JPH10300785A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 精密近接配置された線径の細い探針を用いな
がら確実に電極パッドとの接触圧を得る。 【解決手段】 探針１４のアーム部１４ａを固定リング
１２に保持された弾性体２０によって被検査体と反対側
の上面を被覆保持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプローブカード、特
にプローブカード基板に複数の探針を固定するための固
定部の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等の導通検査あ
るいは機能測定を行うために各種のプローブカードが用
いられており、特に最近においてはメモリＩＣ等の多数
個同時測定あるいは液晶用大型ディスプレイ端子の測定
にも各種形状の大型プローブカードが用いられている。
これらのプローブカードはプリント配線基板から成るプ
ローブカード基板に複数の探針が固定配置され、所望の
被検査ウェハの電極に探針の先端を接触させて各種の測
定が行われる。

【０００３】図７には、ＩＣウェハ測定に利用されるプ
ローブカードの一例が示されており、表面及び内部にプ
リント配線が設けられたプローブカード基板１０にはそ
の中央部に円形開口部１０ａが設けられている。そし
て、プローブカード基板１０の下面には前記開口部１０
ａの周辺に合わせてセラミックス等からなる固定リング
１２が配置されている。前記プローブカード基板１０の
裏面には、図示するように、複数の探針１４が固定され
ており、その固定された基端が前記プリント配線端子に
接続され、探針１４のアーム部１４ａが前記開口部１０
ａに向かって伸張されている。各探針１４のアーム部１
４ａはその先端がプローブカード基板１０とほぼ垂直に
なるように折り曲げられ、ＩＣウェハ等の電極に接触す
る触針部１４ｂを構成している。各探針１４のアーム部
の一部である中間節部は、前記固定リング１２に樹脂部
１６で固定保持され、各探針１４がしっかりと位置決め
保持されている。

【０００４】したがって、このようなプローブカードに
よれば、探針１４の触針部１４ｂをＩＣウェハの各電極
パッドに導き、ＩＣ等の導通検査あるいは機能測定を効
率よく行うことが可能となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年Ｉ
Ｃの小型化に伴い、各ＩＣに設けられている電極パッド
の配列ピッチは年々狭くなり、このようなＩＣの検査及
び測定を行うためには、プローブカードの探針自体の線
径を細くすることが要望されている。しかしながら、探
針の線径を細くすると、電極パッドとの接触時の針圧が
低下し、この結果検査あるいは測定に必要な十分な接触
圧を得ることができないという問題があった。

【０００６】このような問題に対して、従来において
は、針圧を強めるために、探針のアーム長を短くするこ
とが考えられたが、この場合には探針自体に負荷がかか
りすぎ、触針部の位置精度を保つことができなくなると
いう問題があった。

【０００７】また、測定に十分な針圧を確保するため
に、探針が電極パッドと接触してから更にプローブカー
ドを位置検査体に近づけるいわゆるオーバドライブ量を
増加することも考えられるが、前述したように、近年の
電極パッドはその配置間隔が狭いため、オーバドライブ
量を増加すると触針部が電極パッドからはずれてしまい
測定不能になるという問題が発生していた。

【０００８】従来において、前記オーバドライブ量を増
加した場合において、探針の先端を電極パッドから滑り
落ちにくくする構造が提案されており、特開平３−４２
５７４号には、プローブの先端を弾性力を有する絶縁体
樹脂で保持した構成が開示されている。

【０００９】しかしながら、このような従来装置では探
針の触針部近傍を絶縁体樹脂で保持するため、大型のプ
ローブカードには適用することができるが、本発明の対
象となる小型で且つ探針の配列間隔が狭いプローブカー
ドにおいては、触針部を保持するだけのスペースを確保
することができず、実際上、このような従来技術を適用
することが不可能であった。

【００１０】本発明は上記従来の課題に鑑みなされたも
ので、その目的は、小型の精密近接配置された探針を持
ったプローブカードにおいても、線径の細い探針を用い
ながら十分な接触圧を確保することのできる改良された
プローブカードを適用することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は精密近接配置された線径の細い各探針のア
ーム部を、固定リングに保持された弾性体によって被検
査体と反対側の上面を被覆保持することを特徴とする。

【００１２】これによって、各探針は弾性体によってそ
の上面側が位置決め保持され、正確な測定位置を定めら
れると共に、触針部が電極パッドに接触したときには、
前記弾性体が撓み、この撓み力によって触針部と電極パ
ッドとの十分な接触圧を得ることができる。また、触針
部自体が弾性体から突出しており、このため線径の細い
探針を用いた場合においても、電極パッドに接触する触
針部を弾性体から突出させて正しくその先端を電極パッ
ドに導くことが可能となる。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１には本発明に係るプローブカ
ードの好適な実施形態が示されている。前述した従来の
プローブカードと同一部材には同一符号を付して説明を
省略する。

【００１４】本発明において特徴的なことは、探針１４
のアーム部１４ａが被検査体と反対側の上面において弾
性体２０によって被覆保持されていることである。この
弾性体２０は例えばシリコン樹脂等からなり、固定リン
グ１２によってそれ自体保持されている。

【００１５】図１において明らかなように、このような
アーム部１４ａの樹脂モールド成型を行うため、図１に
示されるごとく形成されたプローブカードは下型２２の
上に位置決めされる。この下型２２は金属あるいは耐熱
プラスチックからなり、プローブカードの下面と密接す
る形状を有し、更に探針１４の触針部１４ｂを受け入れ
る穴２２ａを有する。そして、組み立てられたプローブ
カードが下型２２の上に載置された状態で、上面から固
定リング１２の内部にシリコン樹脂が流し込まれ所定時
間硬化される。このようにして、弾性体２０が硬化した
後、図１に示されるように、プローブカードは下型２２
から離型され、図示のように各探針１４のアーム部１４
ａが弾性体２０によってその上面を位置決め保持された
本発明の構造を得ることができる。

【００１６】図２は、図１のＡ−Ａ断面を示し、アーム
部１４ａはその上面側が弾性体２０によってしっかりと
保持されていることが理解される。本発明において特徴
的なことは、探針１４のアーム部１４ａのみを弾性体２
０によって保持することであり、前述した説明から明ら
かなように触針部１４ｂは弾性体２０から突出してお
り、これによって電極パッドとの有効な接触部を確保す
ることができ、また触針部１４ｂの部分でこれを折り曲
げ角調整することによって、狭い間隔で配置された電極
パッドに対しても確実に触針部１４ｂの位置を最終調整
することが可能となる。

【００１７】前述した実施形態においては、弾性体２０
は探針１４のアーム部１４ａをほぼ全域にわたって保持
しているが、本発明においてはこのような保持はアーム
部１４ａの一部に対して行うことも可能である。

【００１８】図３、４は角型プローブカードの一例を示
しており、このような角型プローブカードにおいては、
探針は四辺から伸張しており、各辺毎にそれぞれの探針
１４のアーム部１４ａをそれぞれ別個に各辺の組として
弾性体２０−１、２０−２によって保持することができ
る。このような弾性体の分離もシリコン樹脂等の充填時
に下型の形状を最適に設計することによって容易に行う
ことが可能となる。

【００１９】図５、６は、更に、角型プローブカードに
おいて各辺の複数の探針に対してアーム部に一部に弾性
体を固定保持した実施形態を示す。このような実施形態
においても、弾性体は探針のアーム部をその上面で位置
決め保持することができ、各探針はその触針部が電極パ
ッドに接触したときに十分な接触圧を弾性体から与えら
れる。

【００２０】以上説明した実施形態においては、単列の
探針を示したが多層配列の探針を持ったプローブカード
にも本発明は適用可能である。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型ＩＣ等に対して確実な検査及び測定を行うため、細
密間隔で配置され且つ線径の細い探針に対しても、その
アーム部を弾性体に係合させることによって、電極パッ
ドと触針部とが接触したときに十分な接触圧を得ること
ができ、精密測定可能なプローブカードを容易に提供す
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るプローブカードの好適な実施形
態を示す断面図である。

【図２】 図１におけるＡ−Ａ断面図である。

【図３】 本発明に係るプローブカードの他の実施形態
を示す断面図である。

【図４】 図３の一辺の探針列を示す下面図である。

【図５】 本発明に係る更に他の実施形態を示す断面図
である。

【図６】 図５のプローブカードの下面図である。

【図７】 従来のプローブカードを示す断面図である。

【符号の説明】

１０ プローブカード基板、１０ａ 開口部、１２ 固
定リング、１４ 探針、１４ａ アーム部、１４ｂ 触
針部、１６ 樹脂部、２０ 弾性体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面及び内部にプリント配線が設けられ
   たプローブカード基板と、 このプローブカード基板に固定された固定リングと、 前記プリント配線端子に基端が接続固定され先端が被検
   査体の電極端子に向かって伸張した複数の探針と、 各探針の中間節部を前記固定リングに固定する樹脂部
   と、を含むプローブカードにおいて、 前記各探針のアーム部は、固定リングに保持された弾性
   体によって前記被検査体と反対側の上面が被覆保持され
   ていることを特徴とするプローブカード。