JPH09270600A - 実装済プリント基板自動検査装置 - Google Patents
実装済プリント基板自動検査装置Info
- Publication number
- JPH09270600A JPH09270600A JP9962196A JP9962196A JPH09270600A JP H09270600 A JPH09270600 A JP H09270600A JP 9962196 A JP9962196 A JP 9962196A JP 9962196 A JP9962196 A JP 9962196A JP H09270600 A JPH09270600 A JP H09270600A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light receiving
- circuit board
- printed circuit
- receiving elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
開口部を大きくするために受光部の高さを嵩高にする
と、反射光を検知する範囲が広がり弱くなった反射光を
多くの受光素子で受光することとなると、狭い範囲の強
い光を受光した場合と比べ、必然的に検知精度が低下す
ることとなり、また、開口部が大きくなったことで、受
光する光量は減少するにも係わらず、反射光は大きく変
化することになるといった問題があった。 【解決手段】 受光部Aの内面に装備される受光素子
9,9′が多段的に配置され、ビームの照射光の照射位
置に応じて検査対象からの反射光を受光する受光素子の
グループを切り分け制御するようにした実装済プリント
基板自動検査装置である。
Description
ザビームをプリント基板に実装された電子部品のリード
部に照射し、該リード部のプリント基板への半田付けが
正常に行われているか否かを検査するための実装済プリ
ント基板自動検査装置に関する。
装済プリント基板の検査装置として、本出願人は先に実
願昭62−5622号(実公平7−29483号公報)
を出願している。これは、図6に示すように、上部中央
に開口部A1 を形成した下部開放形のボックス状受光部
Aの内周面に多数の受光素子A2 を配置し、開口部A1
より入射されたレーザビームをプリント基板Pに実装さ
れた電子部品の半田面P1 に照射し、該半田面P1 から
の反射光を受光素子A2 で受光し、その受光した受光素
子の位置から反射光の角度を検出することにより、半田
面の形状を判定する提案を行った。
号(特公平86467号公報)において、Jリード(I
Cのリードが本体の下面側に折曲されたもの)を持つ電
子部品のように、従来の垂直光を基板に照射する方法で
は検知できない部品の下部に位置する半田状態を検査す
るため、図7に示すように前記ボックス状の受光部Aの
開口部A1 に四角錐鏡Mを取付け、この四角錐鏡Mでレ
ーザビームを屈折することによって傾斜ビームを作り、
Jリード下部の半田にレーザを照射する提案を行ってい
る。
者の従来例にあっては、受光部Aの開口部A1 を小さく
する必要がある。すなわち、レーザビームの掃引幅を大
きくしたいために開口部A1 の面積を大きくすると、反
射光b−b′の受光範囲が開口部A1 を大きくした分だ
け小さくなる。そこで、受光部Aの高さを図6の仮想線
で示す如く嵩高にし、開口部A1 を大きくしも受光範囲
が小さくならないようにすることが考えられる。
るために受光部Aの高さを嵩高にすると、反射光a−b
を検知する範囲が広がり弱くなった反射光を多くの受光
素子で受光することが必要となる。これにより、狭い範
囲の強い光を受光した場合と比べ、必然的に検知精度が
低下することとなり、また、開口部A1 が大きくなった
ことで、受光する光量は減少するにも係わらず、反射光
aは大きく変化することになるといった問題があった。
開口部A1 の面積を大きくしようとすると、四角錐鏡M
で反射した傾斜ビームを受光部Aで囲まれたプリント基
板の中心に照射することができなくなる。従って、この
場合にも、開口部A1 を広げられないだけでなく、限ら
れた範囲に傾斜ビームを照射するにも非常に嵩高な四角
錐鏡Mが必要になるといった問題があった。
もので、その目的とするところは、受光素子を多段的に
配列すると共にレーザを照射する位置に対する受光素子
のグループ制御を行うことにより、受光素子の数が少な
いにも係わらず受光精度を向上させることができる実装
済プリント基板自動検査装置を提供せんとするにある。
たことにより、少ない受光素子で受光効率の良い検査を
行うことができる共に、垂直光をプリズムによって偏向
して斜めビームを得るようにしたので、広範囲の斜めビ
ームを得ることができ、Jリード部分の半田付け状況を
も検査できる実装済プリント基板自動検査装置を提供せ
んとするにある。
基板自動検査装置は前記した目的を達成せんとするもの
で、その手段は、細く絞ったビームを被検査プリント基
板に垂直に照射した状態で掃引するビーム照射手段と、
該ビーム照射手段からのビームが前記被検査プリント基
板に照射され、その照射されるビームを囲うように配置
された受光素子で受光する受光部とを具備する実装済プ
リント基板検査装置であって、前記受光部の内面に装備
される受光素子が多段的に配置され、ビームの照射光の
照射位置に応じて検査対象からの反射光を受光する受光
素子のグループを切り分け制御するようにしたものであ
る。
は、上方の反射光を受光する位置では水平に、下方で受
光する位置では前傾した状態で取付けることが望まし
く、さらに、前記ビーム照射手段における下部開口の周
囲に配置されたプリズムによって前記ビームを偏向し
て、被検査プリント基板上の電子部品におけるJリード
に対して斜めから照射するようにしてもよい。
ト基板自動検査装置の一実施の形態を図1〜図3と共に
説明する。図1において、1は実装済プリント基板2を
X軸方向とY軸方向に移動させるX−Yステージ、3は
レーザビームを発射するレーザダイオード等のレーザ光
源、4は該光源1よりのレーザを5mm程度の平行なビー
ムに拡張するためのエキスパンダである。
を掃引するように操作するためのY軸回転ミラー5a
と、X−Yステージ1のX軸方向にビームを掃引するよ
うに操作するためのX軸回転ミラー5bとからなるガル
バノメータであり、以上は公知の構成である。
軸方向に掃引されたレーザが照射される中心部分に円状
のハーフミラー6aが、その外周に全反射ミラー6bが
形成されたミラー、7は該ミラー6におけるハーフミラ
ー6aにより反射され、被検査プリント基板2に照射さ
れた結果得られる反射光の一部を受光素子からなるトッ
プセンサ8に導くための凸レンズにして、前記ミラー
