JPH09283653A - 半導体容器 - Google Patents
半導体容器Info
- Publication number
- JPH09283653A JPH09283653A JP8095360A JP9536096A JPH09283653A JP H09283653 A JPH09283653 A JP H09283653A JP 8095360 A JP8095360 A JP 8095360A JP 9536096 A JP9536096 A JP 9536096A JP H09283653 A JPH09283653 A JP H09283653A
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- JP
- Japan
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- external lead
- brazing material
- lead
- external
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3421—Leaded components
- H05K3/3426—Leaded components characterised by the leads
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体容器本体のメタライズ層にろう付けさ
れた外部リードに外力が働いた場合に剥がれるのを防止
する。 【解決手段】 外部リード3がろう付けされるセラミッ
ク基板1のメタライズ層2に溝5を外部リード3の根元
側3aに接近させて設ける。そして余分なロー剤4を溝
5に受け入れてセラミック基板1のメタイライズ層2の
端2aまで流れ込むのを防ぎ、外部リード3の接合強度
を向上させる。
れた外部リードに外力が働いた場合に剥がれるのを防止
する。 【解決手段】 外部リード3がろう付けされるセラミッ
ク基板1のメタライズ層2に溝5を外部リード3の根元
側3aに接近させて設ける。そして余分なロー剤4を溝
5に受け入れてセラミック基板1のメタイライズ層2の
端2aまで流れ込むのを防ぎ、外部リード3の接合強度
を向上させる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック基板上
に半導体チップを搭載した半導体容器、特に外部リード
の取付構造に関する。
に半導体チップを搭載した半導体容器、特に外部リード
の取付構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体容器においては、セラミッ
ク基板からなるパッケージに半導体素子が収納され、図
3に示すようにセラミック基板1に形成されたメタライ
ズ層2と、図示しない半導体素子の電極とが金等のワイ
ヤで接続され、かつメタライズ層2と外部リード3との
合わせ面全体がロー材4によりろう付けされていた。
ク基板からなるパッケージに半導体素子が収納され、図
3に示すようにセラミック基板1に形成されたメタライ
ズ層2と、図示しない半導体素子の電極とが金等のワイ
ヤで接続され、かつメタライズ層2と外部リード3との
合わせ面全体がロー材4によりろう付けされていた。
【0003】しかしながら、半導体素子の組立,スクリ
ーニング,電気的測定を行う際に、外部リード3に外力
が加わり、外部リード3が剥がれるという問題があっ
た。
ーニング,電気的測定を行う際に、外部リード3に外力
が加わり、外部リード3が剥がれるという問題があっ
た。
【0004】このため図4に示すように、外部リード3
をフォーミングし、外部リード3とメタライズ層2の間
に形成された空隙内にロー材4がメタライズ層2の先端
部2aを越えない範囲で押し止めるようにし、外部リー
ド3に垂直方向の外力が働いたときに、メタライズ層2
の先端部2aに外力が集中して外部リード3が剥がれや
すくなるのを改善した構造のものがある。
をフォーミングし、外部リード3とメタライズ層2の間
に形成された空隙内にロー材4がメタライズ層2の先端
部2aを越えない範囲で押し止めるようにし、外部リー
ド3に垂直方向の外力が働いたときに、メタライズ層2
の先端部2aに外力が集中して外部リード3が剥がれや
すくなるのを改善した構造のものがある。
【0005】また図5では、メタライズ層2の先端部2
aがセラミック基板1の端部を越えて側面まで延長して
設けられ、メタライズ層2と外部リード3の合わせ面が
ロー材4によりろう付けされるとともに、延長したメタ
ライズ層2と外部リード3の間にロー材4が盛付けられ
ており、外部リード3に垂直な外力が作用したときに、
一番剥がれやすいメタライズ層2と外部リード3の端部
に力が作用しない構造としていた。
aがセラミック基板1の端部を越えて側面まで延長して
設けられ、メタライズ層2と外部リード3の合わせ面が
ロー材4によりろう付けされるとともに、延長したメタ
ライズ層2と外部リード3の間にロー材4が盛付けられ
ており、外部リード3に垂直な外力が作用したときに、
一番剥がれやすいメタライズ層2と外部リード3の端部
に力が作用しない構造としていた。
【0006】また図6は、図4の外部リード3と図5の
メタライズ層2の構造を組み合わせたものであり、メタ
ライズ層2と外部リード3の合わせ面がロー材4でろう
付けされるとともに、外部リード3とメタライズ層2の
間に形成された空隙内の一部にロー材4を押し止め、し
かも外部リード3の先端側のメタライズ層2との間にロ
ー材4を充填しない空隙が残されている構造になってい
る。
メタライズ層2の構造を組み合わせたものであり、メタ
ライズ層2と外部リード3の合わせ面がロー材4でろう
付けされるとともに、外部リード3とメタライズ層2の
間に形成された空隙内の一部にロー材4を押し止め、し
かも外部リード3の先端側のメタライズ層2との間にロ
ー材4を充填しない空隙が残されている構造になってい
る。
【0007】また、図7では、外部リード3が接続され
る部分のセラミック基板1に溝5を設けることにより、
外部リード3とメタライズ層2が位置ズレのしにくい構
造となっていた。図7ではロー材4はセラミック基板1
の端面まで流れ込む構造となっていた。
る部分のセラミック基板1に溝5を設けることにより、
外部リード3とメタライズ層2が位置ズレのしにくい構
造となっていた。図7ではロー材4はセラミック基板1
の端面まで流れ込む構造となっていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図3〜図
5に示す従来の半導体容器では、外部リード3を接続す
る際にロー材4がメタライズ層2の端部まで流れ込む構
造となっており、また図6に示す従来の半導体容器で
は、外部リード3とメタライズ層2の合わせ面までロー
材4が流れ込む構造となっているため、ロー材4の量の
バラツキ,ロー材4の溶融条件のバラツキ等により、ロ
ー材4が流れやすく、十分な接合強度を得ることが困難
であった。
5に示す従来の半導体容器では、外部リード3を接続す
る際にロー材4がメタライズ層2の端部まで流れ込む構
造となっており、また図6に示す従来の半導体容器で
は、外部リード3とメタライズ層2の合わせ面までロー
材4が流れ込む構造となっているため、ロー材4の量の
バラツキ,ロー材4の溶融条件のバラツキ等により、ロ
ー材4が流れやすく、十分な接合強度を得ることが困難
であった。
【0009】また図7に示すように外部リード3が取付
けられるメタライズ層2に溝5を設けた構造において
も、ロー材4の流れが生じ、充分な接合強度を得ること
が困難であった。
けられるメタライズ層2に溝5を設けた構造において
も、ロー材4の流れが生じ、充分な接合強度を得ること
が困難であった。
【0010】ところで、外部リードをメタライズ層に取
り付けるにあたっては、特開昭57ー1250号におい
ても、明らかなように、ロー材の量を少なくする必要が
ある。この要求に応じて図4においては、外部リードと
メタライズ層の合わせ面へのロー材の添着を阻止して、
外部リードとメタライズ層の間に形成された空隙内に限
ってロー材を添着しているが、ロー材4の量のバラツ
キ,ロー材4の溶融条件のバラツキ等により、ロー材4
がメタライズ層2の先端部2a側に流れるのを食い止め
ることは困難であり、十分な接合強度を得るためにロー
材の量を少なくすることには限界があった。
り付けるにあたっては、特開昭57ー1250号におい
ても、明らかなように、ロー材の量を少なくする必要が
ある。この要求に応じて図4においては、外部リードと
メタライズ層の合わせ面へのロー材の添着を阻止して、
外部リードとメタライズ層の間に形成された空隙内に限
ってロー材を添着しているが、ロー材4の量のバラツ
キ,ロー材4の溶融条件のバラツキ等により、ロー材4
がメタライズ層2の先端部2a側に流れるのを食い止め
ることは困難であり、十分な接合強度を得るためにロー
材の量を少なくすることには限界があった。
【0011】以上の考察からすると、外部リードを接合
する接着剤は、該外部リードの先端側とメタライズ層の
間に空隙を残し、該外部リードの根元付近の狭い範囲に
制限して付着されることが必要となる。
する接着剤は、該外部リードの先端側とメタライズ層の
間に空隙を残し、該外部リードの根元付近の狭い範囲に
制限して付着されることが必要となる。
【0012】本発明の目的は、外部リードを接合する接
着剤を該外部リードの根元付近の狭い範囲に制限して付
着することを可能とし、ロー材の量を必要最小限として
外部リードの接合強度を向上させ、リード強度にバラツ
キのない信頼性の高い半導体容器を提供することにあ
る。
着剤を該外部リードの根元付近の狭い範囲に制限して付
着することを可能とし、ロー材の量を必要最小限として
外部リードの接合強度を向上させ、リード強度にバラツ
キのない信頼性の高い半導体容器を提供することにあ
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る半導体容器は、容器本体に半導体チッ
プを搭載してなる半導体容器であって、半導体チップに
接続される外部リードを有し、外部リードは、その根元
側が容器本体の導体部にあてがわれ接着剤により容器本
体の導体部に接合されたものであり、外部リードを接合
する接着剤は、該外部リードの先端側と容器本体の導体
部との間に空隙を残し該外部リードの根元付近の狭い範
囲に制限して付着されたものである。
め、本発明に係る半導体容器は、容器本体に半導体チッ
プを搭載してなる半導体容器であって、半導体チップに
