ましい。この酸価が、16未満では、現像
が困難となる傾向があり、260を超えると、耐現像液
性が低下する傾向がある。The (B) photosensitive thermoplastic resin layer soluble in an alkaline aqueous solution is used as an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated monomer copolymerizable therewith so that it can be developed by various known developing solutions. The carboxyl group content (which can be defined by the acid value (mgKOH / g)) of the resin having a carboxyl group obtained by copolymerizing the monomer can be appropriately adjusted. For example, when developing with an alkaline aqueous solution such as sodium carbonate or potassium carbonate, the acid value is 9
It is preferably set to 0 to 260. If the acid value is less than 90, development tends to be difficult, and if it exceeds 260, developer resistance tends to decrease. In the case of developing using an aqueous developer comprising water or an aqueous alkali solution and one or more organic solvents, the acid value is preferably from 16 to 260. When the acid value is less than 16, development tends to be difficult, and when it exceeds 260, developer resistance tends to decrease.
【0055】また、(B)感光性の熱可塑性樹脂層のフ
ィルム性を良好なものとするために、上記した(B)感
光性の熱可塑性樹脂層を構成する樹脂中に、可塑剤を添
加することができる。可塑剤としては、ポリプロピレン
グリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタ
レート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、
トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォ
スフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート等が
挙げられる。In order to improve the film property of the (B) photosensitive thermoplastic resin layer, a plasticizer is added to the resin constituting the (B) photosensitive thermoplastic resin layer. can do. As the plasticizer, polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate,
Tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, biphenyl diphenyl phosphate, and the like.
【0056】本発明における(B)感光性の熱可塑性樹
脂層は、100℃での粘度が1〜1×107Pa・secであ
ることが好ましく、2〜1×106Pa・secであることが
より好ましく、5〜1×105Pa・secであることが特に
好ましく、10〜1×104Pa・secであることが極めて
好ましい。この100℃での粘度が、1Pa・sec未満で
は、室温での粘度が低くなりすぎて感光性エレメントと
した場合に、(B)感光性の熱可塑性樹脂層が流動によ
り端部から滲み出す傾向があり、フィルム形成性が低下
する傾向がある。また、1×107Pa・secを超えると、
後述する凹凸を有する基板の凹部内面への(A)感光性
樹脂組成物層の形成性が低下する傾向がある。The photosensitive thermoplastic resin layer (B) in the present invention preferably has a viscosity at 100 ° C. of 1 to 1 × 10 7 Pa · sec, and 2 to 1 × 10 6 Pa · sec. More preferably, it is particularly preferably 5 to 1 × 10 5 Pa · sec, and most preferably 10 to 1 × 10 4 Pa · sec. If the viscosity at 100 ° C. is less than 1 Pa · sec, the viscosity at room temperature becomes too low to form a photosensitive element, so that (B) the photosensitive thermoplastic resin layer tends to exude from the edges due to flow. Therefore, the film formability tends to decrease. Moreover, when it exceeds 1 × 10 7 Pa · sec,
Formability of the (A) photosensitive resin composition layer on the inner surface of the concave portion of the substrate having the irregularities described below tends to decrease.
【0057】本発明における(B)感光性の熱可塑性樹
脂層は、これを構成する樹脂を溶解する溶剤に、溶解又
は混合させることにより、均一な溶液とし、前記した支
持体フィルム上に、ナイフコート法、ロールコート法、
スプレーコート法、グラビアコート法、バーコート法、
カーテンコート法等の公知の塗布方法を用いて、塗布、
乾燥することによりフィルム状に形成することができ
る。(B)感光性の熱可塑性樹脂層を構成する樹脂を溶
解する溶剤としては、例えば、水、トルエン、アセト
ン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メ
チルセロソルブ、エチルセロソルブ、γ−ブチルラクト
ン、N−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、テ
トラメチルスルホン、ジエチレングリコールジメチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ク
ロロホルム、塩化メチレン、メチルアルコール、エチル
アルコール等が挙げられる。これらは単独で又は2種類
以上を組み合わせて使用される。The (B) photosensitive thermoplastic resin layer in the present invention is made into a uniform solution by dissolving or mixing it in a solvent that dissolves the resin constituting the resin, and a knife is formed on the support film described above. Coating method, roll coating method,
Spray coating, gravure coating, bar coating,
Coating using a known coating method such as a curtain coating method,
A film can be formed by drying. Examples of the solvent (B) for dissolving the resin forming the photosensitive thermoplastic resin layer include water, toluene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, γ-butyl lactone, N-methylpyrrolidone. , Dimethylformamide, tetramethyl sulfone, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, chloroform, methylene chloride, methyl alcohol, ethyl alcohol and the like. These are used alone or in combination of two or more.
【0058】本発明における(B)感光性の熱可塑性樹
脂層の厚さは、特に制限はないが、PDP用基板の空間
への埋め込み性等の点から、10〜200μmとするこ
とが好ましく、20〜100μmとすることがより好ま
しい。また、本発明における(B)感光性の熱可塑性樹
脂層の上には、さらに剥離可能なカバーフィルムを積層
することができる。カバーフィルムとしては、ポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、
ポリカーボネート等が挙げられ、支持体フィルムと
(B)感光性の熱可塑性樹脂層との接着力よりも、カバ
ーフィルムと(B)感光性の熱可塑性樹脂層との接着力
の方が小さいものが好ましい。このようにしてフィルム
状に形成された(B)感光性の熱可塑性樹脂層は、ロー
ル状に巻いて保管可能とすることができる。The thickness of the (B) photosensitive thermoplastic resin layer in the present invention is not particularly limited, but is preferably 10 to 200 μm from the viewpoint of embedding in the space of the PDP substrate, and the like. It is more preferable that the thickness is 20 to 100 μm. Further, a peelable cover film can be further laminated on the (B) photosensitive thermoplastic resin layer in the present invention. As the cover film, polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate,
Examples thereof include polycarbonate and the like, in which the adhesive force between the cover film and the (B) photosensitive thermoplastic resin layer is smaller than the adhesive force between the support film and the (B) photosensitive thermoplastic resin layer. preferable. The (B) photosensitive thermoplastic resin layer thus formed into a film can be wound in a roll and can be stored.
【0059】以下、本発明の蛍光体パターンの製造法の
各工程について、図4及び図5を用いて詳述する。な
お、図4及び図5は、本発明の蛍光体パターンの製造法
の各工程を示した模式図である。Hereinafter, each step of the method for manufacturing a phosphor pattern of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4 and 5. 4 and 5 are schematic diagrams showing each step of the method for manufacturing a phosphor pattern of the present invention.
【0060】〔(I)凹凸を有する基板上に、(A)
(d)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層の上に
(B)感光性の熱可塑性樹脂層が配置された状態で、
(B)層を加熱圧着する工程〕バリアリブ2が形成され
たPDP用基板1(凹凸を有する基板)上に、前記本発
明における(A)感光性樹脂組成物層6を積層させた状
態を図4(I)に示した。図4(I)において、バリア
リブ2が形成されたPDP用基板1上に、(A)感光性
樹脂組成物層6を積層させる方法としては、例えば、前
記した感光性エレメントを用いて積層させる方法等が挙
げられる。[(I) On a substrate having irregularities, (A)
(D) In a state where the photosensitive thermoplastic resin layer (B) is disposed on the photosensitive resin composition layer containing the phosphor,
(B) Step of Thermocompression Bonding Layer] A state in which the (A) photosensitive resin composition layer 6 of the present invention is laminated on the PDP substrate 1 (substrate having irregularities) on which the barrier ribs 2 are formed is illustrated. 4 (I). In FIG. 4 (I), as a method for laminating the (A) photosensitive resin composition layer 6 on the PDP substrate 1 on which the barrier ribs 2 are formed, for example, the above-mentioned photosensitive element is used for laminating. Etc.
【0061】感光性エレメントを用いる場合は、感光性
エレメントにカバーフィルムが存在しているときは、そ
のカバーフィルムを除去後、PDP用基板1のバリアリ
ブ2を形成した面に、(A)感光性樹脂組成物層6が接
するように、圧着ロール等で圧着させることにより積層
することができる。この時の圧着圧力は、ゲージ圧(常
圧1atmが0である)で、1×102〜1×107Paとす
ることが好ましく、5×102〜5×106Paとすること
がより好ましく、1×104〜1×106Paとすることが
特に好ましい。この圧着圧力が、1×102Pa未満で
は、(A)感光性樹脂組成物層6が、PDP基板上に充
分に密着できない傾向があり、1×107Paを超える
と、PDP用基板のバリアリブが破壊される傾向があ
る。When a photosensitive element is used, if a cover film is present on the photosensitive element, after removing the cover film, the surface of the PDP substrate 1 on which the barrier ribs 2 are formed is (A) photosensitive. The resin composition layer 6 can be laminated by pressure bonding with a pressure bonding roll or the like so that the resin composition layer 6 contacts. The crimping pressure at this time is a gauge pressure (atmospheric pressure 1 atm is 0), preferably 1 × 10 2 to 1 × 10 7 Pa, and preferably 5 × 10 2 to 5 × 10 6 Pa. It is more preferable that the pressure is 1 × 10 4 to 1 × 10 6 Pa. If the pressure bonding pressure is less than 1 × 10 2 Pa, the (A) photosensitive resin composition layer 6 tends not to adhere sufficiently to the PDP substrate, and if it exceeds 1 × 10 7 Pa, the PDP substrate Barrier ribs tend to be destroyed.
【0062】また、(A)感光性樹脂組成物層6の空間
への埋め込み性をさらに向上させる点から、上記圧着ロ
ールの表面が、ゴム、プラスチック等の柔軟性に富んだ
材質のものを使用することもできる。なお、柔軟性に富
んだ材質の層の厚さは、200〜400μmとすること
が好ましい。Further, in order to further improve (A) the embedding ability of the photosensitive resin composition layer 6 into the space, the surface of the pressure-bonding roll is made of a flexible material such as rubber or plastic. You can also do it. Note that the thickness of the layer made of a material having high flexibility is preferably 200 to 400 μm.
