JPH09266335A - Ｃｏレーザー装置 - Google Patents
Ｃｏレーザー装置Info
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- JPH09266335A JPH09266335A JP7370496A JP7370496A JPH09266335A JP H09266335 A JPH09266335 A JP H09266335A JP 7370496 A JP7370496 A JP 7370496A JP 7370496 A JP7370496 A JP 7370496A JP H09266335 A JPH09266335 A JP H09266335A
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 40
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 4
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 2
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 常温冷却タイプのＣＯレーザー装置であって
も、長時間の稼動を可能とする。 【解決手段】 レーザーガスは、レーザーガス流路６を
介して、放電部１，冷却部４，送風機５を循環送給され
る。冷却部４は水冷型の冷却器であり、レーザガスを常
温にまで冷却する。放電部１と冷却部４との間は、２系
統の分岐流路６ａ，６ｂに分岐しており、各分岐流路６
ａ，６ｂにはそれぞれＣＯ2 除去部８ａ,８ｂを介装し
ており、各ＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂには、ヒータ９ａ,
９ｂが備えられるとともに、真空ポンプ１０が連結され
ている。レーザーガス中のＣＯ2 の吸着除去は、ＣＯ2
除去部８ａ，８ｂが交互に行う。しかも、ＣＯ2 除去部
８ａ , ８ｂのうち、一方で吸着除去をおこなっている間
に、他方は真空引きと加熱により再生するようにしたの
で、レーザー装置全体を停止することなく、長時間の連
続稼動ができる。
も、長時間の稼動を可能とする。 【解決手段】 レーザーガスは、レーザーガス流路６を
介して、放電部１，冷却部４，送風機５を循環送給され
る。冷却部４は水冷型の冷却器であり、レーザガスを常
温にまで冷却する。放電部１と冷却部４との間は、２系
統の分岐流路６ａ，６ｂに分岐しており、各分岐流路６
ａ，６ｂにはそれぞれＣＯ2 除去部８ａ,８ｂを介装し
ており、各ＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂには、ヒータ９ａ,
９ｂが備えられるとともに、真空ポンプ１０が連結され
ている。レーザーガス中のＣＯ2 の吸着除去は、ＣＯ2
除去部８ａ，８ｂが交互に行う。しかも、ＣＯ2 除去部
８ａ , ８ｂのうち、一方で吸着除去をおこなっている間
に、他方は真空引きと加熱により再生するようにしたの
で、レーザー装置全体を停止することなく、長時間の連
続稼動ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種材料の加工等
に使用される常温冷却タイプのＣＯレーザー装置に関
し、特に出力安定性が高く長時間の連続動作が可能なよ
うに改良したものである。
に使用される常温冷却タイプのＣＯレーザー装置に関
し、特に出力安定性が高く長時間の連続動作が可能なよ
うに改良したものである。
【０００２】
【従来の技術】現在、各種材料の切断，溶接，表面処理
等を含むレーザー加工用の発振器、あるいはレーザーメ
ス等の医学応用へ適用する新しい発振器として、発振波
長が５μｍ帯のＣＯレーザー装置の開発が進められてい
る。ＣＯレーザーは、高出力，高効率動作が可能なばか
りでなく、短波長でビーム品質も良いという特長を有し
ている。
等を含むレーザー加工用の発振器、あるいはレーザーメ
ス等の医学応用へ適用する新しい発振器として、発振波
長が５μｍ帯のＣＯレーザー装置の開発が進められてい
る。ＣＯレーザーは、高出力，高効率動作が可能なばか
りでなく、短波長でビーム品質も良いという特長を有し
ている。
【０００３】ここで、図２を参照して従来のＣＯレーザ
ー装置の基本構成を説明する。図２において、放電部１
はＣＯ分子を含むレーザーガスに高電圧を印加して放電
を発生させ、励起を行わせる。レーザー共振器２は、励
起光を共振させレーザー光を矢印３方向に出力する。冷
却器４は、循環送風されるレーザーガスを冷却する。送
風機５は、レーザーガスを矢印７方向に循環送風する。
そして、放電部１, 冷却器４, 送風機５は、レーザーガ
ス流路６によりそれぞれ連結されている。
ー装置の基本構成を説明する。図２において、放電部１
はＣＯ分子を含むレーザーガスに高電圧を印加して放電
を発生させ、励起を行わせる。レーザー共振器２は、励
起光を共振させレーザー光を矢印３方向に出力する。冷
却器４は、循環送風されるレーザーガスを冷却する。送
風機５は、レーザーガスを矢印７方向に循環送風する。
そして、放電部１, 冷却器４, 送風機５は、レーザーガ
ス流路６によりそれぞれ連結されている。
【０００４】次に、動作原理について説明する。ＣＯ分
子は、放電部１において、放電により発生した電子と衝
突して電子の運動エネルギーを受取り、受け取ったエネ
ルギーを分子の振動エネルギーとして蓄える。この振動
エネルギーは光に変換され、変換された光は、レーザー
共振器２の作用により増幅されて発振を起こし、そのエ
ネルギーの一部がレーザー光として外部に出力される。
残った電子の運動エネルギーの大半は、レーザーガスの
加熱に費やされる。
子は、放電部１において、放電により発生した電子と衝
突して電子の運動エネルギーを受取り、受け取ったエネ
ルギーを分子の振動エネルギーとして蓄える。この振動
エネルギーは光に変換され、変換された光は、レーザー
共振器２の作用により増幅されて発振を起こし、そのエ
ネルギーの一部がレーザー光として外部に出力される。
残った電子の運動エネルギーの大半は、レーザーガスの
加熱に費やされる。
【０００５】ＣＯレーザーは、その緩和機構上、レーザ
ーガスを低温にするほど動作効率が向上する。このた
め、冷却器４として、液体窒素やフレオンなど極低温冷
媒を冷媒とした冷凍機を採用することが多い。そして、
このタイプの冷却器４により、熱を取り除くと共に、レ
ーザーガスを冷却している。この時、例えば液体窒素冷
媒は、その温度が−１９０℃と低温であるので、ＣＯ2
分子のみが、冷却器４の冷却管壁等において凝固して取
り除かれる。このため、一時的にＣＯ2 濃度が抑えられ
る。ＣＯ2 が除去され、冷却されたレーザーガスは、送
風機５により循環された後、再び放電部１に導入され、
レーザー発振に寄与する。
ーガスを低温にするほど動作効率が向上する。このた
め、冷却器４として、液体窒素やフレオンなど極低温冷
媒を冷媒とした冷凍機を採用することが多い。そして、
このタイプの冷却器４により、熱を取り除くと共に、レ
ーザーガスを冷却している。この時、例えば液体窒素冷
媒は、その温度が−１９０℃と低温であるので、ＣＯ2
分子のみが、冷却器４の冷却管壁等において凝固して取
り除かれる。このため、一時的にＣＯ2 濃度が抑えられ
る。ＣＯ2 が除去され、冷却されたレーザーガスは、送
風機５により循環された後、再び放電部１に導入され、
レーザー発振に寄与する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上のように構成され
たＣＯレーザー装置では、放電部１において所望の励起
反応の他、種々のプラズマ化学反応が誘起され、以下に
示す反応によりＣＯ2 分子が生成され、レーザーガス中
のＣＯ2 濃度が上昇する。 ＣＯ＋ＣＯ→ＣＯ2 ＋Ｃ ＣＯ＋Ｏ2 →ＣＯ2 ＋１／２Ｏ2
たＣＯレーザー装置では、放電部１において所望の励起
反応の他、種々のプラズマ化学反応が誘起され、以下に
示す反応によりＣＯ2 分子が生成され、レーザーガス中
のＣＯ2 濃度が上昇する。 ＣＯ＋ＣＯ→ＣＯ2 ＋Ｃ ＣＯ＋Ｏ2 →ＣＯ2 ＋１／２Ｏ2
【０００７】ＣＯ2 分子は、励起状態のＣＯ分子と衝突
してその振動エネルギーを熱化させることによって失活
させてしまう他、放電維持電圧を上昇させ励起条件を不
適正化したり放電を不安定化させたりする等の悪影響を
およぼす。このため、ＣＯ2濃度が許容値以上に上昇す
ると、レーザー出力の低下や不安定化を招き、長時間の
動作ができないという欠点がある。
してその振動エネルギーを熱化させることによって失活
させてしまう他、放電維持電圧を上昇させ励起条件を不
適正化したり放電を不安定化させたりする等の悪影響を
およぼす。このため、ＣＯ2濃度が許容値以上に上昇す
ると、レーザー出力の低下や不安定化を招き、長時間の
動作ができないという欠点がある。
【０００８】従来は、冷却器４の冷媒として液体窒素等
の極低温冷媒を用いていたので、ＣＯ2 分子は、冷却器
４の冷却管壁等において凝固することで取り除かれる。
しかし、常温タイプのＣＯレーザー装置では、放電によ
り加熱され温度上昇したレーザーガスを、冷却してその
温度を再び常温に戻すだけなので、水冷の冷却器を採用
することになる。
の極低温冷媒を用いていたので、ＣＯ2 分子は、冷却器
４の冷却管壁等において凝固することで取り除かれる。
しかし、常温タイプのＣＯレーザー装置では、放電によ
り加熱され温度上昇したレーザーガスを、冷却してその
温度を再び常温に戻すだけなので、水冷の冷却器を採用
することになる。
【０００９】ところで、水温では、ＣＯ2 分子は凝固せ
ず除去されない。そこで、常温タイプのＣＯレーザー装
置では、ＣＯ2 ガスを除去する装置を設置することが必
要になる。つまり、レーザーガス流路６に、吸着剤を備
えたＣＯ2 除去部を設けている。しかし、運転を継続し
ていくと吸着剤に吸着するＣＯ2 が飽和していき、ＣＯ
2 除去能力が低下してくるという問題があった。このよ
うにＣＯ2 除去能力が低下して、レーザーガス中のＣＯ
2 濃度が上昇してくると、前述したように、レーザー出
力の低下や不安定化を招いてしまう。
ず除去されない。そこで、常温タイプのＣＯレーザー装
置では、ＣＯ2 ガスを除去する装置を設置することが必
要になる。つまり、レーザーガス流路６に、吸着剤を備
えたＣＯ2 除去部を設けている。しかし、運転を継続し
ていくと吸着剤に吸着するＣＯ2 が飽和していき、ＣＯ
2 除去能力が低下してくるという問題があった。このよ
うにＣＯ2 除去能力が低下して、レーザーガス中のＣＯ
2 濃度が上昇してくると、前述したように、レーザー出
力の低下や不安定化を招いてしまう。
【００１０】吸着するＣＯ2 が飽和したときには、レー
ザー装置の稼動を一旦停止して、レーザーガスの循環送
給を停止した状態で、ＣＯ2 除去部に吸着しているＣＯ
2 を取り除いて再生をする作業をしなければならない。
このような再生作業をするたびに稼動を停止しなければ
ならないため、従来では、長時間の連続稼動はできなか
った。
ザー装置の稼動を一旦停止して、レーザーガスの循環送
給を停止した状態で、ＣＯ2 除去部に吸着しているＣＯ
2 を取り除いて再生をする作業をしなければならない。
このような再生作業をするたびに稼動を停止しなければ
ならないため、従来では、長時間の連続稼動はできなか
った。
【００１１】本発明は、上記従来技術に鑑み、常温冷却
タイプのＣＯレーザー装置であっても、長時間の連続稼
動ができるＣＯレーザー装置を提供することを目的とす
る。
タイプのＣＯレーザー装置であっても、長時間の連続稼
動ができるＣＯレーザー装置を提供することを目的とす
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、ＣＯを含むレーザーガスの放電によってレ
ーザー光を発生する放電部及びレーザー共振器と、この
放電部から流出したレーザーガスを冷却する冷却器と、
前記放電部と前記冷却器とを連結してレーザーガスを循
環させるレーザーガス流路とを備えたＣＯレーザー装置
において、前記レーザーガス流路の途中に、レーザーガ
ス中のＣＯ2 を吸着によって除去するＣＯ2 除去部を設
けたことを特徴とする。
明の構成は、ＣＯを含むレーザーガスの放電によってレ
ーザー光を発生する放電部及びレーザー共振器と、この
放電部から流出したレーザーガスを冷却する冷却器と、
前記放電部と前記冷却器とを連結してレーザーガスを循
環させるレーザーガス流路とを備えたＣＯレーザー装置
において、前記レーザーガス流路の途中に、レーザーガ
ス中のＣＯ2 を吸着によって除去するＣＯ2 除去部を設
けたことを特徴とする。
【００１３】また本発明の構成は、ＣＯを含むレーザー
ガスの放電によってレーザー光を発生する放電部及びレ
ーザー共振器と、この放電部から流出したレーザーガス
を冷却する冷却器と、前記放電部と前記冷却器とを連結
してレーザーガスを循環させるレーザーガス流路とを備
えたＣＯレーザー装置において、前記レーザーガス流路
の途中には、レーザーガスを並行して送給できるように
複数に分岐した分岐流路を形成し、各分岐流路には、そ
れぞれ、レーザーガス中のＣＯ2 を吸着によって除去す
るＣＯ2 除去部と、各ＣＯ2 除去部の入力側および出力
側にて分岐流路を開閉するバルブとを備え、さらに、他
のバルブを介して各ＣＯ2 除去部を真空引きする真空ポ
ンプを備えたことを特徴とする。なお、除去能力を向上
させるため、前記各ＣＯ2 除去部にヒータを備えるよう
にしてもよい。
ガスの放電によってレーザー光を発生する放電部及びレ
ーザー共振器と、この放電部から流出したレーザーガス
を冷却する冷却器と、前記放電部と前記冷却器とを連結
してレーザーガスを循環させるレーザーガス流路とを備
えたＣＯレーザー装置において、前記レーザーガス流路
の途中には、レーザーガスを並行して送給できるように
複数に分岐した分岐流路を形成し、各分岐流路には、そ
れぞれ、レーザーガス中のＣＯ2 を吸着によって除去す
るＣＯ2 除去部と、各ＣＯ2 除去部の入力側および出力
側にて分岐流路を開閉するバルブとを備え、さらに、他
のバルブを介して各ＣＯ2 除去部を真空引きする真空ポ
ンプを備えたことを特徴とする。なお、除去能力を向上
させるため、前記各ＣＯ2 除去部にヒータを備えるよう
にしてもよい。
【００１４】本発明では、ベーキング用ヒーターを設け
たＣＯ2 除去部を２個並列に設置して、片方ずつ使用
し、ＣＯ2 が飽和状態になれば、もう一方に切り替え、
その間にベーキングしながら真空ポンプによりＣＯ2 の
除去を行い、次の稼働に備える。
たＣＯ2 除去部を２個並列に設置して、片方ずつ使用
し、ＣＯ2 が飽和状態になれば、もう一方に切り替え、
その間にベーキングしながら真空ポンプによりＣＯ2 の
除去を行い、次の稼働に備える。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づき詳細に説明する。なお、従来技術と同一機能を
果たす部分には同一符号を付し、重複する説明は省略す
る。
に基づき詳細に説明する。なお、従来技術と同一機能を
果たす部分には同一符号を付し、重複する説明は省略す
る。
【００１６】図１は本発明の実施の形態を示す。同図に
おいて、１は放電部、２はレーザー共振器、４は水冷タ
イプの冷却器、５は送風機、６はレーザーガス流路であ
り、これら部材は従来の技術と同様なものである。
おいて、１は放電部、２はレーザー共振器、４は水冷タ
イプの冷却器、５は送風機、６はレーザーガス流路であ
り、これら部材は従来の技術と同様なものである。
【００１７】本実施の形態では、放電部１と冷却器４と
の間のレーザーガス流路６は、レーザーガスを並行して
送給することができるように２系統に分岐した分岐流路
６ａ , ６ｂとなっている。
の間のレーザーガス流路６は、レーザーガスを並行して
送給することができるように２系統に分岐した分岐流路
６ａ , ６ｂとなっている。
【００１８】各分岐流路６ａ, ６ｂには、それぞれＣＯ
2 除去部８ａ, ８ｂを介装している。このＣＯ2 除去部
８ａ, ８ｂは、レーザーガスに含まれているＣＯ2 を物
理的な吸着作用によって分離する機能を有するものであ
り、天然ゼオライトまたは合成ゼオライトのような吸着
剤を使用している。
2 除去部８ａ, ８ｂを介装している。このＣＯ2 除去部
８ａ, ８ｂは、レーザーガスに含まれているＣＯ2 を物
理的な吸着作用によって分離する機能を有するものであ
り、天然ゼオライトまたは合成ゼオライトのような吸着
剤を使用している。
【００１９】また、各分岐流路６ａ, ６ｂには、ＣＯ2
除去部８ａ, ８ｂの入口側（放電部１側）および出口側
（冷却器４側）にて分岐流路６ａ, ６ｂを開閉するため
の、バルブ１１ａ, １１ｂおよびバルブ１２ａ, １２ｂ
を備えている。更に、ＣＯ2除去部８ａ, ８ｂにはベー
キング用のヒータ９ａ, ９ｂを備えている。
除去部８ａ, ８ｂの入口側（放電部１側）および出口側
（冷却器４側）にて分岐流路６ａ, ６ｂを開閉するため
の、バルブ１１ａ, １１ｂおよびバルブ１２ａ, １２ｂ
を備えている。更に、ＣＯ2除去部８ａ, ８ｂにはベー
キング用のヒータ９ａ, ９ｂを備えている。
【００２０】一台の真空ポンプ１０は、バルブ１３ａ,
１３ｂを介してＣＯ2 除去部８ａ,８ｂに連結されてい
る。
１３ｂを介してＣＯ2 除去部８ａ,８ｂに連結されてい
る。
【００２１】放電部１において、レーザーガス（例えば
ＣＯ／Ｎ2 ／Ｈｅ／Ｏ2 の４種混合ガス）に放電を発生
させると、前述したプラズマ化学反応によりＣＯ2 が生
成される。したがって、レーザーガスはＣＯ2 を含有し
た状態でＣＯ2 除去部８ａ,８ｂに到達してＣＯ2 が除
去され、冷却器４に導入される。ＣＯ2 除去部８ａ,８
ｂに備えた吸着剤は、ＣＯ2 に対する選択的な吸着性を
有するため、ガス中のＣＯ2 のみが吸着除去され、その
他のガス成分、例えばＣＯ, Ｎ2 , Ｈｅ, Ｏ2はそのま
まＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂを通過して冷却器４に導入さ
れ、ついで送風機５の作用により、放電部１に再び供給
される。ただし、本実施の形態では、後述するように、
２つのＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂを交互に稼動するように
している。
ＣＯ／Ｎ2 ／Ｈｅ／Ｏ2 の４種混合ガス）に放電を発生
させると、前述したプラズマ化学反応によりＣＯ2 が生
成される。したがって、レーザーガスはＣＯ2 を含有し
た状態でＣＯ2 除去部８ａ,８ｂに到達してＣＯ2 が除
去され、冷却器４に導入される。ＣＯ2 除去部８ａ,８
ｂに備えた吸着剤は、ＣＯ2 に対する選択的な吸着性を
有するため、ガス中のＣＯ2 のみが吸着除去され、その
他のガス成分、例えばＣＯ, Ｎ2 , Ｈｅ, Ｏ2はそのま
まＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂを通過して冷却器４に導入さ
れ、ついで送風機５の作用により、放電部１に再び供給
される。ただし、本実施の形態では、後述するように、
２つのＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂを交互に稼動するように
している。
【００２２】ここで、２つのＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂを
交互に稼動させる態様およびＣＯ2除去部８ａ, ８ｂの
再生の態様を説明する。例えば、ＣＯ2 除去部８ａにて
ＣＯ 2 の除去を行うときには、バルブ１１ａ, １２ａを
開としてＣＯ2 除去部８ａにレーザーガスを流通させこ
のＣＯ2 除去部８ａにてＣＯ2 の除去を行う。この時バ
ルブ１１ｂ, １２ｂ, １３ａを閉とし、かつ、バルブ１
３ｂを開として、ＣＯ 2 除去部８ｂの再生をする。再生
動作については、ＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂのいずれでも
同じ動作なので、後のＣＯ2 除去部８ａのところで説明
する。
交互に稼動させる態様およびＣＯ2除去部８ａ, ８ｂの
再生の態様を説明する。例えば、ＣＯ2 除去部８ａにて
ＣＯ 2 の除去を行うときには、バルブ１１ａ, １２ａを
開としてＣＯ2 除去部８ａにレーザーガスを流通させこ
のＣＯ2 除去部８ａにてＣＯ2 の除去を行う。この時バ
ルブ１１ｂ, １２ｂ, １３ａを閉とし、かつ、バルブ１
３ｂを開として、ＣＯ 2 除去部８ｂの再生をする。再生
動作については、ＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂのいずれでも
同じ動作なので、後のＣＯ2 除去部８ａのところで説明
する。
【００２３】ＣＯ2 除去部８ａにＣＯ2 がたまりＣＯ2
が飽和状態になったら、バルブ１１ｂ, １２ｂを開とし
てＣＯ2 除去部８ｂにレーザーガスを流通させこのＣＯ
2 除去部８ｂによるＣＯ2 の吸着除去を開始する。これ
