JPH04347489A - 急速冷却炉 - Google Patents
急速冷却炉Info
- Publication number
- JPH04347489A JPH04347489A JP11979491A JP11979491A JPH04347489A JP H04347489 A JPH04347489 A JP H04347489A JP 11979491 A JP11979491 A JP 11979491A JP 11979491 A JP11979491 A JP 11979491A JP H04347489 A JPH04347489 A JP H04347489A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- gas
- furnace
- container
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Vertical, Hearth, Or Arc Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工業炉、焼入炉などと
して利用可能な急速冷却炉に関するものである。
して利用可能な急速冷却炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近時の焼入炉には、高温処理された処理
物に冷却ガスを吹き付けて冷却するように考えられたも
のがある。一例としては、冷却が必要とされる炉本体と
、この炉本体に冷却ガスを送り込むための容器と、この
容器内に冷熱を持ち込むための冷却部と、この容器内の
ガスをバルブを介して前記炉本体内に送給し再び帰還さ
せて循環させるための循環手段とを具備してなるものが
知られている。そして、炉本体が冷却を必要とする段階
になって冷却部とバルブを同時にＯＮにし、その冷却部
と周辺の冷却ガスとの熱交換を開始して、冷却ガスを冷
却しつつバルブを介して炉本体に送給し再び帰還させて
循環させるようにしている。
物に冷却ガスを吹き付けて冷却するように考えられたも
のがある。一例としては、冷却が必要とされる炉本体と
、この炉本体に冷却ガスを送り込むための容器と、この
容器内に冷熱を持ち込むための冷却部と、この容器内の
ガスをバルブを介して前記炉本体内に送給し再び帰還さ
せて循環させるための循環手段とを具備してなるものが
知られている。そして、炉本体が冷却を必要とする段階
になって冷却部とバルブを同時にＯＮにし、その冷却部
と周辺の冷却ガスとの熱交換を開始して、冷却ガスを冷
却しつつバルブを介して炉本体に送給し再び帰還させて
循環させるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の構成
では、冷却速度が専ら冷却部の能力に依存するため、冷
却速度を上げるためには冷却部を非常に大きくしなれば
ならないという不具合があるとともに、冷却を開始する
段になって始めて冷却部を作動させるため、冷却をパル
ス状に行うことが困難であるという問題も抱える。
では、冷却速度が専ら冷却部の能力に依存するため、冷
却速度を上げるためには冷却部を非常に大きくしなれば
ならないという不具合があるとともに、冷却を開始する
段になって始めて冷却部を作動させるため、冷却をパル
ス状に行うことが困難であるという問題も抱える。
【０００４】本発明は、装置の大形化を招くことなく、
従来に比べて冷却速度を有効に向上させることができる
ようにした急速冷却炉を提供することを目的としている
。
従来に比べて冷却速度を有効に向上させることができる
ようにした急速冷却炉を提供することを目的としている
。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような構成を採用したものである
。
達成するために、次のような構成を採用したものである
。
【０００６】すなわち、本発明に係る急速冷却炉は、冷
却が必要とされる炉本体と、内部に冷熱を持ち込むこと
のできる冷却部を有した冷却ガス保持用の容器と、この
容器内に保持されたガスをバルブが開かれた際に前記炉
本体内に圧送するガス移送手段とを具備してなるもので
あって、前記容器を断熱材によって囲繞し、この容器全
体に前記冷却部を介して持ち込まれる冷熱を蓄熱できる
ように構成するとともに、この容器が予冷された後にバ
ルブを開けて前記炉本体内に冷却ガスを圧送するように
していることを特徴とする。
却が必要とされる炉本体と、内部に冷熱を持ち込むこと
のできる冷却部を有した冷却ガス保持用の容器と、この
容器内に保持されたガスをバルブが開かれた際に前記炉
本体内に圧送するガス移送手段とを具備してなるもので
あって、前記容器を断熱材によって囲繞し、この容器全
体に前記冷却部を介して持ち込まれる冷熱を蓄熱できる
ように構成するとともに、この容器が予冷された後にバ
ルブを開けて前記炉本体内に冷却ガスを圧送するように
していることを特徴とする。
【０００７】
【作用】このような構成のものであると、バルブを開に
する瞬間までに、容器内にて冷却ガスが十分に予冷され
ることになる。このため、その冷却ガスを炉本体内に圧
送した際に、処理物等に従来に比べて遥かに大きな熱サ
ージを加えることができる。また、冷熱は容器全体に亘
って蓄熱されるため、冷却部の大きさが従来と同じであ
