JPH09271970A - アクリル板のレーザ加工方法およびその方法に用いるレーザ加工ヘッド - Google Patents
アクリル板のレーザ加工方法およびその方法に用いるレーザ加工ヘッドInfo
- Publication number
- JPH09271970A JPH09271970A JP8088434A JP8843496A JPH09271970A JP H09271970 A JPH09271970 A JP H09271970A JP 8088434 A JP8088434 A JP 8088434A JP 8843496 A JP8843496 A JP 8843496A JP H09271970 A JPH09271970 A JP H09271970A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- nozzle
- processing head
- cutting
- acrylic plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 集光レンズを汚損，破損させることなく、透
明度の高いアクリル板のレーザ切断加工を行い得るよう
にする。 【解決手段】 アクリル板Ｗに、レーザ加工ヘッド３の
先端に備えられたレーザノズル９からレーザビームＬＢ
を照射せしめると共に切断ガスを噴射せしめてレーザ切
断加工を行う際、前記レーザノズル９におけるノズル穴
９Ｈの外周部に形成された逃し穴１９Ａ〜１９Ｄから切
断ガスを噴射せしめてレーザ切断加工を行うことを特徴
とするアクリル板のレーザ加工方法と、その方法に用い
るレーザ加工ヘッド１を提供し、加工ヘッド本体３の先
端に備えられたレーザノズル９のノズル穴９Ｈの外周部
に逃し穴１９Ａ〜１９Ｄを形成せしめたことを特徴とす
る。
明度の高いアクリル板のレーザ切断加工を行い得るよう
にする。 【解決手段】 アクリル板Ｗに、レーザ加工ヘッド３の
先端に備えられたレーザノズル９からレーザビームＬＢ
を照射せしめると共に切断ガスを噴射せしめてレーザ切
断加工を行う際、前記レーザノズル９におけるノズル穴
９Ｈの外周部に形成された逃し穴１９Ａ〜１９Ｄから切
断ガスを噴射せしめてレーザ切断加工を行うことを特徴
とするアクリル板のレーザ加工方法と、その方法に用い
るレーザ加工ヘッド１を提供し、加工ヘッド本体３の先
端に備えられたレーザノズル９のノズル穴９Ｈの外周部
に逃し穴１９Ａ〜１９Ｄを形成せしめたことを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、アクリル板にレ
ーザ切断加工を行うアクリル板のレーザ加工方法および
その方法に用いるレーザ加工ヘッドに関する。
ーザ切断加工を行うアクリル板のレーザ加工方法および
その方法に用いるレーザ加工ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ加工機におけるレーザ加工
ヘッド１０１は、図３に示されているように、中空円筒
形状の加工ヘッド本体１０３を備えており、この加工ヘ
ッド本体１０３内には集光レンズ１０５を備えたレンズ
保持部材１０７が着脱可能に設けられている。前記加工
ヘッド本体１０３の下部にはレーザノズル１０９が一体
的に設けられている。
ヘッド１０１は、図３に示されているように、中空円筒
形状の加工ヘッド本体１０３を備えており、この加工ヘ
ッド本体１０３内には集光レンズ１０５を備えたレンズ
保持部材１０７が着脱可能に設けられている。前記加工
ヘッド本体１０３の下部にはレーザノズル１０９が一体
的に設けられている。
【０００３】前記加工ヘッド本体１０３の図３において
右側には切断ガス用の供給孔１１１が形成されており、
この供給孔１１１には供給ホース１１３の一端が接続さ
れている。この供給ホース１１３の他端から圧縮空気な
どの切断ガスが供給される。前記加工ヘッド本体１０３
の図３において左側には配管１１５を介して圧力計１１
７が接続されており、この圧力計１１７で加工ヘッド本
体１０３内の圧力が測定できるものである。
右側には切断ガス用の供給孔１１１が形成されており、
この供給孔１１１には供給ホース１１３の一端が接続さ
れている。この供給ホース１１３の他端から圧縮空気な
どの切断ガスが供給される。前記加工ヘッド本体１０３
の図３において左側には配管１１５を介して圧力計１１
７が接続されており、この圧力計１１７で加工ヘッド本
体１０３内の圧力が測定できるものである。
【０００４】上記構成により、図示省略のレーザ発振器
で発振されたレーザビームＬＢは加工ヘッド本体１０３
内に設けられた集光レンズ１０５で集光された後、レー
ザノズル１０９のノズル孔１０９Ｈから加工すべきアク
リル板Ｗへ向けて照射されると共に、切断ガスが供給ホ
ース１１３，供給孔１１１を経てレーザノズル１０９の
ノズル穴１０９Ｈから噴射されてアクリル板Ｗにレーザ
切断加工が行われる。
で発振されたレーザビームＬＢは加工ヘッド本体１０３
内に設けられた集光レンズ１０５で集光された後、レー
ザノズル１０９のノズル孔１０９Ｈから加工すべきアク
リル板Ｗへ向けて照射されると共に、切断ガスが供給ホ
ース１１３，供給孔１１１を経てレーザノズル１０９の
ノズル穴１０９Ｈから噴射されてアクリル板Ｗにレーザ
切断加工が行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のレーザ加工ヘッド１０１を用いてアクリル板Ｗにレ
ーザ切断加工を行う際には、切断ガスを例えば０．２〜
０．３ｋｇ／ｃｍ2 の極低圧でレーザノズル１０９のノ
ズル穴１０９Ｈから噴射させてアクリルＷにレーザ切断
加工を行うと、アクリル板Ｗにおける切断面上面側に曇
りを生じ、切断品質が悪い。したがって、透明な断面と
するためには、レーザ切断加工後に、研磨などの仕上げ
を行わなければならなかった。
来のレーザ加工ヘッド１０１を用いてアクリル板Ｗにレ
ーザ切断加工を行う際には、切断ガスを例えば０．２〜
０．３ｋｇ／ｃｍ2 の極低圧でレーザノズル１０９のノ
ズル穴１０９Ｈから噴射させてアクリルＷにレーザ切断
加工を行うと、アクリル板Ｗにおける切断面上面側に曇
りを生じ、切断品質が悪い。したがって、透明な断面と
するためには、レーザ切断加工後に、研磨などの仕上げ
を行わなければならなかった。
【０００６】また、切断ガスを使用しないで、アクリル
板Ｗにレーザ切断加工を行うと、レーザ切断加工時に発
生するアクリル蒸気がレーザノズル１０９のノズル穴１
０９Ｈからレーザ加工ヘッド本体１０３内に入り、集光
レンズ１０５に付着し、延いては集光レンズ１０５の破
損などのトラブルを起こすという問題があった。
板Ｗにレーザ切断加工を行うと、レーザ切断加工時に発
生するアクリル蒸気がレーザノズル１０９のノズル穴１
０９Ｈからレーザ加工ヘッド本体１０３内に入り、集光
レンズ１０５に付着し、延いては集光レンズ１０５の破
損などのトラブルを起こすという問題があった。
【０００７】この発明の目的は、集光レンズを汚損，破
損させることなく、透明度の高いアクリル板のレーザ切
断加工を行い得るようにしたアクリル板のレーザ加工方
法およびその方法に用いるレーザ加工ヘッドを提供する
ことにある。
損させることなく、透明度の高いアクリル板のレーザ切
断加工を行い得るようにしたアクリル板のレーザ加工方
法およびその方法に用いるレーザ加工ヘッドを提供する
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明のアクリル板のレーザ加工方
法は、アクリル板に、レーザ加工ヘッドの先端に備えら
れたレーザノズルからレーザビームを照射せしめると共
に切断ガスを噴射せしめてレーザ切断加工を行う際、前
記レーザノズルにおけるノズル穴の外周部に形成された
逃し穴から切断ガスを噴射せしめてレーザ切断加工を行
うことを特徴とするものである。
に請求項１によるこの発明のアクリル板のレーザ加工方
法は、アクリル板に、レーザ加工ヘッドの先端に備えら
れたレーザノズルからレーザビームを照射せしめると共
に切断ガスを噴射せしめてレーザ切断加工を行う際、前
記レーザノズルにおけるノズル穴の外周部に形成された
逃し穴から切断ガスを噴射せしめてレーザ切断加工を行
うことを特徴とするものである。
【０００９】したがって、アクリル板に、レーザ加工ヘ
ッドの先端に備えられたレーザノズルのノズル穴からレ
ーザビームを照射せしめると共に切断ガスをレーザノズ
ルの外周部に形成された逃し穴から噴射せしめることに
より、切断ガスがノズル穴からレーザ加工ヘッド内に入
らないで、集光レンズを汚損，破損させない。また透明
度の高い切断面が得られる。
ッドの先端に備えられたレーザノズルのノズル穴からレ
ーザビームを照射せしめると共に切断ガスをレーザノズ
ルの外周部に形成された逃し穴から噴射せしめることに
より、切断ガスがノズル穴からレーザ加工ヘッド内に入
らないで、集光レンズを汚損，破損させない。また透明
度の高い切断面が得られる。
【００１０】請求項２によるこの発明のレーザ加工ヘッ
ドは、アクリル板に、先端に備えられたレーザノズルか
らレーザビームを照射せしめると共に切断ガスを噴射せ
しめてレーザ切断加工を行うレーザ加工ヘッドであっ
て、前記レーザノズルにおけるノズル穴の外周部に逃し
穴を形成せしめてなることを特徴とするものである。
ドは、アクリル板に、先端に備えられたレーザノズルか
らレーザビームを照射せしめると共に切断ガスを噴射せ
しめてレーザ切断加工を行うレーザ加工ヘッドであっ
て、前記レーザノズルにおけるノズル穴の外周部に逃し
穴を形成せしめてなることを特徴とするものである。
【００１１】また、請求項３によるこの発明のレーザ加
工ヘッドは、請求項２のレーザ加工ヘッドにおいて、前
記逃し穴の面積を少なくともノズル穴の面積と同じ以上
に形成せしめてなることを特徴とするものである。
工ヘッドは、請求項２のレーザ加工ヘッドにおいて、前
記逃し穴の面積を少なくともノズル穴の面積と同じ以上
に形成せしめてなることを特徴とするものである。
【００１２】したがって、レーザ加工ヘッドの先端に備
えられたレーザノズルにおけるノズル穴の外周部に逃し
穴を形成せしめ、しかも、逃し穴の面積を少なくともノ
ズル穴の面積と同じ以上に形成せしめることにより、切
断ガスは逃し穴から噴射されてノズル穴からレーザ加工
ヘッド内に入らないで集光レンズの汚損，破損がなくな
ると共に透明度の高い切断面が得られる。
えられたレーザノズルにおけるノズル穴の外周部に逃し
穴を形成せしめ、しかも、逃し穴の面積を少なくともノ
ズル穴の面積と同じ以上に形成せしめることにより、切
断ガスは逃し穴から噴射されてノズル穴からレーザ加工
ヘッド内に入らないで集光レンズの汚損，破損がなくな
ると共に透明度の高い切断面が得られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基づいて詳細に説明する。
を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】図１を参照するに、レーザ加工ヘッド１
は、中空円筒形状の加工ヘッド本体３を備えており、こ
の加工ヘッド本体３内には集光レンズ５を備えたレンズ
保持部材７が着脱可能に設けられている。前記加工ヘッ
ド本体３の下部には中空円錐形状のレーザノズル９が着
脱可能に設けられている。
は、中空円筒形状の加工ヘッド本体３を備えており、こ
の加工ヘッド本体３内には集光レンズ５を備えたレンズ
保持部材７が着脱可能に設けられている。前記加工ヘッ
ド本体３の下部には中空円錐形状のレーザノズル９が着
脱可能に設けられている。
【００１５】前記加工ヘッド本体３の図１において右側
には切断ガス用の供給孔１１が形成されており、この供
給孔１１には供給ホース１３の一端が接続されている。
この供給ホース１３の他端から圧縮空気などの切断ガス
が供給される。前記加工ヘッド本体３の図１において左
側には配管１５を介して圧力計１７が接続されており、
この圧力計１７で加工ヘッド本体３内の圧力が測定でき
るものである。
には切断ガス用の供給孔１１が形成されており、この供
給孔１１には供給ホース１３の一端が接続されている。
この供給ホース１３の他端から圧縮空気などの切断ガス
が供給される。前記加工ヘッド本体３の図１において左
側には配管１５を介して圧力計１７が接続されており、
この圧力計１７で加工ヘッド本体３内の圧力が測定でき
るものである。
【００１６】前記レーザノズル９のノズル穴９Ｈの外周
部には、図２も併せて参照するに、複数の逃し穴１９
Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ，１９Ｄが９０度の間隔で形成され
ている。
部には、図２も併せて参照するに、複数の逃し穴１９
Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ，１９Ｄが９０度の間隔で形成され
ている。
【００１７】上記構成により、図示省略のレーザ発振器
で発振されたレーザビームＬＢは加工ヘッド本体３内に
設けられた集光レンズ５で集光された後、レーザノズル
９のノズル穴９Ｈから加工すべきアクリル板Ｗへ向けて
照射されると共に、切断ガスが供給ホース１３，供給孔
１１を経てレーザノズル９に形成された逃し穴１９Ａ〜
１９Ｄから噴射されてアクリル板Ｗにレーザ切断加工が
行われることになる。
で発振されたレーザビームＬＢは加工ヘッド本体３内に
設けられた集光レンズ５で集光された後、レーザノズル
９のノズル穴９Ｈから加工すべきアクリル板Ｗへ向けて
照射されると共に、切断ガスが供給ホース１３，供給孔
１１を経てレーザノズル９に形成された逃し穴１９Ａ〜
１９Ｄから噴射されてアクリル板Ｗにレーザ切断加工が
行われることになる。
【００１８】前記逃し穴１９Ａ〜１９Ｄから噴射された
切断ガスは、図１に矢印で示したごとく流れて、加工ヘ
ッド本体３の内圧が確保される。また、ノズル穴９Ｈよ
りアクリル板Ｗの切断に曇りを生ずる切断ガスは流れな
いから、アクリル板Ｗの切断面は透明度の高い切断面を
得ることができる。なお、このときの切断ガスの圧力は
０．３ｋｇ／ｃｍ2 程度まで上げられる。しかも、切断
加工時に発生するアクリル蒸気はノズル穴９Ｈから加工
ヘッド本体３内に入らず、集光レンズ５を汚損，破損さ
せることをなくすことができる。
切断ガスは、図１に矢印で示したごとく流れて、加工ヘ
ッド本体３の内圧が確保される。また、ノズル穴９Ｈよ
りアクリル板Ｗの切断に曇りを生ずる切断ガスは流れな
いから、アクリル板Ｗの切断面は透明度の高い切断面を
得ることができる。なお、このときの切断ガスの圧力は
０．３ｋｇ／ｃｍ2 程度まで上げられる。しかも、切断
加工時に発生するアクリル蒸気はノズル穴９Ｈから加工
ヘッド本体３内に入らず、集光レンズ５を汚損，破損さ
せることをなくすことができる。
【００１９】前記逃し穴１９Ａ〜１９Ｄの数は４個に限
定されることなく、いくつであっても構わないが、逃し
穴１９Ａ〜１９Ｄの合計面積が、少なくとも前記ノズル
穴９Ｈの面積と同じ以上である必要がある。ノズル穴９
Ｈの面積より未満であると、切断ガスが図１に矢印で示
したごとく噴射されない恐れがあり、切断面にアクリル
の蒸気により曇りが生じてしまうためである。
定されることなく、いくつであっても構わないが、逃し
穴１９Ａ〜１９Ｄの合計面積が、少なくとも前記ノズル
穴９Ｈの面積と同じ以上である必要がある。ノズル穴９
Ｈの面積より未満であると、切断ガスが図１に矢印で示
したごとく噴射されない恐れがあり、切断面にアクリル
の蒸気により曇りが生じてしまうためである。
【００２０】また、逃し穴１９Ａ〜１９Ｄの合計面積
が、ノズル穴９Ｈの面積の５倍以上になると、あまり効
果が発揮されないから、ノズル穴９Ｈの面積の２〜３倍
程度が一番好ましい範囲である。しかも、逃し穴１９Ａ
〜１９Ｄの形状は丸が好ましいが、丸にこだわる必要が
なく、どんな形状であっても構わない。
が、ノズル穴９Ｈの面積の５倍以上になると、あまり効
果が発揮されないから、ノズル穴９Ｈの面積の２〜３倍
程度が一番好ましい範囲である。しかも、逃し穴１９Ａ
〜１９Ｄの形状は丸が好ましいが、丸にこだわる必要が
なく、どんな形状であっても構わない。
【００２１】なお、この発明は、前述した実施の形態の
例に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。
例に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。
【００２２】
【発明の効果】以上のごとき実施の形態の例から理解さ
れるように、請求項１の発明によれば、アクリル板に、
レーザ加工ヘッドの先端に備えられたレーザノズルのノ
ズル穴からレーザビームを照射せしめると共に切断ガス
をレーザノズルの外周部に形成された逃し穴から噴射せ
しめることにより、切断ガスがノズル穴からレーザ加工
ヘッド内に入らないで、集光レンズを汚損，破損させな
い。また透明度の高い切断面を得ることができる。
れるように、請求項１の発明によれば、アクリル板に、
レーザ加工ヘッドの先端に備えられたレーザノズルのノ
ズル穴からレーザビームを照射せしめると共に切断ガス
をレーザノズルの外周部に形成された逃し穴から噴射せ
しめることにより、切断ガスがノズル穴からレーザ加工
ヘッド内に入らないで、集光レンズを汚損，破損させな
い。また透明度の高い切断面を得ることができる。
【００２３】請求項２，３の発明によれば、レーザ加工
ヘッドの先端に備えられたレーザノズルにおけるノズル
穴の外周部に逃し穴を形成せしめ、しかも、逃し穴の面
積を少なくともノズル穴の面積と同じ以上に形成せしめ
ることにより、切断ガスは逃し穴から噴射されてノズル
穴からレーザ加工ヘッド内に入らないで集光レンズの汚
損，破損がなくなると共に透明度の高い切断面を得るこ
とができる。
ヘッドの先端に備えられたレーザノズルにおけるノズル
穴の外周部に逃し穴を形成せしめ、しかも、逃し穴の面
積を少なくともノズル穴の面積と同じ以上に形成せしめ
ることにより、切断ガスは逃し穴から噴射されてノズル
穴からレーザ加工ヘッド内に入らないで集光レンズの汚
損，破損がなくなると共に透明度の高い切断面を得るこ
とができる。
【図１】この発明を実施する一実施の形態の例のレーザ
加工ヘッドの正面断面図である。
加工ヘッドの正面断面図である。
【図２】図１におけるレーザノズル部分の底面図であ
る。
る。
【図３】従来のレーザ加工ヘッドの正面断面図である。
１ レーザ加工ヘッド ３ 加工ヘッド本体 ５ 集光レンズ ９ レーザノズル ９Ｈ ノズル穴 １９Ａ〜１９Ｄ 逃し穴
Claims (3)
- 【請求項１】 アクリル板に、レーザ加工ヘッドの先端
に備えられたレーザノズルからレーザビームを照射せし
めると共に切断ガスを噴射せしめてレーザ切断加工を行
う際、前記レーザノズルにおけるノズル穴の外周部に形
成された逃し穴から切断ガスを噴射せしめてレーザ切断
加工を行うことを特徴とするアクリル板のレーザ加工方
法。 - 【請求項２】 アクリル板に、先端に備えられたレーザ
ノズルからレーザビームを照射せしめると共に切断ガス
を噴射せしめてレーザ切断加工を行うレーザ加工ヘッド
であって、前記レーザノズルにおけるノズル穴の外周部
に逃し穴を形成せしめてなることを特徴とするレーザ加
工ヘッド。 - 【請求項３】 前記逃し穴の面積を少なくともノズル穴
の面積と同じ以上に形成せしめてなることを特徴とする
