JPH09283600A - ウエハ移載装置におけるウエハ高さ位置検出機構 - Google Patents
ウエハ移載装置におけるウエハ高さ位置検出機構Info
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- JPH09283600A JPH09283600A JP8086231A JP8623196A JPH09283600A JP H09283600 A JPH09283600 A JP H09283600A JP 8086231 A JP8086231 A JP 8086231A JP 8623196 A JP8623196 A JP 8623196A JP H09283600 A JPH09283600 A JP H09283600A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検出機構全体のサイズの空間的効率を向上さ
せ、検知センサの検出精度を向上させること、 【解決手段】 本発明のウエハ移載装置におけるウエハ
高さ位置検出装構１は、ウエハ検知センサ６を搭載し移
載ロボット２と独立して上下移動するセンサ台７と、モ
ータ９、モータドライバ１０，モータ・コントローラ１
１およびウエハを検知したときモータ・コントローラか
らウエハ高さ位置に相当するデータを受け、このデータ
に基き移載ロボット２をウエハに対応する位置に移動さ
せる操作信号を発する主制御コントローラ１２を具備
し、ウエハ検知センサ６が移載ロボット２と独立して上
下移動する構成であるため、コンパクトにまとめること
ができ、また、ウエハ高さ位置検出とウエハ移載の同時
実行が可能である。さらに、独立したウエハ検知センサ
６は、検出性能の高い透過形センサを採用でき、高精度
なウエハ高さ位置検出が可能である。
せ、検知センサの検出精度を向上させること、 【解決手段】 本発明のウエハ移載装置におけるウエハ
高さ位置検出装構１は、ウエハ検知センサ６を搭載し移
載ロボット２と独立して上下移動するセンサ台７と、モ
ータ９、モータドライバ１０，モータ・コントローラ１
１およびウエハを検知したときモータ・コントローラか
らウエハ高さ位置に相当するデータを受け、このデータ
に基き移載ロボット２をウエハに対応する位置に移動さ
せる操作信号を発する主制御コントローラ１２を具備
し、ウエハ検知センサ６が移載ロボット２と独立して上
下移動する構成であるため、コンパクトにまとめること
ができ、また、ウエハ高さ位置検出とウエハ移載の同時
実行が可能である。さらに、独立したウエハ検知センサ
６は、検出性能の高い透過形センサを採用でき、高精度
なウエハ高さ位置検出が可能である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハ製造工
程におけるウエハ移載装置のウエハ高さ位置検出機構に
関する。
程におけるウエハ移載装置のウエハ高さ位置検出機構に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハ移載では、移載ロボットでウエハ
キャリアからウエハを搬出するが、このときロボットア
ーム位置決めデータとして、ウエハキャリア内に多段に
収納されているウエハの高さ位置を検出する必要があ
る。従来技術として、以下のウエハ高さ位置検出機構が
知られている。
キャリアからウエハを搬出するが、このときロボットア
ーム位置決めデータとして、ウエハキャリア内に多段に
収納されているウエハの高さ位置を検出する必要があ
る。従来技術として、以下のウエハ高さ位置検出機構が
知られている。
【０００３】（１）図２に示すように、透過形センサよ
りなる検知センサ２１を固定し、ウエハ２３を収納した
ウエハキャリア２２を上下移動機構２４により上下に移
動することでウエハ高さ位置を検出する。移載ロボット
２５も固定設置されている。 （２）図３に示すように、移載ロボット３１のロボット
アーム３２先端上に反射形センサよりなる検知センサ３
３を搭載し、移載ロボット３１を上下移動機構３４によ
り上下移動可能とし、固定設置したウエハキャリア３５
に対して移載ロボット３１を上下に移動することでウエ
ハ高さ位置を検出する。
りなる検知センサ２１を固定し、ウエハ２３を収納した
ウエハキャリア２２を上下移動機構２４により上下に移
動することでウエハ高さ位置を検出する。移載ロボット
２５も固定設置されている。 （２）図３に示すように、移載ロボット３１のロボット
アーム３２先端上に反射形センサよりなる検知センサ３
３を搭載し、移載ロボット３１を上下移動機構３４によ
り上下移動可能とし、固定設置したウエハキャリア３５
に対して移載ロボット３１を上下に移動することでウエ
