JPH09271727A

JPH09271727A - 金属の洗浄方法及び洗浄装置

Info

Publication number: JPH09271727A
Application number: JP8356796A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Ishikawa; 石川　　正宏
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1996-04-05
Filing date: 1996-04-05
Publication date: 1997-10-21

Abstract

(57)【要約】【課題】研磨後に被洗浄物に固着残留する研磨剤、金
属粉の洗浄をする際、安全性、排水処理性、経済性を保
ちながら所望の洗浄性を得る。【解決手段】洗浄ワーク１２を洗浄する極性溶剤Ａを
入れた溶剤槽１ａ及び溶剤槽２ａを内設した第１工程の
第１槽１及び第２槽を設ける。第２槽２で洗浄した洗浄
ワーク１２を両極性溶剤Ｂを入れた溶剤槽３ａで洗浄す
る第２工程の第３槽３を設ける。第３槽３で洗浄した洗
浄ワーク１２をシリコーン系溶剤Ｃで洗浄する第３工程
の第４槽４を設ける。第４槽４槽で洗浄した洗浄ワーク
１２を乾燥する第４工程の温風乾燥機１７を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属の洗浄方法及
び洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光沢、脱脂、研磨力の向上を目的
とするバレル研磨を行った後の洗浄には、（１）溶剤洗
浄、（２）アルカリ脱脂洗浄、（３）エマルジョン洗
浄、（４）電解洗浄等の方法がある。これらは、文献等
に紹介されていて、一般的である。

【０００３】上記溶剤洗浄は、有機溶剤の持つ油脂溶解
力を利用する洗浄法であるが、現在工業的にはトリクロ
ロエチレン、パークロロエチレン、トリクロロエタン等
の塩素系炭化水素が使用されている。

【０００４】一般的な洗浄ラインを図６に示す。図６の
洗浄ラインは、粗洗浄用の洗浄槽４０、精密洗浄用の洗
浄槽４１及び蒸気による洗浄用のベーパー槽４２の３槽
からなる。洗浄槽４０、４１には、さらに有機溶剤ｂ
１、ｂ２を入れた溶剤槽４０ａ、４１ａが内設されてい
る。溶剤槽４０ａから溢れた溶剤ｂ１は、ヒータＨを内
蔵する予備槽４３を通過した後、循環ポンプ４４によっ
てフィルター４５を介して再び溶剤槽４０ａに戻るよう
になっている。また、洗浄槽４１から溢れた溶剤ｂ２
は、フィルター４５を介して再び循環ポンプ４４によっ
て再び溶剤槽４１ａに戻るようになっている。従って、
各溶剤槽４０ａ、４１ａにおいて、洗浄ワーク１２を揺
動アーム１１にて支持した状態で洗浄した際、洗浄ワー
ク１２に付着した汚れが溶剤ｂ１、ｂ２と共に溶剤槽４
０ａ、４１ａから流出し、第１の洗浄槽４０ではヒータ
４３及びフィルター４５によって、第２の洗浄槽４１で
はフィルター４５のみによって、それぞれ洗浄活性力を
高めた状態で再び溶剤槽４０ａ、４１ａに戻り、第１の
洗浄槽４０では加熱浸漬による洗浄、第２の洗浄槽４１
では加熱された被洗浄物（ワーク）１２を冷やしながら
の冷却浸漬による洗浄が行われる。一方、ベーパー槽４
２では、底部に有機溶剤ｂ３が貯留されて、ヒータＨが
配されており、このヒータＨによって溶剤ｂ３が蒸気化
されるので溶剤ｂ３の上方に蒸気層が形成される。従っ
て、各洗浄槽４０、４１で洗浄された前記揺動アーム１
１に支持されるワーク１２は、ベーパー槽４２において
蒸気洗浄され、ワーク１２の表面はより精密に洗浄され
るというものである。従って、一般的な洗浄ラインは、
加熱浸漬−冷却−蒸気洗浄の３連式である。

【０００５】上記エマルジョン洗浄は、槽構成が表１に
示す２種類に分類される。タイプ１は、溶剤を主成分と
して界面活性剤を添加した洗浄液を有する洗浄槽にて洗
浄した後、水槽にて水洗を行うものであり、タイプ２
は、例えば水を主成分として溶剤及び界面活性剤を添加
した洗浄液を有する洗浄槽にて洗浄した後、水槽にて水
洗を行うものである。なお、各溶剤及び界面活性剤の詳
細は表１に示す通りである。タイプ１、２のいずれも油
性汚れと水溶性汚れを洗浄する目的で、溶剤と界面活性
剤との混合系による洗浄後、水洗の工程を採るものであ
る。