請求項２記載のレーザ加工ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8088434A JPH09271970A (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | アクリル板のレーザ加工方法およびその方法に用いるレーザ加工ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8088434A JPH09271970A (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | アクリル板のレーザ加工方法およびその方法に用いるレーザ加工ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09271970A true JPH09271970A (ja) | 1997-10-21 |
Family
ID=13942698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8088434A Pending JPH09271970A (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | アクリル板のレーザ加工方法およびその方法に用いるレーザ加工ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09271970A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003117674A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Denso Corp | レーザ溶着装置 |
-
1996
- 1996-04-10 JP JP8088434A patent/JPH09271970A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003117674A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Denso Corp | レーザ溶着装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5039757B2 (ja) | レーザ加工装置におけるレーザ加工ヘッド | |
| EP1018395A3 (en) | Laser machining apparatus | |
| JP2670420B2 (ja) | レーザー切削装置 | |
| JP5610991B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| US6726012B2 (en) | Manufacturing a tire tracking identification unit | |
| JPH0299293A (ja) | レーザ加工ヘッド | |
| JPH05208285A (ja) | レーザ溶接方法およびその方法に使用する治具 | |
| US4825736A (en) | Apparatus for and method of machining around an opening in a workpiece | |
| JPH0322279B2 (ja) | ||
| JPH0299292A (ja) | レーザ加工用ノズル | |
| JP2622350B2 (ja) | 水中レーザ切断装置 | |
| JPH09220687A (ja) | レーザ加工ヘッド | |
| JP4358458B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP3943226B2 (ja) | レーザ加工装置のレーザ溶接ヘッド | |
| JPS6027486A (ja) | レ−ザ溶接装置 | |
| JP2002239770A (ja) | レーザ切断用ノズル | |
| JP2001150177A (ja) | レーザ加工機のシールドガス雰囲気保持装置 | |
| JP3519231B2 (ja) | レーザ加工機の加工ヘッド | |
| JPH04200888A (ja) | レーザ切断方法 | |
| JPH03294081A (ja) | レーザ加工機のスパッタ除去装置 | |
| JP3749352B2 (ja) | レーザ加工機におけるノズル | |
| JP4194897B2 (ja) | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 | |
| JPH11226770A (ja) | レーザ加工ヘッド | |
| JP2007260708A (ja) | レーザ光照射ノズル | |
| JPS62199285A (ja) | レーザ加工機 |