JPH11222122A - 分岐軌道を備えた搬送設備 - Google Patents
分岐軌道を備えた搬送設備Info
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- JPH11222122A JPH11222122A JP10022372A JP2237298A JPH11222122A JP H11222122 A JPH11222122 A JP H11222122A JP 10022372 A JP10022372 A JP 10022372A JP 2237298 A JP2237298 A JP 2237298A JP H11222122 A JPH11222122 A JP H11222122A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B61B13/00—Other railway systems
- B61B13/04—Monorail systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
- B61D47/00—Loading or unloading devices combined with vehicles, e.g. loading platforms, doors convertible into loading and unloading ramps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65C—LABELLING OR TAGGING MACHINES, APPARATUS, OR PROCESSES
- B65C3/00—Labelling other than flat surfaces
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3214—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicle
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- Transportation (AREA)
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大がかりな装置を使用せずに分岐できるよう
にし、塵発生に対する対策の容易化を図る。 【解決手段】 搬送台車１と、分岐点にて搬送台車の走
行すべき軌道を選択する軌道選択手段とを備える。分岐
点をカバーする区間のボックス断面形の軌道の内部に主
軌道側分岐ガイド３Ａ及び分岐軌道側分岐ガイド３Ｂを
設け、軌道選択手段として左右の分岐選択ローラ１０
Ａ、１０Ｂを搬送台車１に搭載する。駆動機構５０によ
りどちらかの分岐選択ローラを分岐ガイドに係合させる
ことにより、進行方向を選択する。
にし、塵発生に対する対策の容易化を図る。 【解決手段】 搬送台車１と、分岐点にて搬送台車の走
行すべき軌道を選択する軌道選択手段とを備える。分岐
点をカバーする区間のボックス断面形の軌道の内部に主
軌道側分岐ガイド３Ａ及び分岐軌道側分岐ガイド３Ｂを
設け、軌道選択手段として左右の分岐選択ローラ１０
Ａ、１０Ｂを搬送台車１に搭載する。駆動機構５０によ
りどちらかの分岐選択ローラを分岐ガイドに係合させる
ことにより、進行方向を選択する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場や
病院等で利用される分岐軌道を備えた搬送設備に関す
る。
病院等で利用される分岐軌道を備えた搬送設備に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】軌道式の搬送設備は、病院、半導体製造
工場等で幅広く利用されている。しかし、複数ラインに
おける走行方向の変更は軌道の一部を移動させる大がか
りな物となっている。
工場等で幅広く利用されている。しかし、複数ラインに
おける走行方向の変更は軌道の一部を移動させる大がか
りな物となっている。
【０００３】例えば、図５に示すように、リニア搬送装
置の直動形分岐機構９１は、本経路９２と分岐経路９３
とを往復する往復テーブル９４を有している。この往復
テーブル９４は、本経路９２及び分岐経路９３と直交す
るリニアガイド９５上を往復するようになっている。そ
して、往復テーブル９４には、送りネジ９６が設けられ
ている。また、この送りネジ９６には、回動駆動装置９
７が設けられている。なお、これらはフレーム９８によ
り支えられている。このように、往復テーブル９４は、
回動駆動装置９７が送りネジ９６を回動させることによ
って、左右に往復運動するようになっている。
置の直動形分岐機構９１は、本経路９２と分岐経路９３
