JPH09283591A - 搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 荷を搬送する移動体の管理に要する手間の増
大や搬送設備による塵埃の発生を抑制しながら、搬送す
る荷への塵埃の付着を可及的に抑制する。 【解決手段】 搬送設備において、地上側に、移動体Ａ
を案内する案内レールＢが設けられ、その案内レールＢ
に沿って、交流電流が通電されて磁界を発生する給電線
が備えられ、前記移動体Ａに、前記給電線３にて形成さ
れた磁界により電力を発生する受電用コイル４と、荷を
収納する開閉自在の収納容器８と、前記受電用コイル４
から供給される電力により、前記収納容器８内へ清浄空
気を送風する電動式送風装置１７とが備えられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、案内レールに沿っ
て移動体を走行させて、荷の搬送を行う搬送設備に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】かかる搬送設備は、種々の荷の搬送に用
いられるが、例えば、半導体業界等においては、荷の種
類によっては僅かな塵埃の付着であっても品質上問題と
なるようなものもある。このような塵埃を嫌う荷を搬送
する場合、特開昭６２−１８５３３６号公報に記載のよ
うに、移動体における荷の載置空間を閉空間とし、その
閉空間内に清浄空気を通風させる装置を備える構成が考
えられており、このような構成では、比較的清浄度の低
い場所で荷を搬送する場合においても有効に荷を清浄な
状態に維持できる。ところで、このように荷の載置空間
内に清浄空気を通風させる装置は一般的に電力を要し、
従来、この電力の供給のために、移動体に容量の大きな
バッテリを搭載したり、あるいは、移動体に備えられた
集電用のブラシを案内レール側の電極に機械的に接触さ
せて案内レール側から電力の供給を受けるように構成さ
れていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来構成では、バッテリの充電等の搭載したバッテリに対
するメンテナンスが必要になり管理に手間のかかるもの
となる。一方、移動体に集電用のブラシを備えて、案内
レール側から電力の供給を受ける構成では、集電用のブ
ラシと案内レール側の電極とが機械的接触する状態で移
動体が走行するので、搬送する荷に塵埃が付着するのを
防止するために寄与する設備によって新たに塵埃が発生
してしまうという不都合が生じてしまう。本発明は、上
記実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、荷
を搬送する移動体の管理に要する手間の増大や搬送設備
による塵埃の発生を抑制しながら、搬送する荷への塵埃
の付着を可及的に抑制する点にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記請求項１記載の構成
を備えることにより、搬送対象となる荷は、移動体に備
えられた開閉自在の収納容器に収納されて搬送される。
この収納容器内は電動式送風装置によって清浄空気が送
風されて、清浄な状態が維持される。従って、移動体に
て搬送する荷に塵埃が付着するのを可及的に防止でき
る。一方、収納容器内を清浄な状態に維持するために備
えられた電動式送風装置を作動させるための電力は、給
電線にて形成された磁界を移動体の受電用コイルにて電
力に変換することで得られる。つまり、電動式送風装置
を作動させるための電力は、地上側から非接触で供給さ
れるのであり、バッテリへの充電作業が必要とならない
か、必要となっても可及的に少ない手間で済ませること
ができる。もって、荷を搬送する移動体の管理の手間の
増大や搬送設備による塵埃の発生を抑制しながら、搬送
する荷への塵埃の付着を可及的に抑制できるに至った。

【０００５】又、上記請求項２記載の構成を備えること
により、搬送対象の荷を収納する収納容器は略密閉状態
に形成され、収納容器内が周囲に対して正圧状態となる
ように電動式送風装置によって清浄空気が通風される。
従って、収納容器が完全な密閉状態でなくても、周囲か
ら収納容器内に塵埃が侵入するのを防止でき、簡素な構
成で荷に塵埃が付着するのを防止できる。又、上記請求
項３記載の構成を備えることにより、移動体はクリーン
ルーム内で荷を搬送する。クリーンルーム自体にも塵埃
を少なくさせる設備を備えているので、クリーンルーム
内に上記構成の搬送設備を設けることで、搬送する荷に
塵埃が付着するのをより一層防止できるものであり、
又、搬送設備がクリーンルーム内の清浄度を悪化させる
のを防止することにもなる。

【０００６】又、上記請求項４記載の構成を備えること
により、収納容器内に収納される荷は、複数の薄板状部
材を損傷防止等のために厚さ方向に互いに離間した状態
で複数個配列して収納した収納ケースであり、その収納
ケースは、薄板状部材の並び方向が上下方向となるよう
に配置される。このように配置された荷に対して、電動
式送風装置は、周側方から収納ケースに向けて清浄空気
を送風する。つまり、清浄空気は、薄板状部材と薄板状
部材の間の空間を流れるので、薄板状部材に塵埃が付着
するのを的確に防止できる。しかも、電動式送風装置は
周側方から送風するので、例えば、薄板状部材の並び方
向が左右方向となるように収納ケースが配置され、収納
ケースの上方から清浄空気を送風する構成に較べて、収
納容器の高さを低くでき、移動体の走行安定性を良好な
ものに維持できる。

【０００７】又、上記請求項５記載の構成を備えること
により、ステーションでは、仕切部材によって流路が適
正に規制された状態で、ステーション用送風装置によっ
てダウンフロー状態で清浄空気が送風されるので、ステ
ーションに停止中の移動体の近傍は清浄な状態が維持さ
れ、荷の移載のために収納容器が開き状態となって荷が
露出しても、荷に塵埃が付着するのを可及的に防止でき
る。又、上記請求項６記載の構成を備えることにより、
移動体の受電用コイルにて生じた電力は、移動体に備え
られた駆動用コイルに供給されて、その駆動用コイルと
案内レールに備えられた推力発生部材との協働により移
動体を走行駆動する。つまり、荷を清浄に保つための電
動式送風装置のみならず、移動体を走行駆動するための
駆動用コイルに対しても受電用コイルにより生じた電力
を供給することで、移動体の維持管理を一層容易にでき
る。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明をクリーンルーム内
において荷搬送を行う搬送設備に適用した場合の実施の
形態を図面に基づいて説明する。図１に示すように、リ
ニアモータＬＭにて駆動される移動体Ａと、その移動体
Ａを案内する案内レールＢとが設けられ、リニアモータ
ＬＭの駆動用コイルである一次コイル１が、移動体Ａに
装着され、一次コイル１との共働で推力を発生させるた
めの推力発生用部材であるリニア直流モータのマグネッ
ト２が、案内レールＢに装着されている。尚、本実施例
では、リニアモータＬＭとしてリニア直流モータを採用
している。

【０００９】案内レールＢに沿って、交流電流が通電さ
れて磁界を発生する給電線３が配置され、移動体Ａに、
給電線３にて形成された磁界により電力を発生する受電
用コイル４が設けられており、この受電用コイル４から
発生される電力により、後述の如く移動体Ａが、走行並
びに荷搬送のために駆動されるようになっている。移動
体Ａに搭載される荷Ｃは、図１１に示すように、収納ケ
ースであるウェハキャリアＣ１に、薄板状部材である半
導体ウェハＣ２を、それの厚さ方向に離間した状態で複
数個配列して収納したものである。

【００１０】以下各部について説明を加える。移動体Ａ
は、案内レールＢ内に収納された状態で案内レールＢに
載置状態に支持される本体部Ａ１と、案内レールＢの上
方に突出状態で位置して、主として物品の保持に関係す
る荷載置部Ａ２とからなる。本体部Ａ１と荷載置部Ａ２
とは、正面視において移動車横幅方向の中央部に位置す
る縦姿勢の支持棒５にて接続されている。本体部Ａ１
は、図２及び図３に示すように、前側台車３０ａ及び後
側台車３０ｂの２台の台車３０と、２台の台車３０を連
結する連結アーム３２とから構成されている。連結アー
ム３２は、前側台車３０ａ及び後側台車３０ｂの夫々か
ら上方に延びる状態で取り付けられている前側支持棒５
ａ及び後側支持棒５ｂの２つの支持棒５を固定連結する
状態で取り付けられている。前側台車３０ａ及び後側台
車３０ｂの夫々には、移動車横幅方向に沿う軸芯周りで
回転自在な左右一対の走行輪６と、上下方向に沿う軸芯
周りで回転自在な振れ止め用の４つの転輪７とが装備さ
れ、走行輪６及び転輪７の取り付け部の下方側箇所すな
わち前側台車３０ａ及び後側台車３０ｂの夫々の底部に
リニアモータＬＭの一次コイル１が固定的に取り付けら
れている。従って、１次コイル１は、前側台車３０ａ及
び後側台車３０ｂ夫々の姿勢と連動して姿勢変化する。

【００１１】後側支持棒５ｂは、図１に示すように、軸
受け３３にて縦軸芯回りに回動自在に後側台車３０ｂに
支持されており、後側支持棒５ｂの上端は、荷載置部Ａ
２に固定されており、前側支持棒５ａも後側支持棒５ｂ
と同様の支持構成で支持されている。更に、後側支持棒
５ｂには受電用コイル４が回動自在に取り付けられい
る。受電用コイル４は、図１に示すように、縦断面形状
がＥ字状の磁性材４ａと、その磁性材４ａの中央の突起
部分に巻回される一次コイル４ｂとからなり、磁性材４
ａが給電線３を覆う位置で且つ給電線３に沿う姿勢に取
り付けられている。

【００１２】受電用コイル４の下端部は後側台車３０ｂ
とが接続アーム３４にて接続されているので、図１０に
例示するような案内レールＢの湾曲部分を通過する際、
走行輪６及び転輪７が案内レールＢの水平方向の移動車
案内面ＨＧ及び垂直方向の移動車案内面ＶＧとの接触に
よって後側台車３０ｂが案内されて姿勢変化するのに連
動して受電用コイル４も姿勢変化し、受電用コイル４は
上記の姿勢、すなわち、案内レールＢの移動車案内面Ｈ
Ｇ，ＶＧとほぼ一定間隔で並設された給電線３に対して
案内レールＢ横幅方向及び上下幅方向における設定位置
に位置し且つ案内レールＢの長手方向の沿う設定姿勢を
ほぼ維持する。

【００１３】荷載置部Ａ２には、蓋部８ａが開閉自在の
収納容器８と、蓋部８ａを開閉駆動する開閉装置９と、
収納容器８内へ清浄空気を送風する電動式送風装置１７
とが設けられ、開閉装置９及び電動式送風装置１７は、
収納容器８に連設されるカバー１９内に収納されてい
る。収納容器８内にはウェハキャリアＣ１を前後方向に
並ぶ状態で２個搭載可能であり、夫々のウェハキャリア
Ｃ１を半導体ウェハＣ２の並び方向が上下方向で且つ半
導体ウェハＣ２を出し入れする側が若干斜め上方を向く
姿勢で載置するための荷載置台８ｂが備えられている。
又、収納容器８は、蓋部８ａが閉じ状態でほぼ密閉状態
となる。

【００１４】蓋部８ａの開閉装置９は、図１、図４及び
図５に示すように、連結板８ｃにて蓋部８ａの揺動基端
側と連結する揺動軸８ｄを、それの軸芯周りに回動駆動
することで蓋部８ａの開閉を行うものであり、開閉駆動
用モータ１０並びにその開閉駆動用モータ１０の駆動力
を揺動軸８ｄに伝達するための一対のプーリ１１ａ，１
１ｂ及びリンク機構１２とを備えて構成されている。一
対のプーリ１１ａ，１１ｂのうち小径側のプーリ１１ａ
は、モータ取付板１３に固定設置された開閉駆動用モー
タ１０の減速機１０ａ出力軸に固定連結されると共に大
径側のプーリ１１ｂとの間でベルト１１ｃが掛け回さ
れ、大径側のプーリ１１ｂは、それの回転軸１１ｄがプ
ーリ取付板１６に回動自在に支持されている。

【００１５】リンク機構１２は、揺動軸８ｄに固着され
た連結片１４ａと、大径側のプーリ１１ｂの回転軸１１
ｄに固着された連結片１４ｂとを連結アーム１５にて接
続する構成であり、開閉駆動用モータ１０の回動駆動に
よって連結アーム１５が上下動して収納容器８の蓋部８
ａが開閉する。尚、図面を見やすくするために、図４に
おいては、開閉駆動用モータ１０等の記載を省略してい
る。

【００１６】電動式送風装置１７は、図４に示すよう
に、送風ファン１７ａと高性能の除塵フィルタ１７ｂと
が一体的に備えられたものであり、送風ファン１７ａの
送風方向側に除塵フィルタ１７ｂが位置し、除塵フィル
タ１７ｂの送風方向側の側面が収納容器８内に没入して
いる。収納容器８の蓋部８ａが閉じ状態で電動式送風装
置１７が送風作動すると、収納容器８がほぼ密閉状態に
あることから、収納容器８内は周囲に対して正圧状態と
なる。電動式送風装置１７の送風作動により、ウェハキ
ャリアＣ１に対して周側方から清浄空気が送風されて、
上下方向に並ぶ半導体ウェハＣ２間の空間と通過した
後、収納容器８の僅かな隙間を通って収納容器８の外部
に排出される。

【００１７】上記構成の移動体Ａを走行案内する案内レ
ールＢは、図６に示すように、アルミニウム等の非磁性
体にて構成された左右一対のレール材２５を主要部とし
て構成されており、板状の接続枠２６の両端部が左右一
対のレール材２５にボルト固定されて、左右一対のレー
ル材２５が一体状態に組み付けられ、左右一対のレール
材２５の間に、マグネット２が配置されている。案内レ
ールＢの底部には、レール長手方向に間隔を隔てて支持
枠２７が組み付けられ、この支持枠２７の両端部が、吊
り下げ枠２８にて天井部に対して支持されている。

【００１８】つまり、案内レールＢが、天井部に対して
吊り下げ支持されて、搬送設備全体としては、天井搬送
形式となっている。案内レールＢには、上述のように、
移動体Ａの走行輪６が接触する水平方向の移動車案内面
ＨＧ、振れ止め用の転輪７が接触する垂直方向の移動車
案内面ＶＧが形成されている。また、案内レールＢの上
部には、左右一対のカバー体３５がボルト固定されてお
り、それらカバー体３５の間に、前記移動体Ａの縦姿勢
の支持棒５が貫通する溝３６が形成されている。カバー
体３５の取付箇所の直上には、給電線３が支持部材３ａ
にて支持される状態で左右一対に設けられている。

【００１９】給電線３は、図５に示すようにその両端が
交流の電源部１８に接続されて、ループ状になってい
る。受電用コイル４にて発生した電力は、電源回路２１
に供給される。この電源回路２１は、整流回路や電圧安
定化回路を備えるものであって、受電用コイル４からの
電力を整流並びに電圧調整して、一次コイル１を駆動す
る一次コイル駆動回路Ｋ１、開閉駆動用モータ１０を駆
動するモータ駆動回路Ｋ２、電動式送風装置１７及びコ
ントローラＥに供給するようになっている。

【００２０】コントローラＥは、ステーションＳＴに設
けた通信装置２２と光通信にて通信する通信装置２３
や、例示はしないがステーションＳＴに対する位置を検
出するセンサや先行する他の移動体Ａとの距離を検出す
るセンサ等の、各種のセンサ類を備えるものである。移
動体Ａの通信装置２３は、図９に示すように、移動体Ａ
がステーションＳＴに停止し、ステーションＳＴの通信
装置２２と互いに対向した状態で通信を行う。ステーシ
ョンＳＴ側の通信装置２２は、後述のようにステーショ
ンＳＴにおける移動体Ａの停止予定箇所が前後に２箇所
存在することに対応して２箇所に設けられている。コン
トローラＥの作動に説明を加えると、コントローラＥ
は、基本的には、現在停止しているステーションＳＴに
設けた通信装置２２から指令される指令情報に基づい
て、次の目標ステーションＳＴに走行して停止すること
を繰り返すことになる。

【００２１】ステーションＳＴには、図８に示すよう
に、移動体ＡとステーションＳＴとの間で荷Ｃを移載す
る移載装置ＴＦ、及び、移動体Ａの停止予定箇所の上方
側から下方に向けて清浄空気を送風するステーション用
送風装置４４が配置されている。移載装置ＴＦは、荷Ｃ
の両側を挟持できるように接近離間方向に移動自在の一
対のチャック４０ａを備えた荷把持台４０と、平面視で
屈曲自在の一対の連結アーム４１ａ，４１ｂと、荷把持
台４０及び連結アーム４１ａ，４１ｂを縦軸芯周りに回
動自在に支持する昇降台４２と、昇降台４２を昇降自在
に支持する昇降機４３とからなる。

【００２２】ステーション用送風装置４４は、送風ファ
ン４４ａ及び高性能の除塵フィルタ４４ｂとが一体的に
備えられて構成され、送風ファン４４ａの送風方向側つ
まり送風ファン４４ａの下方側に除塵フィルタ４４ｂが
位置する状態で、移載装置ＴＦが配置されたフレームが
案内レールＢの上方に延出した部分に取り付けられてい
る。ステーション用送風装置４４の取り付け位置よりも
更に先端側には、ビニールシート等からなる仕切部材４
５が下方に垂下する状態で取り付けられている。この仕
切部材４５によって、ステーション用送風装置４４から
送風される清浄空気の流路を、このステーションＳＴに
おける移動体Ａの停止予定箇所を含む設定範囲に規制し
ている。図８に例示するステーションＳＴは、案内レー
ルＢが設置されたクリーンルームＣＬ１と、クリーンル
ームＣＬ１と壁Ｗを隔てて隣接するクリーンルームＣＬ
２との間で荷Ｃのやりとりを行うためのもので、壁Ｗの
開口４６を通して荷Ｃが行き来する。尚、クリーンルー
ムＣＬ２の清浄度はクリーンルームＣＬ１よりも高いも
のとしてある。

【００２３】図８に例示するステーションＳＴでの荷Ｃ
の移載作業を概略的に説明する。荷Ｃを搭載した移動体
ＡがステーションＳＴの停止予定箇所に停止すると、移
動体Ａ側では、開閉駆動用モータ１０を作動させて蓋部
８ａを開き操作する。このときには、ステーション用送
風装置４４によって上方から清浄空気が送風されてい
る。尚、移動体Ａの停止予定箇所は、荷把持台４０が案
内レールＢ側に進出したときに一対のチャック４０ａが
ウェハキャリアＣ１の両側に位置することになる位置で
あり、収納容器８内においてウェアキャリアＣ１が前後
に２個並んで搭載されることに対応して、前後２箇所存
在する。

【００２４】蓋部８ａが開くと、移載装置ＴＦの荷把持
台４０が連結アーム４１ａ，４１ｂの進展動作によって
案内レールＢ側に進出し、チャック４０ａにてウェハキ
ャリアＣ１を把持した後、昇降機４３を作動させてウェ
ハキャリアＣ１を若干持ち上げる。この後、一対の連結
アーム４１ａ，４１ｂの伸縮及び昇降台４２により旋回
によって、ウェハキャリアＣ１をチャック４０ａにて把
持したまま、コンベア装置ＴＣ上に移動し、昇降機４３
を作動させてコンベア装置ＴＣ上に載置する。又、コン
ベア装置ＴＣ上のウェハキャリアＣ１を移動体Ａに搭載
する場合は、上記の動作と逆の動作を行う。上記の移載
動作の間ウェハキャリアＣ１は、ステーションＳＴ内を
通過するが、ステーションＳＴ内も図示しない送風装置
により清浄空気が通風されており、クリーンルームＣＬ
１からクリーンルームＣＬ２への塵埃の侵入を阻止して
いるが、更に、移載装置ＴＦの案内レールＢ側及びクリ
ーンルームＣＬ２側の双方に塵埃通過阻止用の自動開閉
式扉を備えても良い。

【００２５】〔別実施形態〕以下、別実施形態を列記す
る。 上記実施の形態では、電動式送風装置１７は、送風
ファン１７ａと除塵フィルタ１７ｂとを一体的に備えて
いるが、これらを別体で構成し、配置箇所も異ならせて
も良い。 上記実施の形態では、電動式送風装置１７が作動す
るための電力は、受電用コイル４にて発生した電力を電
源回路２１を通して直接利用しているが、電動式送風装
置１７等に電力を供給するバッテリを移動体に備え、受
電用コイル４にて発生した電力にてそのバッテリを充電
する構成としても良い。又、電動式送風装置１７やリニ
アモータＬＭの一次コイル１へは受電用コイル４にて発
生した電力を供給し、比較的使用電力の小さいコントロ
ーラＥにはバッテリにて電力を供給する構成としても良
い。

【００２６】 上記実施の形態では、荷Ｃとして半導
体ウェハＣ２を収納したウェハキャリアＣ１を例示して
いるが、液晶表示パネル用の硝子板等の薄板状部材を収
納した収納ケース等の種々の荷Ｃを搬送対象とする搬送
設備に適用できる。 上記実施の形態では、案内レールＢをクリーンルー
ムＣＬ１に設置して、クリーンルームＣＬ２内で荷Ｃを
搬送する設備として説明しているが、部屋全体を除塵す
る設備のない一般の倉庫や工場等に配置しても、塵埃を
嫌う荷Ｃの搬送作業を行うことができる。この場合、ス
テーションＳＴにおける移動体Ａの停止予定箇所を、案
内レールＢ、移動体Ａの通過のための開口及び荷Ｃの移
載のための開口等の必要最小限度の開口を形成した筐体
にて覆い、その筐体内に清浄空気を通風する等の構成と
して、ステーションＳＴにおいて荷Ｃに塵埃が付着する
のを防止する能力を向上するのが望ましい。

【００２７】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構造に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる移動体の正面図

【図２】本発明の実施の形態にかかる移動体の要部側面
図

【図３】本発明の実施の形態にかかる移動体の要部平面
図

【図４】本発明の実施の形態にかかる移動体の平面図

【図５】本発明の実施の形態にかかる移動体の側面図

【図６】本発明の実施の形態にかかる案内レールの断面
図

【図７】本発明の実施の形態にかかる移動体のブロック
構成図

【図８】本発明の実施の形態にかかるステーションの説
明図

【図９】本発明の実施の形態にかかる通信の説明図

【図１０】本発明の実施の形態にかかる移動体の走行説
明図

【図１１】本発明の実施の形態にかかる荷の説明図

【符号の説明】

１ 駆動用コイル ２ 推力発生用部材 ３ 給電線 ４ 受電用コイル ８ 収納容器 １７ 電動式送風装置 ４４ ステーション用送風装置 ４５ 仕切部材 Ａ 移動体 Ｂ 案内レール Ｃ１ 収納ケース Ｃ２ 薄板状部材 ＬＭ リニアモータ ＳＴ ステーション

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 地上側に、移動体（Ａ）を案内する案内
   レール（Ｂ）が設けられ、 その案内レール（Ｂ）に沿って、交流電流が通電されて
   磁界を発生する給電線（３）が備えられ、 前記移動体（Ａ）に、 前記給電線（３）にて形成された磁界により電力を発生
   する受電用コイル（４）と、 荷を収納する開閉自在の収納容器（８）と、 前記受電用コイル（４）から供給される電力により、前
   記収納容器（８）内へ清浄空気を送風する電動式送風装
   置（１７）とが備えられている搬送設備。
2. 【請求項２】 前記電動式送風装置（１７）は、略密閉
   状態に形成された前記収納容器（８）内が正圧状態とな
   るように送風するように構成されている請求項１記載の
   搬送設備。
3. 【請求項３】 前記案内レール（Ｂ）は、クリーンルー
   ム内に設置され、前記移動体（Ａ）は、クリーンルーム
   内で前記荷を搬送するように構成されている請求項１又
   は２記載の搬送設備。
4. 【請求項４】 前記荷は、複数の薄板状部材（Ｃ２）
   を、それの厚さ方向に互いに離間した状態で複数個配列
   して収納した収納ケース（Ｃ１）であり、 その収納ケース（Ｃ１）は、前記収納容器（８）内にお
   いて、前記薄板状部材（Ｃ２）の並び方向が上下方向と
   なるように配置され、 前記電動式送風装置（１７）は、周側方から前記収納ケ
   ース（Ｃ１）に向けて送風するように構成されている請
   求項１、２又は３記載の搬送設備。
5. 【請求項５】 前記案内レール（Ｂ）に沿って、前記移
   動体（Ａ）との間で前記荷を移載するステーション（Ｓ
   Ｔ）が設置され、 前記ステーション（ＳＴ）に、前記ステーション（Ｓ
   Ｔ）における前記移動体（Ａ）の停止予定箇所の上方側
   から下方に向けて清浄空気を送風するステーション用送
   風装置（４４）と、 そのステーション用送風装置（４４）から送風される清
   浄空気の流路を、前記移動体（Ａ）の停止予定箇所を含
   む設定範囲に規制する仕切部材（４５）とが設けられて
   いる請求項１、２、３又は４記載の搬送設備。
6. 【請求項６】 前記移動体（Ａ）に、リニアモータ（Ｌ
   Ｍ）の駆動用コイル（１）が、前記受電用コイル（４）
   からの電力が供給されるように備えられ、 案内レール（Ｂ）に、前記駆動用コイル（１）と協働で
   前記移動体（Ａ）を走行駆動する推進力を発生する推力
   発生用部材（２）が備えられている請求項１、２、３、
   ４又は５記載の搬送設備。