JPH09292657A - 画像露光装置並びにミラーアレイデバイスおよび液晶パネル - Google Patents

画像露光装置並びにミラーアレイデバイスおよび液晶パネル

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JPH09292657A
JPH09292657A JP8136767A JP13676796A JPH09292657A JP H09292657 A JPH09292657 A JP H09292657A JP 8136767 A JP8136767 A JP 8136767A JP 13676796 A JP13676796 A JP 13676796A JP H09292657 A JPH09292657 A JP H09292657A
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liquid crystal
mirror
recording light
photosensitive material
pixel shift
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JP8136767A
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Hiroshi Sunakawa
寛 砂川
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Fuji Photo Film Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置
において、画素ズラシを行なっても、高鮮鋭度の画像を
露光できるようにする。 【解決手段】 画素ズラシを行なう、ミラーアレイデバ
イスを用いた画像露光装置において、ミラーアレイデバ
イス13の微小ミラー20の各々を、ミラーの相直交する並
び方向Ｘ、Ｙ双方について、ミラー配置ピッチに十分近
接したサイズとする。そして、上記方向Ｘ、Ｙについて
のミラー配置ピッチをそれぞれａ、ｂとし、該方向Ｘ、
Ｙについての画素ズラシによる露光ドット増加倍数をそ
れぞれｍ、ｎとしたとき、各微小ミラー20の有効開口
を、Ｘ方向においては１．５ａ／ｍ以下の長さの連続領
域のみに、Ｙ方向においては１．５ｂ／ｎ以下の長さの
連続領域のみにそれぞれ制限する光無反射性のマスク25
を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ミラーアレイデバ
イスや液晶パネルを用いて感光材料に画像を露光する装
置に関し、特に詳細には、画素ズラシを行なって高精細
画像を露光できるようにした画像露光装置に関するもの
である。
【０００２】また本発明は、上述のような画像露光装置
に用いられるミラーアレイデバイスおよび液晶パネルに
関するものである。
【０００３】
【従来の技術】例えば「Ｏ plus Ｅ」誌1994年10月号の
第90〜94頁に記載されているように、２次元アレイ状に
配置された複数の微小ミラーと、これらの微小ミラーの
各々の向きを独立に変えさせる駆動部とを有し、入射し
た光を各微小ミラー毎に２つ方向のいずれかに選択的に
反射させるミラーアレイデバイスが公知となっている。
【０００４】このようなミラーアレイデバイスを用いれ
ば、画像信号に応じて上記駆動部の動作を制御すること
により、微小ミラーを介して所定の投写面に入射する光
を微小ミラー毎に変調して、該投写面に画像を投写する
ことができる。そして、この投写面に感光材料を配置し
ておけば、該感光材料に画像を露光することもできる。
またそのようにする場合、フレーム時間内において各微
小ミラーのオン時間（感光材料に光を入射させる向きに
なっている時間）をパルス幅変調する等により、各微小
ミラー毎に感光材料への入射光量を制御して、階調画像
を露光することも可能となる。
【０００５】ところで、この種のミラーアレイデバイス
においては、１画素となる微小ミラーと微小ミラーと間
に大きな隙間が有ると、その隙間を通過した光が微小ミ
ラーを保持している基板や、あるいはこの基板上に形成
されたミラー駆動用の要素等において散乱する。この散
乱光は、微小ミラーで反射した光によって像が結ばれる
面まで到達して、消光比を低下させることになる。
【０００６】この不具合を解消する上では、隣接する微
小ミラーどうしがほぼ接する状態、つまり縦、横方向と
もミラー配置ピッチとミラー長さがほぼ等しくて、ミラ
ー開口率が１００％に近い状態となっているのが理想的
である。そこで従来より、上述のような画像投写に適用
するミラーアレイデバイスにおいては、微小ミラーの各
々を隣接する微小ミラーと近接し合う十分な大きさに形
成して、ミラー開口率をできるだけ大きく（例えば８５
％以上）することが考えられて来た。
【０００７】他方、液晶パネル等の空間変調素子を利用
して感光材料に画像露光する際に、「画素ズラシ」とい
う手法により、露光画像の画素密度を上げて高精細化す
ることが提案されている。この画素ズラシは、例えば特
開平４−７５４２号に示されているように、空間変調素
子の画素（例えば液晶パネルにあっては各液晶セル）を
経た光により形成された感光材料上の露光ドットと露光
ドットの間に、さらにそれらの画素を経た光による露光
ドットを形成するように、空間変調素子と感光材料との
光学的関係を変化させ、この光学的関係を変える毎に画
像露光する手法である。
【０００８】なお、露光画像に関しては上述の露光ドッ
トが「画素」となるが、本明細書においては空間変調素
子の方の画素との混同を避けるために、露光画像に関し
ては原則としてこのように「露光ドット」という用語を
用いる。
【０００９】具体的に、空間変調素子がＸ方向にｉ個、
Ｙ方向にｊ個の画素がアレイ状に配設されてなるもので
ある場合、Ｘ、Ｙ方向にそれぞれ１回ずつ画素ズラシを
行なえば、感光材料上でＸ、Ｙ方向にそれぞれ２ｉ個、
Ｙ方向に２ｊ個の露光ドットが記録される。つまりこの
場合は、画素数が４（ｉ×ｊ）個の空間変調素子を用い
て１回露光する場合と同数の露光ドットを記録でき、画
像の高精細化が達成される。
【００１０】なお、上記のように空間変調素子と感光材
料との光学的関係を変化させるには、空間変調素子を移
動させる、感光材料を移動させる、あるいはそれら両者
の間に介設した光学部材を移動させる、等の方法を用い
ることができる。
【００１１】一般に液晶パネル等の空間変調素子にあっ
ては、多数の画素を高密度に集積するのは困難となって
いるが、上述の画素ズラシを適用すれば、画素が比較的
少数で低密度に配されている空間変調素子を用いても、
高密度の画像を露光可能となる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上記画素ズラシの手法
は、前述のミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置
においても当然適用可能である。ところが、従来のミラ
ーアレイデバイスを用いた画像露光装置で画素ズラシを
行なうと、露光画像は鮮鋭度が低いものとなってしま
う。
【００１３】また従来より、液晶パネルに表示させた階
調画像を露光する画像露光装置も知られているが、その
種の画像露光装置においても、画素ズラシを行なうと露
光画像の鮮鋭度が低下するという問題が認められてい
る。
【００１４】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、画素ズラシを行なっても、十分高鮮鋭度の画像
を露光することができる、ミラーアレイデバイスを用い
た画像露光装置を提供することを目的とするものであ
る。
【００１５】さらに本発明は、画素ズラシを行なって
も、十分高鮮鋭度の画像を露光することができる、液晶
パネルを用いた画像露光装置を提供することを目的とす
るものである。
【００１６】また本発明は、上述のように十分高鮮鋭度
の画像を露光可能にするミラーアレイデバイスおよび液
晶パネルを提供することを目的とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明による第１の画像
露光装置は、請求項１に記載の通り、感光材料を露光さ
せる記録光を発する光源と、２次元アレイ状に配置され
た複数の微小ミラー、およびそれらの駆動部を有し、入
射した上記記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に入射
する方向と入射しない方向のいずれかに選択的に反射さ
せるミラーアレイデバイスと、画像信号に応じて上記駆
動部の動作を制御する制御回路と、前述した画素ズラシ
を行なう手段とを有するミラーアレイデバイスを用いた
画像露光装置において、上記微小ミラーの各々が、相直
交するミラーの並び方向双方について、ミラー配置ピッ
チに十分近接したサイズとされるとともに、所定の画素
ズラシ方向についてのミラー配置ピッチをａとし、該方
向についての画素ズラシによる露光ドット増加倍数をｍ
としたとき、各微小ミラーの有効開口を、この画素ズラ
シ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連続領域のみ
に制限する光無反射性（つまり光吸収性および／または
光散乱性）のマスクが設けられたことを特徴とするもの
である。
【００１８】なお画素ズラシによる露光ドット増加倍数
ｍは、画素ズラシ回数が１であれば２、画素ズラシ回数
が２であれば３であり、画素ズラシ回数が１回増える毎
に１ずつ増大する。この点は露光ドット増加倍数ｎも同
様である。
【００１９】また上記マスクは、各微小ミラーにそれぞ
れ取り付けられてもよいし、あるいは、ミラーアレイデ
バイスの前に１枚の光透過部材を配設し、そこに１枚の
マスクパターンを貼付することによって形成してもよ
い。
【００２０】また、本発明による第２の画像露光装置
は、請求項２に記載の通り、上記第１の画像露光装置に
おけるのと同様の光源、ミラーアレイデバイス、制御回
路、および画素ズラシ手段とを有するミラーアレイデバ
イスを用いた画像露光装置において、上記微小ミラーの
各々が、相直交するミラーの並び方向双方について、ミ
ラー配置ピッチに十分近接したサイズとされるととも
に、所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッチ
をａとし、該方向についての画素ズラシによる露光ドッ
ト増加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーの反射率が、
この画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの
連続領域のみで所定値以上となる分布を有していること
を特徴とするものである。
【００２１】また、本発明による第３の画像露光装置
は、請求項３に記載の通り、上記構成の第２の画像露光
装置において、ミラーアレイデバイスの各微小ミラーの
反射率が、ミラー中央部でほぼ最大値を取るガウス分布
を有し、前記所定値が、上記反射率最大値のほぼ１／ｅ
2 の値となっていることを特徴とするものである。
【００２２】また本発明による第４の画像露光装置は、
請求項４に記載の通り、前記第１の画像露光装置におけ
るのと同様の光源、ミラーアレイデバイス、制御回路、
および画素ズラシ手段とを有するミラーアレイデバイス
を用いた画像露光装置において、上記微小ミラーの各々
が、相直交するミラーの並び方向双方について、ミラー
配置ピッチに十分近接したサイズとされるとともに、所
定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッチをａと
し、該方向についての画素ズラシによる露光ドット増加
倍数をｍとしたとき、各微小ミラーが、この画素ズラシ
方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連続領域から外
れた部分で、ミラーがとり得る向きのいずれにおいても
記録光を感光材料上に入射しない方向に反射させるよう
に面取りされていることを特徴とするものである。
【００２３】また本発明による第５の画像露光装置は、
請求項５に記載の通り、上記構成の第１〜４のいずれか
の画像露光装置において、前述した連続領域の長さがａ
／ｍ以上とされていることを特徴とするものである。
【００２４】また本発明による第６の画像露光装置は、
請求項６に記載の通り、上記構成の第１〜５のいずれか
の画像露光装置において、画素ズラシ手段が、微小ミラ
ーの相直交する並び方向Ｘ、Ｙにそれぞれ画素ズラシを
行なうように構成されていることを特徴とするものであ
る。
【００２５】一方本発明による第７の画像露光装置は、
請求項７に記載の通り、感光材料を露光させる記録光を
発する光源と、上記記録光を受ける位置において２次元
アレイ状に配置された、透過率または反射率を変え得る
複数の液晶セル、およびこれらの液晶セルを駆動する駆
動部を有し、入射した記録光の感光材料への入射を各液
晶セル毎に制御する液晶パネルと、画像信号に応じて上
記駆動部の動作を制御する制御回路と、上記複数の液晶
セルを経た各記録光により形成された感光材料上の露光
ドットと露光ドットの間に、さらにそれらの液晶セルを
経た記録光による露光ドットを形成するように、液晶パ
ネルと感光材料との光学的関係を変化させる画素ズラシ
手段とからなる液晶パネルを用いた画像露光装置におい
て、所定の画素ズラシ方向についての液晶セル配置ピッ
チをａとし、該方向についての画素ズラシによる露光ド
ット増加倍数をｍとしたとき、各液晶セルの有効開口
を、この画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長
さの連続領域のみに制限する光無反射性のマスクが設け
られていることを特徴とするものである。
【００２６】また、本発明による第８の画像露光装置
は、請求項８に記載の通り、上記第７の画像露光装置に
おけるのと同様の光源、液晶パネル、制御回路、および
画素ズラシ手段とを有する液晶パネルを用いた画像露光
装置において、所定の画素ズラシ方向についての液晶セ
ル配置ピッチをａとし、該方向についての画素ズラシに
よる露光ドット増加倍数をｍとしたとき、各液晶セルの
透過率または反射率が、この画素ズラシ方向において
１．５ａ／ｍ以下の長さの連続領域のみで所定値以上と
なる分布を有していることを特徴とするものである。
【００２７】また、本発明による第９の画像露光装置
は、請求項９に記載の通り、上記構成の第８の画像露光
装置において、各液晶セルの透過率または反射率が、液
晶セル中央部でほぼ最大値を取るガウス分布を有し、前
記所定値が、前記最大値のほぼ１／ｅ2 の値となってい
ることを特徴とするものである。
【００２８】また、本発明による第１０の画像露光装置
は、請求項１０に記載の通り、上記構成の第７〜９いず
れかの画像露光装置において、前述した連続領域の長さ
がａ／ｍ以上とされていることを特徴とするものであ
る。
【００２９】また本発明による第１１の画像露光装置
は、請求項１１に記載の通り、上記構成の第７〜１０の
いずれかの画像露光装置において、画素ズラシ手段が、
微小ミラーの相直交する並び方向Ｘ、Ｙにそれぞれ画素
ズラシを行なうように構成されていることを特徴とする
ものである。
【００３０】一方、本発明による第１のミラーアレイデ
バイスは、前記第１の画像露光装置を構成するものであ
って、請求項１２に記載の通り、画素ズラシを行なう画
像露光装置が発する記録光を受ける位置において２次元
アレイ状に配置された複数の微小ミラー、およびこれら
の微小ミラーの各々の向きを独立に変えさせる駆動部を
有し、入射した記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に
入射する方向と入射しない方向のいずれかに選択的に反
射させるミラーアレイデバイスにおいて、前記微小ミラ
ーが、ミラーの２次元の並び方向それぞれについて、ミ
ラー配置ピッチに十分近接したサイズに形成されるとと
もに、所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッ
チをａとし、該方向についての画素ズラシによる露光ド
ット増加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーの有効開口
を、この画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長
さの連続領域のみに制限する光無反射性のマスクが設け
られていることを特徴とするものである。
【００３１】また、本発明による第２のミラーアレイデ
バイスは、前記第２の画像露光装置を構成するものであ
って、請求項１３に記載の通り、画素ズラシを行なう画
像露光装置が発する記録光を受ける位置において２次元
アレイ状に配置された複数の微小ミラー、およびこれら
の微小ミラーの各々の向きを独立に変えさせる駆動部を
有し、入射した記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に
入射する方向と入射しない方向のいずれかに選択的に反
射させるミラーアレイデバイスにおいて、前記微小ミラ
ーが、ミラーの２次元の並び方向それぞれについて、ミ
ラー配置ピッチに十分近接したサイズに形成されるとと
もに、所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッ
チをａとし、該方向についての画素ズラシによる露光ド
ット増加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーの反射率
が、この画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長
さの連続領域のみで所定値以上となる分布を有している
ことを特徴とするものである。
【００３２】また、本発明による第３のミラーアレイデ
バイスは、前記第３の画像露光装置を構成するものであ
って、請求項１４に記載の通り、上記第２のミラーアレ
イデバイスにおいて、前記各微小ミラーの反射率が、ミ
ラー中央部でほぼ最大値を取るガウス分布を有し、前記
所定値が、前記最大値のほぼ１／ｅ2 の値となっている
ことを特徴とするものである。
【００３３】また、本発明による第４のミラーアレイデ
バイスは、前記第４の画像露光装置を構成するものであ
って、請求項１５に記載の通り、画素ズラシを行なう画
像露光装置が発する記録光を受ける位置において２次元
アレイ状に配置された複数の微小ミラー、およびこれら
の微小ミラーの各々の向きを独立に変えさせる駆動部を
有し、入射した記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に
入射する方向と入射しない方向のいずれかに選択的に反
射させるミラーアレイデバイスにおいて、前記微小ミラ
ーが、ミラーの２次元の並び方向それぞれについて、ミ
ラー配置ピッチに十分近接したサイズに形成されるとと
もに、所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッ
チをａとし、該方向についての画素ズラシによる露光ド
ット増加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーが、この画
素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連続領
域から外れた部分で、ミラーがとり得る向きのいずれに
おいても前記記録光を前記感光材料上に入射しない方向
に反射させるように面取りされていることを特徴とする
ものである。
【００３４】また、本発明による第５のミラーアレイデ
バイスは、前記第５の画像露光装置を構成するものであ
って、請求項１６に記載の通り、上記第１から４いずれ
か１つのミラーアレイデバイスにおいて、前記連続領域
の長さがａ／ｍ以上であることを特徴とするものであ
る。
【００３５】他方、本発明による第１の液晶パネルは、
前記第７の画像露光装置を構成するものであって、請求
項１７に記載の通り、画素ズラシを行なう画像露光装置
が発する記録光を受ける位置において２次元アレイ状に
配置された、透過率または反射率を変え得る複数の液晶
セル、およびこれらの液晶セルを駆動する駆動部を有
し、入射した記録光の感光材料への入射を各液晶セル毎
に制御する液晶パネルにおいて、所定の画素ズラシ方向
についての液晶セル配置ピッチをａとし、該方向につい
ての画素ズラシによる露光ドット増加倍数をｍとしたと
き、各液晶セルの有効開口を、この画素ズラシ方向にお
いて１．５ａ／ｍ以下の長さの連続領域のみに制限する
光無反射性のマスクが設けられていることを特徴とする
ものである。
【００３６】また、本発明による第２の液晶パネルは、
前記第８の画像露光装置を構成するものであって、請求
項１８に記載の通り、画素ズラシを行なう画像露光装置
が発する記録光を受ける位置において２次元アレイ状に
配置された、透過率または反射率を変え得る複数の液晶
セル、およびこれらの液晶セルを駆動する駆動部を有
し、入射した記録光の感光材料への入射を各液晶セル毎
に制御する液晶パネルにおいて、所定の画素ズラシ方向
についての液晶セル配置ピッチをａとし、該方向につい
ての画素ズラシによる露光ドット増加倍数をｍとしたと
き、各液晶セルの透過率または反射率が、この画素ズラ
シ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連続領域のみ
で所定値以上となる分布を有していることを特徴とする
ものである。
【００３７】また、本発明による第３の液晶パネルは、
前記第９の画像露光装置を構成するものであって、請求
項１９に記載の通り、上記第２の液晶パネルにおいて、
前記各液晶セルの透過率または反射率が、液晶セル中央
部でほぼ最大値を取るガウス分布を有し、前記所定値
が、前記最大値のほぼ１／ｅ2 の値となっていることを
特徴とするものである。
【００３８】また、本発明による第４の液晶パネルは、
前記第１０の画像露光装置を構成するものであって、請
求項２０に記載の通り、上記第１から３いずれか１つの
液晶パネルにおいて、前記連続領域の長さがａ／ｍ以上
であることを特徴とするものである。
【００３９】
【発明の効果】本発明者の研究によると、従来のミラー
アレイデバイスを用いた画像露光装置で画素ズラシを行
なったとき露光画像の鮮鋭度が落ちるという問題は、前
述した散乱光の影響を避けるために微小ミラーの開口率
を上げていることに起因していることが判明した。以
下、この点について詳しく説明する。
【００４０】図９は、複数の微小ミラーをピッチ１７μ
ｍで１次元アレイ状に配置してなるミラーアレイデバイ
スを、ミラー並び方向に１回画素ズラシして画像露光し
た場合のＭＴＦを調べた結果を示している。なおこのＭ
ＴＦは、上記ミラーアレイデバイスを倍率約１１．８倍
の光学系で感光材料上に拡大投影して、感光材料上での
微小ミラーピッチを２００μｍとした場合について求め
た。以下に説明する図１０中の数値も、上記感光材料上
に拡大投影された微小ミラーについての数値である。
【００４１】また、画素ズラシを１回行なうということ
は、ミラーアレイデバイスと感光材料との光学的関係を
互いに変えた露光を２回行なうということであり、それ
により露光ドット数は２倍に増加する。また、それら２
回の露光による露光ドットは当然全て等ピッチとするか
ら、感光材料上における画素ズラシのピッチ（ミラーア
レイデバイスのズラシピッチ）は１００μｍである。
【００４２】この場合、ミラー並び方向つまり画素ズラ
シ方向のミラー開口率を各々５０％、７５％、ほぼ１０
０％とした３種のミラーアレイデバイスＡ、ＢおよびＣ
を用い、それぞれの場合についてＭＴＦを調べた。これ
ら３種のミラーアレイデバイスＡ、ＢおよびＣを、分か
りやすくそれぞれ図１０の（ａ）、（ｂ）および（ｃ）
に示す。ミラーアレイデバイスＡおよびＢは、ミラー開
口率がほぼ１００％であるミラーアレイデバイスＣと同
じものを用意し、それらの各微小ミラーにミラー開口率
を低下させる光無反射性のマスクを形成してなるもので
ある。
【００４３】なおこの解析において、ミラー並び方向と
直角な方向のミラー開口率は特に意味を持たないが、本
例ではそれをミラー並び方向のミラー開口率と等しくし
てある。したがって、ミラーアレイデバイスＡ、Ｂ、Ｃ
の２次元的なミラー開口率は、各々２５％、５６％、ほ
ぼ１００％である。
【００４４】図９に示されている通り、伝達する空間周
波数が高くなるにつれてＭＴＦ値が低下し、そしてその
程度は、ミラー開口率が大であるほどより顕著になる。
一般に、写真程度の階調画像を露光する上では、最大５
ｌｐ（line-pairs）／ｍｍ程度の空間周波数に対して３
０％以上の応答が必要と考えられており、この要求は図
９から判断すると、１次元方向のミラー開口率を７５％
以下にすれば満たされる。
【００４５】ミラー開口率が大きい場合に露光画像の鮮
鋭度が落ちるのは、露光ドットが大きくて第１回目の露
光による露光ドットと第２回目の露光による露光ドット
が互いに重なるからである。そこでこの露光ドットの大
きさについて考えると、ミラー開口率が７５％のとき
は、ボケは考慮外として基本的に、露光ドットの大きさ
がドットピッチの１．５倍に達している。したがって、
露光ドットの大きさがドットピッチの１．５倍以下であ
れば、最大５ｌｐ／ｍｍの空間周波数を３０％以上の応
答で伝達可能と考えられる。
【００４６】ここで一般的に、微小ミラーの画素ズラシ
方向についての配置ピッチをａとし、該方向についての
画素ズラシによる露光ドット増加倍数をｍとしたとき、
露光ドットの大きさがドットピッチと等しくなるのは微
小ミラーの有効開口がａ／ｍのときである。そこで、微
小ミラーの画素ズラシ方向の有効開口を１．５ａ／ｍ以
下の長さの連続領域のみに制限すれば、画素ズラシ方向
に関して露光ドットの大きさがドットピッチの１．５倍
以下となり、最大５ｌｐ／ｍｍの空間周波数を３０％以
上の応答で伝達可能となる。
【００４７】本発明の第１の画像露光装置は、光無反射
性のマスクを設けることにより、微小ミラーの画素ズラ
シ方向の有効開口を上記の通り１．５ａ／ｍ以下に制限
しているから、最大５ｌｐ／ｍｍの空間周波数に対して
３０％以上の応答が実現され、鮮鋭度の高い画像を露光
できるようになる。この効果は、液晶パネルを用いた上
で同様の光無反射性のマスクを設けてなる本発明の第７
の画像露光装置においても、同じように得られるもので
ある。
【００４８】また本発明の第２の画像露光装置は、微小
ミラーの反射率に分布を持たせることにより、微小ミラ
ーの画素ズラシ方向の実効的な開口を上記の通り１．５
ａ／ｍ以下に制限しているから、この装置でも、最大５
ｌｐ／ｍｍの空間周波数に対して３０％以上の応答が実
現され、鮮鋭度の高い画像を露光できるようになる。こ
の点の効果は、第２の画像露光装置の構成を前提とする
本発明の第３の画像露光装置においても、当然同様に得
られるものである。さらにこの点の効果は、液晶パネル
を用いた上で、液晶セルの実効的な開口を同様に１．５
ａ／ｍ以下に制限した本発明の第８および第９の画像露
光装置においても、同じように得られるものである。
【００４９】さらに本発明の第４の画像露光装置は、各
微小ミラーに面取りを施すことにより、微小ミラーの画
素ズラシ方向の有効開口を上記の通り１．５ａ／ｍ以下
に制限しているから、この装置でも、最大５ｌｐ／ｍｍ
の空間周波数に対して３０％以上の応答が実現され、鮮
鋭度の高い画像を露光できるようになる。
【００５０】なお、上に述べた通り、露光ドットの大き
さがドットピッチと等しくなるのは微小ミラーの有効開
口がａ／ｍのときである。微小ミラーの開口がその値よ
り小さくなると、露光ドット間に隙間が生じて、露光画
像の濃度が十分に上がらないことがある。
【００５１】本発明の第５の画像露光装置では、画素ズ
ラシ方向の微小ミラーの有効開口あるいは実効的な開口
をａ／ｍ以上としているから、上記のように露光ドット
間に隙間が生じて露光画像の濃度が十分に上がらない、
という不具合の発生を防止できる。この点の効果は、液
晶パネルを用いた上で、液晶セルの実効的な開口を同様
にａ／ｍ以上とした本発明の第１０の画像露光装置にお
いても、同じように得られるものである。
【００５２】なお本発明によるミラーアレイデバイスを
用いた画像露光装置全てにおいて、微小ミラー自体のサ
イズは、ミラーの並び方向双方について、ミラー配置ピ
ッチに十分近接したものとされているから、微小ミラー
の各間の隙間は十分小さくなり、よって先に述べた散乱
光による消光比の低下も防止できる。
【００５３】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の第１の実
施形態による画像露光装置を示すものである。図示され
るようにこの画像露光装置は、カラー感光材料10を露光
させる白色の記録光Ｌを発するハロゲンランプ等の光源
11と、この光源11が焦点位置近傍にあるように配され
て、該光源11から発せられた記録光Ｌを平行光化する集
光レンズ12と、平行光化された記録光Ｌが入射する位置
に配されたミラーアレイデバイス13と、このミラーアレ
イデバイス13で反射した記録光Ｌが入射する位置に配さ
れた結像レンズ14と、ミラーアレイデバイス13の前にお
いて記録光Ｌの光路に挿入されるカラーフィルター15お
よびブラックシャッター16とを有している。
【００５４】またミラーアレイデバイス13と結像レンズ
14との間には、前述した画素ズラシを行なうための平行
平板17が配されている。この平行平板17は、図示しない
揺動機構により、図中の矢印Ａ方向および、軸Ｂを中心
とする方向に揺動されるようになっている。そしてミラ
ーアレイデバイス13と結像レンズ14との間の記録光Ｌの
光路から外れた位置には、光吸収部材18が配されてい
る。
【００５５】上記ミラーアレイデバイス13は、図２に拡
大して示すように、シリコン基板21上に２次元アレイ状
に配置された複数の微小ミラー20を有している。各微小
ミラー20はアルミニウム合金等から四角形に形成され、
１つのミラー並び方向Ｘの配置ピッチａを例えば１７μ
ｍ、それと直交するミラー並び方向Ｙの配置ピッチｂを
例えば１７μｍとして配置されている。また各微小ミラ
ー20のミラー並び方向Ｘのサイズａ’およびミラー並び
方向Ｙのサイズｂ’は、それぞれミラー配置ピッチａ、
ｂに十分近接した１６μｍ、１６μｍとされている。
【００５６】図２においては中央部の１個の微小ミラー
20を省いてあり、そこに示されているように、各微小ミ
ラー20毎にそれを駆動させる駆動部が設けられている。
この駆動部は、図示しないミラー支持ポストを介して微
小ミラー20を支持するヨーク22、このヨーク22を保持す
る１対の捩れヒンジ23、23、１対のアドレス電極24、24
および、これらの要素の下側に配されたバイアスバス
（図示せず）等からなり、上記バイアスバスとアドレス
電極24、24とによる電圧印加状態に応じて、静電力によ
り捩れヒンジ23の向きを変えるように構成されている。
なお各微小ミラー20には、その有効開口を制限する光無
反射性のマスク25が形成されているが、この点について
は後に詳しく説明する。
【００５７】各微小ミラー20毎のアドレス電極24、24へ
の電圧印加は、階調画像を示す画像信号Ｓを受ける制御
回路30（図１参照）によって制御される。すなわち、ア
ドレス電極24、24を介した電圧印加がなされない間は捩
れヒンジ23が（つまり微小ミラー20が）基板21に対して
平行な状態となるが、一方のアドレス電極24に所定極性
の電圧が印加されるとともに他方のアドレス電極24に逆
極性の相補的電圧が印加されると、微小ミラー20は図３
に示すように基板面に対して角度−θ傾き、アドレス電
極24、24に対する電圧印加状態が上記と逆にされると、
微小ミラー20は図４に示すように基板面に対して角度θ
傾くようになる。
【００５８】そこで、図３の場合は微小ミラー20で反射
した記録光Ｌが結像レンズ14の開口から外れ、図４の場
合は微小ミラー20で反射した記録光Ｌが結像レンズ14を
通過して、感光材料10に到達するようになる。このよう
にして、記録光Ｌの感光材料10への入射を、各微小ミラ
ー20単位で制御できることになる。そして、フレーム時
間内において各微小ミラー20のＯＮ時間が、各画素毎の
画像信号Ｓに基づいて例えばパルス幅変調されることに
より、各微小ミラー20毎に感光材料10への入射光量が制
御され、該感光材料10に階調画像が露光される。
【００５９】なお図３および図４では結像レンズ14を、
その開口角度範囲を示すためのみに示しているものであ
り、その大きさおよび位置は実際とは異なる（後述の図
７および図８でも同様）。また以下においては、微小ミ
ラー20の図３、図４のような状態をそれぞれＯＦＦ状
態、ＯＮ状態と称することとする。
【００６０】前述したカラーフィルター15はＲ（赤）フ
ィルター、Ｇ（緑）フィルターおよびＢ（青）フィルタ
ーからなる。そしてこれらの各色フィルターが順次記録
光Ｌの光路に挿入され、各色フィルターが挿入されてい
る期間にその色に対応する各色画像信号に基づいてミラ
ーアレイデバイス13が駆動される。なお各色フィルター
の切替え期間には、全微小ミラー20がＯＦＦ状態にされ
る。このようにしてカラー感光材料10は、変調された
赤、緑および青色光によって順次露光され、そこにカラ
ーの写真潜像が記録される。
【００６１】なお、ＯＦＦ状態の微小ミラー20で反射し
た記録光Ｌは、図１に示した光吸収部材18に吸収され
る。また、各微小ミラー20のミラー並び方向Ｘのサイズ
ａ’およびミラー並び方向Ｙのサイズｂ’は、前述した
通り、それぞれミラー配置ピッチａ、ｂに十分近接した
ものとされて、微小ミラー20の各間の隙間は十分小さく
なっているから、先に述べた散乱光による消光比の低下
が防止される。
【００６２】次に、画素ズラシについて説明する。上記
各色フィルターのうちの１つが記録光Ｌの光路に挿入さ
れている期間に、平行平板17の向きは４通りに変えら
れ、その都度、該色フィルターに対応する各色画像信号
に基づいて画像露光がなされる。すなわち、例えばＲ
（赤）フィルターが記録光Ｌの光路に挿入されていると
き、平行平板17をまず第１位置に配した状態でミラーア
レイデバイス13が駆動される。この際ミラーアレイデバ
イス13は、露光しようとする画像の奇数行、奇数列の画
素に関する赤色画像信号に基づいて駆動される。それに
より感光材料10には、図５の（１）において「１」を付
して示すような露光ドットＤが記録される。なお図５で
は、露光ドットＤの形状を概略的に円形として示してあ
る。
【００６３】次いで、平行平板17が図１の矢印Ａ方向に
所定量揺動されて第２位置に配され、この状態でミラー
アレイデバイス13が駆動される。この際ミラーアレイデ
バイス13は、露光しようとする画像の奇数行、偶数列の
画素に関する赤色画像信号に基づいて駆動される。それ
により感光材料10には、図５の（２）において「２」を
付して示すような露光ドットＤが記録される。
【００６４】次いで、平行平板17が図１の軸Ｂを中心と
して所定量揺動されて第３位置に配され、この状態でミ
ラーアレイデバイス13が駆動される。この際ミラーアレ
イデバイス13は、露光しようとする画像の偶数行、偶数
列の画素に関する赤色画像信号に基づいて駆動される。
それにより感光材料10には、図５の（３）において
「３」を付して示すような露光ドットＤが記録される。
【００６５】次いで、平行平板17が図１の矢印Ａ方向
（第１位置から第２位置に動かした際と逆の方向）に所
定量揺動されて第４位置に配され、この状態でミラーア
レイデバイス13が駆動される。この際ミラーアレイデバ
イス13は、露光しようとする画像の偶数行、奇数列の画
素に関する赤色画像信号に基づいて駆動される。それに
より感光材料10には、図５の（４）において「４」を付
して示すような露光ドットＤが記録される。その後平行
平板17は、Ｒ（赤）フィルターに代えてＧ（緑）フィル
ターを記録光Ｌの光路に挿入する間に、第１位置に戻さ
れる。
【００６６】以上のようにして、微小ミラー20の並び方
向ＸおよびＹについて各々１回ずつ画素ズラシがなされ
るので、これらの方向ＸおよびＹの双方に関して、微小
ミラー20の並設数のそれぞれ２倍の露光ドットＤが記録
され、高精細画像が露光されるようになる。
【００６７】以上の画素ズラシ操作は、Ｇ（緑）フィル
ターおよびＢ（青）フィルターを記録光Ｌの光路に挿入
して画像露光する際も同様になされる。その後感光材料
10は通常の現像処理を受け、それにより露光画像が顕像
化される。
【００６８】次に、各微小ミラー20に形成されたマスク
25について説明する。このマスク25は図２に示される通
り、微小ミラー20の有効開口を、Ｘ方向においては長さ
ａ”＝１０μｍの連続領域のみに、Ｙ方向においては長
さｂ”＝１０μｍの連続領域のみにそれぞれ制限するよ
うに形成されたものである。本例においては、微小ミラ
ー20の並び方向ＸおよびＹについての画素ズラシによる
露光ドット増加倍数ｍ、ｎは前述した通りともに２であ
り、またＸ方向についてのミラー配置ピッチａ＝１７μ
ｍ、Ｙ方向についてのミラー配置ピッチｂ＝１７μｍで
あるから、ａ”＜１．５ａ／ｍかつｂ”＜１．５ｂ／ｎ
となっており、そこで前述した理由により、画素ズラシ
を行なっても鮮鋭度の高い画像を露光可能となってい
る。
【００６９】また本例においてはａ／ｍ＝８．５μｍ、
ｂ／ｎ＝８．５μｍであるから、ａ／ｍ＜ａ”かつｂ／
ｎ＜ｂ”となっている。それにより、露光ドット間に隙
間が生じて露光画像の濃度が十分に上がらない、という
不具合の発生を防止できる。
【００７０】なお、微小ミラー20の各個に上述のような
マスク25を形成する代わりに、各微小ミラー20に対応す
る多数の開口を有する１枚のマスクをミラーアレイデバ
イス13と組み合わせて用いるようにしてもよい。さら
に、本例の微小ミラー20はマスク25に覆われていない開
口部がミラー端部に設定されているが、この開口部は勿
論ミラーの中央部に設定しても構わない。
【００７１】また以上のようなマスクによる開口制限の
手法は、空間変調素子として液晶パネルを用いる画像露
光装置に対しても同様に適用可能であり、その場合も画
素ズラシによる鮮鋭度低下を防止する効果を奏する。
【００７２】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。この第２の実施形態の画像露光装置は、基本的
な構成は図１の装置と同様で、ミラーアレイデバイスに
用いられている微小ミラーが既述のものとは異なるもの
である。
【００７３】図６は、ここで用いられている微小ミラー
50の形状とその反射率を示している。図示されるように
この微小ミラー50の反射率は、ミラー並び方向Ｘおよび
Ｙ方向においてミラー中央部でほぼ最大値を取るガウス
分布を有している。そして微小ミラー50の反射率のＸ、
Ｙ方向の最大値を各々ＲX 、ＲY とすると、Ｘ方向にお
いては長さａ”＝１０μｍの連続領域のみにおいて反射
率がＲX ／ｅ2 以上、Ｙ方向においては長さｂ”＝１０
μｍの連続領域のみにおいて反射率がＲY ／ｅ2 以上と
なっている。また、Ｘ方向のミラー配置ピッチａ＝１７
μｍ、Ｙ方向のミラー配置ピッチｂ＝１７μｍである。
【００７４】以上のような反射率分布を有する微小ミラ
ー50において記録光Ｌ（図１参照）を反射させて感光材
料10に入射させる場合、Ｘ方向における反射率がＲX ／
ｅ2未満の部分、Ｙ方向における反射率がＲY ／ｅ2 未
満の部分で反射した記録光Ｌは極めて微弱であって、実
際上、感光材料10を露光させるものではない。つまり、
微小ミラー50の実効的な開口は、Ｘ、Ｙ方向において各
々長さａ”、ｂ”となるように制限されている。
【００７５】そして本例においても、ミラー並び方向
Ｘ、Ｙについての画素ズラシによる露光ドット増加倍数
ｍ、ｎをともに２とすると、ａ”＜１．５ａ／ｍでかつ
ｂ”＜１．５ｂ／ｎとなるので、前述した理由により、
画素ズラシを行なっても鮮鋭度の高い画像を露光可能と
なる。
【００７６】またこの場合も、各微小ミラー50のミラー
並び方向Ｘのサイズおよびミラー並び方向Ｙのサイズ
は、それぞれミラー配置ピッチａ、ｂに十分近接したも
のとされている。そこで、微小ミラー50の各間の隙間は
十分小さくなり、先に述べた散乱光による消光比の低下
が防止される。
【００７７】なお、微小ミラーの反射率に分布を持たせ
る場合、その分布特性を上記のもの以外とすることも可
能である。例えば、Ｘ方向の長さａ”の連続領域および
Ｙ方向の長さｂ”の連続領域においてほぼ一定の高い値
をとり、それ以外の領域ではほぼ一定の極めて低い値を
とるような反射率分布を有する微小ミラーも採用可能で
ある。
【００７８】次に、本発明の第３の実施形態について説
明する。この第３の実施形態の画像露光装置も、基本的
な構成は図１の装置と同様で、ミラーアレイデバイスに
用いられている微小ミラーが既述のものとは異なるもの
である。
【００７９】図７および図８は、ここで用いられている
微小ミラー60の形状を示すものである。図示されるよう
にこの微小ミラー60は、周囲四辺の近傍部分が面取りさ
れたものである。なお図７はこの微小ミラー60のＯＦＦ
状態を、図８はそのＯＮ状態を示している。またこれら
の図では、微小ミラー60の揺動軸に垂直な面内における
ミラー断面形状を示してある。
【００８０】２つの面取り部60ａおよび60ｂに挟まれた
ミラー面60ｃで反射した記録光Ｌは、図３および図４に
示した微小ミラー20で反射する場合と同様に、微小ミラ
ー60がＯＦＦ状態のときは結像レンズ14の開口から外
れ、微小ミラー60がＯＮ状態のときは結像レンズ14を通
過する。
【００８１】一方、２つの面取り部60ａおよび60ｂで反
射した記録光Ｌは、微小ミラー60がＯＦＦ状態、ＯＮ状
態のいずれとなっていても結像レンズ14の開口から外
れ、感光材料10（図１参照）に入射することがない。つ
まりこの場合も、微小ミラー60の実効的な開口がミラー
面60ｃのみに制限されることになる。そこで、ミラー並
び方向Ｘ、Ｙについてのミラー配置ピッチをそれぞれ
ａ、ｂとし、該方向Ｘ、Ｙについての画素ズラシによる
露光ドット増加倍数をそれぞれｍ、ｎとしたとき、ミラ
ー面60ｃのＸ方向長さを１．５ａ／ｍ以下、Ｙ方向長さ
を１．５ｂ／ｎ以下としておけば、画素ズラシを行なっ
ても鮮鋭度の高い画像を露光可能となる。
【００８２】次に、面取り角φ（実際の角度ではなく、
微小ミラー60の揺動軸に垂直な面に投影される角度）の
範囲について説明する。微小ミラー60がＯＦＦ状態のと
きは、ミラー面60ｃで反射した記録光Ｌが結像レンズ14
の開口から外れるのであるから、面取り部60ａで反射し
た記録光Ｌは当然結像レンズ14の開口から外れる。そこ
でこの場合は、面取り部60ｂで反射した記録光Ｌが結像
レンズ14の開口から外れるようにすればよい。図７から
明らかなように、面取り部60ｂで反射した記録光Ｌは基
板面の法線に対して角度（２φ−４θ）をなす。ここ
で、基板面の法線に対して角度α以内の向きに反射した
記録光Ｌが結像レンズ14の開口に入るものとすると、α
＜２φ−４θであれば、面取り部60ｂで反射した記録光
Ｌは結像レンズ14の開口から外れることになる。つまり
面取り角φは、φ＞α／２＋２θであればよい。
【００８３】一方微小ミラー60がＯＮ状態のときは、図
８から明らかなように、面取り部60ａ、60ｂで反射した
記録光Ｌはともに基板面の法線に対して角度２φをな
す。そこでα＜２φ、つまりα／２＜φであれば、面取
り部60ａ、60ｂで反射した記録光Ｌは結像レンズ14の開
口から外れることになる。
【００８４】以上より、φ＞α／２＋２θの関係を満足
するように面取り角φを設定しておけば、微小ミラー60
がＯＦＦ状態、ＯＮ状態のいずれとなっていても、面取
り部60ａあるいは60ｂで反射した記録光Ｌが結像レンズ
14の開口から外れるようになる。
【００８５】なお、以上説明した各実施形態は、微小ミ
ラーの並び方向に画素ズラシを行なうものであるが、微
小ミラーの並び方向に対して斜めの方向に画素ズラシを
行なってもよく、本発明はそのような場合にも同様に適
用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態である画像露光装置の
平面図
【図２】上記画像露光装置に用いられたミラーアレイデ
バイスの一部破断正面図
【図３】上記ミラーアレイデバイスの微小ミラーの一状
態を示す側面図
【図４】上記微小ミラーの別の状態を示す側面図
【図５】上記画像露光装置による露光ドットの記録状態
を説明する概略図
【図６】本発明の第２の実施形態の画像露光装置に用い
られた微小ミラーの形状と反射率分布を示す概略図
【図７】本発明の第３の実施形態の画像露光装置に用い
られた微小ミラーの一状態を示す側断面図
【図８】上記第３の実施形態の画像露光装置に用いられ
た微小ミラーの別の状態を示す側断面図
【図９】ミラーアレイデバイスの微小ミラーの開口率と
ＭＴＦとの関係を示すグラフ
【図１０】図９の関係を求める上で用いた微小ミラーを
示す正面図
【符号の説明】
10 カラー感光材料 11 光源 12 集光レンズ 13 ミラーアレイデバイス 14 結像レンズ 15 カラーフィルター 16 ブラックシャッター 17 平行平板 18 光吸収部材 20 微小ミラー 22 ヨーク 23 捩れヒンジ 24 アドレス電極 25 微小ミラーのマスク 30 ミラーアレイデバイスの制御回路 50 反射率分布を有する微小ミラー 60 面取り部を有する微小ミラー 60ａ、60ｂ 微小ミラーの面取り部 Ｌ 記録光

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 感光材料を露光させる記録光を発する光
    源と、 前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された複数の微小ミラー、およびこれらの微小ミラーの
    各々の向きを独立に変えさせる駆動部を有し、入射した
    記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に入射する方向と
    入射しない方向のいずれかに選択的に反射させるミラー
    アレイデバイスと、 画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路
    と、 前記複数の微小ミラーで反射した各記録光により形成さ
    れた感光材料上の露光ドットと露光ドットの間に、さら
    にそれらの微小ミラーで反射した記録光による露光ドッ
    トを形成するように、ミラーアレイデバイスと感光材料
    との光学的関係を変化させる画素ズラシ手段とからなる
    ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、 前記微小ミラーが、ミラーの２次元の並び方向それぞれ
    について、ミラー配置ピッチに十分近接したサイズに形
    成されるとともに、 所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッチをａ
    とし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット増
    加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーの有効開口を、こ
    の画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連
    続領域のみに制限する光無反射性のマスクが設けられて
    いることを特徴とするミラーアレイデバイスを用いた画
    像露光装置。
  2. 【請求項２】 感光材料を露光させる記録光を発する光
    源と、 前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された複数の微小ミラー、およびこれらの微小ミラーの
    各々の向きを独立に変えさせる駆動部を有し、入射した
    記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に入射する方向と
    入射しない方向のいずれかに選択的に反射させるミラー
    アレイデバイスと、 画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路
    と、 前記複数の微小ミラーで反射した各記録光により形成さ
    れた感光材料上の露光ドットと露光ドットの間に、さら
    にそれらの微小ミラーで反射した記録光による露光ドッ
    トを形成するように、ミラーアレイデバイスと感光材料
    との光学的関係を変化させる画素ズラシ手段とからなる
    ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、 前記微小ミラーが、ミラーの２次元の並び方向それぞれ
    について、ミラー配置ピッチに十分近接したサイズに形
    成されるとともに、 所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッチをａ
    とし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット増
    加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーの反射率が、この
    画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連続
    領域のみで所定値以上となる分布を有していることを特
    徴とするミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置。
  3. 【請求項３】 前記各微小ミラーの反射率が、ミラー中
    央部でほぼ最大値を取るガウス分布を有し、 前記所定値が、前記最大値のほぼ１／ｅ2 の値となって
    いることを特徴とする請求項２記載のミラーアレイデバ
    イスを用いた画像露光装置。
  4. 【請求項４】 感光材料を露光させる記録光を発する光
    源と、 前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された複数の微小ミラー、およびこれらの微小ミラーの
    各々の向きを独立に変えさせる駆動部を有し、入射した
    記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に入射する方向と
    入射しない方向のいずれかに選択的に反射させるミラー
    アレイデバイスと、 画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路
    と、 前記複数の微小ミラーで反射した各記録光により形成さ
    れた感光材料上の露光ドットと露光ドットの間に、さら
    にそれらの微小ミラーで反射した記録光による露光ドッ
    トを形成するように、ミラーアレイデバイスと感光材料
    との光学的関係を変化させる画素ズラシ手段とからなる
    ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、 前記微小ミラーが、ミラーの２次元の並び方向それぞれ
    について、ミラー配置ピッチに十分近接したサイズに形
    成されるとともに、 所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッチをａ
    とし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット増
    加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーが、この画素ズラ
    シ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連続領域から
    外れた部分で、ミラーがとり得る向きのいずれにおいて
    も前記記録光を前記感光材料上に入射しない方向に反射
    させるように面取りされていることを特徴とするミラー
    アレイデバイスを用いた画像露光装置。
  5. 【請求項５】 前記連続領域の長さがａ／ｍ以上である
    ことを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載のミ
    ラーアレイデバイスを用いた画像露光装置。
  6. 【請求項６】 前記画素ズラシ手段が、微小ミラーの相
    直交する並び方向Ｘ、Ｙにそれぞれ画素ズラシを行なう
    ように構成されていることを特徴とする請求項１から５
    いずれか１項記載のミラーアレイデバイスを用いた画像
    露光装置。
  7. 【請求項７】 感光材料を露光させる記録光を発する光
    源と、 前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された、透過率または反射率を変え得る複数の液晶セ
    ル、およびこれらの液晶セルを駆動する駆動部を有し、
    入射した記録光の感光材料への入射を各液晶セル毎に制
    御する液晶パネルと、 画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路
    と、 前記複数の液晶セルを経た各記録光により形成された感
    光材料上の露光ドットと露光ドットの間に、さらにそれ
    らの液晶セルを経た記録光による露光ドットを形成する
    ように、液晶パネルと感光材料との光学的関係を変化さ
    せる画素ズラシ手段とからなる液晶パネルを用いた画像
    露光装置において、 所定の画素ズラシ方向についての液晶セル配置ピッチを
    ａとし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット
    増加倍数をｍとしたとき、各液晶セルの有効開口を、こ
    の画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連
    続領域のみに制限する光無反射性のマスクが設けられて
    いることを特徴とする液晶パネルを用いた画像露光装
    置。
  8. 【請求項８】 感光材料を露光させる記録光を発する光
    源と、 前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された、透過率または反射率を変え得る複数の液晶セ
    ル、およびこれらの液晶セルを駆動する駆動部を有し、
    入射した記録光の感光材料への入射を各液晶セル毎に制
    御する液晶パネルと、 画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路
    と、 前記複数の液晶セルを経た各記録光により形成された感
    光材料上の露光ドットと露光ドットの間に、さらにそれ
    らの液晶セルを経た記録光による露光ドットを形成する
    ように、液晶パネルと感光材料との光学的関係を変化さ
    せる画素ズラシ手段とからなる液晶パネルを用いた画像
    露光装置において、 所定の画素ズラシ方向についての液晶セル配置ピッチを
    ａとし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット
    増加倍数をｍとしたとき、各液晶セルの透過率または反
    射率が、この画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下
    の長さの連続領域のみで所定値以上となる分布を有して
    いることを特徴とする液晶パネルを用いた画像露光装
    置。
  9. 【請求項９】 前記各液晶セルの透過率または反射率
    が、液晶セル中央部でほぼ最大値を取るガウス分布を有
    し、 前記所定値が、前記最大値のほぼ１／ｅ2 の値となって
    いることを特徴とする請求項８記載の液晶パネルを用い
    た画像露光装置。
  10. 【請求項１０】 前記連続領域の長さがａ／ｍ以上であ
    ることを特徴とする請求項７から９いずれか１項記載の
    液晶パネルを用いた画像露光装置。
  11. 【請求項１１】 前記画素ズラシ手段が、液晶セルの相
    直交する並び方向Ｘ、Ｙにそれぞれ画素ズラシを行なう
    ように構成されていることを特徴とする請求項７から１
    ０いずれか１項記載の液晶パネルを用いた画像露光装
    置。
  12. 【請求項１２】 画素ズラシを行なう画像露光装置が発
    する記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された複数の微小ミラー、およびこれらの微小ミラーの
    各々の向きを独立に変えさせる駆動部を有し、入射した
    記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に入射する方向と
    入射しない方向のいずれかに選択的に反射させるミラー
    アレイデバイスにおいて、 前記微小ミラーが、ミラーの２次元の並び方向それぞれ
    について、ミラー配置ピッチに十分近接したサイズに形
    成されるとともに、 所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッチをａ
    とし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット増
    加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーの有効開口を、こ
    の画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連
    続領域のみに制限する光無反射性のマスクが設けられて
    いることを特徴とするミラーアレイデバイス。
  13. 【請求項１３】 画素ズラシを行なう画像露光装置が発
    する記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された複数の微小ミラー、およびこれらの微小ミラーの
    各々の向きを独立に変えさせる駆動部を有し、入射した
    記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に入射する方向と
    入射しない方向のいずれかに選択的に反射させるミラー
    アレイデバイスにおいて、 前記微小ミラーが、ミラーの２次元の並び方向それぞれ
    について、ミラー配置ピッチに十分近接したサイズに形
    成されるとともに、 所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッチをａ
    とし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット増
    加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーの反射率が、この
    画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連続
    領域のみで所定値以上となる分布を有していることを特
    徴とするミラーアレイデバイス。
  14. 【請求項１４】 前記各微小ミラーの反射率が、ミラー
    中央部でほぼ最大値を取るガウス分布を有し、 前記所定値が、前記最大値のほぼ１／ｅ2 の値となって
    いることを特徴とする請求項１３記載のミラーアレイデ
    バイス。
  15. 【請求項１５】 画素ズラシを行なう画像露光装置が発
    する記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された複数の微小ミラー、およびこれらの微小ミラーの
    各々の向きを独立に変えさせる駆動部を有し、入射した
    記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に入射する方向と
    入射しない方向のいずれかに選択的に反射させるミラー
    アレイデバイスにおいて、 前記微小ミラーが、ミラーの２次元の並び方向それぞれ
    について、ミラー配置ピッチに十分近接したサイズに形
    成されるとともに、 所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッチをａ
    とし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット増
    加倍数をｍとしたとき、各微小ミラーが、この画素ズラ
    シ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連続領域から
    外れた部分で、ミラーがとり得る向きのいずれにおいて
    も前記記録光を前記感光材料上に入射しない方向に反射
    させるように面取りされていることを特徴とするミラー
    アレイデバイス。
  16. 【請求項１６】 前記連続領域の長さがａ／ｍ以上であ
    ることを特徴とする請求項１２から１５いずれか１項記
    載のミラーアレイデバイス。
  17. 【請求項１７】 画素ズラシを行なう画像露光装置が発
    する記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された、透過率または反射率を変え得る複数の液晶セ
    ル、およびこれらの液晶セルを駆動する駆動部を有し、
    入射した記録光の感光材料への入射を各液晶セル毎に制
    御する液晶パネルにおいて、 所定の画素ズラシ方向についての液晶セル配置ピッチを
    ａとし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット
    増加倍数をｍとしたとき、各液晶セルの有効開口を、こ
    の画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下の長さの連
    続領域のみに制限する光無反射性のマスクが設けられて
    いることを特徴とする液晶パネル。
  18. 【請求項１８】 画素ズラシを行なう画像露光装置が発
    する記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置
    された、透過率または反射率を変え得る複数の液晶セ
    ル、およびこれらの液晶セルを駆動する駆動部を有し、
    入射した記録光の感光材料への入射を各液晶セル毎に制
    御する液晶パネルにおいて、 所定の画素ズラシ方向についての液晶セル配置ピッチを
    ａとし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット
    増加倍数をｍとしたとき、各液晶セルの透過率または反
    射率が、この画素ズラシ方向において１．５ａ／ｍ以下
    の長さの連続領域のみで所定値以上となる分布を有して
    いることを特徴とする液晶パネル。
  19. 【請求項１９】 前記各液晶セルの透過率または反射率
    が、液晶セル中央部でほぼ最大値を取るガウス分布を有
    し、 前記所定値が、前記最大値のほぼ１／ｅ2 の値となって
    いることを特徴とする請求項１８記載の液晶パネル。
  20. 【請求項２０】 前記連続領域の長さがａ／ｍ以上であ
    ることを特徴とする請求項１７から１９いずれか１項記
    載の液晶パネル。
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