JPH09304918A - ペリクル貼付け装置及びペリクル貼付け方法 - Google Patents
ペリクル貼付け装置及びペリクル貼付け方法Info
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- JPH09304918A JPH09304918A JP14843996A JP14843996A JPH09304918A JP H09304918 A JPH09304918 A JP H09304918A JP 14843996 A JP14843996 A JP 14843996A JP 14843996 A JP14843996 A JP 14843996A JP H09304918 A JPH09304918 A JP H09304918A
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- H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
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- B32B38/16—Drying; Softening; Cleaning
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- H10P72/0611—Sorting devices
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- Y10T156/17—Surface bonding means and/or assemblymeans with work feeding or handling means
- Y10T156/1702—For plural parts or plural areas of single part
- Y10T156/1744—Means bringing discrete articles into assembled relationship
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ペリクル貼付け装置において、各装置間におけ
るマスクの移動が人手で行われていたため、歩留りが低
下する問題があつた。 【解決手段】マスクを洗浄手段によつて洗浄した後、該
マスクを第１のマスク搬送手段によつて第１の検査手段
に搬送する。第１の検査手段によつてマスクに異物が付
着しているか否かを検査し、異物が付着していないと判
定したマスクを第２のマスク搬送手段によつてペリクル
貼付け手段に搬送した後、ペリクル貼付け手段によつて
マスクにペリクルを貼り付ける。これにより、洗浄手段
から第１の検査手段にマスクを移動する際に該マスクに
異物が付着することを防止し得ると共に、第１の検査手
段からペリクル貼付け手段にマスクを移動する際に該マ
スクに異物が付着することを防止し得る。かくして一段
と歩留りを向上し得るペリクル貼付け装置及びペリクル
貼付け方法を実現することができる。
るマスクの移動が人手で行われていたため、歩留りが低
下する問題があつた。 【解決手段】マスクを洗浄手段によつて洗浄した後、該
マスクを第１のマスク搬送手段によつて第１の検査手段
に搬送する。第１の検査手段によつてマスクに異物が付
着しているか否かを検査し、異物が付着していないと判
定したマスクを第２のマスク搬送手段によつてペリクル
貼付け手段に搬送した後、ペリクル貼付け手段によつて
マスクにペリクルを貼り付ける。これにより、洗浄手段
から第１の検査手段にマスクを移動する際に該マスクに
異物が付着することを防止し得ると共に、第１の検査手
段からペリクル貼付け手段にマスクを移動する際に該マ
スクに異物が付着することを防止し得る。かくして一段
と歩留りを向上し得るペリクル貼付け装置及びペリクル
貼付け方法を実現することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はペリクル貼付け装置
及びペリクル貼付け方法に関し、特にマスク（レチク
