JPH09293771A - 移動制御方法 - Google Patents
移動制御方法Info
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- JPH09293771A JPH09293771A JP12771496A JP12771496A JPH09293771A JP H09293771 A JPH09293771 A JP H09293771A JP 12771496 A JP12771496 A JP 12771496A JP 12771496 A JP12771496 A JP 12771496A JP H09293771 A JPH09293771 A JP H09293771A
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ステージを１〜２回の補正動作で決められた
目標位置に高精度に位置決めする。 【技術手段】 架台に取り付けられたガイド手段と、該
ガイド手段に案内され移動可能なスライド部材５と、該
スライド部材を移動させる駆動手段１２と、前記スライ
ド部材の位置を連続して検出可能な位置検出手段１１
と、前記スライド部材に配された基準手段と、該基準手
段の位置を測定可能な測定手段８と、前記位置検出手段
の信号を取り込み前記駆動手段を制御することにより、
前記スライド部材を移動制御可能な制御手段１１とを具
備する移動装置を用い、予め前記位置検出手段の位置検
出誤差を測定し前記制御手段に記憶させておき前記スラ
イド部材を決められた目標位置に移動させるとき、前記
基準手段を前記測定手段により測定した値から目標位置
への必要移動量ΔＸを求め、さらに、前記制御手段に記
憶された前記位置検出誤差から移動前の位置検出誤差ｅ
とΔＸだけ移動させた位置での位置検出誤差ｅ0 を予測
し、前記駆動手段への移動指令値をΔＸ−（ｅ0−ｅ）
として算出し、移動させる。
目標位置に高精度に位置決めする。 【技術手段】 架台に取り付けられたガイド手段と、該
ガイド手段に案内され移動可能なスライド部材５と、該
スライド部材を移動させる駆動手段１２と、前記スライ
ド部材の位置を連続して検出可能な位置検出手段１１
と、前記スライド部材に配された基準手段と、該基準手
段の位置を測定可能な測定手段８と、前記位置検出手段
の信号を取り込み前記駆動手段を制御することにより、
前記スライド部材を移動制御可能な制御手段１１とを具
備する移動装置を用い、予め前記位置検出手段の位置検
出誤差を測定し前記制御手段に記憶させておき前記スラ
イド部材を決められた目標位置に移動させるとき、前記
基準手段を前記測定手段により測定した値から目標位置
への必要移動量ΔＸを求め、さらに、前記制御手段に記
憶された前記位置検出誤差から移動前の位置検出誤差ｅ
とΔＸだけ移動させた位置での位置検出誤差ｅ0 を予測
し、前記駆動手段への移動指令値をΔＸ−（ｅ0−ｅ）
として算出し、移動させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッド等を製造する際に用いられるステージを、高精度に
位置決めするための移動制御方法に関する。
ッド等を製造する際に用いられるステージを、高精度に
位置決めするための移動制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ステージを決められた目標位置に
位置決めする場合、目標位置と現在位置との相対位置関
係から必要移動量を算出し、それを指令値としてステー
ジを移動させていた。
位置決めする場合、目標位置と現在位置との相対位置関
係から必要移動量を算出し、それを指令値としてステー
ジを移動させていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来例においては、ステージの実際の移動量が指令
値とは異なるために、１〜２回の補正動作では十分な精
度が得られず、補正動作時間が長くかかったり、ステー
ジがオーバーランする場合もあった。
うな従来例においては、ステージの実際の移動量が指令
値とは異なるために、１〜２回の補正動作では十分な精
