JPH09291000A - 昇降装置 - Google Patents
昇降装置Info
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- JPH09291000A JPH09291000A JP10686896A JP10686896A JPH09291000A JP H09291000 A JPH09291000 A JP H09291000A JP 10686896 A JP10686896 A JP 10686896A JP 10686896 A JP10686896 A JP 10686896A JP H09291000 A JPH09291000 A JP H09291000A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Types And Forms Of Lifts (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来はテストヘッドの昇降を行なうモータを
センサの検出により停止させるものであった為、センサ
の故障やセンサの取付けミスがあると、所定の位置で停
止せず、装置が破損した。また、様々な重量のテストヘ
ッドに見合う推力に簡単に調整できるものではなかっ
た。 【解決手段】 テストヘッド１を搭載する昇降ステージ
２が上下移動可能に案内支持される。上方に向けたエア
シリンダー４のロッドで昇降ステージ２は上下動させら
れる。そして、空気圧源５からエアシリンダー４に供給
する圧縮空気の圧力値をテストヘッド１の重量に応じて
所定の値に減圧調整できるリリーフ付精密減圧弁６が設
けられている。
センサの検出により停止させるものであった為、センサ
の故障やセンサの取付けミスがあると、所定の位置で停
止せず、装置が破損した。また、様々な重量のテストヘ
ッドに見合う推力に簡単に調整できるものではなかっ
た。 【解決手段】 テストヘッド１を搭載する昇降ステージ
２が上下移動可能に案内支持される。上方に向けたエア
シリンダー４のロッドで昇降ステージ２は上下動させら
れる。そして、空気圧源５からエアシリンダー４に供給
する圧縮空気の圧力値をテストヘッド１の重量に応じて
所定の値に減圧調整できるリリーフ付精密減圧弁６が設
けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、昇降装置に関し、
例えば半導体試験装置のテスター（以下、「テストヘッ
ド」と称す）を、テストヘッドと接続されるハンドラへ
昇降させるための昇降装置に関する。
例えば半導体試験装置のテスター（以下、「テストヘッ
ド」と称す）を、テストヘッドと接続されるハンドラへ
昇降させるための昇降装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の昇降装置は、テストヘッ
ドを搭載するステージを上下に移動可能に案内するガイ
ドと、テストヘッドが装着された送りねじと、送りねじ
を回転駆動させるモータと、モータの停止センサ等で構
成されていた。そして、モータの駆動により送りねじに
回転トルクを与えると、テストヘッドは送りねじの推力
により、ガイドに沿って移動する。このときテストヘッ
ドの昇降の方向はモータの回転方向に応じて変更され
る。そして、このテストヘッドの昇降の停止は、センサ
によりヘッド位置を検出した時にモータを停止させるこ
とで行なっていた。
ドを搭載するステージを上下に移動可能に案内するガイ
ドと、テストヘッドが装着された送りねじと、送りねじ
を回転駆動させるモータと、モータの停止センサ等で構
成されていた。そして、モータの駆動により送りねじに
回転トルクを与えると、テストヘッドは送りねじの推力
により、ガイドに沿って移動する。このときテストヘッ
ドの昇降の方向はモータの回転方向に応じて変更され
る。そして、このテストヘッドの昇降の停止は、センサ
によりヘッド位置を検出した時にモータを停止させるこ
とで行なっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の昇降装置は送りねじとモータを備え、テストヘ
ッドの昇降を行なうモータをセンサの検出により停止さ
せるものであった為、センサの故障やセンサの取付け位
置の調整ミス等があると、テストヘッドの昇降を行なう
モータが停止せず、装置が破損してしまうという問題点
があった。
た従来の昇降装置は送りねじとモータを備え、テストヘ
ッドの昇降を行なうモータをセンサの検出により停止さ
せるものであった為、センサの故障やセンサの取付け位
置の調整ミス等があると、テストヘッドの昇降を行なう
モータが停止せず、装置が破損してしまうという問題点
があった。
【０００４】また、昇降させるテストヘッドには様々な
重量のものがある。そのため、テストヘッドが変更され
て重量が大きくなった場合は、その大きな重量に見合う
最大発生トルクを持つモータでないとテストヘッドを上
昇させることができなくなる。一方、テストヘッドの重
量が小さくなった場合は、モータは必要以上の最大発生
トルクを持つものになってしまう。しかし、従来の昇降
装置では、様々な重量のテストヘッドに変えても、その
テストヘッドの重量に見合う推力に簡単に調整する手段
はなかった。
重量のものがある。そのため、テストヘッドが変更され
て重量が大きくなった場合は、その大きな重量に見合う
最大発生トルクを持つモータでないとテストヘッドを上
昇させることができなくなる。一方、テストヘッドの重
量が小さくなった場合は、モータは必要以上の最大発生
トルクを持つものになってしまう。しかし、従来の昇降
装置では、様々な重量のテストヘッドに変えても、その
テストヘッドの重量に見合う推力に簡単に調整する手段
はなかった。
【０００５】本発明の目的は、上記従来技術の問題点に
鑑み、装置の破損を防止すると共に、様々な重量のテス
トヘッドに見合う推力に簡単に調整できる昇降装置を提
供することにある。
鑑み、装置の破損を防止すると共に、様々な重量のテス
トヘッドに見合う推力に簡単に調整できる昇降装置を提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、様々な重量のテストヘッドをハンドラへ昇
降させる昇降装置であって、前記テストヘッドを搭載し
上下移動可能に支持案内された昇降ステージと、上方に
向けたロッドを介して前記昇降ステージを上下移動させ
るエアシリンダーと、前記エアシリンダーの給気口と空
気圧源との間を接続する配管に設けられたリリーフ付精
密減圧弁とを備え、前記リリーフ付精密減圧弁は、前記
空気圧源から前記エアシリンダーに供給する圧縮空気の
圧力値を、前記テストヘッドの重量に応じて所定の値に
減圧調整できるものであることを特徴とする。
に本発明は、様々な重量のテストヘッドをハンドラへ昇
降させる昇降装置であって、前記テストヘッドを搭載し
上下移動可能に支持案内された昇降ステージと、上方に
向けたロッドを介して前記昇降ステージを上下移動させ
るエアシリンダーと、前記エアシリンダーの給気口と空
気圧源との間を接続する配管に設けられたリリーフ付精
密減圧弁とを備え、前記リリーフ付精密減圧弁は、前記
空気圧源から前記エアシリンダーに供給する圧縮空気の
圧力値を、前記テストヘッドの重量に応じて所定の値に
減圧調整できるものであることを特徴とする。
【０００７】上記の昇降装置において、前記テストヘッ
ドを所望の上昇位置で停止保持させるための停止保持ス
トッパーや、昇降ストロークを簡便に調整する調整機構
をさらに備える事が好ましい。また、前記エアシリンダ
ーに供給される圧縮空気の圧力値は、前記リリーフ付精
密減圧弁により、前記テストヘッドを搭載した前記昇降
ステージが所望の上昇位置で停止するのに必要十分な値
に調整される事が好ましい。
ドを所望の上昇位置で停止保持させるための停止保持ス
トッパーや、昇降ストロークを簡便に調整する調整機構
をさらに備える事が好ましい。また、前記エアシリンダ
ーに供給される圧縮空気の圧力値は、前記リリーフ付精
密減圧弁により、前記テストヘッドを搭載した前記昇降
ステージが所望の上昇位置で停止するのに必要十分な値
に調整される事が好ましい。
【０００８】このように構成された発明では、まず、昇
降ステージにテストヘッドが搭載された状態で、エアシ
リンダーに圧縮空気が供給される。次に、リリーフ付精
密減圧弁を調整して、エアシリンダーに供給される圧縮
空気の圧力値が、テストヘッドを搭載した昇降ステージ
が所望の上昇位置で停止するのに必要十分な値にされ
る。このように予めリリーフ付精密減圧弁の調整によっ
て、所望の上昇位置でエアシリンダーの推力とテストヘ
ッドの重量とが釣り合う様にしておく。
降ステージにテストヘッドが搭載された状態で、エアシ