っても熱容量及び熱交換面積は従来に比べて遥かに大き
くなる。このため、冷却ガスと熱交換する際の冷却効率
が向上し、冷却効果も長時間持続的に発揮させることが
できる。
する瞬間までに、容器内にて冷却ガスが十分に予冷され
ることになる。このため、その冷却ガスを炉本体内に圧
送した際に、処理物等に従来に比べて遥かに大きな熱サ
ージを加えることができる。また、冷熱は容器全体に亘
って蓄熱されるため、冷却部の大きさが従来と同じであ
っても熱容量及び熱交換面積は従来に比べて遥かに大き
くなる。このため、冷却ガスと熱交換する際の冷却効率
が向上し、冷却効果も長時間持続的に発揮させることが
できる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【０００９】この急速冷却炉は、炉本体１と、容器たる
サージタンク２とをガス移送手段３およびガス帰還手段
４によって接続してなる。炉本体１は、炉殻１１の内部
に処理物Ｗを収容するための室１２を有しており、炉殻
１１に開口したガス導入口１１ａより導入される冷却ガ
スを室１２の周囲に設けた孔１２ａより該室１２内に流
入させ、しかる後、その冷却ガスを炉殻１１に設けたガ
ス導出口１１ｂより外部に流出させ得るようにしている
。サージタンク２は、周囲を断熱材５によって囲繞され
ており、外部と熱的にほぼ完全に遮断されている。そし
て、内部に冷却部たる熱交換器６を配設している。この
熱交換器６は、サージタンク２内に引き回され両端を図
外の冷凍機等に接続されたフロン等の流通経路となる管
６ａと、その管６ａをサージタンク２の内壁２ａに熱的
に接続するための井桁状の熱交換板６ｂとにより構成さ
れている。そして、この熱交換器６に外部から持ち込ま
れる冷熱を管６ａ、熱交換板６ｂを始めとしてサージタ
ンク２の内壁２ａなど該タンク２内のすべての部位に蓄
熱できるようにしている。また、このサージタンク２に
はバルブ７ａを介してガスボンベ７が接続してあり、適
宜必要量の冷却ガスをサージタンク２に充填し該タンク
２内に保持させ得るようにしてある。ガス移送手段３は
、前記サージタンク２内にモータ８を駆動源とするファ
ン３ａを配設するとともに、このファン３ａの送風方向
に相当するサージタンク２上にガス導出口２ｂを開口し
、このガス導出口２ｂを前記炉本体１のガス導入口１１
ａにパイプ３ｂを介して連通させた構成による。パイプ
３ｂには電磁開閉バルブ３ｃが介設されている。ガス帰
還手段４は、サージタンク２上であって熱交換器６より
も上流側にガス導入口２ｃを開口し、このガス導入口２
ｃを前記炉本体１のガス導出口１１ｂにパイプ４ａを介
して連通させた構成による。パイプ４ａには電磁開閉バ
ルブ４ｂが介設されている。なお、前記ファン３ａおよ
びモータ８も前記熱交換器６と熱的に接続されている。
サージタンク２とをガス移送手段３およびガス帰還手段
４によって接続してなる。炉本体１は、炉殻１１の内部
に処理物Ｗを収容するための室１２を有しており、炉殻
１１に開口したガス導入口１１ａより導入される冷却ガ
スを室１２の周囲に設けた孔１２ａより該室１２内に流
入させ、しかる後、その冷却ガスを炉殻１１に設けたガ
ス導出口１１ｂより外部に流出させ得るようにしている
。サージタンク２は、周囲を断熱材５によって囲繞され
ており、外部と熱的にほぼ完全に遮断されている。そし
て、内部に冷却部たる熱交換器６を配設している。この
熱交換器６は、サージタンク２内に引き回され両端を図
外の冷凍機等に接続されたフロン等の流通経路となる管
６ａと、その管６ａをサージタンク２の内壁２ａに熱的
に接続するための井桁状の熱交換板６ｂとにより構成さ
れている。そして、この熱交換器６に外部から持ち込ま
れる冷熱を管６ａ、熱交換板６ｂを始めとしてサージタ
ンク２の内壁２ａなど該タンク２内のすべての部位に蓄
熱できるようにしている。また、このサージタンク２に
はバルブ７ａを介してガスボンベ７が接続してあり、適
宜必要量の冷却ガスをサージタンク２に充填し該タンク
２内に保持させ得るようにしてある。ガス移送手段３は
、前記サージタンク２内にモータ８を駆動源とするファ
ン３ａを配設するとともに、このファン３ａの送風方向
に相当するサージタンク２上にガス導出口２ｂを開口し
、このガス導出口２ｂを前記炉本体１のガス導入口１１
ａにパイプ３ｂを介して連通させた構成による。パイプ
３ｂには電磁開閉バルブ３ｃが介設されている。ガス帰
還手段４は、サージタンク２上であって熱交換器６より
も上流側にガス導入口２ｃを開口し、このガス導入口２
ｃを前記炉本体１のガス導出口１１ｂにパイプ４ａを介
して連通させた構成による。パイプ４ａには電磁開閉バ
ルブ４ｂが介設されている。なお、前記ファン３ａおよ
びモータ８も前記熱交換器６と熱的に接続されている。
【００１０】そして、前記炉本体１における焼入れ等の
完了時よりも所定時間前に、バルブ３ｃ、４ｂを閉じた
状態でサージタンク２内にバルブ７ａを介してガスボン
ベ７から冷却ガスを導入し、図外の冷凍機を作動させて
熱交換器６の管６ａにフロン等を流通させてタンク２内
の冷却を開始しておくようにする。
完了時よりも所定時間前に、バルブ３ｃ、４ｂを閉じた
状態でサージタンク２内にバルブ７ａを介してガスボン
ベ７から冷却ガスを導入し、図外の冷凍機を作動させて
熱交換器６の管６ａにフロン等を流通させてタンク２内
の冷却を開始しておくようにする。
【００１１】しかして、この急速冷却炉によると、炉本
体１における熱処理が完了しバルブ３ｃ、４ｂが開かれ
る瞬間までに熱交換器６を通じてサージンタク２内に持
ち込まれた冷熱が管６ａ、熱交換板６ｂ、サージタンク
内壁２ａ、ファン３ａ等のいたる所に蓄熱されることに
なる。勿論、サージンタンク２内に保持された冷却ガス
はこれによって十分な予冷が完了される。このため、バ
ルブ３ｃ、４ｂを開いて炉本体１内にファン３ａにより
冷却ガスを高圧で圧送した場合に、処理物Ｗに従来に比
べて遥かに大きな熱サージを加えることができる。一方
、処理物Ｗを冷却して昇温したガスは、ガス帰還手段４
を通じてサージタンク２内に戻り、いげた６ｂの間をぬ
ってガス導出口２ｂに辿りつくまでに再度冷却され、再
び炉本体１に送給されたときに処理物Ｗの冷却に供され
る。このような冷却ガスの循環過程において、この急速
冷却炉は、サージタンク２を断熱材５で囲繞することに
より全体を蓄熱部および熱交換部としているため、熱交
換器６の大きさが従来と同じであっても、専ら熱交換部
６に期待していた従来に比べて熱容量及び熱交換面積が
遥かに大きくとれることになり、昇温したガスを短時間
で急速冷却し、炉本体１に再度送給した際に処理物Ｗに
対する効果的な冷却を行わせることが可能になる。
体１における熱処理が完了しバルブ３ｃ、４ｂが開かれ
る瞬間までに熱交換器６を通じてサージンタク２内に持
ち込まれた冷熱が管６ａ、熱交換板６ｂ、サージタンク
内壁２ａ、ファン３ａ等のいたる所に蓄熱されることに
なる。勿論、サージンタンク２内に保持された冷却ガス
はこれによって十分な予冷が完了される。このため、バ
ルブ３ｃ、４ｂを開いて炉本体１内にファン３ａにより
冷却ガスを高圧で圧送した場合に、処理物Ｗに従来に比
べて遥かに大きな熱サージを加えることができる。一方
、処理物Ｗを冷却して昇温したガスは、ガス帰還手段４
を通じてサージタンク２内に戻り、いげた６ｂの間をぬ
ってガス導出口２ｂに辿りつくまでに再度冷却され、再
び炉本体１に送給されたときに処理物Ｗの冷却に供され
る。このような冷却ガスの循環過程において、この急速
冷却炉は、サージタンク２を断熱材５で囲繞することに
より全体を蓄熱部および熱交換部としているため、熱交
換器６の大きさが従来と同じであっても、専ら熱交換部
６に期待していた従来に比べて熱容量及び熱交換面積が
遥かに大きくとれることになり、昇温したガスを短時間
で急速冷却し、炉本体１に再度送給した際に処理物Ｗに
対する効果的な冷却を行わせることが可能になる。
【００１２】なお、ファンはサージタンクのガス導入口
側に置くようにしてもよく、モータは実質的にサージタ
ンクの内部に入れておくこともできる。また、熱交換器
は必ずしも冷凍機に接続せずともよく、単に冷却水供給
源に接続しておいてもよい。さらに、ファンは遠心形の
ものに限らない。さらにまた、ガス帰還手段を設けず処
理物を冷却した後のガスを大気放出してもよい。その他
、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能であ
る。
側に置くようにしてもよく、モータは実質的にサージタ
ンクの内部に入れておくこともできる。また、熱交換器
は必ずしも冷凍機に接続せずともよく、単に冷却水供給
源に接続しておいてもよい。さらに、ファンは遠心形の
ものに限らない。さらにまた、ガス帰還手段を設けず処
理物を冷却した後のガスを大気放出してもよい。その他
、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能であ
る。
【００１３】
【発明の効果】本発明の急速冷却炉は、以上説明した構
成であるから、装置の大形化を招くことなく、冷却開始
時に従来に比べて処理物等に大きな熱サージを掛けるこ
とができ、その冷却効果も従来に比べて長時間持続的に
発揮させることができる。このため、処理物の冷却を短
時間で確実に進行させることができる優れた効果がある
。
成であるから、装置の大形化を招くことなく、冷却開始
時に従来に比べて処理物等に大きな熱サージを掛けるこ
とができ、その冷却効果も従来に比べて長時間持続的に
発揮させることができる。このため、処理物の冷却を短
時間で確実に進行させることができる優れた効果がある
。
【図１】本発明の一実施例を示す原理図。
１…炉本体
２…容器（サージタンク）
３…ガス移送手段
３ｃ…バルブ
５…断熱材
６…冷却部（熱交換器）
Claims (1)
- 【請求項１】冷却が必要とされる炉本体と、内部に冷熱
を持ち込むことのできる冷却部を有した冷却ガス保持用
の容器と、この容器内に保持されたガスをバルブが開か
れた際に前記炉本体内に圧送するガス移送手段とを具備
してなるものであって、前記容器を断熱材によって囲繞
し、この容器全体に前記冷却部を介して持ち込まれる冷
熱を蓄熱できるように構成するとともに、この容器が予
冷された後にバルブを開けて前記炉本体内に冷却ガスを
圧送するようにしていることを特徴とする急速冷却炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11979491A JPH04347489A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 急速冷却炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11979491A JPH04347489A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 急速冷却炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04347489A true JPH04347489A (ja) | 1992-12-02 |
Family
ID=14770390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11979491A Pending JPH04347489A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 急速冷却炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04347489A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0727498A1 (de) * | 1995-01-23 | 1996-08-21 | ALD Vacuum Technologies GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum Abkühlen von Werkstücken, insbesondere zum Härten |
-
1991
- 1991-05-24 JP JP11979491A patent/JPH04347489A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0727498A1 (de) * | 1995-01-23 | 1996-08-21 | ALD Vacuum Technologies GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum Abkühlen von Werkstücken, insbesondere zum Härten |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6640260B2 (ja) | ファンおよびエジェクタを組み合わせた冷却を用いた加圧装置、ならびに加圧の方法 | |
| CN101970696A (zh) | 单室型真空热处理炉以及单室型真空热处理炉中的被处理品的氧化防止方法 | |
| JP2011508671A (ja) | 熱間静水圧プレス装置 | |
| KR101852937B1 (ko) | 급속 냉각 장치 및 이를 구비한 열처리 오븐 시스템 | |
| EP0936662A3 (en) | Semiconductor thermal processor with recirculating heater exhaust cooling system | |
| EP0921361A3 (en) | Apparatus for heating and cooling | |
| JP3806110B2 (ja) | 真空乾燥装置 | |
| JPH04347489A (ja) | 急速冷却炉 | |
| KR100544909B1 (ko) | 반도체 제조 장치의 배출 열 이용 시스템 및 배출 열 이용 방법 | |
| US4315597A (en) | Water pre-heater of a refrigeration system | |
| KR20070106143A (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치 | |
| JP3221946U (ja) | 熱処理炉 | |
| CN107436097A (zh) | 烧结炉的冷却方法、烧结工艺以及烧结炉 | |
| SU1740459A1 (ru) | Отделение колпаковых печей и способ нагрева и охлаждени садки в отделении колпаковых печей | |
| US11135798B2 (en) | Method for processing articles and method for high-pressure treatment of articles | |
| JPS60262914A (ja) | ガス冷式真空炉のガス冷却装置 | |
| KR100268416B1 (ko) | 반도체장치 제조설비용 냉각챔버 | |
| CN112962052A (zh) | 氮氧化炉 | |
| JPH11264659A (ja) | 凍結乾燥方法および装置 | |
| JP2004250782A (ja) | 熱処理装置 | |
| JPH1137680A (ja) | ヒートパイプ製造装置 | |
| JPS6020082A (ja) | 真空炉 | |
| CN112833623B (zh) | 一种用于真空干燥设备的快速降温方法 | |
| KR20040037540A (ko) | 실외기 없는 에어컨 | |
| JPS6118429A (ja) | 省エネルギ−タンクを持つ加圧装置 |