JPH09295224A - 超硬工具のダイヤモンド膜の被覆方法 - Google Patents
超硬工具のダイヤモンド膜の被覆方法Info
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- JPH09295224A JPH09295224A JP9007387A JP738797A JPH09295224A JP H09295224 A JPH09295224 A JP H09295224A JP 9007387 A JP9007387 A JP 9007387A JP 738797 A JP738797 A JP 738797A JP H09295224 A JPH09295224 A JP H09295224A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C16/0227—Pretreatment of the material to be coated by cleaning or etching
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- C25F3/02—Etching
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイヤモンド膜と超硬母材との接着力を向上
し、無毒性で、廃棄物処理が簡単な超硬工具のダイヤモ
ンド膜の被覆方法に関する。 【解決手段】 ダイヤモンド膜を超硬工具の表面に蒸着
するとき、母材の表面をＮａＯＨまたはＫＯＨ水溶液中
で電解エッチングするか、ＫＭｎＯ4 ＋ＫＯＨ水溶液で
化学エッチングした後、前記超硬工具にダイヤモンド膜
を蒸着する。
し、無毒性で、廃棄物処理が簡単な超硬工具のダイヤモ
ンド膜の被覆方法に関する。 【解決手段】 ダイヤモンド膜を超硬工具の表面に蒸着
するとき、母材の表面をＮａＯＨまたはＫＯＨ水溶液中
で電解エッチングするか、ＫＭｎＯ4 ＋ＫＯＨ水溶液で
化学エッチングした後、前記超硬工具にダイヤモンド膜
を蒸着する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超硬工具にダイヤ
モンド膜を蒸着させ被覆する方法に係るもので、詳しく
は、ダイヤモンド膜の蒸着前に超硬母材の表面をＮａＯ
Ｈ又はＫＯＨ水溶液中で電解エッチングするか、又はＫ
ＭｎＯ4 ＋ＫＯＨ水溶液で化学エッチングして、ダイヤ
モンド膜と超硬母材との接着力を向上させた超硬工具の
ダイヤモンド膜の被覆方法に関するものである。
モンド膜を蒸着させ被覆する方法に係るもので、詳しく
は、ダイヤモンド膜の蒸着前に超硬母材の表面をＮａＯ
Ｈ又はＫＯＨ水溶液中で電解エッチングするか、又はＫ
ＭｎＯ4 ＋ＫＯＨ水溶液で化学エッチングして、ダイヤ
モンド膜と超硬母材との接着力を向上させた超硬工具の
ダイヤモンド膜の被覆方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】表面にダイヤモンド膜をコーティングし
た超硬工具は、一般の超硬工具に比べて性能が著しく優
れていることが知られている。
た超硬工具は、一般の超硬工具に比べて性能が著しく優
れていることが知られている。
【０００３】しかし、このようなダイヤモンド膜がコー
ティングされた超硬工具は、該コーティングされたダイ
ヤモンド膜が工具から剥離すると機能を失ってしまう。
ティングされた超硬工具は、該コーティングされたダイ
ヤモンド膜が工具から剥離すると機能を失ってしまう。
【０００４】そして、このような剥離現象は、超硬工具
の表面とダイヤモンド膜間の接着力が不十分なとき発生
するので、該接着力を増大させる研究が盛んに行われ、
その方法の一つとして、超硬工具の表面を化学的溶液に
てエッチング処理する方法がある。
の表面とダイヤモンド膜間の接着力が不十分なとき発生
するので、該接着力を増大させる研究が盛んに行われ、
その方法の一つとして、超硬工具の表面を化学的溶液に
てエッチング処理する方法がある。
【０００５】また、このようなエッチング処理方法に
は、超硬工具の表面の結合相を酸により溶かす方法と、
炭化物相を溶かす方法とが主に用いられている。
は、超硬工具の表面の結合相を酸により溶かす方法と、
