JPH10315142A

JPH10315142A - 研磨シート

Info

Publication number: JPH10315142A
Application number: JP14590897A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Tanaka; 広志田中; Etsuro Nakao; 悦郎中尾
Original assignee: Japan Vilene Co Ltd
Current assignee: Japan Vilene Co Ltd
Priority date: 1997-05-19
Filing date: 1997-05-19
Publication date: 1998-12-02

Abstract

(57)【要約】【課題】基材表面に大きな傷をつけることなく、均一
に研磨することができ、しかも研削量の多い研磨シート
を提供すること。【解決手段】本発明の研磨シートはフィブリル化して
絡んだ繊維を含む不織布からなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は研磨シート、特に磁
気記録媒体などの精密機器を製造する際の、テクスチャ
ー加工に使用することのできる研磨シートに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、磁気ディスクのような磁気記録
媒体を製造する場合、アルミ合金などの基材にアルマイ
ト処理やニッケル−リンメッキなどの非磁性メッキ処理
を施して非磁性メッキ基材を形成し、その非磁性メッキ
基材表面のテクスチャー加工を行った後、その上に、順
次、下地層（一般にクロムなどからなる）、磁性薄膜層
（一般にコバルト系合金などからなる）、及び保護層
（一般に炭素質などからなる）を被覆する。こうして製
造される磁気記録媒体においては、磁気ディスクと磁気
ヘッドとの間隔（すなわち、浮上量）をますます小さく
することが要請されているため、磁気ディスク表面に突
起が存在しないように、平滑化することが必要である。

【０００３】一方、磁気ディスク面の平滑化が進み過ぎ
ると、磁気ディスク面に磁気ヘッドが吸着してしまい、
浮上しない現象が起こる場合がある。これを防止するた
め、前記の非磁性メッキ基材に微細な溝を形成するテク
スチャー加工が一般的に行われている。すなわち、テク
スチャー加工とは、前記の非磁性メッキ基材の表面を研
磨して、微細な傷跡（テクスチャー）を均一に形成する
工程である。

【０００４】このテクスチャー加工で使用する研磨材と
しては、従来、繊維径３μｍ前後の繊維をウレタン樹脂
で固定した不織布や、繊維径５μｍ程度の繊維からなる
織物や、或は繊維径１４μｍ程度の繊維を植毛した植毛
シートなどがあった。

【０００５】しかしながら、繊維径３μｍ前後の繊維を
ウレタン樹脂で固定した不織布は、繊維に自由度がない
ためか、研磨の際に基材表面に大きな傷をつけてしまっ
たり、ウレタン樹脂が脱落して基材表面に付着してしま
い、かえって基材表面を不均一にしてしまうものであっ
た。また、繊維径５μｍ程度の繊維からなる織物も繊維
に自由度がないためか、基材表面に大きな傷をつけてし
まうものであり、更に、植毛シートは基材表面に対して
垂直に繊維が配列しているため、基材表面に大きな傷を
つけやすいものであった。

【０００６】そのため、本願出願人は特願平９−２３１
４９号において、繊維径１０μｍ以下の繊維を８０％以
上含む、絡合不織布又はメルトブロー不織布の層を少な
くとも片面に有する研磨シートを提案した。この研磨シ
ートは上記の問題を解決した、基材表面に大きな傷をつ
けることなく、均一に研磨して微細な傷跡を均一に形成
できるものである。しかしながら、繊維径が小さい繊維
からなる不織布を使用しているが故に、研削量が少な
く、つまり研削速度が遅いという新たな問題点を包含す
るものであった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を解決するためになされたものであり、基材表面に大き
な傷をつけることなく、均一に研磨することができ、し
かも研削量の多い研磨シートを提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の研磨シートはフ
ィブリル化して絡んだ繊維を含む不織布からなる。この
ようにフィブリル化した繊維を含んでおり、微細な研磨
粒子の保持性に優れているため、基材表面を均一に研磨
し、微細なテクスチャーを形成することができる。ま
た、フィブリル化した繊維が絡んでいることによって、
ある程度の融通性を有するように繊維を固定しており、
基材表面に対して、研磨粒子を強引に押圧しないので、
基材表面に大きな傷をつけにくい。更に、フィブリル化
した繊維が絡んでいることによって、従来のように繊維
径１０μｍ以下の繊維を使用した場合よりも繊維の融通
性を抑制しており、研磨粒子をしっかりと基材表面に押
圧できるため、研削量の多い研磨シートである。つま
り、フィブリル化した繊維が絡んでいることによって繊
維が適度に固定されているため、研磨粒子を基材表面に
対して適度に押圧できる研磨シートである。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の研磨シートはフィブリル
化して絡んだ繊維の働きにより、基材表面に大きな傷を
つけることなく、均一に研磨することができ、しかも研
削量の多いものである。このフィブリル化した状態と
は、微細繊維が完全に分離した状態にはなく、微細繊維
のどこかで他の繊維と繋がっている状態をいう。この状
態は電子顕微鏡写真により容易に確認することができ
る。