6、凸レンズ7、トップセンサ8とによりビーム照射手
段Bが構成されている。また、Aは図2に詳細を示す如
く内面に多数の受光素子9が多段的に配置されたハウジ
ング10からなる受光部である。
を図2、図3と共に説明する。先ず、ビーム照射手段B
は複数のレンズを組み合わせたレンズ系11(図示のも
のは凸レンズのみを示している)が支持されたレンズ筒
12と、該レンズ筒12が螺合固定された光学系支持体
13(以下、単に支持体という)と、該支持体13の前
記レンズ系11から照射されるレーザが当接する位置に
形成された開口部13aに前記ミラー6が前記レーザと
45度の角度で取付けられ、かつ、前記支持体13の前
記ミラー6の上方には前記凸レンズ7およびトップセン
サ8が取付けられている。
記ミラー6との間の外周部分には、水平レーザのみを通
過させるためのルーバ14が取付けられ、さらに、前記
ミラー6における全反射ミラー6bから反射されたレー
ザビームのみを、斜めビームに偏向させるリング状のプ
リズム15が支持体13の下方に取付けられている。ま
た、前記プリズム15の下部外周面には、受光部Aの受
光素子9では受光できない反射光を受光するための受光
素子よりなるトップセンサ16が取付けられている。
受光部Aは前記支持体13が取付けられた取付板17の
下面に四角筒状のハウジング10が取付けられ、その内
面上方には水平状態で5段のリング状受光素子9が取付
けられ、また、前記ハウジング10の内面下方には、リ
ング状受光素子9′が4段前傾した状態で取付けられて
いる。
する。先ず、レーザビームの照射系について図2と共に
説明するに、レーザ源3よりのレーザはガルバノメータ
5によって掃引され、点線で示すようにレンズ系11を
介してミラー6のハーフミラー6aあるいは全反射ミラ
ー6bに到達し、該ミラー6で反射された後、ハウジン
グ10の下面にX−Yステージ1によって移動される被
検査プリント基板2上に照射される。
接被検査プリント基板2に投光されるが、全反射ミラー
6bで反射されたビーム光は、プリズム15を介して被
検査プリント基板2に投光されるので、該全反射ミラー
6bからのビームは斜め光となる。
ハーフミラー6aの範囲で掃引されている場合には、被
検査プリント基板2に対して垂直光となり、横方向に延
びている電子部品のリード部の半田付け検査が行え、ま
た、全反射ミラー6bの範囲で掃引されている場合に
は、被検査プリント基板2に対して斜め光となり、Jリ
ード部の半田付け検査が行える。
に、被検査プリント基板2で反射された反射光は、該反
射光の内の略垂直方向に反射されると凸レンズ7を介し
てトップセンサ8で受光され、その他の斜め状態で反射
される反射光はトップセンサ16および受光素子9,
9′で受光される。
受光された反射光から半田付け状態が正常か不良かの判
定方法について説明する。受光素子9,9′は図4に示
す如く受光素子9,9′に対するビームの照射位置を内
側、中央、外側と見なした場合、外側から内側に照射位
置が移動すると同じ角度(例えば、60°−90°)の
受光位置が下方向(Tが下へ移行する方向)へ移動する
切替え制御が行われる。
て変えるため、図5に示すようなスイッチ群SWの切替
えによって行う。図5のスイッチ群SWの切替え状態は
前記した図4の設定状態を示すものである。
した、すなわち、ある電子部品のリードの半田付け状態
を検出する場合において、正常な半田付け状態であれ
ば、どの位置における受光素子9,9′が受光するかは
予め判っているので、受光すべき位置の受光素子9,
9′をスイッチ群SWによって切替え選択する。
る入射ビームが半田面で反射して、その角度が45度前
後(斜線の部分)と予想された場合、反射方向はアップ
U方向になる。故に、スイッチSW1 ,SW2 ,SW3
の接点を閉じ、設定値以上の信号の有無を判定すること
により半田付けの良否が判る。
子部品のリードの種類によって垂直光か斜め光かの判別
を行いビームを照射し、その反射光が予めスイッチ群S
Wでグループ分けした受光素子9,9′(トップセンサ
8,15も含む)で受光したか否かによって、半田付け
状態が正常であるか不良であるかを判別できるものであ
る。
ッチSWの切替えによって受光素子9,9′よりの信号
を得て判定したものについて説明したが、実際にはコン
ピュータによって切り分け制御が行われる。そこで、グ
ループ分けした受光素子9,9′以外の受光素子9,
9′からの信号も出力されるので、グループ分けした出
力と他の出力とを比較し、グループ分けした出力が他の
出力よりも大きい場合に、半田付け状態が正常であると
判定する。
に装備される受光素子を多段的に配置し、ビームの照射
光の照射位置に応じて検査対象からの反射光を受光する
受光素子のグループを切り分け制御するようにしたこと
により、少ない受光素子で受光精度を向上することがで
きる。
の反射光を受光する位置では水平に、下方で受光する位
置では前傾した状態で取付けたので、少ない受光素子で
受光効率の良い検査が行えるものである。
の周囲に配置したプリズムによってビーム光を偏向し
て、被検査プリント基板上の電子部品におけるJリード
に対して斜めから照射するようにしたので、限られたス
ペースで傾斜ビームを効果的に発生することができる等
の効果を有するものである。
要を示す斜視図である。
ある。
説明図である。
路である。
を示す断面図である。
を示す断面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 細く絞ったビームを被検査プリント基板
に垂直に照射した状態で掃引するビーム照射手段と、該
ビーム照射手段からのビームが前記被検査プリント基板
に照射され、その照射されるビームを囲うように配置さ
れた受光素子で受光する受光部とを具備する実装済プリ
ント基板検査装置であって、 前記受光部の内面に装備される受光素子が多段的に配置
され、ビームの照射光の照射位置に応じて検査対象から
の反射光を受光する受光素子のグループを切り分け制御
するようにしたことを特徴とする実装済プリント基板自
動検査装置。 - 【請求項2】 前記多段的に配置される受光素子は、上
方の反射光を受光する位置では水平に、下方で受光する
位置では前傾した状態で取付けられていることを特徴と
する請求項1記載の実装済プリント基板自動検査装置。 - 【請求項3】 前記ビーム照射手段における下部開口の
周囲に配置されたプリズムによって前記ビームを偏向し
て、被検査プリント基板上の電子部品におけるJリード
に対して斜めから照射するようにしたことを特徴とする
