JPH09281079A - 水素脆化その場計測方法およびその装置 - Google Patents
水素脆化その場計測方法およびその装置Info
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- JPH09281079A JPH09281079A JP9380696A JP9380696A JPH09281079A JP H09281079 A JPH09281079 A JP H09281079A JP 9380696 A JP9380696 A JP 9380696A JP 9380696 A JP9380696 A JP 9380696A JP H09281079 A JPH09281079 A JP H09281079A
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- hydrogen
- ball bearing
- hole
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- embrittlement
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Abstract
(57)【要約】
【課題】構造部品や材料に水素脆化を引き起こす水素を
直接その場で計測し、水素脆化度を評価することができ
る検出装置、及びその測定方法を提供する。 【解決手段】水素脆化を起こす材料表面の近く、または
粒界の近くに微小な内径を有するホール１１０を空け、
ホール１１０に侵入する水素１０８を真空チャンバ１１
３へ導入して、四重極質量分析計１１６で計測し、質量
スペクトル３０１のうちｍ／ｎ＝２イオンのピーク、ま
たはｍ／ｎ＝１８イオンのピークで校正したｍ／ｎ＝１
イオンのピークの合計を発生した水素量として、材料の
水素脆化度の評価や最適材料の選定を行う。
直接その場で計測し、水素脆化度を評価することができ
る検出装置、及びその測定方法を提供する。 【解決手段】水素脆化を起こす材料表面の近く、または
粒界の近くに微小な内径を有するホール１１０を空け、
ホール１１０に侵入する水素１０８を真空チャンバ１１
３へ導入して、四重極質量分析計１１６で計測し、質量
スペクトル３０１のうちｍ／ｎ＝２イオンのピーク、ま
たはｍ／ｎ＝１８イオンのピークで校正したｍ／ｎ＝１
イオンのピークの合計を発生した水素量として、材料の
水素脆化度の評価や最適材料の選定を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は水素脆化をその場で
直接測定するのに好適な劣化，脆化検出方法に関する。
直接測定するのに好適な劣化，脆化検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、材料の水素脆化挙動を直接計測し
て水素脆化度を評価するとともに、耐水素脆化度の高い
材料を開発するという例は全くなかった。本発明に最も
近い公知例は、合金の水素脆化によるき裂進展挙動を調
べ、き裂先端表面からの水素透過は含有するＮｉ量とと
もに減少することを示している。また、ボールベアリン
グの水素脆化による早期はくりでは、外輪がはくりした
鋼中の水素量を調べ、水素脆化挙動を論じた例もある。
前者の例は、『M.Nakamura 他, Material Science and
Technology, “Crack propagation of secondary harde
ned alloysteels in gaseous hydrogen atomoshere”,V
ol５−６（１９８９）ｐ５８４−５８９』に記載されて
いる。後者の例は、『武村 他，日本トライボロジー学
会予稿集,“曲げ応力下における転がり寿命”, （１９
９２−１０)』に示されている。
て水素脆化度を評価するとともに、耐水素脆化度の高い
材料を開発するという例は全くなかった。本発明に最も
近い公知例は、合金の水素脆化によるき裂進展挙動を調
べ、き裂先端表面からの水素透過は含有するＮｉ量とと
もに減少することを示している。また、ボールベアリン
グの水素脆化による早期はくりでは、外輪がはくりした
鋼中の水素量を調べ、水素脆化挙動を論じた例もある。
前者の例は、『M.Nakamura 他, Material Science and