ハ高さ位置を検出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図２に示すウエハキャ
リア全体が上下する機構では、検出機構全体のサイズが
大きく、空間的に効率的でない。また、図３に示したロ
ボットアーム先端上に検知センサを搭載した機構では、
検知センサに透過形センサの採用が難しく、反射形セン
サとなるため、位置検出精度が良くない。
リア全体が上下する機構では、検出機構全体のサイズが
大きく、空間的に効率的でない。また、図３に示したロ
ボットアーム先端上に検知センサを搭載した機構では、
検知センサに透過形センサの採用が難しく、反射形セン
サとなるため、位置検出精度が良くない。
【０００５】そこで本発明は、上記の課題を解決し、位
置検出精度が良く且つ省スペースの可能なウエハ移載装
置におけるウエハ高さ位置検出機構を提供することを目
的とする。
置検出精度が良く且つ省スペースの可能なウエハ移載装
置におけるウエハ高さ位置検出機構を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のウエハ移載装置
におけるウエハ高さ位置検出機構は、複数のウエハを複
数段に収納し固定設置された前後開放形のウエハキャリ
アに対し、上下移動可能な移載ロボットがそのロボット
アームによってウエハを上記ウエハキャリア内に出し入
れ操作可能に配置されたウエハ移載装置において、上下
移動機構により上記移載ロボットと独立して移動し上記
ウエハキャリア内のウエハの高さ位置を検知するウエハ
検知手段と、このウエハ検知手段の上下移動により所定
のウエハを検知したときのウエハ検知手段の移動量から
ウエハ高さ位置情報を登録し、この高さ位置情報に基づ
き上記移載ロボットを検知されたウエハ高さ位置に移動
させる駆動量を算出し、この駆動量を上記移載ロボット
の駆動系に送って駆動させる主制御コントローラとを具
備する。
におけるウエハ高さ位置検出機構は、複数のウエハを複
数段に収納し固定設置された前後開放形のウエハキャリ
アに対し、上下移動可能な移載ロボットがそのロボット
アームによってウエハを上記ウエハキャリア内に出し入
れ操作可能に配置されたウエハ移載装置において、上下
移動機構により上記移載ロボットと独立して移動し上記
ウエハキャリア内のウエハの高さ位置を検知するウエハ
検知手段と、このウエハ検知手段の上下移動により所定
のウエハを検知したときのウエハ検知手段の移動量から
ウエハ高さ位置情報を登録し、この高さ位置情報に基づ
き上記移載ロボットを検知されたウエハ高さ位置に移動
させる駆動量を算出し、この駆動量を上記移載ロボット
の駆動系に送って駆動させる主制御コントローラとを具
備する。
【０００７】また、本発明のウエハ高さ位置検出機構
は、そのウエハ検知手段は、上下移動機構に保持された
センサ台に発光素子と受光素子がウエハキャリアの前後
開放面と直交する直線上に対向して配置された透過形セ
ンサであることを特徴とする。本発明のウエハ移載装置
におけるウエハ高さ位置検出機構においては、ウエハ検
知手段は検知センサのみが上下移動機構に保持されて移
載ロボットと独立して移動する構成であるため、コンパ
クトにまとまり高さ位置検出機構の省スペースが可能で
あり、また、ウエハ高さ位置検出とウエハ移載が独立し
て同時に実行できる。さらに、ウエハ検知手段は移載ロ
ボットとは独立した機構となっているので、検知センサ
に検出性能の高い透過形センサを採用でき、高精度なウ
エハ高さ位置検出が可能である。
は、そのウエハ検知手段は、上下移動機構に保持された
センサ台に発光素子と受光素子がウエハキャリアの前後
開放面と直交する直線上に対向して配置された透過形セ
ンサであることを特徴とする。本発明のウエハ移載装置
におけるウエハ高さ位置検出機構においては、ウエハ検
知手段は検知センサのみが上下移動機構に保持されて移
載ロボットと独立して移動する構成であるため、コンパ
クトにまとまり高さ位置検出機構の省スペースが可能で
あり、また、ウエハ高さ位置検出とウエハ移載が独立し
て同時に実行できる。さらに、ウエハ検知手段は移載ロ
ボットとは独立した機構となっているので、検知センサ
に検出性能の高い透過形センサを採用でき、高精度なウ
エハ高さ位置検出が可能である。
【０００８】
【発明の実施の態形】以下、図面に示した実施例に基い
て本発明を詳細に説明する。
て本発明を詳細に説明する。
【０００９】図１に本発明の一実施例のウエハ移載装置
におけるウエハ高さ位置検出機構を示す。
におけるウエハ高さ位置検出機構を示す。
【００１０】ウエハ高さ位置検出機構１は、パルスモー
タを用いた検出機構用モータ９とボールねじ８を有する
上下移動機構に保持されて上下移動するセンサ台７と、
センサ台７のフォーク状の腕に発光素子と受光素子が前
後開放形のウエハキャリア４の前後開放面と直交する直
線上に位置して配置された透過形のウエハ検知センサ６
と、モータドライバ１０と、モータ・コントローラ１１
と、主制御コントローラ１２とでを有して構成されてい
る。
タを用いた検出機構用モータ９とボールねじ８を有する
上下移動機構に保持されて上下移動するセンサ台７と、
センサ台７のフォーク状の腕に発光素子と受光素子が前
後開放形のウエハキャリア４の前後開放面と直交する直
線上に位置して配置された透過形のウエハ検知センサ６
と、モータドライバ１０と、モータ・コントローラ１１
と、主制御コントローラ１２とでを有して構成されてい
る。
【００１１】ウエハ移載装置は、複数のウエハ５を多段
に収納し固定設置された前後開放形のウエハキャリア４
に対し、移載ロボット用モータ１４およびボールねじ８
により上下移動可能な移載ロボット２が、そのロボット
アーム１３によってウエハ５をウエハキャリア４内に出
し入れ操作可能に配置された構成である。移載ロボット
２がウエハキャリア４から取り出したウエハ５は移載対
象部３に送られる。
に収納し固定設置された前後開放形のウエハキャリア４
に対し、移載ロボット用モータ１４およびボールねじ８
により上下移動可能な移載ロボット２が、そのロボット
アーム１３によってウエハ５をウエハキャリア４内に出
し入れ操作可能に配置された構成である。移載ロボット
２がウエハキャリア４から取り出したウエハ５は移載対
象部３に送られる。
【００１２】移載ロボット用モータ１４は、主制御コン
トローラ１２からの駆動量信号を受けるモータ・コント
ローラ１６，モータドライバ１５により駆動される。
トローラ１２からの駆動量信号を受けるモータ・コント
ローラ１６，モータドライバ１５により駆動される。
【００１３】上記の構成から明らかなように、ウエハ検
知センサ６は、移載ロボット２と独立して上下移動する
ことができる。
知センサ６は、移載ロボット２と独立して上下移動する
ことができる。
【００１４】主制御コントローラ１２は、ウエハ検知セ
ンサ６の上下移動によりウエハ５を検知したときのウエ
ハ検知センサ６の移動量（モータ・コントローラ１１か
らのパルス数）からウエハ高さ位置を求め、このウエハ
高さ位置情報を登録し、この位置情報に基づき移載ロボ
ット２を検知されたウエハ高さ位置に移動させる駆動量
を算出し、この駆動量をモータ・コントローラ１６から
モータドライバ１５に送り、移載ロボット用モータ１４
を駆動して移載ロボット２を上下移動させ、ロボットア
ーム１３の高さ位置を対象ウエハに合わせる作用を行な
う。
ンサ６の上下移動によりウエハ５を検知したときのウエ
ハ検知センサ６の移動量（モータ・コントローラ１１か
らのパルス数）からウエハ高さ位置を求め、このウエハ
高さ位置情報を登録し、この位置情報に基づき移載ロボ
ット２を検知されたウエハ高さ位置に移動させる駆動量
を算出し、この駆動量をモータ・コントローラ１６から
モータドライバ１５に送り、移載ロボット用モータ１４
を駆動して移載ロボット２を上下移動させ、ロボットア
ーム１３の高さ位置を対象ウエハに合わせる作用を行な
う。
【００１５】本発明の一実施例のウエハ移載装置におけ
るウエハ高さ位置検出機構による位置検出および移載ま
での順序動作は、次のようになる。
るウエハ高さ位置検出機構による位置検出および移載ま
での順序動作は、次のようになる。
【００１６】（１）ウエハ高さ位置を検出するために、
固定設置されているウエハキャリア４に対し検知センサ
６を上下に移動させる。
固定設置されているウエハキャリア４に対し検知センサ
６を上下に移動させる。
【００１７】（２）検知センサ６がウエハ５を検知する
と、モータ・コントローラ１１から主制御コントローラ
１２に検知センサ６の移動量に相当するパルス数が送信
される。
と、モータ・コントローラ１１から主制御コントローラ
１２に検知センサ６の移動量に相当するパルス数が送信
される。
【００１８】（３）主制御コントローラ１２は、受信し
た移動量からウエハ高さ位置を求め、このウエハ高さ位
置情報を登録し、この位置情報に基づき移載ロボット２
を検知されたウエハ高さ位置に移動させる駆動量を算出
し、モータ・コントローラ１６からモータドライバ１５
に送る。
た移動量からウエハ高さ位置を求め、このウエハ高さ位
置情報を登録し、この位置情報に基づき移載ロボット２
を検知されたウエハ高さ位置に移動させる駆動量を算出
し、モータ・コントローラ１６からモータドライバ１５
に送る。
【００１９】（４）モータ・コントローラ１６，モータ
ドライバ１５により駆動量分だけ移載ロボット用モータ
１４が駆動し、移載ロボット２を上下移動させてロボッ
トアーム１３の高さ位置を対象ウエハに合わせる。
ドライバ１５により駆動量分だけ移載ロボット用モータ
