JPH09291902A - 油圧アクチュエ−タ用サ−ボ制御装置 - Google Patents

油圧アクチュエ−タ用サ−ボ制御装置

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JPH09291902A
JPH09291902A JP13079296A JP13079296A JPH09291902A JP H09291902 A JPH09291902 A JP H09291902A JP 13079296 A JP13079296 A JP 13079296A JP 13079296 A JP13079296 A JP 13079296A JP H09291902 A JPH09291902 A JP H09291902A
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鏡原  和明
Shinji Noguchi
野口  真児
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 応答遅れを可及な限り解消することのできる
サーボ制御装置を提供しようとするものである。 【構成】 目標値信号aとフィードバック信号bの偏差
に基づき弁駆動信号cを生成する制御信号出力手段5
に、目標値信号aとフィードバック信号bとを受け取っ
て演算し前記弁駆動信号dを補正する補正手段6を設け
ると共に、この補正手段6は、目標値信号aに対するフ
ィードバックバック信号bの応答遅れに関する応答遅れ
関連データを目標値信号aの時間微分値に関連付けて更
新可能に記憶すると共に、実際の目標値信号aの時間微
分値に関連して記憶にかかる応答遅れ関連データを出力
する記憶部6aと、上記記憶部6aから出力される応答
遅れ関連データを受け取り、前記制御弁2に入力する弁
駆動信号dを目標値信号aに対するフィードバック信号
bの応答遅れを減少するのに必要な値に補正する補正部
6bとでもって構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】 この発明は、油圧アクチュエー
タ用サーボ制御装置の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】 図3は従来の油圧アクチュエータ用サ
ーボ制御装置を示している。図3において、油圧アクチ
ュエータ1の制御弁2を制御するサーボ制御装置は、油
圧アクチュエータ1の駆動を指示する目標値信号aを発
生する目標値信号発生手段3、油圧アクチュエータの実
際の駆動状態に係るフィードバック信号を出力する駆動
状態検出手段4、および、前記目標値信号発生手段3か
らの目標値信号aと前記駆動状態検出手段4からのフィ
ードバック信号bを受け取りこれら両信号a,bの偏差
信号cを算出し且つこの偏差信号cに応じて弁駆動信号
dを生成しこの弁駆動信号dを前記制御弁2に出力する
制御信号出力手段5とでもって構成されている。図にお
いて、5aは、制御信号出力手段5に包含されている弁
駆動信号算出部であって、偏差信号cに応じて弁駆動信
号d算出するものである。
【0003】このように構成した油圧アクチュエータ用
サーボ制御装置は、制御信号出力手段5からの弁駆動信
号dが、目標値信号aにフィードバック信号bが追随す
るよう油圧アクチュエータ1の制御弁2を切換操作する
ものであるから、目標値信号aにより油圧アクチュエー
タ1を任意に駆動することができるものである。
【0004】このような油圧アクチュエータ用サーボ制
御装置は、油圧アクチュエータ1の駆動速度を制御する
速度制御用、または油圧アクチュエータ1の駆動位置を
制御する位置制御用として多用されている。速度制御用
では、目標値信号aは油圧アクチュエータ1の駆動速度
を指示する目標駆動速度信号であり、フィードバック信
号bは油圧アクチュエータ1の実際の駆動速度を示す実
際駆動速度信号が用いられる。また、位置制御用では、
目標値信号aは油圧アクチュエータ1の駆動位置を指示
する目標位置信号であり、フィードバック信号bは油圧