ル）にペリクルを貼り付けるペリクル貼付け装置及びペ
リクル貼付け方法に適用して好適なものである。
及びペリクル貼付け方法に関し、特にマスク（レチク
ル）にペリクルを貼り付けるペリクル貼付け装置及びペ
リクル貼付け方法に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体素子の製造工程において
は、集積回路（ＩＣ）の微細化及び高密度化が一段と進
展しており、これに伴つて異物（微小な塵や埃等）が付
着するのを防止することが益々重要となつている。この
ため今日では、集積回路の製造工程の１つであるフオト
リソグラフイ工程においては、マスクに形成された回路
パターンを露光装置を用いて被露光基板上に転写する際
にマスクに異物が付着するのを未然に防止するため、ペ
リクルと呼ばれる光透過性でなる薄膜（異物付着防止
膜）で覆われたマスク（以下、これをペリクル付きマス
クと呼ぶ）が多く用いられている。
は、集積回路（ＩＣ）の微細化及び高密度化が一段と進
展しており、これに伴つて異物（微小な塵や埃等）が付
着するのを防止することが益々重要となつている。この
ため今日では、集積回路の製造工程の１つであるフオト
リソグラフイ工程においては、マスクに形成された回路
パターンを露光装置を用いて被露光基板上に転写する際
にマスクに異物が付着するのを未然に防止するため、ペ
リクルと呼ばれる光透過性でなる薄膜（異物付着防止
膜）で覆われたマスク（以下、これをペリクル付きマス
クと呼ぶ）が多く用いられている。
【０００３】これは、ペリクルを支持枠（ペリクルフレ
ーム）に張設し、ペリクルフレームとマスクとを接着固
定して、マスクの表面を被覆するようにペリクルフレー
ムをマスクに装着することにより、マスクに直接異物が
付着することを未然に防止し得るようになされている。
この場合、マスクに異物が付着していなくてもペリクル
に異物が付着していると、異物がマスクに落下してマス
クの回路パターン面に異物が付着し、この結果異物の像
が被露光基板に転写されて不良品が発生するため歩留り
が低下する。従つてマスク及びペリクルに異物が付着し
ていないことが重要となる。
ーム）に張設し、ペリクルフレームとマスクとを接着固
定して、マスクの表面を被覆するようにペリクルフレー
ムをマスクに装着することにより、マスクに直接異物が
付着することを未然に防止し得るようになされている。
この場合、マスクに異物が付着していなくてもペリクル
に異物が付着していると、異物がマスクに落下してマス
クの回路パターン面に異物が付着し、この結果異物の像
が被露光基板に転写されて不良品が発生するため歩留り
が低下する。従つてマスク及びペリクルに異物が付着し
ていないことが重要となる。
【０００４】ここで従来のペリクル貼付け装置における
ペリクル貼付け工程の手順を図５に示す。まずペリクル
貼付け装置はマスク洗浄部におけるマスク洗浄工程１に
おいてマスクを洗浄した後、第１のマスク検査部におけ
る第１のマスク検査工程２において、マスクに塵や埃等
の光を透過させない 0.5〔μｍ〕以上の異物（以下、こ
れを第１の異物と呼ぶ）がマスクに付着しているか否か
を検査し、この第１の異物が付着している場合には、マ
スク洗浄部におけるマスク洗浄工程１において再度マス
クを洗浄する。
ペリクル貼付け工程の手順を図５に示す。まずペリクル
貼付け装置はマスク洗浄部におけるマスク洗浄工程１に
おいてマスクを洗浄した後、第１のマスク検査部におけ
る第１のマスク検査工程２において、マスクに塵や埃等
の光を透過させない 0.5〔μｍ〕以上の異物（以下、こ
れを第１の異物と呼ぶ）がマスクに付着しているか否か
を検査し、この第１の異物が付着している場合には、マ
スク洗浄部におけるマスク洗浄工程１において再度マス
クを洗浄する。
【０００５】ペリクル貼付け装置は、第１の検査部にお
ける第１の検査工程２においてマスクに第１の異物が付
着していない場合には、ペリクル貼付け部におけるペリ
クル貼付け工程３においてマスクにペリクルを貼り付け
る。ここでペリクルについては、予め作業者による目視
検査によつて異物が付着しているか否かが検査されてい
る。次にペリクル貼付け装置は、第１の検査部における