【０００６】

【表１】

【０００７】上記アルカリによる脱脂洗浄は、高アルカ
リ性溶液を循環させながら、この溶液中に浸漬洗浄する
ものである。高アルカリ性溶液として水酸化ナトリウ
ム、炭酸ナトリウム、オルソ珪酸ナトリウム、メタ珪酸
ナトリウム、リン酸塩、界面活性剤等を含有している。

【０００８】上記電解洗浄は、アルカリ剤を主体とした
洗浄液中で金属素材を陰極、あるいは陽極として、洗浄
する方法である。電解により、発生するガスの働きによ
り素材表面の機械的撹拌と電解還元、電解酸化により洗
浄を行う。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来技術としては、塩
素系炭化水素の溶剤による洗浄が一般的である。溶剤洗
浄は、複雑な形状の洗浄物に対応できる油脂類の溶解力
が大きいという特徴の反面、人体及び環境に有害であ
り、近々に規制の対象物質となることが予想され、トリ
クロロエタンの全廃は国際的な決定事項となっている。

【００１０】エマルジョン洗浄は、エマルジョン状態液
の水洗が必要なため、排水処理に難がある。このため、
排水規制の強化とともに使用が難しくなることが予想さ
れる。

【００１１】アルカリ脱脂洗浄は、液のｐＨにより金属
表面の腐食の発生があり、選定が難しいという使用上の
制約がある。水洗が同じく必要なため、排水処理の問題
がある。洗浄液循環に伴う発泡の問題も懸念される。

【００１２】電解洗浄は、それ単独では予備洗浄、本洗
浄で洗浄できなかった汚れを除去する方法であり、本格
的な予備洗及び精密仕上げは期待できない。特に複雑な
形状物の洗浄に際して溶剤、界面活性剤等を使用しない
ため、凹部への浸透は難しいという問題がある。

【００１３】溶剤系の洗浄は別として、水系の洗浄を含
む上記（２）アルカリ脱脂洗浄、（３）エマルジョン洗
浄、（４）電解洗浄の場合、液の浸透性、溶解力の不足
のため、被洗浄物に付着している硬化した研磨粉、凹部
に入り込んだ研磨粉の除去は難しい。また、現状、どの
洗浄方法も安全性、排水処理性、洗浄性等を同時に達成
できず、一長一短がある。

【００１４】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
なされたもので、上記の問題を包括的に解決する金属の
洗浄方法及び洗浄装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の金属の洗浄方法は、極性親水性溶剤により
被洗浄物を洗浄した後、両極性低級アルコールで置換
し、その後、シリコーン系溶剤で置換後、温風乾燥させ
ることを特徴とする。

【００１６】また、本発明の金属の洗浄装置は、被洗浄
物を極性親水性溶剤により洗浄する第１工程の洗浄槽
と、第１工程の洗浄槽で洗浄した被洗浄物を両極性低級
アルコールで洗浄する第２工程の洗浄槽と、第２の洗浄
槽で洗浄した被洗浄物をシリコーン系溶剤で洗浄する第
３工程の洗浄槽と、第３工程の洗浄槽で洗浄した被洗浄
物を乾燥する第４工程の温風乾燥機とを備えたことを特
徴とする。

【００１７】本発明の洗浄に於いては、図１の工程図に
示すような概して４つの基本工程をとる。すなわち、第
１工程である極性溶剤による洗浄、第２工程であるアル
コールによる洗浄液置換（リンス）、第３工程であるア
ルコールのシリコーン系溶剤（乾燥性がきわめて優れて
いる）への置換、第４工程である乾燥である。

【００１８】洗浄の前工程に於いて、被研磨材（ワー
ク）に対して研磨剤とメディアが用いられてバレル研磨
が行われる。研磨剤自体は、表２に示されるようなキレ
ート剤と、界面活性剤と、多価アルコールと、水と、微
粉研磨粒子及びアルカリ剤によって構成される。キレー
ト剤は一緒に加えられる水の硬度を調整する効果を、界
面活性剤はバレル研磨時に使用されるメディアと呼ばれ
る小石（例えば酸化ジルコニウム）と被研磨材（ワー
ク）との間の潤滑性を向上する効果と、バレル研磨時に
発泡してメディアとワークとの緩衝性を向上する効果
と、ワークが水によって錆びるのを防ぐための防錆効果
と、若干の油脂分を除去する脱脂効果を担っている。こ
の脱脂効果は多価アルコールも同様に担っている。ま
た、アルカリ剤は固体に光沢を与える効果を持ってい
る。

【００１９】

【表２】

【００２０】研磨工程に於いて、ワーク表面とメディア
との衝突部は摩擦により高温となる。メディアは加えら
れる圧力に応じてワーク表面に押しつけられ、ワーク表
面を削ったりワーク表面に打痕を生じさせる。メディア
に小さなものを選定しても、ワーク表面には打痕による
微小なキズが所々発生する。場合によっては、ワークか
ら生じた金属粉がワーク表面に食い込んでいる場合もあ
る。一方、研磨剤は研磨時にワーク表面に擦り付けら
れ、ワーク表面の凹部、キズの部分に浸透し、研磨終了
とともに、浸透した所で研磨剤の水分が乾燥して、他の
研磨剤の成分及び金属粉が残渣として残ることとなる。

【００２１】本発明の洗浄方法に於いて、第１工程では
高い極性を有する溶剤（極性溶剤）を使用する。表面研
磨後のワーク表面は、上記研磨過程を通してワーク表面
近傍に金属粉の食いつきや前述の研磨剤の一様な付着を
被る。研磨剤中でも極性を持つ物質（例えば、アルカリ
剤）がワーク表面近傍に存在する。従って、これらの汚
れを洗浄するためには極性の大きな溶剤により洗浄する
ことで、ワーク表面の極性を有するアルカリ剤、水を選
択的に除去することができる。また、ワーク表面に食い
付いている金属粉については極性の大きな溶剤により洗
浄することで、ワークの極表面をエッチングし除去する
ことができる。

【００２２】上記エッチング効果は、食い付いた金属粉
を除去するとともに、ワーク表面の微小な研磨キズも除
去し、洗浄仕上がり時の金属光沢に寄与することとな
る。ほとんどの有機溶媒と完全に混合し、かつ高い極性
を有する溶剤としては、具体的にはｎ−メチルピロリド
ン等のアルキル化−２−ピロリドンの類、メトキシメチ
ルブタノール等のグリコールエーテルの類が挙げられ
る。

【００２３】第２工程では、第１工程で使用した高い極
性を持つ溶剤と相溶する両極性溶剤であるアルコールを
選択し、第１工程の溶剤のリンスを実施する。両極性と
は、分子内に極性基（親水基）と低極性基（疎水基）持
つ溶剤である。極性基を介して第１工程の極性溶剤液と
相互作用し、相溶することとなる。また、この工程で研
磨剤中に含まれる多価アルコールも相溶させて除去でき
る。

【００２４】第３工程では、第２工程のアルコールをシ
リコーン系溶剤（乾燥性の高い溶剤）で更に置換する。
第２工程で使用するアルコールは両極性を有しているた
め、第３工程でのシリコーン系溶剤とも相溶することと
なる。その後、第３工程でのシリコーン系溶剤が付着し
たワークは引き上げられる。

【００２５】第４工程では、温風乾燥機内でワークに付
着したシリコーン系溶剤が極めて容易に揮発され、シミ
のない乾燥を行う。

【００２６】本洗浄工程を実施することにより、研磨剤
の効果的な除去、光沢のあるシミのない洗浄仕上がりを
達成することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】

［発明の実施の形態１］本発明の実施の形態１を図１、
２に基づいて説明する。図１は本実施の形態の工程図
で、洗浄工程を示し、図２は洗浄装置（洗浄ライン）を
示している。本実施の形態の洗浄工程は第１工程〜第４
工程の４工程からなり、図２に示すように４槽の洗浄槽
と１台の乾燥機を備えている。

【００２８】第１工程は、極性溶剤を用いて洗浄ワーク
１２を洗浄する工程で、粗洗浄用の第１槽１と精密洗浄
用の第２槽２を備えている。第１槽１及び第２槽２に
は、極性溶剤Ａとして引火点が９０℃の第３石油類に属
するＥＥ−２２１０（オリンパス光学工業（株）製）を
入れた溶剤槽１ａ及び溶剤槽２ａが内設されている。上
記ＥＥ−２２１０はアルキル化−２−ピロリドンを主成
分としている。第２工程は、第１工程で洗浄ワーク１２
に付着した極性溶剤Ａのリンスを実施する工程で、第３
槽３を備えている。第３槽３には、極性溶剤Ａと相溶す
る両極性溶剤ＢであるＩＰＡ（イソプロピルアルコー
ル）を投入した溶剤槽３ａが内設されている。第３工程
は、第２工程で両極性溶剤Ｂが付着した洗浄ワーク１２
のリンスを実施する工程で、第４槽４を備えている。第
４槽４には、両極性溶剤Ｂと相溶するシリコーン系溶剤
ＣとしてＥＥ−３１１０（オリンパス光学工業（株）
製）を入れた溶剤槽４ａが内設されている。ＥＥ−３１
１０はシリコーン系有機化合物である。第４工程は、第
３工程で洗浄ワーク１２に付着したシリコーン系溶剤Ｃ
を揮発して乾燥を実施する工程で、温風方式の乾燥機１
７を備えており、ブロアー１８によってＨＥＰＡフィル
ター１９を介してクリーンな温風エアーをダウンフロー
させるようになっている。また、上記第１槽１〜第４槽
４への洗浄ワーク１２の移動には、１つの揺動アーム１
１で自動揺動及び自動搬送を行う１アーム方式機構が用
いられている。

【００２９】上記第１槽１〜第４槽４の各槽には、共に
超音波振動子２０が設けられている。さらに、各槽１、
２、３、４は、循環〜フィルタリングのクローズドの槽
構造となっており、第１槽１及び第２槽２には、パイプ
ヒータＨを内蔵した予備槽１３、循環ポンプ１４及びフ
ィルター１５がそれぞれ設けられ、溶剤槽１ａ、２ａか
ら溢れた極性溶剤Ａが予備槽１３でパイプヒータＨによ
り直接加熱されて通過した後、循環ポンプ１４によって
フィルター１５を介して再び溶剤槽１ａ、２ａにそれぞ
れ戻るようになっている。また、第３槽３には、予備槽
２１、循環ポンプ１４及びフィルター１５が設けられ、
溶剤槽３ａから溢れた両極性溶剤Ｂが予備槽２１を通過
した後、循環ポンプ１４によってフィルター１５を介し
て循環ポンプ１４によって再び溶剤槽３ａに戻るように
なっている。さらに、第４槽４には、第３槽溶剤（両極
性溶剤Ｂ）分離除去用の専用分離機を設置した分離槽１
６、循環ポンプ１４及びフィルター１５が設けられ、溶
剤槽４ｃから溢れたシリコーン系溶剤Ｃが分離槽１６で
第３槽溶剤と分離された後、循環ポンプ１４によってフ
ィルター１５を介して循環ポンプ１５によって再び溶剤
槽４ａに戻るようになっている。

【００３０】従って、各溶剤槽１ａ、２ａ、３ａ、４ａ
において、洗浄ワーク１２を揺動アーム１１にて保持し
た状態で洗浄した際、洗浄ワーク１２に付着した汚れ及
び被洗浄ワーク１２に付着していた溶剤は共に溶剤槽１
ａ、２ａ、３ａ、４ａから流出し、第１槽及び第２槽２
ではヒータＨとフィルター１５によって、第３槽ではフ
ィルター１５のみによって、さらに第４槽４では分離槽
１６の分離機によって、それぞれ洗浄活性力を高めた状
態で再びそれぞれの溶剤槽１ａ、２ａ、３ａ、４ａに戻
る。これにより、第１工程の第１槽１及び第２槽２では
加熱浸漬による洗浄、第２工程の第３槽３では加熱され
た洗浄ワーク１２を冷やしながらの冷却浸漬による両極
性溶剤ＢであるＩＰＡの置換、さらに第３工程の第４槽
４では第４工程で容易に揮発されるシリコーン系溶剤Ｃ
であるＥＥ−３１１０の置換が行われる。

【００３１】上記洗浄工程により、図３に示す洗浄サン
プルを用いて洗浄を行った。このとき、第１工程の第１
槽１及び第２槽２の液温は６０℃、第２工程の第３槽３
及び第３工程の第４槽の液温は２０℃とし、第４工程の
温風乾燥機の温風温度は８０℃とした。また、第１槽１
〜第４槽４の各槽における循環流量は５ｍｌ／ｍｉｎと
し、洗浄時間は各槽３分とした。洗浄サンプルとして、
白銅製サンプル３０（直径２６．５ｍｍ、厚さ３ｍ
ｍ）、青銅製サンプル３１（直径２３．５ｍｍ、厚さ
２．５ｍｍ）、黄銅製サンプル３２（直径２１ｍｍ、厚
さ２ｍｍ）及びアルミ製サンプル３４（直径２０ｍｍ、
厚さ２ｍｍ）の金属製の薄い円板板からなるワークを使
用し、各５個づつ行った。なお、図３においては、各洗
浄サンプル（ワーク）の正面図と側面図をそれぞれ併せ
て示している。

【００３２】上記ワークは、その洗浄の前処理として、
亜硝酸ソーダ、界面活性剤、多価アルコール、水を主成
分とする研磨剤及びメディアによりバレル研磨を行い、
その後、上記洗浄条件により、第１工程〜第４工程の順
で洗浄を行った。

【００３３】本実施の形態の洗浄評価は、洗浄後、ワー
クに深さ０．１ｍｍ、ピッチ０．１ｍｍの線状の模様
（図３の３３）を圧印を施した後に蛍光灯下で研磨剤残
渣、金属粉残渣及び表面のシミを目視で観察して行っ
た。その結果、表３に示す通り、ワーク表面の研磨剤と
金属粉の洗浄が良好になされていた。

【００３４】

【表３】

【００３５】［比較例１］次に、図３のワークを用い、
図４に示す比較例１の洗浄工程で洗浄を行った。比較例
１の洗浄工程は、洗浄槽４槽、常圧ベーパー槽により構
成されている。各槽は、上記実施の形態と同様に、各槽
とも超音波振動子２０を有し、循環〜フィルタリングの
クローズドの槽構造となっている。すなわち、第１工程
の第１槽１及び第２槽２にはそれぞれ溶剤槽１ａ及び溶
剤槽２ａを内設し、溶剤槽１ａ、２ａから溢れた溶剤
を、パイプヒータＨを内蔵した予備槽１３で加熱して循
環ポンプ１４及びフィルター１５を介して溶剤槽１ａ、
２ａに戻した。第３槽３及び第４槽４には溶剤槽３ａ及
び溶剤槽４ａを内設するとともに、第３槽３には予備槽
２１を、第４槽４には第３槽溶剤（ＩＰＡ）分離除去用
の専用分離機を設けた分離槽１６をそれぞれ設け、各槽
３、４とも、溶剤槽３ａ、４ａから溢れた溶剤が予備槽
２１、分離槽１６を通過して循環ポンプ１４及びフィル
ター１５を介して再び溶剤槽３ａ、４ｂにそれぞれ戻る
ようになっている。第４工程は常圧ベーパー槽２５とな
っている。洗浄ワーク１２の移動には、実施の形態１と
同様に、揺動アーム１１による１アーム方式で自動揺
動、自動搬送を行う機構とした。

【００３６】本比較例１では、第１槽１の溶剤槽１ａ及
び第２槽２の溶剤槽２ａには非極性溶剤であるナフテン
系炭化水素のダフニー・クリーナ（出光石油（株）製）
を、第３槽３にはＩＰＡを、第４槽４には代替フロンＨ
ＣＦＣ−１４１ｂを、常圧ベーパー槽２５には代替フロ
ンＨＣＦＣ−１４１ｂを投入した。洗浄条件は、第１〜
２槽溶剤（上記ナフテン系炭化水素−溶剤Ａ）の液温を
６０℃、第３槽溶剤（上記ＩＰＡ−溶剤Ｂ）液温を２５
℃、第４槽溶剤（上記代替フロンＨＣＦＣ−１４１ｂ−
溶剤Ｃ）の液温を常温（〜２５℃）とし、ベーパー槽２
５の底部に貯留する溶剤（代替フロンＨＣＦＣ−１４１
ｂ−溶剤Ｄ）の液温を３０℃とした。また、第１槽１〜
第４槽４の各槽における循環流量は５ｍｌ／ｍｉｎ、洗
浄時間は各槽５分とし、この洗浄条件で上記ワークの洗
浄を行った。

【００３７】本比較例の洗浄評価は、実施の形態１と同
様に、蛍光灯下で目視により研磨剤残渣と金属粉残渣を
観察して行った。蛍光灯下で、目視で残渣を評価した結
果、上記表３に示す通り、ワークの材質によりワーク表
面の研磨剤残り、金属粉の洗浄残りが顕著であった。

【００３８】［発明の実施の形態２］本発明の実施の形
態２による洗浄工程は図２と同じであり、図１に示すよ
うに、本実施の形態では、第１槽１、第２槽２に使用す
る極性溶剤Ａに引火点が６８℃の第２石油類に属するＥ
Ｅ−２３２０（オリンパス光学工業（株）製）を使用し
た場合のものである。第２工程の第３槽３に使用する溶
剤Ｂ及び第３工程の第４槽４に使用する溶剤Ｃは、実施
の形態１の溶剤と同じである。本洗浄液（極性溶剤Ａ）
は臭いが少ないため洗浄を行う作業者に快適な作業を確
保し、表面張力が２９．９ｄｙｎ／ｃｍであり、この種
類の溶剤としては表面張力が小さいため、洗浄物が有す
る隙間に有効に浸透して洗浄を行うことができるという
優位性を有する。また、置換するアルコール（溶剤Ｂ）
との相溶性が実施の形態１の液より高いため、短時間で
置換が行われるという優位性も有する。

【００３９】洗浄サンプルとして、図５に示すように、
切り欠き部３５ａを有する青銅の棒状装飾ワーク３５
（直径１０ｍｍ、長さ７５ｍｍ、切り欠きの深さ２ｍ
ｍ）を使用した。ワーク３５の前処理として、実施の形
態１と同様のバレル研磨を施した。実施の形態１と同様
に洗浄した後、その洗浄評価として蛍光灯下で、ワーク
３５に付着する研磨剤残渣、金属粉残渣及び表面のシミ
を目視で評価した。その評価結果は、表４に示す通り、
ワーク表面及び切り欠き部３５ａとも研磨剤、金属粉の
洗浄はできており、表面にシミの発生はなかった。

【００４０】

【表４】

【００４１】［比較例２］図４に示した比較例１の洗浄
工程において、各工程及び溶剤は同じにし、洗浄サンプ
ルとして、図４に示す青銅の棒状装飾ワーク３５を使用
した。この場合、ワーク３５の前処理として、実施の形
態２と同じように、研磨剤によるバレル研磨を施した。
洗浄評価として蛍光灯下で、目視での残渣及び表面のシ
ミを評価した結果、上記表４に示す通りワーク３５の表
面及び切り欠き部３５ａの研磨剤、金属粉の洗浄残りが
顕著であった。

【００４２】

【発明の効果】以上のように、本発明の金属の洗浄方法
及び洗浄装置によれば、研磨後に被洗浄物に固着残留す
る研磨剤、金属粉の洗浄をする際、安全性、排水処理
性、経済性を保ちながら所望の洗浄性を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１、実施の形態２及び比較
例１の洗浄工程を示す図である。

【図２】本発明の実施の形態１、２の洗浄装置を示す構
成図である。

【図３】本発明の実施の形態１の各洗浄サンプルを示す
正面図、側面図である。

【図４】比較例１、２の洗浄装置を示す構成図である。

【図５】本発明の実施の形態２の洗浄サンプルを示す斜
視図である。

【図６】従来技術の洗浄装置を示す構成図である。

【符号の説明】

１第１槽２第２槽３第３槽４第４槽１２洗浄ワーク１７温風乾燥機Ａ極性溶剤Ｂ両極性溶剤Ｃシリコーン系溶剤

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】極性親水性溶剤により被洗浄物を洗浄し
た後、両極性低級アルコールで置換し、その後、シリコ
ーン系溶剤で置換後、温風乾燥させることを特徴とする
金属の洗浄方法。
【請求項２】被洗浄物を極性親水性溶剤により洗浄す
る第１工程の洗浄槽と、第１工程の洗浄槽で洗浄した被
洗浄物を両極性低級アルコールで洗浄する第２工程の洗
浄槽と、第２の洗浄槽で洗浄した被洗浄物をシリコーン
系溶剤で洗浄する第３工程の洗浄槽と、第３工程の洗浄
槽で洗浄した被洗浄物を乾燥する第４工程の温風乾燥機
を備えたことを特徴とする金属の洗浄装置。