アクチュエータ1の実際の駆動位置を示す実際駆動位置
信号が用いられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の油圧ア
クチュエータ用サーボ制御装置は、目標値信号aが指示
する目標値(目標速度または目標位置)と、フィードバ
ック信号bを介して検出される油圧アクチュエータ1の
実際の駆動状態(速度または位置)の間に生じる偏差を
前提として、油圧アクチュエータ1が駆動されるもので
ある。従って、目標値信号aが変動した場合に、油圧ア
クチュエータ1の駆動状態(速度または位置)がこの目
標値の指示する状態(速度または位置)に達するまでに
時間的な遅れ(応答遅れ)がある。このような応答遅れ
は、油圧アクチュエータ1の駆動抵抗(摩擦抵抗、慣性
抵抗)および制御弁の切換抵抗(摩擦抵抗、慣性抵抗)
等、サーボ制御系が必然的に持っており、しかもこの応
答遅れは、機差(同一機種における固体差)および経年
変化によって異なるものである。このため、従来の油圧
アクチュエータ用サーボ制御装置は、油圧アクチュエー
タ1の駆動状態(速度または位置)を変動する目標値信
号aに即応させることが困難であるという問題があっ
た。
【0006】本発明の目的は、従来のサーボ制御装置に
一部構成を付加することにより、従来のサーボ制御装置
が持っていた問題点を解消し、油圧アクチュエータ1の
駆動状態(速度または位置)を、変動する目標値信号a
(速度または位置)に即応させることができる油圧アク
チュエータ用サーボ制御装置を提供しようとするもので
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の油圧アクチュエータ用サーボ制御装置は以
下の如く構成する。油圧アクチュエータ1の制御弁2を
制御するサーボ制御装置であって、油圧アクチュエータ
1の駆動を指示する目標値信号aを発生する目標値信号
発生手段3、油圧アクチュエータの実際の駆動状態に係
るフィードバック信号bを出力する駆動状態検出手段
4、および、前記目標値信号発生手段3からの目標値信
号aと前記駆動状態検出手段4からのフィードバック信
号bを受け取りこれら両信号a,bの偏差信号cを算出
し且つこの偏差信号cに応じて弁駆動信号dを生成しこ
の弁駆動信号dを前記制御弁2に出力する制御信号出力
手段5とを備えたものにおいて、前記制御信号出力手段
5に、目標値信号aとフィードバック信号bとを受け取
って演算し前記弁駆動信号dを補正する補正手段6を設
けると共に、前記補正手段6は、目標値信号aに対する
フィードバック信号bの応答遅れに関する応答遅れ関連
データを目標値信号aの時間微分値に関連付けて更新可
能に記憶すると共に、実際の目標値信号aの時間微分値
に関連して記憶にかかる応答遅れ関連データを出力する
記憶部6aと、上記記憶部6aから出力される応答遅れ
関連データを受け取り、前記制御弁2に入力する弁駆動
信号dを目標値信号aに対するフィードバック信号bの
応答遅れを減少するのに必要な値に補正する補正部6b
とでもって構成したことを特徴とする油圧アクチュエー
タ用サーボ制御装置。
【0008】
【作用】以上の如く構成した本発明の油圧アクチュエー
タ用サーボ制御装置は、変動する目標値信号a(速度ま
たは位置)に対して油圧アクチュエータ1の駆動状態
(速度または位置)の応答が遅れた場合、先ず、制御信
号出力手段5中に付加された補正手段6における記憶部
6aに、この応答遅れに関する応答遅れ関連データが記
憶される。この応答遅れ関連データは、記憶部6aに入
力される目標値信号aとフィードバック信号bを基に算
出されるもので、変動する目標値信号aの時間微分値
(変動速度)に関連付けて更新可能に記憶されるもので
あり、目標値信号aとフィードバック信号bの偏差に関
連するデータである。
【0009】記憶部6aへの上記記憶は、目標値信号a
の時間微分値(変動速度)に関連づけて応答遅れデータ
が更新記憶される。このようにして記憶部6aに記憶さ
れた応答遅れデータ(目標値信号aに対するフィードバ
ック信号bの応答遅れに関する応答遅れ関連データであ
って、目標値信号aの時間微分値に関連付けて更新可能
に記憶されたデータ)は、実際の目標値信号aの時間微
分値(変動速度)に関連して記憶にかかる読み出し信号
によって、該当する応答遅れ関連データが読みだされ
る。
【0010】記憶部6aから読みだされた応答遅れ関連
データ(変動する目標値信号aの実際の時間微分値に対
応するもの)は、補正部6bに入力される。補正部6b
は、入力に係る応答遅れ関連データを基に、制御弁2に
入力する弁駆動信号dを目標値信号aに対するフィード
バック信号bの応答遅れを減少するのに必要な値に補正
するのである。
【0011】その結果、変動する目標値信号aに対する
フィードバック信号bの応答遅れ(換言すれば変動する
目標値信号aの指示に係る油圧アクチュエータ1の速度
または位置に対し、油圧アクチュエータ1の実際の駆動
速度または駆動位置の応答遅れ)は、大幅に減少するの
である。
【0012】
【実施例】以下本発明の油圧アクチュエータ用サーボ制
御装置の実施例を図1および図2に基づいて説明する。
本発明のサーボ制御装置は上述したように、従来のサー
ボ制御装置に一部構成を付加したものであるから、以下
の説明においては上述した従来の油圧アクチュエータ用
サーボ制御装置で用いた符号は同義のものとしてそのま
ま援用する。
【0013】図1において、6は、制御信号出力手段5
中に設けられた補正手段である。補正手段6は、記憶部
6aと補正部6bとから構成されている。前記記憶部6
aには、目標値信号aとフィードバック信号bが入力さ
れている。そして、この補正手段6は、目標値信号aに
対するフィードバック信号bの応答遅れに関する応答遅
れ関連データを目標値信号aの時間微分値に関連付けて
更新可能に記憶しており、且つ実際の目標値信号aの時
間微分値に関連して記憶にかかる応答遅れ関連データを
出力するようになっている。
【0014】従来のサーボ制御装置では、上述したよう
に目標値信号aが変動した場合、目標値信号aに対して
フィードバック信号bが常に遅れて追随する。即ち応答
遅れがある。上記記憶部6aには、この応答遅れに関連
するデータを応答遅れ関連データとして、目標値信号a
の時間微分値(変動速度)に関連付けて更新可能に記憶
するものである。目標値信号aの時間微分値(変動速
度)に関連付けて記憶される応答遅れ関連データとして
は、目標値信号aとフィードバック信号bの偏差に関連
するデータが用いられる。記憶部6aへの上記記憶は、
目標値信号aの時間微分値(変動速度)に該当する応答
遅れデータが更新記憶される。この場合、目標値信号a
が変動した場合において当該変動する目標値信号aの時
間微分値(変動速度)に該当する応答遅れ関連データが
更新記憶されるのは勿論であるが、目標値信号aが変動
しない場合であっても目標値信号aの時間微分値(変動
速度=0)に該当する応答遅れ関連データを更新記憶す
るようにしている。
【0015】図2は、目標値信号aの時間微分値に関連
して記憶される応答遅れデータの一例を示している。図
2において、目標値信号aの時間微分値として、目標値
信号aの変動速度V1〜V5(V1<V5)が採用され
ており、これら変動速度V1〜V5にそれぞれ関連付け
て応答遅れ関連データS1〜S5が更新可能に記憶され
ている。更新可能に記憶される応答遅れ関連データとし
ては、目標値信号aとフィードバック信号bの偏差に関
連するデータであって、偏差あるいは偏差の時間微分値
が用いられる。要は、応答遅れ関連データは、偏差信号
cのみに応じて算出される従来の弁駆動信号dを、偏差
信号cを小さくするのに必要な値に補正するため要する
補正データであれば良いものである。
【0016】記憶部6aの機能を図2に基づいて更に説
明する。記憶部6aは、変動する目標値信号aを受け取
ると、 受け取りに係る目標値信号aの時間微分値(図2では
変動速度)を算出し、この算出値がV1〜V5のいずれ
に該当するかを算出する。更に記憶部6aは、この算出
したV1乃至V5をインデックス信号として、記憶に係
る応答遅れ関連データS1〜S5の中から該当する応答
遅れ関連データを読み出す。
【0017】同時に記憶部6aは、受け取りに係る目
標値信号aとフィードバック信号bとから、応答遅れ関
連データの補正値δSを算出する。この応答遅れ関連デ
ータの補正値δSは、目標値信号aとフィードバック信
号bの偏差あるいは当該偏差を小ならしめるために必要
な弁駆動信号d補正用データである。そして、算出に係
る応答遅れ関連データの補正値δSを、上記で読みだ
した応答遅れ関連データに加算して新たな応答遅れ関連
データ(S1〜S5の内の一つにδSを加算した値)を
算出し、この算出結果を、で読み出した応答遅れ関連
データの読み出し先に更新記憶(入れ換えて記憶)する
と共に補正部6bに出力する。即ち、応答遅れ関連デー
タS1〜S5の更新記憶は、更新前の記憶に係る応答遅
れ関連データに、実際に生じた応答遅れ関連データ(応
答遅れ関連データの補正値δS)を加算し、これを新た
な応答遅れ関連データS1〜S5として記憶することで
なされるものである。
【0018】記憶部6aの上記〜の演算並びに更新
記憶については、公知の技術を用いて容易に実現できる
ものであるから、ここではその詳細説明を省略する。
【0019】補正手段6における前記補正部6bは、記
憶部6aから出力される応答遅れ関連データS1〜S5
に基づき、弁駆動信号dを補正するのである。補正部6
bによる弁駆動信号dの補正は、現に制御弁2に入力さ
れている弁駆動信号dをして変動する目標値信号aに対
する油圧アクチュエータ1の応答遅れを小ならしめるよ
う、弁駆動信号dを補正するのである。この補正は、制
御信号出力手段5から制御弁2に出力される弁駆動信号
dが、変動する目標値信号aに対する油圧アクチュエー
タ1の応答遅れを小ならしめる値となるとよう補正する
のである。図1の実施例では、偏差信号cを介してその
ように補正する例が示されているが、弁駆動信号算出部
5aの後段に補正部6bを配置して弁駆動信号dそのも
のを補正するようにしても良い。また、この補正は、記
憶部6aからの入力に係る応答遅れ関連データS1〜S
5の関数として算出される値を係数として偏差信号c
(または弁駆動信号d)に乗じることでなしても良い
し、記憶部6aからの入力に係る応答遅れ関連データS
1〜S5の関数として算出される値を加算値として偏差
信号c(または弁駆動信号d)加えることでなしても良
い。
【0020】このようにして補正部6bで補正された弁
駆動信号dは、制御弁2に入力されて、目標値信号aが
変動した場合の油圧アクチュエータ1の応答遅れを小さ
くするのである。補正手段6における記憶部6aには、
変動する目標値信号aに対して油圧アクチュエータ1の
応答遅れが生じる度に、新たな応答遅れ関連データが目
標値信号aの時間微分値に関連付けて記憶され、次回目
標値信号aが変動した際に、変動に係る目標値信号aの
時間微分値をインデックス信号として対応する応答遅れ
関連データが読みだされ、この読みだされた応答遅れ関
連データを基にして弁駆動信号dを補正するものである
から、記憶に係る応答遅れ関連データは、次第に最適の
値に書換えられるものである。
【0021】なお、上記の実施例では、目標値信号aが
油圧アクチュエータ1の駆動速度を指示する信号としフ
ィードバック信号bが油圧アクチュエータ1の実際の駆
動速度を示す信号とした場合、および、目標値信号aが
油圧アクチュエータ1の駆動位置を指示する信号としフ
ィードバック信号bが油圧アクチュエータ1の実際の駆
動位置を示す信号とした場合、の双方を包含するものと
して説明している。請求項1はこれら双方を包含するも
のであり、請求項2は前記前者を、請求項3は前記後者
をそれぞれ包含している。
【0022】また、上記実施例では、記憶部6aに更新
可能に記憶する応答遅れ関連データは、目標値信号aの
時間微分値に関連付けて更新可能に記憶する共に、実際
の目標値信号aの時間微分値をインデックス信号として
読みだすようにしているが、この応答遅れ関連データ
は、変動する目標値信号aの値(レベル)毎に当該目標
値信号aの時間微分値に関連付けて更新可能に記憶する
と共に、実際の目標値信号aの値(レベル)並びにその
時間微分値の双方をインデックス信号として読みだすよ
うにしても良いものである。このようにすると、目標値
信号aの各値(レベル)毎に異なる応答遅れ関連データ
を用いて弁駆動信号dを補正することができるので、応
答遅れが、変動する目標値信号aの値(レベル)毎に異
なる場合にも応答遅れで的確に小ならしめることができ
るものである。
【0023】また記憶部6aに目標値信号aの時間微分
値に関連付けて更新可能に記憶される応答遅れ関連デー
タは、目標値信号aの一階微分値(この場合変動速度に
なる)にのみに関連付けて更新可能に記憶するようにし
ても良く、目標値信号aの一階微分値、二階微分値、…
n階微分値にそれぞれ関連付けて更新可能に記憶したデ
ータの合計値として記憶するようにしても良い。いずれ
の場合であっても本発明の範囲に包含されるこというま
でもない。
【0024】更に、補正手段6における記憶部6aへの
応答遅れ関連データの更新記憶に、下記の如き制限を付
けるようにしても良い。 記憶部6aに記憶されている更新前の応答遅れ関連
データと更新しようとする応答遅れ関連データとの差が
予め設定した所定値を越えている場合には、当該所定値
を限度として応答遅れ関連データを更新記憶する。即
ち、更新前の応答遅れ関連データを初期値とするとき、
更新後の応答遅れ関連データがこの初期値に対して予め
設定した所定値を越えて更新されないよう規制するので
ある。上記所定値は、記憶部6a内に記憶しておくよう
にする。このようにした場合には、例えば、ノイズ等に
よりフィードバック信号bが、油圧アクチュエータ1の
実際の駆動状態から急激に離隔したような場合、あるい
は、油圧アクチュエータ1が駆動終端(油圧シリンダの
ストロークエンド等)等で停止しているような場合に、
不必要に大きな応答遅れ関連データの更新記憶を規制す
ることができる。この構成は、請求項4に対応してい
る。
【0025】 応答遅れ関連データの更新記憶可能範
囲(上限値および下限値)を設定しておき、逐次更新記
憶される応答遅れ関連データのトータル値が、この設定
に係る更新記憶可能範囲(上限値および下限値)を越え
ないよう規制する。更新記憶可能範囲(上限値および下
限値)は、記憶部6a内に記憶しておくようにする。こ
のようにした場合には、サーボ制御装置の故障に起因し
て目標値信号aに対してフィードバック信号bが全く追
随してこないような場合でも、異常な応答遅れに関連し
てのデータの更新記憶が制限され、安全であるという効
果がある。この構成は、請求項5に対応している。
【0026】
【効果】以上の如く構成し作用する本発明に係る油圧ア
クチュエータ用サーボ制御装置は、従来のサーボ制御装
置に補正手段6を追加した簡単な構成でありながら、従
来のサーボ制御装置が持っていた変動する目標値信号a
に対するフィードバック信号bの応答遅れ(油圧アクチ
ュエータ1の応答遅れ)を大幅に解消することができる
ので、その効果は極めて大きいものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る油圧アクチュエータ用サーボ制御
装置の説明用ブロック図である。
【図2】補正部6の記憶部6aに更新可能に記憶される
応答遅れ関連データの説明図である。
【図3】従来の油圧アクチュエータ用サーボ制御装置の
説明用ブロック図である。
【符号の説明】
1;油圧アクチュエータ、2;制御弁、3;目標値信号
発生手段、4;駆動状態検出手段、5;制御信号出力手
段、5a;弁駆動信号算出部、6;補正手段、6a;記
憶部、6b;補正部、a;目標値信号、b;フィードバ
ック信号、c;偏差信号、d;弁駆動信号、

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 油圧アクチュエータ1の制御弁2を制御
    するサーボ制御装置であって、油圧アクチュエータ1の
    駆動を指示する目標値信号aを発生する目標値信号発生
    手段3、油圧アクチュエータの実際の駆動状態に係るフ
    ィードバック信号を出力する駆動状態検出手段4、およ