接続される外部リードを有し、外部リードは、その根元
側が容器本体の導体部にあてがわれ接着剤により容器本
体の導体部に接合されたものであり、外部リードを接合
する接着剤は、該外部リードの先端側と容器本体の導体
部との間に空隙を残し該外部リードの根元付近の狭い範
囲に制限して付着されたものである。
【0014】また前記容器本体は、溝を有し、溝は、接
着剤を受け入れて、これを外部リードの根元付近に押し
止めるものである。
着剤を受け入れて、これを外部リードの根元付近に押し
止めるものである。
【0015】また前記溝は、外部リードの根元付近に隣
接して設けられたものである。
接して設けられたものである。
【0016】また前記外部リードは、その先端部側が容
器本体との間に間隙をもつ形状に折曲加工されたもので
ある。
器本体との間に間隙をもつ形状に折曲加工されたもので
ある。
【0017】また前記容器本体は、セラミック基板から
なるものである。
なるものである。
【0018】
【作用】従来技術(特開昭57−1250号)において
も、述べられている通り、外部リードの取り付けにあた
って、ロー材量を少なくすることにより、外部リードの
接着強度が向上する。そこで本発明では、ロー材を外部
リードの根元側に押し止める、具体的にはロー材を溝に
受け入れて外部リード側に押し止めてロー材の量を必要
最小限として外部リードの接合強度を向上させる。
も、述べられている通り、外部リードの取り付けにあた
って、ロー材量を少なくすることにより、外部リードの
接着強度が向上する。そこで本発明では、ロー材を外部
リードの根元側に押し止める、具体的にはロー材を溝に
受け入れて外部リード側に押し止めてロー材の量を必要
最小限として外部リードの接合強度を向上させる。
【0019】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係
る半導体容器を示す全体図である。図1において、半導
体チップを搭載する容器本体はセラミック基板(以下、
容器本体をセラミック基板という)1から構成され、図
示しない半導体チップの電極に接続される外部リード3
は、セラミック基板1に施されたメタライズ層2にロー
材(通常はAgCuが用いられる。)4により接続され
る。
して詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係
る半導体容器を示す全体図である。図1において、半導
体チップを搭載する容器本体はセラミック基板(以下、
容器本体をセラミック基板という)1から構成され、図
示しない半導体チップの電極に接続される外部リード3
は、セラミック基板1に施されたメタライズ層2にロー
材(通常はAgCuが用いられる。)4により接続され
る。
【0020】図2は、図1のA部を拡大したものであっ
て、外部リード3のろう付されている部分を示す断面図
である。図示はしていないが、メタライズ層2は、タン
グステンあるいは、モリブデン・マンガン等の焼き付け
を行い、さらにろう付を強固にするために、Niメッキ
等の適当な表面処理が施されている。
て、外部リード3のろう付されている部分を示す断面図
である。図示はしていないが、メタライズ層2は、タン
グステンあるいは、モリブデン・マンガン等の焼き付け
を行い、さらにろう付を強固にするために、Niメッキ
等の適当な表面処理が施されている。
【0021】本発明に係る外部リード3は、その根元側
3aがセラミック基板1の導体部(以下、メタライズ層
という)2にあてがわれロー材(接着剤)4によりセラ
ミック基板1のメタライズ層2に接合されるようになっ
ており、外部リード3を接合するロー材4は、外部リー
ド3の先端側3bとセラミック基板1のメタライズ層2
の間に空隙Sを残し、外部リード3の根元側3a付近の
狭い範囲に制限して付着されるようになっている。
3aがセラミック基板1の導体部(以下、メタライズ層
という)2にあてがわれロー材(接着剤)4によりセラ
ミック基板1のメタライズ層2に接合されるようになっ
ており、外部リード3を接合するロー材4は、外部リー
ド3の先端側3bとセラミック基板1のメタライズ層2
の間に空隙Sを残し、外部リード3の根元側3a付近の
狭い範囲に制限して付着されるようになっている。
【0022】ここに、ろう付される外部リード3は、通
常コバー等の材料が用いられ、Ni等の表面処理がされ
ており、外部リード3は、AgCu等のロー材4により
接着される。ロー材としてのAgCuには共晶合金を使
用し、650℃程度の炉の中でロー材を溶融させること
により、ろう付を行うことができる。
常コバー等の材料が用いられ、Ni等の表面処理がされ
ており、外部リード3は、AgCu等のロー材4により
接着される。ロー材としてのAgCuには共晶合金を使
用し、650℃程度の炉の中でロー材を溶融させること
により、ろう付を行うことができる。
【0023】ロー材4を外部リード3の先端側3bとセ
ラミック基板1のメタライズ層2の間に空隙Sを残し外
部リード3の根元側3a付近の狭い範囲に制限して付着
するための具体例としては、セラミック基板1に溝5を
設け、溝5にロー材4を受け入れて、これを外部リード
3の根元側3a付近に押し止めるようにしている。その
ため溝5は、外部リード3の根元側3a付近に隣接して
設けられている。