炭化物相を溶かす方法とが主に用いられている。
【０００６】ところで前者の方法は、結合相のコバルト
が、触媒作用によりダイヤモンド膜と超硬工具表面間に
非ダイヤモンド相を形成して接着力を弱化させるため、
コバルト相を所定の深さだけ除去する方法であって、こ
の方法は充分な接着力を維持しえないという短所があ
る。
が、触媒作用によりダイヤモンド膜と超硬工具表面間に
非ダイヤモンド相を形成して接着力を弱化させるため、
コバルト相を所定の深さだけ除去する方法であって、こ
の方法は充分な接着力を維持しえないという短所があ
る。
【０００７】一方、後者の方法は、ムラカミ溶液を用い
て炭化物相をエッチングした後、再び前者の方法を用い
てコバルト相をエッチングする方法であって、米国特許
第５２３６７４０に記載されるように、フェリシアン化
カリウム１０ｇ＋水酸化カリウム１０ｇ＋水１００ｇの
ムラカミ溶液を用いて超硬工具の表面を２分間以上エッ
チングした後、硫酸−過酸化水素溶液を用いて再び５秒
間以上エッチングして、ダイヤモンド膜で被覆された超
硬工具を製造するものである。
て炭化物相をエッチングした後、再び前者の方法を用い
てコバルト相をエッチングする方法であって、米国特許
第５２３６７４０に記載されるように、フェリシアン化
カリウム１０ｇ＋水酸化カリウム１０ｇ＋水１００ｇの
ムラカミ溶液を用いて超硬工具の表面を２分間以上エッ
チングした後、硫酸−過酸化水素溶液を用いて再び５秒
間以上エッチングして、ダイヤモンド膜で被覆された超
硬工具を製造するものである。
【０００８】このようなムラカミ溶液を用いる方法にお
いては、次式に示すように、ムラカミ溶液中のフェリシ
アン化カリウムは、ＫＯＨと反応して発生期酸素を発生
し、フェリシアン化カリウムは酸化剤として作用して一
般の化学エッチング溶液中で酸化作用を行う成分を除去
し、エッチングを施す試片に電気的ポテンシャルを加え
るのと同様な効果を得ることができる〔Metallography
Principles and practice by George F. Vader Voort,
MacGraw-Hill Book Co. 1984参照〕ものである。
いては、次式に示すように、ムラカミ溶液中のフェリシ
アン化カリウムは、ＫＯＨと反応して発生期酸素を発生
し、フェリシアン化カリウムは酸化剤として作用して一
般の化学エッチング溶液中で酸化作用を行う成分を除去
し、エッチングを施す試片に電気的ポテンシャルを加え
るのと同様な効果を得ることができる〔Metallography
Principles and practice by George F. Vader Voort,
MacGraw-Hill Book Co. 1984参照〕ものである。
【０００９】２Ｋ3 Ｆｅ（ＣＮ)6＋２ＫＯＨ→２Ｋ4 Ｆ
ｅ（ＣＮ)6＋Ｈ2 Ｏ＋1/2 Ｏ2
ｅ（ＣＮ)6＋Ｈ2 Ｏ＋1/2 Ｏ2
【００１０】しかしながら、ムラカミ溶液の構成成分中
のフェリシアン化カリウムの価格は、他成分の水酸化カ
リウムよりも約１０倍高価であるのみならず、該フェリ
シアン化カリウムは加熱するか又は酸及び酸の蒸気と接
触すると、極めて有毒なシアン化物のガスを発生し、窒
息死を起こすことがあるので非常に危険である。
のフェリシアン化カリウムの価格は、他成分の水酸化カ
リウムよりも約１０倍高価であるのみならず、該フェリ
シアン化カリウムは加熱するか又は酸及び酸の蒸気と接
触すると、極めて有毒なシアン化物のガスを発生し、窒
息死を起こすことがあるので非常に危険である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、超硬
工具の表面をエッチングするとき、人体に無害な水溶液
を用いて作業の安全を図り、廉価の水溶液を用いて製造
コストを減らしうる、超硬工具のダイヤモンド膜の被覆
方法を提供するものである。
工具の表面をエッチングするとき、人体に無害な水溶液
を用いて作業の安全を図り、廉価の水溶液を用いて製造
コストを減らしうる、超硬工具のダイヤモンド膜の被覆
方法を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このような本発明の目的
を達成するため、本発明に係る超硬工具のダイヤモンド
膜の被覆方法においては、本発明のエッチング液により
超硬工具母材の炭化物相をエッチングして表面の粗さを
増加させ、ダイヤモンド膜と超硬工具母材表面間の機械
的結合効果を向上させ、膜の接着力を向上させるもので
ある。
を達成するため、本発明に係る超硬工具のダイヤモンド
膜の被覆方法においては、本発明のエッチング液により
超硬工具母材の炭化物相をエッチングして表面の粗さを
増加させ、ダイヤモンド膜と超硬工具母材表面間の機械
的結合効果を向上させ、膜の接着力を向上させるもので
ある。
【００１３】そこで、本発明に係る超硬工具にダイヤモ
ンド膜を被覆する第１の方法は、被エッチング材に電圧
を印加して超硬工具母材の表面をＮａＯＨ又はＫＯＨ水
溶液を用いてエッチングした後、該表面にダイヤモンド
膜をコーティングして、超硬工具母材の表面とダイヤモ
ンド膜との接着力を向上させるものである。
ンド膜を被覆する第１の方法は、被エッチング材に電圧
を印加して超硬工具母材の表面をＮａＯＨ又はＫＯＨ水
溶液を用いてエッチングした後、該表面にダイヤモンド
膜をコーティングして、超硬工具母材の表面とダイヤモ
ンド膜との接着力を向上させるものである。
【００１４】また、本発明に係る超硬工具にダイヤモン
ド膜を被覆する第２の方法は、ＫＭｎ4 Ｏ＋ＫＯＨ水溶
液をエッチング液として用いる方法であって、毒性のあ
るフェリシアン化カリウムの代わりに、ＫＭｎＯ4 を用
いてエッチングを施した後、表面にダイヤモンド膜をコ
ーティングして超硬工具母材の表面とダイヤモンド膜と
の接着力を向上させるものである。
ド膜を被覆する第２の方法は、ＫＭｎ4 Ｏ＋ＫＯＨ水溶
液をエッチング液として用いる方法であって、毒性のあ
るフェリシアン化カリウムの代わりに、ＫＭｎＯ4 を用
いてエッチングを施した後、表面にダイヤモンド膜をコ
ーティングして超硬工具母材の表面とダイヤモンド膜と
の接着力を向上させるものである。
【００１５】以下、本発明に係る超硬工具にダイヤモン
ド膜を被覆する方法を説明する。
ド膜を被覆する方法を説明する。
【００１６】先ず、第１の方法は、ＮａＯＨ又はＫＯＨ
水溶液をエッチング溶液に用いて電解エッチングを施す
方法である。このとき、ＫＯＨ又はＮａＯＨの濃度は５
〜５０％にすることが望ましく、超硬工具は陽極に装着
する。電圧及び電流はＫＯＨ又はＮａＯＨの濃度によっ
て適切に調節する。
水溶液をエッチング溶液に用いて電解エッチングを施す
方法である。このとき、ＫＯＨ又はＮａＯＨの濃度は５
〜５０％にすることが望ましく、超硬工具は陽極に装着
する。電圧及び電流はＫＯＨ又はＮａＯＨの濃度によっ
て適切に調節する。
【００１７】第２の方法では、ＫＭｎＯ4 ＋ＫＯＨ水溶
液を用いて化学エッチングを施すが、このときエッチン
グ液の組成は、ＫＭｎＯ4 ５〜３０％、ＫＯＨ １〜１
５％、Ｈ2 Ｏ ５５〜９４％にし、処理時間は１分以上
にする。
液を用いて化学エッチングを施すが、このときエッチン
グ液の組成は、ＫＭｎＯ4 ５〜３０％、ＫＯＨ １〜１
５％、Ｈ2 Ｏ ５５〜９４％にし、処理時間は１分以上
にする。
【００１８】このようなエッチング法は、先ず超硬工具
を蒸留水及びトリクロロエチレンなどを用いて洗浄する
ことが望ましい。本発明により超硬工具の表面をエッチ
ング処理すると、超硬工具の炭化物相が不規則に食刻さ
れて超硬工具の表面粗度が増加し、このように粗度が増
加した超硬工具の表面は、ダイヤモンド膜と機械的結合
効果を奏し、相互間の結合力を増加させる。
を蒸留水及びトリクロロエチレンなどを用いて洗浄する
ことが望ましい。本発明により超硬工具の表面をエッチ
ング処理すると、超硬工具の炭化物相が不規則に食刻さ
れて超硬工具の表面粗度が増加し、このように粗度が増
加した超硬工具の表面は、ダイヤモンド膜と機械的結合
効果を奏し、相互間の結合力を増加させる。
【００１９】このようにエッチングした超硬工具を再び
蒸留水及びアセトンにて洗浄し、Ｈ2 ＳＯ4 −Ｈ2 Ｏ2
混合溶液を用いて５秒間以上エッチングし、コバルト結
合相を除去する。
蒸留水及びアセトンにて洗浄し、Ｈ2 ＳＯ4 −Ｈ2 Ｏ2
混合溶液を用いて５秒間以上エッチングし、コバルト結
合相を除去する。
【００２０】その後、この超硬工具を再び蒸留水及びア
セトンにて洗浄し、ダイヤモンド粉末スラリー液を用い
て超音波洗浄器でシーディングを行った後、蒸留水及び
