JPH09304457A

JPH09304457A - プローブ装置

Info

Publication number: JPH09304457A
Application number: JP12033696A
Authority: JP
Inventors: Shuichi Oe; 修一大江
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1996-05-15
Filing date: 1996-05-15
Publication date: 1997-11-28
Anticipated expiration: 2016-05-15
Also published as: JP2874646B2

Abstract

(57)【要約】【課題】被測定面が狭いところにあっても容易に二次
元乃至三次元の電磁界分布を測定できるプローブ装置を
提供すること。【解決手段】被測定面から放射される電磁界を検出す
る電磁界検出手段８をプローブ本体１に備えている。ま
た、プローブ本体１に、被測定面に当接して回転する回
転体１０と、この回転体１０の回転量に基づいてプロー
ブ本体１の被測定面に対する移動量を検出する移動量検
出手段９とを備えたこと。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プローブ装置に係
り、特に、不要輻射雑音又は静電気放電による電磁界を
測定するためのプローブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の従来例として、ＸＹ方向に移動
可能なキャリッジに測定用のプローブを取付け、該キャ
リッジを移動させることで被測定面の二次元の電磁界分
布を得るものがある。また、図２０に示すように、ルー
プ状のプローブ５１を二次元的に複数配設し、各プロー
ブから検出される電磁界の強さを統計して二次元的な電
磁界分布を得るものがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例にあっては、被測定面が平面でなければならない等
の測定上の制約が多かった。また、ＸＹ方向に移動可能
なキャリッジや複数のループプローブを埋め込んだ測定
板を用いるので、被測定装置の内部のように狭い部分の
測定を行い２次元的測定結果を得ることは困難であっ
た。更に、今日ではケーブルに乗った定在波の分布を測
定したいという要請が強いが、上記従来例にあっては、
このようなケーブルに乗った定在波の分布を測定するに
は不向きであった。

【０００４】

【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、特に、被測定面が狭いところにあっても容易
に二次元乃至三次元の電磁界分布を測定できるプローブ
装置を提供すること、及び、ケーブルに乗った定在波の
分布を測定するに好適なプローブ装置を提供すること
を、その目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、被測定面から放射される
電磁界を検出する電磁界検出手段をプローブ本体に備え
ている。また、プローブ本体に、被測定面に当接して回
転する回転体と、この回転体の回転量に基づいてプロー
ブ本体の被測定面に対する移動量を検出する移動量検出
手段とを備えた、という構成を採っている。

【０００６】本発明では、回転体を被測定面に当接させ
てプローブ本体を移動させると、回転体が移動に応じて
回転し、その移動量が移動量検出手段により検出され
る。これと同時に、各移動場所での電磁界の強さが電磁
界検出手段により連続的に検出される。これら移動量の
検出値と電磁界の検出値とを外部装置に入力して処理す
ることにより、被測定面の連続的な電磁界の分布の取得
が可能となる。

【０００７】請求項２記載の発明では、回転体は球体で
あって、移動量検出手段は球体に当接して当該球体の回
転量を検出するものである、という構成を採っている。
本発明では、プローブ本体を移動させると被測定面に当
接した球体が回転し、この球体の回転量が移動量検出手
段によりプローブ本体の移動量として検出される。

【０００８】請求項３記載の発明では、移動量検出手段
は、径方向に複数のスリット状無透過部が形成されると
共に球体に当接して設けられた透明円盤と、この透明円
盤の一方の面と他方の面に対応してそれぞれ一端が設け
られると共に他端がプローブ本体の外部に引き出された
一対の光ファイバと、この光ファイバを介して透明円盤
の一方の面に光を照射する発光素子と、透明円盤の他方
の面に透過した光を光ファイバを介して受光する受光素
子とを備えている、という構成を採っている。

【０００９】本発明では、プローブ本体が移動され球体
が回転すると、この球体に当接した透明円盤も一緒に回
転する。このとき、発光素子から照射された光が光ファ
イバを通じて透明円盤の一方の面に照射されると、この
光は、透明円盤の回転により該透明円盤の径方向に複数
形成されたスリット状無透過部に断続的に遮られなが
ら、透明円盤の他方の面に断続的に透過する。透過した
光は、光ファイバを通じて受光素子に受光される。この
受光素子で受光される光パルスを外部装置で計数するこ
とにより、プローブ本体の移動量の取得が可能となる。

【００１０】請求項４記載の発明では、プローブ本体を
パイプ状部材の一端部に支持すると共に、このパイプ状
部材の他端部に握り部を設けた、という構成を採ってい
る。本発明では、握り部を手で持ち、プローブ本体の回
転体が被測定面と常時当接するように操作して、プロー
ブ本体を所定方向に移動させる。

【００１１】請求項５記載の発明では、パイプ状部材
が、変形自在なフレキシブルパイプである、という構成
を採っている。本発明では、握り部を持ったときにプロ
ーブ本体を被測定面に沿わせ易いようにフレキシブルパ
イプを変形させて使用する。

【００１２】請求項６記載の発明では、パイプ状部材の
内部に、プローブ本体から引き出される配線を収納し、
該配線を握り部から外部装置に接続可能とした、という
構成を採っている。本発明では、プローブ本体から握り
部までの間では配線が外部に剥き出しにならない。握り
部から配線を外部装置に接続して使用する。

【００１３】請求項７記載の発明では、電磁界検出手段
がドーナツ状の高周波カレントプローブであると共に、
回転体が滑車であって、移動量検出手段が滑車の回転量
を検出するものである、という構成を採っている。

【００１４】本発明では、ドーナツ状の高周波カレント
プローブの中心に被測定物となるケーブルを通し、この
ケーブルに滑車を引っかける。そして、プローブ本体を
移動させると、滑車が回転しプローブ本体の移動量が移
動量検出手段から検出される。これと同時に、高周波カ
レントプローブからはケーブルから放射される電磁界の
強さが連続的に検出される。これら移動量の検出値と電
磁界の検出値とを外部装置に入力して処理することによ
り、被測定面の連続的な電磁界の分布の取得が可能とな
る。

【００１５】これらにより、前述した目的を達成しよう
とするものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図１０に基づいて説明する。

【００１７】図１は、本実施形態の概念図である。本実
施形態のプローブ装置は、被測定面の電磁界の強さを検
出するプローブ本体１と、このプローブ本体１を操るた
めのグリップ部２（握り部）と、プローブ本体１とグリ
ップ部２とを物理的に接続して一体化するパイプ状の信
号伝達部５とから構成される。

【００１８】プローブ本体１は、電磁界を検出する電磁
界検出手段８と、プローブ本体１の移動量を検出する移
動量検出手段９とを、筐体内部に一体的に保持してい
る。プローブ本体１の筐体からは、電磁界検出手段８の
信号出力用の同軸ケーブル７と、移動量検出手段９の駆
動用及び出力用の配線としての光ファイバ３が引き出さ
れている。

【００１９】また、信号伝達部５は、フレキシブルパイ
プ６で構成され、変形自在であり、かつ、変形後の状態
を止めておくことができるものである。このフレキシブ
ルパイプ６の内部には、プローブ本体１から引き出され
た同軸ケーブル７と光ファイバケーブル３が収納されて
いる。フレキシブルパイプ６の一端はプローブ本体１の
筐体の一部に固定され、他端はグリップ部２の筐体の一
部に固定されている。

【００２０】グリップ部２は、プローブ本体１から引き
込まれた同軸ケーブル７の出力を外部装置と接続可能と
した電磁界検出用コネクタ４３ｂと、移動量検出手段９
に入射すべき光信号を出力すると共に移動量検出手段９
から出力された光信号を所定の電気信号に変換する信号
変換手段４と、移動量検出手段９から出力された移動量
信号を外部装置に出力するための移動量検出用コネクタ
４３ａとを備えている。

【００２１】以下、上述した概念的構成に基づいて本実
施形態の更に具体的な構成を明らかにする。

【００２２】図２に、プローブ本体１の内部構成を示
す。プローブ本体１は、その筐体が絶縁材料で形成され
ていて、被測定面との対向面の中央にボール１０の一部
が覗き出す丸穴が形成されている。このように、ボール
１０は、球面の一部が丸穴から覗き出した状態で回転可
能に筐体の一部に保持されている。その構造は、例え
ば、コンピュータの入力装置として一般的なボール型マ
ウスと同様にすれば良い。また、このボール１０には、
当該ボール１０の回転に応じてプローブ本体１のＸ方向
への移動を検出するＸ方向移動検出センサ１３と、Ｙ方
向への移動を検出するＹ方向移動検出センサ１４とが当
接して設けられている。このＸ方向移動検出センサ１３
とＹ方向移動検出センサ１４は、ボール１０の中心と各
センサ１３，１４のなす間の角が直角となる位置で、ボ
ール１０の中心及び各センサ１３，１４を含む面が筐体
の被測定面との対向面と平行になるように、筐体の一部
に固定されている。このＸ方向移動検出センサ１３とＹ
方向移動検出センサ１４が、それぞれ上述した移動量検
出手段９として機能する。ここで、Ｘ方向移動検出セン
サ１３，Ｙ方向移動検出センサ１４には、それぞれ２本
ずつの光ファイバ１７が接続されている。

【００２３】また、プローブ本体１の筐体内部には、同
軸ケーブル２５の心線及び外部導体の終端を結合して形
成したＸ軸ループプローブ１１とＹ軸ループプローブ１
２とが設けられている。即ち、一本の同軸ケーブル２５
につき一つのループプローブが形成されている。Ｘ軸ル
ーププローブ１１は、ループを含む面がＹ軸に沿うよう
に設けられている。一方、Ｙ軸ループプローブ１２は、
ループを含む面がＸ軸に沿うように設けられている。本
実施形態では、Ｘ軸ループプローブ１１よりもＹ軸ルー
ププローブ１２の径が幾分小さめに設定されており、Ｘ
軸ループプローブ１１の中心位置とＹ軸ループプローブ
１２の中心位置とが一致するように組み合わせて配設さ
れている。ここで、これらＸ軸ループプローブ１１とＹ
軸ループプローブ１２とは、互いに短絡しないように絶
縁されている必要があるが、各ループが絶縁被覆された
状態で筐体の一部に保持されていても良いし、各ループ
が筐体と一体となった絶縁材料のブロック内に埋め込ま
れた状態で保持されていても良い。これら各ループプロ
ーブ１１，１２が、図１に示した電磁界検出手段８とし
てそれぞれ機能する。

【００２４】そして、プローブ本体１を用いて電磁界の
測定を行う場合には、図４に示すように、ボール１０を
被測定面１６に当接させた状態でプローブ本体１を移動
させる。

【００２５】続いて、上述したＸ方向移動検出センサ１
３，Ｙ方向移動検出センサ１４の詳細な構成を図５乃至
図７に基づいて説明する。ここで、Ｘ方向移動検出セン
サ１３とＹ方向移動検出センサ１４の構成は、全く同一
であるから、以下Ｘ方向移動検出センサ１３について説
明する。

【００２６】図５は、Ｘ方向移動検出センサ１３の外観
斜視図である。筐体４４は、内部中空の箱状であり、内
部には、筐体４４の一部から覗き出た回転板１５が筐体
４４の側面間に軸支された回転軸１５ａと一体となって
回転可能に設けられている。筐体４４からは、２本の光
ファイバ１７が引き出されている。

【００２７】図６は、Ｘ方向移動検出センサ１３の縦断
面図である。上述した回転板１５は、透明部材で形成さ
れ、その表面に、径方向に沿った複数のスリット状無透
過部が放射状に形成されている。

