JPH09285950A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学結晶や光学ガラスなどの被研磨材料の研
磨中に生じるピッチ盤の摩耗による表面の窪みを磨削、
修正して、被研磨材料の研磨面の平坦性を向上し、しか
も研磨面に微少な傷が発生することなく精密に研磨する
ことが可能な研磨装置ならびに研磨方法を提供する。 【解決手段】 略円柱形状のドレッサー部材１４の両端
部に不均衡な重錘部材１６を装着するとともに、ドレッ
サー部材１４を、研磨装置本体部３に固設されたストッ
パー部材１２に当接させて、ピッチ盤６の回転中心近傍
をピッチ盤を横切るように、ピッチ盤上面に遊動可能に
載置して、ピッチ盤６を回転させ、被研磨材料保持装置
８によって、被研磨材料Ａをピッチ盤上面に当接させて
研磨する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種光学機械や精
密測定器械などに用いられる光学結晶や光学ガラスなど
を、精密に研磨加工するための研磨装置、及び研磨方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】このような各種光学機械や精密測定器械
などに用いられる、例えばＫＮｂＯ₃などの光学結晶や
光学ガラスなどは、非常に精密な精度が必要とされてお
り、光学結晶や光学ガラスを研磨加工する際には、その
研磨面の平坦度を、光の波長の四分の１以下にすること
が求められている。従来より、このような高い精度で光
学結晶や光学ガラスなどの被研磨材料を、アスファルト
や松脂などの樹脂を溶融して円盤状に成形したピッチ盤
を用いた研磨装置を用いて研磨することが行われてい
る。

【０００３】図６及び図７に示したように、このような
研磨装置１００は、駆動モータ１０２の回転軸１０３に
ギアなど（図示せず）を介して接続されて回転駆動する
円盤状の回転テーブル１０４と、回転テーブル１０４の
上面に固着された円盤状のピッチ盤１０６を備えてい
る。また、研磨装置本体１０１には、被研磨材料Ａを保
持してピッチ盤１０６上に当接（押しつけ）して研磨す
る被研磨材料保持装置１０８と、研磨作業で摩耗したピ
ッチ盤１０６の上面を磨削してその平坦度を保つための
ドレッサー装置１１０が設けられている。なお、ピッチ
盤１０６の表面には、研磨の際の研磨材のトラップや研
磨屑を逃すために、同心円状に溝１０６Ａが形成されて
いる。

【０００４】また、被研磨材料保持装置１０８には、被
研磨材料保持装置本体１０８Ａに固定された２本の保持
棒部材１０８Ｂの先端部に、回転ローラ１０８Ｃが設け
られており、この回転ローラ１０８Ｃが、リング状の被
研磨材料固定部材１０８Ｄの外周に設けられたガイド溝
１０８Ｅ内を回転可能に嵌着されている。そして、被研
磨材料Ａを被研磨材料固定部材１０８Ｄのリング内に固
定保持して、ピッチ盤１０６上に当接して研磨するよう
になっている。