と同時に、バルブ１１ａ, １２ａを閉としてＣＯ2 除去
部８ａによる吸着除去を停止するとともに、バルブ１３
ｂを閉としてバルブ１３ａを開とする。そして、ベーキ
ング用ヒータ９ａによりＣＯ2 除去部８ａを加熱しつ
つ、真空ポンプ１０によりＣＯ2 除去部８ａを真空引き
する。このようにすると、ＣＯ2 除去部８ａに吸着され
たＣＯ2 が真空引きにより除去され再生される。このと
き、ヒータ９ａにより加熱をしているので、真空引きの
効率がさらに向上する。ＣＯ2 除去部８ａの再生が完了
したら、ヒータ９ａによる加熱を停止するとともに、真
空ポンプ１０を停止させ、バルブ１３ａを閉として、Ｃ
Ｏ2 除去部８ａは次の稼動まで待機する。
が飽和状態になったら、バルブ１１ｂ, １２ｂを開とし
てＣＯ2 除去部８ｂにレーザーガスを流通させこのＣＯ
2 除去部８ｂによるＣＯ2 の吸着除去を開始する。これ
と同時に、バルブ１１ａ, １２ａを閉としてＣＯ2 除去
部８ａによる吸着除去を停止するとともに、バルブ１３
ｂを閉としてバルブ１３ａを開とする。そして、ベーキ
ング用ヒータ９ａによりＣＯ2 除去部８ａを加熱しつ
つ、真空ポンプ１０によりＣＯ2 除去部８ａを真空引き
する。このようにすると、ＣＯ2 除去部８ａに吸着され
たＣＯ2 が真空引きにより除去され再生される。このと
き、ヒータ９ａにより加熱をしているので、真空引きの
効率がさらに向上する。ＣＯ2 除去部８ａの再生が完了
したら、ヒータ９ａによる加熱を停止するとともに、真
空ポンプ１０を停止させ、バルブ１３ａを閉として、Ｃ
Ｏ2 除去部８ａは次の稼動まで待機する。
【００２４】ＣＯ2 除去部８ｂにＣＯ2 がたまり飽和状
態になったら、こんどは、ＣＯ2 除去部８ａによりＣＯ
2 の吸着除去をし、ＣＯ2 除去部８ｂの再生動作をす
る。このように、ＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂを交互に作動
させてＣＯ2 の吸着除去をさせ、吸着除去をしていない
方は再生をするようにしているため、再生動作のために
レーザー装置全体を停止させる必要がなく、連続的に稼
動ができる。
態になったら、こんどは、ＣＯ2 除去部８ａによりＣＯ
2 の吸着除去をし、ＣＯ2 除去部８ｂの再生動作をす
る。このように、ＣＯ2 除去部８ａ, ８ｂを交互に作動
させてＣＯ2 の吸着除去をさせ、吸着除去をしていない
方は再生をするようにしているため、再生動作のために
レーザー装置全体を停止させる必要がなく、連続的に稼
動ができる。
【００２５】
【発明の効果】以上実施の形態とともに具体的に説明し
たように、本発明によれば、レーザーガスを並行して送
給できる分岐流路を形成し、各分岐流路にＣＯ2 除去部
を備え、複数のＣＯ2 除去部を順次作動させてＣＯ2 の
除去をし、その間に、残りのＣＯ2 除去部の再生動作を
完了させるようにしているので、常温冷却タイプのレー
ザー装置であっても、レーザー装置全体の運転を停止す
ることなく、長時間の連続稼動が可能になる。
たように、本発明によれば、レーザーガスを並行して送
給できる分岐流路を形成し、各分岐流路にＣＯ2 除去部
を備え、複数のＣＯ2 除去部を順次作動させてＣＯ2 の
除去をし、その間に、残りのＣＯ2 除去部の再生動作を
完了させるようにしているので、常温冷却タイプのレー
ザー装置であっても、レーザー装置全体の運転を停止す
ることなく、長時間の連続稼動が可能になる。
【００２６】また、ＣＯ2 の除去のため、真空ポンプに
て真空引きするのみならず、ＣＯ2除去部をベーキング
用のヒータにて加熱するようにしているので、真空引き
の効率が向上する。
て真空引きするのみならず、ＣＯ2除去部をベーキング
用のヒータにて加熱するようにしているので、真空引き
の効率が向上する。
【図１】本発明の実施の形態を示す構成図。
【図２】従来技術を示す構成図。
１ 放電部 ２ レーザー共振器 ４ 冷却器 ５ 送風機 ６ レーザーガス流路 ６ａ, ６ｂ 分岐流路 ８ａ, ８ｂ ＣＯ2 除去部 ９ａ, ９ｂ ヒータ １０ 真空ポンプ １１ａ, １１ｂ, １２ａ, １２ｂ, １３ａ, １３ｂ バ
ルブ
ルブ
Claims (3)
- 【請求項１】 ＣＯを含むレーザーガスの放電によって
レーザー光を発生する放電部及びレーザー共振器と、こ
の放電部から流出したレーザーガスを冷却する冷却器
と、前記放電部と前記冷却器とを連結してレーザーガス
を循環させるレーザーガス流路とを備えたＣＯレーザー
装置において、 前記レーザーガス流路の途中に、レーザーガス中のＣＯ
2 を吸着によって除去するＣＯ2 除去部を設けたことを
特徴とするＣＯレーザー装置。 - 【請求項２】 ＣＯを含むレーザーガスの放電によって
レーザー光を発生する放電部及びレーザー共振器と、こ
の放電部から流出したレーザーガスを冷却する冷却器
と、前記放電部と前記冷却器とを連結してレーザーガス
を循環させるレーザーガス流路とを備えたＣＯレーザー
装置において、 前記レーザーガス流路の途中には、レーザーガスを並行
して送給できるように複数に分岐した分岐流路を形成
し、 各分岐流路には、それぞれ、レーザーガス中のＣＯ2 を
吸着によって除去するＣＯ2 除去部と、各ＣＯ2 除去部
の入力側および出力側にて分岐流路を開閉するバルブと
を備え、 さらに、他のバルブを介して各ＣＯ2 除去部を真空引き
する真空ポンプを備えたことを特徴とするＣＯレーザー
装置。 - 【請求項３】 ＣＯを含むレーザーガスの放電によって
レーザー光を発生する放電部及びレーザー共振器と、こ
の放電部から流出したレーザーガスを冷却する冷却器
と、前記放電部と前記冷却器とを連結してレーザーガス
を循環させるレーザーガス流路とを備えたＣＯレーザー
装置において、 前記レーザーガス流路の途中には、レーザーガスを並行
して送給できるように複数に分岐した分岐流路を形成
し、 各分岐流路には、それぞれ、レーザーガス中のＣＯ2 を
吸着によって除去するＣＯ2 除去部と、各ＣＯ2 除去部
の入力側および出力側にて分岐流路を開閉するバルブと
を備え、 前記各ＣＯ2 除去部にはヒータを備え、 さらに、他のバルブを介して各ＣＯ2 除去部を真空引き
する真空ポンプを備えたことを特徴とするＣＯレーザー
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7370496A JPH09266335A (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | Ｃｏレーザー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7370496A JPH09266335A (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | Ｃｏレーザー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09266335A true JPH09266335A (ja) | 1997-10-07 |
Family
ID=13525880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7370496A Withdrawn JPH09266335A (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | Ｃｏレーザー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09266335A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010092920A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Ebara Corp | 不純物を除去する不純物除去装置およびその運転方法 |
-
1996
- 1996-03-28 JP JP7370496A patent/JPH09266335A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010092920A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Ebara Corp | 不純物を除去する不純物除去装置およびその運転方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |