JPH09275221A - 太陽電池用導電性組成物および太陽電池用電極の製造方法 - Google Patents
太陽電池用導電性組成物および太陽電池用電極の製造方法Info
- Publication number
- JPH09275221A JPH09275221A JP8082503A JP8250396A JPH09275221A JP H09275221 A JPH09275221 A JP H09275221A JP 8082503 A JP8082503 A JP 8082503A JP 8250396 A JP8250396 A JP 8250396A JP H09275221 A JPH09275221 A JP H09275221A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- solar cell
- solar cells
- wafer
- glass frit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 14
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 10
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 2
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- IEKHISJGRIEHRE-UHFFFAOYSA-N 16-methylheptadecanoic acid;propan-2-ol;titanium Chemical compound [Ti].CC(C)O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IEKHISJGRIEHRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940044192 2-hydroxyethyl methacrylate Drugs 0.000 description 1
- UZPSEGIMBGXXFB-UHFFFAOYSA-N 3-ethenoxycarbonylbut-3-enoic acid Chemical compound OC(=O)CC(=C)C(=O)OC=C UZPSEGIMBGXXFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- -1 aromatic carbonyl compound Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- ZFZQOKHLXAVJIF-UHFFFAOYSA-N zinc;boric acid;dihydroxy(dioxido)silane Chemical compound [Zn+2].OB(O)O.O[Si](O)([O-])[O-] ZFZQOKHLXAVJIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フォトリソグラフィーを用いて電極を形成す
ることが可能な太陽電池用導電性組成物を提供する。ま
た、太陽電池の受光面に対し、微細で良好な形状を有す
るとともに、ウエハーとの接触強度が良好な電極を形成
することが可能な太陽電池用電極の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 太陽電池用導電性組成物は、銀粉末と、
ガラスフリットと、感光性樹脂と、カップリング剤とを
有機溶剤中に混合してなるものである。また、太陽電池
用電極の製造方法は、上記混合物を太陽電池用ウェハー
の受光面上に塗布し乾燥させる工程と、フォトリソグラ
フィーを用いて露光および現像を行い、組成物を電極形
状に形成する工程と、前記組成物を焼き付けて前記受光
面上に電極を形成する工程とを備えている。
ることが可能な太陽電池用導電性組成物を提供する。ま
た、太陽電池の受光面に対し、微細で良好な形状を有す
るとともに、ウエハーとの接触強度が良好な電極を形成
することが可能な太陽電池用電極の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 太陽電池用導電性組成物は、銀粉末と、
ガラスフリットと、感光性樹脂と、カップリング剤とを
有機溶剤中に混合してなるものである。また、太陽電池
用電極の製造方法は、上記混合物を太陽電池用ウェハー
の受光面上に塗布し乾燥させる工程と、フォトリソグラ
フィーを用いて露光および現像を行い、組成物を電極形
状に形成する工程と、前記組成物を焼き付けて前記受光
面上に電極を形成する工程とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池用導電性
組成物、および太陽電池用電極の製造方法に関するもの
である。
組成物、および太陽電池用電極の製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来より、太陽電池のシリコンウェハー
の受光面に形成されるライン電極は、その受光面積を大
きくするためにできるだけライン電極を微細にすること
が要求されており、現在は導電性ペーストをシリコンウ
ェハーの表面にスクリーン印刷により塗布し、焼き付け
て幅１００μｍ程度のライン電極に形成して実用化され
ている。
の受光面に形成されるライン電極は、その受光面積を大
きくするためにできるだけライン電極を微細にすること
が要求されており、現在は導電性ペーストをシリコンウ
ェハーの表面にスクリーン印刷により塗布し、焼き付け
て幅１００μｍ程度のライン電極に形成して実用化され
ている。
【０００３】また、ウェハーの受光面は表面積を大きく
するために、テクスチャー処理と呼ばれる表面粗化が行
われており、その表面粗さは比較的大きく、約１０μｍ
にも達している。
するために、テクスチャー処理と呼ばれる表面粗化が行
われており、その表面粗さは比較的大きく、約１０μｍ
にも達している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の方法
では、次のような問題があった。 （１）ライン電極の幅をさらに微細に、例えば１００μ
ｍ以下にする場合、スクリーン印刷を行うと、ウェハー
の受光面の表面粗化による凹凸のためにライン電極にに
じみ、かすれ等の形状劣化が生じてしまう。
では、次のような問題があった。 （１）ライン電極の幅をさらに微細に、例えば１００μ
ｍ以下にする場合、スクリーン印刷を行うと、ウェハー
の受光面の表面粗化による凹凸のためにライン電極にに
じみ、かすれ等の形状劣化が生じてしまう。
【０００５】（２）また、電極ペーストを塗布する際
に、電極ペーストが凹部の底まで達しないので、ウェハ
ーとの接触が不十分となり、効率の劣化が生じてしま
う。
に、電極ペーストが凹部の底まで達しないので、ウェハ
ーとの接触が不十分となり、効率の劣化が生じてしま
う。
【０００６】本発明の目的は、フォトリソグラフィーを
用いて電極を形成することが可能な太陽電池用導電性組
成物を提供することにある。
用いて電極を形成することが可能な太陽電池用導電性組
成物を提供することにある。
【０００７】また、本発明の目的は、太陽電池の受光面
に対し、微細で良好な形状を有するとともに、ウエハー
との接触強度が良好な電極を形成することが可能な太陽
電池用電極の製造方法を提供することにある。
に対し、微細で良好な形状を有するとともに、ウエハー
との接触強度が良好な電極を形成することが可能な太陽
電池用電極の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
課題を解決するべく、太陽電池用導電性組成物および太
陽電池用電極の製造方法を完成するに至った。本発明の
太陽電池用導電性組成物は、銀粉末と、ガラスフリット
と、感光性樹脂と、カップリング剤とを有機溶剤中に混
合してなることに特徴がある。
課題を解決するべく、太陽電池用導電性組成物および太
陽電池用電極の製造方法を完成するに至った。本発明の
太陽電池用導電性組成物は、銀粉末と、ガラスフリット
と、感光性樹脂と、カップリング剤とを有機溶剤中に混
合してなることに特徴がある。
【０００９】また、本発明の太陽電池用導電性組成物に
おいては、前記カップリング剤は、前記銀粉末と前記ガ
ラスフリットとの合計１００重量部に対して、０．０１
〜１０重量部含有することが好ましい。
おいては、前記カップリング剤は、前記銀粉末と前記ガ
ラスフリットとの合計１００重量部に対して、０．０１
〜１０重量部含有することが好ましい。
【００１０】また、本発明の太陽電池用電極の製造方法
は、（１）銀粉末と、ガラスフリットと、感光性樹脂
と、カップリング剤とを有機溶剤中に混合する工程と、
（２）前記混合物を太陽電池用ウェハーの受光面上に塗
布し乾燥させる工程と、（３）フォトリソグラフィーを
用いて露光および現像を行い、組成物を電極形状に形成
する工程と、（４）前記組成物を焼き付けて前記受光面
上に電極を形成する工程とを備えていることに特徴があ
る。
は、（１）銀粉末と、ガラスフリットと、感光性樹脂
と、カップリング剤とを有機溶剤中に混合する工程と、
（２）前記混合物を太陽電池用ウェハーの受光面上に塗
布し乾燥させる工程と、（３）フォトリソグラフィーを
用いて露光および現像を行い、組成物を電極形状に形成
する工程と、（４）前記組成物を焼き付けて前記受光面
上に電極を形成する工程とを備えていることに特徴があ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。本発明の太陽電池用導電性組成物は、銀粉
末と、ガラスフリットと、感光性樹脂と、カップリング
剤とを有機溶剤中に混合してなるものである。このよう
な成分を有することによって、電極形成にフォトリソグ
ラフィーを用いて太陽電池の電極を形成することが可能
となる。
て説明する。本発明の太陽電池用導電性組成物は、銀粉
末と、ガラスフリットと、感光性樹脂と、カップリング
剤とを有機溶剤中に混合してなるものである。このよう
な成分を有することによって、電極形成にフォトリソグ
ラフィーを用いて太陽電池の電極を形成することが可能
となる。
【００１２】ここで、導電粉末については、特に限定さ
れるものではなく、種々の導電粉末を用いることが可能
であるが、Ａｇ粉末を用いた場合には、空気中で焼成で
きて、比抵抗が低いという面で有効である。また、平均
粒径は５μｍ以下が好ましい。平均粒径が５μｍを越え
る場合には、露光時に紫外線の散乱が生じて解像度が劣
化するので好ましくない。なお、より好ましくは２μｍ
以下である。
れるものではなく、種々の導電粉末を用いることが可能
であるが、Ａｇ粉末を用いた場合には、空気中で焼成で
きて、比抵抗が低いという面で有効である。また、平均
粒径は５μｍ以下が好ましい。平均粒径が５μｍを越え
る場合には、露光時に紫外線の散乱が生じて解像度が劣
化するので好ましくない。なお、より好ましくは２μｍ
以下である。
【００１３】ガラスフリットについては、組成は特に限
定されないが、例えば、硼珪酸鉛系ガラス、硼珪酸亜鉛
系ガラスなどが使用できる。平均粒径は５μｍ以下が好
ましい。平均粒径が５μｍを越える場合には、上記と同
様に露光時に紫外線の散乱が生じて解像度が劣化するの
で好ましくない。
定されないが、例えば、硼珪酸鉛系ガラス、硼珪酸亜鉛
系ガラスなどが使用できる。平均粒径は５μｍ以下が好
ましい。平均粒径が５μｍを越える場合には、上記と同
様に露光時に紫外線の散乱が生じて解像度が劣化するの
で好ましくない。
【００１４】銀粉末とガラスフリットとの配合比につい
ては、銀粉末とガラスフリットとの合計１００ｗｔ％の
うち、銀粉末が９０〜９９．５ｗｔ％、ガラスフリット
が０．５〜１０ｗｔ％の範囲内とするのが好ましい。ガ
ラスフリットの添加量が０．５ｗｔ％未満になると、電
極とウエハーとの接合強度が低下してしまうため好まし
くない。一方、添加量が１０ｗｔ％を越えると、配線抵
抗が大きくなるため好ましくない。
ては、銀粉末とガラスフリットとの合計１００ｗｔ％の
うち、銀粉末が９０〜９９．５ｗｔ％、ガラスフリット
が０．５〜１０ｗｔ％の範囲内とするのが好ましい。ガ
ラスフリットの添加量が０．５ｗｔ％未満になると、電
極とウエハーとの接合強度が低下してしまうため好まし
くない。一方、添加量が１０ｗｔ％を越えると、配線抵
抗が大きくなるため好ましくない。
【００１５】感光性樹脂の具体例としては、光重合開始
剤とモノマーと必要に応じて光重合開始助剤とを混合し
たものなどが挙げられる。光重合開始剤としては、芳香
族カルボニル化合物、光重合開始助剤としては、脂肪
族、芳香族アミンの単独あるいはその混合物、モノマー
としては、エチルアクリレート、ブチルアクリレート等
のアクリレートモノマーや、アクリル酸、メタクリル酸
等の官能性アクリルモノマーや、スチレン、アクリルア
ミド、マイレン酸、イタコン酸酢酸ビニルなどの共重合
可能なビニルモノマー等の光重合多官能モノマーの単独
あるいはその混合物などが挙げられる。
剤とモノマーと必要に応じて光重合開始助剤とを混合し
たものなどが挙げられる。光重合開始剤としては、芳香
族カルボニル化合物、光重合開始助剤としては、脂肪
族、芳香族アミンの単独あるいはその混合物、モノマー
としては、エチルアクリレート、ブチルアクリレート等
のアクリレートモノマーや、アクリル酸、メタクリル酸
等の官能性アクリルモノマーや、スチレン、アクリルア
ミド、マイレン酸、イタコン酸酢酸ビニルなどの共重合
可能なビニルモノマー等の光重合多官能モノマーの単独
あるいはその混合物などが挙げられる。
【００１６】また、感光性樹脂の配合量については、銀
粉末とガラスフリットとの混合物と感光性樹脂との合計
１００ｗｔ％のうち、混合物が６５〜８５ｗｔ％、感光
性樹脂が１５〜３５ｗｔ％の範囲内とするのが好まし
い。感光性樹脂の配合量が１５ｗｔ％未満になると、粘
度が高くなるのでウエハー上で均一な塗膜が得られにく
いので好ましくない。一方、添加量が３５ｗｔ％を越え
ると、粘度が低下し塗膜が薄くなるため、ウエハーとの
充分な接着強度が得られないので好ましくない。
粉末とガラスフリットとの混合物と感光性樹脂との合計
１００ｗｔ％のうち、混合物が６５〜８５ｗｔ％、感光
性樹脂が１５〜３５ｗｔ％の範囲内とするのが好まし
い。感光性樹脂の配合量が１５ｗｔ％未満になると、粘
度が高くなるのでウエハー上で均一な塗膜が得られにく
いので好ましくない。一方、添加量が３５ｗｔ％を越え
ると、粘度が低下し塗膜が薄くなるため、ウエハーとの
充分な接着強度が得られないので好ましくない。
【００１７】カップリング剤については、無機質と化学
結合する反応基、例えばメトキシ基、エトキシ基、シラ
ノール基等と、有機質と化学結合する反応基、例えばビ
ニル基、エポキシ基、メタクリル基、アミノ基、メルカ
プト基等とを有するシランカップリング剤や、アセトア
ルコキシアルミニウムジイソプロピレート等のアルミニ
ウム系カップリング剤や、イソプロピルトリイソステア
ロイルチタネート等のチタネート系カップリング剤や、
ジルコアルミネート系カップリング剤を用いることがで
きる。
結合する反応基、例えばメトキシ基、エトキシ基、シラ
ノール基等と、有機質と化学結合する反応基、例えばビ
ニル基、エポキシ基、メタクリル基、アミノ基、メルカ
プト基等とを有するシランカップリング剤や、アセトア
ルコキシアルミニウムジイソプロピレート等のアルミニ
ウム系カップリング剤や、イソプロピルトリイソステア
ロイルチタネート等のチタネート系カップリング剤や、
ジルコアルミネート系カップリング剤を用いることがで
きる。
【００１８】また、カップリング剤の配合量について
は、銀粉末とガラスフリットとの合計１００重量部に対
して、０．０１〜１０重量部含有することが好ましい。
配合量が０．０１重量部未満の場合には、露光後の電極
の密着強度が十分に得られないので好ましくない。一
方、配合量が１０重量部を越える場合には、密着強度が
高くなりすぎて剥離が充分に行われないことにより解像
度が低下してしまうため好ましくない。
は、銀粉末とガラスフリットとの合計１００重量部に対
して、０．０１〜１０重量部含有することが好ましい。
配合量が０．０１重量部未満の場合には、露光後の電極
の密着強度が十分に得られないので好ましくない。一
方、配合量が１０重量部を越える場合には、密着強度が
高くなりすぎて剥離が充分に行われないことにより解像
度が低下してしまうため好ましくない。
【００１９】また、本発明の太陽電池用電極の製造方法
は、（１）銀粉末と、ガラスフリットと、感光性樹脂
と、カップリング剤とを有機溶剤中に混合する工程と、
（２）前記混合物を太陽電池用ウェハーの受光面上に塗
布し乾燥させる工程と、（３）フォトリソグラフィーを
用いて露光および現像を行い、組成物を電極形状に形成
する工程と、（４）前記組成物を焼き付けて前記受光面
上に電極を形成する工程とを備えている。このような工
程を有することによって、太陽電池の受光面に対し、微
細で良好な形状を有するとともに、ウエハーとの接触強
度が良好な電極を形成することが可能となる。特に、ラ
イン状の電極、いわゆるライン電極に有効である。
は、（１）銀粉末と、ガラスフリットと、感光性樹脂
と、カップリング剤とを有機溶剤中に混合する工程と、
（２）前記混合物を太陽電池用ウェハーの受光面上に塗
布し乾燥させる工程と、（３）フォトリソグラフィーを
用いて露光および現像を行い、組成物を電極形状に形成
する工程と、（４）前記組成物を焼き付けて前記受光面
上に電極を形成する工程とを備えている。このような工
程を有することによって、太陽電池の受光面に対し、微
細で良好な形状を有するとともに、ウエハーとの接触強
度が良好な電極を形成することが可能となる。特に、ラ
イン状の電極、いわゆるライン電極に有効である。
【００２０】すなわち、上記（１）の工程で作製される
導電性組成物は、次工程でフォトリソグラフィーを用い
て微細配線を形成するために、スクリーン印刷を用いる
場合に比べて粘度を低下させることができる。よって、
表面粗化された太陽電池用ウエハーの受光面上であって
も、その凹凸に沿って塗布形成することができる。従っ
て、ウエハーの凹凸によって生じていたライン電極の電
極劣化や、ウエハーとの接触不良といった問題が解消さ
れている。
導電性組成物は、次工程でフォトリソグラフィーを用い
て微細配線を形成するために、スクリーン印刷を用いる
場合に比べて粘度を低下させることができる。よって、
表面粗化された太陽電池用ウエハーの受光面上であって
も、その凹凸に沿って塗布形成することができる。従っ
て、ウエハーの凹凸によって生じていたライン電極の電
極劣化や、ウエハーとの接触不良といった問題が解消さ
れている。
【００２１】また、本発明の太陽電池用電極の製造方法
を用いれば、ライン電極は、良好なライン形状と良好な
接触を保ちつつ、１００μｍ以下のライン幅にすること
が可能である。また、本発明の形成方法を用いれば、ラ
イン幅を５０μｍ以下にすることも可能である。
を用いれば、ライン電極は、良好なライン形状と良好な
接触を保ちつつ、１００μｍ以下のライン幅にすること
が可能である。また、本発明の形成方法を用いれば、ラ
イン幅を５０μｍ以下にすることも可能である。
【００２２】次に、本発明を実施例に基づき、さらに具
体的に説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定さ
れるものではない。
体的に説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定さ
れるものではない。
【００２３】
【実施例】以下、本発明の太陽電池用導電性組成物およ
び太陽電池用電極の製造方法の一実施例について説明す
る。まず、平均粒径１μｍのＡｇ粒子と、平均粒径２μ
ｍの硼珪酸鉛系ガラスフリットとを重量比でＡｇ９５ｗ
ｔ％、ガラスフリット５ｗｔ％の割合で混合し、さらに
その混合物と、２−ヒドロキシエチルメタクリレートお
よびメタクリル酸を主成分とする感光性樹脂（商品名：
フォトレックＲＨ−１０３、積水化学工業株式会社製）
とを重量比で混合物７０ｗｔ％、感光性樹脂２９ｗｔ
％、シランカップリング剤１ｗｔ％の割合で混合し、３
本ロールミルで混合分散させた。
び太陽電池用電極の製造方法の一実施例について説明す
る。まず、平均粒径１μｍのＡｇ粒子と、平均粒径２μ
ｍの硼珪酸鉛系ガラスフリットとを重量比でＡｇ９５ｗ
ｔ％、ガラスフリット５ｗｔ％の割合で混合し、さらに
その混合物と、２−ヒドロキシエチルメタクリレートお
よびメタクリル酸を主成分とする感光性樹脂（商品名：
フォトレックＲＨ−１０３、積水化学工業株式会社製）
とを重量比で混合物７０ｗｔ％、感光性樹脂２９ｗｔ
％、シランカップリング剤１ｗｔ％の割合で混合し、３
本ロールミルで混合分散させた。
【００２４】上記感光性ペーストを太陽電池の受光面全
面にスクリーン印刷で塗布し、１００℃１０分間でプリ
ペーグ（乾燥）させた。プリペーグ後のシリコンウエハ
ーを通常のフォトリソグラフィーを用い、露光、現像を
行い、ベルト炉７５０℃、１分間で焼成したところ、５
０μｍのライン幅でウェハーとの接触が良好なライン電
極を形成することができた。
面にスクリーン印刷で塗布し、１００℃１０分間でプリ
ペーグ（乾燥）させた。プリペーグ後のシリコンウエハ
ーを通常のフォトリソグラフィーを用い、露光、現像を
行い、ベルト炉７５０℃、１分間で焼成したところ、５
０μｍのライン幅でウェハーとの接触が良好なライン電
極を形成することができた。
【００２５】
【発明の効果】本発明の太陽電池用導電性組成物を用い
れば、フォトリソグラフィーを用いて電極を形成するこ
とが可能である。また、本発明の太陽電池用電極の製造
方法を用いれば、太陽電池の受光面に対し、微細で良好
な形状を有するとともに、ウエハーとの接触強度が良好
な電極を形成することが可能である。従って、ライン電
極の形状劣化やウエハーとの接触不十分となることを防
止し、要求されるライン幅の極めて小さなライン電極を
形成することが可能である。
れば、フォトリソグラフィーを用いて電極を形成するこ
とが可能である。また、本発明の太陽電池用電極の製造
方法を用いれば、太陽電池の受光面に対し、微細で良好
な形状を有するとともに、ウエハーとの接触強度が良好
な電極を形成することが可能である。従って、ライン電
極の形状劣化やウエハーとの接触不十分となることを防
止し、要求されるライン幅の極めて小さなライン電極を
形成することが可能である。
Claims (3)
- 【請求項１】 銀粉末と、ガラスフリットと、感光性樹
脂と、カップリング剤とを有機溶剤中に混合してなるこ
とを特徴とする太陽電池用導電性組成物。 - 【請求項２】 前記カップリング剤は、前記銀粉末と前
記ガラスフリットとの合計１００重量部に対して、０．
０１〜１０重量部含有することを特徴とする請求項１に
記載の太陽電池用導電性組成物。 - 【請求項３】（１）銀粉末と、ガラスフリットと、感光
性樹脂と、カップリング剤とを有機溶剤中に混合する工
程と、（２）前記混合物を太陽電池用ウェハーの受光面
上に塗布し乾燥させる工程と、（３）フォトリソグラフ
ィーを用いて露光および現像を行い、組成物を電極形状
に形成する工程と、（４）前記組成物を焼き付けて前記
受光面上に電極を形成する工程と、を備えていることを
特徴とする太陽電池用電極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08250396A JP3374647B2 (ja) | 1996-04-04 | 1996-04-04 | 太陽電池用電極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08250396A JP3374647B2 (ja) | 1996-04-04 | 1996-04-04 | 太陽電池用電極の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09275221A true JPH09275221A (ja) | 1997-10-21 |
| JP3374647B2 JP3374647B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=13776313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08250396A Expired - Fee Related JP3374647B2 (ja) | 1996-04-04 | 1996-04-04 | 太陽電池用電極の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3374647B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1979950A1 (en) * | 2006-02-02 | 2008-10-15 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Paste for solar cell electrode and solar cell |
| JP2010087251A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Dic Corp | 太陽電池用導電性ペースト |
| CN102144302A (zh) * | 2008-09-05 | 2011-08-03 | Lg化学株式会社 | 糊剂和采用该糊剂制造太阳能电池的方法 |
| CN102222705A (zh) * | 2010-04-14 | 2011-10-19 | 上海大洲电子材料有限公司 | 一种无铅环保银浆料及硅太阳能电池背面电极的形成方法 |
| US8691326B2 (en) | 2011-04-01 | 2014-04-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for manufacturing solar cell electrode |
| JP2016515302A (ja) * | 2013-05-06 | 2016-05-26 | ハンワ ケミカル コーポレイション | 太陽電池の電極の製造方法およびこれを用いた太陽電池 |
| CN107275419A (zh) * | 2017-06-30 | 2017-10-20 | 北京市合众创能光电技术有限公司 | 一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法 |
| CN111702166A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-09-25 | 西安汇创贵金属新材料研究院有限公司 | 一种金属复合材料及其制备方法 |
-
1996
- 1996-04-04 JP JP08250396A patent/JP3374647B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1979950A1 (en) * | 2006-02-02 | 2008-10-15 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Paste for solar cell electrode and solar cell |
| CN102144302A (zh) * | 2008-09-05 | 2011-08-03 | Lg化学株式会社 | 糊剂和采用该糊剂制造太阳能电池的方法 |
| JP2010087251A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Dic Corp | 太陽電池用導電性ペースト |
| CN102222705A (zh) * | 2010-04-14 | 2011-10-19 | 上海大洲电子材料有限公司 | 一种无铅环保银浆料及硅太阳能电池背面电极的形成方法 |
| US8691326B2 (en) | 2011-04-01 | 2014-04-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for manufacturing solar cell electrode |
| JP2016515302A (ja) * | 2013-05-06 | 2016-05-26 | ハンワ ケミカル コーポレイション | 太陽電池の電極の製造方法およびこれを用いた太陽電池 |
| CN107275419A (zh) * | 2017-06-30 | 2017-10-20 | 北京市合众创能光电技术有限公司 | 一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法 |
| CN111702166A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-09-25 | 西安汇创贵金属新材料研究院有限公司 | 一种金属复合材料及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3374647B2 (ja) | 2003-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100444915B1 (ko) | 무기 입자 함유 조성물, 이를 사용한 전사 필름 및 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 | |
| JP3374647B2 (ja) | 太陽電池用電極の製造方法 | |
| JP3520798B2 (ja) | プラズマディスプレイ用導電ペ―ストならびにプラズマディスプレイおよびその基板 | |
| JP2004363084A (ja) | プラズマディスプレーパネルの隔壁及びその製造方法 | |
| JP2005235760A (ja) | 感光性導電組成物 | |
| JP2009076233A (ja) | パターン形成方法およびそれを用いた回路材料の製造方法 | |
| JP2994767B2 (ja) | 透明導電膜の成膜方法 | |
| JP3830109B2 (ja) | 絶縁蛍光体パターン形成用感光性ペースト組成物及び絶縁蛍光体パターンの形成方法 | |
| JP2000016835A (ja) | ディスプレイ用絶縁ペースト | |
| JP2001084912A (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
| JP2002167515A (ja) | 無機粒子含有樹脂組成物および転写フィルム | |
| JP5516244B2 (ja) | 感光性ペースト組成物、金属配線の製造方法およびディスプレイ用部材の製造方法 | |
| JPH11283511A (ja) | プラズマディスプレイ用基板およびその製造方法 | |
| KR20100075218A (ko) | 전극형성용 페이스트 조성물 및 이를 이용하여 제조된 플라즈마 디스플레이 패널용 전극 | |
| JPH1196918A (ja) | プラズマディスプレイ | |
| KR100709215B1 (ko) | 나노 사이즈 은으로 제조된 전극이 구비된 플라즈마디스플레이 패널 | |
| JP2006219660A (ja) | 無機粉体含有樹脂組成物、転写フィルムおよびプラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JPH10198026A (ja) | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びこれらを用いた蛍光体パターンの製造法 | |
| JP2006233031A (ja) | 無機粒子含有組成物、転写フィルムおよびプラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JPH11185644A (ja) | プラズマディスプレイパネルの障壁及びその製造法 | |
| JP2001264972A (ja) | 転写フィルム | |
| JP2010113887A (ja) | 分散液、金属酸化物含有膜および金属酸化物膜付き基板の製造方法 | |
| WO2005085360A1 (ja) | 無機粉体含有組成物、転写フィルムおよび無機焼結体の形成方法 | |
| CN101625949A (zh) | 浆料、电极、等离子体显示面板和制造电极的方法 | |
| JP4374653B2 (ja) | 導体パターンの形成方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071129 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081129 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091129 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101129 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101129 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111129 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111129 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121129 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121129 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131129 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |