JPH09300464A - フィルム張付方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄いフィルムでも皺がよったり折り重なった
りあるいは気泡を噛み込んだりすることなく確実且つ正
確に基板に仮付けする。 【構成】 フィルム１２の先端部を吸着するフィルム仮
付け部材本体２１の先端部２１Ａにおいて、シールバー
３２の前後に負圧でフィルムを吸着する吸着溝５８、６
０を隣接して設け、この状態でシールバー３２により基
板上にフィルム１２の先端部を仮付けする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線用
基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス
基板等の基板の表面にフィルムを張付けるためのフィル
ム張付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、プリント配線用基
板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポリ
エステルに代表される樹脂フィルム）上に感光性樹脂層
が形成され、且つ、これがカバーフィルムによって覆わ
れた積層体フィルムを、カバーフィルムを剥して張付け
る。そして、この後、配線パターンフィルムを重ね、こ
の配線パターンフィルム及び前記透光性支持フィルムを
通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。次いで、透
光性支持フィルムを剥した後、露光された感光性樹脂層
を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この
後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去
し、これにより、所定の配線パターンを有するプリント
配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラズマ表示
装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で同様の積
層体フィルムが張付けられる。

【０００３】上記のような積層体フィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルムを、搬送手段により搬送されてく
る基板の先端に感光性樹脂層が該基板側となるように導
き、基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け部材に
よって該基板の先端に仮付けした後、ラミネーションロ
ールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送
するようにされている。基板へのフィルム圧着張付け
は、張付け長さが基板長にほぼ対応した長さとなるよう
に行われており、その長さとなるように供給フィルムは
フィルム仮付け部材自体又はその近傍の部材に設けられ
たフィルム切断手段で切断される。又、カバーフィルム
は、仮付け部材の前で剥される。

【０００４】前記フィルム仮付け部材は、例えば特公平
４−９６５６号公報に開示されるように、表面にフィル
ムを吸着するための複数の吸着孔（溝）が設けられたメ
インバキュームプレートと、このメインバキュームプレ
ートのフィルム供給方向先端側に設けられた円弧形状又
は三角形状のフィルム仮付け部材本体とから構成され、
全体として、フィルムの供給及び仮付け動作が行えるよ
うに、基板に対して近接および離反移動するようにされ
ている。

【０００５】フィルム仮付け手段は、フィルムの供給及
び仮付け動作を行う際には、その表面にフィルムを吸着
した状態で基板に対して近接移動し、フィルムの供給及
び仮付け動作が完了するとフィルムの吸着を解除し基板
に対して離反移動する。このフィルムの吸着が解除され
ると、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れた
状態となる。

【０００６】仮付けした後、ラミネーションロールによ
りフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するのであ
るが、そのラミネーションロールによるフィルム圧着動
作中は、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れ
た状態になっている。

【０００７】前記の搬送されてくる各基板にフィルムを
張付ける場合、基板毎にフィルムの供給及び仮付け動作
と圧着動作という両動作を繰返し行う。

【０００８】前記フィルム仮付け部材本体の先端にはフ
ィルムを基板方向に押圧するシールバーが突出して設け
られ、又、その背後にはシールバーを加熱するヒータが
設けられていて、これによりフィルム仮付け先端を加熱
して、基板の先端に仮付けできるようにされている。

【０００９】ここで、前記フィルム仮付け部材本体先端
部における、前記シールバーよりもメインバキューム側
に隣接した位置にフィルム吸着孔（溝）が設けられてい
て、ここに吸着されたフィルムの先端が前記シールバー
の下側位置に保持されるようになっている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、吸着さ
れているフィルムの厚さが４０μｍ程度以上であればフ
ィルム先端が前記シールバーの外側位置に保持されるこ
とができるが、最近のように、フィルムの厚さが８〜３
５μｍと、非常に薄くなると、その剛性が不足するため
に、シールバーに隣接する吸着孔（溝）の位置から垂れ
下がってしまい、シールバーによりフィルムを基板に圧
着させるべき、該フィルム先端が折れ曲ったり皺が生じ
てしてしまい圧着不良を生じるという問題点がある。

【００１１】又、シールバーに隣接する吸着溝は、フィ
ルム先端部を吸着するため、その吸引力を強くしなけれ
ばならず、他方、シールバーに隣接する領域はスペース
に余裕がないために、吸着溝が狭幅となるので、フィル
ムは、狭い範囲で強く吸引される。このためフィルムが
薄い場合、吸着溝内にフィルムが引き込まれた状態で吸
着されるので、そのまま基板に圧着すると吸着部分で皺
ができ、エアーが噛み込まれてしまうという問題点があ
る。

【００１２】この発明は、上記従来問題点に鑑みてなさ
れたものであって、薄いフィルムの場合でも、皺やエア
噛み込みを生じることなく、確実に基板に圧着すること
ができるフィルム張付け装置を提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本方法発明は、透光性支
持フィルム上に少なくとも感光性樹脂層が積層されてな
る連続フィルムをフィルム供給ロールから引き出し、透
光性支持フィルムと感光性樹脂層とが積層した状態で、
搬送手段により搬送されてくる基板の先端に、感光性樹
脂層側が該基板側に位置するようにして導き、該基板に
対して近接及び離反移動可能な仮付け部材に吸着した状
態で、仮付け部材先端のシールバーにより該基板の先端
に仮付けした後、ラミネーションロールにより、フィル
ムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するフィルム張付方
法において、前記シールバーによるフィルム仮付けの際
に、該シールバーの、基板送り方向前側に隣接した位置
でフィルムの先端部を吸着するようにして、上記目的を
達成するものである。

【００１４】又、請求項２の発明は、前記シールバーに
よるフィルム仮付けの際に、少なくとも前記シールバー
の基板送り方向前側でのフィルム吸着までの間、該シー
ルバーの、基板送り方向後側に隣接した位置でも前記フ
ィルムの先端部を吸着するようにしたものである。

【００１５】請求項３の発明は、前記シールバーの基板
送り方向の前側でのフィルム吸着後に、前記基板送り方
向後側でのフィルム吸着を解除するようにしたものであ
る。

【００１６】請求項４の発明は、前記シールバーの基板
送り方向後側でのフィルム吸着力を、前側でのフィルム
吸着力よりも弱くしたものである。

【００１７】又、本装置発明は、透光性支持フィルム上
に少なくとも感光性樹脂層が積層されてなる連続フィル
ムをフィルム供給ロールから引き出し、透光性支持フィ
ルムと感光性樹脂層とが積層した状態で、搬送手段によ
り搬送されてくる基板の先端に、感光性樹脂層側が該基
板側に位置するようにして導き、該基板に対して近接及
び離反移動可能な仮付け部材により該基板の先端に仮付
けした後、ラミネーションロールにより、フィルムを基
板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされ、前記仮付
け部材は、フィルム経路に沿って表面にフィルム吸着手
段を備えたメインバキュームプレートと、このメインバ
キュームプレートのフィルム送り方向先端に連結され、
前記メインバキュームプレートの表面から連続して湾曲
し、且つ表面にフィルム吸着手段を備え、且つ、先端部
に、フィルムを基板方向に押圧するシールバーを備えた
フィルム仮付け部材本体と、を含んでなるフィルム張付
装置において、前記フィルム仮付け部本体の先端部にお
ける前記シールバー取付け端面の、該シールバーを越え
て、更に、基板送り方向に隣接した位置に、フィルム吸
着時に、前記シールバーを超えて延在する前記フィルム
の先端部を、負圧により吸着する先端吸着手段を設ける
ことにより、上記目的を達成するものである。

【００１８】請求項６の発明は、前記先端部に、前記搬
送手段により搬送されてくる基板に対向して開口し、且
つ、フィルム幅方向に延在して形成された溝を設け、前
記シールバーを、前記溝内に大部分が収容され、且つ、
基板側の一部が該溝から突出して配置された棒状の部材
としたものである。

【００１９】請求項７の発明は、前記溝を、その断面形
状が、少なくともその長手方向中間範囲で、内側が開口
端よりも幅広の台形としたものである。

【００２０】請求項８の発明は、前記シールバーを丸棒
状部材としたものである。

【００２１】請求項９の発明は、前記先端吸着手段を、
前記シールバー取付端面に、フィルム幅方向に形成され
た吸着溝としたものである。

【００２２】請求項１０の発明は、前記シールバーの、
前記先端吸着手段と反対側に接近して、フィルムを吸着
する後側吸着手段を設けたものである。

【００２３】本発明によれば、シールバーを越えた位置
でフィルム先端部を負圧により吸着するので、該フィル
ム先端部をシールバーによって、皺や折りれ曲りが生じ
たりすることなく、基板に確実に仮付けすることができ
る。

【００２４】又、シールバーによるフィルム仮付けの際
に、少なくともフィルム吸着完了までの間、シールバー
の後側に隣接した位置でもフィルムを吸着するようにし
ているので、フィルム先端部を後側から前側にシールバ
ーを越えて円滑に吸着することができる。

【００２５】又、その場合、吸着終了後に後側でのフィ
ルム吸着を解除することによって、シールバー近傍でフ
ィルムに皺が発生することを防止できる。

【００２６】又、シールバーの前後でフィルムを吸着す
るとき、前側より強く吸着することによって、後側の吸
着位置でのフィルムの皺発生を抑制することができる。

【００２７】又、シールバーを、フィルム仮付け部材本
体の先端に形成されたフィルム幅方向の溝内に収納され
る棒状部材としたので、取付け及び交換が簡単であると
共に、フィルム送り方向の幅（棒状部材の太さ）を小さ
くして、基板上の所定位置に精度高くフィルムを仮付け
することができる。

【００２８】又、シールバーが収容される溝の断面形状
を先端側が狭い台形としたので、棒状のシールバーを確
実に固定することができると共に、交換を容易とするこ
とができる。