【００１０】また、絡んでいる状態とは、接着剤等を使
用することなく、形態安定性のある状態をいい、例え
ば、接着剤等を使用していない不織布の少なくとも一方
向における引張伸度が６０％以下である状態をいう。こ
の引張伸度はインストロン型引張強伸度測定機を用いて
測定した値をいう。なお、測定条件は、試験片として５
ｃｍ幅×２３ｃｍ長の不織布を用い、チャック間隔１０
０ｍｍ、引張速度１００ｍｍ／分で不織布が破断するま
でに要する距離Ｄ（ｍｍ）を測定する。この測定結果か
ら、次の式により引張伸度を算出できる。引張伸度（％）＝Ｄ／１００×１００＝Ｄ

【００１１】このフィブリル化した繊維又はフィブリル
化可能な繊維としては、例えば、液晶ポリエステル系繊
維、芳香族ポリアミド系繊維、合成パルプ、木材パル
プ、植物パルプ、溶剤紡糸法により形成したセルロース
繊維、特開平２−１７５９１５等に開示されているよう
なアクリル繊維、溶剤湿式冷却ゲル紡糸法により形成し
たビニロン繊維などを１種類以上使用できる。これらの
中でも液晶ポリエステル系繊維は繊維の剛性が高く、研
削量を多くでき、また、本発明の研磨シートは研磨粒子
を含むスラリー液を供給しながら研磨するのが好適であ
るが、湿潤時において強度が低下しないため、好適に使
用できる。

【００１２】この好適である液晶ポリエステル系繊維は
液晶ポリエステル系樹脂を紡糸することによって形成で
きる。本明細書において、液晶ポリエステル系樹脂と
は、異方性溶融相を形成することのできるポリマーをい
う。この種のポリマーは分子鎖に規則的な平行配列を含
んでおり、一般に細長く、扁平で、分子の長軸方向に剛
性が高い。異方性溶融相は、例えば、直交偏光子を用い
る通常の偏向測定法によって確認できる。

【００１３】本発明で用いる液晶ポリエステル系樹脂
は、特に限定するものではないが、芳香族ジオール、芳
香族ジカルボン酸、芳香族ヒドロキシカルボン酸を単独
で、又は適宜組み合わせた、全芳香族ポリエステル樹脂
からなるのが好ましい。この全芳香族ポリエステル樹脂
の中でも、ｐ−ヒドロキシ安息香酸と２−ヒドロキシナ
フタレン−６−カルボン酸との共重合体からなる液晶ポ
リエステル繊維は適度な剛性を有しているため好適に使
用できる。

【００１４】この芳香族ジオール、芳香族ジカルボン
酸、及び芳香族ヒドロキシカルボン酸としては、例え
ば、次のものを使用できる。（１）芳香族ジオール

【化１】（式中、Ｒ¹及びＲ²は、それぞれ独立して、水素原子、
ハロゲン原子（例えば、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原
子、フッ素原子）、アルキル基（例えば、炭素数１〜４
の低級アルキル基）、フェニル基、又は、ハロゲン原子
（例えば、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、フッ素原
子）若しくはアルキル基（例えば、炭素数１〜４の低級
アルキル基）で置換されたフェニル基である）

【化２】（式中、Ａは−ＣＨ₂−、−Ｃ（ＣＨ₃）₂−、又は−Ｓ
Ｏ₂−である）

【化３】（２）芳香族ジカルボン酸

【化４】（式中、Ｒ³は、水素原子、ハロゲン原子（例えば、塩
素原子、臭素原子、ヨウ素原子、フッ素原子）、或いは
アルキル基（例えば、炭素数１〜４の低級アルキル基）
である）

【化５】（３）芳香族ヒドロキシカルボン酸

【化６】（式中、Ｒ⁴は、水素原子、ハロゲン原子（例えば、塩
素原子、臭素原子、ヨウ素原子、フッ素原子）、又はア
ルキル基（例えば、炭素数１〜４の低級アルキル基）で
ある）

【化７】

【００１５】なお、液晶ポリエステル系樹脂を紡糸する
際に、紡糸性を向上させるために、芳香族環に置換基を
導入したり、非直線性モノマーを利用したり、屈曲鎖を
導入しても良い。

【００１６】このような液晶ポリエステル系樹脂を紡糸
して得られる液晶ポリエステル系繊維は、液晶ポリエス
テル系樹脂の融点よりも５０℃程度低い温度で熱処理を
することにより、剛性を向上させることができるが、長
時間熱処理をすると、フィブリル化しにくくなるため、
長時間熱処理をしない方が好ましい。フィブリル化しや
すいように、繊維を紡糸した後に全く熱処理をしていな
い液晶ポリエステル系繊維を使用するのが好ましい。

【００１７】前述のようなフィブリル化した繊維の含有
量は不織布の状態によって異なるが、不織布が１層から
なる場合には不織布中に、不織布が２層以上からなる場
合には、少なくとも片表面層中に、３ｍａｓｓ％以上含
まれていれば良く、５ｍａｓｓ％以上含まれているのが
好ましく、１０ｍａｓｓ％以上含まれているのが最も好
ましい。フィブリル化した繊維の含有量が３ｍａｓｓ％
未満であると、研磨粒子の保持性及び繊維の適度な融通
性が得られない可能性がある。他方、フィブリル化した
繊維の含有量が５０ｍａｓｓ％を越えると、繊維の融通
性がなくなり、基材表面に大きな傷をつけてしまう可能
性があるため、５０ｍａｓｓ％以下であるのが好まし
い。