【００２８】図７は、Ｘ方向移動検出センサ１３の横断
面図である。回転板１５の一方の面と他方の面には、そ
れぞれ対応する位置に光ファイバ１７の先端部が配置さ
れており、その各先端にはレンズ１８，１８が取り付け
られ、回転板１５への送光部４１と、回転板１５を透過
した光の受光部４２とが形成されている。そして、光フ
ァイバ１７を介し回転板１５に照射された光は、回転板
１５の回転と共に断続的に回転板１５の他方の面に透過
し、受光部４２に受光される。このように構成されたＸ
方向移動検出センサ１３は、筐体４４から突出した回転
板１５の一部が図２乃至図３に示すボール１０の表面に
当接するように配設する。Ｙ方向移動検出センサ１４に
ついても同様である。このため、ボール１０の回転に応
じて回転板１５が回転し、その回転量が光のパルス数と
して受光部４２から出力される。

【００２９】図８は、本実施形態にかかるプローブ装置
の外観図である。プローブ本体１から引き出された２本
の同軸ケーブル２５及び４本の光ファイバケーブル１７
は、フレキシブルパイプからなる信号伝達部５の内部を
挿通され、グリップ部２に至る。そして、このグリップ
部２から、外部装置である測定器２０やコンピュータ２
１に接続可能となっている。ここで、測定器２０は、例
えばスペクトラムアナライザやオシロスコープ等であ
る。

【００３０】図９は、グリップ部２の内部構成図であ
る。フレキシブルパイプ６から引き込まれた２本の同軸
ケーブル２５は、グリップ部２の筐体外部に取り付けら
れた電磁界検出用コネクタ４３ｂにそのまま接続されて
いる。また、グリップ部２の筐体には、プローブ本体１
の移動量検出用コネクタ４３ａが設けられている。この
移動量検出用コネクタ４３ａは、Ｘ方向移動量検出用と
Ｙ方向移動量検出用の２つのコネクタから構成され、各
コネクタが筐体内部のドライバレシーバ回路１９に接続
されている。このドライバレシーバ回路１９には、２つ
のＬＥＤ２４，２４と、２つのフォトトランジスタ２
３，２３がそれぞれ隣接しないように交互に配置されて
いる。そして、フレキシブルパイプ６から引き込まれた
４本の光ファイバ１７の先端部がそれぞれ２つのＬＥＤ
２４，２４と２つのフォトトランジスタ２３，２３に個
別に対応するように配置されている。

【００３１】具体的には、プローブ本体１に設けられた
Ｘ方向移動検出センサ１３の送光部４１及びＹ方向移動
検出センサ１４の送光部４１をなす２本の光ファイバ１
７は、それぞれグリップ部２のＬＥＤ２４，２４の照射
光を取り込める位置に配置され、プローブ本体１に設け
られたＸ方向移動検出センサ１３の受光部４２及びＹ方
向移動検出センサ１４の受光部４２をなす２本の光ファ
イバは、それぞれグリップ部２のフォトトランジスタ２
３，２３に光信号を与えられる位置に配置されている。

【００３２】ドライバレシーバ回路１９は、ＬＥＤ２
４，２４を発光駆動すると共に、フォトトランジスタ２
４，２４に受光され電気信号に変換された信号を波形整
形して移動量検出用コネクタ４３ａに出力する機能を備
えている。ここで、移動量検出用コネクタ４３ａは、例
えばシリアルインタフェース等とし、ドライバレシーバ
回路の動作用電源は、移動量検出用コネクタ４３ａに接
続される外部のコンピュータから供給するように構成し
ても良い。

【００３３】次に、本実施形態によるプローブ装置の使
用方法を図２乃至図１０を参照して説明する。

【００３４】まず、グリップ部２の電磁界検出用コネク
タ４３ｂを測定器２０に接続し、移動量検出用コネクタ
４３ａをコンピュータ２１と接続する。また、測定器２
０に入力された電磁界検出値のデータがコンピュータ２
１にも得られるように、測定器２０とコンピュータ２１
とを接続する。そして、操作者は、グリップ部２を手に
持ってプローブ本体１を被測定面１６に当てる。このと
き、プローブ本体１のボール１０を被測定面１６に当接
させ難い場合は、フレキシブルパイプ６を適当に変形さ
せ、操作し易いようにプローブ本体１の向きを調整す
る。

【００３５】続いて、プローブ本体１を被測定面１６上
の初期測定位置に位置決めし、測定器２０、コンピュー
タ２１を測定可能状態に設定する。コンピュータ２１を
測定可能状態に設定すると、コンピュータ２１からグリ
ップ部２のドライバレシーバ回路１９に動作用電源が供
給され、ＬＥＤ２４，２４が点灯する。これにより、プ
ローブ本体１のＸ方向移動検出センサ１３，Ｙ方向移動
検出センサ１４内に装備された回転板１５に、一方の光
ファイバ１７を介して光が照射されると共に、この回転
板１５を透過した光は他方の光ファイバ１７を介してグ
リップ部２のフォトトランジスタ２３，２３に取り込ま
れる。

【００３６】フォトトランジスタ２３，２３に入力され
電気信号に変換された信号は、ドライバレシーバ回路１
９により波形整形され、外部のコンピュータ２１に入力
される。コンピュータ２１は、入力される信号の変化か
らプローブ本体１の移動量をＸ方向及びＹ方向のそれぞ
れについて逐次算出する。即ち、プローブ本体１がＸ方
向乃至Ｙ方向に移動されると、プローブ本体１に装備さ
れたボール１０の回転に応じて上述の回転板１５が回転
し、該回転板１５を透過しようとする光は、スリット状
無透過部により断続的に遮断される。これが、パルス状
の光信号の変化としてグリップ部２側のフォトトランジ
スタに入力され、コンピュータ２１では、移動量に応じ
た数のパルス信号が得られる。よって、コンピュータ２
１は、入力されるパルス数を計数することにより、プロ
ーブ本体１のＸ方向又はＹ方向の初期位置からの移動量
を算出する。

【００３７】一方、プローブ本体１のＸ軸ループプロー
ブ１１及びＹ軸ループプローブ１２からは、プローブ本
体１の移動方向に応じて所定の起電力が誘起され、これ
が同軸ケーブル２５から電磁界検出用コネクタ４３ａを
通じて測定器２０に入力される。また、測定器２０に入
力された電磁界の検出信号は、コンピュータ２１にも入
力される。操作者は、測定器２０の表示から測定結果を
把握することができる。

【００３８】また、コンピュータ２１は、測定器２０か
ら入力される電磁界の検出信号を所定のタイミングでサ
ンプリングし、その時の移動量の算出結果と対応づけて
蓄積してゆく。そして、一定の測定データが蓄積される
と、被測定面１６上の位置と電磁界強度との関係とを画
面上に表示させる。操作者が、プローブ本体１を被測定
面１６を筆で塗りつぶすように移動させることによっ
て、被測定面１６の全体的な電磁界強度分布を表示させ
ることができる。

【００３９】これによると、プローブ本体に回転体とし
てのボールを設け、電磁界の検出と同時に、このボール
の回転量に基づいてプローブ本体の移動量を検出可能と
したので、小型でありながら被測定面の各位置毎の電磁
界強度を連続的に検出することができ、被測定面が狭い
ところにあっても容易に電磁界分布を測定することがで
きる。更に、被測定面が曲面であっても測定を行うこと
ができる。

【００４０】また、回転体としてボールという球体を用
いたので２次元的なプローブ本体の移動量を検出するこ
とができ、２次元的な電磁界分布を取得することができ
る。

【００４１】更に、光ファイバをプローブ本体内に引き
込み、光信号によりプローブ本体の移動量を検出可能と
したので、外部の電磁ノイズの影響がなく、移動量の検
出を高精度に行うことができる。これと共に、電磁界検
出手段としてのＸ軸ループプローブ１１及びＹ軸ループ
プローブ１２の検出値に各移動検出センサ１３，１４が
電磁的な悪影響を与える事態を有効に防止することがで
き、精度の高い電磁界強度の検出値を得ることができ
る。

【００４２】これに加え、プローブ本体１にパイプ状部
材を介してグリップ部２を接続したので、グリップ部２
を手に持って操作することでプローブ本体を容易に移動
させることができる。

【００４３】また、パイプ状部材としてフレキシブルパ
イプ６を用いたので、操作し易いようにパイプを変形さ
せることで、ボールが被測定面に当接した状態でのプロ
ーブ本体１の移動をより容易に行うことができる。

【００４４】更に、プローブ本体から引き出された配線
をパイプ状部材の内部に収納しているので、操作の邪魔
になることがなく、また、光ファイバを折れ等の破損か
ら守ることができる。

【００４５】以上、本発明の一実施形態を示したが、本
発明は、上記実施形態に限られることなく種々の変形が
可能である。例えば、Ｘ軸ループプローブ、Ｙ軸ループ
プローブに加え、図１４に示すように、ループ面が被測
定面１６に平行なＺ軸ループプローブ３８を設けること
により、Ｚ軸方向の磁界強度を測定し、測定点での磁界
の向きを３次元で知ることが可能となる。また、ループ
プローブを図１５に示す電圧検出用の電圧測定端子に変
更すれば、電圧の分布を測定することも可能となる。更
に、ループプローブを図１６に示す電界検出用モノポー
ルアンテナにすれば、電界強度の分布を測定することも
可能となる。

【００４６】また、電界を検出する場合、図１７に示す
バランを介したダイポールアンテナを使用することによ
り、電界強度測定の精度を上げることも可能である。更
に、図１８に示す被測定面に垂直なダイポールアンテナ
を使用すれば、垂直方向の電界強度の分布が測定可能で
あり、また、図１９に示すように、垂直、水平方向の両
アンテナを組み合わせれば、３次元での電界強度分布が
測定可能となる。

【００４７】次に、本発明の他の実施形態を図１１乃至
図１３に基づいて説明する。

【００４８】図１１（ａ）は、本実施形態のプローブ装
置を被測定物であるケーブル３４に取り付けた状態を示
す斜視図である。ケーブル３４は、電磁界検出手段とし
てのドーナツ状の高周波カレントプローブ２９の中央を
通っている。この高周波カレントプローブ２９は、固定
板３３に固定されている。また、この固定板３３には、
回転体としての同一径の２つのローラ３０，３１が回転
可能に取り付けられている。この２つのローラ３０，３
１は、図１１（ｂ）に示すように、ケーブル３４を上下
から挟み込むように設けられている。固定板３３に近い
側のローラ３０の回転軸には、当該ローラ３０の回転量
を検出する回転検出センサ３２が併設されていて、その
配線が固定板３３から下方に垂れている。このようにし
て、プローブ本体が構成されている。ここで、高周波カ
レントプローブ２９を介して一対のローラ３０，３１と
は反対側に、該一対のローラ３０，３１と同様にケーブ
ル３４を挟み込む他の一対のローラを固定板３３に固定
して設けても良い。これにより、高周波カレントプロー
ブ２９内の所定位置にケーブル３４を維持することが容
易となる。

【００４９】図１２は、プローブ本体の接続図である。
高周波カレントプローブ２９の出力は、スペクトラムア
ナライザ３５に入力され、ローラ３０の回転検出センサ
３２の出力は、コンピュータ２１に入力される。更に、
高周波カレントプローブ２９の出力は、スペクトラムア
ナライザ３５からコンピュータ２１にも入力されるよう
になっている。

【００５０】そして、プローブ本体をケーブル３４に沿
って移動させると、回転検出センサ３２からローラ３０
の回転に応じた信号が出力されると共に、高周波カレン
トプローブ２９からはケーブル３４の各部における高周
波電流が検出される。高周波カレントプローブ２９で検
出された高周波電流は、スペクトラムアナライザ３５に
より電流スペクトラムに変換され、その後コンピュータ
２１へ入力される。また、回転検出センサ３２の出力信
号も、コンピュータ２１に入力される。コンピュータ２
１は、回転検出センサ３２の出力信号からプローブ本体
のケーブル３４上での移動量を逐次算出し、スペクトラ
ムアナライザ３５から入力された電流値と、算出した移
動量とに基づいてケーブル３４上の電流分布を作成し、
画像として表示させる。

【００５１】例えば、図１３（ｃ）に示すような一般的
な電子機器３６のケーブル（電源ケーブル等）から放射
されるノイズスペクトラムであれば、ｆ１は、ケーブル
の長さがノイズの波長λの１／４に共振する周波数であ
り、それは、図１３（ａ）に示すような電流分布を持つ
定在波となる。また、ｆ２は、ケーブルの長さがノイズ
の波長λの１／２に共振する周波数であり、それは、図
１３（ｂ）に示すような電流分布を持つ定在波となる。

【００５２】このように、本実施形態によれば、電磁界
検出手段としてドーナツ状の高周波カレントプローブを
用い、回転体を滑車（ローラ）とし、このローラの回転
量を検出してケーブル上でのプローブ本体の移動量を検
出するようにしたので、ケーブル上の各位置での定在波
を測定することができ、ケーブルに乗った定在波の分布
を測定することが可能となる。

【００５３】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能す
るので、これによると、プローブ本体に回転体を設け、
電磁界の検出と同時に、この回転体の回転量に基づいて
プローブ本体の移動量を検出可能としたので、小型であ
りながら被測定面の各位置毎の電磁界強度を連続的に検
出することができ、被測定面が狭いところにあっても容
易に電磁界分布を測定することができる。更に、被測定
面が曲面であっても測定を行うことができる。

【００５４】従って、大きなアンテナマトリックスや、
プローブをＸＹ方向に移動させる為の大がかりな装置を
用いることなく、測定者の手で本発明のプローブ装置を
持ち、被測定面上を移動させるだけで対象部分の磁界を
検出し、同時にプローブ本体の位置を示す座標値も得ら
れる。その結果、従来では、測定が困難であった装置内
部などの狭い部分の磁界強度分布が容易に測定可能とな
り、ＥＭＩ発生部分の特定と対策及び、静電気による回
路誤動作の対策、静電気耐力の強いフレーム構造の設計
に役立てることができる。

【００５５】請求項２記載の発明では、回転体として球
体を用いたので２次元的なプローブ本体の移動量を検出
することができ、２次元的な電磁界分布を取得すること
ができる。

【００５６】請求項３記載の発明では、光ファイバをプ
ローブ本体内に引き込み、光信号によりプローブ本体の
移動量を検出可能としたので、外部の電磁ノイズの影響
がなく、移動量の検出を高精度に行うことができる。こ
れと共に、電磁界検出手段の検出値に移動量検出手段が
電磁的な悪影響を与える事態を有効に防止することがで
き、精度の高い電磁界強度の検出値を得ることができ
る。

【００５７】請求項４記載の発明では、プローブ本体に
パイプ状部材を介してグリップ部を接続したので、グリ
ップ部を手に持って操作することでプローブ本体を容易
に移動させることができる。

【００５８】請求項５記載の発明では、パイプ状部材と
してフレキシブルパイプを用いたので、操作し易いよう
にパイプを変形させることで、ボールが被測定面に当接
した状態でのプローブ本体の移動をより容易に行うこと
ができる。

【００５９】請求項６記載の発明では、プローブ本体か
ら引き出された配線をパイプ状部材の内部に収納してい
るので、操作の邪魔になることがなく、また、光ファイ
バを折れ等の破損から守ることができる。

【００６０】請求項７記載の発明では、電磁界検出手段
としてドーナツ状の高周波カレントプローブを用い、回
転体を滑車とし、この滑車の回転量を検出してケーブル
上でのプローブ本体の移動量を検出するようにしたの
で、ケーブル上の各位置での定在波を測定することがで
き、ケーブルに乗った定在波の分布を測定することが可
能となる。従って、ケーブルから放射される放射ノイズ
の対策、静電気による誤動作の対策の効率化が可能とな
る、という従来にない優れたプローブ装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の基本的構成を示す概念的
な構成図である。