【００２９】又、前記シールバーを丸棒状部材とするこ
とによって、製造コストの低減、及び寸法精度、基板へ
の圧着位置精度を向上させることができる。

【００３０】更に、シールバー取付け端面に吸着溝を形
成してフィルム先端部を吸着するようにして、フィルム
の基板への仮付け時におけるシールバーに加わる力を、
基板送り方向に同一とすることができ、これによってフ
ィルム仮付けを均一に行うことができる。

【００３１】又、前記先端吸着手段と反対側にシールバ
ーに接近して後側吸着手段を設けることにより、フィル
ム先端を後側から前側に順次円滑に吸着させることがで
きる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して説明する。

【００３３】まず本発明に係るフィルム張付装置１０の
概略構成を図１を参照して説明する。

【００３４】このフィルム張付装置１０によって切断し
て張付けられるフィルム１２は、図２に示されるよう
に、透光性支持フィルム１２Ａ上に感光性樹脂層１２Ｂ
及びカバーフィルム１２Ｃが積層された３層構造であ
り、供給ロール１４に連続的に巻回されている。

【００３５】供給ロール１４から巻き出されたフィルム
１２は、フィルム分離部材１６によりカバーフィルム１
２Ｃが剥がされて、感光性樹脂層１２Ｂの接着面が露出
された状態となり、テンションロール１８を経て仮付け
部材２０の一部を構成するメインバキュームプレート２
２に供給されるようになっている。前記剥離されたカバ
ーフィルム１２Ｃは、巻取りロール２４により巻き取ら
れるように構成されている。

【００３６】前記供給ロール１４、フィルム分離部材１
６、テンションロール１８、仮付け部材２０、巻取りロ
ール２４等は、基板搬送面Ｉ−Ｉの、図１において上側
に設けられていて、フィルム１２が基板２６の上面に張
付けられるようにされている。

【００３７】前記メインバキュームプレート２２は、図
３、図４に示されるように、負圧が印加される多数の吸
引溝２２Ａ及び吸引孔２２Ｂが表面に設けられ、カバー
フィルム１２Ｃが剥されたフィルム１２（以下特に指定
しなければフィルム１２とする）を吸着できるようにさ
れ、且つ、図において上下方向のガイドレール２８に摺
動自在に支持され、エアシリンダ、サーボモータ等の駆
動装置３０によってガイドレール２８に沿って、フィル
ム張付位置に近接し、且つ、離反する方向、即ち基板搬
送面Ｉ−Ｉに対して近接、離反することができるように
されている。

【００３８】又、前記メインバキュームプレート２２の
基板搬送面Ｉ−Ｉ側先端には、前記メインバキュームプ
レート２２の表面から連続して湾曲し、且つ表面にフィ
ルム吸着溝２１Ｃが形成されたフィルム仮付け部材本体
２１が連結されている。このフィルム仮付け部材本体２
１のフィルム送り方向の先端部２１Ａにはフィルム幅方
向に延在するシールバー３２が取付けられている。

【００３９】前記仮付け部材２０は、前記基板搬送Ｉ−
Ｉ上の基板２６の上面に、その先端が接触する位置か
ら、図１において実線で示される待機位置との間で移動
可能とされているが、この待機位置と前記基板搬送面Ｉ
−Ｉとの間には、フィルム１２の送り面に沿って、仮付
け部材２０側から先端巻付用フィルム保持部材３４及び
ロータリーカッター３６がこの順で配置されている。

【００４０】前記ロータリーカッター３６は、前記供給
ロール１４から巻き出され、且つカバーフィルム１２Ｃ
が剥がされたフィルム１２の先端を切り揃えて、該先端
が基板２６の先端縁と平行になるようにすると共に、フ
ィルム１２を順次基板２６に対応した長さに切断してい
くようにされている。

【００４１】又、前記先端巻付用フィルム保持部材３４
は、ロータリーカッター３６によるフィルム切断時に図
１において左方向に前進して、先端がフィルム通過面に
到達し、切断後は後退して仮付け部材２０と干渉しない
待機位置となるようにされ、又、そのフィルム通過面側
の端面には、負圧が印加される吸引溝及び吸引孔（共に
図示省略）が設けられていて、該端面にフィルム１２の
先端を吸着することができるようにされ、ロータリーカ
ッター３６によるフィルム切断時にフィルム１２を吸着
保持すると共に切り揃えられたフィルム１２の先端部を
吸着し、これを図１において右方向に引張ることによっ
て、仮付け部材２０の仮付け部材本体２１に巻付け、且
つその先端部２１Ａにおけるフィルム吸着溝２１Ｃによ
って、該仮付け部材本体２１にフィルム先端部を吸着さ
せるものである。

【００４２】前記メインバキュームプレート２２は、前
記フィルム１２の経路側であって、表面に前記吸着溝２
２Ａが形成された吸引板２３Ａと、該吸引板２３Ａの、
フィルム経路に対して反対側に、枠状の耐熱性ゴムパッ
キン２３Ｂを介して止めねじ”２３Ｃにより結合された
バックアップ部材２３Ｄとから構成されている。

【００４３】前記枠状の耐熱性ゴムパッキン２３Ｂは、
フィルム幅方向に複数のバキュームスペース２３Ｅを備
え、各バキュームスペース２３Ｅの中心近傍に形成さ
れ、前記バックアップ部材２３Ｄを厚さ方向に貫通する
バキュームポート２３Ｆを介して真空源（図示省略）に
連通されている。

【００４４】前記吸引板２３Ａにおける前記吸着溝２２
Ａは、フィルム送り方向と直交する方向に延在され、且
つフィルム送り方向に複数列形成され、その各々は、前
記バキュームスペース２３Ｆに連通する位置において、
該バキュームスペース２３Ｆ側に貫通する複数の前記吸
引孔２２Ｂに連通されている。

【００４５】前記フィルム仮付け部材本体２１は、図４
に示されるように、前記メインバキュームプレート２２
の表面から連続し、且つ該表面に対して傾斜する傾斜吸
着面２１Ｂを備え、この傾斜吸着面２１Ｂに、前記フィ
ルム吸着溝２１Ｃが、フィルム送り方向と直交する方向
に複数列形成されている。

【００４６】これらフィルム吸着溝２１Ｃには、その長
手方向に適宜間隔で形成された複数のバキューム孔２１
Ｄが連通され、これらバキューム孔２１Ｄは、フィルム
仮付け部材本体２１内のバキューム路２１Ｅに連通され
ている。バキューム路２１Ｅは負圧管路２１Ｆを介して
真空源（図示省略）に連通されている。

【００４７】前記傾斜吸着面２１Ｂは、前記メインバキ
ュームプレート２２表面と平行であるフィルム仮付け部
材本体２１の背面に対して鋭角をなし、前記先端部２１
Ａは、ヒータ５０Ａが埋め込まれたブロック部材５０
の、図において下端部によって形成されている。前記ヒ
ータ５０Ａの周囲には、伝熱性のよい熱拡散コンパウン
ド５０Ｂが充填されている。

【００４８】前記ブロック部材５０は、フィルム幅方向
に、フィルム仮付け部材本体２１の裏面に形成されたバ
キューム路を兼ねる取付溝２１Ｇに嵌込み取付けられ、
且つ、熱絶縁ゴムシール５１を介してフィルム仮付け部
材本体２１に結合されている。

【００４９】前記熱絶縁ゴムシール５１の下端は傾斜吸
着面２１Ｂよりも短くされて、これにより下端に略三角
形の溝５１Ａが形成され、又同下端には、フィルム幅方
向に間欠的に、隣接するバキューム孔２１Ｄの下端と連
通する複数のスリット５１Ａが形成され、これにより前
記溝５１Ａにバキューム孔２１Ｄからの負圧が導入され
るようになっている。

【００５０】前記先端部２１Ａを構成するブロック部材
５０の下端部には、図６に拡大して示されるように、下
向きに開口したフィルム幅方向の溝５４が形成され、該
溝５４内に、丸棒状のゴムからなる前記シールバー３２
が弾力的に嵌入されている。

【００５１】前記溝５４は、ブロック部材５０のフィル
ム幅方向両端部を除き、その断面形状が、図において上
側の底面５４Ａ側が幅広で、下端開口部５４Ｂ側が狭い
逆台形とされ、シールバー３２は、その円形断面の、台
形底面５４Ａと平行な直径が溝５４の先端開口５４Ｂよ
りも底面５４Ａ側に入り込んだ状態で弾力的に取付けら
れるようになっている。

【００５２】又、溝５４は、ブロック部材５０のフィル
ム幅方向両端にまで、図５に示されるように上向きに延
在され、シールバー３２はブロック部材の５０のフィル
ム幅方向両側面において、押え金具５６により固定され
ている（図７参照）。

【００５３】図４及び図６に示されるように、前記ブロ
ック部材５０における、前記溝５４の両側には、負圧に
よりフィルム先端部を吸着するための吸着溝５８、６０
が形成され、又、これら吸着溝５８、６０には、バキュ
ーム路５８Ａ、６０Ａを介して前記取付け溝２１Ｇから
の負圧が導入されるようになっている。

【００５４】ここで、図５に示されるように、前記吸着
溝５８、６０はブロック部材５０の下側面に、フィルム
幅方向に連続して形成され、又、バキューム路５８Ａ、
６０Ａはフィルム幅方向に一定間隔で形成されている。

【００５５】前記ロータリーカッター３６は、フィルム
通過面と平行で、且つフィルム１２の幅方向に配置され
た略直線状の固定刃３６Ａと、回転中心軸線が固定刃３
６Ａと略平行に配置された部材（円柱又は円筒）の円筒
状外周に切刃を螺旋状に巻付た構造回転刃３６Ｂとから
構成され、固定刃３６Ａに対して、回転刃３６Ｂがフィ
ルム通過面上で接触しつつ回転することによって、該フ
ィルム通過面上のフィルム１２をその位置で幅方向に切
断するものである。