ラミック基板1のメタライズ層2の間に空隙Sを残し外
部リード3の根元側3a付近の狭い範囲に制限して付着
するための具体例としては、セラミック基板1に溝5を
設け、溝5にロー材4を受け入れて、これを外部リード
3の根元側3a付近に押し止めるようにしている。その
ため溝5は、外部リード3の根元側3a付近に隣接して
設けられている。
【0024】また外部リード3は、その先端側3bがセ
ラミック基板1のメタライズ層2との間に空隙Sをもつ
形状に折曲加工されている。したがって、ロー材4は、
外部リード3の先端側3bとセラミック基板1のメタラ
イズ層2の間に空隙Sを残し、外部リード3の根元側3
a付近の狭い範囲に制限して付着されるようになってい
る。
ラミック基板1のメタライズ層2との間に空隙Sをもつ
形状に折曲加工されている。したがって、ロー材4は、
外部リード3の先端側3bとセラミック基板1のメタラ
イズ層2の間に空隙Sを残し、外部リード3の根元側3
a付近の狭い範囲に制限して付着されるようになってい
る。
【0025】このとき、メタライズ層2と外部リード3
との間の空隙S内に介在するロー材4は、溝5があるた
め、余分のものが溝5に流れ込み、外部リード3の先端
側3bとメタライズ層2の間には充填されることがな
く、図2のような形状となる。
との間の空隙S内に介在するロー材4は、溝5があるた
め、余分のものが溝5に流れ込み、外部リード3の先端
側3bとメタライズ層2の間には充填されることがな
く、図2のような形状となる。
【0026】ロー材4と外部リード3の接着面積が大き
ければ、外部リード3の接着強度が向上するという考え
方が従来あったが、むしろ外部リード3の先端側3bと
メタライズ層2の間にはロー材4を充填せずに、図2に
示す本発明のように外部リード3の根元側3a付近の狭
い範囲に制限して付着するようにすることにより、外部
リード3の接着強度が増すことが分かった。
ければ、外部リード3の接着強度が向上するという考え
方が従来あったが、むしろ外部リード3の先端側3bと
メタライズ層2の間にはロー材4を充填せずに、図2に
示す本発明のように外部リード3の根元側3a付近の狭
い範囲に制限して付着するようにすることにより、外部
リード3の接着強度が増すことが分かった。
【0027】図2に示すように外部リード3にリード方
向に対し、垂直方向に外力が加えられた場合、その応力
は、メタライズ層2の中間部2bに加わり、セラミック
基板1の端部1aに応力が加わらない構造となってい
る。もし、セラミック基板1の端部1aに応力が加わる
と、メタライズ層2を剥がす方向に力が加わるため、比
較的弱い力でも剥がれが進行し、メタライズ層2の中間
部2bに応力が作用した場合に比べ、5分の1以下に強
度が低下する。セラミック基板1の端部1aまでロー材
4が流れた従来品(サンプルA品)と、メタライズ層2
の中間部2bまでに留まった本発明の実施形態に係るも
の(サンプルB品)のリード引張強度の試験結果を表1
に示す。
向に対し、垂直方向に外力が加えられた場合、その応力
は、メタライズ層2の中間部2bに加わり、セラミック
基板1の端部1aに応力が加わらない構造となってい
る。もし、セラミック基板1の端部1aに応力が加わる
と、メタライズ層2を剥がす方向に力が加わるため、比
較的弱い力でも剥がれが進行し、メタライズ層2の中間
部2bに応力が作用した場合に比べ、5分の1以下に強
度が低下する。セラミック基板1の端部1aまでロー材
4が流れた従来品(サンプルA品)と、メタライズ層2
の中間部2bまでに留まった本発明の実施形態に係るも
の(サンプルB品)のリード引張強度の試験結果を表1
に示す。
【0028】
【表1】
【0029】表1では、長さ9mm,幅2mm,厚さ
0.1mmのコバールからなる外部リード3を、アルミ
ナセラミック基板1上にMo−Mnペーストを用いて形
成されたメタライズ層2上に、ロー材4としてAgを用
いて接着したもののうち、ロー材4がセラミック基板1
の端部1aまで充填されたものをサンプルA品(従来
品)、ロー材4がメタライズ層2の中間部2bまでしか
充填されず、外部リード3の先端側3bに未充填部(空
隙S)を有するサンプルB品(本発明品)について、そ
れぞれ外部リードを垂直方向に引き上げたときの引張強
度をまとめたものである。表1からわかる通り、ロー材
の流れ具合及び充填不具合により、本発明品に係るサン
プルB品は、従来品のサンプルA品に対して強度が約1
桁改善されることが分かる。
0.1mmのコバールからなる外部リード3を、アルミ
ナセラミック基板1上にMo−Mnペーストを用いて形
成されたメタライズ層2上に、ロー材4としてAgを用
いて接着したもののうち、ロー材4がセラミック基板1
の端部1aまで充填されたものをサンプルA品(従来
品)、ロー材4がメタライズ層2の中間部2bまでしか
充填されず、外部リード3の先端側3bに未充填部(空
隙S)を有するサンプルB品(本発明品)について、そ
れぞれ外部リードを垂直方向に引き上げたときの引張強
度をまとめたものである。表1からわかる通り、ロー材
の流れ具合及び充填不具合により、本発明品に係るサン
プルB品は、従来品のサンプルA品に対して強度が約1
桁改善されることが分かる。
【0030】
【発明の効果】以上のように本発明は、ろう付け工程に
おけるロー材のバラツキ,ロー材の量が多い場合、ある
いは、ロー材が溶融したときのロー材を溝で吸収するた
め、外部リードの接着強度を向上でき、接着強度のバラ
ツキを少なくできるという効果を有する。
おけるロー材のバラツキ,ロー材の量が多い場合、ある
いは、ロー材が溶融したときのロー材を溝で吸収するた
め、外部リードの接着強度を向上でき、接着強度のバラ
ツキを少なくできるという効果を有する。
【図1】本発明の一実施形態を示す全体図である。
【図2】図1のA部拡大断面図である。
【図3】従来例を示す断面図である。
【図4】従来例を示す断面図である。
【図5】従来例を示す断面図である。
【図6】従来例を示す断面図である。
【図7】従来例を示す斜視図である。
1 セラミック基板 2 メタライズ層 3 外部リード 4 ロー材 5 溝
Claims (5)
- 【請求項1】 容器本体に半導体チップを搭載してなる
半導体容器であって、 半導体チップに接続される外部リードを有し、 外部リードは、その根元側が容器本体の導体部にあてが
われ接着剤により容器本体の導体部に接合されたもので
あり、 外部リードを接合する接着剤は、該外部リードの先端側
と容器本体の導体部との間に空隙を残し該外部リードの
根元付近の狭い範囲に制限して付着されたものであるこ
とを特徴とする半導体容器。 - 【請求項2】 前記容器本体は、溝を有し、 溝は、接着剤を受け入れて、これを外部リードの根元付
近に押し止めるものであることを特徴とする請求項1に
記載の半導体容器。 - 【請求項3】 前記溝は、外部リードの根元付近に隣接
して設けられたものであることを特徴とする請求項2に
記載の半導体容器。 - 【請求項4】 前記外部リードは、その先端部側が容器
本体との間に間隙をもつ形状に折曲加工されたものであ
ることを特徴とする請求項1に記載の半導体容器。 - 【請求項5】 前記容器本体は、セラミック基板からな
るものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体
容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8095360A JP2861926B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 半導体容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8095360A JP2861926B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 半導体容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283653A true JPH09283653A (ja) | 1997-10-31 |
| JP2861926B2 JP2861926B2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=14135479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8095360A Expired - Fee Related JP2861926B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 半導体容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2861926B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007165714A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
| JP2012074667A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-04-12 | Kyocera Corp | 配線基板 |
| JP2017079258A (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用基板および電子装置 |
| WO2024176740A1 (ja) * | 2023-02-20 | 2024-08-29 | ローム株式会社 | 半導体装置および車両 |
Citations (2)
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| JPH06181276A (ja) * | 1992-12-15 | 1994-06-28 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置用リード |
| JPH06268093A (ja) * | 1992-03-02 | 1994-09-22 | Nec Corp | セラミックパッケージ型半導体装置 |
-
1996
- 1996-04-17 JP JP8095360A patent/JP2861926B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
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