【図２】図１のプローブ本体の内部構成を示す一部切り
欠いた斜視図である。

【図３】図２のプローブ本体の横断面図である。

【図４】図２のプローブ本体の使用状態を示す説明図で
ある。

【図５】図２のＸ方向移動検出センサの外観を示す斜視
図である。

【図６】図５のＸ方向移動検出センサの縦断面図であ
る。

【図７】図５のＸ方向移動検出センサの横断面図であ
る。

【図８】図１のプローブ装置を外部装置と接続した外観
構成図である。

【図９】図８のグリップ部の内部構成を示す縦断面図で
ある。

【図１０】図８のプローブ装置の使用方法を示す説明図
である。

【図１１】本発明の他の実施形態を示す構成図であり、
図１１（ａ）がプローブ本体の斜視図を示し、図１１
（ｂ）が図１１（ａ）のプローブ本体をローラ側から見
た図である。

【図１２】図１１のプローブ本体と外部機器との接続を
示すブロック図である。

【図１３】ケーブルに乗った定在波の測定例を示す説明
図であり、図１３（ａ）が所定の周波数ｆ１における定
在波の分布を示し、図１３（ｂ）が所定の周波数ｆ２に
おける定在波の分布を示し、図１３（ｃ）がスペクトラ
ムアナライザで取得されるノイズスペクトラムを示す。

【図１４】図１に示す電磁界検出手段の第１の変形例を
示す構成図である。

【図１５】図１に示す電磁界検出手段の第２の変形例を
示す構成図である。

【図１６】図１に示す電磁界検出手段の第３の変形例を
示す構成図である。

【図１７】図１に示す電磁界検出手段の第４の変形例を
示す構成図である。

【図１８】図１に示す電磁界検出手段の第５の変形例を
示す構成図である。

【図１９】図１に示す電磁界検出手段の第６の変形例を
示す構成図である。

【図２０】従来例の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１プローブ本体２グリップ部３，１７光ファイバ６フレキシブルパイプ（パイプ状部材）８電磁界検出手段９移動量検出手段１０ボール（回転体）１５回転板（透明円盤）１６被測定面２３フォトトランジスタ（受光素子）２４ＬＥＤ（発光素子）２９高周波カレントプローブ３０ローラＡ（滑車）３４ケーブル（被測定面）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定面から放射される電磁界を検出す
る電磁界検出手段をプローブ本体に備えたプローブ装置
において、前記プローブ本体に、前記被測定面に当接して回転する
回転体と、この回転体の回転量に基づいて前記プローブ
本体の前記被測定面に対する移動量を検出する移動量検
出手段とを備えたことを特徴としたプローブ装置。
【請求項２】前記回転体は球体であって、前記移動量
検出手段は前記球体に当接して当該球体の回転量を検出
するものであることを特徴とした請求項１記載のプロー
ブ装置。
【請求項３】前記移動量検出手段は、径方向に複数の
スリット状無透過部が形成されると共に前記球体に当接
して設けられた透明円盤と、この透明円盤の一方の面と
他方の面に対応してそれぞれ一端が設けられると共に他
端が前記プローブ本体の外部に引き出された一対の光フ
ァイバと、この光ファイバを介して前記透明円盤の一方
の面に光を照射する発光素子と、前記透明円盤の他方の
面に透過した光を前記光ファイバを介して受光する受光
素子とを備えていることを特徴とした請求項２記載のプ
ローブ装置。
【請求項４】前記プローブ本体をパイプ状部材の一端
部に支持すると共に、このパイプ状部材の他端部に握り
部を設けたことを特徴とする請求項１，２又は３記載の
プローブ装置。
【請求項５】前記パイプ状部材が、変形自在なフレキ
シブルパイプであることを特徴とした請求項４記載のプ
ローブ装置。
【請求項６】前記パイプ状部材の内部に、前記プロー
ブ本体から引き出される配線を収納し、該配線を前記握
り部から外部装置に接続可能としたことを特徴とする請
求項４記載のプローブ装置。
【請求項７】前記電磁界検出手段がドーナツ状の高周
波カレントプローブであると共に、前記回転体が滑車で
あって、前記移動量検出手段が前記滑車の回転量を検出
するものであることを特徴とした請求項１記載のプロー
ブ装置。