【０００５】一方、ドレッサー装置１１０には、円盤状
の金属製のブロック１１０Ｂの下面に円柱状の複数個の
ガラスからなるドレッサー部材１１０Ｃが接着されてお
り、ブロック１１０Ｂの上面中心にはブロック保持ネジ
部材１１０Ｄが回転可能にベアリング１１０Ｄ’を介し
て接続されている。そして、ブロック保持ネジ部材１１
０Ｄが、ドレッサー装置本体に１１０Ａに設けられた支
持部材１１０Ｅに螺合されて、ブロック保持ネジ部材１
１０Ｄの上部に設けられたハンドル部１１０Ｆを回転さ
せることによって、ブロック１１０Ｂを上下動させて、
その下面のドレッサー部材１１０Ｃをピッチ盤１０６に
当接させることによって、ピッチ盤１０６の平坦度を保
つためにピッチ盤１０６を磨削して、平坦性を修正する
ようになっている。なお、このブロック１１０Ｂは、モ
ータ１１０Ｆを介してローラ１１０Ｇによって回転する
ようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このような研磨装置１
００を用いて、被研磨材料Ａを研磨する場合には、図８
に示したように、ピッチ盤１０６を回転させることによ
って、その上に当接している被研磨材料Ａは、被研磨材
料固定部材１０８Ｄとともに引きづられて、回転ローラ
１０８Ｃで受けられて、被研磨材料固定部材１０８Ｄと
ともに自転するか、又は別途設けられたモータの回転駆
動力によって、回転ローラ１０８Ｃを回転させることに
よって、被研磨材料固定部材１０８Ｄ、すなわち被研磨
材料Ａを回転させるようになっている。そして、この状
態で、ピッチ盤１０６の上面に砥粒液を滴下することに
よって、研磨材である砥粒が、ピッチ盤１０６の表面に
くい込み、又はピッチ盤１０６の表面に漂って、被研磨
材料Ａの研磨面が研磨されるようになっている。

【０００７】ところで、研磨が進行するにつれて、ピッ
チ盤１０６の表面も摩耗していくが、被研磨材料保持装
置１０８の加重が偏っている場合には、図９に示したよ
うに、ピッチ盤１０６の表面に、半径方向に窪み１０６
Ｂが生じるようになる。この場合、被研磨材料Ａの研磨
面は、接触するピッチ盤１０６の表面の形状が転写され
ていくことになるので、このような窪み１０６Ｂの発生
は被研磨材料Ａの研磨面の平坦度を低下させることにな
る。

【０００８】従って、ドレッサー装置１１０のブロック
１１０Ｂを下降させて、その下面のドレッサー部材１１
０Ｃをピッチ盤１０６に当接させることによって、被研
磨材料Ａの研磨と同時に、ピッチ盤１０６を磨削して、
ピッチ盤１０６の表面の平坦性を修正するようになって
いる。

【０００９】しかしながら、このような複数個のガラス
円柱からなるドレッサー部材１１０Ｃでは、ドレッサー
部材と接するピッチ盤１０６の表面の窪み１０６Ｂを全
て修正することは困難であり、図１０に示したように、
ドレッサー部材１１０Ｃがピッチ盤１０６の半径までの
領域のみ磨削することになるので、ドレッサー部材１１
０Ｃによる窪み１０６Ｃが生じて、直径方向に２つの窪
み、すなわち、ピッチ盤全体で見るとドーナッツ状の窪
みが生じることになって好ましくなかった。特に、ドレ
ッサーに偏加重が加わっている場合には、この窪み１０
６Ｃは大きくなってしまい、被研磨材料Ａの平坦性が損
なわれる原因となっている。

【００１０】この問題を解消するために、ドレッサーを
ピッチ盤１０６の半径方向に揺動させることが考えられ
るが、揺動させるために複雑な揺動装置が必要となり好
ましくなかった。また、ドレッサーの直径をピッチ盤１
０６の半径以上の大きさとして、ピッチ盤１０６の表面
の窪み１０６Ｂを全て修正することが考えられるが、ド
レッサーのピッチ盤１０６上で占める領域が大きくな
り、被研磨材料Ａを研磨するために使用できる領域が小
さくなってしまい、被研磨材料固定部材１０８Ｄすなわ
ち、被研磨材料Ａの大きさが制約を受けることになり、
ドレッサ自体が大きく且つ重くなるので、取り扱いに不
便であった。

【００１１】また、このような従来の複数の円柱状のガ
ラスからなるドレッサー部材１１０Ｃでは、図１１及び
図１２に示したように、ピッチ盤１０６の表面とドレッ
サー部材１１０Ｃのエッジ部分でチッピングが生じて粗
い異物（バリ）Ｂが発生して、このために被研磨材料Ａ
の研磨面に微少な傷が発生してしまい好ましくなかっ
た。