Technology, “Crack propagation of secondary harde
ned alloysteels in gaseous hydrogen atomoshere”,V
ol５−６（１９８９）ｐ５８４−５８９』に記載されて
いる。後者の例は、『武村 他，日本トライボロジー学
会予稿集,“曲げ応力下における転がり寿命”, （１９
９２−１０)』に示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、水素脆
化を起こす材料で、脆化前後の鋼中の水素を化学分析等
で計測することはできたが、水素脆化の原因となる水素
を直接その場で分析することができないという問題があ
った。また、水素脆化材料の開発における最適化が不十
分であったり、水素脆化材料の劣化診断や余寿命評価の
精度と信頼性が低いという問題があった。
化を起こす材料で、脆化前後の鋼中の水素を化学分析等
で計測することはできたが、水素脆化の原因となる水素
を直接その場で分析することができないという問題があ
った。また、水素脆化材料の開発における最適化が不十
分であったり、水素脆化材料の劣化診断や余寿命評価の
精度と信頼性が低いという問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記従来の方法の問題点
を解決するために、以下の技術的手段を採用した。
を解決するために、以下の技術的手段を採用した。
【０００５】水素脆化を起こす構造部品の表面、あるい
は粒界の近くに微小な内径を有するホールを空け、前記
ホールを真空排気された真空チャンバと接続した。さら
に真空チャンバに水素分子Ｈ2 や水素原子Ｈ，水分子Ｈ
2Ｏ の分圧質量スペクトルを測定することができる四重
極質量分析計を具備した。また、発生水素量として水素
分子Ｈ2 ピークとともに水分子Ｈ2Ｏ ピークで校正した
水素原子Ｈを用いた。前記構造部品の表面の近くで発生
した水素分子Ｈ2 は表面上で解離し、水素原子Ｈとなっ
て透過する。そして材料内部を拡散し、前記ホール先端
表面から放出される。放出された水素原子Ｈは即座に再
結合し、水素分子Ｈ2 となって真空チャンバ内に侵入
し、四重極質量分析計の分析チャンバで計測される。ま
た、一部再結合されない水素原子Ｈも分析チャンバで検
出される。真空チャンバ内に残留する水分子Ｈ2Ｏは分
析チャンバ内で解離し水素原子Ｈを発生するが、水分子
Ｈ2Ｏピークで水素原子Ｈピークを校正するので、水素
分子Ｈ2 とともに発生した水素脆化の起因となる水素を
定量的に評価することができる。また、発生する水素は
連続的に四重極質量分析計で測定されるので、水素脆化
をその場で直接評価できるようになる。水素脆化の材料
を脆化後間接的に調べて脆化度を予測するのではなく、
脆化進行中に直接評価するため、材料開発の最適化と材
料の余寿命評価の精度と信頼性が向上する。
は粒界の近くに微小な内径を有するホールを空け、前記
ホールを真空排気された真空チャンバと接続した。さら
に真空チャンバに水素分子Ｈ2 や水素原子Ｈ，水分子Ｈ
2Ｏ の分圧質量スペクトルを測定することができる四重
極質量分析計を具備した。また、発生水素量として水素
分子Ｈ2 ピークとともに水分子Ｈ2Ｏ ピークで校正した
水素原子Ｈを用いた。前記構造部品の表面の近くで発生
した水素分子Ｈ2 は表面上で解離し、水素原子Ｈとなっ
て透過する。そして材料内部を拡散し、前記ホール先端
表面から放出される。放出された水素原子Ｈは即座に再
結合し、水素分子Ｈ2 となって真空チャンバ内に侵入
し、四重極質量分析計の分析チャンバで計測される。ま
た、一部再結合されない水素原子Ｈも分析チャンバで検
出される。真空チャンバ内に残留する水分子Ｈ2Ｏは分
析チャンバ内で解離し水素原子Ｈを発生するが、水分子
Ｈ2Ｏピークで水素原子Ｈピークを校正するので、水素
分子Ｈ2 とともに発生した水素脆化の起因となる水素を
定量的に評価することができる。また、発生する水素は
連続的に四重極質量分析計で測定されるので、水素脆化
をその場で直接評価できるようになる。水素脆化の材料
を脆化後間接的に調べて脆化度を予測するのではなく、
脆化進行中に直接評価するため、材料開発の最適化と材
料の余寿命評価の精度と信頼性が向上する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
用いて説明する。
用いて説明する。
【０００７】図１は本発明の水素脆化その場計測装置を
示す説明図である。ボールベアリング１０１は、モータ
駆動の中間プーリ１０２とベルト１０３により高速に回
転する。ボールベアリング１０１は、外輪１０４と内輪
１０５、さらに外輪１０４と内輪１０５間の７個のボー
ル１０６により構成されており、その間にグリース１０
７が充填されている。ボールベアリング１０１が高速に
回転すると温度が上昇し、グリース１０７が分解し水素
１０８が発生する。発生した水素１０８は、外輪１０４
とボール１０６の接触面のうち、外輪１０４の表面より
侵入し、水素脆化に起因したはくりを起こしてしまう。
本発明では、外輪１０４の外側から微小な内径を有する
ホール１１０を空け、ホール１１０の出口とパイプ１１
１を銀ろう付けする。パイプ１１１の先端には超高真空
フランジ１１２を取り付け、真空チャンバ１１３と合体
させる。真空チャンバ１１３はベローズ１１４を介して
ターボ分子ポンプ１１５で排気する。ここで、ボール１
０６が転走する外輪104の表面とホール１１０の先端ま
での距離は、水素脆化によりはくりが起こると考えられ
る最大深さとする。外輪１０４を通過してきた水素１０
８の分圧を計測するために、四重極質量分析計１１６の
分析チャンバ１１７を真空チャンバ１１３に具備する。
また、真空チャンバ１１３の全圧は、Ｂ−Ａゲージ１１
８で測定する。水素の検出装置として、ガスクロマトグ
ラフィー等のクロマトグラフィーを用いることも可能で
ある。
示す説明図である。ボールベアリング１０１は、モータ
駆動の中間プーリ１０２とベルト１０３により高速に回
転する。ボールベアリング１０１は、外輪１０４と内輪
１０５、さらに外輪１０４と内輪１０５間の７個のボー
ル１０６により構成されており、その間にグリース１０
７が充填されている。ボールベアリング１０１が高速に
回転すると温度が上昇し、グリース１０７が分解し水素
１０８が発生する。発生した水素１０８は、外輪１０４
とボール１０６の接触面のうち、外輪１０４の表面より
侵入し、水素脆化に起因したはくりを起こしてしまう。
本発明では、外輪１０４の外側から微小な内径を有する
ホール１１０を空け、ホール１１０の出口とパイプ１１
１を銀ろう付けする。パイプ１１１の先端には超高真空
フランジ１１２を取り付け、真空チャンバ１１３と合体
させる。真空チャンバ１１３はベローズ１１４を介して
ターボ分子ポンプ１１５で排気する。ここで、ボール１
０６が転走する外輪104の表面とホール１１０の先端ま
での距離は、水素脆化によりはくりが起こると考えられ
る最大深さとする。外輪１０４を通過してきた水素１０
８の分圧を計測するために、四重極質量分析計１１６の
分析チャンバ１１７を真空チャンバ１１３に具備する。
また、真空チャンバ１１３の全圧は、Ｂ−Ａゲージ１１
８で測定する。水素の検出装置として、ガスクロマトグ
ラフィー等のクロマトグラフィーを用いることも可能で
ある。
【０００８】図２に示すように、ボールベアリングが高
速回転中にグリース１０７が分解して水素１０８が発生
するが、これは水素分子Ｈ2 ２０１である。水素分子Ｈ
2201は解離し、水素原子Ｈ２０２として外輪１０４の転
走面２０３から吸収され、ホール１１０の先端表面から
放出される。放出された水素原子Ｈ２０２は即座にリコ
ンビネーション、即ち、再結合し水素分子Ｈ2 ２０１と
なって四重極質量分析計１１６の分析チャンバ１１７で
測定される。また、放出された水素原子Ｈ202の一部は
そのまま分析チャンバ１１７で計測される。しかし、真
空チャンバ113や分析チャンバ１１７には残留ガスとし
て水分子Ｈ2Ｏ ２０４が存在し、分析チャンバ１１７内
で解離し、水素原子Ｈ２０２として計測される場合があ
る。図３は四重極質量分析計１１６で測定される質量ス
ペクトル３０１である。転走面２０３から吸収されホー
ル１１０先端から放出される水素１１８は、主にｍ／ｎ
＝２のイオン３０２として検出されるが、一部はｍ／ｎ
＝１のイオン３０３としても測定される。したがって透
過した水素１０８を定量的に評価する一つとして、ボー
ルベアリング１０１が回転する前後のｍ／ｎ＝２のイオ
ン３０２の差圧を水素量とする方法がある。また、ｍ／
ｎ＝１のイオン３０３をｍ／ｎ＝１８のイオン３０４で
ある水のピークで標準化し、ｍ／ｎ＝２のイオン３０２
と合わせた値を用い、ボールベアリング１０１の回転前
後のイオン電流値を水素量とする方法も有効である。
速回転中にグリース１０７が分解して水素１０８が発生
するが、これは水素分子Ｈ2 ２０１である。水素分子Ｈ
2201は解離し、水素原子Ｈ２０２として外輪１０４の転
走面２０３から吸収され、ホール１１０の先端表面から
放出される。放出された水素原子Ｈ２０２は即座にリコ
ンビネーション、即ち、再結合し水素分子Ｈ2 ２０１と
なって四重極質量分析計１１６の分析チャンバ１１７で
測定される。また、放出された水素原子Ｈ202の一部は
そのまま分析チャンバ１１７で計測される。しかし、真
空チャンバ113や分析チャンバ１１７には残留ガスとし
て水分子Ｈ2Ｏ ２０４が存在し、分析チャンバ１１７内
で解離し、水素原子Ｈ２０２として計測される場合があ
る。図３は四重極質量分析計１１６で測定される質量ス
ペクトル３０１である。転走面２０３から吸収されホー
ル１１０先端から放出される水素１１８は、主にｍ／ｎ
＝２のイオン３０２として検出されるが、一部はｍ／ｎ
＝１のイオン３０３としても測定される。したがって透
過した水素１０８を定量的に評価する一つとして、ボー
ルベアリング１０１が回転する前後のｍ／ｎ＝２のイオ
ン３０２の差圧を水素量とする方法がある。また、ｍ／
ｎ＝１のイオン３０３をｍ／ｎ＝１８のイオン３０４で
ある水のピークで標準化し、ｍ／ｎ＝２のイオン３０２
と合わせた値を用い、ボールベアリング１０１の回転前
後のイオン電流値を水素量とする方法も有効である。
【０００９】ボールベアリング１０１を通常回転より高
速で荷重をかけて回し、加速試験を行うと、転走面とホ
ール先端との距離が周囲の外輪幅に比べて短いために、
図４に示すように転走面からホール先端へかけてき裂４
０１が発生する。き裂は、大気側からホールへの微小な
大気リークを引き起こすが、それと共にグリースが分解
した水素分子Ｈ2 ２０１を転走面で解離させて透過させ
ずに直接真空側４０２へ取り込み、四重極質量分析計で
計測できる。したがって、グリースの分解によって発生
した水素を直接計測できるという効果がある。
速で荷重をかけて回し、加速試験を行うと、転走面とホ
ール先端との距離が周囲の外輪幅に比べて短いために、
図４に示すように転走面からホール先端へかけてき裂４
０１が発生する。き裂は、大気側からホールへの微小な
大気リークを引き起こすが、それと共にグリースが分解
した水素分子Ｈ2 ２０１を転走面で解離させて透過させ
ずに直接真空側４０２へ取り込み、四重極質量分析計で
計測できる。したがって、グリースの分解によって発生
した水素を直接計測できるという効果がある。
【００１０】図５は同一のボールベアリング１０１材料
を使用し、各種グリース１０７に対して図２に示した透
過試験を行った結果である。これに対して、図６は同一
のグリース１０７を用い、各種外輪１０４材料に対して
行った結果である。グリース１０７Ｃが水素分子(Ｈ2 )
イオン電流量と校正水素(Ｈ2＋Ｈ／Ｈ2Ｏ)イオン電流量
ともに最も水素発生量が少ないことが分かる。一方、外
輪１０４材料では、外輪１０４材料ｂが水素発生を抑制
する。以上のように本発明は、耐水素脆化に好適なグリ
ースやボールベアリング材料の選定や開発に有効である
という効果がある。
を使用し、各種グリース１０７に対して図２に示した透
過試験を行った結果である。これに対して、図６は同一
のグリース１０７を用い、各種外輪１０４材料に対して
行った結果である。グリース１０７Ｃが水素分子(Ｈ2 )
イオン電流量と校正水素(Ｈ2＋Ｈ／Ｈ2Ｏ)イオン電流量
ともに最も水素発生量が少ないことが分かる。一方、外
輪１０４材料では、外輪１０４材料ｂが水素発生を抑制
する。以上のように本発明は、耐水素脆化に好適なグリ
ースやボールベアリング材料の選定や開発に有効である
という効果がある。
【００１１】図７はボールベアリングのはくり寿命と水
素分子(Ｈ2 )イオン電流量との関係を示す。測定点７０
１には多少のバラツキはあるものの、水素分子(Ｈ2 )イ
オン電流量の上昇とともにはくり寿命は減少することが
分かる。したがって、開発するボールベアリング材料に
必要な設計寿命７０２が決定されれば、許容水素発生量
７０３が定まり、製造コストの低減や信頼性の向上等を
考慮した最適なグリース及びボールベアリング材料の開
発が可能になるという効果がある。
素分子(Ｈ2 )イオン電流量との関係を示す。測定点７０
１には多少のバラツキはあるものの、水素分子(Ｈ2 )イ
オン電流量の上昇とともにはくり寿命は減少することが
分かる。したがって、開発するボールベアリング材料に
必要な設計寿命７０２が決定されれば、許容水素発生量
７０３が定まり、製造コストの低減や信頼性の向上等を
考慮した最適なグリース及びボールベアリング材料の開
発が可能になるという効果がある。
【００１２】また、本発明の水素脆化その場計測装置
を、長寿命化が必要とされる原子力プラント等の大型プ
ラントに適用すれば、水素脆化の劣化診断装置や余寿命
評価装置として用いることができる。
を、長寿命化が必要とされる原子力プラント等の大型プ
ラントに適用すれば、水素脆化の劣化診断装置や余寿命
評価装置として用いることができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、水素脆化を起こす水素
の発生量をその場で計測することができるので、構造材
料の材料開発の最適化と高精度化を図ることができる。
さらに、構造材料の劣化診断や余寿命評価等の予防保全
技術の精度と信頼性が向上する。
の発生量をその場で計測することができるので、構造材
料の材料開発の最適化と高精度化を図ることができる。
さらに、構造材料の劣化診断や余寿命評価等の予防保全
技術の精度と信頼性が向上する。
【図１】本発明の水素脆化その場計測装置を示す説明
図。
図。
【図２】ボールベアリング回転中における水素の挙動を
示す説明図。
示す説明図。
【図３】四重極質量分析計で計測される質量スペクトル
特性図。
特性図。
【図４】ボールベアリング内でグリースの分解により発
生する水素を直接計測する方法を示す説明図。
生する水素を直接計測する方法を示す説明図。
【図５】各種グリース材料の水素脆化その場計測試験結
果の説明図。
果の説明図。
【図６】各種外輪材料の水素脆化その場計測試験結果の
説明図。
説明図。
【図７】ボールベアリングのはくり寿命と水素分子(Ｈ2
)イオン電流量との関係を示す特性図。
)イオン電流量との関係を示す特性図。
１０１…ボールベアリング材料、１０２…中間軸プー
リ、１０３…ベルト、１０４…外輪、１０５…内輪、１
０６…ボール、１０７…グリース、１０８…水素、１０
９…はくり、１１０…ホール、１１１…パイプ、１１２
…超高真空フランジ、１１３…真空チャンバ、１１４…
ベローズ、１１５…ターボ分子ポンプ、１１６…四重極
質量分析計、１１７…分析チャンバ、１１８…Ｂ−Ａゲ
ージ。
リ、１０３…ベルト、１０４…外輪、１０５…内輪、１
０６…ボール、１０７…グリース、１０８…水素、１０
９…はくり、１１０…ホール、１１１…パイプ、１１２
…超高真空フランジ、１１３…真空チャンバ、１１４…
ベローズ、１１５…ターボ分子ポンプ、１１６…四重極
質量分析計、１１７…分析チャンバ、１１８…Ｂ−Ａゲ
ージ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 雄一 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 大野 啓充 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器事業部内
Claims (9)
- 【請求項１】水素脆化を起こす材料表面の近く、または
粒界の近くに微小な内径を有するホールを設け、前記ホ
ールに侵入する前記水素脆化の原因となる水素を、前記
水素脆化の進行に伴い逐一、または連続的に測定し、予
め求めておいた水素脆化度と含有水素量との関係と、発
生する水素量から前記水素脆化度を診断することを特徴
とする水素脆化その場計測方法。 - 【請求項２】水素脆化を起こす材料と、前記材料の表
面、または粒界の近くに設けた微小な内径を有するホー
ルと、前記ホールに侵入する水素脆化の原因となる水素
を逐一、または連続的に測定する装置と、前記水素量か
ら前記水素脆化度を診断するシステムからなることを特
徴とする水素脆化その場計測装置。 - 【請求項３】グリースを封入したボールベアリングにお
いて、前記ボールベアリングの外輪とボールが接触する
前記外輪表面の近くまで、前記ボールベアリングの外側
から微小な内径を有するホールを設け、前記ボールベア
リングが回転中に前記グリースが分解して発生し、前記
外輪表面から透過し前記ホールへ侵入した水素を測定
し、予め求めておいた前記グリース及びボールベアリン
グと水素発生量の関係から前記グリースとボールベアリ
ング材料の品質と性能を評価することを特徴とする水素
脆化その場計測方法。 - 【請求項４】グリースを封入したボールベアリングと、
前記ボールベアリングの外輪とボールが接触する前記外
輪表面の近くまで前記ボールベアリングの外側から空け
た微小な内径を有するホールと、前記ホールへ侵入した
水素を測定する装置と、前記グリースとボールベアリン
グ材料の品質と性能を評価するシステムとからなること
を特徴とする水素脆化その場計測方法およびその装置。 - 【請求項５】請求項１，２，３または４において、前記
ホールへ侵入した水素を測定する装置が四重極質量分析
計である水素脆化その場計測方法およびその装置。 - 【請求項６】請求項１，２，３，４または５において、
前記ホールへ侵入した水素を測定する装置がクロマトグ
ラフィーである水素脆化その場計測方法。 - 【請求項７】請求項１，２，３，４，５または６におい
て、前記外輪表面と前記ホールの先端表面との距離を小
さくして前記ボールベアリングの回転時にクラックを発
生させ、前記ボールと前記外輪表面で、前記グリースが
分解して発生する水素を直接計測する水素脆化その場計
測方法。 - 【請求項８】請求項５において、前記四重極質量分析計
で測定するスペクトルの中で、前記ボールベアリングの
回転前後でのＨ2 ピークの高さの相違を水素量として用
いる水素脆化その場計測方法。 - 【請求項９】請求項５において、前記四重極質量分析計
で測定するスペクトルの中で、H2Oピークの高さにより
Ｈピークを校正し、前記ボールベアリングの回転前後で
のＨ2 ピークの高さの相違と前記Ｈピークの高さの相違
との合計を発生した水素量として用いる水素脆化その場
計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9380696A JPH09281079A (ja) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | 水素脆化その場計測方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9380696A JPH09281079A (ja) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | 水素脆化その場計測方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09281079A true JPH09281079A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14092656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9380696A Pending JPH09281079A (ja) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | 水素脆化その場計測方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09281079A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006085405A1 (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-17 | National University Corporation Kyushu Insutituteof Technology | 原子状水素定量方法およびその装置ならびに原子状水素吸着除去方法およびその装置 |
| JP2006317273A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Ntn Corp | 軸受試験装置および軸受試験方法 |
| JP2008031040A (ja) * | 2005-02-14 | 2008-02-14 | Kyushu Institute Of Technology | 原子状水素吸着除去方法およびその装置 |
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