【0063】また、(A)感光性樹脂組成物層6の空間
への埋め込み性をさらに向上させる点から、加熱ロール
等により感光性エレメントを加熱しながら、PDP用基
板1のバリアリブ2を形成した面に圧着して積層するこ
ともできる。加熱圧着時の加熱温度は、10〜130℃
とすることが好ましく、20〜120℃とすることがよ
り好ましく、30〜110℃とすることが特に好まし
い。この加熱温度が、10℃未満では、(A)感光性樹
脂組成物層6が、PDP基板上に充分に密着できない傾
向があり、130℃を超えると、(A)感光性樹脂組成
物層6が熱硬化する傾向がある。また、加熱圧着時の圧
着圧力は、ゲージ圧(常圧1atmが0である)で、1×
102〜1×107Paとすることが好ましく、5×102
〜5×106Paとすることがより好ましく、1×104〜
1×106Paとすることが特に好ましい。この圧着圧力
が、1×102Pa未満では、(A)感光性樹脂組成物層
6が、PDP基板上に充分に密着できない傾向があり、
1×107Paを超えると、PDP用基板のバリアリブが
破壊される傾向がある。Further, in order to further improve (A) the embeddability of the photosensitive resin composition layer 6 into the space, the barrier rib 2 of the PDP substrate 1 is formed while heating the photosensitive element with a heating roll or the like. It is also possible to press-bond to the surface and laminate. The heating temperature during thermocompression bonding is 10 to 130 ° C.
The temperature is preferably set to 20 to 120 ° C, more preferably 30 to 110 ° C. If this heating temperature is lower than 10 ° C, the (A) photosensitive resin composition layer 6 tends to be unable to sufficiently adhere to the PDP substrate, and if it exceeds 130 ° C, the (A) photosensitive resin composition layer 6 Have a tendency to heat cure. In addition, the crimping pressure at the time of thermocompression bonding is 1 × in gauge pressure (normal pressure 1 atm is 0).
It is preferably 10 2 to 1 × 10 7 Pa, and 5 × 10 2
˜5 × 10 6 Pa, more preferably 1 × 10 4 ˜
It is particularly preferable that the pressure is 1 × 10 6 Pa. If the pressure bonding pressure is less than 1 × 10 2 Pa, the (A) photosensitive resin composition layer 6 tends to be unable to sufficiently adhere to the PDP substrate,
If it exceeds 1 × 10 7 Pa, the barrier ribs of the PDP substrate tend to be destroyed.
【0064】感光性エレメントを前記のように加熱すれ
ば、バリアリブを形成したPDP用基板を予熱処理する
ことは必要ではないが、(A)感光性樹脂組成物層6の
空間への埋め込み性をさらに向上させる点から、前記P
DP用基板の予熱処理を行うことが好ましい。さらに、
同様の目的で、5×104Pa以下の減圧下で、上記した
圧着及び加熱圧着の操作を行うこともできる。また、こ
のように積層が完了した後、30〜150℃の範囲で、
1〜120分間、加熱することもできる。この際、支持
体フィルムを必要に応じて除去することもできる。If the photosensitive element is heated as described above, it is not necessary to preheat the substrate for PDP having the barrier rib formed thereon, but (A) the filling property of the photosensitive resin composition layer 6 into the space is improved. From the point of further improvement, P
It is preferable to perform a pre-heat treatment on the DP substrate. further,
For the same purpose, the above-mentioned operations of the pressure bonding and the heat pressure bonding can be performed under a reduced pressure of 5 × 10 4 Pa or less. Also, after the lamination is completed in this manner, in the range of 30 to 150 ° C,
Heating can be performed for 1 to 120 minutes. At this time, the support film can be removed as necessary.
【0065】(A)感光性樹脂組成物層6の上に、
(B)感光性の熱可塑性樹脂層7を配置し、加熱圧着し
ながら(A)感光性樹脂組成物層6及び(B)感光性の
熱可塑性樹脂層7を積層させた状態を図4(II)に示し
た。図4(II)において、(A)感光性樹脂組成物層6
の上に、(B)感光性の熱可塑性樹脂層7を配置し、加
熱圧着させる方法としては、例えば、図4(I)の状態
の(A)感光性樹脂組成物層6の上に支持体フィルムが
存在している場合には、支持体フィルムを除去後、
(A)感光性樹脂組成物層6の上に、(B)感光性の熱
可塑性樹脂層7(カバーフィルムが存在しているとき
は、そのカバーフィルムを除去した後)を配置し、加熱
ロール8等により加熱圧着する方法などが挙げられる。(A) On the photosensitive resin composition layer 6,
FIG. 4 shows a state in which (B) the photosensitive thermoplastic resin layer 7 is arranged and (A) the photosensitive resin composition layer 6 and (B) the photosensitive thermoplastic resin layer 7 are laminated while being thermocompression bonded. II). In FIG. 4 (II), (A) photosensitive resin composition layer 6
As a method of disposing (B) the photosensitive thermoplastic resin layer 7 on the above and performing thermocompression bonding, for example, it is supported on the (A) photosensitive resin composition layer 6 in the state of FIG. 4 (I). If a body film is present, after removing the support film,
On the (A) photosensitive resin composition layer 6, the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 (when a cover film is present, after removing the cover film) is arranged, and a heating roll is provided. Examples of the method include thermocompression bonding with No. 8 and the like.
【0066】加熱圧着時の加熱温度は、10〜130℃
とすることが好ましく、20〜120℃とすることがよ
り好ましく、30〜110℃とすることが特に好まし
い。この加熱温度が、10℃未満では、(A)感光性樹
脂組成物層6のPDP基板の空間への埋め込み性が低下
する傾向があり、130℃を超えると、(A)感光性樹
脂組成物層6が熱硬化する傾向がある。また、加熱圧着
時の圧着圧力は、ゲージ圧(常圧1atmが0である)
で、1×104〜1×107Paとすることが好ましく、2
×104〜5×106Paとすることがより好ましく、4×
104〜1×106Paとすることが特に好ましい。この圧
着圧力が、1×104Pa未満では、(A)感光性樹脂組
成物層6のPDP基板の空間への埋め込み性が低下する
傾向があり、1×107Paを超えると、PDP用基板の
バリアリブが破壊される傾向がある。The heating temperature during thermocompression bonding is 10 to 130 ° C.
The temperature is preferably set to 20 to 120 ° C, more preferably 30 to 110 ° C. If the heating temperature is lower than 10 ° C, the embedding property of the (A) photosensitive resin composition layer 6 into the space of the PDP substrate tends to decrease, and if the heating temperature exceeds 130 ° C, the (A) photosensitive resin composition. Layer 6 tends to heat cure. In addition, the pressure for heating and pressure bonding is a gauge pressure (normal pressure 1 atm is 0).
Therefore, it is preferably 1 × 10 4 to 1 × 10 7 Pa, and 2
More preferably, it is from 10 4 to 5 × 10 6 Pa, and 4 ×
Particularly preferably, it is 10 4 to 1 × 10 6 Pa. If this pressure is less than 1 × 10 4 Pa, the embedding property of the (A) photosensitive resin composition layer 6 into the space of the PDP substrate tends to decrease, and if it exceeds 1 × 10 7 Pa, it is for PDP. The barrier ribs of the substrate tend to break.
【0067】(B)感光性の熱可塑性樹脂層7を前記の
ように加熱すれば、(A)感光性樹脂組成物層6を積層
したPDP用基板を予熱処理することは必要ではない
が、(A)感光性樹脂組成物層6の空間への埋め込み性
をさらに向上させる点から、(A)感光性樹脂組成物層
6を積層したPDP用基板を予熱処理することが好まし
い。この時の予熱温度は、30〜130℃とすることが
好ましく、また、予熱時間は、0.5〜20分間とする
ことが好ましい。また、(A)感光性樹脂組成物層6の
空間への埋め込み性をさらに向上させる点から、上記圧
着ロールの表面が、ゴム、プラスチック等の柔軟性に富
んだ材質のものを使用することもできる。なお、柔軟性
に富んだ材質の層の厚さは、200〜400μmとする
ことが好ましい。(B) If the photosensitive thermoplastic resin layer 7 is heated as described above, it is not necessary to preheat the PDP substrate on which the (A) photosensitive resin composition layer 6 is laminated. From the viewpoint of further improving the embedding property of the photosensitive resin composition layer 6 (A) into the space, it is preferable to preheat the PDP substrate on which the photosensitive resin composition layer 6 (A) is laminated. The preheating temperature at this time is preferably 30 to 130 ° C., and the preheating time is preferably 0.5 to 20 minutes. Further, in order to further improve the embedding property of the photosensitive resin composition layer 6 (A) into the space, the surface of the pressure-bonding roll may be made of a material having a high flexibility such as rubber or plastic. it can. Note that the thickness of the layer made of a material having high flexibility is preferably 200 to 400 μm.
【0068】さらに、同様の目的で、5×104Pa以下
の減圧下で、上記した圧着及び加熱圧着の操作を行うこ
ともできる。また、積層が完了した後、30〜150℃
の範囲で、1〜120分間加熱することもできる。この
時、(B)感光性の熱可塑性樹脂層7の上に支持体フィ
ルムが存在する場合には、その支持体フィルムを必要に
応じて除去してもよい。このようにして、(A)感光性
樹脂組成物層6をPDP用基板の凹部内面に均一に形成
することができる。Further, for the same purpose, the above-mentioned press bonding and heat pressing can be performed under reduced pressure of 5 × 10 4 Pa or less. After the lamination is completed, 30 to 150 ° C
Can be heated for 1 to 120 minutes. At this time, if a support film is present on the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7, the support film may be removed as necessary. In this way, the (A) photosensitive resin composition layer 6 can be uniformly formed on the inner surface of the recess of the PDP substrate.
【0069】また、本発明における(I)工程では、
(A)感光性樹脂組成物層6と(B)感光性の熱可塑性
樹脂層7とを、2層同時に加熱圧着しながら積層させる
こともできる。2層同時に加熱圧着させる時の加熱圧着
条件としては、前記(B)感光性の熱可塑性樹脂層7を
加熱圧着させる時の条件を用いることができる。In the step (I) of the present invention,
Two layers of (A) the photosensitive resin composition layer 6 and (B) the photosensitive thermoplastic resin layer 7 may be laminated while thermocompression bonding at the same time. As the thermocompression bonding conditions when the two layers are thermocompressed at the same time, the conditions for thermocompressing the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 can be used.
【0070】〔(II)酸素を含む気体が(B)層の上に
存在する状態で、活性光線を像的に照射する工程〕酸素
を含む気体が(B)感光性の熱可塑性樹脂層7の上に存
在する状態で、活性光線11を像的に照射する状態を図
4(III)に示した。本工程においては、(B)感光性
の熱可塑性樹脂層7の上に常に酸素を含む気体が存在す
る状態で、活性光線11を像的に照射する必要があり、
その方法としては、例えば、空気中等に直接(B)感光
性の熱可塑性樹脂層7が触れる状態で、(B)感光性の
熱可塑性樹脂層7の上にスペーサ9等を挾んで、ネガフ
ィルム、ネガガラス、ポジフィルム、ポジガラス等のフ
ォトマスク10を介して、活性光線11を像的に照射す
る方法などが挙げられる。また、(B)感光性の熱可塑
性樹脂層7が酸素に触れる状態で、常に酸素が補給され
るように、(B)感光性の熱可塑性樹脂層7とフォトマ
スク10を密着させなければ、(B)感光性の熱可塑性
樹脂層7の上にスペーサ9等を挾まずに直接フォトマス
ク10を載せた状態で、活性光線11を像的に照射する
こともできる。[(II) Step of Imagewise Irradiating Actinic Rays with Oxygen-Containing Gas Present on Layer (B)] Oxygen-Containing Gas (B) Photosensitive Thermoplastic Resin Layer 7 FIG. 4 (III) shows a state in which the actinic ray 11 is imagewise irradiated in the state of being present on the upper surface. In this step, (B) the actinic ray 11 needs to be imagewise irradiated in a state where a gas containing oxygen is always present on the photosensitive thermoplastic resin layer 7.
As a method thereof, for example, in a state where the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 is in direct contact with the air or the like, a spacer 9 or the like is sandwiched on the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 to form a negative film. , A negative glass, a positive film, a positive glass, or the like, and the actinic ray 11 is imagewise irradiated through the photomask 10. Further, if the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 and the photomask 10 are not brought into close contact with each other so that oxygen is constantly replenished while the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 is in contact with oxygen, (B) The actinic ray 11 may be imagewise irradiated in a state where the photomask 10 is directly placed on the photosensitive thermoplastic resin layer 7 without sandwiching the spacer 9 or the like.
【0071】この時、(B)感光性の熱可塑性樹脂層7
の上に支持体フィルムが存在する場合は、凹部内面以外
に形成された(A)感光性樹脂組成物層6の露光部及び
(B)感光性の熱可塑性樹脂層7の露光部を、酸素によ
り光硬化性を不充分となるようにし、その不要部を後述
する現像により除去するために、支持体フィルムを除去
した後に活性光線11を像的に照射する必要がある。但
し、支持体フィルムが酸素透過性を有するフィルムであ
る場合に限り、その支持体フィルムを積層した状態で活
性光線11を像的に照射することもできる。また、同様
に、凹部内面以外に形成された(A)感光性樹脂組成物
層6の露光部及び(B)感光性の熱可塑性樹脂層7の露
光部が、酸素により光硬化性を不充分となるように、活
性光線11の露光量を適宜調節し、後述する現像によっ
て除去できるようにすることが好ましい。At this time, (B) the photosensitive thermoplastic resin layer 7
In the case where a support film is present on the above, the exposed portion of the (A) photosensitive resin composition layer 6 and the exposed portion of the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 which are formed other than the inner surface of the concave portion are treated with oxygen. Therefore, the photocurability becomes insufficient, and in order to remove the unnecessary portion by the development described later, it is necessary to irradiate the actinic ray 11 imagewise after removing the support film. However, only when the support film is a film having oxygen permeability, the actinic rays 11 can be imagewise irradiated in a state where the support films are laminated. Similarly, the exposed portion of the (A) photosensitive resin composition layer 6 and the exposed portion of the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 formed on the surface other than the inner surface of the recess have insufficient photocurability due to oxygen. It is preferable that the exposure amount of the actinic ray 11 is appropriately adjusted so that it can be removed by the development described later.
【0072】このようにして、凹部内面には、光硬化さ
れた(A)感光性樹脂組成物層及び光硬化された(B)
感光性の熱可塑性樹脂層7が形成され、凹部内面以外に
は、光硬化性が不充分である(A)感光性樹脂組成物層
及び光硬化性が不充分である(B)感光性の熱可塑性樹
脂層が形成される。Thus, on the inner surface of the recess, the photocured (A) photosensitive resin composition layer and the photocured (B) were formed.
The photosensitive thermoplastic resin layer 7 is formed, and the photocurability is insufficient except for the inner surface of the recess (A) the photosensitive resin composition layer and the photocurability is insufficient (B) A thermoplastic resin layer is formed.
【0073】活性光線11としては、公知の活性光源が
使用でき、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、
キセノンアーク、その他から発生する光等が挙げられ
る。光開始剤の感受性は、通常、紫外線領域において最
大であるので、その場合の活性光源は、紫外線を有効に
放射するものにすべきである。また、光開始剤が可視光
線に感受するもの、例えば、9、10−フェナンスレン
キノン等である場合には、活性光線9としては、可視光
が用いられ、その光源としては、前記のもの以外に写真
用フラッド電球、太陽ランプ等も使用することができ
る。As the actinic ray 11, a known actinic light source can be used, for example, carbon arc, mercury vapor arc,
Light emitted from xenon arc or the like can be used. Since the photoinitiator sensitivity is usually maximum in the UV region, the actinic light source in that case should be one that effectively emits UV light. When the photoinitiator is sensitive to visible light, for example, 9,10-phenanthrenequinone or the like, visible light is used as the active light 9, and the light source is as described above. In addition, a photo flood bulb, a sun lamp, and the like can be used.
【0074】〔(III)現像により不要部を除去する工
程〕現像により不要部を除去した状態を図5(IV)に示
した。なお、図5(IV)において、6′は光硬化後の感
光性樹脂組成物層であり、7′は光硬化後の感光性の熱
可塑性樹脂層である。図5(IV)において、現像方法と
しては、例えば、図4(III)の状態の後、(B)感光
性の熱可塑性樹脂層7の上に支持体フィルムが存在する
場合には、これを除去した後、アルカリ水溶液、水系現
像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、
揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知方法
により現像を行い、不要部を除去する方法などが挙げら
れる。[(III) Step of Removing Unnecessary Portion by Development] A state in which the unnecessary portion is removed by development is shown in FIG. 5 (IV). In FIG. 5 (IV), 6'denotes a photosensitive resin composition layer after photocuring, and 7'denotes a photosensitive thermoplastic resin layer after photocuring. In FIG. 5 (IV), as a developing method, for example, after the state of FIG. 4 (III), if a support film is present on the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7, this is After removal, spraying with a known developer such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, an organic solvent,
Examples include a method of performing development by a known method such as rocking dipping, brushing, and scraping to remove unnecessary portions.
【0075】不要部を除去する場合には、まず、(A)
感光性樹脂組成物層6を溶解しない水、アルカリ水溶
液、半溶剤水溶液、半溶剤アルカリ水溶液、有機溶剤等
を用いて、(B)感光性の熱可塑性樹脂層7を溶解によ
り除去した後に、現像液を用いて、(A)感光性樹脂組
成物層6の不要部を除去してもよく、また、(B)感光
性の熱可塑性樹脂層7が、前記した(A)感光性樹脂組
成物層6及び(B)感光性の熱可塑性樹脂層7が、同一
の現像液を使用して現像できるものである場合には、そ
の現像液を用いて、(A)感光性樹脂組成物層6の不要
部及び(B)感光性の熱可塑性樹脂層7を一工程で除去
することもできる。また、(A)感光性樹脂組成物層6
の不要部及び(B)感光性の熱可塑性樹脂層7の不要部
を除去する方法として、ドライ現像にて、それぞれ単独
に又は一工程で行うこともできる。When removing the unnecessary portion, first, (A)
After removing (B) the photosensitive thermoplastic resin layer 7 by dissolution using water, an alkaline aqueous solution, a semisolvent aqueous solution, a semisolvent alkaline aqueous solution, an organic solvent or the like which does not dissolve the photosensitive resin composition layer 6, the development The liquid may be used to remove the unnecessary part of the (A) photosensitive resin composition layer 6, and the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 may be the above-mentioned (A) photosensitive resin composition. When the layer 6 and the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 can be developed using the same developing solution, the (A) photosensitive resin composition layer 6 is used by using the developing solution. It is also possible to remove the unnecessary portion and (B) the photosensitive thermoplastic resin layer 7 in one step. Further, (A) the photosensitive resin composition layer 6
As a method of removing the unnecessary portion of (1) and the unnecessary portion of (B) the photosensitive thermoplastic resin layer 7, it is also possible to carry out dry development individually or in one step.
【0076】なお、この本発明における(III)工程に
おいては、前記(II)工程により、形成された凹部内面
以外の、光硬化性が不充分である(A)感光性樹脂組成
物層及び光硬化性が不充分である(B)感光性の熱可塑
性樹脂層は、不要部であり、これを現像(膜べりともい
う)により除去する必要がある。なお、この時の現像時
間及び現像温度は、不要部を除去できるように適宜調節
することができる。現像時間は、(A)感光性樹脂組成
物層6の最小現像時間((A)感光性樹脂組成物層をP
DP用基板の空間内に埋め込んだ後、(A)層が現像に
よって除去される最短の時間)の1〜10倍の時間とす
ることが好ましく、現像温度は、10〜60℃とするこ
とが好ましい。現像時間が、最小現像時間未満では、現
像残りが発生する傾向があり、最小現像時間の10倍の
時間を超えると、(A)感光性樹脂組成物層6の必要部
まで除去される傾向がある。また、現像温度が、10℃
未満では、現像性が低下する傾向があり、60℃を超え
ると、耐現像液性が低下する傾向がある。In the step (III) of the present invention, the photocurable resin composition layer and the light-curing resin composition layer (A) having insufficient photocurability other than the inner surface of the recess formed by the step (II) are used. The (B) photosensitive thermoplastic resin layer having insufficient curability is an unnecessary portion and needs to be removed by development (also referred to as film slippage). The developing time and the developing temperature at this time can be appropriately adjusted so that unnecessary portions can be removed. The developing time is the minimum developing time of (A) the photosensitive resin composition layer 6 ((A) P of the photosensitive resin composition layer.
After embedding in the space of the DP substrate, the time is preferably 1 to 10 times the shortest time for removing the layer (A) by development, and the development temperature is 10 to 60 ° C. preferable. If the development time is less than the minimum development time, the residual development tends to occur, and if the development time exceeds 10 times the minimum development time, the necessary portion of the (A) photosensitive resin composition layer 6 tends to be removed. is there. In addition, the development temperature is 10 ℃
If it is less than 60 ° C, the developing property tends to be lowered, and if it exceeds 60 ° C, the developing solution resistance tends to be lowered.
【0077】アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化ア
ルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物
等)、炭酸アルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウ
ムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等)、アルカリ金属リン酸
塩(リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等)、アルカリ
金属ピロリン酸塩(ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸
カリウム等)、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリ
エタノールアミンなどが挙げられ、中でも、炭酸ナトリ
ウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等が好ましいも
のとして挙げられる。現像に用いるアルカリ水溶液のpH
は、9〜11とすることが好ましく、また、その温度
は、(A)感光性樹脂組成物層6及び(B)感光性の熱
可塑性樹脂層7の現像性に合わせて調整することができ
る。また、アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡
剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入さ
せることができる。As the base of the aqueous alkali solution, alkali hydroxides (lithium, sodium or potassium hydroxides, etc.), alkali carbonates (lithium, sodium or potassium carbonates or bicarbonates, etc.), alkali metal phosphates ( Potassium phosphate, sodium phosphate, etc.), alkali metal pyrophosphates (sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, etc.), tetramethylammonium hydroxide, triethanolamine and the like, among which sodium carbonate, tetramethylammonium hydroxide And the like are preferred. PH of aqueous alkaline solution used for development
Is preferably 9 to 11, and the temperature thereof can be adjusted according to the developability of (A) the photosensitive resin composition layer 6 and (B) the photosensitive thermoplastic resin layer 7. . Further, a surfactant, a defoaming agent, a small amount of an organic solvent for accelerating the development and the like can be mixed in the alkaline aqueous solution.
【0078】水系現像液としては、水又はアルカリ水溶
液と一種以上の有機溶剤とからなるものが挙げられる。
ここで、アルカリ水溶液の塩基としては、前記物質以外
に、例えば、ホウ砂、メタケイ酸ナトリウム、エタノー
ルアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、
2−アミノ−2−ヒドロキシメチル−1、3−プロパン
ジオール、1,3−ジアミノプロパノール−2−モルホ
リン、水酸化テトラメチルアンモニウム等が挙げられ
る。水系現像液のpHは、8〜12とすることが好まし
く、9〜10とすることがより好ましい。Examples of the aqueous developing solution include those containing water or an alkaline aqueous solution and one or more organic solvents.
Here, as the base of the alkaline aqueous solution, in addition to the above substances, for example, borax, sodium metasilicate, ethanolamine, ethylenediamine, diethylenetriamine,
2-amino-2-hydroxymethyl-1,3-propanediol, 1,3-diaminopropanol-2-morpholine, tetramethylammonium hydroxide and the like can be mentioned. The pH of the aqueous developer is preferably from 8 to 12, more preferably from 9 to 10.
【0079】有機溶剤としては、例えば、三アセトンア
ルコール、アセトン、酢酸エチル、炭素数1〜4のアル
コキシ基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエ
チレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ
ブチルエーテル等が挙げられる。これらは単独で又は2
種類以上を組み合わせて使用される。有機溶剤の濃度
は、通常、2〜90重量%の範囲とされ、また、その温
度は、現像性にあわせて調整することができる。また、
水系現像液中には、界面活性剤、消泡剤等を少量混入す
ることができる。単独で用いる有機溶剤現像液として
は、例えば、1,1,1−トリクロロエタン、N−メチ
ルピロリドン、N、N−ジメチルホルムアミド、シクロ
ヘキサノン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラク
トン等が挙げられる。これらの有機溶剤は、引火防止の
ため、1〜20重量%の範囲で水を添加してもよい。Examples of the organic solvent include triacetone alcohol, acetone, ethyl acetate, alkoxyethanol having an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, Diethylene glycol monobutyl ether and the like can be mentioned. These can be used alone or 2
Used in combination with more than one type. The concentration of the organic solvent is usually in the range of 2 to 90% by weight, and the temperature can be adjusted according to the developability. Also,
A small amount of a surfactant, a defoaming agent or the like can be mixed in the aqueous developer. Examples of the organic solvent developer used alone include 1,1,1-trichloroethane, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, and γ-butyrolactone. Water may be added to these organic solvents in the range of 1 to 20% by weight in order to prevent ignition.
【0080】このようにして、凹部内面以外に形成され
た光硬化性が不充分である(A)感光性樹脂組成物層及
び光硬化性が不充分である(B)感光性の熱可塑性樹脂
層を含む不要部が、現像により除去され、凹部内面に
は、光硬化後の感光性樹脂組成物層6′及び光硬化後の
(B)感光性の熱可塑性樹脂層が形成される。In this way, the photocurability formed on the surface other than the inner surface of the recess is insufficient (A) the photosensitive resin composition layer and the photocurability is insufficient (B) the photosensitive thermoplastic resin. The unnecessary portion including the layer is removed by development, and the photosensitive resin composition layer 6 ′ after photocuring and the photosensitive thermoplastic resin layer (B) after photocuring are formed on the inner surface of the recess.
【0081】なお、前記した(II)工程において、凹部
内面以外に形成された(A)感光性樹脂組成物層6の露
光部及び(B)感光性の熱可塑性樹脂層7の露光部を、
酸素により光硬化性を不充分とする度合が良好でない場
合には、本工程((III)工程)を行なうことにより、
図6に示す状態となる傾向がある。この場合、凹部内面
以外に残存した光硬化後の感光性樹脂組成物層6′及び
光硬化後の感光性の熱可塑性樹脂層7′(不要部)を研
磨等により完全に除去することもできる。なお、図6は
本発明の(II)工程において、酸素により光硬化性を不
充分とする度合が良好でない場合に、(III)工程を行
なった後の状態を示した模式図であり、図6において、
13は不要部(研磨等により完全に除去する所)であ
る。In the step (II) described above, the exposed portion of the (A) photosensitive resin composition layer 6 and the exposed portion of the (B) photosensitive thermoplastic resin layer 7 which are formed except the inner surface of the recess are
When the degree of insufficient photocurability by oxygen is not good, by performing this step ((III) step),
The state shown in FIG. 6 tends to occur. In this case, the photosensitive resin composition layer 6'after photocuring and the photosensitive thermoplastic resin layer 7 '(unnecessary portion) after photocuring remaining on the surface other than the inner surface of the recess can be completely removed by polishing or the like. . In addition, FIG. 6 is a schematic diagram showing a state after the step (III) is performed when the degree of insufficient photocurability by oxygen is not good in the step (II) of the present invention. In 6,
Reference numeral 13 is an unnecessary portion (where it is completely removed by polishing or the like).
【0082】また、現像後、PDP用基板の空間の表面
における蛍光体含有フォトレジストの密着性及び耐薬品
性等を向上させる目的で、高圧水銀ランプ等による紫外
線照射や加熱を行うこともできる。この時の、紫外線の
照射量は、通常、0.2〜10J/cm2であり、照射の際
に、加熱を伴うこともできる。また、加熱時の温度は、
60〜180℃とすることが好ましく、100〜180
℃とすることがより好ましい。また、加熱時間は、15
〜90分間とすることが好ましい。これらの紫外線の照
射と加熱は、照射と加熱を別々に行ってもよく、どちら
を先に行ってもよい。Further, after the development, for the purpose of improving the adhesion and chemical resistance of the phosphor-containing photoresist on the surface of the space of the PDP substrate, ultraviolet irradiation or heating with a high pressure mercury lamp or the like can be performed. At this time, the irradiation amount of ultraviolet rays is usually 0.2 to 10 J / cm 2 , and heating can be accompanied during irradiation. Also, the temperature during heating is
The temperature is preferably 60 to 180 ° C., and 100 to 180
C. is more preferable. The heating time is 15
It is preferably set to 90 minutes. Irradiation and heating of these ultraviolet rays may be performed separately from irradiation and heating, and either may be performed first.
【0083】〔(IV)焼成により不要分を除去する工
程〕焼成により不要分を除去した後の蛍光体パターンを
形成した状態を図5(V)に示した。なお、図5(V)
において、12は蛍光体パターンである。図5(V)に
おいて、焼成方法としては、特に制限はなく、公知の焼
成方法を使用し、蛍光体及び結着剤以外の不要分を除去
し、蛍光体パターンを形成することができる。この時
の、焼成温度は、350〜800℃とすることが好まし
く、400〜600℃とすることがより好ましい。ま
た、焼成時間は、3〜120分間とすることが好まし
く、5〜90分間とすることがより好ましい。[(IV) Step of Removing Unnecessary Part by Burning] FIG. 5 (V) shows a state in which the phosphor pattern after removing the unnecessary part by baking is formed. Note that FIG. 5 (V)
In, reference numeral 12 is a phosphor pattern. In FIG. 5 (V), the firing method is not particularly limited, and a known firing method can be used to remove unnecessary components other than the phosphor and the binder to form a phosphor pattern. The firing temperature at this time is preferably 350 to 800 ° C, and more preferably 400 to 600 ° C. The firing time is preferably from 3 to 120 minutes, more preferably from 5 to 90 minutes.
【0084】本発明の蛍光体パターンの製造法は、
(I)〜(III)の各工程を1色毎に繰り返して、赤
色、緑色及び青色に発色する蛍光体を含有する感光性樹
脂組成物層からなる多色のパターンを形成した後、(I
V)の工程を行ない多色の蛍光体パターンを形成するこ
とが、膜べりの抑制(1色目及び2色目の光硬化後の感
光性樹脂組成物層6′は、(III)の工程において、数
回現像液にさらされるが、これらの光硬化後の感光性樹
脂組成物層6′は、光硬化後の感光性の熱可塑性樹脂組
成物層7′に被覆されており、直接、現像液にさらされ
ないために、膜べりを抑制することができる)及び工程
数を低減できる点から好ましい。本発明において、赤
色、青色及び緑色に発色するそれぞれの蛍光体を単独で
含む(A)感光性樹脂組成物層6は、赤色、青色及び緑
色の各色について、どの様な順番でも行うことができ
る。The method for producing the phosphor pattern of the present invention is as follows:
After repeating the steps (I) to (III) for each color to form a multicolored pattern including a photosensitive resin composition layer containing a phosphor that emits red, green and blue, (I)
In order to form a multicolor phosphor pattern by performing the step (V), it is possible to suppress film slippage (the photosensitive resin composition layer 6'after photocuring the first and second colors is Although exposed to a developing solution several times, these photocurable photosensitive resin composition layers 6 ′ are covered with the photocurable photosensitive thermoplastic resin composition layers 7 ′, and the photocurable photosensitive resin composition layers 6 ′ are directly exposed to the developing solution. Since it is not exposed to water, film slippage can be suppressed) and the number of steps can be reduced, which is preferable. In the present invention, the (A) photosensitive resin composition layer 6 containing each of the phosphors that emit red, blue and green alone can be performed in any order for each color of red, blue and green. .
【0085】本発明における(I)〜(III)の各工程
を1色毎に繰り返して、赤色、緑色及び青色に発色する
蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層を含む多色パター
ンを形成した状態を図7に示した。図7において、6′
aは1色目のパターン、6′bは2色目のパターン及び
6′cは3色目のパターンである。また、本発明におけ
る(IV)の工程を行ない多色の蛍光体パターンを形成し
た状態を図8に示した。図8において、12aは1色目
の蛍光体パターン、12bは2色目の蛍光体パターン及
び12cは3色目の蛍光体パターンである。The steps (I) to (III) in the present invention are repeated for each color to form a multicolor pattern including a photosensitive resin composition layer containing a phosphor that emits red, green and blue. The state in which this was done is shown in FIG. In FIG. 7, 6 '
a is a pattern for the first color, 6'b is a pattern for the second color, and 6'c is a pattern for the third color. FIG. 8 shows a state in which the multicolor phosphor pattern is formed by performing the step (IV) in the present invention. In FIG. 8, 12a is a phosphor pattern for the first color, 12b is a phosphor pattern for the second color, and 12c is a phosphor pattern for the third color.
【0086】[0086]
【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。 製造例1 〔フィルム性付与ポリマ(a−1)の作製〕撹拌機、還
流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラス
コに、表1に示すを仕込み、窒素ガス雰囲気下で80
℃に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表
1に示すを4時間かけて均一に滴下した。の滴下
後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、重量平均分子量
が80,000、酸価が130mgKOH/gのフィルム性付
与ポリマ(a−1)を得た。The present invention will be described below with reference to examples. Production Example 1 [Fabrication of Film-Providing Polymer (a-1)] A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet and a thermometer was charged with the composition shown in Table 1, and the content was 80
The temperature was raised to 0 ° C., and while maintaining the reaction temperature at 80 ° C. ± 2 ° C., as shown in Table 1 was uniformly added dropwise over 4 hours. After dropwise addition, stirring was continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours to obtain a film property imparting polymer (a-1) having a weight average molecular weight of 80,000 and an acid value of 130 mgKOH / g.
【0087】[0087]
【表1】 [Table 1]
【0088】製造例2 〔フィルム性付与ポリマ(a−2)の作製〕製造例1に
おいて、のメタクリル酸を4重量部に、メタクリル酸
メチルを86重量部に、メタクリル酸n−ブチルを10
重量部に代えた以外は、製造例1と同様にして、重量平
均分子量が80,000、酸価が26mgKOH/gのフィル
ム性付与ポリマ(a−2)を得た。Production Example 2 [Production of Film-Providing Polymer (a-2)] In Production Example 1, 4 parts by weight of methacrylic acid, 86 parts by weight of methyl methacrylate and 10 parts of n-butyl methacrylate were prepared.
A film-forming polymer (a-2) having a weight average molecular weight of 80,000 and an acid value of 26 mgKOH / g was obtained in the same manner as in Production Example 1 except that parts by weight were replaced.
【0089】製造例3 〔(A)感光性樹脂組成物層を含む感光性エレメント
(A−1)の作製〕表2に示す材料を、ライカイ機を用
いて15分間混合し、赤色の感光性樹脂組成物溶液を調
製した。Production Example 3 [(A) Preparation of Photosensitive Element (A-1) Containing Photosensitive Resin Composition Layer] The materials shown in Table 2 were mixed for 15 minutes using a Likai machine to give a red photosensitive material. A resin composition solution was prepared.
【0090】[0090]
【表2】 [Table 2]
【0091】得られた溶液を、20μmの厚さのポリエ
チレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、80
〜110℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して溶剤
を除去し、赤色の(A)感光性樹脂組成物層を形成し
た。得られた(A)感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚さ
は、60μmであった。次いで、(A)感光性樹脂組成
物層の上に、厚さが25μmのポリエチレンフィルムを
カバーフィルムとして張り合わせて、(A)感光性樹脂
組成物層を含む感光性エレメント(A−1)を作製し
た。The obtained solution was uniformly applied onto a polyethylene terephthalate film having a thickness of 20 μm,
The solvent was removed by drying for 10 minutes with a hot air convection dryer at 110 ° C to form a red (A) photosensitive resin composition layer. The thickness of the obtained photosensitive resin composition layer (A) after drying was 60 μm. Then, a polyethylene film having a thickness of 25 μm is laminated on the (A) photosensitive resin composition layer as a cover film to prepare a photosensitive element (A-1) containing the (A) photosensitive resin composition layer. did.
【0092】製造例4 〔(A)感光性樹脂組成物層を含む感光性エレメント
(A−2)の作製〕表2に示す材料に代えて、表3に示
す材料を使用した以外は、製造例3と同様にして、赤色
の(A)感光性樹脂組成物層を形成した。得られた
(A)感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚さは、60μm
であった。Production Example 4 [(A) Production of Photosensitive Element (A-2) Containing Photosensitive Resin Composition Layer] Production was carried out except that the material shown in Table 2 was used instead of the material shown in Table 2. In the same manner as in Example 3, a red (A) photosensitive resin composition layer was formed. The thickness of the obtained (A) photosensitive resin composition layer after drying was 60 μm.
Met.
【0093】[0093]
【表3】 [Table 3]
【0094】次いで、製造例3と同様にして、(A)感
光性樹脂組成物層を含む感光性エレメント(A−2)を
作製した。Then, in the same manner as in Production Example 3, a photosensitive element (A-2) containing the photosensitive resin composition layer (A) was prepared.
【0095】製造例5 〔(A)感光性樹脂組成物層を含む感光性エレメント
(A−3)の作製〕表2に示す材料に代えて、表4に示
す材料を使用した以外は、製造例3と同様にして、青色
の(A)感光性樹脂組成物層を形成した。得られた
(A)感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚さは、60μm
であった。Production Example 5 [(A) Production of Photosensitive Element (A-3) Containing Photosensitive Resin Composition Layer] Production was repeated except that the materials shown in Table 2 were used instead of the materials shown in Table 2. In the same manner as in Example 3, a blue (A) photosensitive resin composition layer was formed. The thickness of the obtained (A) photosensitive resin composition layer after drying was 60 μm.
Met.
【0096】[0096]
【表4】 [Table 4]
【0097】次いで、製造例3と同様にして、(A)感
光性樹脂組成物層を含む感光性エレメント(A−3)を
作製した。Then, in the same manner as in Production Example 3, a photosensitive element (A-3) containing the photosensitive resin composition layer (A) was prepared.
【0098】製造例6 〔(A)感光性樹脂組成物層を含む感光性エレメント
(A−4)の作製〕表2に示す材料に代えて、表5に示
す材料を使用した以外は、製造例3と同様にして、緑色
の(A)感光性樹脂組成物層を形成した。得られた
(A)感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚さは、60μm
であった。Production Example 6 [(A) Production of Photosensitive Element (A-4) Containing Photosensitive Resin Composition Layer] Production was repeated except that the material shown in Table 2 was used instead of the material shown in Table 2. In the same manner as in Example 3, a green (A) photosensitive resin composition layer was formed. The thickness of the obtained (A) photosensitive resin composition layer after drying was 60 μm.
Met.
【0099】[0099]
【表5】 [Table 5]
【0100】次いで、製造例3と同様にして、(A)感
光性樹脂組成物層を含む感光性エレメント(A−4)を
作製した。Then, in the same manner as in Production Example 3, a photosensitive element (A-4) containing the photosensitive resin composition layer (A) was prepared.
【0101】製造例7 〔(B)感光性の熱可塑性樹脂層を含むフィルム(B−
1)の作製〕表6に示す材料からなる樹脂溶液を、20
μmの厚さのポリエチレンテレフタレートフィルム上に
均一に塗布し、80〜110℃の熱風対流式乾燥機で1
0分間乾燥して蒸留水を除去し、(B)感光性の熱可塑
性樹脂層を形成した。得られた(B)感光性の熱可塑性
樹脂層の乾燥後の厚さは、70μmであった。Production Example 7 [(B) Film Containing Photosensitive Thermoplastic Resin Layer (B-
Preparation of 1)] A resin solution containing the materials shown in Table 6
It is evenly coated on a polyethylene terephthalate film having a thickness of μm, and it is 1 with a hot air convection dryer at 80 to 110 ° C.
Distilled water was removed by drying for 0 minutes to form (B) a photosensitive thermoplastic resin layer. The thickness of the obtained (B) photosensitive thermoplastic resin layer after drying was 70 μm.
【0102】[0102]
【表6】 [Table 6]
【0103】次いで、(B)感光性の熱可塑性樹脂層の
上に、厚さが25μmのポリエチレンフィルムをカバー
フィルムとして張り合わせて、(B)感光性の熱可塑性
樹脂層を含むフィルム(B−1)を作製した。Next, a polyethylene film having a thickness of 25 μm is laminated as a cover film on the (B) photosensitive thermoplastic resin layer to form a film (B-1) containing the photosensitive thermoplastic resin layer (B-1). ) Was produced.
【0104】製造例8 〔熱可塑性樹脂層を含むフィルム(B−2)の作製〕表
6に示す材料に代えて、表7に示す材料を使用した以外
は、製造例7と同様にして、熱可塑性樹脂層を形成し
た。得られた熱可塑性樹脂層の乾燥後の厚さは、70μ
mであった。Production Example 8 [Production of Film (B-2) Containing Thermoplastic Resin Layer] The procedure of Production Example 7 was repeated except that the materials shown in Table 6 were used instead of the materials shown in Table 6. A thermoplastic resin layer was formed. The thickness of the obtained thermoplastic resin layer after drying was 70 μm.
m.
【0105】[0105]
【表7】 [Table 7]
【0106】次いで、製造例7と同様にして、熱可塑性
樹脂層を含むフィルム(B−2)を作製した。Then, in the same manner as in Production Example 7, a film (B-2) containing a thermoplastic resin layer was produced.
【0107】製造例3〜6で得られた(A)感光性樹脂
組成物層を含む感光性エレメント(A−1)、(A−
2)、(A−3)及び(A−4)並びに製造例7〜8で
得られた(B)感光性の熱可塑性樹脂層を含むフィルム
(B−1)及び熱可塑性樹脂層を含むフィルム(B−
2)について、エッジフュージョン性を下記の方法で評
価し、結果を表8に示した。Photosensitive elements (A-1) and (A-) containing the photosensitive resin composition layer (A) obtained in Production Examples 3 to 6.
2), (A-3) and (A-4) and (B) the film (B-1) containing the photosensitive thermoplastic resin layer obtained in Production Examples 7 to 8 and the film containing the thermoplastic resin layer (B-
Regarding 2), the edge fusion property was evaluated by the following method, and the results are shown in Table 8.
【0108】〔エッジフュージョン性〕ロール状に巻き
取られた長さ90mの(A)感光性樹脂組成物層を含む
感光性エレメント、(B)感光性の熱可塑性樹脂層を含
むフィルム及び熱可塑性樹脂層を含むフィルムを、温度
が23℃、湿度が60%Rhで保管し、ロール側面から
感光層及び樹脂層のしみ出しの様子を、6カ月間にわた
って目視で評価した。評価基準は次の通りである。 ○:エッジフュージョン性が良好なもの(6カ月間でも
感光層のしみ出しがないもの) ×:エッジフュージョン性が不良なもの(6カ月間で感
光層のしみ出しが発生したもの)[Edge Fusion Property] A photosensitive element including (A) a photosensitive resin composition layer having a length of 90 m, which is wound into a roll, (B) a film including a photosensitive thermoplastic resin layer, and a thermoplastic resin. The film containing the resin layer was stored at a temperature of 23 ° C. and a humidity of 60% Rh, and the appearance of seeping of the photosensitive layer and the resin layer from the side surface of the roll was visually evaluated for 6 months. The evaluation criteria are as follows. ◯: Good edge fusion property (no bleeding of the photosensitive layer even after 6 months) X: Poor edge fusion property (between the bleeding of the photosensitive layer during 6 months)
【0109】[0109]
【表8】 [Table 8]
【0110】表8から、製造例3及び6で得られた
(A)感光性樹脂組成物層を含む感光性エレメント(A
−1)、(A−2)、(A−3)及び(A−4)並びに
製造例7〜8で得られた(B)感光性の熱可塑性樹脂層
を含むフィルム(B−1)及び熱可塑性樹脂層を含むフ
ィルム(B−2)は、すべてエッジフュージョン性が良
好であることがわかる。From Table 8, a photosensitive element (A) containing the photosensitive resin composition layer (A) obtained in Production Examples 3 and 6 was obtained.
-1), (A-2), (A-3) and (A-4) and (B) the film (B-1) containing the photosensitive thermoplastic resin layer obtained in Production Examples 7 to 8 and It can be seen that the films (B-2) containing the thermoplastic resin layer all have good edge fusion properties.
【0111】〔蛍光体パターンの作製〕 実施例1 〔(I)凹凸を有する基板上に、(A)(d)蛍光体を
含有する感光性樹脂組成物層の上に(B)感光性の熱可
塑性樹脂層が配置された状態で、(B)層を加熱圧着す
る工程〕PDP用基板(ストライプ状のバリアリブ、バ
リアリブ間の開口幅140μm、バリアリブの幅70μ
m、バリアリブの高さ140μm)のバリアリブが形成
された側に、製造例3で得られた(A)感光性樹脂組成
物層を含む感光性エレメント(A−1)を、ポリエチレ
ンフィルムを剥がしながら、真空ラミネータ(日立化成
工業(株)製、商品名VLM−1型)を用いて、ヒートシ
ュー温度が30℃、ラミネート速度が0.5m/分、気
圧が4000Pa以下、圧着圧力が5×104Paで積層し
た。[Preparation of Phosphor Pattern] Example 1 [(I) Photosensitive resin composition layer containing (A) and (d) phosphor on a substrate having irregularities (B) Step of thermocompression bonding the layer (B) with the thermoplastic resin layer disposed thereon] PDP substrate (striped barrier ribs, opening width between barrier ribs 140 μm, barrier rib width 70 μm
m, the height of the barrier rib is 140 μm), while removing the polyethylene film, the photosensitive element (A-1) containing the photosensitive resin composition layer (A) obtained in Production Example 3 was removed on the side where the barrier rib was formed. Using a vacuum laminator (Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name VLM-1 type), the heat shoe temperature is 30 ° C., the laminating speed is 0.5 m / min, the atmospheric pressure is 4000 Pa or less, and the pressure bonding pressure is 5 × 10. Laminated at 4 Pa.
【0112】次いで、(A)感光性樹脂組成物層を含む
感光性エレメント(A−1)のポリエチレンテレフタレ
ートフィルムを剥離し、(A)感光性樹脂組成物層を積
層したPDP用基板を乾燥機中で100℃で10分間予
備加熱し、(A)感光性樹脂組成物層上に、製造例8で
得られた(B)感光性の熱可塑性樹脂層を含むフィルム
(B−1)を、ポリエチレンフィルムを剥がしながら、
ラミネータ(日立化成工業(株)製、商品名HLM−30
00型)を用いて、ラミネート温度が110℃、ラミネ
ート速度が0.5m/分、圧着圧力がゲージ圧(常圧1
atmが0である)で、4×105Paで積層した。Then, the polyethylene terephthalate film of the photosensitive element (A-1) containing the photosensitive resin composition layer (A) was peeled off, and the PDP substrate on which the photosensitive resin composition layer (A) was laminated was dried. In the pre-heating in 100 ° C for 10 minutes, the film (B-1) containing the (B) photosensitive thermoplastic resin layer obtained in Production Example 8 on the (A) photosensitive resin composition layer, While peeling off the polyethylene film,
Laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name HLM-30)
00 type), the laminating temperature is 110 ° C., the laminating speed is 0.5 m / min, and the pressure bonding is a gauge pressure (normal pressure 1).
Atm is 0) and laminated at 4 × 10 5 Pa.
【0113】〔(II)酸素を含む気体が(B)層の上に
存在する状態で、活性光線を像的に照射する工程〕次い
で、(B)感光性の熱可塑性樹脂層を含むフィルム(B
−1)のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離
し、(B)感光性の熱可塑性樹脂層上に、厚さ1mmのス
ペーサを挟んで、酸素を含む気体が(B)層の上に存在
する状態で、試験用フォトマスク(透明ライン幅150
μm、マスクされるライン幅480μm)を配置させ
て、(株)オーク製作所製、HMW−590型露光機を使
用し、50mJ/cm2で活性光線を像的に照射した。[(II) Step of imagewise irradiating with actinic rays in a state in which a gas containing oxygen is present on the layer (B)] Next, (B) a film containing a photosensitive thermoplastic resin layer ( B
In a state where a polyethylene terephthalate film of -1) is peeled off, a spacer having a thickness of 1 mm is sandwiched on the (B) photosensitive thermoplastic resin layer, and a gas containing oxygen is present on the (B) layer, Test photomask (transparent line width 150
(the line width to be masked is 480 μm), and an actinic ray was imagewise irradiated at 50 mJ / cm 2 using an HMW-590 type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.
【0114】〔(III)現像により不要部を除去する工
程〕次いで、活性光線の照射後、常温で1時間放置した
後、1重量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、30℃で
150秒間スプレー現像した。現像後、80℃で10分
間乾燥し、東芝電材(株)製東芝紫外線照射装置を使用し
て、3J/cm2の紫外線照射を行い、さらに、150℃で
1時間、乾燥機中で加熱した。[(III) Step of Removing Unnecessary Parts by Development] Next, after irradiation with actinic rays, the mixture was left at room temperature for 1 hour, and then spray-developed with a 1% by weight sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. for 150 seconds. . After development, it was dried at 80 ° C. for 10 minutes, irradiated with 3 J / cm 2 of ultraviolet light using a Toshiba ultraviolet irradiation device manufactured by Toshiba Denshi Co., Ltd., and further heated in a dryer at 150 ° C. for 1 hour. .
【0115】〔(IV)焼成により不要分を除去する工
程〕次いで、550℃で30分間加熱処理(焼成)を行
い、不必要な樹脂成分を除去し、PDP用基板の空間に
蛍光体パターンを形成させた。[(IV) Step of Removing Unnecessary Parts by Baking] Next, heat treatment (baking) is performed at 550 ° C. for 30 minutes to remove unnecessary resin components, and a phosphor pattern is formed in the space of the PDP substrate. Formed.
【0116】〔蛍光体パターンの評価〕得られた蛍光体
パターンの断面を、実体顕微鏡及びSEMにより目視に
て観察し、蛍光体パターンの形成状況を評価し、結果を
表9に示した。評価基準は次の通りである。 ○:蛍光体層がPDP用基板の凹部内面(バリアリブ壁
面及び基板面)上に均一に形成されている。 ×:蛍光体層がPDP用基板の凹部内面(バリアリブ壁
面及び基板面)上に均一に形成されていない。[Evaluation of Phosphor Pattern] The cross section of the obtained phosphor pattern was visually observed with a stereoscopic microscope and SEM to evaluate the formation state of the phosphor pattern. The results are shown in Table 9. The evaluation criteria are as follows. ◯: The phosphor layer is uniformly formed on the inner surface of the recess (barrier rib wall surface and substrate surface) of the PDP substrate. X: The phosphor layer is not uniformly formed on the inner surface of the recess (barrier rib wall surface and substrate surface) of the PDP substrate.
【0117】実施例2 実施例1において、(A)感光性樹脂組成物層を含む感
光性エレメント(A−1)に代えて、(A)感光性樹脂
組成物層を含む感光性エレメント(A−2)とし、(II
I)現像により不要部を除去する工程を、下記に示すよ
うに代えた以外は、実施例1と同様にして、蛍光体パタ
ーンを形成し、得られた蛍光体パターンの形成状況を評
価し、結果を表9に示した。 〔(III)現像により不要部を除去する工程〕1重量%
炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した後、さらに、5
重量%のホウ砂及び20重量%のブチルカルビトールの
水溶液を用いて現像した。Example 2 In Example 1, instead of the photosensitive element (A-1) containing the (A) photosensitive resin composition layer, a photosensitive element (A) containing the (A) photosensitive resin composition layer was used. -2) and (II
I) A phosphor pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that the step of removing the unnecessary portion by development was changed as shown below, and the formation state of the obtained phosphor pattern was evaluated. The results are shown in Table 9. [(III) Step of removing unnecessary portion by development] 1% by weight
After developing with an aqueous solution of sodium carbonate,
Development was carried out using an aqueous solution of borax at 20% by weight and butyl carbitol at 20% by weight.
【0118】実施例3 実施例1において、(A)感光性樹脂組成物層を含む感
光性エレメント(A−1)に代えて、(A)感光性樹脂
組成物層を含む感光性エレメント(A−3)とした以外
は、実施例1と同様にして、蛍光体パターンを形成し、
得られた蛍光体パターンの形成状況を評価し、結果を表
9に示した。Example 3 In Example 1, instead of the photosensitive element (A-1) containing the photosensitive resin composition layer (A), a photosensitive element (A) containing the photosensitive resin composition layer (A) was used. A phosphor pattern was formed in the same manner as in Example 1, except that
The state of formation of the obtained phosphor pattern was evaluated, and the results are shown in Table 9.
【0119】実施例4 実施例1において、(A)感光性樹脂組成物層を含む感
光性エレメント(A−1)に代えて、(A)感光性樹脂
組成物層を含む感光性エレメント(A−4)とした以外
は、実施例1と同様にして、蛍光体パターンを形成し、
得られた蛍光体パターンの形成状況を評価し、結果を表
9に示した。Example 4 Instead of the photosensitive element (A-1) containing the photosensitive resin composition layer (A) in Example 1, a photosensitive element (A) containing the photosensitive resin composition layer (A) was used. A phosphor pattern was formed in the same manner as in Example 1, except that
The state of formation of the obtained phosphor pattern was evaluated, and the results are shown in Table 9.
【0120】比較例1 実施例1において、(B)感光性の熱可塑性樹脂層を含
むフィルム(B−1)を使用しなかった以外は、実施例
1と同様にして、蛍光体パターンを形成し、得られた蛍
光体パターンの形成状況を評価し、結果を表9に示し
た。Comparative Example 1 A phosphor pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that the film (B-1) containing the photosensitive thermoplastic resin layer (B) in Example 1 was not used. Then, the formation state of the obtained phosphor pattern was evaluated, and the results are shown in Table 9.
【0121】比較例2 実施例1において、(B)感光性の熱可塑性樹脂層を含
むフィルム(B−1)に代えて、熱可塑性樹脂層を含む
フィルム(B−2)とした以外は、実施例1と同様にし
て、蛍光体パターンを形成し、得られた蛍光体パターン
の形成状況を評価し、結果を表9に示した。Comparative Example 2 In the same manner as in Example 1, except that the film (B-1) containing the photosensitive thermoplastic resin layer (B) was replaced with the film (B-2) containing a thermoplastic resin layer. A phosphor pattern was formed in the same manner as in Example 1, and the formation state of the obtained phosphor pattern was evaluated. The results are shown in Table 9.
【0122】比較例3 実施例1において、(II)酸素を含む気体が(B)層の
上に存在する状態で、活性光線を像的に照射する工程
を、下記に示すように代えた以外は、実施例1と同様に
して、蛍光体パターンを形成し、得られた蛍光体パター
ンの形成状況を評価し、結果を表9に示した。 〔(II)酸素を含む気体が(B)層の上に存在する状態
で、活性光線を像的に照射する工程〕(B)感光性の熱
可塑性樹脂層を含むフィルム(B−1)のポリエチレン
テレフタレートフィルムを剥離せずに、ポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に、試験用フォトマスク(透明
ライン幅:150μm、マスクされるライン幅:480
μm)を密着させて、酸素を含む気体が(B)層の上に
存在する状態を与えずに、(株)オーク製作所製、HMW
−590型露光機を使用し、100mJ/cm2で活性光線を
像的に照射した。Comparative Example 3 In Example 1, except that the step of imagewise irradiating with actinic rays in the state where the gas containing oxygen (II) was present on the layer (B) was changed as shown below. In the same manner as in Example 1, a phosphor pattern was formed, the formation state of the obtained phosphor pattern was evaluated, and the results are shown in Table 9. [(II) Step of imagewise irradiating with actinic rays in a state where a gas containing oxygen is present on the layer (B)] (B) of a film (B-1) containing a photosensitive thermoplastic resin layer On the polyethylene terephthalate film without peeling off the polyethylene terephthalate film, a test photomask (transparent line width: 150 μm, masked line width: 480
(Hmw) manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. without causing the gas containing oxygen to exist on the layer (B).
Image was irradiated with an actinic ray at 100 mJ / cm 2 using a -590 type exposure machine.
【0123】[0123]
【表9】 [Table 9]
【0124】〔多色の蛍光体パターンの作製〕 実施例5 実施例1における(I)〜(III)の工程を行って得ら
れた、1色目の赤色のパターンが形成された基板を用い
て、実施例3における(I)〜(III)の工程を行い、
2色目の青色のパターンを形成し、次いで、実施例4に
おける(I)〜(III)の工程を行い、3色目の緑色の
パターンを形成して多色のパターンを作製した。得られ
た多色のパターンの膜べり状況を、実体顕微鏡及びSE
Mにより目視にて観察した結果、膜べりは発生していな
いものであった。次に、得られた多色のパターンを、実
施例1における(IV)の工程を行い、多色の蛍光体パタ
ーンを作製した。得られた多色の蛍光体パターンを、E
DAX社製 PV9900型「エネルギー分散型X線分
析装置(XMA)」(加速電圧 20kV)を用いて、各
色毎に、蛍光体の組成を測定し、混色の有無を確認した
結果、混色は見られなかった。[Preparation of Multicolor Phosphor Pattern] Example 5 Using the substrate on which the red pattern of the first color is obtained, which is obtained by performing the steps (I) to (III) in Example 1. The steps (I) to (III) in Example 3 are performed,
A second-color blue pattern was formed, and then the steps (I) to (III) in Example 4 were performed to form a third-color green pattern to prepare a multicolor pattern. The state of the resulting multi-colored film slippage was confirmed by a stereoscopic microscope and SE.
As a result of visual observation with M, no film slippage occurred. Next, the obtained multicolor pattern was subjected to the step (IV) in Example 1 to prepare a multicolor phosphor pattern. The obtained multicolor phosphor pattern is
Using the DAX PV9900 type “energy dispersive X-ray analyzer (XMA)” (accelerating voltage 20 kV), the composition of the phosphor was measured for each color, and the presence or absence of color mixing was confirmed. There wasn't.
【0125】比較例4 実施例5において、(B)感光性の熱可塑性樹脂層を含
むフィルム(B−1)に代えて、熱可塑性樹脂層を含む
フィルム(B−2)とした以外は、実施例5と同様にし
て、多色のパターンを作製し、得られた多色のパターン
の膜べり状況を、実施例5と同様にして観察した結果、
膜べりが発生していた。また、得られた多色のパターン
を、実施例5と同様にして、多色の蛍光体パターンを作
製し、得られた多色の蛍光体パターンを、実施例5と同
様にして混色の有無を確認した結果、混色が見られた。Comparative Example 4 In Example 5, except that the film (B-1) containing a photosensitive thermoplastic resin layer (B) was replaced with a film (B-2) containing a thermoplastic resin layer. A multicolor pattern was prepared in the same manner as in Example 5, and the film slippage of the obtained multicolor pattern was observed in the same manner as in Example 5, as a result,
Membrane slip had occurred. Further, the obtained multicolored phosphor pattern was prepared in the same manner as in Example 5 to prepare a multicolored phosphor pattern, and the obtained multicolored phosphor pattern was prepared in the same manner as in Example 5 to determine whether or not there is color mixing. As a result, the mixed color was observed.
【0126】表9の結果から、(B)感光性の熱可塑性
樹脂層を含むフィルムを使用しなかった比較例1は、
(B)感光性の熱可塑性樹脂層を含むフィルムを使用し
た、実施例1〜4と比較して、PDP用基板の空間(凹
部内面)における蛍光体パターンの形成性(PDP用基
板のバリアリブ面及び基板面上への埋め込み性)が劣る
ことがわかる。また、(A)感光性樹脂組成物層及び
(B)感光性の熱可塑性樹脂層をPDP用基板の空間に
埋め込んだ後、酸素を含む気体が(B)層の上に存在す
る状態を与えずに、活性光線を像的に照射した比較例3
は、酸素を含む気体が(B)層の上に存在する状態を与
えて、活性光線を像的に照射した実施例1〜4と比較し
て、凹部内面以外に蛍光体パターンがはみ出した状態
(図6の状態)となり、蛍光体パターンの形成性が劣る
ことがわかる。From the results of Table 9, Comparative Example 1 in which (B) the film containing the photosensitive thermoplastic resin layer was not used,
(B) Formability of a phosphor pattern in a space (inner surface of a recess) of a PDP substrate (a barrier rib surface of the PDP substrate, as compared with Examples 1 to 4 using a film containing a photosensitive thermoplastic resin layer) And the embeddability on the substrate surface) is poor. Further, after embedding the (A) photosensitive resin composition layer and the (B) photosensitive thermoplastic resin layer in the space of the PDP substrate, a state in which a gas containing oxygen is present on the (B) layer is given. Comparative Example 3 in which actinic rays were imagewise irradiated without
Is a state in which a phosphor pattern is projected to other than the inner surface of the recess as compared with Examples 1 to 4 in which a gas containing oxygen is present on the (B) layer and imagewise irradiation with actinic rays is performed. (The state of FIG. 6) is obtained, and it can be seen that the phosphor pattern forming property is inferior.
【0127】以上の結果から、(B)感光性の熱可塑性
樹脂層を含むフィルムを使用した実施例5は、各色毎の
PDP用基板の空間(凹部内面)における蛍光体パター
ンの形成性(PDP用基板のバリアリブ面及び基板面上
への埋め込み性)が良好であり、膜べりの発生も無く、
多色の蛍光体パターンを形成した場合に、混色の発生も
無いものであった。また、(B)感光性の熱可塑性樹脂
層を含むフィルムに代えて、熱可塑性樹脂層を含むフィ
ルム(B−2)を使用した比較例2及び比較例4から、
PDP用基板の空間における蛍光体パターンの形成性
(PDP用基板のバリアリブ壁面及び空間底面上への埋
め込み性)は良好であったが、膜べりが発生し、多色の
蛍光体パターンを形成した場合に、混色が発生するもの
であることがわかった。From the above results, in Example 5 in which (B) the film containing the photosensitive thermoplastic resin layer was used, the phosphor pattern forming property (PDP) in the space (inner surface of the recess) of the PDP substrate for each color was determined. The embedding property on the barrier rib surface and the substrate surface of the substrate for use is good, and there is no film slippage.
When a multicolor phosphor pattern was formed, no color mixture occurred. Further, from Comparative Example 2 and Comparative Example 4 in which the film (B-2) including the thermoplastic resin layer was used instead of the film (B) including the photosensitive thermoplastic resin layer,
The formability of the phosphor pattern in the space of the PDP substrate (fillability on the barrier rib wall surface and space bottom of the PDP substrate) was good, but film slippage occurred and a multicolor phosphor pattern was formed. In some cases, it has been found that color mixing occurs.
【0128】[0128]
【発明の効果】請求項1記載の蛍光体パターンの製造法
は、PDP用基板等の凹凸を有する基板の空間への埋め
込み性(PDP用基板のバリアリブ壁面及び基板面上に
おける蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層の形成性)
が優れ、混色を防止し、凹部内面のみに高精度で均一な
形状の蛍光体パターンを裕度をもって形成できる。請求
項2記載の蛍光体パターンの製造法は、請求項1記載の
蛍光体パターンの製造法の効果を奏し、さらに作業性及
び膜べりの抑制に優れる。請求項3記載の蛍光体パター
ンの製造法は、請求項1又は2記載の蛍光体パターンの
製造法の効果を奏し、より作業性に優れる。請求項4記
載の蛍光体パターンの製造法は、請求項1、2又は3記
載の蛍光体パターンの製造法の効果を奏し、より作業性
に優れる。請求項5記載の蛍光体パターンの製造法は、
請求項1、2、3又は4記載の蛍光体パターンの製造法
の効果を奏し、より作業性に優れる。According to the method of manufacturing a phosphor pattern according to the first aspect of the present invention, the embedding property in a space of a substrate having projections and depressions such as a PDP substrate (containing the phosphor on the barrier rib wall surface and the substrate surface of the PDP substrate is contained. Formability of photosensitive resin composition layer)
In addition, it is possible to prevent color mixture and form a highly accurate and uniform shape phosphor pattern with a margin only on the inner surface of the recess. The method for manufacturing a phosphor pattern according to claim 2 has the effects of the method for manufacturing a phosphor pattern according to claim 1, and is excellent in workability and suppression of film slippage. The method for manufacturing a phosphor pattern according to claim 3 has the effects of the method for manufacturing a phosphor pattern according to claim 1 or 2, and is more excellent in workability. The method for manufacturing a phosphor pattern according to claim 4 has the effects of the method for manufacturing a phosphor pattern according to claim 1, 2 or 3, and is more excellent in workability. The method for manufacturing a phosphor pattern according to claim 5,
The effect of the method for producing a phosphor pattern according to claim 1, 2, 3 or 4 is exhibited, and the workability is further improved.
【図1】バリアリブが形成されたPDP用基板の一例を
示した模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing an example of a PDP substrate on which barrier ribs are formed.
【図2】バリアリブが形成されたPDP用基板の一例を
示した模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing an example of a PDP substrate on which barrier ribs are formed.
【図3】本発明における(A)感光性樹脂組成物を密着
させる凹部内面を示した模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing an inner surface of a recess to which the (A) photosensitive resin composition of the present invention is adhered.
【図4】本発明の蛍光体パターンの製造法の各工程を示
した模式図である。FIG. 4 is a schematic view showing each step of the method for producing a phosphor pattern of the present invention.
【図5】本発明の蛍光体パターンの製造法の各工程を示
した模式図である。FIG. 5 is a schematic view showing each step of the method for producing a phosphor pattern of the present invention.
【図6】本発明の(II)工程において、酸素により光硬
化を不充分とする度合が良好でない場合に、(III)工
程を行なった後の状態を示した模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing a state after performing step (III) in the step (II) of the present invention when the degree of insufficient photocuring by oxygen is not good.
【図7】蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層からなる
多色パターンを形成した状態を示した模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram showing a state in which a multicolor pattern composed of a photosensitive resin composition layer containing a phosphor is formed.
【図8】多色の蛍光体パターンを形成した状態を示した
模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing a state in which a multicolor phosphor pattern is formed.
1 …基板 2 …バリアリブ 3 …格子状放電空間 4 …ストライプ状放電空間 5 …凹部内面 6 …感光性樹脂組成物層 6′…光硬化後の感光性樹脂組成物層 6′a…1色目のパターン 6′b…2色目のパターン 6′c…3色目のパターン 7 …感光性の熱可塑性樹脂層 7′…光硬化後の感光性の熱可塑性樹脂層 8 …加熱ロール 9 …スペーサー 10 …フォトマスク 11 …活性光線 12 …蛍光体パターン 12a…1色目の蛍光体パターン 12b…2色目の蛍光体パターン 12c…3色目の蛍光体パターン 13 …不要部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Barrier rib 3 ... Lattice discharge space 4 ... Stripe discharge space 5 ... Recess inner surface 6 ... Photosensitive resin composition layer 6 '... Photocurable photosensitive resin composition layer 6'a ... 1st color Pattern 6'b ... 2nd color pattern 6'c ... 3rd color pattern 7 ... Photosensitive thermoplastic resin layer 7 '... Photocurable photosensitive thermoplastic resin layer 8 ... Heating roll 9 ... Spacer 10 ... Photo Mask 11 ... Actinic ray 12 ... Phosphor pattern 12a ... First color phosphor pattern 12b ... Second color phosphor pattern 12c ... Third color phosphor pattern 13 ... Unnecessary part
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01J 9/227 H01J 9/227 C // C08F 20/20 MMV C08F 20/20 MMV (72)発明者 和田 有美子 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 田井 誠司 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical indication H01J 9/227 H01J 9/227 C // C08F 20/20 MMV C08F 20/20 MMV (72) Invention Yumiko Wada 4-13-1, Higashimachi, Hitachi, Ibaraki Prefecture Ibaraki Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd. (72) Seiji Tai, 4-13-1, Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Hitachi Chemical Co., Ltd.
Claims (5)
(d)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層の上に
(B)感光性の熱可塑性樹脂層が配置された状態で、
(B)層を加熱圧着する工程、 (II)酸素を含む気体が(B)層の上に存在する状態
で、活性光線を像的に照射する工程、 (III)現像により不要部を除去する工程及び (IV)焼成により不要分を除去する工程 の各工程を含むことを特徴とする蛍光体パターンの製造
法。1. (I) On a substrate having irregularities, (A)
(D) In a state where the photosensitive thermoplastic resin layer (B) is disposed on the photosensitive resin composition layer containing the phosphor,
(B) a step of thermocompression-bonding the layer, (II) a step of imagewise irradiating an actinic ray with a gas containing oxygen on the (B) layer, (III) removing unnecessary portions by development And a step of (IV) removing unnecessary components by firing, which is a method for producing a phosphor pattern.
て、赤、緑及び青に発色する蛍光体を含有する感光性樹
脂組成物層からなる多色のパターンを形成した後、(I
V)の工程を行ない多色の蛍光体パターンを形成する請
求項1記載の蛍光体パターンの製造法。2. After the steps (I) to (III) are repeated to form a multicolored pattern composed of a photosensitive resin composition layer containing a phosphor that emits red, green and blue, ( I
The method for producing a phosphor pattern according to claim 1, wherein the step V) is performed to form a multicolor phosphor pattern.
ルム性付与ポリマ、(b)末端にエチレン性不飽和基を
有する光重合性不飽和化合物、(c)活性光の照射によ
り遊離ラジカルを生成し、かつ生成した遊離ラジカルが
酸素により失活しやすい光開始剤及び(d)蛍光体を含
むものである請求項1又は2記載の蛍光体パターンの製
造法。3. A photosensitive resin composition layer (A), (a) a film property imparting polymer, (b) a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at the end, and (c) irradiation with active light. 3. The method for producing a phosphor pattern according to claim 1, wherein a free radical is generated by the method described above, and the generated free radical contains a photoinitiator which is easily deactivated by oxygen and (d) the phosphor.
熱可塑性樹脂、(f)末端にエチレン性不飽和基を有す
る光重合性不飽和化合物及び(g)活性光の照射により
遊離ラジカルを生成し、かつ生成した遊離ラジカルが酸
素により失活しやすい光開始剤を含むものである請求項
1、2又は3記載の蛍光体パターンの製造法。4. The (B) photosensitive thermoplastic resin layer comprises (e)
Thermoplastic resin, (f) photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group, and (g) light that generates free radicals by irradiation with active light, and the generated free radicals are easily deactivated by oxygen The method for producing a phosphor pattern according to claim 1, 2 or 3, which comprises an initiator.
程において、(A)層及び(B)層が、同一の現像液を
使用して現像する請求項1、2、3又は4記載の蛍光体
パターンの製造法。5. The method according to claim 1, wherein the layer (A) and the layer (B) are developed using the same developing solution in the step (III) of removing the unnecessary portion by development. Method for manufacturing phosphor pattern.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7552996A JPH09265183A (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Production of phosphor pattern |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7552996A JPH09265183A (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Production of phosphor pattern |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09265183A true JPH09265183A (en) | 1997-10-07 |
Family
ID=13578852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7552996A Pending JPH09265183A (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Production of phosphor pattern |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09265183A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111584508A (en) * | 2020-05-13 | 2020-08-25 | Tcl华星光电技术有限公司 | Organic insulating film and display panel |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP7552996A patent/JPH09265183A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111584508A (en) * | 2020-05-13 | 2020-08-25 | Tcl华星光电技术有限公司 | Organic insulating film and display panel |
| WO2021227191A1 (en) * | 2020-05-13 | 2021-11-18 | Tcl华星光电技术有限公司 | Organic insulating film and display panel |
| CN111584508B (en) * | 2020-05-13 | 2024-02-27 | Tcl华星光电技术有限公司 | An organic insulating film and display panel |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6329111B1 (en) | Phosphor pattern, processes for preparing the same and photosensitive element to be used for the same | |
| JPH1062980A (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive element and production of phosphor pattern using same | |
| JPH09265184A (en) | Photosensitive element and production of phosphor pattern formed by using the same | |
| JPH09288974A (en) | Manufacture of phosphor pattern, phosphor pattern, and back plate for plasma display panel | |
| JPH09265183A (en) | Production of phosphor pattern | |
| JPH09265181A (en) | Production of phosphor pattern | |
| JPH10198026A (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, and method for producing phosphor pattern using the same | |
| JPH10228103A (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, method for producing phosphor pattern, phosphor pattern using the same, and back plate for plasma display panel | |
| JPH09265182A (en) | Photosensitive element and production of phosphor pattern formed by using the same | |
| JPH0961996A (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive element, and production of back plate of plasma display | |
| JP3473001B2 (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive film using the same, and method for producing fluorescent pattern | |
| JPH09199030A (en) | Photosensitive element and manufacture of phosphor pattern using the photosensitive element | |
| JPH1092312A (en) | Photosensitive element, manufacture of phosphor pattern using the same, phosphor pattern, and rear face plate for plasma display panel | |
| JPH1195420A (en) | Production of rear surface plate for plasma display panel | |
| JPH09199027A (en) | Manufacture of phosphor pattern | |
| JP3925749B2 (en) | Lamination method, laminating apparatus, phosphor pattern manufacturing method, phosphor pattern, and back plate for plasma display panel | |
| JPH11165366A (en) | Manufacturing method of phosphor pattern | |
| JPH09265906A (en) | Manufacture of phosphor pattern, phosphor pattern and back plate for plasma display panel | |
| JPH11242327A (en) | Photosensitive element, its production, production of phosphor pattern using photosensitive element, phosphor pattern, and back plate for plasma display panel | |
| JP2000315455A (en) | Manufacture for phosphor pattern | |
| JPH1092313A (en) | Manufacture of phosphor pattern, photosensitive element used for the same, phosphor pattern, and rear face panel for plasma display panel | |
| JPH09125056A (en) | Surface-treated phosphor and method for producing the same | |
| JP3952525B2 (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive film using the same, method for producing fluorescent pattern, and method for producing back plate for plasma display panel using this method | |
| JPH1140056A (en) | Manufacture of phosphor pattern, phosphor pattern, and back plate for plasma display panel | |
| JPH10274846A (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, and production of phosphor pattern by using them |