請求項1記載の実装済プリント基板自動検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09962196A JP4211950B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 実装済プリント基板自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09962196A JP4211950B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 実装済プリント基板自動検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09270600A true JPH09270600A (ja) | 1997-10-14 |
| JP4211950B2 JP4211950B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=14252171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09962196A Expired - Fee Related JP4211950B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 実装済プリント基板自動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4211950B2 (ja) |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP09962196A patent/JP4211950B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4211950B2 (ja) | 2009-01-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5774224A (en) | Linear-scanning, oblique-viewing optical apparatus | |
| JP4473581B2 (ja) | 回折性のパターンを備えた表面の異常を検出するための方法及び装置 | |
| US5694214A (en) | Surface inspection method and apparatus | |
| US7382457B2 (en) | Illumination system for material inspection | |
| JP3385432B2 (ja) | 検査装置 | |
| KR100880418B1 (ko) | 자동화된 광학 검사 시스템 | |
| KR102405200B1 (ko) | 직접-이미징 시스템의 교정 | |
| WO2010024067A1 (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
| JPH06168321A (ja) | 二次元画像処理方法および装置 | |
| US20080204736A1 (en) | Defect Inspection Method and Defect Inspection Apparatus | |
| JPS6275233A (ja) | 光学式板状素材モニタ装置 | |
| JPH0961365A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| KR20170080631A (ko) | 조명 시스템, 조명 시스템을 구비한 검사 도구, 및 조명 시스템 동작 방법 | |
| JP2766575B2 (ja) | 投影レンズの評価装置及び評価方法 | |
| JP2000294608A (ja) | 表面画像投影装置及び方法 | |
| JPH0862425A (ja) | ライトガイド装置 | |
| KR100952522B1 (ko) | 웨이퍼 결함 검출 장치 및 이의 방법 | |
| JP2000505203A (ja) | 低側面像形成装置 | |
| JPH09270600A (ja) | 実装済プリント基板自動検査装置 | |
| JP2008058248A (ja) | 回折光検出装置および検査システム | |
| KR100340013B1 (ko) | 가동거울을 이용한 컴퓨터 비젼 시스템 | |
| JPH11160035A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
| JPH04326744A (ja) | 異物検査装置 | |
| KR20010062053A (ko) | 패턴의 광학 검사장치 및 그 검사 방법 | |
| JP3095820B2 (ja) | 表面状態検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040611 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040611 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040611 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Effective date: 20040921 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050726 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050926 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20051108 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060106 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060112 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060203 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080910 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20081023 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131107 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |