JPH0927533A

JPH0927533A - 基板取り出し用ピック

Info

Publication number: JPH0927533A
Application number: JP17600695A
Authority: JP
Inventors: Shigehiro Fujita; 穣太藤田
Original assignee: Nissin Electric Co Ltd
Current assignee: Nissin Electric Co Ltd
Priority date: 1995-07-12
Filing date: 1995-07-12
Publication date: 1997-01-28

Abstract

(57)【要約】【目的】基板カセットから基板を簡単、安全に取り出
せる基板取り出し用ピックを提供する。【構成】可撓性基板３を間隔をあけて上下複数段に収
容した基板カセット２から基板３を取り出すための基板
取り出し用ピック１であって、カセット２に収容された
取り出し対象基板３下に配置されて該基板３の両端近傍
部位３２を持ち上げるための一対のアーム１１を含み、
各アーム１１の基板持ち上げ面１２がアーム１１のカセ
ット２に対する出入方向に対し垂直な断面において山形
を呈するように形成されている基板取り出し用ピック
１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、可撓性基板、例え
ば液晶表示装置用のガラス基板を間隔をあけて上下複数
段に収容した基板カセットから該基板を取り出すための
基板取り出し用ピックに関する。

【０００２】

【従来の技術】今、液晶表示装置用のガラス基板を例に
とると、かかるガラス基板はその上に透明電極膜を形成
したり、薄膜トランジスタを形成したりする処理を施す
前の段階では、通常、これを所定間隔をおいて上下複数
段に収容できる基板カセットに収容保管されている。

【０００３】このように収容保管されたガラス基板は、
通常、基板搬送ロボットに取り付けられた基板取り出し
用ピックにより取り出され、そのまま、或いはさらに他
の搬送手段に渡されて所定処理位置へ向け搬送される。
この基板取り出し用ピック４は、図２（Ａ）に示すよう
に平面視Ｔ形や図２（Ｂ）に示すように平面視Ｉ（ア
イ）形に形成されている。そして図２（Ｃ）に示すよう
にカセット２両側壁内面の棚２１により両端が下方から
支持されてカセット２内に上下複数段に収容されたガラ
ス基板３のうち取り出し対象基板３の下に挿入され、ピ
ック４の上昇動作、又はカセット２の下降動作、又はこ
れら双方の動作によりガラス基板３を、その中央部３１
をすくい上げるようにして持ち上げ、そのあとカセット
２外へ引き出される。かくして該基板３が取り出され
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
ガラス基板３は図２（Ｃ）に示すように、前記中央部３
１が基板自重で下方へ撓んでいる。そして、ガラス基板
が年々大形化（５００ｍｍ平方以上）され、また、軽量
化のために肉厚が減少（厚さ１．１ｍｍ程度から０．７
ｍｍ程度まで減少）される傾向にあることから、この撓
みは大きくなってきている。例えば５００ｍｍ平方、厚
さ１．１ｍｍのガラス基板を例にとると、その中央部は
約３．３ｍｍ下方へ垂れ下がる。そのため前記の従来ピ
ック４によりガラス基板３の中央部３１を持ち上げて取
り出そうとするときには、持ち上げた基板３とそれより
一段上の基板３とのクリアランスが少なくなり、接触す
る恐れが大きい。これを防止するには基板間隔を広げて
基板を収容すればよいが、それではカセットの大形化、
コストアップを招いてしまう。

【０００５】例えば、大きさが５００ｍｍ平方、厚さ
１．１ｍｍ、中央部の撓み量が３．３ｍｍのガラス基板
の場合、同じサイズのもので撓みがまったく無いものと
比較すると、２０枚入りカセットの場合、（２０−１）
×３．３＝６２．７ｍｍ高く形成する必要がある。ま
た、従来のＴ形、Ｉ形のピック４では、基板３を持ち上
げたとき、逆反りが発生して基板両端部が下方へ垂れ下
がり、基板端部がカセット２から離れ切らない事態も生
じるので、これを回避するためには基板収容間隔をさら
に広げる必要があり、そのため実際には前記の６２．７
ｍｍ以上の高さが必要となる。

【０００６】また、このようにカセット２を大形化しな
ければならないということは、基板搬送ロボットの動作
ストロークも大きくする必要があるということで、ロボ
ットの大形化、コストアップも招いてしまう。さらに、
従来のＴ形、Ｉ形のピック４では、カセット２に収容さ
れた最下段のガラス基板３を取り出すために該ピックを
挿入する位置は、撓んだ基板３の中央部３１下方である
ため、ここにも大きい隙間を必要とする。

【０００７】さらに、従来のＴ形、Ｉ形ピック４は下方
へ垂れ下がった基板中央部３１の下方に挿入しなければ
ならないので、基板撓み量に応じてピック挿入位置を調
整しなければならず、それだけ基板取り出しに手間を要
するという問題がある。さらに、ピック４は基板３の中
央部３１に接触するため、後の処理工程における処理対
象部分である基板中央部３１に傷が付くという恐れもあ
る。

【０００８】以上、液晶表示装置用のガラス基板につい
て述べたが、このような問題は可撓性のある多くの基板
に共通する問題である。そこで本発明は、可撓性基板を
間隔をあけて上下複数段に収容した基板カセットから該
基板を取り出すための基板取り出し用ピックであって、
次の利点を有するものを提供することを課題とする。ａ．基板カセットに収容された基板の撓み量が小さいと
きは勿論のこと、大きくても、略その撓み状態のまま
で、従って、一段上や下の収容基板姿勢と略同姿勢のま
まで、該一段上や下の基板との衝突の恐れなく、また、
従来ピック使用におけるような基板の逆反りなく、小さ
い持ち上げ量でもって簡単に基板を取り出すことがで
き、また、それ故にカセットにおける基板収容枚数の割
にはカセットを小形にできるとともに、ピックを取り付
ける基板搬送ロボットの小形化、低重心安定化を達成で
き、また、逆に同じ動作ストロークのロボットについ
て、カセットにおける基板収容枚数を増加させることも
できる。ｂ．基板カセットからの基板取り出しにあたり、基板の
中央部を損傷する恐れがない。ｃ．基板の撓み量に拘らず、基板取り出しのためのカセ
ットへのピック挿入位置の調整が容易でそれだけ簡単に
基板をカセットから取り出せる。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明のピックは、可撓性基板を間隔をあけて上下複数段に
収容した基板カセットから該基板を取り出すための基板
取り出し用ピックであって、前記カセットに収容された
取り出し対象基板下に配置されて該基板の両端近傍部位
を持ち上げるための一対のアームを含み、該各アームの
基板持ち上げ面が該アームのカセットに対する出入方向
に対し垂直な断面において山形を呈するように形成され
ていることを特徴としている。

【００１０】この本発明に係るピックは、適当な基板搬
送ロボットに取り付けられ、基板カセットに収容された
取り出し対象基板の下方に挿入される。そのとき、ピッ
クを構成している一対のアームを、基板の撓み量に拘ら
ず、定位置にあるカセットの基板支持棚の近傍におい
て、取り出し対象基板の両端近傍部位下方に挿入すれば
よいので、ピック挿入位置の調整がそれだけ容易である
とともに、基板中央部をピックで損傷する恐れがない。

【００１１】ピック挿入後は、このピックを上昇させ
る、又は基板カセットを下降させる、又はそれら双方を
行うことで前記一対のアームにて基板を持ち上げ、取り
出すことができる。この一対のアームによる基板持ち上
げは、基板の両端近傍部位を該アームで持ち上げること
でなされるので、基板の逆反り発生の恐れはなく、ま
た、各アームの基板持ち上げ面が山形に形成されている
ので、持ち上げられた基板はカセットに支持されていた
ときと略同様の撓み姿勢をとることができ、且つ、この
姿勢は、一段上や下の未だカセットに支持されている基
板の姿勢に近似しており、従って少ない持ち上げ量でも
ってかかる他の基板との衝突の恐れなく、安全に持ち上
げることができ、そのまま簡単に取り出すことができ
る。また、持ち上げられた基板はその両端近傍が一対の
アームに支持されて中央部が下方へ撓んだ姿勢をとるか
ら、ピック上で左右にずれ難く、それだけ安全に取り出
すことができる。

【００１２】前記各アームの基板持ち上げ面の山形形状
については、該アームにより基板を持ち上げたとき、該
基板がカセット収容時と同様に撓むことができるもので
あればよいが、容易に円滑に、基板の損傷を抑制しつつ
撓むことができるように、アーム断面形状において凸曲
面に形成されていることが望ましい。また、各アームの
基板持ち上げ面には、アームのカセットに対する出入方
向への基板のずれを防止するための、例えば落とし込み
段部のようなずれ止め段部を形成しておいてもよい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
を参照して説明する。図１（Ａ）は本発明に係る基板取
り出し用ピックの１例の平面図であり、図１（Ｂ）はそ
の側面図であり、図１（Ｃ）は該ピックを基板カセット
に挿入した状態を示す断面図であり、図１（Ｄ）はさら
に該ピックで基板を持ち上げた状態を示す図である。

【００１４】図示のピック１は、一対の平行なアーム１
１及びそれらの片側端を連結する部材１２０とで構成さ
れており、平面視においてコの字形を呈している。この
ピック１はここでは、図２に示したと同様の基板カセッ
ト２におけるガラス基板３を取り出すために用いられ
る。ガラス基板３はここでは液晶表示装置用のもので、
カセット２に設けた棚２１により上下に所定の間隔をあ
けて複数段に収容されている。また、この収容状態にお
いて各基板３はその中央部３１が下方へ垂れ下がる撓み
姿勢をとっている。

【００１５】ピック１の各アーム１１は、図１（Ａ）に
示すように、ガラス基板３のカセット奥行き方向の長さ
より長く、また、図１（Ｂ）に示すように奥側自由端部
１３及び手前側端部１４の間に基板持ち上げ面１２が形
成されており、該持ち上げ面１２はアーム長手方向（カ
セット２へのアーム出入方向）に対する基板のずれ止め
のため、端部１３、１４に対し落とし込まれている。換
言すれば、端部１３、１４は基板のずれ止め段部とされ
ている。

【００１６】各アーム１１の基板持ち上げ面１２は、ア
ーム長手方向に垂直なアーム断面において、上向きに丸
みを帯びた凸曲面を呈するように形成されている。な
お、各アーム１１の下部１５は、図１（Ｃ）及び（Ｄ）
に示すように、アーム強度を持たせるために断面矩形に
形成してある。また、一対のアーム１１相互の間隔は、
これらアームをカセット内基板３の両端近傍部位３２の
下方に配置できるように設定してある。

【００１７】以上説明した基板取り出し用ピック１は、
図示しない適当な基板搬送ロボットに取り付けられ、図
１（Ｃ）に示すように、基板カセット２に収容された取
り出し対象基板３の下方に挿入される。そのとき、ピッ
ク１を構成している一対のアーム１１を、基板３の撓み
量に拘らず、定位置にある基板支持棚２１の近傍におい
て、取り出し対象基板３の両端近傍部位３２下方に挿入
すればよいので、ピック挿入位置の調整がそれだけ容易
であるとともに、基板中央部３１をピック１で損傷する
恐れがない。

