JPH09273864A - 熱処理炉 - Google Patents
熱処理炉Info
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- JPH09273864A JPH09273864A JP8037496A JP8037496A JPH09273864A JP H09273864 A JPH09273864 A JP H09273864A JP 8037496 A JP8037496 A JP 8037496A JP 8037496 A JP8037496 A JP 8037496A JP H09273864 A JPH09273864 A JP H09273864A
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Landscapes
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】炉内に冷媒を導入するために冷媒を加圧ガス状
態で貯溜した大きなサージタンクが必要である上に、導
入効率が悪く、炉内構成要素へも悪影響が大きいという
不具合がある。 【解決手段】窒素を液化状態で液化窒素ガスボンベ７に
貯溜しておき、必要に応じて取り出した後、霧化器６で
気化し易い状態にして容器１内に導入するようにしたの
で、液化窒素ガスボンベ７の内容積や導入管を小さくし
ても、導入後に容器１内で爆発的に膨張させて速やかに
容器１内を所定圧の窒素ガスで充満させることができ
る。
態で貯溜した大きなサージタンクが必要である上に、導
入効率が悪く、炉内構成要素へも悪影響が大きいという
不具合がある。 【解決手段】窒素を液化状態で液化窒素ガスボンベ７に
貯溜しておき、必要に応じて取り出した後、霧化器６で
気化し易い状態にして容器１内に導入するようにしたの
で、液化窒素ガスボンベ７の内容積や導入管を小さくし
ても、導入後に容器１内で爆発的に膨張させて速やかに
容器１内を所定圧の窒素ガスで充満させることができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理後に炉内の
急速冷却を効果的に行い得るようにした熱処理炉に関す
るものである。
急速冷却を効果的に行い得るようにした熱処理炉に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】熱処理炉のなかには、焼き入れなどの急
冷を冷却ガスを使用することによって行う手法が従来よ
り確立されている。このような熱処理炉は、炉内を真空
排気する排気系と、炉内に装入された処理物を加熱する
加熱手段と、加熱後の炉内に冷却ガスを導入するガス導
入系路と、導入された冷却ガスを送風する冷却ファンと
を備え、熱処理を終えた処理物に冷却ファンから冷却ガ
スを吹き付けることにより、処理物から効率良く熱を奪
って冷却することができるようにしている。
冷を冷却ガスを使用することによって行う手法が従来よ
り確立されている。このような熱処理炉は、炉内を真空
排気する排気系と、炉内に装入された処理物を加熱する
加熱手段と、加熱後の炉内に冷却ガスを導入するガス導
入系路と、導入された冷却ガスを送風する冷却ファンと
を備え、熱処理を終えた処理物に冷却ファンから冷却ガ
スを吹き付けることにより、処理物から効率良く熱を奪
って冷却することができるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、かかる冷却
ガスを供給するために、従来の熱処理炉はガス導入系路
の始端にサージタンクを設け、このサージタンクに冷却
ガスを高圧状態で封入するとともに、熱処理完了後にバ
ルブを開いて内部の冷却ガスを炉内に送り込むようにし
ている。
ガスを供給するために、従来の熱処理炉はガス導入系路
の始端にサージタンクを設け、このサージタンクに冷却
ガスを高圧状態で封入するとともに、熱処理完了後にバ
ルブを開いて内部の冷却ガスを炉内に送り込むようにし
ている。
【０００４】ところが、このような手法では、炉内圧が
炉とサージタンクの相対的な容積関係で決まるため、炉
内圧を高くして冷却効率を高めるためには、大きいサー
ジタンクを設置する必要がある。このため、装置全体の
大型化を招くほか、スペースファクタの低下、コストの
上昇など様々な不具合を伴うという問題がある。また、
サージタンクを大きくしても、タンクの内圧以上の圧力
を炉内に生成することはできない。また、ガス導入を短
時間で完了するために、配管を太くすることが行われて
いるが、このようにするとガスが炉内に急激に突入する
ことによる風圧で炉内構成要素、例えば脆弱なグラファ
イトフェルト等で構成される断熱材等が簡単に損傷する
恐れがある。
炉とサージタンクの相対的な容積関係で決まるため、炉
内圧を高くして冷却効率を高めるためには、大きいサー
ジタンクを設置する必要がある。このため、装置全体の
大型化を招くほか、スペースファクタの低下、コストの
上昇など様々な不具合を伴うという問題がある。また、
サージタンクを大きくしても、タンクの内圧以上の圧力
を炉内に生成することはできない。また、ガス導入を短
時間で完了するために、配管を太くすることが行われて
いるが、このようにするとガスが炉内に急激に突入する
ことによる風圧で炉内構成要素、例えば脆弱なグラファ
イトフェルト等で構成される断熱材等が簡単に損傷する
恐れがある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明は、冷媒を液化状態で貯溜しておき、必
要に応じて取り出した後、気化し易い状態にして炉内に
導くこととしている。
ために、本発明は、冷媒を液化状態で貯溜しておき、必
要に応じて取り出した後、気化し易い状態にして炉内に
導くこととしている。
【０００６】
【発明の実施の形態】すなわち、本発明の熱処理炉は、
炉内を真空排気する排気系と、炉内に装入された処理物
を加熱する加熱手段と、加熱後の炉内に冷媒を導入する
冷媒導入系路と、導入された冷媒を処理物に向かって送
風する冷却ファンとを具備してなるものにおいて、前記
冷媒導入系路に霧化器を介して冷媒が液化状態で貯溜さ
れた冷媒容器を断接切替可能に接続したものである。
炉内を真空排気する排気系と、炉内に装入された処理物
を加熱する加熱手段と、加熱後の炉内に冷媒を導入する
冷媒導入系路と、導入された冷媒を処理物に向かって送
風する冷却ファンとを具備してなるものにおいて、前記
冷媒導入系路に霧化器を介して冷媒が液化状態で貯溜さ
れた冷媒容器を断接切替可能に接続したものである。
【０００７】このような構成のものであれば、冷媒の液
化時と気化時との体積比を利用して、実質的な冷媒貯溜
量は同じでも冷媒容器を従来のサージタンクに比べて格
段に小さい内容積のもので済ませることができる。しか
も、冷媒を高温の炉内に霧状で導入することで、導入時
の体積を抑えながら導入後に冷媒を爆発的に膨張させて
瞬時に高圧のガス雰囲気を作り出すことができ、小さい
配管で極めて効率の良いガス導入が行える上に、炉内構
成要素に局所的なダメージを与える風圧の発生も有効に
回避することができる。その上、炉内において冷媒が気
化する際、周囲から気化熱を奪うため、当初よりガス状
態にある冷媒を導入する場合に比べて、冷媒の持つ冷却
能力を最大限に有効利用することが可能となる。
化時と気化時との体積比を利用して、実質的な冷媒貯溜
量は同じでも冷媒容器を従来のサージタンクに比べて格
段に小さい内容積のもので済ませることができる。しか
も、冷媒を高温の炉内に霧状で導入することで、導入時
の体積を抑えながら導入後に冷媒を爆発的に膨張させて
瞬時に高圧のガス雰囲気を作り出すことができ、小さい
配管で極めて効率の良いガス導入が行える上に、炉内構
成要素に局所的なダメージを与える風圧の発生も有効に
回避することができる。その上、炉内において冷媒が気
化する際、周囲から気化熱を奪うため、当初よりガス状
態にある冷媒を導入する場合に比べて、冷媒の持つ冷却
能力を最大限に有効利用することが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図面を参照して
説明する。この熱処理炉は、容器１内を真空排気する排
気系２と、容器１内に装入された処理物Ｗを加熱する加
熱手段３と、加熱後の容器１内に冷媒たる窒素を導入す
る冷媒導入系路４と、導入された窒素を処理物Ｗに向か
って送風する冷却ファン５とを具備している。
説明する。この熱処理炉は、容器１内を真空排気する排
気系２と、容器１内に装入された処理物Ｗを加熱する加
熱手段３と、加熱後の容器１内に冷媒たる窒素を導入す
る冷媒導入系路４と、導入された窒素を処理物Ｗに向か
って送風する冷却ファン５とを具備している。
【０００９】具体的に説明すると、容器１は、円筒体状
をなしその周壁に炉心に向かってノズル１１ａが形成さ
れた断熱本体１１と、この断熱本体１１の両開口端を蓋
封する断熱蓋１２、１３とを内有している。断熱本体１
１及び断熱蓋１２、１３は、例えばグラファイトフェル
ト等によって作られたもので、内部に熱処理空間Ｓ１を
閉成しており、この熱処理空間Ｓ１に処理物Ｗを装入す
るために一方の断熱蓋１２が容器１の一端に設けた処理
物出入用の扉１ａとともに断熱本体１１の開口部に対し
て着脱可能とされている。この断熱蓋１２、１３は冷却
時に図示しない開閉用シリンダに駆動されて開閉するダ
ンパとしての役割をも担っている。また、断熱本体１１
と容器１の間には、ガイド１４によって部分的に包囲さ
れたガス冷却空間Ｓ２が形成してあり、このガス冷却空
間Ｓ２の一部に熱交換器１５を配設している。このガス
冷却空間Ｓ２は、断熱蓋１２、１３を開成した際に熱処
理空間Ｓ１と連通する。一方、ノズル１１ａはガイド１
４の一部の開口を介して断熱本体１１の外側の送風空間
Ｓ３と連通するようになっている。
をなしその周壁に炉心に向かってノズル１１ａが形成さ
れた断熱本体１１と、この断熱本体１１の両開口端を蓋
封する断熱蓋１２、１３とを内有している。断熱本体１
１及び断熱蓋１２、１３は、例えばグラファイトフェル
ト等によって作られたもので、内部に熱処理空間Ｓ１を
閉成しており、この熱処理空間Ｓ１に処理物Ｗを装入す
るために一方の断熱蓋１２が容器１の一端に設けた処理
物出入用の扉１ａとともに断熱本体１１の開口部に対し
て着脱可能とされている。この断熱蓋１２、１３は冷却
時に図示しない開閉用シリンダに駆動されて開閉するダ
ンパとしての役割をも担っている。また、断熱本体１１
と容器１の間には、ガイド１４によって部分的に包囲さ
れたガス冷却空間Ｓ２が形成してあり、このガス冷却空
間Ｓ２の一部に熱交換器１５を配設している。このガス
冷却空間Ｓ２は、断熱蓋１２、１３を開成した際に熱処
理空間Ｓ１と連通する。一方、ノズル１１ａはガイド１
４の一部の開口を介して断熱本体１１の外側の送風空間
Ｓ３と連通するようになっている。
【００１０】排気系２は、この実施例ではメカニカルブ
ースタポンプ２１と油回転真空ポンプ２２とを直列に接
続した構造からなるもので、バルブ２３を介して容器１
内に断接切替可能に接続されている。加熱手段３は、処
理物を熱処理に応じた温度（例えば千度程度）に加熱で
きる能力を備えたシーズヒータやグラファイトヒータな
どから構成されるもので、前記熱処理空間Ｓ１の内部で
あって処理物Ｗを取り巻く位置に配設されている。
ースタポンプ２１と油回転真空ポンプ２２とを直列に接
続した構造からなるもので、バルブ２３を介して容器１
内に断接切替可能に接続されている。加熱手段３は、処
理物を熱処理に応じた温度（例えば千度程度）に加熱で
きる能力を備えたシーズヒータやグラファイトヒータな
どから構成されるもので、前記熱処理空間Ｓ１の内部で
あって処理物Ｗを取り巻く位置に配設されている。
【００１１】冷媒導入系路４は、熱処理を終えた炉内の
熱処理空間Ｓ１に冷媒たる窒素ガスを送り込むためのも
ので、その終端が前記ガス冷却空間Ｓ２に臨む位置に接
続されている。この冷媒導入系路４には、系路途中にバ
ルブ４１を介してベンチュリ・ノズル構造の霧化器６が
接続してあり、この霧化器６のベンチュリ部６１をバル
ブ７１を介して窒素ガスを液化状態で貯溜する冷媒容器
たる液体窒素ガスボンベ７の液相部に接続するととも
に、前記霧化器６のベンチュリ入口部６２に小型サージ
タンク８を接続している。また、この小型サージタンク
８の出口側はバルブ８１を介して前記液体窒素ガスボン
ベ７の気相部に接続してあり、窒素ガスを所定圧で貯溜
するようになっている。
熱処理空間Ｓ１に冷媒たる窒素ガスを送り込むためのも
ので、その終端が前記ガス冷却空間Ｓ２に臨む位置に接
続されている。この冷媒導入系路４には、系路途中にバ
ルブ４１を介してベンチュリ・ノズル構造の霧化器６が
接続してあり、この霧化器６のベンチュリ部６１をバル
ブ７１を介して窒素ガスを液化状態で貯溜する冷媒容器
たる液体窒素ガスボンベ７の液相部に接続するととも
に、前記霧化器６のベンチュリ入口部６２に小型サージ
タンク８を接続している。また、この小型サージタンク
８の出口側はバルブ８１を介して前記液体窒素ガスボン
ベ７の気相部に接続してあり、窒素ガスを所定圧で貯溜
するようになっている。
【００１２】冷却ファン５は、前記ガス冷却空間Ｓ２の
熱交換器１５に臨む位置に配設されるとともに、その軸
部が容器１を貫通して炉外のモータ５１に連結されてい
る。そして、このモータ５１の駆動により、前記ガス冷
却空間Ｓ２に存在するガスを炉心方向から吸い込んで、
ラジアル方向に吐出する作用を営むようになっている。
吐出されたガスは、送風空間Ｓ３を流れた後、断熱本体
１１に設けたノズル１１ａを介して熱処理空間Ｓ１に配
置した処理物Ｗに向かって噴出し、このとき断熱蓋１
２、１３を開成しておくことによって、冷却空間Ｓ２を
介して熱交換器１５に還流するようになっている。以
下、この系路をガス循環系路と称する。
熱交換器１５に臨む位置に配設されるとともに、その軸
部が容器１を貫通して炉外のモータ５１に連結されてい
る。そして、このモータ５１の駆動により、前記ガス冷
却空間Ｓ２に存在するガスを炉心方向から吸い込んで、
ラジアル方向に吐出する作用を営むようになっている。
吐出されたガスは、送風空間Ｓ３を流れた後、断熱本体
１１に設けたノズル１１ａを介して熱処理空間Ｓ１に配
置した処理物Ｗに向かって噴出し、このとき断熱蓋１
２、１３を開成しておくことによって、冷却空間Ｓ２を
介して熱交換器１５に還流するようになっている。以
下、この系路をガス循環系路と称する。
【００１３】次に、炉内に装入された処理物Ｗに対して
排気系２によって作られた真空下に加熱手段３を通じて
各種熱処理を施した後、急速冷却に供する様子について
説明する。予め熱処理完了までに、液化窒素ガスボンベ
７のバルブ８１を開き、小型サージタンク８を約１０kg
f/cm2まで加圧しておく。加熱処理が終わった後、排気
弁２３を閉じ、モータ５１を起動して冷却ファン５を回
し、当初閉じておいたバルブ４１、７１を開く。霧化器
６のベンチュリ部６１には液化窒素ガスボンベ７内の液
体窒素がガス圧により供給され、その状態でベンチュリ
入口部６２に小型サージタンク８から高圧の窒素ガスが
流れ込むため、窒素ガスはその霧化器６のベンチュリ部
６１を通過する時、液体窒素を霧化して容器１内に流し
込む。ベンチュリ出口部６３は真空である送風空間Ｓ３
に直接連通しているのに対して、ベンチュリ入口部６２
はサージタンク８に連通しているため、ベンチュリ６１
内に音速流が発生し、流し得る最大の流量が得られる。
一方、容器１内のガス冷却空間Ｓ２に導入された霧状の
液体窒素は容器１内の熱により気化し、爆発的に膨張し
て、容器１内の圧力を急上昇させる。容器１内のガス圧
はタイマによるバルブ７１の開閉又は容器１に付帯して
設けた圧力調節器１６の設定を通じて約１〜２秒間で炉
内圧が例えば８kgf/cm2程度となるように液体窒素の量
をコントロールする。そして、その窒素ガスが前述した
ガス循環系路に沿って処理物Ｗに送風され、その間、熱
交換器１５で冷却されて再び処理物Ｗに送風されるとい
うサイクルを繰り返す。この間、処理物Ｗは窒素ガスが
直接吹き付けられることによって冷却され、また導入時
に霧状の液体窒素が気化するときの気化熱が各炉材から
気化熱を奪うことによっても間接的に冷却される。
排気系２によって作られた真空下に加熱手段３を通じて
各種熱処理を施した後、急速冷却に供する様子について
説明する。予め熱処理完了までに、液化窒素ガスボンベ
７のバルブ８１を開き、小型サージタンク８を約１０kg
f/cm2まで加圧しておく。加熱処理が終わった後、排気
弁２３を閉じ、モータ５１を起動して冷却ファン５を回
し、当初閉じておいたバルブ４１、７１を開く。霧化器
６のベンチュリ部６１には液化窒素ガスボンベ７内の液
体窒素がガス圧により供給され、その状態でベンチュリ
入口部６２に小型サージタンク８から高圧の窒素ガスが
流れ込むため、窒素ガスはその霧化器６のベンチュリ部
６１を通過する時、液体窒素を霧化して容器１内に流し
込む。ベンチュリ出口部６３は真空である送風空間Ｓ３
に直接連通しているのに対して、ベンチュリ入口部６２
はサージタンク８に連通しているため、ベンチュリ６１
内に音速流が発生し、流し得る最大の流量が得られる。
一方、容器１内のガス冷却空間Ｓ２に導入された霧状の
液体窒素は容器１内の熱により気化し、爆発的に膨張し
て、容器１内の圧力を急上昇させる。容器１内のガス圧
はタイマによるバルブ７１の開閉又は容器１に付帯して
設けた圧力調節器１６の設定を通じて約１〜２秒間で炉
内圧が例えば８kgf/cm2程度となるように液体窒素の量
をコントロールする。そして、その窒素ガスが前述した
ガス循環系路に沿って処理物Ｗに送風され、その間、熱
交換器１５で冷却されて再び処理物Ｗに送風されるとい
うサイクルを繰り返す。この間、処理物Ｗは窒素ガスが
直接吹き付けられることによって冷却され、また導入時
に霧状の液体窒素が気化するときの気化熱が各炉材から
気化熱を奪うことによっても間接的に冷却される。
【００１４】以上のような冷却機能を備えた熱処理炉で
あると、冷媒である窒素の液化時と気化時との体積比を
利用して、実質的に冷却の大半を司っている液体窒素を
貯溜した液体窒素ガスボンベ７の内容積を、従来のサー
ジタンクに比べて格段に小さくすることができる。つま
り、実質的な冷媒貯溜量が同じである場合には、理論的
な内容積比にして１／６６６とすることができる。この
実施例では、霧化を促進するために窒素ガスを用いてお
り、その加圧ガスの貯溜用にサージタンク８を備えては
いるが、このサージタンク８は容器１に充填される窒素
ガスの全量を貯溜しておくものではなく、霧化に必要な
量さえあれば足りるため、従来の内容積の数分の一ない
しそれ以下の内容積を付与しておけば十分である。この
ため、液体窒素ガスボンベ７とサージタンク８を併せて
も、従来のサージタンクの内容積に比べて格段に小さい
もので賄うことができる。しかも、液体窒素を高温の容
器１内に霧状で導入することで、導入時の体積を抑えな
がら導入後に冷媒を爆発的に膨張させて瞬時に所要の高
圧ガス雰囲気を作り出すことができるので、小さい配管
であっても極めて高効率のガス導入が行え、従来よりも
短時間で容器１内を所定圧に昇圧することができる（従
来では炉内を同等の所定圧にするのに７秒程度を要して
いた）。その上、比較的脆弱な断熱材１１、１２、１３
などの炉内構成要素に局所的なダメージを与える風圧の
発生も有効に回避することができる。また、気化が炉内
で起こるため、バルブ４１の開閉のタイミングを適切に
制御すれば、炉内圧を供給圧以上に上げることも可能で
ある。さらに、容器１内において液体窒素が気化する
際、周囲から気化熱を奪うため、窒素ガスを導入する場
合に比べて、冷却効率をより有効に高めることが可能と
なる。
あると、冷媒である窒素の液化時と気化時との体積比を
利用して、実質的に冷却の大半を司っている液体窒素を
貯溜した液体窒素ガスボンベ７の内容積を、従来のサー
ジタンクに比べて格段に小さくすることができる。つま
り、実質的な冷媒貯溜量が同じである場合には、理論的
な内容積比にして１／６６６とすることができる。この
実施例では、霧化を促進するために窒素ガスを用いてお
り、その加圧ガスの貯溜用にサージタンク８を備えては
いるが、このサージタンク８は容器１に充填される窒素
ガスの全量を貯溜しておくものではなく、霧化に必要な
量さえあれば足りるため、従来の内容積の数分の一ない
しそれ以下の内容積を付与しておけば十分である。この
ため、液体窒素ガスボンベ７とサージタンク８を併せて
も、従来のサージタンクの内容積に比べて格段に小さい
もので賄うことができる。しかも、液体窒素を高温の容
器１内に霧状で導入することで、導入時の体積を抑えな
がら導入後に冷媒を爆発的に膨張させて瞬時に所要の高
圧ガス雰囲気を作り出すことができるので、小さい配管
であっても極めて高効率のガス導入が行え、従来よりも
短時間で容器１内を所定圧に昇圧することができる（従
来では炉内を同等の所定圧にするのに７秒程度を要して
いた）。その上、比較的脆弱な断熱材１１、１２、１３
などの炉内構成要素に局所的なダメージを与える風圧の
発生も有効に回避することができる。また、気化が炉内
で起こるため、バルブ４１の開閉のタイミングを適切に
制御すれば、炉内圧を供給圧以上に上げることも可能で
ある。さらに、容器１内において液体窒素が気化する
際、周囲から気化熱を奪うため、窒素ガスを導入する場
合に比べて、冷却効率をより有効に高めることが可能と
なる。
【００１５】以上説明したように、本実施例の熱処理炉
を利用すると、短時間のうちに容器１内を急速冷却に適
した高圧ガス雰囲気にし、同時に気化熱も利用して、焼
き入れ処理等の性能を効果的に高めることができるだけ
でなく、炉の構成もコンパクトなものにすることがで
き、同時に炉材の耐久性も有効に向上させることが可能
となる。
を利用すると、短時間のうちに容器１内を急速冷却に適
した高圧ガス雰囲気にし、同時に気化熱も利用して、焼
き入れ処理等の性能を効果的に高めることができるだけ
でなく、炉の構成もコンパクトなものにすることがで
き、同時に炉材の耐久性も有効に向上させることが可能
となる。
【００１６】なお、各部の具体的な構成は、図示実施例
のものに限定されるものではない。例えば、本発明は加
熱室と冷却室を分けた多室型の熱処理炉において当該冷
却室に適用することができるのは勿論である。また、サ
ージタンクは上記実施例では液体窒素ガスボンベの気相
部分からチャージしているが、液体窒素を直接送り込ん
で蒸発させることによりサージタンク内のガス温度が低
く保たれるようにしてもよい。さらにまた、霧化器のベ
ンチュリ部における霧化用ガスが得られる範囲におい
て、サージタンクを用いずに液体窒素ガスボンベのみを
設置してボンベ内の加圧ガスを用いて実施することも可
能である。この構成は、焼結炉を含む一般の熱処理炉の
冷却速度短縮に極めて有効である。
のものに限定されるものではない。例えば、本発明は加
熱室と冷却室を分けた多室型の熱処理炉において当該冷
却室に適用することができるのは勿論である。また、サ
ージタンクは上記実施例では液体窒素ガスボンベの気相
部分からチャージしているが、液体窒素を直接送り込ん
で蒸発させることによりサージタンク内のガス温度が低
く保たれるようにしてもよい。さらにまた、霧化器のベ
ンチュリ部における霧化用ガスが得られる範囲におい
て、サージタンクを用いずに液体窒素ガスボンベのみを
設置してボンベ内の加圧ガスを用いて実施することも可
能である。この構成は、焼結炉を含む一般の熱処理炉の
冷却速度短縮に極めて有効である。
【００１７】その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しな
い範囲で種々変形が可能である。
い範囲で種々変形が可能である。
【００１８】
【発明の効果】本発明の熱処理炉は、以上説明したよう
な構成であるから、短時間のうちに炉内を急速冷却に適
した高圧ガス雰囲気にし、同時に気化熱も利用して、焼
き入れ処理等の性能を有効に高めることができる。ま
た、炉の構成もコンパクトなものにすることができ、同
時に炉の耐久性も有効に向上させることが可能となる。
な構成であるから、短時間のうちに炉内を急速冷却に適
した高圧ガス雰囲気にし、同時に気化熱も利用して、焼
き入れ処理等の性能を有効に高めることができる。ま
た、炉の構成もコンパクトなものにすることができ、同
時に炉の耐久性も有効に向上させることが可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示す概略的な縦断面図。
【図２】同横断面図。
【図３】同実施例の要部を示す図。
Ｗ…処理物 １…炉 ２…排気系 ３…加熱手段 ４…冷媒導入系路 ５…冷却ファン ６…霧化器（噴霧ノズル） ７…冷媒容器（液体窒素ガスボンベ）
Claims (1)
- 【請求項１】炉内を真空排気する排気系と、炉内に装入
された処理物を加熱する加熱手段と、加熱後の炉内に冷
媒を導入する冷媒導入系路と、導入された冷媒を処理物
に向かって送風する冷却ファンとを具備してなるものに
おいて、 前記冷媒導入系路に霧化器を介して冷媒が液化状態で貯
溜された冷媒容器を断接切替可能に接続してなることを
特徴とする熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8037496A JPH09273864A (ja) | 1996-04-02 | 1996-04-02 | 熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8037496A JPH09273864A (ja) | 1996-04-02 | 1996-04-02 | 熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09273864A true JPH09273864A (ja) | 1997-10-21 |
Family
ID=13716513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8037496A Withdrawn JPH09273864A (ja) | 1996-04-02 | 1996-04-02 | 熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09273864A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7444823B2 (en) * | 2002-01-09 | 2008-11-04 | L'air Liquide, Societe Anonyme A Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Method and device for cooling a stream of gaseous liquid and a method of cooling articles |
| CN109097530A (zh) * | 2018-08-20 | 2018-12-28 | 益发施迈茨工业炉（上海）有限公司 | 抽真空深冷回火炉及其深冷回火处理方法 |
| CN111665119A (zh) * | 2020-07-11 | 2020-09-15 | 贝士德仪器科技(北京)有限公司 | 具有自动开合风冷降温结构的贝壳式加热炉的化学吸附仪 |
| CN115548353A (zh) * | 2022-09-30 | 2022-12-30 | 上海神力科技有限公司 | 一种燃料电池柔性石墨双极板浸渍设备及其实现方法 |
-
1996
- 1996-04-02 JP JP8037496A patent/JPH09273864A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7444823B2 (en) * | 2002-01-09 | 2008-11-04 | L'air Liquide, Societe Anonyme A Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Method and device for cooling a stream of gaseous liquid and a method of cooling articles |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |