JPH09277175A

JPH09277175A - 精密機器製造用研磨シート

Info

Publication number: JPH09277175A
Application number: JP11839696A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Tanaka; 広志田中; Masahiro Nakajima; 正博中島
Original assignee: Japan Vilene Co Ltd
Current assignee: Japan Vilene Co Ltd
Priority date: 1996-04-15
Filing date: 1996-04-15
Publication date: 1997-10-28

Abstract

(57)【要約】【課題】表面に深い傷をつけることなく、基材表面の
凹凸が等間隔となるように研磨することのできる精密機
器製造用研磨シートを提供すること。【解決手段】本発明の精密機器製造用研磨シートは、
繊維径１０μm以下の極細繊維を主体として絡合してお
り、しかも少なくとも片面に立毛を有する不織布を、少
なくとも片面に有し、この不織布の立毛が表面に露出し
たものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は精密機器を製造する
際に、精密機器を研磨するために使用できる研磨シート
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、精密機器、例えば、ハードディス
クのような磁気記録媒体を製造する場合、アルミ板など
の基材にニッケルメッキを施した（以下、基材にニッケ
ルメッキを施した表面を「基材表面」という）後、基材
表面の凹凸が等間隔となるように、基材表面を削るテク
スチャー工程がある。つまり、基材表面における凹凸の
間隔が不均一であると、ニッケルメッキ層上に形成され
る磁気記録層も、凹凸の間隔が不均一なものとなり、こ
の基材からなるハードディスクを使用すると、ハードデ
ィスクと磁気ヘッドとの接触箇所によっては、磁気ヘッ
ドが浮動することが困難になるので、基材表面の凹凸の
間隔が均一となるように研磨する工程である。

【０００３】このテクスチャー工程で使用する研磨材と
しては、従来、繊維径５μm程度の極細繊維からなる織
物や、繊維径１４μm程度の繊維を植毛した植毛シート
などがあった。しかしながら、極細繊維からなる織物は
繊維に自由度がないためか、基材表面に深い傷をつけや
すいものであり、他方、植毛シートは基材表面に対して
垂直に太い繊維が配列しており、しかも自由度がないた
めか、基材表面に深い傷をつけやすく、信頼性の低いハ
ードディスクしか得ることができなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を解決するためになされたものであり、表面に深い傷を
つけることなく、基材表面の凹凸が等間隔となるように
研磨することのできる精密機器製造用研磨シートを提供
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の精密機器製造用
研磨シート（以下、単に「研磨シート」という）は、繊
維径１０μm以下の極細繊維を主体として絡合してお
り、しかも少なくとも片面に立毛を有する不織布（以
下、「立毛不織布」という）を、少なくとも片面に有
し、この不織布の立毛が表面に露出したものである。こ
のように、絡合により形態を保っており、しかも立毛し
ているため、繊維に自由度（融通性）があり、研磨粒子
を強引に基材表面に押圧しない（クッション性がある）
ので、基材表面に深い傷をつけにくい。また、不織布は
繊維径１０μm以下の極細繊維を主体としているため、
微細な研磨粒子の保持性に優れ、基材表面における凹凸
の間隔が均一となるように研磨することができる。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明の立毛不織布は繊維径１０
μm以下の極細繊維を主体としており、微細な研磨粒子
の保持性に優れているため、基材表面における凹凸の間
隔が均一になるように研磨することができる。この極細
繊維の繊維径が１０μmを越えると、微細な研磨粒子の
保持性が著しく低下し、基材表面における凹凸の間隔が
均一になるように研磨できなかったり、極細繊維の剛性
が大きいために、基材表面に深い傷をつけやすくなる。
この極細繊維の繊維径が小さければ小さいほど、研磨粒
子の保持性により優れているため、繊維径が８μm以下
であるのが好ましく、繊維径が６μm以下であるのがよ
り好ましい。他方、基材表面との摩擦によって極細繊維
が破断し、基材表面に付着することがないように、０.
０１μm以上であるのが好ましい。なお、極細繊維が異
形断面形状を有する場合には、円形断面に換算した値を
極細繊維の繊維径とする。

【０００７】この繊維径１０μm以下の極細繊維は、例
えば、２種類以上の樹脂成分からなり、物理的及び／又
は化学的処理により極細繊維に分割可能な分割性繊維を
分割して得られるものでも良いし、メルトブロー法によ
り得られるものでも良い。前者の分割性繊維から得られ
る極細繊維は、強度的により優れ、研磨時に破断しにく
いため、好適に使用できる。なお、物理的処理として
は、例えば、ニードル、水流などの流体流、カレンダー
などの処理があり、化学的処理としては、例えば、溶
剤、酵素、微生物などにより樹脂成分を除去したり、溶
剤により膨潤させる処理などがある。

【０００８】この極細繊維を発生させることのできる分
割性繊維としては、例えば、図１に繊維断面模式図を示
すように、除去剤で除去可能なＡ成分中に、このＡ成分
の除去剤に難除去性のＢ成分を島状に配置した海島型繊
維があり、この海島型繊維のＡ成分を除去することによ
り、Ｂ成分からなる極細繊維を発生させることができ
る。なお、Ａ成分が物理的作用により分割可能であれ
ば、物理的作用を施すことにより、Ａ成分からなる極細
繊維とＢ成分からなる極細繊維の２種類の極細繊維を発
生させることができる。また、島成分は１種類の樹脂成
分からなる必要はなく、２種類以上の樹脂成分からなっ
ていても良い。

【０００９】なお、除去剤は樹脂成分によって異なる
が、例えば、溶剤、酵素、微生物などがあり、これらの
中でも、溶剤は除去速度が速く、取り扱いやすいので好
適に使用できる。この溶剤の中でも水系のものである
と、より扱いやすく処理しやすいので好適に使用でき
る。なお、本発明における「除去可能」とは、樹脂成分
の９５重量％以上を除去できることをいい、「難除去
性」とは、除去剤で除去可能な樹脂成分を除去する条件
下に樹脂成分をさらした時に、３０重量％以下しか重量
低下がないことをいう。

【００１０】本発明で使用できる別の分割性繊維として
は、例えば、図２に繊維断面模式図を示すように、Ａ成
分と、Ａ成分とは貧相溶性のＢ成分とを交互に層状に積
層した多重バイメタル型繊維があり、この多重バイメタ
ル型繊維に物理的処理を施すことにより、Ａ成分からな
る極細繊維とＢ成分からなる極細繊維の２種類の極細繊
維を発生させることができる。なお、図２は分割性繊維
が２種類の樹脂成分からなる場合であるが、３種類の樹
脂成分からなれば３種類の極細繊維を発生させることが
でき、４種類の樹脂成分からなれば４種類の極細繊維を
発生させることができる。なお、Ａ成分とＢ成分とが貧
相溶性でなくても、除去剤に対する除去性の異なる樹脂
成分からなる場合には、除去剤を作用させることによっ
て、極細繊維を発生させることができる。また、溶剤に
対する膨潤性の異なる樹脂成分からなる場合には、溶剤
によって膨潤させることによって極細繊維を発生させる
ことができる。

【００１１】なお、貧相溶性とは、対象となる樹脂成分
でサイドバイサイド型複合繊維を紡糸した後、このサイ
ドバイサイド型複合繊維を指で剪断力を加えることによ
って、２つの樹脂成分に分割できる場合をいう。

【００１２】本発明で使用できる別の分割性繊維として
は、例えば、図３（ａ）、（ｂ）に繊維断面模式図を示
すように、Ａ成分を繊維の内部（好適には繊維軸）から
繊維表面に伸びる、Ａ成分とは貧相溶性のＢ成分で分割
した菊花型繊維があり、この菊花型繊維に物理的作用を
施せば、Ａ成分からなる極細繊維とＢ成分からなる極細
繊維の２種類の極細繊維を発生させることができる。な
お、図３は分割性繊維が２種類の樹脂成分からなる場合
であるが、３種類の樹脂成分からなれば３種類の極細繊
維を発生させることができ、４種類の樹脂成分からなれ
ば４種類の極細繊維を発生させることができる。また、
Ａ成分とＢ成分とが貧相溶性でなくても、除去剤に対す
る除去性の異なる樹脂成分からなる場合には、除去剤に
よって極細繊維を発生させることができる。更に、溶剤
に対する膨潤性の異なる樹脂成分からなる場合には、溶
剤によって膨潤させることによって極細繊維を発生させ
ることができる。

【００１３】更に、本発明で使用できる別の分割性繊維
としては、例えば、図４に示すように、海島型繊維の少
なくとも１つの島成分が海島型になっているもの、海島
型繊維の少なくとも１つの島成分が多重バイメタル型又
は菊花型になっているもの、図５に示すように、多重バ
イメタル型繊維の少なくとも１つの樹脂成分が海島型に
なっているもの、多重バイメタル型繊維の少なくとも１
つの樹脂成分が多重バイメタル型又は菊花型になってい
るもの、図６に示すように、菊花型繊維の少なくとも１
つの樹脂成分が海島型になっているもの、或は、菊花型
繊維の少なくとも１つの樹脂成分が多重バイメタル型又
は菊花型になっているもの、などがある。これらの分割
性繊維を物理的及び／又は化学的処理により分割すれ
ば、より繊維径の小さい極細繊維を発生させることがで
きる。

【００１４】これら分割性繊維の中でも、多重バイメタ
ル型繊維や菊花型繊維、或いは多重バイメタル型又は菊
花型の樹脂成分を含んでいると、異形断面形状の極細繊
維を発生させることができ、この異形断面形状を有する
極細繊維は円形断面を有する極細繊維よりも、より研磨
粒子の保持性に優れているため、好適に使用できる。

【００１５】この分割性繊維を構成する樹脂成分として
は、繊維形成能がある、例えば、ナイロン６、ナイロン
６６、ナイロン系共重合体などのポリアミド、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート系共
重合体、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンテ
レフタレート系共重合体などのポリエステル、ポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテンなどのポリ
オレフィン、ポリウレタン、ポリアクリロニトリル、ビ
ニル重合体、或いは、ポリグリコール酸、グリコール酸
共重合体、ポリ乳酸、乳酸共重合体などの脂肪族ポリエ
ステル系重合体、この脂肪族ポリエステル系重合体にカ
プラミド、テトラメチレンアジパミド、ウンデカナミ
ド、ラウロラクタミド、ヘキサメチレンアジパミドなど
の脂肪族アミドが共重合した脂肪族ポリエステルアミド
系共重合体などの樹脂を、貧相溶性の関係にある樹脂
や、ある除去剤に対して除去性が異なる樹脂を２種類以
上組み合わせれば良い。

【００１６】この貧相溶性の樹脂の組み合わせとして
は、２種類の樹脂成分からなる場合、例えば、ポリエス
テル系樹脂とポリアミド系樹脂、ポリアミド系樹脂とポ
リオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂とポリオレフ
ィン系樹脂、ポリエステル系樹脂とポリアクリロニトリ
ル系樹脂などの組み合わせがある。他方、除去剤に対す
る除去性が異なる樹脂の組み合わせとしては、２種類の
樹脂成分からなる場合、例えば、パークレンの除去剤に
対して、除去可能なポリスチレンと難除去性のポリアミ
ド、トルエンの除去剤に対して、除去可能なポリエチレ
ンと難除去性のポリアミド、アルカリ水溶液の除去剤に
対して、除去可能なポリエステルと難除去性のポリプロ
ピレンなどがある。

【００１７】なお、研磨シートで基材表面を研磨する場
合に、研磨粒子を含むスラリー液を用いるのが好ましい
が、研磨粒子が凝集し、基材表面に深い傷をつけること
がないように、より親水性に優れるポリアミドを含んで
いるのが好ましい。

【００１８】このような、本発明で使用できる分割性繊
維は、常法の複合紡糸法、混合紡糸法、或はこれらを適
宜組み合わせることにより、容易に紡糸できる。また、
紡糸性や繊維強度を低下させない範囲内で、難燃剤、帯
電防止剤、吸湿剤、着色剤、染色剤、導電剤、親水化剤
などを混合しても良い。

【００１９】本発明の立毛不織布は上述のようにして得
られる繊維径１０μm以下の極細繊維を主体（５０％以
上）としているため、基材表面に深い傷をつけることな
く、基材表面における凹凸が等間隔であるように研磨で
きる。好ましくは７０％以上、より好ましくは８０％以
上、最も好ましくは９０％以上が、繊維径１０μm以下
の極細繊維からなる。この極細繊維の比率は、立毛不織
布から無作為に選んだ１００本の繊維の繊維径を測定す
ることによりわかる。

【００２０】なお、極細繊維以外の繊維として、例え
ば、絹、羊毛、綿、麻などの天然繊維、レーヨン繊維な
どの再生繊維、アセテート繊維などの半合成繊維、ポリ
アミド繊維、ポリビニルアルコール繊維、アクリル繊
維、ポリエステル繊維、ポリ塩化ビニル系繊維、ポリ塩
化ビニリデン繊維、ポリウレタン繊維、ポリエチレン繊
維、ポリプロピレン繊維、芳香族ポリアミド繊維などの
合成繊維を使用できる。

【００２１】本発明の立毛不織布は絡合により強度を保
持しており、繊維が強固に固定された状態にはないの
で、繊維に自由度があり、研磨粒子を基材表面に対して
強引に押圧するということがないので、基材表面に深い
傷をつけにくいものである。この繊維の絡合は、例え
ば、繊維ウエブにニードルや水流などの流体流を作用さ
せることによって形成することができる。これらの中で
も、流体流によれば、より均一かつ緻密に絡合すること
ができるので、結果として、均一に立毛した、強度のあ
る立毛不織布を形成でき、基材表面における凹凸の間隔
がより均一であるように研磨できるので、好適な絡合方
法である。なお、流体流によって絡合すると、より低面
密度で、薄い立毛不織布を形成できるため、研磨シート
を巻回して使用する場合には、巻き長さをより長くでき
るという特長も生じる。

【００２２】本発明の立毛不織布は少なくとも片面に立
毛を有しているため、より繊維の自由度が高く、基材表
面に深い傷をつけにくいものである。この立毛は、例え
ば、エメリーペーパーやエメリークロスによるバフィン
グ、針布、ブラシなどにより行うことができるが、これ
らの中でも、エメリーペーパーやエメリークロスによる
バフィングは不織布全体に対して、均一に作用させるこ
とができ、均一に立毛させることができるので、好適な
方法である。なお、物理的に分割可能な分割性繊維から
極細繊維を発生させる場合には、この立毛処理によっ
て、分割性繊維を完全に極細繊維に分割できるという特
長もある。また、立毛不織布の立毛は両表面にあっても
良い。

【００２３】本発明の研磨シートは上述のような立毛不
織布を少なくとも片面に有し、この立毛不織布の立毛が
表面に露出したものであるため、この立毛不織布の立毛
面を基材表面に当接し、基材表面を研磨すれば、深い傷
をつけることなく、等間隔に凹凸を有するように研磨す
ることができる。勿論、上記のような立毛不織布を両面
に有し、立毛不織布の立毛面を両面に有していても良い
し、立毛不織布単体からなっていても良い。

【００２４】なお、本発明の研磨シートの使用方法とし
て、研磨粒子を含むスラリー液を用いるのが好適である
が、この場合、研磨粒子を分散させている水が少なくな
ると、研磨粒子が凝集してしまい、基材表面に深い傷を
つけやすくなるため、上述のような立毛不織布層以外
に、親水性繊維を含む層、例えば、親水性繊維を含む不
織布や編織物からなる層を設けるのが好ましい。この親
水性繊維とは公定水分率が５％以上の繊維をいい、例え
ば、レーヨン繊維、ポリノジック繊維、キュプラ繊維、
アセテート繊維、テンセル繊維（溶剤抽出法により得ら
れるセルロース繊維）などがある。これらの中でもレー
ヨン繊維やテンセル繊維は湿潤時に柔らかくなって、ク
ッション性が生じるため、より研磨粒子を基材表面に強
引に押圧しないので好適に使用でき、テンセル繊維は湿
潤時の強度低下が小さいため、より好適に使用できる。
なお、この親水性繊維は層中２０重量％以上含まれてい
るのが好ましい。また、この親水性繊維を含む層は立毛
不織布層に水分を供給できるように、立毛不織布層に隣
接しているのが好ましい。

【００２５】また、本発明の研磨シートで研磨する際に
寸法変化が生じると、基材表面の凹凸が等間隔となるよ
うに研磨するのが困難になるので、研磨シートの形態安
定性が向上するように、補強層を設けるのが好ましい。
この補強層とは、この補強層を設けたことによって、研
磨シートが下記の条件を満足させることができる層をい
う。記５cm幅の研磨シートを１０cm間隔を有するチャック間に
固定し、この研磨シートの一端に１９.６Ｎの荷重を加
えた時に、研磨シートの中央部（チャック間の中間部）
における、幅の減少が２mm以下である

【００２６】この補強層として、例えば、糸、ネット、
織物、熱可塑性繊維により固定又は絡合した不織布、編
織物、或はフィルムなどを使用できる。これらの中で
も、フィルムは厚みが均一で、しかも強度的に優れてい
るため、好適に使用できる。なお、研磨シートが親水性
繊維を含む層と補強層を、立毛不織布層とは別に有する
場合には、前述のように、親水性繊維を含む層が立毛不
織布層に隣接しているのが好ましいため、この補強層は
親水性繊維層に隣接しているのが好ましい。また、親水
性繊維と熱可塑性繊維とを含み、熱可塑性繊維で固定し
た層のように、補強層と親水性繊維を含む層とが同一の
層であっても良い。

【００２７】以下、本発明の研磨シートの製造方法につ
いて、分割性繊維から極細繊維を発生させる場合をもと
に説明する。

【００２８】まず、前述のような分割性繊維を含む繊維
ウエブを、例えば、カード法、エアレイ法、メルトブロ
ー法、スパンボンド法などの乾式法や、湿式法により形
成した後、ニードル及び／又は流体流によって絡合す
る。なお、繊維ウエブの形成方法によって繊維長が異な
り、前者の乾式法により形成する場合（メルトブロー
法、スパンボンド法により形成する場合を除く）には、
２０〜１１０mm程度の繊維を使用し、後者の湿式法によ
り形成する場合には、１〜３０mm程度の繊維を使用す
る。また、分割性繊維の繊度は、分割性繊維が均一に分
散するように、また、繊維径１０μm以下の極細繊維を
発生しやすいように、０.１１〜０.５５ｍｇ／ｍである
のが好ましい。

【００２９】本発明で好適な絡合方法である流体流絡合
の条件としては、例えば、ノズル径０.０５〜０.３mm、
好適には０.０８〜０.２mm、ピッチ０.２〜３mm、好適
には０.４〜２mmで一列以上配列したノズルプレートか
ら、圧力０.９８〜２９ＭＰａ、好適には４.９〜２５Ｍ
Ｐａの流体流を噴出する。なお、流体流の圧力は変化さ
せたり、ノズルを揺動又は振動させても良い。また、流
体流で絡合する際に繊維ウエブを支持し、搬送する支持
体の非開孔部が大きいと、外観上、孔を有する不織布と
なり、支持体の非開孔部が小さいと、外観上、孔のない
均一な不織布となる。本発明のように、精密機器を研磨
する場合には、基材表面における凹凸が等間隔となるよ
うに研磨できるように、線径０.２５mm以下の細いワイ
ヤーからなる、目の開き０.２９５mm以下の目の細かい
ネットや、これに相当する多孔板を、支持体として使用
するのが好ましい。

【００３０】なお、分割性繊維が物理的に分割可能であ
る場合には、流体流による絡合と同時に分割できるが、
本発明の立毛不織布は極細繊維が主体（５０％以上）で
ある必要があるため、繊維ウエブの片面又は両面に流体
流を２回以上噴出して、分割性繊維を十分に分割するの
が好ましい。この流体流のみによって分割性繊維を十分
に分割する場合には、低面密度（２５〜１００g/m²程
度）の繊維ウエブに対して流体流を作用させるのが好ま
しい。このような低面密度の繊維ウエブの場合、低面密
度であるがために厚さもなくなり、研磨の際に、立毛不
織布層に隣接する層、例えば親水性繊維を含む層の繊維
が研磨シート表面に露出する可能性があるので、低面密
度の繊維ウエブに流体流を作用させる場合には、分割性
繊維を主体とする繊維ウエブと、少なくとも１回流体流
で処理した低面密度の繊維ウエブとを積層した後に、流
体流を作用させて、低面密度の繊維ウエブを十分に分割
すると共に、分割性繊維を主体とする繊維ウエブを構成
する分割性繊維も分割し、仮に立毛不織布内部の繊維が
研磨シート表面に露出したとしても、基材表面に深い傷
をつけることがないようにするのが好ましい。このよう
な絡合方法によって得られる不織布は、極細繊維を５０
％以上含む層と、この層よりも極細繊維の量が少ない層
の２層からなる。なお、２層ではなく、同様にして、３
層以上繊維ウエブを積層し、流体流を作用させても良
い。

【００３１】なお、分割性繊維が化学的に分割可能なも
のであったり、分割性繊維の分割が不十分な場合には、
絡合処理の後に、除去剤により樹脂成分を除去したり、
溶剤により膨潤させたり、カレンダー処理により、十分
に分割するのが好ましい。なお、この後の立毛処理によ
っても分割を促進することができる。

【００３２】このように繊維ウエブを絡合して絡合不織
布を形成した後、例えば、エメリーペーパーやエメリー
クロスによるバフィング、針布、ブラシなどにより、片
面又は両面に立毛処理を行い、本発明の立毛不織布を得
る。これらの中でも、エメリーペーパーやエメリークロ
スによるバフィングは、均一に立毛させることができる
ので好適な方法である。このバフィング処理を連続して
行う場合には、エメリーペーパーやエメリークロスをロ
ールに巻き付け、この巻き付けたロールに絡合不織布を
接触させながら搬送すれば良い。なお、このエメリーペ
ーパーやエメリークロスを巻き付けたロールは回転して
いるのがより好ましく、より効率的にバフィングできる
ように、絡合不織布の搬送方向とは反対方向に回転して
いるのが好ましい。更に、ロールなどの他の部材によっ
て、絡合不織布をエメリーペーパーやエメリークロスを
巻き付けたロールに押圧すると、より効率的にバフィン
グできる。

【００３３】本発明の研磨シートは親水性繊維を含む層
を有しているのが好ましいが、この親水性繊維を含む層
は不織布や編織物からなれば良い。これらの中でも不織
布は三次元的な空隙を有し、より水分の保持性に優れて
いるのでより好適である。この不織布の形成方法として
は、立毛不織布の場合と同様に形成した繊維ウエブを、
ニードルや流体流によって絡合する方法、バインダーに
よって固定する方法、親水性繊維以外に含まれる熱可塑
性繊維の融着により、全面的又は部分的に固定する方法
などがある。

【００３４】なお、分割性繊維を主体とする繊維ウエブ
に親水性繊維を含む繊維ウエブを積層し、分割性繊維を
主体とする繊維ウエブの絡合と同時に、親水性繊維を含
む繊維ウエブも絡合すると、立毛不織布と親水性繊維を
含む層との一体化工程を省略できるので好適である。但
し、この方法により親水性繊維を含む層を形成する場合
には、親水性繊維を含む繊維ウエブを構成する繊維が、
立毛不織布表面に露出しないように、最後に作用させる
流体流は分割性繊維を主体とする繊維ウエブ側から噴出
するのが好ましい。また、この親水性繊維を含む層は、
親水性繊維と混綿した熱可塑性繊維の可塑化（親水性繊
維を含む層が補強層でもある）により、或は、別のバイ
ンダーにより立毛不織布と一体化できる。

【００３５】本発明の補強層は、例えば、糸、ネット、
織物、熱可塑性繊維により固定又は絡合した不織布、編
織物、或はフィルムなどからなれば良く、例えば、熱可
塑性繊維により固定した不織布は、立毛不織布の場合と
同様に形成した繊維ウエブを、熱カレンダーロール間を
通すことによって可塑化し、固定することにより形成で
きる。なお、フィルムからなる補強層を一体化する方法
としては、溶融押出したフィルムを立毛不織布、好適に
は親水性繊維を含む層に積層し、必要であれば加圧し
て、一体化できる。他方、フィルム以外からなる補強層
を一体化する方法としては、分割性繊維を主体とする繊
維ウエブと、好適には親水性繊維を含む層となるもの
（例えば、繊維ウエブ）に、補強層となるものを積層
し、分割性繊維を含む繊維ウエブの絡合と同時に一体化
できる。また、バインダーにより一体化したり、補強体
の熱可塑性を利用して一体化することもできる。

【００３６】本発明の研磨シートは立毛不織布の立毛面
を精密機器に押圧して使用する。好適には、研磨粒子が
分散したスラリーを供給しながら研磨する。なお、研磨
シートをテープ状にすると、順次未使用の立毛不織布を
精密機器に押圧できるので、好適な態様である。

【００３７】本発明の研磨シートは基材表面に深い傷を
つけることなく、凹凸が等間隔になるように研磨できる
ため、ハードディスク用基材、磁気ヘッドなどの精密機
器を製造する際の研磨工程において、好適に使用でき
る。

【００３８】以下に、本発明の実施例を記載するが、以
下の実施例に限定されるものではない。

【００３９】

【実施例】

（実施例１）図３（ａ）に示すような、ポリエステル成
分（Ａ）を、繊維軸から繊維表面に向かって放射状に伸
びるポリアミド成分（Ｂ）で８区分に分割した、菊花型
の断面形状を有する、繊度０.２２ｍｇ／ｍ、繊維長３
８mmの分割性繊維（ポリエステル成分からなる繊維径
４.２μmの極細繊維と、ポリアミド成分からなる繊維径
６.１μmの極細繊維と、ポリアミド成分からなる繊維径
３.１μmの極細繊維を発生可能）１００％をカーディン
グした一方向性繊維ウエブと、この一方向性繊維ウエブ
と同様にして形成した一方向性繊維ウエブをクロスレイ
ヤーにより交差させた交差繊維ウエブとを、重量比１：
４で積層して積層繊維ウエブを形成した。この積層繊維
ウエブを線径０.１５mmのワイヤーからなる、目の開き
０.１４７mmのネットに載置した後、ノズル径０.１５m
m、ノズルピッチ０.６mmのノズルプレートから、圧力
９.３ＭＰａの水流を噴出して、積層繊維ウエブの両面
に対して、２度づつ交互に作用させ、分割性繊維を分割
すると共に絡合し、面密度１００g/m²、厚さ０.５mmの
絡合不織布Ａを形成した。

【００４０】他方、繊維径１２.４μm（繊度０.１７ｍ
ｇ／ｍ）、繊維長３８mmの延伸ポリエステル繊維を１０
０％使用したこと以外は、上記の絡合不織布Ａと全く同
様にして、積層繊維ウエブの形成、及び水流により絡合
して、面密度１００g/m²、厚さ０.５mmの絡合不織布Ｂ
を形成した。

【００４１】次いで、絡合不織布Ａの一方向繊維ウエブ
側と絡合不織布Ｂの一方向性繊維ウエブ側との間に、融
点１１０℃の共重合ナイロン樹脂からなる、面密度２０
g/m²のクモの巣状不織布を挟み込んだ後、温度１２０
℃、圧力１００ｋＰａのローラープレス間を通すことに
より、クモの巣状不織布を融着し、絡合不織布Ａと絡合
不織布Ｂとを一体化して、面密度２２０g/m²、厚さ０.
９mmの一体化不織布を形成した。なお、絡合不織布Ａを
構成する極細繊維は融着していなかった。

【００４２】そして、エメリーペーパー（Ａ−１８０）
をスパイラル状に巻き付けた直径３００mmのロールを毎
分３００回転させ、このロールの回転方向とは反対方向
から一体化不織布を供給し、一体化不織布の絡合不織布
Ａ面をロールに接触させながら、毎分２ｍで搬送し、立
毛処理を行って、研磨シートを形成した。この研磨シー
トの立毛不織布層から無作為に選んだ１００本の繊維の
繊維径を測定したところ、４.２μm、６.１μm、及び
３.１μmの極細繊維が９５％含まれていた。なお、この
５cm幅の研磨シートを１０cm間隔を有するチャック間に
固定し、この研磨シートの一端に１９.６Ｎの荷重を加
えた時の、研磨シートの中央部（チャック間の中央部）
における、研磨シートの幅の減少は１mmであった。

【００４３】（実施例２）未延伸ポリエステル繊維（繊
度０.５６ｍｇ／ｍ、繊維長３８mm）３０重量％と、レ
ーヨン繊維（繊度０.１７ｍｇ／ｍ、繊維長３８mm）７
０重量％とを混綿し、カーディングして一方向性繊維ウ
エブを形成した。次いで、実施例１と同様に形成した絡
合不織布Ａの一方向性繊維ウエブ側に、この一方向性繊
維ウエブを積層し、温度２００℃、線圧５８８Ｎ／ｃｍ
のカレンダーロール間を通して、一方向性繊維ウエブを
結合すると同時に、絡合不織布Ａと接着一体化して、面
密度１７０g/m²、厚さ０.３５mmの一体化不織布を形成
した。なお、絡合不織布Ａを構成する極細繊維は融着し
ていなかった。

【００４４】次いで、実施例１と同様にして、一体化不
織布の絡合不織布Ａ側の立毛処理を行い、研磨シートを
形成した。この研磨シートの立毛不織布層から無作為に
選んだ１００本の繊維の繊維径を測定したところ、４.
２μm、６.１μm、及び３.１μmの極細繊維が９５％含
まれていた。なお、この５cm幅の研磨シートを１０cm間
隔を有するチャック間に固定し、この研磨シートの一端
に１９.６Ｎの荷重を加えた時の、研磨シートの中央部
（チャック間の中央部）における、研磨シートの幅の減
少は０mmであった。

【００４５】（実施例３）実施例１と同様に形成した絡
合不織布Ａの一方向性繊維ウエブ側に、溶融押し出しし
た厚さ０.０５mmのポリプロピレンフィルムを積層し、
直ちに、室温下、線圧２９４Ｎ／ｃｍで回転するカレン
ダーロール間を通し、絡合不織布Ａとフィルムとを一体
化して、面密度１４５g/m²、厚さ０.４５mmの一体化不
織布を形成した。なお、絡合不織布Ａを構成する極細繊
維は融着していなかった。

【００４６】次いで、実施例１と同様にして、一体化不
織布の絡合不織布Ａ側の立毛処理を行い、研磨シートを
形成した。この研磨シートの立毛不織布層から無作為に
選んだ１００本の繊維の繊維径を測定したところ、４.
２μm、６.１μm、及び３.１μmの極細繊維が９５％含
まれていた。なお、この５cm幅の研磨シートを１０cm間
隔を有するチャック間に固定し、この研磨シートの一端
に１９.６Ｎの荷重を加えた時の、研磨シートの中央部
（チャック間の中央部）における、研磨シートの幅の減
少は０mmであった。

【００４７】（比較例１）レーヨン繊維とポリエステル
繊維との混紡糸からなる、面密度２００g/m²の平織物
に、繊維径１３.７μm、長さ０.６mmのナイロンパイル
を静電植毛した植毛シートを研磨シートとした。

【００４８】（比較例２）繊維径５.１μmのポリエステ
ル極細繊維を主体とした、面密度２００g/m²、厚さ０.
３mmの平織物（鐘紡（株）製、ザヴィーナ）を研磨シー
トとした。

【００４９】（研磨特性の評価）実施例１〜３及び比較
例１〜２の研磨シートに、平均粒径０.５μmの研磨粒子
を分散させたスラリーを供給し、この研磨粒子によりニ
ッケルメッキを施したアルミ板表面をテクスチャー（１
秒間あたり０.７mg）した。次いで、このテクスチャー
したアルミ板表面を、電子顕微鏡で観察し、その表面状
態を評価した。この結果は表１に示す通りであった。な
お、実施例１〜３の研磨シートは立毛不織布面で研磨し
た。また、実施例１の絡合不織布Ｂ面で研磨した表面状
態を比較例３として、表１に示した。

【００５０】

【表１】

【００５１】

【発明の効果】本発明の精密機器製造用研磨シートは、
繊維径１０μm以下の極細繊維を主体として絡合してお
り、しかも少なくとも片面に立毛を有する不織布を、少
なくとも片面に有し、この不織布の立毛が表面に露出し
たものである。このように、絡合により形態を保ってお
り、しかも立毛しているため、繊維に自由度（融通性）
があり、研磨粒子を強引に基材表面に押圧しない（クッ
ション性がある）ので、基材表面に深い傷をつけにく
い。また、不織布は繊維径１０μm以下の極細繊維を主
体としているため、微細な研磨粒子の保持性に優れ、基
材表面における凹凸の間隔が均一となるように研磨する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の分割性繊維の断面形状の一例

【図２】本発明の分割性繊維の断面形状の他例

【図３】（ａ）本発明の分割性繊維の断面形状の他例（ｂ）本発明の分割性繊維の断面形状の他例

【図４】本発明の分割性繊維の断面形状の他例

【図５】本発明の分割性繊維の断面形状の他例

【図６】本発明の分割性繊維の断面形状の他例

【符号の説明】

Ａ樹脂成分Ｂ樹脂成分

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】繊維径１０μm以下の極細繊維を主体と
して絡合しており、しかも少なくとも片面に立毛を有す
る不織布を、少なくとも片面に有し、該不織布の立毛が
表面に露出していることを特徴とする、精密機器製造用
研磨シート。
【請求項２】不織布の絡合が流体流によるものである
ことを特徴とする、請求項１記載の精密機器製造用研磨
シート。
【請求項３】不織布の立毛がバフィングによるもので
あることを特徴とする、請求項１又は請求項２記載の精
密機器製造用研磨シート。
【請求項４】親水性繊維を含む層を有することを特徴
とする、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の精密機
器製造用研磨シート。
【請求項５】補強層を有することを特徴とする、請求
項１〜請求項４のいずれかに記載の精密機器製造用研磨
シート。