【００１８】ピック１挿入後は、図１（Ｄ）に示すよう
に、このピック１（従ってそのアーム１１）を上昇させ
る、又は基板カセット２を下降させる、又はそれら双方
を行うことで一対のアーム１１にて基板３を持ち上げ、
取り出すことができる。この一対のアーム１１による基
板持ち上げは、基板３の両端近傍部位３２を該アームで
持ち上げることでなされるので、基板３の逆反り発生の
恐れはなく、また、各アーム１１の基板持ち上げ面１２
が凸曲面に形成されているので、持ち上げられた基板３
はカセット２に支持されていたときと略同様の撓み姿勢
を円滑にとることができ、且つ、この姿勢は、一段上や
下の未だカセットに支持されている基板３の姿勢に近似
しており、従って少ない持ち上げ量でもってかかる他の
基板３との衝突の恐れなく、安全に持ち上げることがで
き、そのまま簡単に取り出すことができる。また、持ち
上げられた基板３はその両端近傍が一対のアーム１１に
支持されて中央部３１が下方へ撓んだ姿勢をとるから、
ピック１上で左右にずれ難く、また、各アーム１１の基
板持ち上げ面１２はアーム端部１３、１４に対し落とし
込み形成されているのでアーム長手方向にずれないか
ら、それだけ安全に取り出すことができる。

【００１９】また、上述のとおり、小さい持ち上げ量で
もって基板３を取り出すことができるので、カセット２
における基板収容枚数の割にはカセット２を小形にして
おくことができ、また、ピック１を取り付ける図示しな
い基板搬送ロボットの小形化、低重心安定化も達成で
き、また、逆に同じ動作ストロークのロボットについ
て、カセット２における基板３収容枚数を増加させるこ
ともできる。

【００２０】なお、以上説明したピック１は液晶表示装
置用のガラス基板をカセットから取り出すものである
が、本発明ピックは、かかるガラス基板に限定されず、
可撓性を有する基板を間隔をあけて上下複数段に収容し
た基板カセットから該基板を取り出す場合に広く適用で
きる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、次
の利点を有する基板取り出し用ピックを提供することが
できる。ａ．基板カセットに収容された基板の撓み量が小さいと
きは勿論のこと、大きくても、略その撓み状態のまま
で、従って、一段上や下の収容基板姿勢と略同姿勢のま
まで、該一段上や下の基板との衝突の恐れなく、また、
従来ピック使用におけるような基板の逆反りなく、小さ
い持ち上げ量でもって簡単に基板を取り出すことがで
き、また、それ故にカセットにおける基板収容枚数の割
にはカセットを小形にでき、また、ピックを取り付ける
基板搬送ロボットの小形化、低重心安定化を達成でき、
また、逆に同じ動作ストロークのロボットについて、カ
セットにおける基板収容枚数を増加させることもでき
る。ｂ．基板カセットからの基板取り出しにあたり、基板の
中央部を損傷する恐れがない。ｃ．基板の撓み量に拘らず、基板取り出しのためのカセ
ットへのピック挿入位置の調整が容易でそれだけ簡単に
基板をカセットから取り出せる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図（Ａ）は本発明に係る基板取り出し用ピック
の１例の平面図であり、図（Ｂ）はその側面図であり、
図（Ｃ）は該ピックを基板カセットに挿入した状態を示
す断面図であり、図（Ｄ）はさらに該ピックで基板を持
ち上げた状態を示す図である。

【図２】図（Ａ）は従来の基板取り出し用ピックの１例
の平面図、図（Ｂ）は同じく従来ピックの他の例の平面
図、図（Ｃ）は従来ピックによる基板カセットからの基
板取り出し操作の説明図である。

【符号の説明】

１基板取り出し用ピック１１ピック１のアーム１２０ピック１のアーム連結部材１２アーム１１の基板持ち上げ面１３、１４アーム１１の端部１５アーム１１の下部２基板カセット２１基板支持棚３ガラス基板３１基板３の中央部３２基板３端の近傍部位４従来ピック

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可撓性基板を間隔をあけて上下複数段に
収容した基板カセットから該基板を取り出すための基板
取り出し用ピックであって、前記カセットに収容された
取り出し対象基板下に配置されて該基板の両端近傍部位
を持ち上げるための一対のアームを含み、該各アームの
基板持ち上げ面が該アームのカセットに対する出入方向
に対し垂直な断面において山形を呈するように形成され
ていることを特徴とする基板取り出し用ピック。