【００１２】本発明は、このような現状を考慮して、光
学結晶や光学ガラスなどの被研磨材料の研磨中に生じる
ピッチ盤の摩耗による表面の窪みを磨削、修正して、被
研磨材料の研磨面の平坦性を向上し、しかも研磨面に微
少な傷が発生することなく精密に研磨することが可能な
研磨装置ならびに研磨方法を提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、前述したよう
な従来技術における課題及び目的を達成するために発明
なされたものであって、本発明の研磨装置は、ピッチ盤
上面の研磨によって摩耗した研磨面を平坦に磨削するド
レッサー装置を、ピッチ盤の回転中心近傍をピッチ盤を
横切るように、ピッチ盤上面に遊動可能に載置された略
円柱形状のドレッサー部材と、ドレッサー部材に当接し
て、ドレッサー部材がピッチ盤上面において転動するの
を抑止する、研磨装置本体部に固設されたストッパー部
材と、ドレッサー部材の両端部に脱着自在に装着して、
ドレッサー部材に偏加重を負荷する重錘部材とから構成
したことを特徴とする。

【００１４】また、本発明の研磨方法は、略円柱形状の
ドレッサー部材の両端部に不均衡な重錘部材を装着する
とともに、ドレッサー部材を、研磨装置本体部に固設さ
れたストッパー部材に当接させて、ピッチ盤の回転中心
近傍をピッチ盤を横切るように、ピッチ盤上面に遊動可
能に載置して、ピッチ盤を回転させ、被研磨材料保持装
置によって、被研磨材料をピッチ盤上面に当接させて研
磨することを特徴とする。

【００１５】このように、略円柱形状のドレッサー部材
の両端部に不均衡な重錘部材を装着して、ピッチ盤の回
転中心近傍をピッチ盤を横切るように、ピッチ盤上面に
ドレッサー部材を遊動可能に載置して、ピッチ盤の回転
方向に対してストッパー部材に当接させて、ピッチ盤を
回転させることによって、加重の重い方では、ピッチ盤
の表面の移動方向（回転方向）と同じ方向にドレッサー
部材が回転するダウンローリングで、加重の軽い方で
は、ピッチ盤の表面の移動方向と逆向きに回転するアッ
パーローリングすることになり、その結果、ドレッサー
部材はピッチ盤上で同一方向に回転することになる。

【００１６】この際、ドレッサー部材は、ピッチ盤の直
径全体で支持されているので、ピッチ盤表面にドレッサ
ー部材による窪みが生じても、ピッチ盤の直径方向の端
から端にわたる単一の窪みが生じるだけである。被研磨
材料は、ピッチ盤の１半径の領域で研磨されることにな
るので、ピッチ盤の形状が転写されても、図９に示した
従来よりも緩やかになるので、被研磨材料の研磨面の平
坦度が改善されることになる。

【００１７】また、本発明のドレッサー部材では、ピッ
チ盤と接する表面にエッジが存在しないので、従来のよ
うに、エッジ部分でチッピングが生じて粗い異物（バ
リ）が発生して、被研磨材料の研磨面に微少な傷が発生
することがない。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明では、ドレッサー部材が、
軸方向中央部に向かって直径が減少するテーパー形状に
形成されているのが、ピッチ盤の摩耗による窪みを磨削
して、窪みがより浅く修正できるので好ましく、この減
少割合としては、ピッチ盤の両端に接するドレッサー部
材の直径に対して、ドレッサー部材の軸方向中央部の直
径がドレッサの長さの０〜１／３００だけ細くしたの
が、窪み減少効果のためには好ましい。また、ドレッサ
ー部材としては、耐食性、耐磨耗性に優れているステン
レス鋼などの金属材料、またはガラス、アルミナなどの
非金属など、ピッチ盤の材質に応じて選択することが可
能である。

【００１９】また、重錘部材は、リング状の金属製の重
りで、ドレッサー部材の両端に設けたネジ孔に、ネジに
よって脱着自在に取り付ける構造にするのが好ましい。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいてより
詳細に説明する。図１は、本発明の研磨装置の斜視図で
あり、図２は、図１の部分的な平面図である。

