JPH09304432A - ズレ防止機能付き測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体回路装置の検査を確実に行うことが可
能な測定装置を提供する。 【解決手段】 絶縁体１３は、それぞれ２本ずつ平行に
複数組設けられた絶縁性のワイヤ１３ａ，１３ｂからな
る。２本のワイヤ１３ａと２本のワイヤ１３ｂとが互い
に交差することによって、網目１４が形成されている。
プローブ１には網目１４が係合するくびれ５が刻まれて
いる。２本のワイヤ１３ａによってプローブ１の方向Ａ
におけるズレが、２本のワイヤ１３ｂによって挟まれる
ことによってプローブ１の方向Ｂにおけるズレがそれぞ
れ抑制される。また、くびれ５と網目１４とが係合する
ので、方向Ａ，Ｂに直交する高さ方向Ｃにおけるプロー
ブ１の接触部のバラツキおよび変動が生じなくなる。す
なわち、互いに直交する３方向におけるプローブ１の接
触部のズレ、バラツキおよび変動が防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハである状
態またはパッケージングされた状態の半導体回路装置の
検査に用いられる測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１５は、従来の検査機構の構造をプロ
ーブ１付近において例示する斜視図である。プローブ１
は、それぞれ直交する二つの方向Ａ，Ｂに沿って延びて
おり、図示されない検査機構にその根元において固定さ
れている。

【０００３】同図に示されるように、それぞれのプロー
ブ１の先端である接触部を半導体回路装置のそれぞれの
パッド２に接触させることによって、半導体回路装置の
電気的な測定を行う。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の検査機構におい
ては、プローブ１が根元においてのみ固定されていたの
で、検査時にプローブ１を半導体回路装置に接触させる
際にプローブ１の位置にズレが生じることがあった。図
１６は、プローブ１同士が隣接する方向（以下「隣接方
向」）と直交する方向に自身の接触部がずれたプローブ
１を、隣接方向から見た模式図である。同図において
は、先端部が接触する場合のプローブ１は二点鎖線にて
図示されている。同図に示されるように、プローブ１と
半導体回路装置のパッド２とが良好に接触しないことに
よって、半導体回路装置の検査を行えないという問題点
があった。

【０００５】さらに、プローブ１の接触部が隣接方向へ
とずれる場合があった。図１７は、隣りのプローブ１に
接触するプローブ１を、隣接方向と直交する方向から見
た模式図である。図１８は、接触するべきパッド２の隣
りのパッド２に接触するプローブ１を、隣接方向と直交
する方向から見た模式図である。これらの図に示される
場合には、半導体回路装置の検査結果が間違ったものに
なるという問題点があった。

【０００６】本発明は以上の点に鑑み、プローブのズ
レ、特にプローブの隣接方向におけるズレを抑制し、半
導体回路装置の検査を確実に行うことが可能な検査機構
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のズレ防
止機能付き測定装置は、被測定物に接触する一端と、他
端とをそれぞれ有する複数のプローブと、前記複数のプ
ローブを所定の位置において貫通させる孔を有する絶縁
性の基体とを備えることを特徴とする。

【０００８】請求項２に記載のズレ防止機能付き測定装
置は、請求項１に記載の測定装置であり、上記孔は、前
記複数のプローブが互いに隣接する方向と直交する方向
へ伸びて設けられることを特徴とする。

【０００９】請求項３に記載のズレ防止機能付き測定装
置は、請求項１または２に記載のズレ防止機能付き測定
装置であり、上記複数のプローブは、その前記一端近傍
においてくびれをさらに有し、上記孔は前記くびれと係
合することが可能であることを特徴とする。

【００１０】請求項４のズレ防止機能付き測定装置は、
請求項３に記載のズレ防止機能付き測定装置であり、上
記基体は、互いに平行な第１の線条対と、該第１の線条
対と異なる方向において互いに平行な第２の線条対とか
らなり、上記孔は、前記第１の線条対と前記第２の線条
対とが互いに交差して形成されることを特徴とする。

【００１１】請求項５に記載のズレ防止機能付き測定装
置は、被測定物に接触する一端と、他端とをそれぞれ有
する複数のプローブと、前記複数のプローブのそれぞれ
の前記一端と前記他端との間において該複数のプローブ
に固定された絶縁性の基体とを備えることを特徴とす
る。