度が得られず、補正動作時間が長くかかったり、ステー
ジがオーバーランする場合もあった。
【０００４】さらに、ステージの実際の移動量と指令値
との誤差は、レゾルバ等による位置検出では、ステージ
位置で異なると共に、温度による変動や時間的な変動も
あるために十分な補正動作を限られた時間内で行うのが
困難であった。
との誤差は、レゾルバ等による位置検出では、ステージ
位置で異なると共に、温度による変動や時間的な変動も
あるために十分な補正動作を限られた時間内で行うのが
困難であった。
【０００５】本発明の第１の目的は、ステージを１〜２
回の補正動作で決められた目標位置に高精度に位置決め
することにある。本発明の第２の目的は、リニアモータ
等に位置検出器として一般的に使用されているレゾルバ
以外の位置検出器を新たに付加することなく安価な構成
で上記第１の目的を達成することにある。本発明の第３
の目的は、ステージの位置決めの基準となるカメラの振
動による画像のふらつきを防止することにある。本発明
の第４の目的は、ステージをオーバーランさせずに上記
第１の目的を達成することにある。
回の補正動作で決められた目標位置に高精度に位置決め
することにある。本発明の第２の目的は、リニアモータ
等に位置検出器として一般的に使用されているレゾルバ
以外の位置検出器を新たに付加することなく安価な構成
で上記第１の目的を達成することにある。本発明の第３
の目的は、ステージの位置決めの基準となるカメラの振
動による画像のふらつきを防止することにある。本発明
の第４の目的は、ステージをオーバーランさせずに上記
第１の目的を達成することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するため、本発明では、スライド部材（ステージ）の
実際の現在位置と目標位置との差から、まず必要移動量
ΔＸを求め、さらに、あらかじめ測定され、記憶された
スライド部材の位置検出誤差のデータから移動前の位置
検出誤差ｅと、ΔＸだけ移動させた位置での位置検出誤
差ｅ0 を予測し、スライド部材の移動指令値をΔＸ−
（ｅ0 −ｅ）とし、移動させることを特徴とする。これ
により、位置検出誤差を補正した高精度の位置決めが可
能になる。
成するため、本発明では、スライド部材（ステージ）の
実際の現在位置と目標位置との差から、まず必要移動量
ΔＸを求め、さらに、あらかじめ測定され、記憶された
スライド部材の位置検出誤差のデータから移動前の位置
検出誤差ｅと、ΔＸだけ移動させた位置での位置検出誤
差ｅ0 を予測し、スライド部材の移動指令値をΔＸ−
（ｅ0 −ｅ）とし、移動させることを特徴とする。これ
により、位置検出誤差を補正した高精度の位置決めが可
能になる。
【０００７】本発明の好ましい実施例において、前記位
置検出手段は、安価なリニアサーボモータに一般的に使
用されているレゾルバである。また、前記測定手段は、
前記スライド部材に形成定された基準マークを映すＣＣ
Ｄカメラの信号を取り込んで処理可能な画像処理装置で
あり、前記ＣＣＤカメラは架台に固定してある。これに
より、新たな位置検出手段を付加することなく安価な構
成で高精度の位置決めができ、カメラの振動による画像
のふらつきも容易に防止できる。さらに、前記スライド
部材を目標位置に移動させる工程は、目標位置のわずか
手前を第１の目標として移動制御する第１の工程と、該
わずか手前の第１の目標から目標位置に同じ移動制御方
法で再度移動制御させる第２の工程よりなる。これによ
り、スライド部材をオーバーランさせることなく高精度
な位置決めができる。
置検出手段は、安価なリニアサーボモータに一般的に使
用されているレゾルバである。また、前記測定手段は、
前記スライド部材に形成定された基準マークを映すＣＣ
Ｄカメラの信号を取り込んで処理可能な画像処理装置で
あり、前記ＣＣＤカメラは架台に固定してある。これに
より、新たな位置検出手段を付加することなく安価な構
成で高精度の位置決めができ、カメラの振動による画像
のふらつきも容易に防止できる。さらに、前記スライド
部材を目標位置に移動させる工程は、目標位置のわずか
手前を第１の目標として移動制御する第１の工程と、該
