JPH09304600A - 元素分析装置 - Google Patents
元素分析装置Info
- Publication number
- JPH09304600A JPH09304600A JP8123066A JP12306696A JPH09304600A JP H09304600 A JPH09304600 A JP H09304600A JP 8123066 A JP8123066 A JP 8123066A JP 12306696 A JP12306696 A JP 12306696A JP H09304600 A JPH09304600 A JP H09304600A
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- Japan
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- sample
- energy
- discretely
- electron beam
- electron beams
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子線のエネルギを変え、各元素が最も効率
的に分析できるエネルギで分析を行うことにある。 【解決手段】 試料に電子線を照射して試料からでてく
る特性Ｘ線を分光して元素分析を行う分析装置におい
て、電子線の加速電圧を離散的もしくは連続的に変える
ことにより電子線のエネルギを変える。
的に分析できるエネルギで分析を行うことにある。 【解決手段】 試料に電子線を照射して試料からでてく
る特性Ｘ線を分光して元素分析を行う分析装置におい
て、電子線の加速電圧を離散的もしくは連続的に変える
ことにより電子線のエネルギを変える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子線を照射して試
料からでてくる特性Ｘ線を分光して元素同定を行う分析
装置に関する。
料からでてくる特性Ｘ線を分光して元素同定を行う分析
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料の元素分析装置としては従来、日立
製作所社製Ｓ４１６０にkevexs社製Ｘ線マイクロアナラ
イザdeltaplusを組み込んだ装置がある。また日本電子
顕微鏡学会編“走査電子顕微鏡の基礎と応用”Ｐ４７３
〜Ｐ４７７に記述されている。即ちこれらの分析装置
は、試料に特定の加速電圧で加速した電子線を照射し試
料から出てくる特性Ｘ線を、半導体検出器で受け、電気
信号に変える。この電気信号のパルスを多チャンネルパ
ルス波高分光器に送り、パルス信号ごとに計数しスペク
トルとしてＣＲＴに表示する。
製作所社製Ｓ４１６０にkevexs社製Ｘ線マイクロアナラ
イザdeltaplusを組み込んだ装置がある。また日本電子
顕微鏡学会編“走査電子顕微鏡の基礎と応用”Ｐ４７３
〜Ｐ４７７に記述されている。即ちこれらの分析装置
は、試料に特定の加速電圧で加速した電子線を照射し試
料から出てくる特性Ｘ線を、半導体検出器で受け、電気
信号に変える。この電気信号のパルスを多チャンネルパ
ルス波高分光器に送り、パルス信号ごとに計数しスペク
トルとしてＣＲＴに表示する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来装置ではある
特定の電圧で電子線を加速して元素分析を行っている。
この時、５ｋｅＶの加速電圧で分析を行うと、Ｃ，Ｆの
ような軽元素はＫα線が０.３〜０.７ｋｅＶであるため
効率良く検出されるが、ＣｕやＦｅのような重元素はＫ
α線が６〜８ｋｅＶであるため検出不可であるという問
題がある。また１５ｋｅＶの加速電圧で分析を行うと、
ＣｕやＦｅのような重元素は効率良く検出されるが、
Ｃ、Ｆのような軽元素は相対強度が落ちるという問題が
ある。補足図に各元素におけるＸ線のエネルギと透過率
の関係を示す。これはkevex社製deltaplusを用いて行っ
たシミュレーション結果である。これよりＸ線のエネル
ギによって、即ち照射電子線の加速電圧によって透過率
が変化することがわかる。つまり各元素毎に最適な電子
線加速電圧が存在する。この問題のため従来は低加速電
圧で一度元素分析を行い軽元素を検出し、加速電圧を上
げ高加速にしたうえで再度元素分析を行い、重元素の検
出を行っていた。
特定の電圧で電子線を加速して元素分析を行っている。
この時、５ｋｅＶの加速電圧で分析を行うと、Ｃ，Ｆの
ような軽元素はＫα線が０.３〜０.７ｋｅＶであるため
効率良く検出されるが、ＣｕやＦｅのような重元素はＫ
α線が６〜８ｋｅＶであるため検出不可であるという問
題がある。また１５ｋｅＶの加速電圧で分析を行うと、
ＣｕやＦｅのような重元素は効率良く検出されるが、
Ｃ、Ｆのような軽元素は相対強度が落ちるという問題が
ある。補足図に各元素におけるＸ線のエネルギと透過率
の関係を示す。これはkevex社製deltaplusを用いて行っ
たシミュレーション結果である。これよりＸ線のエネル
ギによって、即ち照射電子線の加速電圧によって透過率
が変化することがわかる。つまり各元素毎に最適な電子
線加速電圧が存在する。この問題のため従来は低加速電
圧で一度元素分析を行い軽元素を検出し、加速電圧を上
げ高加速にしたうえで再度元素分析を行い、重元素の検
出を行っていた。
【０００４】本発明の目的は、離散的もしくは連続的に
加速電圧もしくは試料電位を変えることにより電子線の
エネルギを変え、各元素が最も効率的に分析できるエネ
ルギで分析を行うことにある。
加速電圧もしくは試料電位を変えることにより電子線の
エネルギを変え、各元素が最も効率的に分析できるエネ
ルギで分析を行うことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的は、散離的もし
くは連続的に加速電圧もしくは試料電位を変えることに
より電子線のエネルギを変えることにより達成される。
くは連続的に加速電圧もしくは試料電位を変えることに
より電子線のエネルギを変えることにより達成される。
【０００６】請求項１の元素分析装置では、電子線の加
速電圧を離散的もしくは連続的に変えることにより電子
線のエネルギを変えられるようになっている。そのため
軽元素から重元素まで最も効率的に分析できるエネルギ
で分析することができるようになる。
速電圧を離散的もしくは連続的に変えることにより電子
線のエネルギを変えられるようになっている。そのため
軽元素から重元素まで最も効率的に分析できるエネルギ
で分析することができるようになる。
【０００７】請求項２の元素分析装置では、試料電位を
離散的もしくは連続的に変えることにより電子線のエネ
ルギを変えられるようになっている。そのため軽元素か
ら重元素まで最も効率的に分析できるエネルギで分析す
ることができるようになる。
離散的もしくは連続的に変えることにより電子線のエネ
ルギを変えられるようになっている。そのため軽元素か
ら重元素まで最も効率的に分析できるエネルギで分析す
ることができるようになる。
【０００８】請求項３の元素分析装置では、上記元素分
析装置の試料室の内側をＳｉで覆う。これにより高エネ
ルギの後方散乱電子が試料室内壁の金属部材（Ａｌな
ど）からＸ線を出させないようにする。
析装置の試料室の内側をＳｉで覆う。これにより高エネ
ルギの後方散乱電子が試料室内壁の金属部材（Ａｌな
ど）からＸ線を出させないようにする。
【０００９】
（実施例１）図１は本発明の元素分析装置構成図であ
る。チップ１から放射した電子線はチップ−アノード２
間の電圧（加速電圧）により加速される。加速された電
子線はコンデンサレンズ３で集束され、対物レンズ４で
焦点を合わされた後、試料室５内のステージ６上の試料
７に到達する。電子線があたることにより試料７の表面
から２次電子やＸ線が発生する。２次電子は２次電子検
出器８に入射し、増幅器９で増幅され映像信号となる。
この映像信号は電子線走査回路１０と同期をとられ、Ｃ
ＲＴ１１上に表示される。一方、試料から発生したＸ線
は半導体検出器１２に入射し、電気信号に変えられる。
この電気信号のパルスの高さは各元素固有のエネルギの
大きさに比例する。電気信号は増幅器１３で増幅された
後、多チャネルパルス波高分析器１４に送られ、パルス
信号の高さごとにわけて計数されることにより、試料の
元素を知ることができる。
る。チップ１から放射した電子線はチップ−アノード２
間の電圧（加速電圧）により加速される。加速された電
子線はコンデンサレンズ３で集束され、対物レンズ４で
焦点を合わされた後、試料室５内のステージ６上の試料
７に到達する。電子線があたることにより試料７の表面
から２次電子やＸ線が発生する。２次電子は２次電子検
出器８に入射し、増幅器９で増幅され映像信号となる。
この映像信号は電子線走査回路１０と同期をとられ、Ｃ
ＲＴ１１上に表示される。一方、試料から発生したＸ線
は半導体検出器１２に入射し、電気信号に変えられる。
この電気信号のパルスの高さは各元素固有のエネルギの
大きさに比例する。電気信号は増幅器１３で増幅された
後、多チャネルパルス波高分析器１４に送られ、パルス
信号の高さごとにわけて計数されることにより、試料の
元素を知ることができる。
【００１０】図２は請求項１の元素分析装置加速電圧回
路図である。チップ−アノード間にかける電圧を可変電
圧１５とし、これを離散的もしくは連続的に変えること
により、電子線のエネルギーを離散的もしくは連続的に
変化させることができる。
路図である。チップ−アノード間にかける電圧を可変電
圧１５とし、これを離散的もしくは連続的に変えること
により、電子線のエネルギーを離散的もしくは連続的に
変化させることができる。
【００１１】（実施例２）図３は請求項２の元素分析装
置試料電圧回路である。試料にかける電圧を可変電圧１
６とし、これを離散的もしくは連続的に変えることによ