とを往復する往復テーブル９４を有している。この往復
テーブル９４は、本経路９２及び分岐経路９３と直交す
るリニアガイド９５上を往復するようになっている。そ
して、往復テーブル９４には、送りネジ９６が設けられ
ている。また、この送りネジ９６には、回動駆動装置９
７が設けられている。なお、これらはフレーム９８によ
り支えられている。このように、往復テーブル９４は、
回動駆動装置９７が送りネジ９６を回動させることによ
って、左右に往復運動するようになっている。
【０００４】以上のように構成される直動形分岐機構
は、まず、往復テーブル９４を本経路９２から乗り入れ
できるように移動させる。そして、往復テーブル９４の
手前のＡ地点に達した走行台車９９は、往復テーブル９
４上に乗り入れ、往復テーブル９４上であるＢ地点で停
止する。次に、往復テーブル９４は、分岐経路９３に乗
り入れできるように分岐経路９３の手前のＣ地点まで移
動する。そして、走行台車９９は分岐経路９３へ走行を
開始する。このように、往復テーブル９４の移動により
走行台車９９は、走行方向を変更している。
は、まず、往復テーブル９４を本経路９２から乗り入れ
できるように移動させる。そして、往復テーブル９４の
手前のＡ地点に達した走行台車９９は、往復テーブル９
４上に乗り入れ、往復テーブル９４上であるＢ地点で停
止する。次に、往復テーブル９４は、分岐経路９３に乗
り入れできるように分岐経路９３の手前のＣ地点まで移
動する。そして、走行台車９９は分岐経路９３へ走行を
開始する。このように、往復テーブル９４の移動により
走行台車９９は、走行方向を変更している。
【０００５】また、図６に示すように、リニア搬送装置
の旋回形分岐機構１０１は、本経路１０２と分岐経路１
０３との間を中心として旋回する旋回テーブル１０４
と、旋回テーブル１０４、その他を支えるフレーム１０
６とを有している。この旋回テーブル１０４は、回動駆
動装置１０５を有しており、この回動駆動装置１０５を
回動させることによって左右自在に回動するようになっ
ている。
の旋回形分岐機構１０１は、本経路１０２と分岐経路１
０３との間を中心として旋回する旋回テーブル１０４
と、旋回テーブル１０４、その他を支えるフレーム１０
６とを有している。この旋回テーブル１０４は、回動駆
動装置１０５を有しており、この回動駆動装置１０５を
回動させることによって左右自在に回動するようになっ
ている。
【０００６】以上のように構成される旋回形分岐機構１
０１は、まず、旋回テーブル１０４の手前のＡ地点に達
した走行台車１０７は、旋回テーブル１０４に乗り入
れ、旋回テーブル１０４上であるＢ地点で停止する。次
に、旋回テーブル１０４は、分岐経路１０３に乗り入れ
できるように１８０度旋回したＣ地点まで旋回する。そ
して、走行台車１０７は、分岐経路１０３へ走行を開始
する。このように、旋回テーブル１０４の移動により走
行台車１０７は、走行方向を変更している。
０１は、まず、旋回テーブル１０４の手前のＡ地点に達
した走行台車１０７は、旋回テーブル１０４に乗り入
れ、旋回テーブル１０４上であるＢ地点で停止する。次
に、旋回テーブル１０４は、分岐経路１０３に乗り入れ
できるように１８０度旋回したＣ地点まで旋回する。そ
して、走行台車１０７は、分岐経路１０３へ走行を開始
する。このように、旋回テーブル１０４の移動により走
行台車１０７は、走行方向を変更している。
【０００７】上記の直動形分岐機構９１や旋回形分岐機
構１０１を有する軌条経路を走行する走行台車９９、１
０７は、図７（ａ）に示すように、軌道経路の内壁と当
接する内側ガイドローラ１１１を有している。また、台
車の四隅には、支持車輪１１２が設けられている。さら
に、図７（ｂ）に示すように、走行台車９９、１０７に
磁気誘導作用による推進力を発生させるために、軌道経
路上にリニアモータの一次側（固定子）１１３が設けら
れ、これに対向する台車の下面にリニアモータの二次側
導体（移動子）１１４が設けられている。以上のように
構成される走行台車９９、１０７は軌道経路の内壁に拘
束され、軌道経路に沿って走行するようになっている。
構１０１を有する軌条経路を走行する走行台車９９、１
０７は、図７（ａ）に示すように、軌道経路の内壁と当
接する内側ガイドローラ１１１を有している。また、台
車の四隅には、支持車輪１１２が設けられている。さら
に、図７（ｂ）に示すように、走行台車９９、１０７に
磁気誘導作用による推進力を発生させるために、軌道経
路上にリニアモータの一次側（固定子）１１３が設けら
れ、これに対向する台車の下面にリニアモータの二次側
導体（移動子）１１４が設けられている。以上のように
構成される走行台車９９、１０７は軌道経路の内壁に拘