わずか手前の第１の目標から目標位置に同じ移動制御方
法で再度移動制御させる第２の工程よりなる。これによ
り、スライド部材をオーバーランさせることなく高精度
な位置決めができる。
【０００８】本発明は、特に、ベースプレートおよび該
ベースプレート上にほぼ密着状態で配列された複数のヒ
ータボードを具備するインクジェットヘッドにおいて、
前記ヒータボードを前記ベースプレート上に順次配列す
る際に好適である。この場合、前記ベースプレートを、
本発明の方法により制御されるスライド部材からなるス
テージに搭載して順次位置決めしながら、前記ヒータボ
ードを該ベースプレート上に順次配列する。
ベースプレート上にほぼ密着状態で配列された複数のヒ
ータボードを具備するインクジェットヘッドにおいて、
前記ヒータボードを前記ベースプレート上に順次配列す
る際に好適である。この場合、前記ベースプレートを、
本発明の方法により制御されるスライド部材からなるス
テージに搭載して順次位置決めしながら、前記ヒータボ
ードを該ベースプレート上に順次配列する。
【０００９】
（第１の実施例）以下、本発明に係る移動制御方法を、
半導体チップをベース部材に高精度に貼り合わせる装置
に適用した実施例を添付図面を参照して説明する。
半導体チップをベース部材に高精度に貼り合わせる装置
に適用した実施例を添付図面を参照して説明する。
【００１０】図１は、チップをベース部材に高精度に貼
り合わせる装置の構成図であり、チップ１を保持するバ
キュームフィンガ２はＹＺθステージ３により移動およ
び回転可能となっており、ベース部材４は、Ｘステージ
５により移動可能である。また、スケール６は、Ｘステ
ージ５の上に搭載され、ベース部材４と共に移動可能で
あり、スケール６の下面には図２に示すように基準マー
ク７が描かれている。スケール６および架台１００に固
定されたＣＣＤカメラ８は、このＣＣＤカメラ８によっ
て、チップ１とスケール６が共に視野内に入るように配
置される。
り合わせる装置の構成図であり、チップ１を保持するバ
キュームフィンガ２はＹＺθステージ３により移動およ
び回転可能となっており、ベース部材４は、Ｘステージ
５により移動可能である。また、スケール６は、Ｘステ
ージ５の上に搭載され、ベース部材４と共に移動可能で
あり、スケール６の下面には図２に示すように基準マー
ク７が描かれている。スケール６および架台１００に固
定されたＣＣＤカメラ８は、このＣＣＤカメラ８によっ
て、チップ１とスケール６が共に視野内に入るように配
置される。
【００１１】また、制御装置９はＸステージ５とＹＺθ
ステージ３の位置情報を得ると共に、画像処理装置１０
により基準マーク７（図２）とチップ１のコーナーの位
置情報を得、Ｘステージ５とＹＺθステージ３を制御す
る。基準マーク７は、Ｘステージ５が貼り付けのどの位
置においても少なくとも１つのマークが画像処理の視野
（ＣＣＤカメラ８の視野）内に入るようにＸ方向に福数
個が設けられている。本実施例では、画像処理の視野は
０．３ｍｍ角であり、スケール６の下面にＸ方向一直線
上に設けられた基準マーク７のピッチは０．２ｍｍであ
る。画像処理１０の位置検出時間は１００〜２００ｍＳ
程度であるため、Ｘステージ５およびＹＺθステージ３
はより高速なリゾルバやエンコーダを用いたサーボ系に
より駆動制御される。制御装置９はこれらのサーボ系に
Ｘステージ５およびＹＺθステージ３を送り込む目標位
置を指令位置として与える。
ステージ３の位置情報を得ると共に、画像処理装置１０
により基準マーク７（図２）とチップ１のコーナーの位
置情報を得、Ｘステージ５とＹＺθステージ３を制御す
る。基準マーク７は、Ｘステージ５が貼り付けのどの位
置においても少なくとも１つのマークが画像処理の視野
（ＣＣＤカメラ８の視野）内に入るようにＸ方向に福数
個が設けられている。本実施例では、画像処理の視野は
０．３ｍｍ角であり、スケール６の下面にＸ方向一直線
上に設けられた基準マーク７のピッチは０．２ｍｍであ
る。画像処理１０の位置検出時間は１００〜２００ｍＳ
程度であるため、Ｘステージ５およびＹＺθステージ３
はより高速なリゾルバやエンコーダを用いたサーボ系に
より駆動制御される。制御装置９はこれらのサーボ系に