    び、前記目標値信号発生手段3からの目標値信号aと前
    記駆動状態検出手段4からのフィードバック信号bを受
    け取りこれら両信号a,bの偏差信号cを算出し且つこ
    の偏差信号cに応じて弁駆動信号dを生成しこの弁駆動
    信号dを前記制御弁2に出力する制御信号出力手段5と
    を備えたものにおいて、 前記制御信号出力手段5に、目標値信号aとフィードバ
    ック信号bとを受け取って演算し前記弁駆動信号dを補
    正する補正手段6を設けると共に、 前記補正手段6は、目標値信号aに対するフィードバッ
    ク信号bの応答遅れに関する応答遅れ関連データを目標
    値信号aの時間微分値に関連付けて更新可能に記憶する
    と共に、実際の目標値信号aの時間微分値に関連して記
    憶にかかる応答遅れ関連データを出力する記憶部6a
    と、上記記憶部6aから出力される応答遅れ関連データ
    を受け取り、前記制御弁2に入力する弁駆動信号dを目
    標値信号aに対するフィードバック信号bの応答遅れを
    減少するのに必要な値に補正する補正部6bとでもって
    構成したことを特徴とする油圧アクチュエータ用サーボ
    制御装置。
  2. 【請求項2】 油圧アクチュエータ1の駆動を指示する
    目標値信号aが、油圧アクチュエータ1の駆動速度を指
    示する目標駆動速度信号であり、フィードバック信号b
    が油圧アクチュエータ1の実際の駆動速度を示す実際駆
    動速度信号であることを特徴とする請求項1の油圧アク
    チュエータ用サーボ制御装置。
  3. 【請求項3】 油圧アクチュエータ1の駆動を指示する
    目標値信号aが、油圧アクチュエータ1の駆動位置を指
    示する目標駆動位置信号であり、フィードバック信号b
    が油圧アクチュエータ1の実際の駆動位置を示す実際駆
    動位置信号であることを特徴とする請求項1の油圧アク
    チュエータ用サーボ制御装置。
  4. 【請求項4】 補正手段6における記憶部6aは、当該
    記憶部6aに記憶されている更新前の応答遅れ関連デー
    タと更新しようとする応答遅れ関連データとの差が予め
    設定した所定値を越えて更新記憶されないよう構成して
    あることを特徴とする請求項1乃至3の油圧アクチュエ
    ータ用サーボ制御装置。
  5. 【請求項5】 補正手段6における記憶部6aは、応答
    遅れ関連データの更新記憶可能範囲が設定されており、
    逐次更新記憶される応答遅れ関連データのトータル値
    が、この設定に係る更新記憶可能範囲を越えないよう構
    成してあることを特徴とする請求項1乃至4の油圧アク
    チュエータ用サーボ制御装置。
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Cited By (4)

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WO2009067938A1 (en) * 2007-11-28 2009-06-04 Sany Heavy Industry Co., Ltd. An electro-hydraulic proportional flow valve speed regulating control system and its method
KR100965000B1 (ko) * 2007-04-27 2010-06-21 전남대학교산학협력단 유압 로드 시뮬레이터용 제어기와 이의 제어방법
JP2022129161A (ja) * 2021-02-24 2022-09-05 キヤノン株式会社 制御装置、位置決め装置、リソグラフィー装置および物品製造方法
CN116635592A (zh) * 2021-01-29 2023-08-22 山特维克矿山工程机械有限公司 采矿机器和用于控制采矿机器的可移动元件的移动的方法

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