第２の検査工程４において、ペリクル付きマスクに第１
の異物が付着しているか否かを検査し、ペリクル付きマ
スクに第１の異物が付着していない場合には、所定のマ
スク専用ケースに格納する。
ける第１の検査工程２においてマスクに第１の異物が付
着していない場合には、ペリクル貼付け部におけるペリ
クル貼付け工程３においてマスクにペリクルを貼り付け
る。ここでペリクルについては、予め作業者による目視
検査によつて異物が付着しているか否かが検査されてい
る。次にペリクル貼付け装置は、第１の検査部における
第２の検査工程４において、ペリクル付きマスクに第１
の異物が付着しているか否かを検査し、ペリクル付きマ
スクに第１の異物が付着していない場合には、所定のマ
スク専用ケースに格納する。
【０００６】ここでペリクル付きマスクに第１の異物が
付着している場合には、マスク洗浄工程１から第２のマ
スク検査工程４までの処理工程が繰り返される。また第
１の検査部における第１の検査工程と、第１の検査部に
おける第２の検査工程とでは同じ検査が行われているの
で、実際上は第２の検査工程は第１の検査部で行われて
いる。
付着している場合には、マスク洗浄工程１から第２のマ
スク検査工程４までの処理工程が繰り返される。また第
１の検査部における第１の検査工程と、第１の検査部に
おける第２の検査工程とでは同じ検査が行われているの
で、実際上は第２の検査工程は第１の検査部で行われて
いる。
【０００７】ところでこのペリクル貼付け装置は、マス
ク洗浄部、第１の検査部及びペリクル貼付け部によつて
構成されており、それぞれの処理部は独立している。こ
のためこのペリクル貼付け装置においては、マスク洗浄
部（マスク洗浄工程）から第１の検査部（第１の検査工
程）へのマスクの移動、第１の検査部からペリクル貼付
け部（ペリクル貼付け工程）へのマスクの移動、ペリク
ル貼付け部から第１の検査部（第２の検査工程）へのペ
リクル付きマスクの移動、第１の検査部からマスク洗浄
部へのマスクの移動及び第１のマスク検査部からマスク
洗浄部へのペリクル付きマスクの移動は、それぞれ作業
者がマスク専用ケースにマスク又はペリクル付きマスク
を収納して次の処理部又は前の処理部まで運ぶようにな
されている。
ク洗浄部、第１の検査部及びペリクル貼付け部によつて
構成されており、それぞれの処理部は独立している。こ
のためこのペリクル貼付け装置においては、マスク洗浄
部（マスク洗浄工程）から第１の検査部（第１の検査工
程）へのマスクの移動、第１の検査部からペリクル貼付
け部（ペリクル貼付け工程）へのマスクの移動、ペリク
ル貼付け部から第１の検査部（第２の検査工程）へのペ
リクル付きマスクの移動、第１の検査部からマスク洗浄
部へのマスクの移動及び第１のマスク検査部からマスク
洗浄部へのペリクル付きマスクの移動は、それぞれ作業
者がマスク専用ケースにマスク又はペリクル付きマスク
を収納して次の処理部又は前の処理部まで運ぶようにな
されている。
【０００８】ところがこのように作業者がマスク又はペ
リクル付きマスクを次の処理工程及び前の処理工程に移
動させているため、作業者がマスク又はペリクル付きマ
スクをマスク専用ケースに収納して運ぶとはいえ、マス
ク又はペリクル付きマスクに異物が付着する可能性が高
くなる。従つてペリクル貼付け装置における清浄度を一
定のレベルに管理することが困難であつた。
リクル付きマスクを次の処理工程及び前の処理工程に移
動させているため、作業者がマスク又はペリクル付きマ
スクをマスク専用ケースに収納して運ぶとはいえ、マス
ク又はペリクル付きマスクに異物が付着する可能性が高
くなる。従つてペリクル貼付け装置における清浄度を一
定のレベルに管理することが困難であつた。
【０００９】このような問題を解決する１つの方法とし
て、第１の検査部とペリクル貼付け部との間におけるマ
スクの移動及びペリクル貼付け部と第１の検査部との間
におけるペリクル付きマスクの移動をマスク搬送装置に
よつて自動的に行うようにしたペリクル貼付け装置が提
案されている。このペリクル貼付け装置では、マスク洗
浄部と第１の検査部との間におけるマスクの移動を除い
てマスクの移動をマスク搬送装置によつて行つているた
め、マスク又はペリクル付きマスクに異物が付着する可
能性が大幅に低減される。
て、第１の検査部とペリクル貼付け部との間におけるマ
スクの移動及びペリクル貼付け部と第１の検査部との間
におけるペリクル付きマスクの移動をマスク搬送装置に
よつて自動的に行うようにしたペリクル貼付け装置が提
案されている。このペリクル貼付け装置では、マスク洗
浄部と第１の検査部との間におけるマスクの移動を除い
てマスクの移動をマスク搬送装置によつて行つているた
め、マスク又はペリクル付きマスクに異物が付着する可
能性が大幅に低減される。
【００１０】ところでマスク及びペリクルに付着してい
る異物が製品の歩留り向上の妨げ対象となるのは、上述
のように光を透過しない 0.5〔μｍ〕以上でなる塊状の
異物であつたため、上述のペリクル貼付け装置の第１の
検査部における第１及び第２の検査工程においては、こ
のような第１の異物がマスク及びペリクル付きマスクに
付着しているかを検査することにあつた。
る異物が製品の歩留り向上の妨げ対象となるのは、上述
のように光を透過しない 0.5〔μｍ〕以上でなる塊状の
異物であつたため、上述のペリクル貼付け装置の第１の
検査部における第１及び第２の検査工程においては、こ
のような第１の異物がマスク及びペリクル付きマスクに
付着しているかを検査することにあつた。
【００１１】ところが上述のように昨今、集積回路の微
細化が急速に進展しているため、従来ではほとんど問題
とならなかつたような異物、例えばマスク洗浄工程１に
おいてマスクに付着した洗浄液や油等の光の一部を透過
させる半透明状の平坦な異物（以下、これを第２の異物
と呼ぶ）がマスク及びペリクル付きマスクに付着してい
る場合でも、製品の歩留りが低下する原因になつてきて
いる。またペリクルについても従来のように作業者によ
る目視検査では上述のような第２の異物に対して対処し
得なくなつてきているので、ペリクルに異物が付着して
いるか否かを所定の検査装置を用いて自動的に行う必要
性が急速に高まつている。
細化が急速に進展しているため、従来ではほとんど問題
とならなかつたような異物、例えばマスク洗浄工程１に
おいてマスクに付着した洗浄液や油等の光の一部を透過
させる半透明状の平坦な異物（以下、これを第２の異物
と呼ぶ）がマスク及びペリクル付きマスクに付着してい
る場合でも、製品の歩留りが低下する原因になつてきて
いる。またペリクルについても従来のように作業者によ
る目視検査では上述のような第２の異物に対して対処し
得なくなつてきているので、ペリクルに異物が付着して
いるか否かを所定の検査装置を用いて自動的に行う必要
性が急速に高まつている。
【００１２】そこで最近、マスクにペリクルを貼り付け
る前及びマスクにペリクルを貼り付けた後に、それぞれ
第１の異物がマスクに付着しているか否かを検査する第
１の検査工程と、第２の異物がペリクル付きマスクに付
着しているか否かを検査する第２の検査工程とを行うと
共に、ペリクルに対する異物検査を所定の検査装置を用
いて行うようになされたペリクル貼付け装置が提案され
ている。
る前及びマスクにペリクルを貼り付けた後に、それぞれ
第１の異物がマスクに付着しているか否かを検査する第
１の検査工程と、第２の異物がペリクル付きマスクに付
着しているか否かを検査する第２の検査工程とを行うと
共に、ペリクルに対する異物検査を所定の検査装置を用
いて行うようになされたペリクル貼付け装置が提案され
ている。
【００１３】このペリクル貼付け装置におけるペリクル
貼付け工程の手順を図６に示す。このペリクル貼付け装
置は、まずマスク洗浄部におけるマスク洗浄工程１０に
おいてマスクを洗浄した後、第１のマスク検査部におけ
る第１のマスク検査工程１１において第１の異物がマス
クに付着しているか否かを検査し、第１の異物が付着し
ている場合には、マスク洗浄部におけるマスク洗浄工程
１０において再度マスクを洗浄し、マスクに第１の異物
が付着していない場合には第２の検査部における第２の
検査工程１２に進む。
貼付け工程の手順を図６に示す。このペリクル貼付け装
置は、まずマスク洗浄部におけるマスク洗浄工程１０に
おいてマスクを洗浄した後、第１のマスク検査部におけ
る第１のマスク検査工程１１において第１の異物がマス
クに付着しているか否かを検査し、第１の異物が付着し
ている場合には、マスク洗浄部におけるマスク洗浄工程
１０において再度マスクを洗浄し、マスクに第１の異物
が付着していない場合には第２の検査部における第２の
検査工程１２に進む。
【００１４】ペリクル貼付け装置は、第２の検査部にお
ける第２の検査工程１２において、マスクに第２の異物
が付着しているか否かを検査し、第２の異物が付着して
いる場合には、マスク洗浄部におけるマスク洗浄工程１
０と第１の検査部における第１の検査工程１１とを再度
繰り返す。ペリクル貼付け装置は、マスクに第２の異物
が付着していない場合には、ペリクル貼付け部における
ペリクル貼付け工程１３においてマスクにペリクルを貼
り付ける。
ける第２の検査工程１２において、マスクに第２の異物
が付着しているか否かを検査し、第２の異物が付着して
いる場合には、マスク洗浄部におけるマスク洗浄工程１
０と第１の検査部における第１の検査工程１１とを再度
繰り返す。ペリクル貼付け装置は、マスクに第２の異物
が付着していない場合には、ペリクル貼付け部における
ペリクル貼付け工程１３においてマスクにペリクルを貼
り付ける。
【００１５】ここでペリクルについての異物検査につい
ては、ペリクル検査部におけるペリクル検査工程１４に
おいて所定の検査装置を用いて行われ、異物が付着して
いないと判断されたペリクルがペリクル貼付け部に運ば
れる。続いてペリクル貼付け装置は、第１の検査部にお
ける第３の検査工程１５において、ペリクル付きマスク
に第１の異物が付着しているか否かを検査する。次にペ
リクル貼付け装置は、第２の検査部における第４の検査
工程１６において、ペリクル付きマスクに第２の異物が
付着しているか否かを検査する。
ては、ペリクル検査部におけるペリクル検査工程１４に
おいて所定の検査装置を用いて行われ、異物が付着して
いないと判断されたペリクルがペリクル貼付け部に運ば
れる。続いてペリクル貼付け装置は、第１の検査部にお
ける第３の検査工程１５において、ペリクル付きマスク
に第１の異物が付着しているか否かを検査する。次にペ
リクル貼付け装置は、第２の検査部における第４の検査
工程１６において、ペリクル付きマスクに第２の異物が
付着しているか否かを検査する。
【００１６】ここで第１の検査部における第１の検査工
程１１と、第１の検査部における第３の検査工程１３と
は同じ検査を行つていると共に、第２の検査部における
第２の検査工程１２と第２の検査部における第４の検査
工程１６とは同じ検査を行つており、実際上は第３の検
査工程及び第４の検査工程はそれぞれ第１の検査部及び
第２の検査部で行われる。
程１１と、第１の検査部における第３の検査工程１３と
は同じ検査を行つていると共に、第２の検査部における
第２の検査工程１２と第２の検査部における第４の検査
工程１６とは同じ検査を行つており、実際上は第３の検
査工程及び第４の検査工程はそれぞれ第１の検査部及び
第２の検査部で行われる。
【００１７】またこの種のペリクル貼付け装置の各処理
部においては、各処理部において処理されたマスクは図
７に示すようなマスク収納ケース１７の元の場所に格納
されるようになされている。実際上、例えば作業者はマ
スク洗浄部において洗浄が終了したマスクを収納するケ
ース１７を手に持つて次の処理工程である第１の検査部
まで運んでいる。この場合、各処理部においてマスクを
供給するためのマスク収納ケースと、処理されたマスク
を収納するマスク収納ケースとの２つのマスク収納ケー
スを用いる場合もある。
部においては、各処理部において処理されたマスクは図
７に示すようなマスク収納ケース１７の元の場所に格納
されるようになされている。実際上、例えば作業者はマ
スク洗浄部において洗浄が終了したマスクを収納するケ
ース１７を手に持つて次の処理工程である第１の検査部
まで運んでいる。この場合、各処理部においてマスクを
供給するためのマスク収納ケースと、処理されたマスク
を収納するマスク収納ケースとの２つのマスク収納ケー
スを用いる場合もある。
【００１８】また例えば第１の検査部における第１の検
査工程１１において、第１の異物が付着していると判断
されたマスクは第１の異物が付着していないと判断され
たマスクと一緒にマスク収納ケース１７の元の場所に収
納されるが、作業者がこのマスクを選別して別のマスク
収納ケースに収納してマスク洗浄部まで運ぶようになさ
れている。
査工程１１において、第１の異物が付着していると判断
されたマスクは第１の異物が付着していないと判断され
たマスクと一緒にマスク収納ケース１７の元の場所に収
納されるが、作業者がこのマスクを選別して別のマスク
収納ケースに収納してマスク洗浄部まで運ぶようになさ
れている。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】ところでこの種のペリ
クル貼付け装置では、第１の検査部から第２の検査部及
び第２の検査部からペリクル貼付け部までのマスクの移
動は所定の搬送装置を用いて人手を介さずに自動的に移
動されるが、これ以外の処理部間におけるマスク又はペ
リクル付きマスクの移動と、ペリクル検査部からペリク
ル貼付け部までのペリクルの移動は、人手を介して行わ
れている。
クル貼付け装置では、第１の検査部から第２の検査部及
び第２の検査部からペリクル貼付け部までのマスクの移
動は所定の搬送装置を用いて人手を介さずに自動的に移
動されるが、これ以外の処理部間におけるマスク又はペ
リクル付きマスクの移動と、ペリクル検査部からペリク
ル貼付け部までのペリクルの移動は、人手を介して行わ
れている。
【００２０】ところがこのペリクル貼付け装置では、第
２の検査工程及び第４の検査工程分だけ上述のペリクル
貼付け装置に比して処理工程が多くなつたため、その分
マスク及びペリクル付きマスクの移動回数も増加する。
従つてマスク及びペリクル付きマスクの移動回数が増加
した分だけ、マスク及びペリクル付きマスクに異物が付
着する可能性が一段と増大し、この結果ペリクル貼付け
装置における清浄度の管理が一段と困難となり、ペリク
ル付きマスクの歩留りが大幅に低下する問題があつた。
２の検査工程及び第４の検査工程分だけ上述のペリクル
貼付け装置に比して処理工程が多くなつたため、その分
マスク及びペリクル付きマスクの移動回数も増加する。
従つてマスク及びペリクル付きマスクの移動回数が増加
した分だけ、マスク及びペリクル付きマスクに異物が付
着する可能性が一段と増大し、この結果ペリクル貼付け
装置における清浄度の管理が一段と困難となり、ペリク
ル付きマスクの歩留りが大幅に低下する問題があつた。
【００２１】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、歩留りを一段と向上し得るペリクル貼付け装置及び
ペリクル貼付け方法を提案しようとするのもである。
で、歩留りを一段と向上し得るペリクル貼付け装置及び
ペリクル貼付け方法を提案しようとするのもである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、所定の回路パターンが形成された
マスクにペリクルを貼り付けるペリクル貼付け装置（２
０、４０）において、マスクを洗浄する洗浄手段（２
２）と、洗浄手段（２２）によつて洗浄されたマスクを
搬送する第１のマスク搬送手段（３０、３０Ａ）と、第
１のマスク搬送手段（３０、３０Ａ）によつて搬送され
るマスクに異物が付着しているか否かを検査する第１の
検査手段（２３、２４）と、第１の検査手段（２３、２
４）において異物が付着していないと判定されたマスク
を搬送する第２のマスク搬送手段（３２）と、第２のマ
スク搬送手段（３２）によつて搬送されるマスクにペリ
クルを貼り付けるペリクル貼付け手段（２５）とを設け
る。
め本発明においては、所定の回路パターンが形成された
マスクにペリクルを貼り付けるペリクル貼付け装置（２
０、４０）において、マスクを洗浄する洗浄手段（２
２）と、洗浄手段（２２）によつて洗浄されたマスクを
搬送する第１のマスク搬送手段（３０、３０Ａ）と、第
１のマスク搬送手段（３０、３０Ａ）によつて搬送され
るマスクに異物が付着しているか否かを検査する第１の
検査手段（２３、２４）と、第１の検査手段（２３、２
４）において異物が付着していないと判定されたマスク
を搬送する第２のマスク搬送手段（３２）と、第２のマ
スク搬送手段（３２）によつて搬送されるマスクにペリ
クルを貼り付けるペリクル貼付け手段（２５）とを設け
る。
【００２３】また本発明においては、所定の回路パター
ンが形成されたマスクにペリクルを貼り付けるペリクル
貼付け方法において、マスクを洗浄手段（２２）によつ
て洗浄する洗浄工程と、洗浄手段（２２）によつて洗浄
されたマスクを第１のマスク搬送手段（３０、３０Ａ）
によつて第１の検査手段（２３、２４）に搬送する第１
のマスク搬送工程と、第１のマスク搬送手段（３０、３
０Ａ）によつて搬送されるマスクに異物が付着している
か否かを第１の検査手段（２３、２４）によつて検査す
る第１の検査工程と、第１の検査手段（２３、２４）に
よつて検査されたマスクを第２のマスク搬送手段（３
２）によつてペリクル貼付け手段（２５、２６、２７）
に搬送する第２のマスク搬送工程と、第２のマスク搬送
手段（３２）によつて搬送されるマスクにペリクル貼付
け手段（２５、２６、２７）によつてペリクルを貼り付
けるペリクル貼付け工程とを設ける。
ンが形成されたマスクにペリクルを貼り付けるペリクル
貼付け方法において、マスクを洗浄手段（２２）によつ
て洗浄する洗浄工程と、洗浄手段（２２）によつて洗浄
されたマスクを第１のマスク搬送手段（３０、３０Ａ）
によつて第１の検査手段（２３、２４）に搬送する第１
のマスク搬送工程と、第１のマスク搬送手段（３０、３
０Ａ）によつて搬送されるマスクに異物が付着している
か否かを第１の検査手段（２３、２４）によつて検査す
る第１の検査工程と、第１の検査手段（２３、２４）に
よつて検査されたマスクを第２のマスク搬送手段（３
２）によつてペリクル貼付け手段（２５、２６、２７）
に搬送する第２のマスク搬送工程と、第２のマスク搬送
手段（３２）によつて搬送されるマスクにペリクル貼付
け手段（２５、２６、２７）によつてペリクルを貼り付
けるペリクル貼付け工程とを設ける。
【００２４】洗浄手段（２２）から第１の検査手段（２
３、２４）へのマスクの移動と、第１の検査手段（２
３、２４）からペリクル貼付け手段（２５、２６、２
７）へのマスクの移動は人手を介さずに行われるので、
洗浄手段（２２）から第１の検査手段（２３、２４）に
マスクを移動する際に該マスクに異物が付着することを
確実に防止することができると共に、第１の検査手段
（２３、２４）からペリクル貼付け手段（２５、２６、
２７）にマスクを移動する際に該マスクに異物が付着す
ることを確実に防止することができる。
３、２４）へのマスクの移動と、第１の検査手段（２
３、２４）からペリクル貼付け手段（２５、２６、２
７）へのマスクの移動は人手を介さずに行われるので、
洗浄手段（２２）から第１の検査手段（２３、２４）に
マスクを移動する際に該マスクに異物が付着することを
確実に防止することができると共に、第１の検査手段
（２３、２４）からペリクル貼付け手段（２５、２６、
２７）にマスクを移動する際に該マスクに異物が付着す
ることを確実に防止することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。
施例を詳述する。
【００２６】図１及び図２に本発明の実施例によるペリ
クル貼付け装置２０を示す。ペリクル貼付け装置２０
は、ホストコンピユータ２１、マスク洗浄装置２２、第
１のマスク検査装置２３、第２のマスク検査装置２４、
貼付け装置２５、ペリクル収納装置２６、ペリクル検査
装置２７、第１のペリクル付きマスク検査装置２８及び
第２のペリクル付きマスク検査装置２９によつて構成さ
れており、装置間におけるマスクの移動、ペリクルの移
動及びペリクル付きマスクの移動を自動搬送装置によつ
て行うようになされている。
クル貼付け装置２０を示す。ペリクル貼付け装置２０
は、ホストコンピユータ２１、マスク洗浄装置２２、第
１のマスク検査装置２３、第２のマスク検査装置２４、
貼付け装置２５、ペリクル収納装置２６、ペリクル検査
装置２７、第１のペリクル付きマスク検査装置２８及び
第２のペリクル付きマスク検査装置２９によつて構成さ
れており、装置間におけるマスクの移動、ペリクルの移
動及びペリクル付きマスクの移動を自動搬送装置によつ