Ｘステージ５およびＹＺθステージ３を送り込む目標位
置を指令位置として与える。
【００１２】１２はＸステージ５をＸ方向に駆動するリ
ニアモータ、１１はリニアモータ１２の位置や移動速度
を実質リアルタイムで検出するレゾルバである。制御装
置９は画像処理装置１０から得られた基準マーク７とチ
ップ１のコーナーとの相対位置情報に基づいてＸステー
ジ５の必要移動量を求め、その必要移動量に応じたパル
ス列信号を図示しないリニアサーボドライバに送る。リ
ニアサーボドライバではレゾルバ１１からの検出信号に
基づいてＸステージ５が前記パルス列に応じた距離だけ
移動するようリニアモータ１２をサーボ駆動する。
ニアモータ、１１はリニアモータ１２の位置や移動速度
を実質リアルタイムで検出するレゾルバである。制御装
置９は画像処理装置１０から得られた基準マーク７とチ
ップ１のコーナーとの相対位置情報に基づいてＸステー
ジ５の必要移動量を求め、その必要移動量に応じたパル
ス列信号を図示しないリニアサーボドライバに送る。リ
ニアサーボドライバではレゾルバ１１からの検出信号に
基づいてＸステージ５が前記パルス列に応じた距離だけ
移動するようリニアモータ１２をサーボ駆動する。
【００１３】図２は、図１の装置におけるＣＣＤカメラ
８の画像処理の視野を表す図であり、この実施例では、
この視野内にチップ１のコーナーとスケール６上の円形
状の基準マーク７が入っており、画像処理装置１０によ
って、チップ１と基準マーク７の相対位置情報Ｘを算出
する。
８の画像処理の視野を表す図であり、この実施例では、
この視野内にチップ１のコーナーとスケール６上の円形
状の基準マーク７が入っており、画像処理装置１０によ
って、チップ１と基準マーク７の相対位置情報Ｘを算出
する。
【００１４】図３は、Ｘステージ５のレゾルバ１１の絶
対位置誤差の一部を表す図であり、Ｘステージ５の指令
位置からその位置での絶対誤差を読み取ることができ
る。図中、実線のカーブは制御装置９内に記憶された位
置検出誤差を表し、点線のカーブは、動作時の位置検出
誤差を表す予想カーブである。Ｐは現在位置、Ｑは目標
位置である。実線のカーブは、Ｘステージ５の位置を校
正用のレーザ測長器で測定しながら、指令位置を微少定
ピッチで少しずつ動かしていきその時の指令位置とレー
ザ測長器からの出力データとを比較して求めた。実験で
求めた実線のカーブは、図中、上下方向の変動と共に曲
線のカーブも多少変動する。これらの変動は、レゾルバ
自体の出力信号が９０°位相のずれた２つのサインカー
ブをしたアナログ信号であり、これらを比較してパルス
列等のディジタル信号に変換し、位置フィードバック信
号として使用するのが一般的であるが、元がアナログ信
号のため歪みやドリフト、さらにレゾルバ内部のギャッ
プの変動等の影響を受けるためと考えられる。
対位置誤差の一部を表す図であり、Ｘステージ５の指令
位置からその位置での絶対誤差を読み取ることができ
る。図中、実線のカーブは制御装置９内に記憶された位
置検出誤差を表し、点線のカーブは、動作時の位置検出
誤差を表す予想カーブである。Ｐは現在位置、Ｑは目標
位置である。実線のカーブは、Ｘステージ５の位置を校
正用のレーザ測長器で測定しながら、指令位置を微少定
ピッチで少しずつ動かしていきその時の指令位置とレー
ザ測長器からの出力データとを比較して求めた。実験で
求めた実線のカーブは、図中、上下方向の変動と共に曲
線のカーブも多少変動する。これらの変動は、レゾルバ
自体の出力信号が９０°位相のずれた２つのサインカー
ブをしたアナログ信号であり、これらを比較してパルス
列等のディジタル信号に変換し、位置フィードバック信
号として使用するのが一般的であるが、元がアナログ信
号のため歪みやドリフト、さらにレゾルバ内部のギャッ
プの変動等の影響を受けるためと考えられる。
【００１５】以下、図１の装置の動作を図４の制御フロ
ーのステップＳ１〜Ｓ８に沿って説明する。まず、ステ
ップＳ１でチップ１をＣＣＤカメラ８のピントが合う位
置までＹＺθステージ３で下降させる。ステップＳ２
で、ＣＣＤカメラ８からチップ１と基準マーク７との相
対位置情報Ｘを得、必要移動量ΔＸ＝Ｘ0 −Ｘを算出す