り、電子線のエネルギーを離散的もしくは連続的に変化
させることができる。
置試料電圧回路である。試料にかける電圧を可変電圧１
６とし、これを離散的もしくは連続的に変えることによ
り、電子線のエネルギーを離散的もしくは連続的に変化
させることができる。
【００１２】また、図４は請求項３の元素分析装置図で
ある。試料室の内側をＳｉ１７で覆うことにより高エネ
ルギの後方散乱電子が試料室内壁の金属部材１８（Ａｌ
など）からＸ線を出させないようにする。
ある。試料室の内側をＳｉ１７で覆うことにより高エネ
ルギの後方散乱電子が試料室内壁の金属部材１８（Ａｌ
など）からＸ線を出させないようにする。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、各元素に適したエネル
ギで元素分析を行うことが可能となるため、軽元素、重
元素ともに分析可能となり装置性能が上がる。
ギで元素分析を行うことが可能となるため、軽元素、重
元素ともに分析可能となり装置性能が上がる。
【図面の簡単な説明】
【図１】元素分析装置の説明図。
【図２】請求項１の元素分析装置が加速電圧回路図。
【図３】請求項２の元素分析装置試料電圧回路図。
【図４】請求項３の元素分析装置のブロック図。
１…チップ、２…アノード、３…コンデサンレンズ、４
…対物レンズ、５…試料室、６…ステージ、７…試料。
…対物レンズ、５…試料室、６…ステージ、７…試料。
Claims (3)
- 【請求項１】試料に電子線を照射して試料からでてくる
特性Ｘ線を分光して元素分析を行う分析装置において、
電子線の加速電圧を離散的もしくは連続的に変えること
により電子線のエネルギを変えることを特徴とする元素
分析装置。 - 【請求項２】試料に電子線を照射した試料からでてくる
特性Ｘ線を分光して元素分析を行う分析装置において、
試料電位を離散的もしくは連続的に変えることにより電
子線のエネルギを変えることを特徴とする元素分析装
置。 - 【請求項３】請求項１または２において、試料室の内側
をＳｉで覆う元素分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8123066A JPH09304600A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | 元素分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8123066A JPH09304600A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | 元素分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304600A true JPH09304600A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14851358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8123066A Pending JPH09304600A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | 元素分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09304600A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013096954A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Jfe Steel Corp | 鋼中介在物の分析方法および分析装置 |
| JP2015090360A (ja) * | 2013-11-07 | 2015-05-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線応用装置及びそれを用いた欠陥分類方法 |
-
1996
- 1996-05-17 JP JP8123066A patent/JPH09304600A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013096954A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Jfe Steel Corp | 鋼中介在物の分析方法および分析装置 |
| JP2015090360A (ja) * | 2013-11-07 | 2015-05-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線応用装置及びそれを用いた欠陥分類方法 |
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