JPH09282442A - 画像認識装置 - Google Patents
画像認識装置Info
- Publication number
- JPH09282442A JPH09282442A JP8088482A JP8848296A JPH09282442A JP H09282442 A JPH09282442 A JP H09282442A JP 8088482 A JP8088482 A JP 8088482A JP 8848296 A JP8848296 A JP 8848296A JP H09282442 A JPH09282442 A JP H09282442A
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- JP
- Japan
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- light
- image
- light source
- camera
- image processing
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- Image Analysis (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光源の単発光によるストロボ照明の調整作業
を簡略化し、認識対象を最適な状態で撮像することにあ
る。 【解決手段】 光源による単発光でもって認識対象をス
トロボ照明し、カメラにより撮像された映像データを画
像処理してパターン認識する画像処理部を有する画像認
識装置において、光源による高周波の連続パルス光でも
って認識対象を照明し、そのカメラ画面の特定エリア内
での輝度を１画面分積算して累積光量を計測した上で最
適な累積光量に調整し、単発光によるストロボ照明時に
前記特定エリア内での輝度の累積光量が連続パルス光に
よる最適な累積光量と同一になるように単発光の発光時
間を画像処理部により設定する。
を簡略化し、認識対象を最適な状態で撮像することにあ
る。 【解決手段】 光源による単発光でもって認識対象をス
トロボ照明し、カメラにより撮像された映像データを画
像処理してパターン認識する画像処理部を有する画像認
識装置において、光源による高周波の連続パルス光でも
って認識対象を照明し、そのカメラ画面の特定エリア内
での輝度を１画面分積算して累積光量を計測した上で最
適な累積光量に調整し、単発光によるストロボ照明時に
前記特定エリア内での輝度の累積光量が連続パルス光に
よる最適な累積光量と同一になるように単発光の発光時
間を画像処理部により設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は画像認識装置に関
し、例えば、半導体装置の製造で使用されるダイボンダ
に付設され、光源の単発光によるストロボ照明でもって
認識対象をカメラにより撮像し、その映像データを画像
処理してパターン認識する画像認識装置に関する。
し、例えば、半導体装置の製造で使用されるダイボンダ
に付設され、光源の単発光によるストロボ照明でもって
認識対象をカメラにより撮像し、その映像データを画像
処理してパターン認識する画像認識装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体装置の製造では、リード
フレームの所定位置に半導体素子をマウントするための
ダイボンダと称される製造設備が使用される。このダイ
ボンダには、リードフレームのマウント位置や半導体ウ
ェーハの半導体素子の良否を判別するために画像認識装
置を付設するのが一般的である。
フレームの所定位置に半導体素子をマウントするための
ダイボンダと称される製造設備が使用される。このダイ
ボンダには、リードフレームのマウント位置や半導体ウ
ェーハの半導体素子の良否を判別するために画像認識装
置を付設するのが一般的である。
【０００３】この画像認識装置は、前述したリードフレ
ームのマウント位置や半導体ウェーハの半導体素子であ
る認識対象を照明する光源を具備する。尚、認識ポジシ
ョンでの認識対象が移送中の場合や、停止状態であって
も振動している場合があり、それらの場合であっても認
識対象を良好に撮像できるようにするため、前述した光
源の単発光により認識対象を瞬間的に照明するようにし
ている。
ームのマウント位置や半導体ウェーハの半導体素子であ
る認識対象を照明する光源を具備する。尚、認識ポジシ
ョンでの認識対象が移送中の場合や、停止状態であって
も振動している場合があり、それらの場合であっても認
識対象を良好に撮像できるようにするため、前述した光
源の単発光により認識対象を瞬間的に照明するようにし
ている。
【０００４】このように認識対象をストロボ照明する光
源を具備した画像認識装置では、光源の単発光によるス
トロボ照明の下、認識対象をカメラにより撮像し、その
カメラにより撮像された映像データを二値化処理等の画
像処理によりパターン認識する。そして、この認識対象
のパターン認識に基づいて後処理を実行するようにして
いる。
源を具備した画像認識装置では、光源の単発光によるス
トロボ照明の下、認識対象をカメラにより撮像し、その
カメラにより撮像された映像データを二値化処理等の画
像処理によりパターン認識する。そして、この認識対象
のパターン認識に基づいて後処理を実行するようにして
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の画像
認識装置では、認識対象を最適な状態で撮像するために
は、その認識対象を適正にストロボ照明する必要があ
る。そのため、光源の位置や単発光の強度の調整など、
事前の調整作業を行なっている。
認識装置では、認識対象を最適な状態で撮像するために
は、その認識対象を適正にストロボ照明する必要があ
る。そのため、光源の位置や単発光の強度の調整など、
事前の調整作業を行なっている。
【０００６】しかしながら、カメラで撮像した映像をモ
ニタに表示し、そのカメラ画面を作業者が目視確認しな
がら、前述した調整作業を行なっているのが現状であ
る。この場合、光源の単発光によるストロボ照明ではカ
メラ画面の映像が一瞬のものであるため、調整が非常に
困難であり時間がかかると共に、作業者によるばらつき
が発生しやすく、作業者の熟練度を要するという問題が
あった。
ニタに表示し、そのカメラ画面を作業者が目視確認しな
がら、前述した調整作業を行なっているのが現状であ
る。この場合、光源の単発光によるストロボ照明ではカ
メラ画面の映像が一瞬のものであるため、調整が非常に
困難であり時間がかかると共に、作業者によるばらつき
が発生しやすく、作業者の熟練度を要するという問題が
あった。
【０００７】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、光源の単発光
によるストロボ照明の調整作業を簡略化し、認識対象を
最適な状態で撮像し得る画像認識装置を提供することに
ある。
されたもので、その目的とするところは、光源の単発光
によるストロボ照明の調整作業を簡略化し、認識対象を
最適な状態で撮像し得る画像認識装置を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段として、本発明は、光源による単発光でも
って認識対象をストロボ照明し、カメラにより撮像され
た映像データを画像処理してパターン認識する画像処理
部を有する画像認識装置において、前記光源は、単発
光、連続光に切り替え自在で、且つ、それぞれ調光自在
であり、前記画像処理部は、前記光源で認識対象を照明
してそのカメラで撮像した画面の特定エリア内で１画面
時間分の累積光量を計測可能としたことを特徴とする。
の技術的手段として、本発明は、光源による単発光でも
って認識対象をストロボ照明し、カメラにより撮像され
た映像データを画像処理してパターン認識する画像処理
部を有する画像認識装置において、前記光源は、単発
光、連続光に切り替え自在で、且つ、それぞれ調光自在
であり、前記画像処理部は、前記光源で認識対象を照明
してそのカメラで撮像した画面の特定エリア内で１画面
時間分の累積光量を計測可能としたことを特徴とする。
【０００９】また、本発明は、前記画像処理部が計測し
た単発光による画像での累積光量値が所定の設定値とな
るように前記光源を自動調光する手段を備えたことを特
徴とする。
た単発光による画像での累積光量値が所定の設定値とな
るように前記光源を自動調光する手段を備えたことを特
徴とする。
【００１０】更に、本発明は、前記画像処理部が計測し
た連続光による画像の累積光量値を前記所定の設定値と
して移送容易としたことを特徴とする。
た連続光による画像の累積光量値を前記所定の設定値と
して移送容易としたことを特徴とする。
【００１１】尚、前記連続光は、連続パルス光であるこ
とが望ましい。
とが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図１乃至図４
に示して説明する。
に示して説明する。
【００１３】本発明の画像認識装置は、図１に示すよう
にリードフレームのマウント部位や半導体ウェーハの半