る。ここで、Ｘ0 は、チップ１と基準マーク７とのあら
かじめ決められた目標位置関係とする。
ーのステップＳ１〜Ｓ８に沿って説明する。まず、ステ
ップＳ１でチップ１をＣＣＤカメラ８のピントが合う位
置までＹＺθステージ３で下降させる。ステップＳ２
で、ＣＣＤカメラ８からチップ１と基準マーク７との相
対位置情報Ｘを得、必要移動量ΔＸ＝Ｘ0 −Ｘを算出す
る。ここで、Ｘ0 は、チップ１と基準マーク７とのあら
かじめ決められた目標位置関係とする。
【００１６】次にステップＳ３で｜ΔＸ｜＞ε（但し、
εは必要精度）ならば、Ｘステージ５の補正動作をステ
ップＳ４、Ｓ５で行う。
εは必要精度）ならば、Ｘステージ５の補正動作をステ
ップＳ４、Ｓ５で行う。
【００１７】この補正動作を行うためにＸステージ５の
移動指令値ΔＰをΔＰ＝ΔＸとした場合を想定すると、
図３の誤差曲線からＸステージ５は実際にはΔＸ＋（ｅ
0 ＋Δｅ0 −ｅ−Δｅ）だけ移動する。つまり、（ｅ0
＋Δｅ0 −ｅ−Δｅ）だけ目標位置とは異なる位置に移
動することになる。したがって、ΔＰ＝ΔＸ−（ｅ0 −
ｅ＋Δｅ0 −Δｅ）をＸステージ５の移動指令値とする
必要がある。しかし、Δｅ0 とΔｅの値は毎回変動する
ので、あらかじめ記憶しておくことはできないが、実験
上、（ｅ0 −ｅ）に比較して（Δｅ0 −Δｅ）の値は、
かなり小さい。
移動指令値ΔＰをΔＰ＝ΔＸとした場合を想定すると、
図３の誤差曲線からＸステージ５は実際にはΔＸ＋（ｅ
0 ＋Δｅ0 −ｅ−Δｅ）だけ移動する。つまり、（ｅ0
＋Δｅ0 −ｅ−Δｅ）だけ目標位置とは異なる位置に移
動することになる。したがって、ΔＰ＝ΔＸ−（ｅ0 −
ｅ＋Δｅ0 −Δｅ）をＸステージ５の移動指令値とする
必要がある。しかし、Δｅ0 とΔｅの値は毎回変動する
ので、あらかじめ記憶しておくことはできないが、実験
上、（ｅ0 −ｅ）に比較して（Δｅ0 −Δｅ）の値は、
かなり小さい。
【００１８】そこで、ステップＳ４では、ΔＰ＝ΔＸ−
（ｅ0 −ｅ）をＸステージ５の移動指令値とする。続け
て、ステップＳ５では、Ｘステージ５をステップＳ４で
求めたΔＰだけ相対移動させる。このステップＳ５終了
後、確認のためステップＳ２に戻り、再度、必要移動量
ΔＸを求め、必要精度ε以内ならば、ステップＳ６でチ
ップ１をベース部材４まで下降させ、ステップＳ７でチ
ップ１とベース部材４を接着し、ステップＳ８でフィン
ガ２を上昇させ、チップ１個の貼り合わせ動作が終了す
る。
（ｅ0 −ｅ）をＸステージ５の移動指令値とする。続け
て、ステップＳ５では、Ｘステージ５をステップＳ４で
求めたΔＰだけ相対移動させる。このステップＳ５終了
後、確認のためステップＳ２に戻り、再度、必要移動量
ΔＸを求め、必要精度ε以内ならば、ステップＳ６でチ
ップ１をベース部材４まで下降させ、ステップＳ７でチ
ップ１とベース部材４を接着し、ステップＳ８でフィン
ガ２を上昇させ、チップ１個の貼り合わせ動作が終了す
る。
【００１９】本実施例によれば、スライド部材の実際の
現在位置と目標位置との差から、まず必要移動量ΔＸを
求め、さらに、あらかじめ測定され、記憶されたスライ
ド部材の位置検出誤差のデータから移動前の位置検出誤
差ｅと、ΔＸだけ移動させた位置での位置検出誤差ｅ0
を予測し、スライド部材への移動指令値をΔＸ−（ｅ0
−ｅ）とし、移動させたので、少ない補正動作回数で高
精度な位置決めが可能となった。また、安価なリニアサ
ーボモータに一般的に用いられているレゾルバによる位
置検出手段でも少ない補正動作回数で高精度な位置決め
が可能となった。さらに、位置合わせの基準となるカメ
ラを固定したので、カメラの振動による画像のふらつき
を容易に防止できた。
現在位置と目標位置との差から、まず必要移動量ΔＸを
求め、さらに、あらかじめ測定され、記憶されたスライ
ド部材の位置検出誤差のデータから移動前の位置検出誤
差ｅと、ΔＸだけ移動させた位置での位置検出誤差ｅ0
を予測し、スライド部材への移動指令値をΔＸ−（ｅ0
−ｅ）とし、移動させたので、少ない補正動作回数で高
精度な位置決めが可能となった。また、安価なリニアサ
ーボモータに一般的に用いられているレゾルバによる位