【００１８】このフィブリル化した繊維以外の繊維とし
ては、微細な研磨粒子の保持性に優れ、基材表面を均一
に研磨して微細なテクスチャーを形成できるように、繊
維径１０μｍ以下の極細繊維を含んでいるのが好まし
く、繊維径８μｍ以下の極細繊維を含んでいるのがより
好ましく、繊維径６μｍ以下の極細繊維を含んでいるの
が最も好ましい。他方、研磨する際の摩擦によって極細
繊維が破断しないように、繊維径０．０１μｍ以上であ
るのが好ましく、繊維径１μｍ以上であるのがより好ま
しい。なお、極細繊維の断面形状が非円形からなる場合
には、断面積と同じ面積を有する円の直径を極細繊維の
繊維径とみなす。また、この極細繊維の含有量はフィブ
リル化した繊維との関係から５０〜９７ｍａｓｓ％であ
るのが好ましく、より好ましくは５０〜９５ｍａｓｓ％
であり、最も好ましくは５０〜９０ｍａｓｓ％である。

【００１９】この繊維径１０μｍ以下の極細繊維は、例
えば、２種類以上の樹脂成分からなり、物理的及び／又
は化学的処理により極細繊維に分割可能な分割性繊維を
分割したり、メルトブロー法により形成することができ
る。これらの中でも、分割性繊維を分割して発生させた
極細繊維はより繊維強度が優れ、研磨する際の摩擦によ
って極細繊維がより破断しにくいので好適に使用でき
る。なお、物理的処理としては、例えば、ニードル、水
流などの流体流、カレンダー処理などがあり、化学的処
理としては、例えば、溶媒により樹脂成分を溶解除去し
たり、樹脂成分を膨潤させる処理などがある。

【００２０】好適である分割性繊維から極細繊維を発生
させる場合に使用できる分割性繊維としては、例えば、
図１に繊維断面模式図を示すように、除去剤で除去可能
なＡ成分中に、このＡ成分の除去剤に難除去性のＢ成分
を島状に配置及び／又は分散させた海島型繊維があり、
この海島型繊維のＡ成分を除去することにより、Ｂ成分
からなる極細繊維を発生させることができる。なお、Ａ
成分が物理的作用により分割可能であれば、物理的作用
を施すことにより、少なくともＡ成分からなる極細繊維
とＢ成分からなる極細繊維の２種類の極細繊維を発生可
能である。また、島成分は１種類の樹脂成分からなる必
要はなく、２種類以上の樹脂成分からなっていても良
い。更に、島成分の大きさは均一である必要はなく、大
小様々な大きさの島成分が混在していると、基材表面に
大きな傷をつけることなく、より均一に研磨することが
できる。より具体的には、繊維径１〜５μｍ（好ましく
は２〜３μｍ）の極細繊維と繊維径０．８μｍ以下（好
ましくは０．５μｍ以下）の極細繊維とを含んでいるの
が好ましい。また、繊維径１〜５μｍ（好ましくは２〜
３μｍ）の極細繊維の数と繊維径０．８μｍ以下（好ま
しくは０．５μｍ以下）の極細繊維の数の比は、０．
１：９９．９〜５：９５（好ましくは１：９９〜３：９
７）であるのが好ましい。

【００２１】なお、除去剤としては、樹脂成分によって
異なるが、例えば、溶剤、酵素、微生物などがあり、こ
れらの中でも、溶剤は除去速度が速く、取り扱いやすい
ので好適に使用できる。この溶剤の中でも、水系のもの
であると、より扱いやすく、処理しやすいので、好適に
使用できる。本発明における除去可能とは、樹脂成分の
９５ｍａｓｓ％以上除去可能であることをいい、難除去
性とは、除去剤で除去可能な樹脂成分を除去する際の条
件下に樹脂成分をさらした時に、この樹脂成分の３０ｍ
ａｓｓ％以下しか質量低下がない場合をいう。

【００２２】本発明で使用できる別の分割性繊維として
は、例えば、図２に繊維断面模式図を示すように、Ａ成
分と、Ａ成分とは貧相溶性のＢ成分とを交互に層状に積
層した多重バイメタル型繊維があり、この多重バイメタ
ル型繊維に物理的作用を施せば、Ａ成分からなる極細繊
維とＢ成分からなる極細繊維の２種類の極細繊維を発生
可能である。なお、図２は分割性繊維が２種類の樹脂成
分からなる場合であるが、３種類の樹脂成分からなれば
３種類の極細繊維を発生させることができ、４種類の樹
脂成分からなれば４種類の極細繊維を発生させることが
できる。なお、Ａ成分とＢ成分とが貧相溶性でなく、除
去剤に対する溶解性や膨潤性の異なる樹脂成分を組み合
わせた場合には、除去剤によって極細繊維を発生させる
ことができる。