束され、軌道経路に沿って走行するようになっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の走行台車９
９、１０７は、軌条経路に設けられた往復・旋回テーブ
ル９４、１０４の移動等により分岐経路９３、１０３に
乗り入れることにより走行方向を変更していたため、軌
条経路を走行する走行台車９９、１０７の走行方向を変
更させる場合、往復・旋回テーブル９４、１０４を有す
る直動形分岐機構９１や旋回形分岐機構１０１が必要で
ある。このような分岐機構の質量は重く、往復・旋回テ
−ブル９４、１０４を支えるフレ−ム９８、１０６や往
復・旋回テーブル９４、１０４を移動させる送りネジ９
６等の強度を大きくする必要があり、分岐機構を複数設
けると、搬送装置の材料コストが上昇するという問題点
があった。また、往復・旋回テーブル９４、１０４の運
転に大きなエネルギが必要であり、搬送装置の運転コス
トが上昇するという問題もあった。
９、１０７は、軌条経路に設けられた往復・旋回テーブ
ル９４、１０４の移動等により分岐経路９３、１０３に
乗り入れることにより走行方向を変更していたため、軌
条経路を走行する走行台車９９、１０７の走行方向を変
更させる場合、往復・旋回テーブル９４、１０４を有す
る直動形分岐機構９１や旋回形分岐機構１０１が必要で
ある。このような分岐機構の質量は重く、往復・旋回テ
−ブル９４、１０４を支えるフレ−ム９８、１０６や往
復・旋回テーブル９４、１０４を移動させる送りネジ９
６等の強度を大きくする必要があり、分岐機構を複数設
けると、搬送装置の材料コストが上昇するという問題点
があった。また、往復・旋回テーブル９４、１０４の運
転に大きなエネルギが必要であり、搬送装置の運転コス
トが上昇するという問題もあった。
【０００９】また、半導体製造工場のクリーンルーム内
に設置するような場合には、ウェハに悪影響を及ぼす発
塵を極力抑えるために、できるだけ動く部分を露出させ
たくないという事情があった。
に設置するような場合には、ウェハに悪影響を及ぼす発
塵を極力抑えるために、できるだけ動く部分を露出させ
たくないという事情があった。
【００１０】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、直動形分岐機構や旋回形分岐機構のように軌
条経路に設けられた分岐機構を必要とせずに、分岐部で
自立的に走行方向を変更させることにより、搬送装置の
材料コスト及びその運転コストの上昇を抑えることがで
き、しかも、外部への塵埃の発生を極力抑えることがで
きて、簡単な塵埃対策でクリーンルーム等に設置するこ
とのできる分岐軌道を備えた搬送設備を提供することを
目的とする。
であって、直動形分岐機構や旋回形分岐機構のように軌
条経路に設けられた分岐機構を必要とせずに、分岐部で
自立的に走行方向を変更させることにより、搬送装置の
材料コスト及びその運転コストの上昇を抑えることがで
き、しかも、外部への塵埃の発生を極力抑えることがで
きて、簡単な塵埃対策でクリーンルーム等に設置するこ
とのできる分岐軌道を備えた搬送設備を提供することを
目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、搬送
台車と、該搬送台車を誘導する主軌道および該主軌道よ
り分岐した分岐軌道と、前記搬送台車に搭載され主軌道
および分岐軌道の分岐点にて搬送台車の走行すべき軌道
を選択し選択した軌道へ搬送台車を導く軌道選択手段と
を具備することを特徴とする分岐軌道を備えた搬送設備
において、少なくとも前記分岐点をカバーする区間のボ
ックス断面形の軌道の内部に主軌道側分岐ガイド及び分
岐軌道側分岐ガイドが設けられると共に、前記軌道選択
手段として、スライド可能に装備され前記主軌道側分岐
ガイドに対する当接位置にスライドさせられることで搬
送台車を主軌道側に誘導する第１の選択ローラと、スラ
イド可能に装備され前記分岐軌道側分岐ガイドに対する
当接位置にスライドさせられることで搬送台車を分岐軌
道側に誘導する第２の選択ローラと、前記第１の選択ロ
ーラ及び第２の選択ローラをのいずれか一方を選択的に
前記分岐ガイドに対する当接位置にスライドさせる駆動
機構と、が設けられていることを特徴としている。
台車と、該搬送台車を誘導する主軌道および該主軌道よ
り分岐した分岐軌道と、前記搬送台車に搭載され主軌道
および分岐軌道の分岐点にて搬送台車の走行すべき軌道
を選択し選択した軌道へ搬送台車を導く軌道選択手段と
を具備することを特徴とする分岐軌道を備えた搬送設備
において、少なくとも前記分岐点をカバーする区間のボ
ックス断面形の軌道の内部に主軌道側分岐ガイド及び分
岐軌道側分岐ガイドが設けられると共に、前記軌道選択
手段として、スライド可能に装備され前記主軌道側分岐
ガイドに対する当接位置にスライドさせられることで搬