置検出手段でも少ない補正動作回数で高精度な位置決め
が可能となった。さらに、位置合わせの基準となるカメ
ラを固定したので、カメラの振動による画像のふらつき
を容易に防止できた。
【００２０】（第２の実施例）次に、長尺インクジェッ
トヘッドで使われている複数のヒータボードをアルミで
できたベースプレートに高精度に並べる場合について述
べる。この場合、複数のヒータボードをほぼ密着させた
状態で並べる必要があるが、ヒータボードを位置合わせ
するときに、先に貼り合わせたヒータボードと接触する
と先に貼り合わせたヒータボードの位置がずれたり、ヒ
ータボードが欠けたりしてしまうので、上記ステップＳ
５の補正動作において、Ｘステージ５が隣接するヒータ
ーボード間の最小クリアランスを越えてオーバーランす
ることは少しでも許されない。
トヘッドで使われている複数のヒータボードをアルミで
できたベースプレートに高精度に並べる場合について述
べる。この場合、複数のヒータボードをほぼ密着させた
状態で並べる必要があるが、ヒータボードを位置合わせ
するときに、先に貼り合わせたヒータボードと接触する
と先に貼り合わせたヒータボードの位置がずれたり、ヒ
ータボードが欠けたりしてしまうので、上記ステップＳ
５の補正動作において、Ｘステージ５が隣接するヒータ
ーボード間の最小クリアランスを越えてオーバーランす
ることは少しでも許されない。
【００２１】オーバーランの量は、図３で（Δｅ0 −Δ
ｅ）＞０の場合、（Δｅ0 −Δｅ）だけ発生する可能性
がある。そこで、１回目の補正動作時には、ステップＳ
４において目標位置のわずか手前の位置を目標としてΔ
Ｐを算出し、２回目以降の補正動作時には、あらかじめ
決められた目標位置を目標としてΔＰを算出することに
より、Ｘステージ５の必要移動量ΔＸが小さければ当然
（Δｅ0 −Δｅ）も小さいので、オーバーランさせず
に、つまり横のチップと接触させずにＸステージを高精
度に位置決めさせることが可能となる。
ｅ）＞０の場合、（Δｅ0 −Δｅ）だけ発生する可能性
がある。そこで、１回目の補正動作時には、ステップＳ
４において目標位置のわずか手前の位置を目標としてΔ
Ｐを算出し、２回目以降の補正動作時には、あらかじめ
決められた目標位置を目標としてΔＰを算出することに
より、Ｘステージ５の必要移動量ΔＸが小さければ当然
（Δｅ0 −Δｅ）も小さいので、オーバーランさせず
に、つまり横のチップと接触させずにＸステージを高精
度に位置決めさせることが可能となる。
【００２２】本実施例によれば、目標位置のわずか手前
を第１の目標として移動制御する工程を設けたので、上
記第１の実施例における効果に加えて、スライド部材を
オーバーランすることなく、高精度な位置決めが可能と
なった。
を第１の目標として移動制御する工程を設けたので、上
記第１の実施例における効果に加えて、スライド部材を
オーバーランすることなく、高精度な位置決めが可能と
なった。
【００２３】
（１）上述の実施例においてはＸステージでの補正方法
について説明したが、Ｙステージでも同様な補正方法が
可能である。 （２）上述においてはＸステージの構成として、リニア
モータとレゾルバを用いたが、サーボモータとボールネ
ジとエンコーダの構成でも良い。 （３）上述において誤差データは、測定値をそのまま記
憶させているが、微小動作範囲ならば、２次曲線などの
近似曲線の係数として記憶しておいても良い。
について説明したが、Ｙステージでも同様な補正方法が
可能である。 （２）上述においてはＸステージの構成として、リニア
モータとレゾルバを用いたが、サーボモータとボールネ
ジとエンコーダの構成でも良い。 （３）上述において誤差データは、測定値をそのまま記
憶させているが、微小動作範囲ならば、２次曲線などの
近似曲線の係数として記憶しておいても良い。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 （１）スライド部材の実際の現在位置と目標位置との差
から、まず必要移動量ΔＸを求め、さらに、あらかじめ
測定され、記憶されたスライド部材の位置検出誤差のデ
ータから移動前の位置検出誤差ｅと、ΔＸだけ移動させ