アセトンにて超音波洗浄する。
セトンにて洗浄し、ダイヤモンド粉末スラリー液を用い
て超音波洗浄器でシーディングを行った後、蒸留水及び
アセトンにて超音波洗浄する。
【００２１】次いで、処理を行った超硬工具は一般のダ
イヤモンドコーティング手段によりダイヤモンド膜をコ
ーティングする。
イヤモンドコーティング手段によりダイヤモンド膜をコ
ーティングする。
【００２２】以下、本発明の実施の形態に対して説明す
る。
る。
【００２３】
実施例１ Ｋ２０ ＳＰＧＮ １２０３０８超硬工具を、蒸留水及
びアセトンを用いて超音波洗浄した。Ａ試片は、２０％
硫酸−８０％過酸化水素溶液を用いて３０秒間エッチン
グし、Ｂ試片は、１０％ＫＯＨ水溶液を電解液に用いて
８Ｖ、１０Ａの条件下で１５分間電解エッチングを施し
た後、Ａ試片と同様のＨ2 ＳＯ4 ＋Ｈ2Ｏ2 混合溶液で
エッチングした。
びアセトンを用いて超音波洗浄した。Ａ試片は、２０％
硫酸−８０％過酸化水素溶液を用いて３０秒間エッチン
グし、Ｂ試片は、１０％ＫＯＨ水溶液を電解液に用いて
８Ｖ、１０Ａの条件下で１５分間電解エッチングを施し
た後、Ａ試片と同様のＨ2 ＳＯ4 ＋Ｈ2Ｏ2 混合溶液で
エッチングした。
【００２４】その後、全てのＡ及びＢ試片を、蒸留水及
びアセトンで再び洗浄し、０．５μm のダイヤモンド粉
末をエチルアルコールに分散させた溶液で２分間超音波
処理した後、蒸留水及びアセトンで再び洗浄した。
びアセトンで再び洗浄し、０．５μm のダイヤモンド粉
末をエチルアルコールに分散させた溶液で２分間超音波
処理した後、蒸留水及びアセトンで再び洗浄した。
【００２５】この二つの試片にマイクロウェーヴ化学蒸
気蒸着法（ＣＶＤ）を施して、メタン５％、圧力１１０
torr、基板温度９６０℃の条件下で５０μm の厚さにダ
イヤモンド膜を蒸着した。
気蒸着法（ＣＶＤ）を施して、メタン５％、圧力１１０
torr、基板温度９６０℃の条件下で５０μm の厚さにダ
イヤモンド膜を蒸着した。
【００２６】Ａ試片は、蒸着後、常温まで冷却したとき
に膜が基板から剥離されたが、Ｂ試片は、剥離されず良
好な接着状態を維持した。
に膜が基板から剥離されたが、Ｂ試片は、剥離されず良
好な接着状態を維持した。
【００２７】実施例２ Ｂ試片を処理する電解液として、１０％ＫＯＨ水溶液の
代わりに、１０％ＮａＯＨ水溶液を用い、その他は実施
例１と同様な方法で実験した。その結果、実施例１と同
様な結果が得られた。
代わりに、１０％ＮａＯＨ水溶液を用い、その他は実施
例１と同様な方法で実験した。その結果、実施例１と同
様な結果が得られた。
【００２８】実施例３ Ｋ２０ ＳＰＧＮ １２０３０８超硬工具を蒸留水及び
アセトンにて超音波洗浄し、その後、Ａ試片はいずれの
処理も行わず、Ｂ試片はムラカミ溶液で２時間エッチン
グし、Ｃ試片はＫＭｎＯ4 ５ｇ及びＫＯＨ １０ｇを蒸
留水１００mlに溶かした溶液で２時間エッチングした。
アセトンにて超音波洗浄し、その後、Ａ試片はいずれの
処理も行わず、Ｂ試片はムラカミ溶液で２時間エッチン
グし、Ｃ試片はＫＭｎＯ4 ５ｇ及びＫＯＨ １０ｇを蒸
留水１００mlに溶かした溶液で２時間エッチングした。
【００２９】次いで、Ｂ試片及びＣ試片を蒸留水にて洗
浄した後、２０％硫酸−８０％過酸化水素溶液で３０秒
間エッチングした。
浄した後、２０％硫酸−８０％過酸化水素溶液で３０秒
間エッチングした。
【００３０】その後、Ａ、Ｂ、Ｃ試片の表面粗度を、ス
チルス（stylus）のチップ半径が１２μm のプロフィロ
メータにより測定した。該測定した表面粗度は、Ａ試片
がＲａ ０．０８μm 、Ｂ試片がＲａ ０．４μm であ
ったが、Ｃ試片はＲａ ２．０μm であった。
チルス（stylus）のチップ半径が１２μm のプロフィロ
メータにより測定した。該測定した表面粗度は、Ａ試片
がＲａ ０．０８μm 、Ｂ試片がＲａ ０．４μm であ
ったが、Ｃ試片はＲａ ２．０μm であった。
【００３１】これら三つの試片を用いて、実施例１と同
じ条件下でダイヤモンド膜を約５０μm の厚さに蒸着し
た。
じ条件下でダイヤモンド膜を約５０μm の厚さに蒸着し
た。
【００３２】その結果、Ａ、Ｂ試片は冷却後ダイヤモン
ド膜が剥離されたが、Ｃ試片は剥離されなかった。
ド膜が剥離されたが、Ｃ試片は剥離されなかった。
【００３３】実施例４ Ｋ２０ ＳＰＧＮ １２０３０８超硬工具を蒸留水及び
アセトンで超音波洗浄し、Ａ試片は実施例１のＡ試片と
同様に処理し、Ｂ試片はＫＭｎＯ4 ５ｇ及びＫＯＨ １
０ｇを蒸留水１００mlに溶かした溶液に浸して１時間エ
ッチングした。その後、それらＡ、Ｂ試片を蒸留水及び
アセトンで洗浄した後、０．５μm のダイヤモンド粉末
をエタノールに分散させた溶液で２分間超音波処理し、
再び蒸留水及びアセトンにて洗浄した。これら二つの試
片を実施例１と同様な条件下でダイヤモンド膜を５０μ
m の厚さに蒸着した。その結果、実施例１と同様な結果
が得られた。
アセトンで超音波洗浄し、Ａ試片は実施例１のＡ試片と
同様に処理し、Ｂ試片はＫＭｎＯ4 ５ｇ及びＫＯＨ １
０ｇを蒸留水１００mlに溶かした溶液に浸して１時間エ
ッチングした。その後、それらＡ、Ｂ試片を蒸留水及び
アセトンで洗浄した後、０．５μm のダイヤモンド粉末
をエタノールに分散させた溶液で２分間超音波処理し、
再び蒸留水及びアセトンにて洗浄した。これら二つの試
片を実施例１と同様な条件下でダイヤモンド膜を５０μ
m の厚さに蒸着した。その結果、実施例１と同様な結果
が得られた。
【００３４】実施例５ Ｋ２０ ＳＰＧＮ １２０３０８超硬工具を蒸留水及び
アセトンで超音波洗浄し、Ａ試片は実施例１のＡ試片と
同様に処理し、Ｂ試片はＫＭｎＯ4 ５ｇ及びＫＯＨ １
０ｇを蒸留水１００mlに溶かした溶液に浸して１時間エ
ッチングした。その後、Ａ、Ｂ試片を蒸留水及びアセト
ンにて洗浄した後、０．５μm のダイヤモンド粉末をエ
タノールに分散させた溶液で２分間超音波処理し、再び
蒸留水及びアセトンで洗浄した。これら二つの試片を実
施例１と同様な条件でダイヤモンド膜を２０μm の厚さ
に蒸着した。
アセトンで超音波洗浄し、Ａ試片は実施例１のＡ試片と
同様に処理し、Ｂ試片はＫＭｎＯ4 ５ｇ及びＫＯＨ １
０ｇを蒸留水１００mlに溶かした溶液に浸して１時間エ
ッチングした。その後、Ａ、Ｂ試片を蒸留水及びアセト
ンにて洗浄した後、０．５μm のダイヤモンド粉末をエ
タノールに分散させた溶液で２分間超音波処理し、再び
蒸留水及びアセトンで洗浄した。これら二つの試片を実
施例１と同様な条件でダイヤモンド膜を２０μm の厚さ
に蒸着した。
【００３５】次いで、これら二つの試片を用いて、Ａ１
−１８％のＳｉ合金を被切削材にして切削実験を行っ
た。該切削条件は切削速度＝７００m/min 、feed＝０．
２５mm/rev、depth of cut＝１mm、被切削材の大きさは
直径１２０mm、長さ１２０mmのものを用い、被切削材の
直径が６０mmになるまで切削した。
−１８％のＳｉ合金を被切削材にして切削実験を行っ
た。該切削条件は切削速度＝７００m/min 、feed＝０．
２５mm/rev、depth of cut＝１mm、被切削材の大きさは
直径１２０mm、長さ１２０mmのものを用い、被切削材の
直径が６０mmになるまで切削した。
【００３６】その結果、Ｂ試片は、ダイヤモンド膜の剥
離が発生せずにダイヤモンド膜が漸時摩耗され、４〜５
個の被切削材を加工した後、超硬工具母材の部分が現わ
れた。
離が発生せずにダイヤモンド膜が漸時摩耗され、４〜５
個の被切削材を加工した後、超硬工具母材の部分が現わ
れた。
【００３７】しかし、Ａ試片は、１個の被切削材を加工
する途中に、ダイヤモンド膜が突発的に剥離され、切削
作業が不可能になった。
する途中に、ダイヤモンド膜が突発的に剥離され、切削
作業が不可能になった。
【００３８】
【発明の効果】本発明に係る超硬工具のダイヤモンド膜
の被覆方法においては、用いるエッチング液が従来のム
ラカミ溶液よりもエッチング効果が一層大きく、毒性の
あるフェリシアン化カリウムを含有しないため人体に無
害であり、廃棄物処理が簡単であるという効果がある。
かつＫＭｎＯ4 の価格はフェリシアン化カリウムの３０
％にすぎないので、製造コストが低廉であるという効果
がある。
の被覆方法においては、用いるエッチング液が従来のム
ラカミ溶液よりもエッチング効果が一層大きく、毒性の
あるフェリシアン化カリウムを含有しないため人体に無
害であり、廃棄物処理が簡単であるという効果がある。
かつＫＭｎＯ4 の価格はフェリシアン化カリウムの３０
％にすぎないので、製造コストが低廉であるという効果
がある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｆ 1/28 Ｃ２３Ｆ 1/28 1/40 1/40 Ｃ２５Ｆ 3/02 Ｃ２５Ｆ 3/02 Ｂ
Claims (4)
- 【請求項１】 超硬工具を、ＮａＯＨ又はＫＯＨ水溶
液を用いて電解エッチングする工程、 該電解エッチングされた超硬工具を、Ｈ2 ＳＯ4 ＋Ｈ
2 Ｏ2 混合溶液を用いてコバルト結合相をエッチングす
る工程、 前記エッチングされた超硬工具を、ダイヤモンド粉末
スラリーでシーディング処理する工程、 前記シーディング処理した超硬工具にダイヤモンド膜
を蒸着させる工程、を順次行う超硬工具のダイヤモンド
膜の被覆方法。 - 【請求項２】 前記電解エッチング工程のＮａＯＨ又は
ＫＯＨの水溶液の濃度が５〜５０％である、請求項１記
載の超硬工具のダイヤモンド膜の被覆方法。 - 【請求項３】 超硬工具を、ＫＭｎＯ4 ＋ＫＯＨ水溶
液を用いて化学エッチングする工程、 該化学エッチングされた超硬工具を、Ｈ2 ＳＯ4 ＋Ｈ
2 Ｏ2 混合溶液を用いてコバルト結合相をエッチングす
る工程、 該エッチングされた超硬工具を、ダイヤモンド粉末ス
ラリーでシーディング処理する工程、 該シーディング処理した超硬工具にダイヤモンド膜を
蒸着させる工程、を順次行う超硬工具のダイヤモンド膜
の被覆方法。 - 【請求項４】 前記ＫＭｎＯ4 ＋ＫＯＨ水溶液の組成
が、ＫＭｎＯ4 ５〜３０％、ＫＯＨ １〜１５％、Ｈ2
Ｏ ５５〜９４％である、請求項３記載の超硬工具のダ
イヤモンド膜の被覆方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR13138/1996 | 1996-04-26 | ||
| KR1019960013138A KR0176330B1 (ko) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | 초경 공구의 다이아몬드막 피복방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09295224A true JPH09295224A (ja) | 1997-11-18 |
Family
ID=19456852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9007387A Pending JPH09295224A (ja) | 1996-04-26 | 1997-01-20 | 超硬工具のダイヤモンド膜の被覆方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09295224A (ja) |
| KR (1) | KR0176330B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2937054A1 (fr) * | 2008-10-13 | 2010-04-16 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de decontamination d'une surface metallique. |
| CN109763165A (zh) * | 2019-02-22 | 2019-05-17 | 江苏科技大学 | 一种钴基合金中沉淀强化相的电解蚀刻方法 |
| CN114702033A (zh) * | 2022-04-18 | 2022-07-05 | 河南工业大学 | 一种电解联合酸处理聚晶金刚石金属脱除的方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100311940B1 (ko) * | 1999-08-10 | 2001-11-14 | 민병성 | 드릴 비트 및 로터 비트에 대한 다이아몬드상 카본 코팅 방법 |
| KR101155586B1 (ko) * | 2009-01-23 | 2012-06-19 | 프리시젼다이아몬드 주식회사 | 다이아몬드 공구 및 그 제조방법 |