【００１２】請求項６に記載のズレ防止機能付き測定装
置は、請求項５に記載のズレ防止機能付き測定装置であ
り、上記複数のプローブは、第１の方向に沿って配置さ
れた第１のプローブ群と、該第１の方向とは異なる第２
の方向に沿って配置された第２のプローブ群とを含んで
なり、上記基体は該複数のプローブと一体的に固定され
ていることを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．本実施の形態においては、プローブが互
いに隣接する方向におけるプローブの接触部のズレを好
適に防止する検査機構を開示する。従来と同一の構成に
は同一の参照符号を付す。

【００１４】図１および図２はそれぞれ、本実施の形態
に従う測定装置の構造を例示する断面図および斜視図で
ある。ネット状の絶縁体３の網目４を、プローブ１ａと
プローブ１ｂとからなるプローブ１が貫通している。図
１、図２においてそれぞれ両矢印にて示される方向Ａと
方向Ｂとにそれぞれ沿いながら、プローブ１は網目４の
中にはめ込まれている。方向Ａに沿って配置されたプロ
ーブ１がプローブ１ａであり、方向Ｂに沿って配置され
たプローブ１がプローブ１ｂである。方向Ａと方向Ｂと
は、互いに直交している。検査の対象である半導体回路
装置のパッド２は、図２に示されるように、方向Ａと方
向Ｂとにそれぞれ沿うように配置されている。すなわ
ち、プローブ１がそれぞれ方向Ａと方向Ｂとに沿うよう
に配置されたのは、プローブ１の先端である接触部とパ
ッド２との電気的な接触を採るためである。

【００１５】図１は、絶縁体３によって形成される平面
における断面を表している。プローブ１は、その断面が
円となる形状である。同図に示されるように、絶縁体３
に設けられた網目４は、方向Ａと方向Ｂとにそれぞれ沿
うように配置されており、プローブ１が貫通している。
網目４は正方形であり、プローブ１の外形に対してほと
んど隙間のない大きさとなっている。すなわち、絶縁体
３は、隣り合うプローブ１同士の間をほぼ埋めるように
形成されている。

【００１６】図２において示されるように、プローブ１
はその途中の部分が折曲げられており、鈎状である。プ
ローブ１のうち、折曲げられた部分よりも根元側の部分
をテーパ部７、折曲げられた部分よりも先端側の部分を
先端部９として参照する。先端部９が絶縁体３の網目４
を貫通している。絶縁体３は、図示されない、検査機構
の基板に取り付けられた支柱によって支持されている。

【００１７】プローブ１を網目４にはめ込んだ状態で、
それぞれのプローブ１の接触部を、対応するパッド２に
それぞれ当接させる。プローブ１とパッド２とが接触し
た状態にて、半導体回路装置の検査を行う。

【００１８】プローブ１は網目４の中にはめ込まれてい
るので、当然プローブ１の先端部９が絶縁体３の形成す
る平面内において動くことが可能である範囲は、網目４
の輪郭を形成する絶縁体３によって決定される。換言す
ればこの範囲は、網目４によって制限される。従って、
プローブ１の接触部がパッド２から外れることが回避さ
れ、半導体回路装置の検査が確実に行われる。

【００１９】絶縁体３の材質として、ガラスやプラスチ
ックのように硬質な物質を用いることも、絶縁性ゴムや
ポリクロロプレン等のように弾力がある柔軟な物質を用
いることも可能である。硬質な物質を用いる場合には、
プローブ１のズレが確実に回避される。また、柔軟な物
質を用いる場合には、プローブ１がずれようとする力を
絶縁体３によって吸収することが可能となり、プローブ
１が変形することが回避される。

【００２０】網目４の大きさが２０〜８０μｍとなる絶
縁体３が形成され得るが、例えばプローブ１の断面の径
が３０μｍであるときには、網目４を４０×４０μｍ程
度の大きさとする。このようにプローブ１の断面の径に
合わせて調節することによって、プローブ１のズレを好
適に防止することが可能となる。

【００２１】次に、本実施の形態に従う他の例について
説明を行う。図３は、網目４ａの設けられた絶縁体３ａ
の構造を例示する断面図である。絶縁体３と絶縁体３ａ
との相違とは、網目４と網目４ａとのそれぞれの形状お
よび大きさの違いであり、他の構成は同じである。