た位置での位置検出誤差ｅ0 を予測し、スライド部材へ
の移動指令値をΔＸ−（ｅ0 −ｅ）とし、移動させたの
で、少ない補正動作回数で高精度な位置決めが可能とな
った。 （２）安価なリニアサーボモータに一般的に用いられて
いるレゾルバによる位置検出手段でも少ない補正動作回
数で高精度な位置決めが可能となった。 （３）位置合わせの基準となるカメラを固定することに
より、カメラの振動による画像のふらつきを容易に防止
できた。 （４）目標位置のわずか手前を第１の目標として移動制
御する工程を設けることにより、スライド部材をオーバ
ーランすることなく、高精度な位置決めが可能となっ
た。
から、まず必要移動量ΔＸを求め、さらに、あらかじめ
測定され、記憶されたスライド部材の位置検出誤差のデ
ータから移動前の位置検出誤差ｅと、ΔＸだけ移動させ
た位置での位置検出誤差ｅ0 を予測し、スライド部材へ
の移動指令値をΔＸ−（ｅ0 −ｅ）とし、移動させたの
で、少ない補正動作回数で高精度な位置決めが可能とな
った。 （２）安価なリニアサーボモータに一般的に用いられて
いるレゾルバによる位置検出手段でも少ない補正動作回
数で高精度な位置決めが可能となった。 （３）位置合わせの基準となるカメラを固定することに
より、カメラの振動による画像のふらつきを容易に防止
できた。 （４）目標位置のわずか手前を第１の目標として移動制
御する工程を設けることにより、スライド部材をオーバ
ーランすることなく、高精度な位置決めが可能となっ
た。
【図１】 チップ貼り付け装置の構成図である。
【図２】 ＣＣＤカメラの視野を示す図である。
【図３】 レゾルバの絶対位置誤差を示す図である。
【図４】 制御フローを示す図である。
１：チップ、２：バキュームフィンガ、３：ＹＺθステ
ージ、４：ベース部材、５：Ｘステージ、６：スケー
ル、７：基準マーク、８：ＣＣＤカメラ、９：制御装
置、１０：画像処理装置、１１：レゾルバ、１２：リニ
アモータ、１００：架台。
ージ、４：ベース部材、５：Ｘステージ、６：スケー
ル、７：基準マーク、８：ＣＣＤカメラ、９：制御装
置、１０：画像処理装置、１１：レゾルバ、１２：リニ
アモータ、１００：架台。
Claims (5)
- 【請求項１】 架台に取り付けられたガイド手段と、 該ガイド手段に案内され移動可能なスライド部材と、 該スライド部材を移動させる駆動手段と、 前記スライド部材の位置を連続して検出可能な位置検出
手段と、 前記スライド部材に配された基準手段と、 該基準手段の位置を測定可能な測定手段と、 前記位置検出手段の信号を取り込んで移動指令値を算出
し前記駆動手段を制御することにより、前記スライド部
材を移動制御可能な制御手段とを具備する移動装置にお
いて、 予め前記位置検出手段の位置検出誤差を測定し前記制御
手段に記憶させておき、前記スライド部材を決められた
目標位置に移動させるとき、前記基準手段を前記測定手
段により測定した値に基づいて現在位置から前記目標位
置への必要移動量ΔＸを求め、さらに、前記制御手段に
記憶された前記位置検出誤差から移動前の位置検出誤差
ｅとΔＸだけ移動させた位置での位置検出誤差ｅ0 を予
測し、前記移動指令値をΔＸ−（ｅ0 −ｅ）として算出
し、この移動指令値と前記位置検出手段の信号とに基づ
いて前記駆動手段を制御し前記スライド部材を移動させ
ることを特徴とする移動制御方法。 - 【請求項２】 前記位置検出手段はレゾルバであること
を特徴とする請求項１記載の移動制御方法。 - 【請求項３】 前記基準手段は、画像処理装置で位置を
求めることが可能なマークであり、前記測定手段は、Ｃ
ＣＤカメラの信号を取り込み処理可能な画像処理装置で
あり、ＣＣＤカメラは固定してあることを特徴とする請
求項１記載の移動制御方法。 - 【請求項４】 請求項１記載の移動制御方法で前記スラ
イド部材を目標位置に移動させるとき、目標位置のわず
か手前を第１の目標として移動制御する第１の工程と、
該わずか手前の第１の目標から目標位置に同じ移動制御
方法で再度移動制御させる第２の工程よりなることを特
徴とする移動制御方法。 - 【請求項５】 ベースプレートおよび該ベースプレート
上にほぼ密着状態で配列された複数のヒータボードを具