リンダーに圧縮空気が供給される。次に、リリーフ付精
密減圧弁を調整して、エアシリンダーに供給される圧縮
空気の圧力値が、テストヘッドを搭載した昇降ステージ
が所望の上昇位置で停止するのに必要十分な値にされ
る。このように予めリリーフ付精密減圧弁の調整によっ
て、所望の上昇位置でエアシリンダーの推力とテストヘ
ッドの重量とが釣り合う様にしておく。
【０００９】その後、テストヘッドを上昇させる時は、
空気圧源とエアシリンダーの給気口とを結ぶ配管が接続
され、調整された精密減圧弁を介して所定の圧力の圧縮
空気がエアシリンダーに供給される。また、テストヘッ
ドがハンドラによって搬送された後、昇降ステージを下
降させる時は、エアシリンダー内に供給された圧縮空気
を急速に大気にリリーフすればよい。
空気圧源とエアシリンダーの給気口とを結ぶ配管が接続
され、調整された精密減圧弁を介して所定の圧力の圧縮
空気がエアシリンダーに供給される。また、テストヘッ
ドがハンドラによって搬送された後、昇降ステージを下
降させる時は、エアシリンダー内に供給された圧縮空気
を急速に大気にリリーフすればよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１１】（第１の実施形態）図１は本発明の昇降装
置の第１の実施形態を表す全体構成図であり、この図で
は昇降ステージを断面で示してある。また、図２は図１
に示した昇降装置のエアー回路図である。
置の第１の実施形態を表す全体構成図であり、この図で
は昇降ステージを断面で示してある。また、図２は図１
に示した昇降装置のエアー回路図である。
【００１２】本形態の昇降装置は例えばテストヘッドを
ハンドラへ上昇させる場合に用いられ、図１に示すよう
に、テストヘッド１を搭載した昇降ステージ２と、昇降
ステージ２を上下に移動可能に案内するためのガイド３
と、上方に向けたロッドを介して昇降ステージ２を駆動
させるためのエアシリンダー４と、エアシリンダー４の
給気口と空気圧源５との間を接続する配管に設けられ、
所定の圧力値以上になると圧縮空気を大気に開放して減
圧するリリーフ付精密減圧弁６と、から基本的に構成さ
れている。精密減圧弁６には、圧力調整を行なうための
ツマミ６ａと、調整結果を表示する圧力ゲージ（不図
示）とが備えられている。また、昇降ステージ２には、
エアシリンダー４の非駆動時に昇降ステージ２を手動で
操作できる操作ハンドル７も設けられている。さらに
は、上昇ステージ２の上方には、テストヘッド１を上昇
させた際に上昇ステージ２と突き当たる停止保持ストッ
パー８が配されていて、ハンドラ（不図示）に対するテ
ストヘッド１の位置が調整できる様になっている。
ハンドラへ上昇させる場合に用いられ、図１に示すよう
に、テストヘッド１を搭載した昇降ステージ２と、昇降
ステージ２を上下に移動可能に案内するためのガイド３
と、上方に向けたロッドを介して昇降ステージ２を駆動
させるためのエアシリンダー４と、エアシリンダー４の
給気口と空気圧源５との間を接続する配管に設けられ、
所定の圧力値以上になると圧縮空気を大気に開放して減
圧するリリーフ付精密減圧弁６と、から基本的に構成さ
れている。精密減圧弁６には、圧力調整を行なうための
ツマミ６ａと、調整結果を表示する圧力ゲージ（不図
示）とが備えられている。また、昇降ステージ２には、
エアシリンダー４の非駆動時に昇降ステージ２を手動で
操作できる操作ハンドル７も設けられている。さらに
は、上昇ステージ２の上方には、テストヘッド１を上昇
させた際に上昇ステージ２と突き当たる停止保持ストッ
パー８が配されていて、ハンドラ（不図示）に対するテ
ストヘッド１の位置が調整できる様になっている。
【００１３】複数のテストヘッド１を同時に昇降させる
には、図２に示すようにエアシリンダー４を複数個設
け、各々のエアシリンダー４の給気口に対し、空気圧源
５より精密減圧弁６を介した配管を分岐して接続すれば
よい。また、各エアシリンダー４の排気ポートには消音
のためにサイレンサー９を配設してもよい。
には、図２に示すようにエアシリンダー４を複数個設
け、各々のエアシリンダー４の給気口に対し、空気圧源
５より精密減圧弁６を介した配管を分岐して接続すれば
よい。また、各エアシリンダー４の排気ポートには消音
のためにサイレンサー９を配設してもよい。
【００１４】上記の形態の昇降装置では、まず、人が操
作ハンドル７でテストヘッド１が搭載された昇降ステー
ジ２を持ち上げ、ハンドラ（不図示）に対するテストヘ
ッド１の上昇端を、昇降ステージ２が突き当てられる停
止保持ストッパー８の位置を調整して決める。次に、エ
アシリンダー４に圧縮空気が供給される。そして、エア
シリンダー４の推力を精密減圧弁６で調整して、所望の
上昇位置で停止するようにテストヘッド１の重量と釣合
わせる。ここでは、テストヘッド１を載せた昇降ステー
ジ２が停止保持ストッパー８で停止するのに必要十分な
エアシリンダー４の推力を、精密減圧弁６のツマミ６ａ
で調整する。エアシリンダー４の推力の調整は、精密減
圧弁６の圧力ゲージ（不図示）を確認しながら行なわれ
る。
作ハンドル７でテストヘッド１が搭載された昇降ステー
ジ２を持ち上げ、ハンドラ（不図示）に対するテストヘ
ッド１の上昇端を、昇降ステージ２が突き当てられる停
止保持ストッパー８の位置を調整して決める。次に、エ
アシリンダー４に圧縮空気が供給される。そして、エア
シリンダー４の推力を精密減圧弁６で調整して、所望の
上昇位置で停止するようにテストヘッド１の重量と釣合
わせる。ここでは、テストヘッド１を載せた昇降ステー
ジ２が停止保持ストッパー８で停止するのに必要十分な
エアシリンダー４の推力を、精密減圧弁６のツマミ６ａ
で調整する。エアシリンダー４の推力の調整は、精密減
圧弁６の圧力ゲージ（不図示）を確認しながら行なわれ
る。
【００１５】このようにテストヘッド１の重量とのバラ
ンスを見てエアシリンダー４の推力を予め調整してお
く。そして、テストヘッド１を上昇させる時は、空気圧
源５とエアシリンダー４の給気口とを結ぶ配管が接続さ
れ、精密減圧弁６を介して所定の圧力に減圧された圧縮
空気がエアシリンダー４に供給される。また、テストヘ
ッド１がハンドラ（不図示）によって搬送された後、昇
降ステージ２を下降させる時は、エアシリンダー４内に
供給された圧縮空気を精密減圧弁６により急速に大気に
リリーフする。勿論、エアシリンダー４の給気口を、電
磁弁の切換え等で大気と連通させる事でも昇降ステージ
２を自重により下降させることはできる。
ンスを見てエアシリンダー４の推力を予め調整してお
く。そして、テストヘッド１を上昇させる時は、空気圧
源５とエアシリンダー４の給気口とを結ぶ配管が接続さ
れ、精密減圧弁６を介して所定の圧力に減圧された圧縮
空気がエアシリンダー４に供給される。また、テストヘ
ッド１がハンドラ（不図示）によって搬送された後、昇
降ステージ２を下降させる時は、エアシリンダー４内に
供給された圧縮空気を精密減圧弁６により急速に大気に
リリーフする。勿論、エアシリンダー４の給気口を、電
磁弁の切換え等で大気と連通させる事でも昇降ステージ
２を自重により下降させることはできる。
【００１６】（第２の実施形態）図３は本発明の昇降装
置の第２の実施形態を表す全体構成図である。この図に
おいて、第１の実施形態と同一の構成要素には同一符号
を付してある。この形態の昇降装置は図３に示すよう
に、第１の実施形態と同様の昇降ステージ２及び、ガイ
ド３、エアシリンダー４、リリーフ付精密減圧弁６等の
基本的構成に加え、昇降ストロークを簡便に調整する機
構を備えている。
置の第２の実施形態を表す全体構成図である。この図に
おいて、第１の実施形態と同一の構成要素には同一符号
を付してある。この形態の昇降装置は図３に示すよう
に、第１の実施形態と同様の昇降ステージ２及び、ガイ
ド３、エアシリンダー４、リリーフ付精密減圧弁６等の
基本的構成に加え、昇降ストロークを簡便に調整する機
構を備えている。
【００１７】この調整機構は、送りねじ１０、ギアボッ
クス１１および回転ハンドル１２とから構成される。具
体的には、ギアボックス１１は昇降ステージ２の下面側
に固定される。送りねじ１０は昇降ステージ２に形成さ
れた穴１４を通して上下方向に延在させてあり、昇降ス
テージ２の穴１４は送りねじ１０に螺着された螺着部材
１３と嵌合自在にしてある。昇降ステージ２の穴１４と
送りねじ１０の螺着部材１３との嵌合状態は、エアシリ
ンダー４の推力による昇降ステージ２の上昇時のみに容
易に外れる様になっている。
クス１１および回転ハンドル１２とから構成される。具
体的には、ギアボックス１１は昇降ステージ２の下面側
に固定される。送りねじ１０は昇降ステージ２に形成さ
れた穴１４を通して上下方向に延在させてあり、昇降ス
テージ２の穴１４は送りねじ１０に螺着された螺着部材
１３と嵌合自在にしてある。昇降ステージ２の穴１４と
送りねじ１０の螺着部材１３との嵌合状態は、エアシリ
ンダー４の推力による昇降ステージ２の上昇時のみに容
易に外れる様になっている。
【００１８】ここで、上記の調整機構の動作について説
明する。エアシリンダー４の給気口が大気と連通してい
る時、昇降ステージ２の自重によって昇降ステージ２の
穴１４と送りねじ１０の螺着部材１３とは嵌合状態にあ
る。この状態で、回転ハンドル１２を回すと、その回転
ハンドル１２の回転がギアボックス１１を介して送りね
じ１０に伝達され、送りねじ１０は回転し、螺着部材１
３と共に昇降ステージ２が昇降する。このように回転ハ
ンドル１２を回して昇降ステージ２の下限位置を変更す
ることで、昇降ストロークが調整できる。
明する。エアシリンダー４の給気口が大気と連通してい
る時、昇降ステージ２の自重によって昇降ステージ２の
穴１４と送りねじ１０の螺着部材１３とは嵌合状態にあ
る。この状態で、回転ハンドル１２を回すと、その回転
ハンドル１２の回転がギアボックス１１を介して送りね
じ１０に伝達され、送りねじ１０は回転し、螺着部材１
３と共に昇降ステージ２が昇降する。このように回転ハ
ンドル１２を回して昇降ステージ２の下限位置を変更す
ることで、昇降ストロークが調整できる。
【００１９】昇降ストロークを設定した後は、第１の実
施形態と同様に、テストヘッド１を載せた昇降ステージ
２が停止保持ストッパー８の位置で停止するのに必要十
分なエアシリンダー４の推力を、精密減圧弁６のツマミ
６ａで調整する。そして、テストヘッド１を上昇させる
時及び下降させる時も第１の実施形態と同様に行なう。
施形態と同様に、テストヘッド１を載せた昇降ステージ
２が停止保持ストッパー８の位置で停止するのに必要十
分なエアシリンダー４の推力を、精密減圧弁６のツマミ
６ａで調整する。そして、テストヘッド１を上昇させる
時及び下降させる時も第１の実施形態と同様に行なう。
【００２０】尚、上述した第１及び第２の実施形態は、
ハンドラに対するテストヘッド１の上昇端を停止保持ス
トッパー８の位置で決めているが、停止保持ストッパー
８を使用しなくてもエアシリンダー４の推力とテストヘ
ッド１の重量とのバランスによって上昇端はもちろん決
まる。しかし、テストヘッド１の上昇位置の位置精度を
より良くする為には停止保持ストッパー８を用いる事が
好ましい。
ハンドラに対するテストヘッド１の上昇端を停止保持ス
トッパー８の位置で決めているが、停止保持ストッパー
８を使用しなくてもエアシリンダー４の推力とテストヘ
ッド１の重量とのバランスによって上昇端はもちろん決
まる。しかし、テストヘッド１の上昇位置の位置精度を
より良くする為には停止保持ストッパー８を用いる事が
好ましい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明した本発明は、様々な重量のテ
ストヘッドをハンドラへ昇降させる昇降装置であって、
テストヘッドを搭載する昇降ステージを上下移動可能に
案内支持すると共に、上方に向けたエアシリンダーのロ
ッドで前記昇降ステージを上下動させる様に構成し、空
気圧源から前記エアシリンダーに供給する圧縮空気の圧
力値を前記テストヘッドの重量に応じて所定の値に減圧
調整できるリリーフ付精密減圧弁を設けた事により、様
々な重量のテストヘッドに見合う推力に簡単に調整でき
る。
ストヘッドをハンドラへ昇降させる昇降装置であって、
テストヘッドを搭載する昇降ステージを上下移動可能に
案内支持すると共に、上方に向けたエアシリンダーのロ
ッドで前記昇降ステージを上下動させる様に構成し、空
気圧源から前記エアシリンダーに供給する圧縮空気の圧
力値を前記テストヘッドの重量に応じて所定の値に減圧
調整できるリリーフ付精密減圧弁を設けた事により、様
々な重量のテストヘッドに見合う推力に簡単に調整でき
る。
【００２２】また、テストヘッドの重量とシリンダヘッ
ドの推力とのバランスでテストヘッドの上昇位置を決め
ている事により、従来技術のようにセンサの監視によっ
て昇降を停止させるものではないので装置の破損が防止
できる。
ドの推力とのバランスでテストヘッドの上昇位置を決め
ている事により、従来技術のようにセンサの監視によっ
て昇降を停止させるものではないので装置の破損が防止
できる。
【図１】本発明の昇降装置の第１の実施形態を表す全体
構成図である。
構成図である。
【図２】図１に示した昇降装置のエアー回路図である。
【図３】本発明の昇降装置の第２の実施形態を表す全体
構成図である。
構成図である。
１ テストヘッド ２ 昇降ステージ ３ ガイド ４ エアシリンダー ５ 空気圧源 ６ リリーフ付精密減圧弁 ７ 操作ハンドル ８ 停止保持ストッパー ９ サイレンサー １０ 送りねじ １１ ギアボックス １２ 回転ハンドル
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｋ
Claims (4)
- 【請求項１】 様々な重量のテストヘッドをハンドラへ
昇降させる昇降装置であって、 前記テストヘッドを搭載し上下移動可能に支持案内され
た昇降ステージと、 上方に向けたロッドを介して前記昇降ステージを上下移
動させるエアシリンダーと、 前記エアシリンダーの給気口と空気圧源との間を接続す
る配管に設けられたリリーフ付精密減圧弁とを備え、 前記リリーフ付精密減圧弁は、前記空気圧源から前記エ
アシリンダーに供給する圧縮空気の圧力値を、前記テス
トヘッドの重量に応じて所定の値に減圧調整できるもの
であることを特徴とする昇降装置。 - 【請求項２】 前記テストヘッドを所定の上昇位置で停
止保持させるための停止保持ストッパーをさらに備えた
ことを特徴とする請求項１に記載の昇降装置。 - 【請求項３】 前記エアシリンダーに供給される圧縮空
気の圧力値は、前記リリーフ付精密減圧弁により、前記
テストヘッドを搭載した前記昇降ステージが所定の上昇
位置で停止するのに必要十分な値に調整されることを特
徴とする請求項１又は請求項２に記載の昇降装置。 - 【請求項４】 昇降ストロークを簡便に調整する調整機
構をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至３のい
ずれか１項に記載の昇降装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10686896A JPH09291000A (ja) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | 昇降装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10686896A JPH09291000A (ja) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | 昇降装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09291000A true JPH09291000A (ja) | 1997-11-11 |
Family
ID=14444530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10686896A Pending JPH09291000A (ja) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | 昇降装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09291000A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020070121A (ko) * | 2001-02-27 | 2002-09-05 | 안도덴키 가부시키가이샤 | 자동조작기 |
| WO2006137542A1 (ja) * | 2005-06-24 | 2006-12-28 | Toyota Steel Center Co., Ltd. | 搬送物搬送方法及びジャッキ具 |
| JP2007524814A (ja) * | 2003-03-31 | 2007-08-30 | インテスト コーポレイション | テストヘッド位置決めシステムと方法 |
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1996
- 1996-04-26 JP JP10686896A patent/JPH09291000A/ja active Pending
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