| DE102018208299A1 (de) * | 2018-05-25 | 2019-11-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur elektrochemischen Bearbeitung eines Werkstoffs |
| CN113373453B (zh) * | 2021-06-09 | 2022-07-26 | 江西江钨硬质合金有限公司 | 一种用于硬质合金数控刀片涂层前的清洗方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS537795A (en) * | 1976-07-09 | 1978-01-24 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | Preparatin of resins having high softening point |
| JPH0338227A (ja) * | 1989-07-03 | 1991-02-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔性高分子膜の製造方法 |
| US5236740A (en) * | 1991-04-26 | 1993-08-17 | National Center For Manufacturing Sciences | Methods for coating adherent diamond films on cemented tungsten carbide substrates |
-
1996
- 1996-04-26 KR KR1019960013138A patent/KR0176330B1/ko not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-01-20 JP JP9007387A patent/JPH09295224A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS537795A (en) * | 1976-07-09 | 1978-01-24 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | Preparatin of resins having high softening point |
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| FR2937054A1 (fr) * | 2008-10-13 | 2010-04-16 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de decontamination d'une surface metallique. |
| WO2010043591A1 (fr) * | 2008-10-13 | 2010-04-22 | Commissariat A L'energie Atomique | Procede et dispositif de decontamination d'une surface metallique |
| US9932686B2 (en) | 2008-10-13 | 2018-04-03 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Method and device for decontaminating a metallic surface |
| CN109763165A (zh) * | 2019-02-22 | 2019-05-17 | 江苏科技大学 | 一种钴基合金中沉淀强化相的电解蚀刻方法 |
| CN114702033A (zh) * | 2022-04-18 | 2022-07-05 | 河南工业大学 | 一种电解联合酸处理聚晶金刚石金属脱除的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970070236A (ko) | 1997-11-07 |
| KR0176330B1 (ko) | 1999-02-18 |
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