【００２３】なお、貧相溶性とは、対象となる２種類の
樹脂から貼り合わせ型複合繊維を紡糸し、この貼り合わ
せ型複合繊維に対して指で剪断力を加えることによっ
て、個々の樹脂成分に分割できる場合をいう。

【００２４】本発明で使用できる別の分割性繊維として
は、例えば、図３及び図４に繊維断面模式図を示すよう
に、Ａ成分を繊維の内部（好適には繊維軸）から繊維表
面に伸びる、Ａ成分とは貧相溶性のＢ成分で分割した菊
花型繊維があり、この菊花型繊維に物理的作用を施せ
ば、Ａ成分からなる極細繊維とＢ成分からなる極細繊維
の２種類の極細繊維を発生可能である。なお、図３及び
図４は分割性繊維が２種類の樹脂成分からなる場合であ
るが、３種類の樹脂成分からなれば３種類の極細繊維を
発生させることができ、４種類の樹脂成分からなれば４
種類の極細繊維を発生可能である。なお、Ａ成分とＢ成
分とが貧相溶性でなく、除去剤に対する溶解性や膨潤性
の異なる樹脂成分からなる場合には、除去剤によって極
細繊維を発生させることができる。

【００２５】更に、本発明で使用できる別の分割性繊維
としては、例えば、海島型繊維の島成分が海島型になっ
ているもの（図５参照）、海島型繊維の島成分が多重バ
イメタル型又は菊花型になっているもの、多重バイメタ
ル型繊維の少なくとも１つの樹脂成分が海島型になって
いるもの（図６参照）、多重バイメタル型繊維の少なく
とも１つの樹脂成分が多重バイメタル型又は菊花型にな
っているもの、菊花型繊維の少なくとも１つの樹脂成分
が海島型になっているもの（図７参照）、或は、菊花型
繊維の少なくとも１つの樹脂成分が多重バイメタル型又
は菊花型になっているもの、などがある。これらの分割
性繊維を使用すれば、繊維径の小さい極細繊維を容易に
発生させることができる。

【００２６】この分割性繊維を構成する樹脂成分として
は、繊維形成能があり、物理的及び／又は化学的処理に
より分割可能な、２種類以上の樹脂成分の組み合わせか
らなれば良く、例えば、ナイロン６、ナイロン６６、ナ
イロン系共重合体などのポリアミド、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレンテレフタレート系共重合体、
ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレ
ート系共重合体などのポリエステル、ポリエチレン、ポ
リプロピレン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィ
ン、ポリウレタン、ポリアクリロニトリル、ビニル重合
体、或いは、ポリグリコール酸、グリコール酸共重合
体、ポリ乳酸、乳酸共重合体などの脂肪族ポリエステル
系重合体、この脂肪族ポリエステル系重合体にカプラミ
ド、テトラメチレンアジパミド、ウンデカナミド、ラウ
ロラクタミド、ヘキサメチレンアジパミドなどの脂肪族
アミドが共重合した脂肪族ポリエステルアミド系共重合
体などの樹脂を適宜組み合わせれば良い。

【００２７】なお、研磨シートで研磨する方法として、
研磨粒子を含むスラリー液を供給しながら行なうのが好
ましいため、研磨粒子が凝集して基材表面に大きな傷を
つけにくいように、親水性に優れるポリアミドからなる
極細繊維を発生可能な分割性繊維が好ましい。また、研
磨粒子による研削量を多くできるように、剛性のより高
いポリエステル極細繊維を発生可能な分割性繊維が好ま
しい。よって、少なくともポリアミド極細繊維とポリエ
ステル極細繊維とを発生可能な分割性繊維を使用するの
が最も好ましい。

【００２８】このような、本発明で使用できる分割性繊
維は、常法の複合紡糸法、混合紡糸法、或はこれらを適
宜組み合わせることにより、容易に紡糸することができ
る。また、紡糸性や繊維強度を低下させない範囲内で、
難燃剤、帯電防止剤、吸湿剤、着色剤、染色剤、導電
剤、親水化剤などを混合しても良い。

【００２９】本発明の研磨シートは前述のようなフィブ
リル化して絡合した繊維を含む不織布からなる。このフ
ィブリル化して絡合した繊維が水流により絡合している
と、フィブリル化した繊維が高度に絡合しているため、
繊維の融通性をより抑制し、その結果、研削量を多くす
ることができるため好適な研磨シートである。また、水
流により絡合した不織布は均一に絡合しているため、基
材表面を均一に研磨することができ、しかもより低面密
度の薄い不織布であることもできるため、研磨シートを
巻回して使用する場合には、巻長さを長くすることがで
きる。

【００３０】本発明の研磨シートは上記のような不織布
からなるものであるが、本発明の研磨シートは研磨粒子
を含むスラリー液を供給しながら研磨するのが好適であ
る。そのため、研磨粒子を分散させている水が少なくな
ると、研磨粒子が凝集して基材表面に大きな傷をつけや
すくなるため、上述のような不織布以外に、親水性繊維
を含む層、例えば、親水性繊維を含む不織布や編織物の
層を設けるのが好ましい。

【００３１】この親水性繊維とは公定水分率が５％以上
の繊維をいい、例えば、レーヨン繊維、ポリノジック繊
維、キュプラ繊維、アセテート繊維、テンセル繊維（溶
剤抽出法により得られるセルロース繊維）などの繊維を
使用できる。これらの中でもレーヨン繊維やテンセル繊
維は湿潤時に柔らかくなり、研磨粒子を基材表面に強引
に押圧しないので好適に使用でき、テンセル繊維は湿潤
時の強度低下が小さいため、より好適に使用できる。な
お、この親水性繊維は層中２０ｍａｓｓ％以上含まれて
いるのが好ましく、この親水性繊維を含む層は不織布に
水分を供給できるように、不織布に隣接しているのが好
ましい。

【００３２】また、本発明の研磨シートで研磨する際に
寸法変化が生じると、基材表面を均一に研磨することが
できないので、研磨シートに形態安定性を付与するため
に、補強層を設けるのが好ましい。この補強層とは、こ
の補強層を設けたことによって、研磨シートが下記の条
件を満足する層をいう。記５ｃｍ幅の研磨シートを１０ｃｍ間隔を有するチャック
間に固定し、この研磨シートに２ｋｇｆの荷重を加えた
時に、研磨シートの中央部（チャック間の中央部）にお
ける、研磨シートの幅の減少が２ｍｍ以下である

【００３３】このような補強層としては、例えば、糸、
ネット、織物、熱可塑性繊維により固定した不織布又は
編織物、或はフィルムなどを使用できる。これらの中で
も、フィルムは厚みが均一で、しかも強度的に優れてい
るため、好適に使用できる。なお、研磨シートが親水性
繊維を含む層と補強層とを有する場合には、上述のよう
に、親水性繊維を含む層が不織布に隣接しているのが好
ましいため、この補強層は親水性繊維層に隣接して最外
層を形成しているのが好ましい。また、親水性繊維と熱
可塑性繊維とからなり、熱可塑性繊維で固定した層のよ
うに、補強層と親水性繊維を含む層とが同一の層からな
っていても良い。

【００３４】以下、本発明の研磨シートの製造方法につ
いて簡単に説明する。

【００３５】まず、フィブリル化した繊維及び／又はフ
ィブリル化可能な繊維を用意する。好ましくは繊維径１
０μｍ以下の極細繊維を発生可能な分割性繊維、繊維径
１０μｍ以下の極細繊維、メルトブロー法又はスパンボ
ンド法により繊維ウエブを形成可能な熱可塑性樹脂の中
の少なくとも１つを用意する。フィブリル化した繊維は
フィブリル化可能な繊維をビーターやレファイナーなど
によって形成することができる。フィブリル化可能な繊
維は市販されているため、容易に入手できる。分割性繊
維は常法によって紡糸することもできるし、市販されて
いるため容易に入手できる。繊維径１０μｍ以下の極細
繊維は分割性繊維を物理的及び／又は化学的処理により
分割して、容易に形成できる。メルトブロー法又はスパ
ンボンド法により繊維ウエブを形成可能な熱可塑性樹脂
は市販されているため容易に入手できる。

【００３６】次いで、これら繊維を含む繊維ウエブを、
例えば、カード法やエアレイ法などの乾式法、湿式法、
或いはメルトブロー法やスパンボンド法などの直接法に
より形成する。なお、繊維ウエブの形成方法によって繊
維長が異なり、乾式法により形成する場合には、２０〜
１１０ｍｍの繊維を使用し、湿式法により形成する場合
には、１〜３０ｍｍの繊維を使用する。また、フィブリ
ル化した繊維の繊維径は１０μｍ以下であるのが好まし
く、フィブリル化可能な繊維は繊維径１０μｍ以下のフ
ィブリルを発生可能な繊維径であれば良く、２０μｍ以
下であるのが好ましい。更に分割性繊維の繊維径は繊維
径１０μｍ以下の極細繊維を発生可能であれば良く、特
に限定するものではない。なお、繊維ウエブは２種類以
上の繊維ウエブを積層したものであっても良い。

【００３７】なお、フィブリル化可能な繊維（好適には
分割性繊維も含む）を使用した場合、不織布を形成する
までのどの段階でフィブリル化（分割）しても良いが、
製造上、不織布形成と同時、又は不織布形成後にフィブ
リル化（分割）するのが好ましい。本発明においては、
フィブリル化した繊維が絡合している必要があるため、
更なる絡合工程の必要のない不織布形成と同時にフィブ
リル化するのが好ましい。なお、フィブリル化方法とし
ては、例えば、ニードル、水流などの流体流、カレンダ
ー処理などがある。

【００３８】次いで、この繊維ウエブを、例えば、水流
による方法やニードルによる方法などにより絡合する。
これらの中でも、水流による方法であると、フィブリル
化した繊維が高度に絡合でき、繊維の融通性をより抑制
できるため好適である。また、繊維ウエブ全体を均一に
絡合することができ、しかもより低面密度で薄い研磨シ
ートを形成できるという特長もある。なお、フィブリル
化可能な繊維（好適には分割性繊維も含む）を含んでい
る場合には、この絡合処理によって絡合すると同時にフ
ィブリル化することができる。

【００３９】この好適な絡合方法である水流絡合の条件
としては、例えば、ノズル径０．０５〜０．３ｍｍ、好
適には０．０８〜０．２ｍｍ、ピッチ０．２〜３ｍｍ、
好適には０．４〜２ｍｍで一列以上に配列したノズルプ
レートを使用し、圧力１ＭＰａ〜３０ＭＰａ、好適には
５ＭＰａ〜２５ＭＰａの水流を噴出する。なお、水流の
圧力は変化させたり、ノズルを揺動又は振動させても良
い。また、水流で絡合する際に繊維ウエブを搬送する、
ネットやメッシュなどの支持体の非開孔部が大きいと、
外観上、孔を有する不織布を形成でき、支持体の非開孔
部が小さいと、外観上、孔のない均一な不織布を形成で
きる。精密機器を研磨する場合には、基材表面をより均
一に研磨できるように、線径０．２５ｍｍ以下の細いワ
イヤーからなる、５０メッシュ以上の目の細かいネット
や、これに相当する多孔板を使用するのが好ましい。

【００４０】なお、分割性繊維として化学的に分割可能
なものを使用したり、分割性繊維の分割が不十分な場合
には、絡合処理の後に、溶媒により樹脂成分を溶解除去
して分割したり、樹脂成分を膨潤させて分割したり、カ
レンダー処理により十分に分割するのが好ましい。

【００４１】親水性繊維を含む層としては、不織布や編
織物からなれば良く、不織布の形成方法としては、ニー
ドルや水流によって絡合する方法、バインダーによって
固定する方法、親水性繊維以外に熱可塑性繊維を含ませ
ておき、この熱可塑性繊維の融着により固定する方法な
どがある。なお、フィブリル化した繊維及び／又はフィ
ブリル化可能な繊維を含む繊維ウエブに、親水性繊維を
含む繊維ウエブを積層し、フィブリル化した繊維及び／
又はフィブリル化可能な繊維の絡合と同時に、親水性繊
維を含む繊維ウエブも絡合すると、不織布と親水性繊維
を含む層とを一体化する工程を省略できるので、好適な
親水性繊維を含む層の形成方法である。但し、この方法
により親水性繊維を含む層を形成する場合には、親水性
繊維を含む繊維ウエブを構成する繊維が、研磨シートの
研磨表面に露出しないように、フィブリル化した繊維及
び／又はフィブリル化可能な繊維を含む繊維ウエブ側か
らのみ絡合処理を施すのが好ましい。なお、この親水性
繊維を含む層は、親水性繊維以外に熱可塑性繊維を混合
しておき、この熱可塑性繊維の可塑化（親水性繊維を含
む層が補強層でもある）により、或は、別のバインダー
により不織布と一体化することができる。この別のバイ
ンダーにより不織布と一体化する場合には、親水性繊維
を含む層から不織布への水分の移行を妨げないように、
部分的に接着するのが好ましい。

【００４２】本発明の補強層は、例えば、糸、ネット、
織物、熱可塑性繊維により固定した不織布又は編織物、
或はフィルムなどからなれば良く、例えば、熱可塑性繊
維により固定した不織布は、乾式法及び／又は湿式法に
より形成した繊維ウエブを、熱カレンダーロール間を通
すことによって可塑化し、固定することによって形成で
きる。なお、この補強層と、不織布又は親水性繊維を含
む層と一体化する方法としては、フィブリル化した繊維
及び／又はフィブリル化可能な繊維を含む繊維ウエブ、
又は親水性繊維を含む層となるもの（例えば、繊維ウエ
ブ）に、補強層となる繊維ウエブを積層し、フィブリル
化した繊維及び／又はフィブリル化可能な繊維を含む繊
維ウエブの絡合と同時に、補強層を一体化できる。ま
た、バインダーにより一体化したり、補強体が熱可塑性
であれば、補強体の熱可塑性を利用して一体化しても良
い。なお、補強層がフィルムからなる場合には、溶融押
出したフィルムを不織布又は親水性繊維を含む層に積層
し、必要であれば加圧することにより容易に一体化でき
る。

【００４３】このようにして得られる研磨シートは、基
材表面に大きな傷をつけることなく、均一に研磨するこ
とができ、しかも研削量の多いものであるため、磁気デ
ィスク（例えば、ハードディスク）用基材から磁気記録
媒体を製造する際の研磨工程、特にテクスチャー工程に
おいて、好適に使用することができる。特に、磁気ディ
スク用非磁性メッキ基材のテクスチャー加工に好適に使
用することができる。なお、磁気ディスク用非磁性メッ
キ基材のテクスチャー加工に使用する場合、特開平８−
９６３５５号公報に記載されているように、研磨粒子を
含むスラリー液を供給しながら、基材表面を研磨するこ
とができる。

【００４４】以下に、本発明の実施例を記載するが、以
下の実施例に限定されるものではない。

【００４５】

【実施例】

（実施例１）フィブリル化可能な繊維として、ｐ−ヒド
ロキシ安息香酸と２−ヒドロキシナフタレン−６−カル
ボン酸との共重合体からなる、紡糸後に熱処理をしてお
らず、水流によりフィブリル化可能な、繊維径１６μ
ｍ、繊維長５１ｍｍの液晶ポリエステル繊維（ベクトラ
ンＮＴ、クラレ（株）製）を用意した。他方、分割性繊
維として、図４に示すような、ポリエステル成分（Ａ）
を繊維の中心から繊維表面に向かって伸びるポリアミド
成分（Ｂ）で８区分に分割した、菊花型の断面形状を有
し、水流で分割可能な、繊度３デニール、繊維長５１ｍ
ｍの繊維（ＤＦ−５、大和紡（株）製、ポリエステル成
分からなる繊維径４．６μｍの極細繊維を８本と、ポリ
アミド成分からなる繊維径４．６μｍの極細繊維を８本
発生可能）を用意した。

【００４６】次いで、液晶ポリエステル繊維３０ｍａｓ
ｓ％と分割性繊維７０ｍａｓｓ％とを混綿し、カーディ
ングした一方向性繊維ウエブと、この一方向性繊維ウエ
ブと同様にして形成した一方向性繊維ウエブをクロスレ
イヤーにより交差させた交差繊維ウエブとを、質量比
１：４で積層して積層繊維ウエブを形成した。

【００４７】次いで、この積層繊維ウエブを線径０．１
５ｍｍのワイヤーからなる１００メッシュのネットに載
置した後、径０．１５ｍｍ、ピッチ０．６ｍｍのノズル
プレートから、圧力１２Ｍｐａで水を噴出して、積層繊
維ウエブの両面を３度づつ交互に処理して、液晶ポリエ
ステル繊維のフィブリル化、分割性繊維の分割、及びこ
れら繊維の絡合を行って、面密度８０ｇ／ｍ²、厚さ
０．３２ｍｍ、引張伸度４０％の絡合不織布を形成し
た。

【００４８】他方、未延伸ポリエステル繊維（繊度５デ
ニール、繊維長３８ｍｍ）４０ｍａｓｓ％と、延伸ポリ
エステル繊維（繊度３デニール、繊維長６４ｍｍ）６０
ｍａｓｓ％とを混綿し、カーディングして一方向性繊維
ウエブを形成した。そして、この一方向性繊維ウエブを
絡合不織布の一方向性繊維ウエブ側に積層し、温度２０
０℃、線圧力６０ｋｇ／ｃｍのカレンダーロール間を通
すことにより、一方向性繊維ウエブを結合（結果として
補強層）すると同時に、絡合不織布と接着一体化して、
面密度１３０ｇ／ｍ²、厚さ０．２２ｍｍの研磨シート
を形成した。なお、絡合不織布を構成している極細繊維
は融着していなかった。また、研磨シート（５ｃｍ幅）
を１０ｃｍ間隔を有するチャック間に固定し、この研磨
シートに２ｋｇｆの荷重を加えた時に、研磨シートの中
央部（チャック間の中央部）における、研磨シートの幅
の減少は０ｍｍであった。

【００４９】（実施例２）フィブリル化可能な繊維を５
ｍａｓｓ％と分割性繊維を９５ｍａｓｓ％とを使用した
こと以外は実施例１と全く同様にして、面密度８０ｇ／
ｍ²、厚さ０．３５ｍｍ、引張伸度５０％の絡合不織布
を形成した。次いで、実施例１と全く同様にして、この
絡合不織布に補強層を付与し、面密度１３０ｇ／ｍ²、
厚さ０．２２ｍｍの研磨シートを形成した。なお、絡合
不織布を構成している極細繊維は融着していなかった。
また、研磨シート（５ｃｍ幅）を１０ｃｍ間隔を有する
チャック間に固定し、この研磨シートに２ｋｇｆの荷重
を加えた時に、研磨シートの中央部（チャック間の中央
部）における、研磨シートの幅の減少は０ｍｍであっ
た。

【００５０】（比較例１）レーヨン繊維とポリエステル
繊維との混紡糸からなる、面密度２００ｇ／ｍ²の平織
物に、繊維径１３．７μｍ、長さ０．６ｍｍのナイロン
パイルを静電植毛した植毛シートを研磨シートとした。

【００５１】（比較例２）図１に示すような海島型の分
割性繊維を使用して繊維ウエブを形成し、絡合した後、
分割性繊維の海成分を溶解除去して形成した、繊維径
２．５〜３．５μｍのナイロン繊維からなる絡合繊維ウ
エブを、４０ｇ／ｍ²量程度のウレタン樹脂で固定し
た、面密度１００ｇ／ｍ²、厚さ０．５ｍｍの不織布
（東レ（株）製、エクセーヌ）を研磨シートとした。

【００５２】（比較例３）繊維径５．１μｍのポリエス
テル極細繊維を主体とした面密度２００ｇ／ｍ²、厚さ
０．３ｍｍの平織物（鐘紡（株）製、ザヴィーナ）を研
磨シートとした。

【００５３】（比較例４）繊維径１２．４μｍ、繊維長
３８ｍｍの延伸ポリエステル繊維を使用したこと以外
は、実施例１と全く同様にして、面密度１００ｇ／
ｍ²、厚さ０．５ｍｍの絡合不織布を形成した。この絡
合不織布を研磨シートとした。

【００５４】（研磨特性の評価）実施例１〜２及び比較
例１〜４の研磨シートを５０ｍｍに裁断した試験テープ
を使用し、平均粒径０．３μｍのダイヤモンドスラリー
（砥粒濃度＝０．４ｍａｓｓ％）を用いて、下記の条件
で図８に示すような試験機を用いて、市販のニッケル−
リンメッキ処理を施したアルミニウム製ディスク基板の
テクスチャー加工を行った。記ディスク基板の回転数：２５０ｒｐｍオシレーション数：１０００回／分オシレーション振幅：２ｍｍ試験テープのディスクへの押し圧：１９６ｋＰａ試験テープの送り速度：５ｍｍ／秒研磨時間：５０秒スラリー供給量：１０ｍｌ／分

【００５５】このテクスチャー加工の後、ディスク基板
表面を電子顕微鏡で観察し、大きな傷があるかどうかを
確認した。また、ディスク基板の平均表面粗さＲａ（小
さな値ほど良好である）、及びディスク基板表面の凹凸
の平均点から凹部の最大深さＲｖ（数値が大きい程、深
い（大きい）傷が発生している）を、表面粗さ・微細形
状測定装置（テンコールＰ−１２；テンコール社製）に
より測定した。更に、テクスチャー加工前後における重
量変化、つまり研削量を算出した。これらの結果は表１
に示す通りであった。この結果から、本発明の研磨シー
トは基材表面に大きな傷をつけることなく、均一に研磨
することができ、しかも研削量の多いものであることが
わかる。

【００５６】

【表１】

【００５７】

【発明の効果】本発明の研磨シートはフィブリル化して
絡んだ繊維を含む不織布からなる。このようにフィブリ
ル化した繊維を含んでおり、微細な研磨粒子の保持性に
優れているため、基材表面を均一に研磨し、微細なテク
スチャーを形成することができる。また、フィブリル化
した繊維が絡んでいることによって、ある程度の融通性
を有するように繊維を固定しており、基材表面に対し
て、研磨粒子を強引に押圧しないので、基材表面に大き
な傷をつけにくい。更に、フィブリル化した繊維が絡ん
でいることによって、従来のように繊維径１０μｍ以下
の繊維を使用した場合よりも繊維の融通性を抑制してお
り、研磨粒子をしっかりと基材表面に押圧できるため、
研削量の多い研磨シートである。つまり、フィブリル化
した繊維が絡んでいることによって繊維が適度に固定さ
れているため、研磨粒子を基材表面に対して適度に押圧
できる研磨シートである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明で使用できる分割性繊維の断面形状の
一例

【図２】本発明で使用できる分割性繊維の断面形状の
他例

【図３】本発明で使用できる分割性繊維の断面形状の
他例

【図４】本発明で使用できる分割性繊維の断面形状の
他例

【図５】本発明で使用できる分割性繊維の断面形状の
他例

【図６】本発明で使用できる分割性繊維の断面形状の
他例

【図７】本発明で使用できる分割性繊維の断面形状の
他例

【図８】本発明の研磨シートを用いて非磁性メッキ基
材をテクスチャー加工している状態を示す説明図

【符号の説明】

Ａ樹脂成分Ｂ樹脂成分ａ樹脂成分ｂ樹脂成分１１スラリー供給ノズル１２ディスク基板１３試験テープ１４押し当てローラ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フィブリル化して絡んだ繊維を含む不織
布からなることを特徴とする研磨シート。
【請求項２】フィブリル化した繊維が液晶ポリエステ
ル系繊維からなることを特徴とする、請求項１記載の研
磨シート。
【請求項３】液晶ポリエステル系繊維がｐ−ヒドロキ
シ安息香酸と２−ヒドロキシナフタレン−６−カルボン
酸との共重合体からなることを特徴とする請求項２記載
の研磨シート。
【請求項４】フィブリル化した繊維を３ｍａｓｓ％以
上含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記
載の研磨シート。
【請求項５】フィブリル化した繊維以外に、繊維径１
０μｍ以下の極細繊維を含むことを特徴とする、請求項
１〜４のいずれかに記載の研磨シート。
【請求項６】極細繊維として、ポリエステル極細繊維
を含んでいることを特徴とする、請求項５記載の研磨シ
ート。
【請求項７】水流により絡んでいることを特徴とす
る、請求項１〜６のいずれかに記載の研磨シート。
【請求項８】親水性繊維を含む層を有することを特徴
とする、請求項１〜７のいずれかに記載の研磨シート。
【請求項９】補強層を有することを特徴とする、請求
項１〜８のいずれかに記載の研磨シート。
【請求項１０】磁気記録媒体製造用であることを特徴
とする、請求項１〜９のいずれかに記載の研磨シート。