JPH0927520A - インナリードボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】インナリードが微細化しても、高精度に圧着す
ることができるインナリードボンディング装置を得るこ
と。 【解決手段】キャリアテープ３をボンディング場所で保
持するクランプ４をＸ軸，Ｙ軸及びθ軸方向に駆動する
駆動機構を設ける。ボンディングツール１の上流側に
は、ＣＣＤカメラ９を垂設し、このＣＣＤカメラ９でキ
ャリアテープのインナリード５の位置を撮像し、この画
像情報を画像処理装置10入力する。この画像処理装置10
では、あらかじめ入力されたキャリアテープ３の基準位
置情報とＣＣＤカメラ９から入力されたキャリアテープ
３の位置情報とを比較し演算して、その差をコントロー
ラ12Ａに出力する。このコントローラ12Ａでは、駆動機
構11Ａを駆動して、クランプ４を介してキャリアテープ
３の停止位置を所定の位置に補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インナリードボン
ディング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３は、従来のインナリードボンディン
グ装置の一例を示す部分斜視図である。図３において、
左右に設けられたスプロケット８Ａ，８Ｂは、図示しな
い駆動制御装置で駆動されるパルスモータに連結され、
矢印Ｃで示すように時計方向に駆動されている。これら
のスプロッケト８Ａ，８Ｂの間の中央部の下方には、ボ
ンディング台２が設置され、このボンディング台２の上
方には、クランプ４が設けられている。

【０００３】このクランプ４の上面には、図示しない供
給リールからテンションプーリなどを経て矢印Ｂに示す
ように送られてきたキャリアテープ３が示されている。
このキャリアテープ３の両側に連続して形成されたパー
フォレーション３ａは、前述したスプロケット８Ａ，８
Ｂの両側の外周に突設された歯と噛み合っている。

【０００４】キャリアテープ３に形成された長方形の開
口部３ｂの内側には、後述する工程でインナリード５が
圧着されるＩＣチップ６が示されている。このＩＣチッ
プ６の上方には、インナリード５をＩＣチップ６のバン
プ７に圧着するボンディングツール１が、矢印Ａで示す
ように図示しない架台に対してボンディング台２と対向
して上下動自在に垂設されている。

【０００５】このように構成されたインナリードボンデ
ィング装置においては、キャリアテープ３は、図示しな
い駆動制御装置によって所定の角度回転するパルスモー
タによってスプロケット８Ａ，８Ｂが回転し、このスプ
ロケット８Ａ，８Ｂの回転角度に応じて、キャリアテー
プ３は下流側に巡送され、このキャリアテープ３に形成
された開口部３ｂがボンディングツール１の真下になる
と、停止する。この停止したキャリアテープ３は、クラ
ンプ４によって保持される。

【０００６】すると、ボンディング台２は上昇し、加熱
されたボンディングツール１は下降して、ボンディング
台に供給されたＩＣチップ６のバンプ７に対して、キャ
リアテープのインナリード５が圧着される。

【０００７】この圧着工程が終ると、ボンディングツー
ル１は上昇し、ボンディング台２は下降し、このボンデ
ィング台には、図示しない供給装置からＩＣチップ６が
供給されるとともに、キャリアテープ３は、スプロケッ
ト８Ａ，８ＡＢによって、所定の距離だけ下流側に巡送
され、インナリード５に対して前述したＩＣチップ６の
圧着が繰り返えされる。矢印Ｂに示すように、下流側に
巡送されたキャリアテープ３は、図示しないテンション
プーリなどを経て、図示しない巻取りリールに巻き取ら
れる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
構成されたインナリードボンディング装置においては、
長期に亘る稼動によって、スプロケット８Ａ，８Ｂの外
周に突設された歯が摩耗すると、インナリード５とＩＣ
チップ６との相対位置が僅かにずれてくるおそれがあ
る。

【０００９】さらに、キャリアテープ３に形成されたパ
ーフォレーション３ａとインナリード５との間の僅かな
誤差や、キャリアテープ３に印加される張力の変動及び
スプロケット８Ａ，８Ｂとボンディングツール１との間
の僅かな組立誤差が加算されると、インナリード５とバ
ンプ７との接合面積が変動するおそれがある。そのため
には、頻繁に抜取り検査を行わなければならない。

【００１０】この問題は、現在組み込まれているＩＣチ
ップでは問題ないが、将来ますます小形化されインナリ
ード５が微細となるＩＣチップでは、充分な接合面積が
得られなくなるおそれがある。そこで、本発明の目的
は、インナリードが微細化しても、高精度に圧着するこ
とのできるインナリードボンディング装置を得ることで
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明の
インナリードボンディング装置は、搬送路を巡送され圧
着位置で保持部によって保持され素子が圧着されるキャ
リアテープの位置画像を撮像するカメラと、あらかじめ
入力されたインナリードの位置基準情報とカメラから入
力された位置画像情報とを比較演算してその位置の差の
情報を駆動制御装置に出力する画像処理装置と、駆動制
御装置から入力された位置の差を補正する位置補正信号
が入力され、保持部を駆動して、キャリアテープの位置
を補正する駆動機構を備えたことを特徴とする。

【００１２】また、請求項２に記載の発明のインナリー
ドボンディング装置は、搬送路をスプロケットで巡送さ
れ圧着位置で素子が圧着されるキャリアテープに形成さ
れたインナリードの位置画像を撮像するカメラと、あら
かじめ入力されたインナリードと素子との位置基準情報
とカメラから入力された位置画像情報とを比較演算して
その位置の差の情報を駆動制御装置に出力する画像処理
装置と、駆動制御装置から入力された位置の差を補正す
る位置補正信号が入力され、スプロケットの支持部を駆
動して、キャリアテープの位置を補正する駆動機構を備
えたことを特徴とする。

【００１３】さらに、請求項３に記載の発明のインナリ
ードボンディング装置は、画像処理装置から出力された
位置の差の情報が入力されキャリアテープの巡送位置を
補正して駆動する巡送駆動部を設けたことを特徴とす
る。

【００１４】このような手段によって、請求項１に記載
の発明においては、キャリアテープの巡送停止位置が基
準位置からずれた場合には、駆動機構で駆動される保持
部を介して、キャリアテープを基準位置に補正する。

【００１５】また、請求項２に記載の発明においては、
キャリアテープの巡送停止位置が基準位置からずれた場
合には、駆動機構で駆動されるスプロケットの支持部を
介して、キャリアテープを基準位置に補正する。

【００１６】さらに、請求項３に記載の発明において
は、キャリアテープの巡送停止位置が巡送方向にずれた
場合には、巡送駆動部によってキャリアテープの巡送方
向の位置を補正され張力も補正する。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明のインナリードボン
ディング装置の一実施例を図面を参照して説明する。図
１は、本発明のインナリードボンディング装置の第１の
実施例を示す部分斜視図で、従来の技術で示した図３に
対応し、請求項１に記載の発明に対応する。なお、図３
と同一要素には、同一符号を付して説明を省略する。

【００１８】図１において、従来の技術で示した図３と
異るところは、キャリアテープ３とＩＣチップ６の圧着
部分を撮像するカメラ９と、このカメラ９で撮像した画
像信号とあらかじめ入力された位置寸法とを比較しその
差を出力する画像処理装置10と、この画像処理装置10か
ら入力された信号で、クランパ４を駆動して、キャリア
テープ３とＩＣチップ６との相対位置を補正するコント
ローラ12及び駆動機構11Ａを設けたことである。

【００１９】すなわち、ボンディングツール１の下流側
には、このボンディングツール１が支持される架台に対
して、ＣＣＤ（Charge Coupled Device ）カメラ９が下
向きに取り付けられている。このＣＣＤカメラ９の出力
信号線は、画像処理装置に接続されている。

【００２０】一方、クランプ４の前方には、Ｘ軸及びＹ
軸とθ軸を備えた駆動機構11Ａが設けられ、このうち、
θ軸には、先端がクランプ４に固定されたアーム11ａが
突設されている。

【００２１】このように構成されたインナリードボンデ
ィング装置においては、キャリアテープ３が所定の位置
に停止すると、インナリード５の先端部とＩＣチップ６
のパターンとの位置を撮像したＣＣＤカメラ９の画像信
号が画像処理装置10に入力される。

【００２２】すなわち、図１においては、左側最後部の
インナリード５とこのインナリード５と対向する部分の
ＩＣチップのパターンと、右側最前方のインナリード５
とこのインナリード５と対向する部分のＩＣチップのパ
ターンとの相互位置を撮像した画像情報がＣＣＤカメラ
９から画像処理装置10に入力される。

【００２３】すると、この画像処理装置10では、前述し
た画像情報と、あらかじめ入力された前述部分の基準位
置寸法情報とを比較し、演算して、その差をコントロー
ラ12に出力する。

【００２４】このコントローラ12では、画像処理装置10
から入力された画像情報と基準位置寸法情報との差か
ら、駆動機構11Ａに対して位置補正信号を出力して、こ
の駆動機構11ＡのＸ軸とＹ軸、及び位置補正の方向によ
ってはθ軸を駆動し、クランプ４の位置と方向を補正
し、キャリアテープ３の位置と方向を僅かに補正して、
インナリード５とパターンとの関係寸法を規定の位置に
戻す。

【００２５】したがって、このように構成されたインナ
リードボンディング装置においては、長期にわたる稼動
によって、たとえ、キャリアテープ３のボンディング位
置が僅かにずれても、オンラインで連続して補正するこ
とができるので、抜取り検査を省くことができ、且つ、
長期にわたって高精度にＩＣチップを圧着することがで
きるインナリードボンディング装置を得ることができ
る。

【００２６】次に、図２は、本発明のインナリードボン
ディング装置の第２の実施例を示す斜視図で、請求項２
に対応する図である。図２において、図１と異るところ
は、キャリアテープ３とＩＣチップ６との位置ずれを補
正する手段として、スプロケット８Ａ，８Ｂの位置を駆
動する駆動機構11Ｂを設けたことである。

【００２７】すなわち、図２において、クランプ４の前
方には、Ｘ軸，Ｙ軸及びθ軸を備えた駆動機構11Ｂが設
置され、このうち、θ軸には、先端がＵ字状に分岐した
アーム11ｂが突設されている。

【００２８】このアーム11ｂの先端には、スプロケット
８Ａ，８Ｂの軸心に貫設された図示しない駆動軸の両側
を支える支持台が固定されている。この支持台は、図示
しないテーブルに載置され、図２の矢印Ｂで示すインナ
リードの搬送方向だけでなく、前後左右に移動自在とな
っている。

【００２９】このように構成されたインナリードボンデ
ィング装置においては、図１で示した第１の実施例と同
様に、コントローラ12Ｂから位置補正信号が駆動機構11
Ｂに出力されると、この駆動機構11Ｂでは、Ｘ軸，Ｙ軸
及びθ軸を駆動して、スプロケット８Ａ，８Ｂを駆動軸
を介して支持した支持台を駆動して、キャリアテープ３
の位置と方向を補正する。

【００３０】したがって、このように構成されたインナ
リードボンディング装置においても、もし、長期にわた
る稼動などによって、キャリアテープ３のボンディング
位置が所定の位置からずれた場合には、オンラインでそ
の位置を補正することで、この装置を停めることなく、
稼動を続行することができる。

【００３１】なお、上記実施例において、キャリアテー
プ３の搬送方向の位置を補正する場合には、その補正量
によっては、スプロケット８Ａ，８Ｂを駆動するパルス
モータの制御装置に対して、スプロケット８Ａ，８Ｂの
駆動量も補正する信号を送り、キャリアテープ３の過剰
な張力や撓みを防ぐようにして、キャリアテープ３の位
置の補正を容易とし、且つ、更に精度を上げて、請求項
３に記載の発明としてもよい。

【００３２】

【発明の効果】以上、請求項１に記載の発明によれば、
搬送路を巡送され圧着位置で保持部によって保持され素
子が圧着されるキャリアテープに形成されたインナリー
ドの位置画像を撮像するカメラと、あらかじめ入力され
たインナリードの位置基準情報とカメラから入力された
位置画像情報とを比較演算してその位置の差の情報を駆
動制御装置に出力する画像処理装置と、駆動制御装置か
ら入力された位置の差を補正する位置補正信号が入力さ
れ、保持部を駆動して、キャリアテープの位置を補正す
る駆動機構を備えることで、キャリアテープの巡送停止
位置が基準位置からずれた場合には、駆動機構で駆動さ
れる保持部を介して、キャリアテープの位置を基準位置
に補正したので、インナリードが微細化しても、高精度
に圧着することのできるインナリードボンディング装置
を得ることができる。

【００３３】また、請求項２に記載の発明によれば、搬
送路をスプロケットで巡送され圧着位置で素子が圧着さ
れるキャリアテープに形成されたインナリードの位置画
像を撮像するカメラと、あらかじめ入力されたインナリ
ードと素子との位置基準情報とカメラから入力された位
置画像情報とを比較演算してその位置の差の情報を駆動
制御装置に出力する画像処理装置と、駆動制御装置から
入力された位置の差を補正する位置補正信号が入力さ
れ、スプロケットの支持部を駆動して、キャリアテープ
の位置を補正する駆動機構を備えることで、キャリアテ
ープの巡送停止位置が基準位置からずれた場合には、駆
動機構で駆動されるスプロケットの支持部を介して、キ
ャリアテープの位置を基準位置に補正したので、インナ
リードが微細化しても、高精度に圧着することのできる
インナリードボンディング装置を得ることができる。

【００３４】さらに、請求項３に記載の発明によれば、
画像処理装置から出力された位置の差の情報が入力され
キャリアテープの巡送位置を補正して駆動する巡送駆動
部を設けることで、キャリアテープの巡送停止位置が巡
送方向にずれた場合には、巡送駆動部によってキャリア
テープの巡送方向の位置を補正し張力も補正したので、
インナリードが微細化しても、高精度に圧着することの
できるインナリードボンディング装置を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインナリードボンディング装置の第１
の実施例を示す部分斜視図。

【図２】本発明のインナリードボンディング装置の第２
の実施例を示す部分斜視図。

【図３】従来のインナリードボンディング装置の一例を
示す部分斜視図。

【符号の説明】

１…ボンディングツール、２…ボンディング台、３…キ
ャリアテープ、４…クランプ、５…インナリード、６…
ＩＣチップ、７…バンプ、８Ａ，８Ｂ…スプロケット、
９…ＣＣＤカメラ、10…画像処理装置、11Ａ，11Ｂ…駆
動機構、12Ａ，12Ｂ…コントローラ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送路を巡送され圧着位置で保持部によ
   って保持され素子が圧着されるキャリアテープに形成さ
   れたインナリードの位置画像を撮像するカメラと、あら
   かじめ入力された前記インナリードの位置基準情報と前
   記カメラから入力された前記位置画像情報とを比較演算
   してその位置の差の情報を駆動制御装置に出力する画像
   処理装置と、前記駆動制御装置から入力された前記位置
   の差を補正する位置補正信号が入力され、前記保持部を
   駆動して、前記キャリアテープの位置を補正する駆動機
   構を備えたインナリードボンディング装置。
2. 【請求項２】 搬送路をスプロケットで巡送され圧着位
   置で素子が圧着されるキャリアテープに形成されたイン
   ナリードの位置画像を撮像するカメラと、あらかじめ入
   力された前記インナリードと前記素子との位置基準情報
   と前記カメラから入力された前記位置画像情報とを比較
   演算してその位置の差の情報を駆動制御装置に出力する
   画像処理装置と、前記駆動制御装置から入力された前記
   位置の差を補正する位置補正信号が入力され、前記スプ
   ロケットの支持部を駆動して、前記キャリアテープの位
   置を補正する駆動機構を備えたインナリードボンディン
   グ装置。
3. 【請求項３】 前記画像処理装置から出力された前記位
   置の差の情報が入力され前記キャリアテープの巡送位置
   を補正して駆動する巡送駆動部を設けたことを特徴とす
   る請求項１又は請求項２に記載のインナリードボンディ
   ング装置。