１４が駆動し、移載ロボット２を上下移動させてロボッ
トアーム１３の高さ位置を対象ウエハに合わせる。
【００２０】（５）移載ロボット２は、ロボットアーム
１３を操作してウエハキャリア４からウエハ５を取り出
し、移載対象部３に送る。
１３を操作してウエハキャリア４からウエハ５を取り出
し、移載対象部３に送る。
【００２１】本発明の一実施例のウエハ移載装置におけ
るウエハ高さ位置検出機構においては、ウエハ検知手段
は、ウエハ検知センサ６のみが上下移動するセンサ台７
に保持されて移載ロボット２と独立して移動する構成で
あるため、コンパクトにまとまり高さ位置検出機構１の
省スペースが可能であり、また、ウエハ高さ位置検出と
ウエハ移載が独立して同時に実行できる。
るウエハ高さ位置検出機構においては、ウエハ検知手段
は、ウエハ検知センサ６のみが上下移動するセンサ台７
に保持されて移載ロボット２と独立して移動する構成で
あるため、コンパクトにまとまり高さ位置検出機構１の
省スペースが可能であり、また、ウエハ高さ位置検出と
ウエハ移載が独立して同時に実行できる。
【００２２】さらに、ウエハ検知センサ６は、移載ロボ
ット２とは独立した機構となっているので、検知センサ
に検出性能の高い透過形センサを採用でき、高精度なウ
エハ高さ位置検出が可能である。
ット２とは独立した機構となっているので、検知センサ
に検出性能の高い透過形センサを採用でき、高精度なウ
エハ高さ位置検出が可能である。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のウエハ移
載装置におけるウエハ高さ位置検出機構においては、ウ
エハ検知手段は、ウエハ検知センサのみが上下移動する
センサ台に保持されて移載ロボットと独立して移動する
構成であるため、コンパクトにまとまり高さ位置検出機
構の省スペースが可能であり、また、ウエハ高さ位置検
出とウエハ移載が同時に実行できる。
載装置におけるウエハ高さ位置検出機構においては、ウ
エハ検知手段は、ウエハ検知センサのみが上下移動する
センサ台に保持されて移載ロボットと独立して移動する
構成であるため、コンパクトにまとまり高さ位置検出機
構の省スペースが可能であり、また、ウエハ高さ位置検
出とウエハ移載が同時に実行できる。
【００２４】さらに、ウエハ検知センサは、移載ロボッ
トとは独立した機構となっているので、検知センサに検
出性能の高い透過形センサを採用でき、高精度なウエハ
高さ位置検出が可能である。
トとは独立した機構となっているので、検知センサに検
出性能の高い透過形センサを採用でき、高精度なウエハ
高さ位置検出が可能である。
【図１】本発明の一実施例のウエハ移載装置におけるウ
エハ高さ位置検出機構を示す概略図である。
エハ高さ位置検出機構を示す概略図である。
【図２】従来技術のウエハキャリア全体が上下移動する
ウエハ高さ位置検出機構を示す概略図である。
ウエハ高さ位置検出機構を示す概略図である。
【図３】従来技術の上下移動可能な移載ロボットのロボ
ットアーム上に反射形検知センサを搭載しウエハキャリ
アを固定設置したウエハ高さ位置検出機構を示す概略図
である。
ットアーム上に反射形検知センサを搭載しウエハキャリ
アを固定設置したウエハ高さ位置検出機構を示す概略図
である。
１…ウエハ高さ位置検出機構 ２…移載ロボット ３…移載対象部 ４…ウエハキャリア ５…ウエハ ６…ウエハ検知センサ ７…センサ台 ８…ボールねじ ９…検出機構用モータ １０…モータドライバ １１…モータ・コントローラ １２…主制御コントローラ １３…ロボットアーム １４…移載ロボット用モータ １５…モータドライバ １６…モータ・コントローラ
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のウエハを複数段に収納し固定設置
された前後開放形のウエハキャリアに対し、上下移動可
能な移載ロボットがそのロボットアームによってウエハ
を上記ウエハキャリア内に出し入れ操作可能に配置され
たウエハ移載装置において、上下移動機構により上記移
載ロボットと独立して移動し上記ウエハキャリア内のウ
エハの高さ位置を検知するウエハ検知手段と、このウエ
ハ検知手段の上下移動により所定のウエハを検知したと
きのウエハ検知手段の移動量からウエハの高さ位置情報
を登録し、この高さ位置情報に基づき上記移載ロボット
を検知されたウエハ高さ位置に移動させる駆動量を算出
し、この駆動量を上記移載ロボットの駆動系に送って駆
動させる主制御コントローラとを具備したウエハ移載装
置におけるウエハ高さ位置検出機構。 - 【請求項２】 ウエハ検知手段は、上下移動機構に保持
されたセンサ台に発光素子と受光素子がウエハキャリア
の前後開放面と直交する直線上に対向配置された透過形
センサであることを特徴とする請求項１記載のウエハ移
載装置におけるウエハ高さ位置検出機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8086231A JPH09283600A (ja) | 1996-04-09 | 1996-04-09 | ウエハ移載装置におけるウエハ高さ位置検出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8086231A JPH09283600A (ja) | 1996-04-09 | 1996-04-09 | ウエハ移載装置におけるウエハ高さ位置検出機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283600A true JPH09283600A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=13881028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8086231A Pending JPH09283600A (ja) | 1996-04-09 | 1996-04-09 | ウエハ移載装置におけるウエハ高さ位置検出機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09283600A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11251401A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
| CN102554924A (zh) * | 2010-12-15 | 2012-07-11 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 机械手定位装置及传送系统 |
| WO2016175133A1 (ja) * | 2015-04-27 | 2016-11-03 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板検出方法 |
| CN110931409A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-03-27 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 晶圆位置识别系统及方法 |
-
1996
- 1996-04-09 JP JP8086231A patent/JPH09283600A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11251401A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
| CN102554924A (zh) * | 2010-12-15 | 2012-07-11 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 机械手定位装置及传送系统 |
| WO2016175133A1 (ja) * | 2015-04-27 | 2016-11-03 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板検出方法 |
| JP2016207947A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板検出方法 |
| CN107534009A (zh) * | 2015-04-27 | 2018-01-02 | 川崎重工业株式会社 | 衬底搬送机器人及衬底检测方法 |
| US10431482B2 (en) | 2015-04-27 | 2019-10-01 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate conveyance robot and substrate detection method |
| CN107534009B (zh) * | 2015-04-27 | 2021-04-27 | 川崎重工业株式会社 | 衬底搬送机器人及衬底检测方法 |
| CN110931409A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-03-27 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 晶圆位置识别系统及方法 |
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