【００２１】図において、１は全体で本発明の研磨装置
を示しており、研磨装置１は、駆動モータ２の回転軸
３’にギアなど（図示せず）を介して接続されて回転駆
動する円盤状の回転テーブル４と、回転テーブル４の上
面に固着された円盤状のピッチ盤６を備えている。な
お、ピッチ盤６は、アスファルトや松脂などの樹脂を溶
融して円盤状に成形したもので、ピッチ盤６の表面に
は、研磨の際の研磨材のトラップや研磨屑を逃すため
に、同心円状に溝６Ａが形成されている。

【００２２】また、研磨装置本体３には、被研磨材料Ａ
を保持してピッチ盤６上に当接させて研磨する被研磨材
料保持装置８と、研磨作業で摩耗したピッチ盤６の上面
を磨削してその平坦度を保つためのドレッサー装置１０
が設けられている。

【００２３】また、被研磨材料保持装置８には、被研磨
材料保持装置本体８Ａに固定された２本の保持棒部材８
Ｂの先端部に、回転ローラ８Ｃが設けられており、この
回転ローラ８Ｃが、リング状の被研磨材料固定部材８Ｄ
の外周に設けられたガイド溝（図示せず）内を回転可能
に嵌着されている。そして、被研磨材料Ａを被研磨材料
固定部材８Ｄのリング内にネジ止めなどの周知の固定手
段によって固定保持して、ピッチ盤６を回転させて、ピ
ッチ盤６上に当接することによって、被研磨材料Ａを保
持した被研磨材料固定部材８Ｄが回転ローラ８Ｃを介し
て自転して、研磨するようになっている。

【００２４】一方、ドレッサー装置１０は、研磨装置本
体３上において、ピッチ盤６の直径を挟んで両側の端部
に固定的に立設された２個のストッパー部材１２と、ピ
ッチ盤の回転中心近傍をピッチ盤を横切るように、ピッ
チ盤６の上面に遊動可能に載置された略円柱形状のドレ
ッサー部材１４と、ドレッサー部材の両端部に脱着自在
に装着して、ドレッサー部材１４に偏加重を負荷する重
錘部材１６とを備えている。

【００２５】すなわち、ドレッサー部材１４は、ピッチ
盤６の直径より僅かに大きい長さを有する略円柱形状の
ドレッサー本体１４Ａと、その両端のドレッサー本体１
４Ａよりも小径のドレッサー支持部１４Ｂ、１４Ｃから
構成されている。そして、このドレッサー支持部１４
Ｂ、１４Ｃが、ピッチ盤６が回転する際に、図２に示し
たように、ストッパー部材１２に当接することによっ
て、ドレッサー部材１４がピッチ盤６上を転動するのが
抑止されるようになっている。なお、このように、ドレ
ッサー部材１４は、ピッチ盤６の回転方向には移動でき
ないようになっているが、ピッチ盤６の表面に垂直な方
向の上下動、及びドレッサー部材１４の軸周りの回転
（すなわち自転）は可能となっている。

【００２６】また、図３に示したように、ドレッサー部
材１４の両端部のドレッサー支持部１４Ｂ、１４Ｃの先
端部近傍には、複数個のネジ孔１５が形成されており、
リング状の重錘部材１６をドレッサー支持部１４Ｂ、１
４Ｃに挿通した後、このネジ孔１５に、重錘部材１６に
設けられた取付ネジ１７を螺着することによって、重錘
部材１６をドレッサー部材１４の両端部のドレッサー支
持部１４Ｂ、１４Ｃに脱着自在に装着できるように構成
されている。

【００２７】なお、ドレッサー部材１４のドレッサー本
体１４Ａは、軸方向中央部に向かって直径が減少するテ
ーパー形状に形成されているのが、ピッチ盤６の摩耗に
よる窪みを磨削して、窪みがより浅く修正できるので好
ましく、この減少割合としては、ピッチ盤の両端に接す
るドレッサー部材１４のドレッサー本体１４Ａの直径に
対して、ドレッサー部材１４のドレッサー本体１４Ａの
軸方向中央部の直径がドレッサの長さの０〜１／３００
だけ細くしたのが、ピッチ盤６の窪みを磨削する効果、
作業領域などを考慮すれば好ましい。

【００２８】また、ドレッサー部材の材質は、特に限定
されるものではないが、耐食性、耐磨耗性に優れている
ステンレス鋼などの金属材料、またはガラス、アルミナ
などの非金属など、ピッチ盤６の材質に応じて選択すれ
ばよい。

【００２９】本発明の研磨方法では、このように構成さ
れる研磨装置１を用いて、ドレッサー部材１４の両端部
に不均衡な重錘部材１６を装着して、ピッチ盤６の回転
中心近傍をピッチ盤を横切るように、ピッチ盤上面にド
レッサー部材１４を遊動可能に載置し、ピッチ盤６の回
転方向に対してストッパー部材１２に当接させて、その
ピッチ盤を回転させる。それとともに、被研磨材料保持
装置８を用いて、被研磨材料Ａを被研磨材料固定部材８
Ｄのリング内に固定保持して、ピッチ盤６上に当接して
研磨する。

【００３０】これによって、図４に示したように、ドレ
ッサー部材１４の加重の重い方（図において右側、すな
わち１４Ｃ側）では、ピッチ盤の表面の移動方向（回転
方向）Ｂと同じ方向Ｃにドレッサー部材１４が回転する
ダウンローリングで、加重の軽い方（図において左側、
すなわち１４Ｂ側）では、ピッチ盤の表面の移動方向Ｄ
と逆向きＥに回転するアッパーローリングすることにな
る。その結果、ドレッサー部材はピッチ盤６上で同一方
向にその長手方向の軸Ｆの周りに回転することになっ
て、ドレッサー部材１４のドレッサー本体１４Ａの特に
加重の重い側にて、ピッチ盤６の表面の被研磨材料Ａの
研磨によって生じた窪み６Ｂが磨削され修正されるよう
になっている。

【００３１】この際、ドレッサー部材１４は、ピッチ盤
６の直径全体で支持されているので、ピッチ盤６表面に
ドレッサー部材１４による窪みが生じても、図５に示し
たように、単一の窪み６Ｃが生じるだけであり、しか
も、被研磨材料Ａは、ピッチ盤６の１半径の領域で研磨
されることになるので、ピッチ盤の形状が転写されて
も、従来よりも緩やかになるので、被研磨材料Ａの研磨
面の平坦度が改善されることになる。

【００３２】また、本発明のドレッサー部材１４では、
図４に示したように、ピッチ盤６と接する表面にエッジ
が存在しないので、従来のように、エッジ部分でチッピ
ングが生じて粗い異物（バリ）が発生して、被研磨材料
の研磨面に微少な傷が発生することがない。

【００３３】

【実施例１】直径３０ｍｍＭ、長さ３５ｃｍのステンレ
ス製の丸棒を旋盤を用いて、長手軸方向の中央部の直径
が両端部の直径よりも０．２ｍｍ小さくなるように長さ
方向にテーパー形状に切削した。また、両端部には、リ
ング状の重りに取り付けた取り付けネジによって、重り
を取り付けられるようにネジ加工を施してドレッサーバ
ーとした。

【００３４】一方、アスファルト材を溶融して、金型に
流し込んで直径３０ｃｍの円盤状に成形した。これを研
磨装置の回転テーブルに取り付け、半径方向に移動可能
な治具に取り付けたバイトでピッチ盤の表面を平坦に研
削するとともに、同心円状の溝を半径方向にほぼ１ｃｍ
の間隔で設けて、研磨の際の研磨材のトラップや研磨屑
を逃すセグメントとした。

【００３５】ドレッサーバーの両端を、予め回転テーブ
ルの外側で直径方向に対向する２箇所に設けたストッパ
ーの間に収めるように、ピッチ盤上に載置し、ドレッサ
ーバーの両端にリング状の重しを取り付けネジにて固定
した。この際、両端に不均等な重りを装着した。

【００３６】ピッチ盤を回転っせるとドレッサーバー
は、ピッチ盤上を転がり加重の大きい側でダウンローリ
ングをし、その際にピッチ盤表面に引きづられるが、両
端のストッパーに当接して止まり、長手方向の軸を中心
として回転する。また、ドレッサーバーの重量は、ピッ
チ盤に支持されているだけであり、ストッパー部では鉛
直方向には接触しないで浮いており遊動できるようにな
っている。この状態で、ピッチ盤面上に砥粒液を滴下し
ながらならし運転をした。

【００３７】光学結晶であるＫＮｂＯ₃の単結晶を円柱
形状のステンレス製のブロックの下面にホットメルト接
着剤で固定して研磨試料を作成した。これを、図１に示
したような本発明の被研磨材料保持装置８を用いて、こ
のブロックを被研磨材料固定部材８Ｄのリング内に固定
保持して、ピッチ盤６上にＫＮｂＯ₃の被研磨面を当接
して研磨した。なお、同じように作成した試料につい
て、従来のドレッサーを用いて研磨した。

【００３８】その結果、ＫＮｂＯ₃の単結晶は、非線形
光学結晶として重要であり精密な研磨を必要とするが、
従来のドレッサーを用いると研磨面に微少な傷が発生し
やすく、平坦度も良好ではなかったの対して、本発明で
は、研磨面の平坦度も良好であり、傷がほとんど発生し
なかった。

【００３９】

【発明の効果】本発明に係る研磨装置及び研磨方法によ
れば、略円柱形状のドレッサー部材の両端部に不均衡な
重錘部材を装着して、ピッチ盤の回転中心近傍をピッチ
盤を横切るように、ピッチ盤上面にドレッサー部材を遊
動可能に載置して、ピッチ盤の回転方向に対してストッ
パー部材に当接させて、ピッチ盤を回転させるようにし
たので、以下のような顕著で特有な作用効果を奏する極
めて優れた発明である。 （１）光学結晶や光学ガラスなどの被研磨材料の研磨中
に生じるピッチ盤の摩耗による表面の窪みを磨削、修正
して、ドレッサー部材による窪みが生じても単一の窪み
が生じるだけであり、窪みが緩やかな形状となるので、
被研磨材料の研磨面の平坦性が極めて向上する。 （２）本発明のドレッサー部材では、ピッチ盤と接する
表面にエッジが存在しないので、従来のように、エッジ
部分でチッピングが生じて粗い異物（バリ）が発生し
て、被研磨材料の研磨面に微少な傷が発生することがな
く、精密、高精度なな研磨加工が可能である。 （３）装置の構造が簡単であり、しかもドレッサーの占
有面積が従来と比較して格段と減少できるので、ピッチ
盤上の研削有効面積を広くとれ、処理できる非研磨材料
の数が増加する。 （４）ピッチ盤の材質（硬度）に応じて、ピッチ盤の加
重条件が設定できるので、より精密な研磨加工が可能で
ある。 （５）また、本発明は、平坦な面で研磨加工する装置及
び方法に適用したが、ドレッサーの外形を長手方向に凸
曲線や凹曲線にすることにより、凸面や凹面の研磨加工
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の研磨装置の斜視図である。図１の部分
的な平面図である。

【図２】図１の部分的な平面図である。

【図３】本発明の研磨装置のドレッサー部材端部と重錘
部材との結合状態を説明する断面図である。

【図４】本発明の研磨装置のドレッサー部材のピッチ盤
上での動作状態を説明する概略図である。

【図５】本発明の研磨装置のドレッサー部材によるピッ
チ盤の磨削状態を説明する部分縦断面図である。

【図６】従来の研磨装置の斜視図である。

【図７】従来の研磨装置の部分縦断面図である。

【図８】図７のＩ−Ｉ線についての平面図である。

【図９】従来の研磨装置の被研磨材料を研磨した際のピ
ッチ盤の窪みの状態を説明する部分縦断面図である。

【図１０】従来の研磨装置の被研磨材料を研磨した際の
ピッチ盤の窪みをドレッサー装置で磨削修正した状態を
説明する部分縦断面図である。

【図１１】従来の研磨装置のドレッサー装置でピッチ盤
を磨削修正する状態を説明する部分拡大斜視図である。

【図１２】従来の研磨装置のドレッサー装置でピッチ盤
を磨削修正する状態を説明する部分拡大断面図である。

【符号の説明】

１・・・…研磨装置 ２・・・モータ ４・・・回転テーブル ６・・・ピッチ盤 ８・・・被研磨材料保持装置 ８Ｂ・・・保持棒部材 ８Ｃ・・・機転ローラ ８Ｄ・・・被研磨材料固定部材 １０・・・ドレッサー装置 １２・・・ストッパー部材 １４・・・ドレッサー部材 １４Ａ・・・ドレッサー本体 １４Ｂ，１４Ｃ・・・ドレッサー支持部 １６・・・重錘部材 Ａ・・・被研磨材料

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学結晶や光学ガラスなどの被研磨材料
   を研磨加工するための研磨装置であって、 モータに接続されて回転駆動する円盤状の回転テーブル
   と、 前記回転テーブル上面に装着され、回転テーブルととも
   に回転する円盤状のピッチ盤と、 被研磨材料を保持して、被研磨材料をピッチ盤上面に当
   接させて研磨する被研磨材料保持装置と、 前記ピッチ盤上面の研磨によって摩耗した研磨面を平坦
   に磨削するドレッサー装置とから構成され、 前記ドレッサー装置が、 ピッチ盤の回転中心近傍をピッチ盤を横切るように、ピ
   ッチ盤上面に遊動可能に載置された略円柱形状のドレッ
   サー部材と、 前記ドレッサー部材に当接して、ドレッサー部材がピッ
   チ盤上面において転動するのを抑止する、研磨装置本体
   部に固設されたストッパー部材とから構成したことを特
   徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】 前記ドレッサー部材の両端部に脱着自在
   に装着して、ドレッサー部材に偏加重を負荷する重錘部
   材を備えることを特徴とする請求項１に記載の研磨装
   置。
3. 【請求項３】 前記ドレッサー部材が、軸方向中央部に
   向かって直径が減少するテーパー形状に形成されている
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨装置。
4. 【請求項４】 モータに接続されて回転駆動する円盤状
   の回転テーブルと、 前記回転テーブル上面に装着され、回転テーブルととも
   に回転する円盤状のピッチ盤と、 被研磨材料を保持して、被研磨材料をピッチ盤上面に当
   接させて研磨する被研磨材料保持装置とから構成される
   研磨装置を用いて、光学結晶や光学ガラスなどの被研磨
   材料を研磨加工するための研磨方法であって、 前記ピッチ盤上面の研磨によって摩耗した研磨面を平坦
   に磨削するために、 略円柱形状のドレッサー部材を、研磨装置本体部に固設
   されたストッパー部材に当接させて、ピッチ盤の回転中
   心近傍をピッチ盤を横切るように、ピッチ盤上面に遊動
   可能に載置して、ピッチ盤を回転させ、 被研磨材料保持装置によって、被研磨材料をピッチ盤上
   面に当接させて研磨することを特徴とする研磨方法。
5. 【請求項５】 前記ドレッサー部材の両端部に不均衡な
   重錘部材を装着して研磨することを特徴とする請求項４
   に記載の研磨方法。
6. 【請求項６】 前記ドレッサー部材が、軸方向中央部に
   向かって直径が減少するテーパー形状に形成されている
   ドレッサー部材であることを特徴とする請求項４又は５
   に記載の研磨方法。