【００２２】図４は、等しい断面径を有するプローブ１
がそれぞれ貫通する網目４と網目４ａとの、それぞれの
形状および大きさを示す断面図である。網目４ａは長方
形であり、その短辺は網目４の一辺と同じ長さに設定さ
れる。従って、網目４ａの長方形の長辺は網目４の一辺
よりも長い。

【００２３】図３に示されるように、網目４ａの長辺が
伸びる方向、すなわち網目４ａの伸長方向は、隣接方向
と直交している。すなわち、プローブ１ａに対応する網
目４ａは方向Ｂに伸び、プローブ１ｂに対応する網目４
ａは方向Ａに伸びている。

【００２４】網目４ａは以上のような形状をしているの
で、プローブ１は、網目４ａの輪郭に沿いつつ、隣接方
向へのズレを生ずることなく網目４ａの伸長方向におけ
る自身の接触部の移動が可能となる。プローブ１の接触
部の移動が網目４ａによって許容されているので、プロ
ーブ１の接触部をパッド２に接触させる際に、プローブ
１の接触部はパッド２の表面上を滑ることが可能とな
る。

【００２５】絶縁体３ａを用いることには、以下に説明
を行う利点がある。絶縁体３ａを用いる場合には、プロ
ーブ１の接触部はパッド２上を滑ることが可能であるの
で、パッド２の表面が傷つく恐れが少ない。これに対し
て、絶縁体３を用いて半導体回路装置の検査を行う場合
には、プローブ１の先端部９がほとんど固定されている
ので、プローブ１の接触部が動くこともほぼ不可能であ
り、パッド２の表面が傷つけられて荒れが生ずる恐れが
あった。

【００２６】もちろん、絶縁体３ａを用いる場合にも、
検査時に特に問題となる、プローブ１の隣接方向におけ
るプローブ１の接触部のズレを防止することは可能であ
る。

【００２７】絶縁体３と絶縁体３ａとの使い分けは、以
下に記すように行うことが望ましい。例えば量産検査の
ように、新しいパッド２に一回だけプローブ１を接触さ
せる場合には、絶縁体３を用いれば良い。絶縁体３に設
けられた網目４によって、プローブ１の接触部が確実に
パッド２に接触し、確実な半導体回路装置の検査を行う
ことが可能となる。一方、プローブ１をパッド２に何度
も接触させて検査を行う場合には、絶縁体３ａを用いれ
ば良い。絶縁体３ａに設けられた網目４ａによって、パ
ッド２の表面の荒れを回避することが可能となり、パッ
ド２の荒れによって起こるコンタクト不良が抑制され
る。

【００２８】ここで、網目４ａの長辺の長さの例を挙げ
る。例えば網目４ａの長辺を自身の短辺の１．５倍とす
ることで、プローブ１の接触部は十分にパッド２上を滑
ることが可能となり、しかも隣接方向に直交する方向に
おけるプローブ１の接触部のズレも十分に防止される。
すなわち、網目４ａの短辺が例えば５０μｍであれば、
長辺は７５μｍとなる。

【００２９】本実施の形態の検査機構においては、絶縁
体に設けられる網目の形状と大きさとを、検査に要する
プローブとパッドとの接触回数に応じて決定する。これ
によって、検査を確実に行うこととパッドの表面の荒れ
を回避することとのうち、どちらが重要であるかに応じ
て検査を行うことが可能となる。

【００３０】実施の形態２．本実施の形態においては、
実施の形態１の測定装置をさらに改良することによって
得られる、高さ方向のプローブのズレを防止することが
可能な測定装置を開示する。実施の形態１と同一の構成
には同一の参照符号を付し、説明は省略する。

【００３１】図５は、絶縁体１３の構造をプローブ１の
接触部付近において例示する斜視図である。絶縁体１３
は、それぞれ２本ずつ平行に設けられた絶縁性のワイヤ
１３ａ，１３ｂの複数組からなる。２本のワイヤ１３ａ
と２本のワイヤ１３ｂとが互いに交差することによっ
て、網目１４が形成されている。プローブ１には絶縁体
１３の網目１４が係合するくびれ５が刻まれている。

【００３２】図６は、図５に示される構造をくびれ５付
近において拡大して示す拡大図である。同図に示される
ように、２本のワイヤ１３ａによってくびれ５において
挟まれることによってプローブ１は方向Ａにおけるズレ
が抑制され、さらに２本のワイヤ１３ｂによって挟まれ
ることによってプローブ１は方向Ｂにおけるズレが抑制
される。また、くびれ５と網目１４とが係合するので、
方向Ａ，Ｂに直交する高さ方向Ｃにおけるプローブ１の
接触部のバラツキおよび変動が生じなくなる。

【００３３】ワイヤ１３ａ，１３ｂの間隔をそれぞれ拡
げた状態にてくびれ５を網目１４付近に位置させ、次に
それぞれをせばめることによってくびれ５を網目１４に
係合させることが可能である。くびれ５に対してプロー
ブ１の先端は太いので、ワイヤ１３ａ，１３ｂに弾性を
持たせ、プローブ１を網目１４に突っ込むことによって
容易に上記係合を達成することも可能である。

【００３４】くびれ５およびワイヤ１３の大きさの例を
挙げる。プローブ１のくびれ５の部分の径は、くびれ５
の周辺の径の９０％程度とすることが好ましい。例え
ば、３０μｍの径を持つプローブ１においては、くびれ
５の部分の径は２７μｍとなる。このように設定するこ
とによって、プローブ１の電気的な特性を大きく変える
ことなく、好適にくびれ５と網目１４とを係合させるこ
とが可能となる。また、高さ方向Ｃにおけるくびれ５の
幅は、１０〜１００μｍとする。ワイヤ１３ａ，１３ｂ
の径は、くびれ５の幅とほぼ同じに設定する。

【００３５】本実施の形態においては、互いに直交する
３方向におけるプローブ１の接触部のズレ、バラツキお
よび変動が防止される。従って、さらに確実に半導体回
路装置の検査を行うことが可能となる。

【００３６】もちろん、実施の形態１において示される
絶縁体３ａのように絶縁体１３を構成しても良い。すな
わち、絶縁体１３に設けられる網目１４を、自身を貫通
するプローブ１の隣接方向に直交する方向に伸長する長
方形とする。これによって、隣接方向におけるズレを回
避しつつ、隣接方向に直交する方向におけるプローブ１
の移動を許すことが可能となり、実施の形態１と同様の
効果が得られる。

【００３７】実施の形態３．本実施の形態においては、
複数のプローブに固定される絶縁体を備える測定装置を
開示する。本実施の形態の測定装置においては、プロー
ブ１の隣接方向における接触部のズレが好適に防止され
る。実施の形態１，２と同一の構成には同一の参照符号
を付し、説明は省略する。

【００３８】図７は、複数のプローブ１のそれぞれのテ
ーパ部７に固定された絶縁体２３の構造を例示する斜視
図である。図８は、検査機構の基板１０と支柱１１とプ
ローブ１との位置関係を示す、図７のVIII-VIII断面矢
視図である。絶縁体２３は、グラスファイバ等の材料か
らなり、その断面が円形である、途中が折れ曲がったＬ
字型の棒である。絶縁体２３は、この折れ曲がった部分
からそれぞれ方向Ａと方向Ｂとに伸びることによって、
プローブ１ａ，プローブ１ｂのそれぞれの隣接方向に沿
ってそれぞれプローブ１ａ，１ｂを固定する。プローブ
１と絶縁体２３との固定は、図８に示されるように、樹
脂等の接着剤８によってなされている。検査機構の基板
１０には支柱１１が取り付けられている。この支柱１１
によって、自身の折れ曲がった部分において絶縁体２３
は支持されている。

【００３９】プローブ１は、上述のように絶縁体２３に
固定されるので、固定された部分の位置関係が不変とな
り、隣接方向および高さ方向Ｃにおけるプローブ１の接
触部のズレが絶縁体２３によって防止される。従って、
半導体回路装置の検査を確実に行うことが可能となる。
また、複数のプローブ１が絶縁体２３によって固定され
るので、各プローブ１に加わる力を他のプローブ１へと
分散させることが可能となる。さらに、絶縁体２３を支
持する支柱１１と、支柱１１の取り付けられた基板１０
とにも各プローブ１に加わる力が分散される。これによ
って、プローブ１の変形を回避することが可能となる。

【００４０】また、棒状の絶縁体２３の代わりに、板状
の絶縁体３３を用いてプローブ１の固定を行っても良
い。図９は絶縁体３３の構造を例示する斜視図であり、
図１０は図９のX-X断面矢視図である。絶縁体３３は、
棒状の絶縁体２３が板状となった形状をしている。すな
わち、絶縁体３３は、底面がＬ字型の角柱がそのＬ字の
角の部分で折れ曲がった形状をしており、プローブ１の
テーパ部７にその底面が固定されている。

【００４１】絶縁体２３の代わりに絶縁体３３を用いる
ことによって、図１０に示されるように、プローブ１が
接着される部分の面積がより大きくなる。従って、絶縁
体３３の接着された部分は絶縁体２３に比べて破損され
難くなる。

【００４２】また、絶縁体２３をプローブ１の先端部９
に固定しても良い。図１１は、プローブ１の先端部９に
固定された絶縁体２３を例示する斜視図である。図１２
は、図１１のXII-XII断面矢視図である。この場合、プ
ローブ１のテーパ部７へと絶縁体２３を固定する場合よ
りもプローブ１の接触部に近い部分が固定される。従っ
て、プローブ１の接触部の、プローブ１の隣接方向にお
けるズレは小さくなる。また、プローブ１の先端部９が
固定されるので、隣接方向に直交する方向における接触
部のズレも抑えられる。

【００４３】次に、先端部９に固定された絶縁体２３を
改良することによって得られる、絶縁体４３について説
明を行う。図１３は、絶縁体４３を例示する斜視図であ
る。図１４は、図１３のXIV-XIV断面矢視図である。図
１３および図１４に示されるように、絶縁体４３は、互
いに直交する方向に沿って並ぶプローブ１ａとプローブ
１ｂとのそれぞれの先端部９を隙間なく取り囲むように
形成された、平面板状の固定材である。絶縁体４３の上
面は、Ｌ字型の絶縁体２３の上面を含む。絶縁体４３
は、プローブ１ａとプローブ１ｂとの境界付近において
支柱１１によって支持されている。平面板状であるの
で、絶縁体４３はＬ字型の絶縁体２３よりも撓み等によ
る変形が起こりにくい。

【００４４】プローブ１ａ，１ｂのそれぞれの先端部９
が変形の起こりにくい絶縁体４３によって固定されてい
るので、それぞれの先端部９の位置関係は、絶縁体２３
の場合よりもさらに不変となる。従って、プローブ１の
接触部は、プローブ１の隣接方向、隣接方向と直交する
方向、および高さ方向Ｃにさらにずれ難くなる。

【００４５】ここで、絶縁体４３は実施の形態１の絶縁
体３の変形であると考えることも可能である。すなわ
ち、絶縁体３の網目４とプローブ１との隙間が全くな
く、絶縁体３がプローブ１に固定されているものが絶縁
体４３である。

【００４６】また、絶縁体４３の材料として変形の起こ
りにくい樹脂等を用いると、上記の効果がいっそう優れ
たものとなる。

【００４７】

【発明の効果】請求項１に記載の構成によれば、互いに
隣接するプローブがそれぞれ貫通する２つの孔の間に存
在する基体の部分によって、プローブは少なくともその
隣接する方向へ移動することを抑制される。これによっ
て、プローブの一端が被測定物に接触する際にズレが生
じることが低減される。従って、測定を確実に行うこと
が可能となる。

【００４８】請求項２に記載の構成によれば、プローブ
が隣接する方向と直交する方向へのプローブの滑りが許
される。これによって、プローブの一端によって引き起
こされる被測定物の表面の荒れが生じ難くなる。従っ
て、この測定後の使用時に、被測定物においてコンタク
ト不良が起こることが回避される。

【００４９】請求項３に記載の構成によれば、孔とくび
れとの係合によって、孔におけるプローブの長手方向で
のプローブのズレをも抑制することが可能となり、測定
が確実に行われる。

【００５０】請求項４に記載の構成によれば、第１およ
び第２の線条対の間隔をそれぞれ拡げることによって基
体の孔をくびれの周辺の部分よりも大きくした状態でく
びれに位置させ、次に間隔をそれぞれ狭めることによっ
て孔をくびれの周辺の部分よりも小さくすることが可能
となる。これによって、請求項３に記載のくびれに係合
する基体が得られる。

【００５１】請求項５に記載の構成によれば、例えば一
つの基体が複数のプローブに固定されるので、基体の長
手方向におけるプローブのズレを抑制することが可能と
なる。さらに、一つのプローブに加わる力を基体を介し
て複数のプローブへと分散させることが可能となる。こ
れによって、プローブの変形が抑制される。

【００５２】請求項６に記載の構成によれば、プローブ
のうち、基体に固定されている部分の互いの位置関係が
変化しない。これによって、複数のプローブによってそ
れぞれ接触される、被測定物の複数の測定箇所が存在す
る平面の平面方向におけるプローブのズレを抑制するこ
とが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施の形態１の構造の一例を示す断面図であ
る。

【図２】 実施の形態１の構造の一例を示す斜視図であ
る。

【図３】 実施の形態１の構造の他の例を示す断面図で
ある。

【図４】 網目４と網目４ａとを例示する断面図であ
る。

【図５】 実施の形態２の構造を例示する斜視図であ
る。

【図６】 図５に示される絶縁体１３とプローブ１との
部分拡大図である。

【図７】 実施の形態３の構造の第１の例を示す斜視図
である。

【図８】 実施の形態３の構造の第１の例を示す断面矢
視図である。

【図９】 実施の形態３の構造の第２の例を示す斜視図
である。

【図１０】 実施の形態３の構造の第２の例を示す断面
矢視図である。

【図１１】 実施の形態３の構造の第３の例を示す斜視
図である。

【図１２】 実施の形態３の構造の第３の例を示す断面
矢視図である。

【図１３】 実施の形態３の構造の第４の例を示す斜視
図である。

【図１４】 実施の形態３の構造の第４の例を示す断面
矢視図である。

【図１５】 従来の検査機構の構成を示す斜視図であ
る。

【図１６】 接触部がずれた場合のプローブ１を示す模
式図である。

【図１７】 隣りのプローブ１に接触するプローブ１を
示す模式図である。

【図１８】 隣りのパッド２に接触するプローブ１を示
す模式図である。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ プローブ、２ パッド、３，３ａ，１
３，２３，３３，４３絶縁体、４，４ａ，１４ 網目、
５ くびれ、７ テーパ部、８ 接着剤、９先端部、１
０ 基板、１１ 支柱、１３ａ，１３ｂ ワイヤ、Ａ，
Ｂ 方向、Ｃ 高さ方向。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多田 哲生 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物に接触する一端と、他端とをそ
   れぞれ有する複数のプローブと、 前記複数のプローブを所定の位置において貫通させる孔
   を有する絶縁性の基体とを備えることを特徴とするズレ
   防止機能付き測定装置。
2. 【請求項２】 上記孔は、前記複数のプローブが互いに
   隣接する方向と直交する方向へ伸びて設けられることを
   特徴とする請求項１に記載のズレ防止機能付き測定装
   置。
3. 【請求項３】 上記複数のプローブは、その前記一端近
   傍においてくびれをさらに有し、 上記孔は前記くびれと係合することが可能であることを
   特徴とする請求項１または２に記載のズレ防止機能付き
   測定装置。
4. 【請求項４】 上記基体は、互いに平行な第１の線条対
   と、該第１の線条対と異なる方向において互いに平行な
   第２の線条対とからなり、 上記孔は、前記第１の線条対と前記第２の線条対とが互
   いに交差して形成されることを特徴とする請求項３に記
   載のズレ防止機能付き測定装置。
5. 【請求項５】 被測定物に接触する一端と、他端とをそ
   れぞれ有する複数のプローブと、 前記複数のプローブのそれぞれの前記一端と前記他端と
   の間において該複数のプローブに固定された絶縁性の基
   体とを備えることを特徴とするズレ防止機能付き測定装
   置。
6. 【請求項６】 上記複数のプローブは、第１の方向に沿
   って配置された第１のプローブ群と、該第１の方向とは
   異なる第２の方向に沿って配置された第２のプローブ群
   とを含んでなり、 上記基体は該複数のプローブと一体的に固定されている
   ことを特徴とする請求項５に記載のズレ防止機能付き測
   定装置。