備するインクジェットヘッドにおいて、前記ヒータボー
ドは、前記ベースプレートを前記請求項１〜４のいずれ
かに記載された方法により制御されるスライド部材から
なるステージに搭載し、該ベースプレートを該方法によ
り順次位置決めしながら、該ベースプレート上に順次配
列したものであるインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12771496A JPH09293771A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 移動制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12771496A JPH09293771A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 移動制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09293771A true JPH09293771A (ja) | 1997-11-11 |
Family
ID=14966897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12771496A Pending JPH09293771A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 移動制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09293771A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7298156B2 (en) | 2002-03-07 | 2007-11-20 | Advantest Corporation | Electronic part test apparatus |
| CN100365464C (zh) * | 2004-03-17 | 2008-01-30 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 定位装置 |
| US7780259B2 (en) | 2003-06-30 | 2010-08-24 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink cartridge, detection device for cartridge identification and ink level detection, and image formation apparatus comprising thereof |
-
1996
- 1996-04-25 JP JP12771496A patent/JPH09293771A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7298156B2 (en) | 2002-03-07 | 2007-11-20 | Advantest Corporation | Electronic part test apparatus |
| US7780259B2 (en) | 2003-06-30 | 2010-08-24 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink cartridge, detection device for cartridge identification and ink level detection, and image formation apparatus comprising thereof |
| CN100365464C (zh) * | 2004-03-17 | 2008-01-30 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 定位装置 |
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