導体素子などの認識対象１を撮像するカメラ２と、その
カメラ２に接続され、カメラ２により撮像された映像デ
ータを二値化処理などの画像処理によりパターン認識す
る画像処理部３とを具備する。また、画像処理部３は、
カメラ画像の特定エリアの輝度を１画面分積算する機能
を有する。また、カメラ２により撮像する認識対象１を
照明する光源４を有する。この光源４は、多数個の発光
ダイオードをマトリックス状に整列配置させてその面発
光により認識対象１を照明する。そして、光源４は、通
常の撮像時に使用する単発光によるストロボ照明として
も、調整のための連続光による照明としても切り替えで
きるようになっており、その強度調節も自在である。ま
た、調節はデューティー比で行なう。
にリードフレームのマウント部位や半導体ウェーハの半
導体素子などの認識対象１を撮像するカメラ２と、その
カメラ２に接続され、カメラ２により撮像された映像デ
ータを二値化処理などの画像処理によりパターン認識す
る画像処理部３とを具備する。また、画像処理部３は、
カメラ画像の特定エリアの輝度を１画面分積算する機能
を有する。また、カメラ２により撮像する認識対象１を
照明する光源４を有する。この光源４は、多数個の発光
ダイオードをマトリックス状に整列配置させてその面発
光により認識対象１を照明する。そして、光源４は、通
常の撮像時に使用する単発光によるストロボ照明として
も、調整のための連続光による照明としても切り替えで
きるようになっており、その強度調節も自在である。ま
た、調節はデューティー比で行なう。
【００１４】この画像認識装置では、光源４の単発光に
よるストロボ照明の下、その光源４が発する単発光と同
期させて認識対象１をカメラ２により撮像し、そのカメ
ラ２により撮像された映像データを二値化処理等の画像
処理によりパターン認識し、この認識対象１のパターン
認識に基づいて後処理を実行する。
よるストロボ照明の下、その光源４が発する単発光と同
期させて認識対象１をカメラ２により撮像し、そのカメ
ラ２により撮像された映像データを二値化処理等の画像
処理によりパターン認識し、この認識対象１のパターン
認識に基づいて後処理を実行する。
【００１５】ここで、認識対象１を最適な状態でストロ
ボ照明するため、図２に示すように光源４による連続光
の光量調整をカメラ画面５における特定エリア６での輝
度に基づいて画像処理部３により以下の要領でもって実
行する。
ボ照明するため、図２に示すように光源４による連続光
の光量調整をカメラ画面５における特定エリア６での輝
度に基づいて画像処理部３により以下の要領でもって実
行する。
【００１６】光源４の調整時には、後述の要領でもって
光源４の連続パルス光の光量を計測する。即ち、前述し
た自動運転時と異なり、ストロボ入力がない状態で光源
４を高周波の連続パルス光でもって発光させて認識対象
１を連続的に照明する〔図４（ａ）参照〕。一方、この
高周波の連続パルス光と非同期でもってカメラ２により
認識対象１を撮像開始し〔図４（ｂ）参照〕、この認識
対象１の撮像開始に基づいてカメラ２により撮像された
映像データがカメラ出力として得られる〔図４（ｃ）参
照〕。
光源４の連続パルス光の光量を計測する。即ち、前述し
た自動運転時と異なり、ストロボ入力がない状態で光源
４を高周波の連続パルス光でもって発光させて認識対象
１を連続的に照明する〔図４（ａ）参照〕。一方、この
高周波の連続パルス光と非同期でもってカメラ２により
認識対象１を撮像開始し〔図４（ｂ）参照〕、この認識
対象１の撮像開始に基づいてカメラ２により撮像された
映像データがカメラ出力として得られる〔図４（ｃ）参
照〕。
【００１７】このようにして得られた認識対象１の映像
データに基づいてカメラ撮像開始から１画面分の所定の
時間間隔ｔ（例えば、１／６０秒）で、カメラ画面５に
おける特定エリア６での輝度を１画面分積算し〔図４
（ｄ）参照〕、連続パルス光による累積光量Ｂを得る
〔図中斜線部分〕。
データに基づいてカメラ撮像開始から１画面分の所定の
時間間隔ｔ（例えば、１／６０秒）で、カメラ画面５に
おける特定エリア６での輝度を１画面分積算し〔図４
（ｄ）参照〕、連続パルス光による累積光量Ｂを得る
〔図中斜線部分〕。
【００１８】このようにして得られた連続パルス光によ
る累積光量Ｂについて、作業者がカメラ画面５を目視し
て認識対象１が最適な状態で撮像されるよう前述の連続
パルス光による累積光量Ｂを適正に調整する。尚、この
場合、連続パルス光による連続照明であるため、作業者
の目視による累積光量Ｂの調整が容易である。
る累積光量Ｂについて、作業者がカメラ画面５を目視し
て認識対象１が最適な状態で撮像されるよう前述の連続
パルス光による累積光量Ｂを適正に調整する。尚、この
場合、連続パルス光による連続照明であるため、作業者
の目視による累積光量Ｂの調整が容易である。
【００１９】次に、同じ認識対象１に対し、光源４の単
発光の光量を事前に計測する。ストロボ入力〔図３
（ａ）参照〕に基づいて光源４を単発光でもって発光さ
せて認識対象１をストロボ照明し〔図３（ｂ）参照〕、
これと同期させてカメラ２により認識対象１を撮像開始
する〔図３（ｃ）参照〕。この認識対象１の撮像開始に
基づいてカメラ２により撮像された映像データがカメラ
出力として得られる〔図３（ｄ）参照〕。尚、このカメ
ラ出力における映像データは、カメラ撮像開始から１サ
イクル遅れた状態で得られる。
発光の光量を事前に計測する。ストロボ入力〔図３
（ａ）参照〕に基づいて光源４を単発光でもって発光さ
せて認識対象１をストロボ照明し〔図３（ｂ）参照〕、
これと同期させてカメラ２により認識対象１を撮像開始
する〔図３（ｃ）参照〕。この認識対象１の撮像開始に
基づいてカメラ２により撮像された映像データがカメラ
出力として得られる〔図３（ｄ）参照〕。尚、このカメ
ラ出力における映像データは、カメラ撮像開始から１サ
イクル遅れた状態で得られる。
【００２０】このようにして得られた認識対象１の映像
データに基づいてカメラ撮像開始から１画面分の所定の
時間間隔ｔ（例えば、１／６０秒）で、カメラ画面５に
おける特定エリア６での輝度を１画面分積算し〔図３
（ｅ）参照〕、単発光による累積光量Ａを得る〔図中斜
線部分〕。
データに基づいてカメラ撮像開始から１画面分の所定の
時間間隔ｔ（例えば、１／６０秒）で、カメラ画面５に
おける特定エリア６での輝度を１画面分積算し〔図３
（ｅ）参照〕、単発光による累積光量Ａを得る〔図中斜
線部分〕。
【００２１】そして、この単発光による累積光量Ａを予
め得られた連続光の最適な状態での累積光量Ｂと比較し
て差に応じて単発光の強さを変更して再度単発光による
累積光量Ａを計測することを繰り返して単発光の累積光
量Ａと最適な状態での連続光の累積光量Ｂとを一致させ
光源４の単発光の強さを設定する。
め得られた連続光の最適な状態での累積光量Ｂと比較し
て差に応じて単発光の強さを変更して再度単発光による
累積光量Ａを計測することを繰り返して単発光の累積光
量Ａと最適な状態での連続光の累積光量Ｂとを一致させ
光源４の単発光の強さを設定する。
【００２２】ここで、最適な状態での連続光の累積光量
Ｂが求まった後、その値を装置に与えれば自動的に単発
光の調整とそれによる累積光量Ａの測定を繰り返して累
積光量Ａが与えられた値に一致させるようにプログラム
することも簡単にできる。
Ｂが求まった後、その値を装置に与えれば自動的に単発
光の調整とそれによる累積光量Ａの測定を繰り返して累
積光量Ａが与えられた値に一致させるようにプログラム
することも簡単にできる。
【００２３】また、実際のワークを認識対象として、最
適な連続光の状態を定めその状態で特定（例えば白色の
標準板）の認識対象に替え、その状態で累積光量Ｂを測
定し、予め求めていた光源４の単発光によるその特定の
認識対象での累積光量と条件との関係に基づいて直接単
発光の設定をしてもよい。その際、標準板による累積光
量Ｂの測定以後の処理を自動で行なうようプログラムす
ることもできる。
適な連続光の状態を定めその状態で特定（例えば白色の
標準板）の認識対象に替え、その状態で累積光量Ｂを測
定し、予め求めていた光源４の単発光によるその特定の
認識対象での累積光量と条件との関係に基づいて直接単
発光の設定をしてもよい。その際、標準板による累積光
量Ｂの測定以後の処理を自動で行なうようプログラムす
ることもできる。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、光源による最適な強さ
の連続光でもって認識対象を照明し、そのカメラ画面の
特定エリア内での輝度を１画面分積算して累積光量を計
測した上で最適な累積光量を求め、単発光によるストロ
ボ照明時に特定エリア内での輝度の累積光量を同一にな
るように設定するようにしたから、光源の単発光による
ストロボ照明の調整作業を簡略化することができ、常
に、認識対象をばらつきなく最適な状態で撮像すること
が実現容易となってその実用的価値は大である。
の連続光でもって認識対象を照明し、そのカメラ画面の
特定エリア内での輝度を１画面分積算して累積光量を計
測した上で最適な累積光量を求め、単発光によるストロ
ボ照明時に特定エリア内での輝度の累積光量を同一にな
るように設定するようにしたから、光源の単発光による
ストロボ照明の調整作業を簡略化することができ、常
に、認識対象をばらつきなく最適な状態で撮像すること
が実現容易となってその実用的価値は大である。
【図１】本発明の画像認識装置を示す概略構成図
【図２】画像認識装置のカメラ画面を示す正面図
【図３】（ａ）〜（ｅ）は画像認識装置の自動運転時に
おける各種の波形図
おける各種の波形図
【図４】（ａ）〜（ｄ）は光源の調整時における各種の
波形図
波形図
１ 認識対象 ２ カメラ ３ 画像処理部 ４ 光源 ５ カメラ画面 ６ 特定エリア Ａ 単発光の累積光量 Ｂ 連続光の累積光量
Claims (4)
- 【請求項１】 光源による単発光でもって認識対象をス
トロボ照明し、カメラにより撮像された映像データを画
像処理してパターン認識する画像処理部を有する画像認
識装置において、 前記光源は、単発光、連続光に切り替え自在で、且つ、
それぞれ調光自在であり、前記画像処理部は、前記光源
で認識対象を照明してそのカメラで撮像した画面の特定
エリア内で１画面時間分の累積光量を計測可能としたこ
とを特徴とする画像認識装置。 - 【請求項２】 前記画像処理部が計測した単発光による
画像での累積光量値が所定の設定値となるように前記光
源を自動調光する手段を備えたことを特徴とする請求項
１記載の画像認識装置。 - 【請求項３】 前記画像処理部が計測した連続光による
画像の累積光量値を前記所定の設定値として移送容易と
したことを特徴とする請求項２記載の画像認識装置。 - 【請求項４】 前記連続光は、連続パルス光であること
を特徴とする請求項１、２又は３記載の画像認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8088482A JPH09282442A (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | 画像認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8088482A JPH09282442A (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | 画像認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09282442A true JPH09282442A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=13944021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8088482A Withdrawn JPH09282442A (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | 画像認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09282442A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7824932B2 (en) | 2006-09-06 | 2010-11-02 | Renesas Electronics Corporation | Fabrication method of semiconductor device |
-
1996
- 1996-04-10 JP JP8088482A patent/JPH09282442A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7824932B2 (en) | 2006-09-06 | 2010-11-02 | Renesas Electronics Corporation | Fabrication method of semiconductor device |
| US8367433B2 (en) | 2006-09-06 | 2013-02-05 | Renesas Electronics Corporation | Fabrication method of semiconductor device |
| US8574933B2 (en) | 2006-09-06 | 2013-11-05 | Renesas Electronics Corporation | Fabrication method of semiconductor device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030701 |