送台車を主軌道側に誘導する第１の選択ローラと、スラ
イド可能に装備され前記分岐軌道側分岐ガイドに対する
当接位置にスライドさせられることで搬送台車を分岐軌
道側に誘導する第２の選択ローラと、前記第１の選択ロ
ーラ及び第２の選択ローラをのいずれか一方を選択的に
前記分岐ガイドに対する当接位置にスライドさせる駆動
機構と、が設けられていることを特徴としている。
【００１２】請求項２の発明は、請求項１において、前
記主軌道側分岐ガイド及び分岐軌道側分岐ガイドが、軌
道の左右側壁の一方及び他方の内面にそれぞれ突設され
たＬ字形部材よりなり、前記第１及び第２の選択ローラ
が、前記Ｌ字形部材の垂直壁に接触転動するよう回転軸
線を垂直にして装備され、且つ上下方向にスライド可能
に装備されていることを特徴としている。
記主軌道側分岐ガイド及び分岐軌道側分岐ガイドが、軌
道の左右側壁の一方及び他方の内面にそれぞれ突設され
たＬ字形部材よりなり、前記第１及び第２の選択ローラ
が、前記Ｌ字形部材の垂直壁に接触転動するよう回転軸
線を垂直にして装備され、且つ上下方向にスライド可能
に装備されていることを特徴としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１、図２に示すように、この搬送
設備は、搬送台車１と、搬送台車１を誘導案内するボッ
クス断面形の搬送軌道２とからなる。搬送軌道２は、分
岐点において主軌道２Ａと分岐軌道２Ｂに分かれてい
る。軌道２の本体部（分岐部以外）はアルミ合金の押し
出し材等で制作され、分岐部は機械加工や鋳造等により
製作されている。また、軌道２の底面中央部には、搬送
台車１の推進力を発生させるリニア直流モ−タの磁石９
がＳ，Ｎ，Ｓ，Ｎ，Ｓ，Ｎ，Ｓ，Ｎ，Ｓ，Ｎ，Ｓ・・・
と相互に繰り返し走行方向に向かって敷設されている。
基づいて説明する。図１、図２に示すように、この搬送
設備は、搬送台車１と、搬送台車１を誘導案内するボッ
クス断面形の搬送軌道２とからなる。搬送軌道２は、分
岐点において主軌道２Ａと分岐軌道２Ｂに分かれてい
る。軌道２の本体部（分岐部以外）はアルミ合金の押し
出し材等で制作され、分岐部は機械加工や鋳造等により
製作されている。また、軌道２の底面中央部には、搬送
台車１の推進力を発生させるリニア直流モ−タの磁石９
がＳ，Ｎ，Ｓ，Ｎ，Ｓ，Ｎ，Ｓ，Ｎ，Ｓ，Ｎ，Ｓ・・・
と相互に繰り返し走行方向に向かって敷設されている。
【００１４】この軌道２を支える基盤２８は、クリーン
ルームの天井２９から吊りボルト２６により下げられて
いる。この天井２９の上部には、クリーンルーム内に清
浄空気を送る図示されない空気清浄装置と天井フィルタ
２７とが設けられている。浄化装置３０は、フィルタ３
０ａと、空気を吸引し排気する吸引・排気ファン３０ｂ
とを有している。さらに、軌道２の底部には、浄化装置
３０により塵を含んだ空気を吸引するための吸引口が設
けられている。
ルームの天井２９から吊りボルト２６により下げられて
いる。この天井２９の上部には、クリーンルーム内に清
浄空気を送る図示されない空気清浄装置と天井フィルタ
２７とが設けられている。浄化装置３０は、フィルタ３
０ａと、空気を吸引し排気する吸引・排気ファン３０ｂ
とを有している。さらに、軌道２の底部には、浄化装置
３０により塵を含んだ空気を吸引するための吸引口が設
けられている。
【００１５】また、上記の塵がクリーンルーム内に拡散
しないように、軌道２の側壁２ａ、２ｂ上端には、搬送
台車１の上方を覆うカバー２５が一体に延設されてい
る。このカバー２５の上面には溝状開口部３３が設けら
れている。さらに、カバー２５の側壁には、搬送台車１
の制御電力、走行電力等を地上側から送るための給電線
７が支持部材によって支持されている。
しないように、軌道２の側壁２ａ、２ｂ上端には、搬送
台車１の上方を覆うカバー２５が一体に延設されてい
る。このカバー２５の上面には溝状開口部３３が設けら
れている。さらに、カバー２５の側壁には、搬送台車１
の制御電力、走行電力等を地上側から送るための給電線
７が支持部材によって支持されている。
【００１６】また、少なくとも分岐点をカバーする区間
のボックス断面形の搬送軌道２の内部には、主軌道側分
岐ガイド３Ａ及び分岐軌道側分岐ガイド３Ｂが設けられ
ている。主軌道側分岐ガイド３Ａ及び分岐軌道側分岐ガ
イド３Ｂは、搬送軌道２及び主軌道２Ａ、分岐軌道２Ｂ
の左右側壁２ａ、２ｂの内面にそれぞれ突設されたＬ字
形部材よりなる。
のボックス断面形の搬送軌道２の内部には、主軌道側分
岐ガイド３Ａ及び分岐軌道側分岐ガイド３Ｂが設けられ
ている。主軌道側分岐ガイド３Ａ及び分岐軌道側分岐ガ
イド３Ｂは、搬送軌道２及び主軌道２Ａ、分岐軌道２Ｂ
の左右側壁２ａ、２ｂの内面にそれぞれ突設されたＬ字
形部材よりなる。
【００１７】一方、搬送台車１は、搬送軌道２の底面上