【００５６】ここで、前記固定刃３６Ａは、回転刃３６
Ｂに対してフィルム通過面と直交する方向に進退自在と
され、供給ロール１４から巻き出され、カバーフィルム
１２Ｃが剥離されたフィルム１２を切断するときのみ回
転刃３６Ｂと接触する位置にまで前進し、常態では、回
転刃３６Ｂから離間する退避位置となるようにされてい
る（駆動機構図示省略）。

【００５７】図の符号４０は基板搬送機構における駆動
用ローラ、４２は同従動用ローラ、４４は基板押え部
材、４６は基板先端位置検出光センサ、４８はラミネー
ションロールをそれぞれ示す。

【００５８】前記基板押え部材４４は、基板押えローラ
４４Ａと、これを上下動させる基板押えローラ用エアシ
リンダ４４Ｂとから構成されている。

【００５９】前記ラミネーションロール４８、駆動用ロ
ーラ４０、基板押え部材４４及び基板先端位置検出光セ
ンサ４６の相互関係は次の如くである。

【００６０】基板搬送面Ｉ−Ｉの近傍に設けられた前記
基板先端位置検出光センサ４６により、図１において左
から右方向に搬送されてくる先頭の基板２６の先端が検
知され、所定時間後にフィルム仮付け位置まで同基板２
６が搬送されると、駆動用ローラ４０の回転が停止され
る。これと同時に前記基板押え部材４４により基板２６
を押えるように、基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂ
により、基板押えローラ４４Ａが駆動される。

【００６１】前記基板押えローラ４４Ａにより、基板２
６の動きが確実に停止され、仮付け部材２０の先端部で
あるフィルム仮付け部材本体２１が基板２６に当接して
も、該基板２６が動かず、フィルム１２に仮付けが確実
に行われる。

【００６２】前記基板押えローラ４４Ａによる基板２６
の押えは、ラミネーションロール４８が基板２６に当接
するまで行われ、ラミネーションロール４８の当接タイ
ミングと同調して、基板押えローラ用エアシリンダ４４
Ｂが解除作動される。

【００６３】図の符号Ｓ１は幅寄せ開始位置センサ、Ｓ
２は基板後端検出センサ、Ｓ３は基板通過検出センサを
それぞれ示す。

【００６４】又、図１の符号７２は前記先端巻付け用フ
ィルム保持部材３４に対して、フィルム１２の経路を間
に反対側に配置され、且つ、仮付け部材本体２１におけ
る傾斜吸着面２１Ｂ方向に圧縮空気流を吹き付けるため
のエアーブロー管を示す。

【００６５】このエアーブロー管７２は、図８に示され
るように、前記傾斜吸着面２１Ｂ側の先端にフィルム幅
方向に連続的に長く形成されたノズル７２Ａを備えたエ
アーブローケース７２Ｂと、このエアーブローケース７
２Ｂ内にフィルム幅方向に配置されると共に、前記ノズ
ル７２Ａ方向に向けて空気を吹き出すための噴出孔７２
Ｃが多数長手方向に間欠的に形成されたエアーパイプ７
２Ｄとから構成され、エアーパイプ７２Ｄから吹き出さ
れる空気流をノズル７２Ａで整流して、前記フィルム仮
付け部材本体２１の傾斜吸着面２１Ｂに吹き付けるもの
である。

【００６６】なお、エアーパイプ７２Ｃには、その長手
方向両端から圧縮空気が供給されるようになってる。更
に、この圧縮空気の供給時間即ちノズル７２Ａからの空
気流吹き出し時間は、前記先端巻付け用フィルム保持部
３４の図において右方向の移動開始直前、即ち吸着した
フィルム先端を仮付け部材２０方向に引張り始める直前
から、フィルム１２の前記先端部２１Ａへの巻き付け終
了までの間とされている。

【００６７】図１の符号７４は、ロータリーカッター３
６の下流側に近接して配置されたフィルムガイドロー
ル、３６はエアーブロー管をそれぞれ示す。このエアー
ブロー管７６はラミネーションロール４８側に設けられ
たフィルム後端用の吸着バー７８方向に、圧縮空気を噴
出して、ロータリーカッター３６により切断されたフィ
ルム１２の後端を吸着バー７８方向になびかせるもので
ある。

【００６８】次に前記フィルム張付装置の制御系の信号
経路を、図９を参照して説明する。

【００６９】この制御系においては、各センサ４６、Ｓ
１〜Ｓ３と共に、各シリンダ前・後端の検出センサ（図
示省略）はフィルム巻径の各センサに従って、中央制御
ユニット７０が各シリンダ用ソレノイド及び各モータの
制御信号を出力するようになっている。又、カウンタや
タイマの機能も有している。

【００７０】この中央制御ユニット７０は、所定の手順
に従って前記フィルム張付装置１０を制御するように構
成されている。この中央制御ユニット７０は、例えばプ
ログラマブルコントロールやリレーシーケンス回路によ
り構成することができる。

【００７１】次に上記フィルム張付装置１０の作用につ
いて説明する。

【００７２】まず、ラミネーションロール４８は図１の
実線に示される退避位置、先端巻付用フィルム保持部材
３４はその先端面がフィルム通過面から離間した位置、
ロータリーカッター３６の固定刃３６Ａは回転刃３６Ｂ
から離間した位置にそれぞれセットし、フィルム１２を
供給ローラ１４から引き出し、先端からカバーフィルム
１２Ｃを剥離して、巻き取りロール２４に巻き取らせつ
つ、フィルム１２を、仮付け部材２０及び先端巻付用フ
ィルム保持部材３４の図において左側のフィルム通過面
に沿って引き下げ、且つロータリーカッター３６の固定
刃３６Ａと回転刃３６Ｂの間を通す。

【００７３】次に、仮付け部材２０に負圧を印加してフ
ィルム１２を吸着すると共に、先端巻付用フィルム保持
部材３４もフィルム通過面位置まで前進させて、負圧を
印加することによりフィルム１２を吸着する。

【００７４】この状態で固定刃３６Ａを前進させ、回転
刃３６Ｂを回転させることにより、フィルム通過面上で
フィルム１２を切断して、その先端を切り揃える。ロー
タリーカッター３６よりも先端側の切断されたフィルム
１２は廃棄する。次に、固定刃３６Ａを回転刃３６Ｂか
ら離間させ、先端巻付用フィルム保持部材３４は、その
先端面にフィルム１２の先端部を吸着したまま図１にお
いて右方向に移動させる。

【００７５】このとき、仮付け部材本体２１の先端部２
１Ａにおけるフィルム吸着溝２１Ｃ及び溝５４の両側の
吸着溝５８、６０には予め負圧を印加しておき、この状
態で、先端巻付用フィルム保持部材３４が図において右
方向に移動すると、吸着されているフィルム１２の先端
部が、仮付け部材本体２１における先端部２１Ａに沿っ
て巻き付けられ、そのフィルム吸着溝の負圧により吸着
され、先端巻付用フィルム保持部材３４から離間する。

【００７６】フィルム１２の先端部が仮付け部材本体２
１における先端部２１Ａに巻き付けられる際に、前記エ
アーブロー管７２のノズル７２Ａから吹き出された圧縮
空気流がフィルム１２の先端を傾斜吸着面２１Ｂ方向に
吹き付けるので、先端巻付け用フィルム保持部材３４か
ら離間したフィルム先端部は、垂れ下ったりすることな
く、確実に傾斜吸着面２１Ｂに沿って吸着されることに
なる。

【００７７】なお、ロータリーカッター３６による切断
位置はフィルム１２の先端が吸着溝６０に到達するよう
に予め調整しておく。従って、吸着状態でフィルム先端
がシールバー３２の下側に垂れ下がることがない。

【００７８】次に、仮付け部材本体２１の先端部２１Ａ
にシールバー３２を被った状態でフィルム１２の先端部
を吸着したまま、駆動装置３０により、仮付け部材２０
をガイドレール２８に沿って、先端部２１Ａがフィルム
１２の先端部を介して仮付け位置に停止している先頭の
基板２６の先端位置上面に当接するまで降下される。

【００７９】これにより、シールバー３２が、先頭の基
板２６の先端上面にフィルム１２の先端部を仮付けし、
しかる後、仮付け部材２０は、仮付け部材本体２１を含
み負圧が解除され、図１の実線にまで上昇し、次の仮付
けまで待機される。前述の如く、フィルム１２の先端
は、シールバー３２の下側に垂れ下がることがないの
で、仮付けが、皺や重なりが生じたりすることなく、正
確になされる。

【００８０】なお、先頭の基板２６の停止、及びこの仮
付け位置での停止時における前記基板押えローラ４４Ａ
による拘束は前述の如くである。

【００８１】仮付け状態のフィルム１２の先端部に対し
て、ラミネーションロール４８は図１の実線位置から二
点鎖線の位置にまで駆動され、フィルム１２の先端部を
基板２６に押し付けることになる。この状態で、前記基
板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂが解除される。次
に、ラミネーションロール４８は基板２６の搬送装置の
駆動用ローラ４０と同期して、該基板２６を図１の左側
から右方向に駆動するよう回転され、回転しつつフィル
ム１２を基板２６の上面に熱圧着する。

【００８２】これ以後は、間欠的に搬送されてくる基板
２６に、カバーフィルム１２Ｃが剥離されたフィルム１
２が、ロータリーカッター３６により定寸で切断され、
順次仮付け部材２０により仮付けされてからラミネーシ
ョンロール４８により熱圧着されていく。

【００８３】前記ロータリーカッター３６によってフィ
ルムが切断される際、該フィルム１２は仮付け部材２０
とラミネーションロール４８との間に張り渡された状態
となっているが、フィルム１２の幅が広い場合は、フィ
ルム１２は幅方向に均一に引張り力が付与されていない
ことが多く、この場合、引張り力が不足している部分に
ついては、ロータリーカッター３６による切断時にフィ
ルム１２を円滑に切断できないことがある。

【００８４】このフィルム張付装置１０においては、仮
付け部材２２とラミネーションロール４８との間で前記
ロータリーカッター３６に近い位置で、先端巻付け用フ
ィルム保持部材３４の先端に、フィルム１２が吸着保持
されているので、フィルム１２の引張り力不足の部分に
も引張り力が均一に掛り、これによって、ロータリーカ
ッター３６による切断が円滑になされることになる。

【００８５】なお、上記フィルム張付装置１０は、基板
２６の上面にのみフィルム１２を張付けるものである
が、本発明はこれに限定されるものでなく、基板２６の
下側面あるいは上下両面にフィルムを張付ける場合にも
当然適用され得るものである。

【００８６】上記フィルム張付装置１０におけるシール
バー３２は、例えば弾性ゴムからなる丸棒状部材から構
成されているが、本発明はこれに限定されるものでな
く、樹脂部材、金属部材、中空の円筒状部材、或いは図
１０に示されるシールバー３２Ａのように、円弧状部を
有する略台形断面の他に、半円形、かまぼこ形等の他の
断面形状の棒状部材から構成してもよい。

【００８７】更に、上記フィルム張付装置におけるシー
ルバー３２の両側に設けられた吸着溝５８、６０はそれ
ぞれブロック部材５０に設けられているが、これは、シ
ールバーの前後（フィルム送り方向の前後）に隣接して
吸着溝（吸着孔）を設けるものであればよい。

【００８８】又、例えば図１０に示されるように、フィ
ルム仮付け部材本体２１側フィルム吸着溝を省略してブ
ロック部材５０側の１個の吸着溝６０のみがシールバー
に隣接して位置するような構成であってもよい。

【００８９】即ち、上記フィルム張付装置では、シール
バー３２の前後においてフィルム先端部を吸着している
が、本発明はこれに限定されるものでなく、シールバー
の基板送りの方向前側に隣接した位置でフィルム先端部
を吸着できるものであればよい。

【００９０】又、例えば図１１に示されるように、仮付
け部材本体２１の先端部２１Ａにおいて、シールバー３
２の基板送り方向前側のフィルム先端用の吸着溝６０の
みを設け、後側に隣接した位置における吸着溝は省略し
てもよい。

【００９１】フィルムが非常に薄い場合、シールバーの
後側に隣接した位置でフィルムを吸着すると、この部分
に皺が発生し、そのまま基板に圧着すると吸い込まれた
跡に相当する部分にエアが噛み込まれてしまうという問
題点がある。

【００９２】図１０、図１１の形態の場合、シールバー
３２の後側に隣接した位置には吸着溝がないので、基板
への圧着時に皺及びそれに伴なう気泡の噛み込みがな
い。

【００９３】なお、前側の吸着溝の位置では、フィルム
先端部に皺が発生することがあるが、シールバー３２よ
りも先端側は利用しないので皺が発生しても問題がな
い。

【００９４】又、図６の場合のようにシールバーの前後
に隣接して吸着溝を設けた場合であっても、後側の吸着
溝の吸着力を前側の吸着溝と比較して弱くしたり、ある
いは吸着後仮付け前に後側の吸着溝の負圧を解除すれ
ば、フィルム全体が吸着後に前側の吸着溝６０方向に引
張られるので、基板への圧着時に皺及び気泡の噛み込み
が発生することがない。

【００９５】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、カ
バーフィルムを剥した後のフィルムが薄くても、その先
端部がシールバー下側に垂れ下がったりすることなくフ
ィルム仮付け部材体体の先端部に吸着保持することがで
き、従って、シールバーにより基板に確実且つ正確に、
皺がよったり、折り重なったり、エアーを噛み込んだり
することなく仮付け圧着することができるという優れた
効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装
置を示す略示側面図

【図２】上記フィルム張付装置により張付けられるフィ
ルムの、カバーフィルム剥離前の状態を拡大して示す断
面図

【図３】同フィルム張付装置における仮付け部材を拡大
して示す斜視図

【図４】同仮付け部材を更に拡大して示す断面図

【図５】同仮付け部材の先端部を構成するブロック部材
を示す略示正面図

【図６】同フィルム張付装置における仮付け部材本体の
先端部近傍を更に拡大して示す断面図

【図７】図５のVII −VII 線相当部分の拡大側面図

【図８】上記装置のエアーブロー管を拡大して示す斜視
図

【図９】上記装置の電気的な信号入出力の構成を示すブ
ロック図

【図１０】本発明の他の実施の形態の例の要部を示す断
面図

【図１１】本発明の更に他の実施の形態の例の要部を示
す断面図

【符号の説明】

１０…フィルム張付装置 １２…フィルム １２Ａ…透光性支持フィルム １２Ｂ…感光性樹脂層 １２Ｃ…カバーフィルム １６…フィルム分離部材 ２０…仮付け部材 ２１…フィルム仮付け部材本体 ２１Ａ…先端部 ２１Ｂ…傾斜吸着面 ２１Ｃ…フィルム吸着溝 ２１Ｄ…バキューム孔 ２２…メインバキュームプレート ２６…基板 ３２、３２Ａ…シールバー ３６…ロータリーカッター ４８…ラミネーションロール ５０…ブロック部材 ５４…溝 ５４Ａ…底面 ５４Ｂ…先端開口 ５８、６０…吸着溝 ５８Ａ、６０Ａ…バキューム路 Ｉ−Ｉ…基板搬送面

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透光性支持フィルム上に少なくとも感光性
   樹脂層が積層されてなる連続フィルムをフィルム供給ロ
   ールから引き出し、透光性支持フィルムと感光性樹脂層
   とが積層した状態で、搬送手段により搬送されてくる基
   板の先端に、感光性樹脂層側が該基板側に位置するよう
   にして導き、該基板に対して近接及び離反移動可能な仮
   付け部材に吸着した状態で、仮付け部材先端のシールバ
   ーにより該基板の先端に仮付けした後、ラミネーション
   ロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬
   送するフィルム張付方法において、前記シールバーによ
   るフィルム仮付けの際に、該シールバーの、基板送り方
   向前側に隣接した位置でフィルムの先端部を吸着するこ
   とを特徴とするフィルム張付方法。
2. 【請求項２】請求項１において、前記シールバーによる
   フィルム仮付けの際に、少なくとも前記シールバーの基
   板送り方向前側でのフィルム吸着までの間、該シールバ
   ーの、基板送り方向後側に隣接した位置でも前記フィル
   ムの先端部を吸着することを特徴とするフィルム張付方
   法。
3. 【請求項３】請求項２において、前記シールバーの基板
   送り方向の前側でのフィルム吸着後に、前記基板送り方
   向後側でのフィルム吸着を解除することを特徴とするフ
   ィルム張付方法。
4. 【請求項４】請求項２又は３において、前記シールバー
   の基板送り方向後側でのフィルム吸着力を、前側でのフ
   ィルム吸着力よりも弱くしたことを特徴とするフィルム
   張付方法。
5. 【請求項５】透光性支持フィルム上に少なくとも感光性
   樹脂層が積層されてなる連続フィルムをフィルム供給ロ
   ールから引き出し、透光性支持フィルムと感光性樹脂層
   とが積層した状態で、搬送手段により搬送されてくる基
   板の先端に、感光性樹脂層側が該基板側に位置するよう
   にして導き、該基板に対して近接及び離反移動可能な仮
   付け部材により該基板の先端に仮付けした後、ラミネー
   ションロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基
   板を搬送するようにされ、前記仮付け部材は、フィルム
   経路に沿って表面にフィルム吸着手段を備えたメインバ
   キュームプレートと、このメインバキュームプレートの
   フィルム送り方向先端に連結され、前記メインバキュー
   ムプレートの表面から連続して湾曲し、表面にフィルム
   吸着手段を備え、且つ、先端部に、フィルムを基板方向
   に押圧するシールバーを備えたフィルム仮付け部材本体
   と、を含んでなるフィルム張付装置において、 前記フィルム仮付け部本体の先端部における前記シール
   バー取付け端面の、該シールバーを越えて、更に、基板
   送り方向に隣接した位置に、フィルム吸着時に、前記シ
   ールバーを超えて延在する前記フィルムの先端部を、負
   圧により吸着する先端吸着手段を設けたことを特徴とす
   るフィルム張付装置。
6. 【請求項６】請求項５において、前記先端部には、前記
   搬送手段により搬送されてくる基板に対向して開口し、
   且つ、フィルム幅方向に延在して形成された溝が設けら
   れ、前記シールバーは、前記溝内に大部分が収容され、
   且つ、基板側の一部が該溝から突出して配置された棒状
   の部材とされてなることを特徴とするフィルム張付装
   置。
7. 【請求項７】請求項６において、前記溝は、その断面形
   状が、少なくともその長手方向中間範囲で、内側が開口
   端よりも幅広の台形とされたことを特徴とするフィルム
   張付装置。
8. 【請求項８】請求項６又は７において、前記シールバー
   は丸棒状部材であることを特徴とするフィルム張付装
   置。
9. 【請求項９】請求項５乃至８のいずれかにおいて、前記
   先端吸着手段は、前記シールバー取付端面に、フィルム
   幅方向に形成された吸着溝とされたことを特徴とするフ
   ィルム張付装置。
10. 【請求項１０】請求項５乃至９のいずれかにおいて、前
    記シールバーの、前記先端吸着手段と反対側に接近し
    て、フィルムを吸着する後側吸着手段を設けたことを特
    徴とするフィルム張付装置。