を走行する自在車輪４と、搬送軌道２の内壁をガイドす
る内側ガイドロ−ラ５と、給電線７から電力を受電する
ピックアップコイル６（受電装置）とを有している。給
電線７から受電するピックアップコイル６はＥ字型をし
ており、その凹部に給電線７が接触することなく位置す
るように搬送台車１に設けられている。このピックアッ
プコイル６は、搬送台車１の制御装置８等に電源を供給
する。また、搬送台車１には、軌道２の底面上に敷設さ
れたリニア直流モータの磁石９との間で、磁気誘導作用
による推進力を発生するリニア直流モータのコイル２０
が設けられている。さらに、搬送台車１には、上記の溝
状開口部３３からカバー２５の外へ突き出たトレー支柱
２２が設けられ、カバー２５外に突出したトレー支柱２
２の上端には、制御装置８及びトレー２３が設けられ、
このトレー２３に搬送物３２を積載して上記の推進力に
より搬送軌道２上を走行するようになっている。
を走行する自在車輪４と、搬送軌道２の内壁をガイドす
る内側ガイドロ−ラ５と、給電線７から電力を受電する
ピックアップコイル６（受電装置）とを有している。給
電線７から受電するピックアップコイル６はＥ字型をし
ており、その凹部に給電線７が接触することなく位置す
るように搬送台車１に設けられている。このピックアッ
プコイル６は、搬送台車１の制御装置８等に電源を供給
する。また、搬送台車１には、軌道２の底面上に敷設さ
れたリニア直流モータの磁石９との間で、磁気誘導作用
による推進力を発生するリニア直流モータのコイル２０
が設けられている。さらに、搬送台車１には、上記の溝
状開口部３３からカバー２５の外へ突き出たトレー支柱
２２が設けられ、カバー２５外に突出したトレー支柱２
２の上端には、制御装置８及びトレー２３が設けられ、
このトレー２３に搬送物３２を積載して上記の推進力に
より搬送軌道２上を走行するようになっている。
【００１８】また、搬送台車１には、左分岐選択ローラ
（第１の選択ローラ）１０Ａ及び右分岐選択ローラ（第
２の選択ローラ）１０Ｂが設けられている。これら選択
ローラ１０Ａ、１０Ｂは、分岐点にて搬送台車１の走行
すべき軌道を選択し、選択した軌道へ搬送台車１を導く
軌道選択手段を構成するもので、回転軸線を垂直にした
姿勢で、上下方向にスライド可能に装備され、前後左右
全部で４個配備されている。ここでは、左分岐選択ロー
ラ１０Ａは、主軌道側分岐ガイド３Ａに対する当接位置
にスライドさせられることで搬送台車１を主軌道２Ａ側
に誘導するものとされ、また、右分岐選択ローラ１０Ｂ
は、分岐軌道側分岐ガイド３Ｂに対する当接位置にスラ
イドさせられることで搬送台車１を分岐軌道２Ｂ側に誘
導するものとされ、分岐点の手前でいずれか一方の選択
ローラ１０Ａ、１０Ｂが上昇させられて、分岐ガイド３
Ａまたは３Ｂに係合することにより、分岐すべき方向を
選択できるようになっている。
（第１の選択ローラ）１０Ａ及び右分岐選択ローラ（第
２の選択ローラ）１０Ｂが設けられている。これら選択
ローラ１０Ａ、１０Ｂは、分岐点にて搬送台車１の走行
すべき軌道を選択し、選択した軌道へ搬送台車１を導く
軌道選択手段を構成するもので、回転軸線を垂直にした
姿勢で、上下方向にスライド可能に装備され、前後左右
全部で４個配備されている。ここでは、左分岐選択ロー
ラ１０Ａは、主軌道側分岐ガイド３Ａに対する当接位置
にスライドさせられることで搬送台車１を主軌道２Ａ側
に誘導するものとされ、また、右分岐選択ローラ１０Ｂ
は、分岐軌道側分岐ガイド３Ｂに対する当接位置にスラ
イドさせられることで搬送台車１を分岐軌道２Ｂ側に誘
導するものとされ、分岐点の手前でいずれか一方の選択
ローラ１０Ａ、１０Ｂが上昇させられて、分岐ガイド３
Ａまたは３Ｂに係合することにより、分岐すべき方向を
選択できるようになっている。
【００１９】２つの分岐選択ローラ１０Ａ、１０Ｂを昇
降させる駆動機構５０は、図３に示すように構成されて
いる。前後の左右分岐選択ローラ１０Ａ、１０Ｂの軸５
１は可動水平ベース５２に固定され、可動水平ベース５
２は垂直ガイドロッド５３に嵌まり上下に案内される。
可動水平ベース５２にはボールネジ５４が螺合してお
り、モータ５７でベルト５８を介してボールネジ５４を
回すことにより、可動水平ベース５２を介して分岐選択
ローラ１０Ａ、１０Ｂを昇降させることができるように
なっている。従って、モータ５７により左分岐選択ロー
ラ１０Ａを上昇させて、左分岐ガイド（主軌道側分岐ガ
イド）３Ａを構成するＬ字形部材の垂直壁に係合させれ
ば、左分岐ガイド３Ａに沿って搬送台車１を主軌道２Ａ
側（図１参照）に誘導することができ、右分岐選択ロー
ラ１０Ｂを上昇させて、右分岐ガイド３Ｂを構成するＬ
字形部材の垂直壁に係合させれば、左分岐ガイド（分岐
軌道側分岐ガイド）３Ｂに沿って搬送台車１を分岐軌道
２Ｂ側（図１参照）に誘導することができる。
降させる駆動機構５０は、図３に示すように構成されて
いる。前後の左右分岐選択ローラ１０Ａ、１０Ｂの軸５
１は可動水平ベース５２に固定され、可動水平ベース５
２は垂直ガイドロッド５３に嵌まり上下に案内される。
可動水平ベース５２にはボールネジ５４が螺合してお
り、モータ５７でベルト５８を介してボールネジ５４を
回すことにより、可動水平ベース５２を介して分岐選択
ローラ１０Ａ、１０Ｂを昇降させることができるように
なっている。従って、モータ５７により左分岐選択ロー
ラ１０Ａを上昇させて、左分岐ガイド（主軌道側分岐ガ
イド）３Ａを構成するＬ字形部材の垂直壁に係合させれ
ば、左分岐ガイド３Ａに沿って搬送台車１を主軌道２Ａ
側（図１参照）に誘導することができ、右分岐選択ロー
ラ１０Ｂを上昇させて、右分岐ガイド３Ｂを構成するＬ
字形部材の垂直壁に係合させれば、左分岐ガイド（分岐
軌道側分岐ガイド）３Ｂに沿って搬送台車１を分岐軌道
２Ｂ側（図１参照）に誘導することができる。
【００２０】前記制御装置８には、前記駆動機構５０の
左右のモータ５７を駆動する機能も備わっている。この
制御装置８は、中央システム制御装置（図示略）が送信
する走行信号及び停止信号を受信すると、リニア直流モ
ータのコイル２０に通電させたり通電を禁止したりす
る。また、走行方向を示す信号（走行方向を変更する方
向を示す信号）を受信すると、モータ５７を駆動して、
いずれかの分岐選択ローラ１０Ａ、１０Ｂを分岐ガイド
３Ａ、３Ｂに係合させる。なお、制御装置８に予め経路
地図を登録しておき、中央システム制御装置から行先ス
テーションの指示を受けると、自分で分岐路を選択し
て、進路を決める機能を持たせることもできる。
左右のモータ５７を駆動する機能も備わっている。この
制御装置８は、中央システム制御装置（図示略）が送信
する走行信号及び停止信号を受信すると、リニア直流モ
ータのコイル２０に通電させたり通電を禁止したりす
る。また、走行方向を示す信号（走行方向を変更する方
向を示す信号）を受信すると、モータ５７を駆動して、
いずれかの分岐選択ローラ１０Ａ、１０Ｂを分岐ガイド
３Ａ、３Ｂに係合させる。なお、制御装置８に予め経路
地図を登録しておき、中央システム制御装置から行先ス
テーションの指示を受けると、自分で分岐路を選択し
て、進路を決める機能を持たせることもできる。
【００２１】次に作用を説明する。図２に示すように、
クリーンルームの天井フィルタ２７から送られてくる清
浄空気は、垂直下向きに流れてカバー２５の上部の溝状
開口部３３からカバー２５内に流入する。カバー２５内
に流入した清浄空気は、ボックス断面形状の軌道２の内
側を通って軌道２の底部に達する。そして、搬送台車１
の走行時に発生する塵を、空気と共に浄化装置３０のフ
ァン３０ａで吸引し、フィルタ３０ｂを通して浄化した
後、クリーンルーム内に流す。
クリーンルームの天井フィルタ２７から送られてくる清
浄空気は、垂直下向きに流れてカバー２５の上部の溝状
開口部３３からカバー２５内に流入する。カバー２５内
に流入した清浄空気は、ボックス断面形状の軌道２の内
側を通って軌道２の底部に達する。そして、搬送台車１
の走行時に発生する塵を、空気と共に浄化装置３０のフ
ァン３０ａで吸引し、フィルタ３０ｂを通して浄化した
後、クリーンルーム内に流す。
【００２２】次に走行動作を図４を用いて説明する。こ
こでは、走行開始地点Ａから搬送台車１は走行を開始し
て、ステーションＳ１で搬送物を積載して、ステーショ
ンＳ３で搬送物を降ろし、Ｂ地点まで走行する場合を説
明する。図示されない中央システム制御装置から信号を
受信した搬送台車１は、制御装置８によりリニア直流モ
ータのコイル２０への通電を可能とすることにより、走
行開始地点Ａから走行を開始する。
こでは、走行開始地点Ａから搬送台車１は走行を開始し
て、ステーションＳ１で搬送物を積載して、ステーショ
ンＳ３で搬送物を降ろし、Ｂ地点まで走行する場合を説
明する。図示されない中央システム制御装置から信号を
受信した搬送台車１は、制御装置８によりリニア直流モ
ータのコイル２０への通電を可能とすることにより、走
行開始地点Ａから走行を開始する。
【００２３】搬送台車１は、分岐部４１の手前に到達し
たときに、ノードマークや指令光発射装置の発光等によ
り、分岐部４１の手前に到達したことを認識する。そし
て、分岐部４１での走行方向を示す信号を受信する。こ
の受信信号を受けて制御装置８は駆動機構５０のモータ
５７を制御する。分岐部４１では、右側の分岐軌道へ行
くので、右側の分岐選択ローラ１０Ｂを上昇させると共
に、左側の分岐選択ローラ１０Ａを下降させて、右側の
軌道へ進む。
たときに、ノードマークや指令光発射装置の発光等によ
り、分岐部４１の手前に到達したことを認識する。そし
て、分岐部４１での走行方向を示す信号を受信する。こ
の受信信号を受けて制御装置８は駆動機構５０のモータ
５７を制御する。分岐部４１では、右側の分岐軌道へ行
くので、右側の分岐選択ローラ１０Ｂを上昇させると共
に、左側の分岐選択ローラ１０Ａを下降させて、右側の
軌道へ進む。
【００２４】ステーションＳ１に向かって走行を継続
し、ステーションＳ１に到達すると、中央システム制御
装置からの信号により走行を停止する。そして、図示略
の積み降ろし装置により搬送物が搬送台車１のトレーの
上に積載される。搬送物を積載した搬送台車１は再び走
行を開始する。そして、合流部４２でそのまま主軌道へ
乗り入れる。
し、ステーションＳ１に到達すると、中央システム制御
装置からの信号により走行を停止する。そして、図示略
の積み降ろし装置により搬送物が搬送台車１のトレーの
上に積載される。搬送物を積載した搬送台車１は再び走
行を開始する。そして、合流部４２でそのまま主軌道へ
乗り入れる。
【００２５】次に、分岐部４３の手前に到達すると、分
岐部４１のときと同様に、ノードマークや指令光発射装
置の発光等により、分岐部４３の手前に到達したことを
認識する。そして、分岐部４３での走行方向の指令信号
を受信することで、制御装置８が駆動機構５０のモータ
５７を制御する。分岐部４３では、左側の主軌道へ行く
ので、左側の分岐選択ローラ１０Ａを上昇させると共
に、右側の分岐選択ローラ１０Ｂを下降させて、左側の
軌道へ進む。次の分岐部４５においても、同様の制御に
より右側の軌道に入り、ステーションＳ３で搬送物を降
ろす。
岐部４１のときと同様に、ノードマークや指令光発射装
置の発光等により、分岐部４３の手前に到達したことを
認識する。そして、分岐部４３での走行方向の指令信号
を受信することで、制御装置８が駆動機構５０のモータ
５７を制御する。分岐部４３では、左側の主軌道へ行く
ので、左側の分岐選択ローラ１０Ａを上昇させると共
に、右側の分岐選択ローラ１０Ｂを下降させて、左側の
軌道へ進む。次の分岐部４５においても、同様の制御に
より右側の軌道に入り、ステーションＳ３で搬送物を降
ろす。
【００２６】以上の搬送設備では、搬送台車１に搭載し
た分岐選択ローラ１０Ａ、１０Ｂの動作によ続き (改行
でり、分岐部における進行方向を選択できるので、従来
の往復・旋回テーブル等を有する直動形・旋回分岐機構
が不要であり、搬送設備の材料・運転コストの上昇を抑
えることができる。また、分岐選択ローラ１０Ａ、１０
Ｂに係合する分岐ガイド３Ａ、３Ｂをボックス断面形状
の軌道２内部に設けたので、分岐選択ローラ１０Ａ、１
０Ｂの接触転動部を軌道内に納めることができて、塵発
生に対する対策を簡単な構成で確実に行うことができ
る。
た分岐選択ローラ１０Ａ、１０Ｂの動作によ続き (改行
でり、分岐部における進行方向を選択できるので、従来
の往復・旋回テーブル等を有する直動形・旋回分岐機構
が不要であり、搬送設備の材料・運転コストの上昇を抑
えることができる。また、分岐選択ローラ１０Ａ、１０
Ｂに係合する分岐ガイド３Ａ、３Ｂをボックス断面形状
の軌道２内部に設けたので、分岐選択ローラ１０Ａ、１
０Ｂの接触転動部を軌道内に納めることができて、塵発
生に対する対策を簡単な構成で確実に行うことができ
る。
【００２７】なお、上記の搬送台車１の推進力は、リニ
アモータによる推進力に限るものではない。また、図２
に示すような天井フィルタ２７や清浄装置３０や図示さ
れない空気清浄装置を設けなくてもよい。
アモータによる推進力に限るものではない。また、図２
に示すような天井フィルタ２７や清浄装置３０や図示さ
れない空気清浄装置を設けなくてもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送台車に搭載した分岐選択ローラの動作により、分岐
部における進行方向を選択できるので、従来の往復・旋
回テーブル等を有する直動形・旋回分岐機構が不要であ
り、搬送装置の材料・運転コストの上昇を抑えることが
できる。また、分岐選択ローラに係合する分岐ガイドを
ボックス断面形状の軌道内部に設けたので、ローラの摺
動部を軌道内に納めることができて、塵発生に対する対
策を簡単な構成で確実に行うことができる。
搬送台車に搭載した分岐選択ローラの動作により、分岐
部における進行方向を選択できるので、従来の往復・旋
回テーブル等を有する直動形・旋回分岐機構が不要であ
り、搬送装置の材料・運転コストの上昇を抑えることが
できる。また、分岐選択ローラに係合する分岐ガイドを
ボックス断面形状の軌道内部に設けたので、ローラの摺
動部を軌道内に納めることができて、塵発生に対する対
策を簡単な構成で確実に行うことができる。
【図１】 本発明の実施形態の搬送設備の要部構成を示
す平面図である。
す平面図である。
【図２】 図１のＩＩ−ＩＩ矢視断面図である。
【図３】 図２の分岐選択ローラの駆動機構５０の概念
図である。
図である。
【図４】 実施形態の搬送設備の動作を説明するために
示す平面図である。
示す平面図である。
【図５】 従来例の平面図である。
【図６】 別の従来例の平面図である。
【図７】 従来の搬送台車の概略構成図で、（ａ）は平
面図、（ｂ）は正面図である。
面図、（ｂ）は正面図である。
１ 搬送台車 ２ 搬送軌道 ２ａ，２ｂ 側壁 ２Ａ 主軌道 ２Ｂ 分岐軌道 ３Ａ 左分岐ガイド（主軌道側分岐ガイド） ３Ｂ 右分岐ガイド（分岐軌道側分岐ガイド） １０Ａ 左分岐選択ローラ １０Ｂ 右分岐選択ローラ ５０ 駆動機構
Claims (2)
- 【請求項１】 搬送台車と、該搬送台車を誘導する主軌
道および該主軌道より分岐した分岐軌道と、前記搬送台
車に搭載され主軌道および分岐軌道の分岐点にて搬送台
車の走行すべき軌道を選択し選択した軌道へ搬送台車を
導く軌道選択手段とを具備することを特徴とする分岐軌
道を備えた搬送設備において、 少なくとも前記分岐点をカバーする区間のボックス断面
形の軌道の内部に主軌道側分岐ガイド及び分岐軌道側分
岐ガイドが設けられると共に、 前記軌道選択手段として、 スライド可能に装備され前記主軌道側分岐ガイドに対す
る当接位置にスライドさせられることで搬送台車を主軌
道側に誘導する第１の選択ローラと、 スライド可能に装備され前記分岐軌道側分岐ガイドに対
する当接位置にスライドさせられることで搬送台車を分
岐軌道側に誘導する第２の選択ローラと、 前記第１の選択ローラ及び第２の選択ローラをのいずれ
か一方を選択的に前記分岐ガイドに対する当接位置にス
ライドさせる駆動機構と、が設けられていることを特徴
とする分岐軌道を備えた搬送設備。 - 【請求項２】 前記主軌道側分岐ガイド及び分岐軌道側
分岐ガイドが、軌道の左右側壁の一方及び他方の内面に
それぞれ突設されたＬ字形部材よりなり、前記第１及び
第２の選択ローラが、前記Ｌ字形部材の垂直壁に接触転
動するよう回転軸線を垂直にして装備され、且つ上下方
向にスライド可能に装備されていることを特徴とする請
求項１記載の分岐軌道を備えた搬送設備。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022372A JPH11222122A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | 分岐軌道を備えた搬送設備 |
| US09/052,625 US6095054A (en) | 1998-02-03 | 1998-03-31 | Transport system |
| GB9806900A GB2333747B (en) | 1998-02-03 | 1998-04-01 | Transport system |
| TW087108381A TW430628B (en) | 1998-02-03 | 1998-05-29 | Transportation device with a branch rail |
| KR1019980019685A KR100563457B1 (ko) | 1998-02-03 | 1998-05-29 | 분기궤도를 구비한 반송설비 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022372A JPH11222122A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | 分岐軌道を備えた搬送設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11222122A true JPH11222122A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12080815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10022372A Pending JPH11222122A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | 分岐軌道を備えた搬送設備 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6095054A (ja) |
| JP (1) | JPH11222122A (ja) |
| KR (1) | KR100563457B1 (ja) |
| GB (1) | GB2333747B (ja) |
| TW (1) | TW430628B (ja) |
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