て行うようになされている。
【００２７】ホストコンピユータ２１はペリクル貼付け
装置２０全体を制御しており、オペレータの入力モード
に応じた制御信号を送出することにより、マスク洗浄装
置２２、第１のマスク検査装置２３、第２のマスク検査
装置２４、貼付け装置２５、ペリクル収納装置２６、ペ
リクル検査装置２７、第１のペリクル付きマスク検査装
置２８及び第２のペリクル付きマスク検査装置２９をそ
れぞれ制御する。またホストコンピユータ２１はマスク
洗浄装置２２、第１のマスク検査装置２３、第２のマス
ク検査装置２４、貼付け装置２５、ペリクル収納装置２
６、ペリクル検査装置２７、第１のペリクル付きマスク
検査装置２８及び第２のペリクル付きマスク検査装置２
９において現在どのマスクが処理されているかを認識し
得るようになされている。
装置２０全体を制御しており、オペレータの入力モード
に応じた制御信号を送出することにより、マスク洗浄装
置２２、第１のマスク検査装置２３、第２のマスク検査
装置２４、貼付け装置２５、ペリクル収納装置２６、ペ
リクル検査装置２７、第１のペリクル付きマスク検査装
置２８及び第２のペリクル付きマスク検査装置２９をそ
れぞれ制御する。またホストコンピユータ２１はマスク
洗浄装置２２、第１のマスク検査装置２３、第２のマス
ク検査装置２４、貼付け装置２５、ペリクル収納装置２
６、ペリクル検査装置２７、第１のペリクル付きマスク
検査装置２８及び第２のペリクル付きマスク検査装置２
９において現在どのマスクが処理されているかを認識し
得るようになされている。
【００２８】すなわち各マスクには予め識別番号が付さ
れており、ホストコンピユータ２１は各装置から送出さ
れるこれら識別番号に応じた信号に基づいて、各装置に
おいて現在どのマスクが処理されているかを認識する。
またホストコンピユータ２１は第１のマスク検査装置２
３及び第２のマスク検査装置２４において検査不合格と
なつたマスク（以下、これを検査不合格マスクと呼ぶ）
についての情報に応じた信号を第１のマスク検査装置２
３及び第２のマスク検査装置２４から受け、この信号に
基づいて検査不合格マスクを認識するようになされてい
る。
れており、ホストコンピユータ２１は各装置から送出さ
れるこれら識別番号に応じた信号に基づいて、各装置に
おいて現在どのマスクが処理されているかを認識する。
またホストコンピユータ２１は第１のマスク検査装置２
３及び第２のマスク検査装置２４において検査不合格と
なつたマスク（以下、これを検査不合格マスクと呼ぶ）
についての情報に応じた信号を第１のマスク検査装置２
３及び第２のマスク検査装置２４から受け、この信号に
基づいて検査不合格マスクを認識するようになされてい
る。
【００２９】マスク洗浄装置２２は、マスク収納部２２
Ａ、マスク洗浄部２２Ｂ、洗浄済マスク排出部２２Ｃ、
割込みマスク収納部２２Ｄ、洗浄済割込みマスク排出部
２２Ｅ及びマスク搬送装置２２Ｆが所定の清浄度に維持
された１つのクリーンルーム内に設置されて構成されて
いる。このマスク洗浄装置２２は、マスク収納部２２Ａ
に収納されているマスクをマスク搬送装置２２Ｆによつ
てマスク洗浄部２２Ｂに搬送し、該マスク洗浄部２２Ｂ
においてマスクを洗浄する。このマスク洗浄部２２Ｂに
おける洗浄条件は、オペレータがホストコンピユータ２
１によつて任意に選定し得るようになされており、マス
ク洗浄部２２Ｂはこれら洗浄条件に応じた複数の洗浄部
を有している。
Ａ、マスク洗浄部２２Ｂ、洗浄済マスク排出部２２Ｃ、
割込みマスク収納部２２Ｄ、洗浄済割込みマスク排出部
２２Ｅ及びマスク搬送装置２２Ｆが所定の清浄度に維持
された１つのクリーンルーム内に設置されて構成されて
いる。このマスク洗浄装置２２は、マスク収納部２２Ａ
に収納されているマスクをマスク搬送装置２２Ｆによつ
てマスク洗浄部２２Ｂに搬送し、該マスク洗浄部２２Ｂ
においてマスクを洗浄する。このマスク洗浄部２２Ｂに
おける洗浄条件は、オペレータがホストコンピユータ２
１によつて任意に選定し得るようになされており、マス
ク洗浄部２２Ｂはこれら洗浄条件に応じた複数の洗浄部
を有している。
【００３０】マスク洗浄装置２２は、マスク洗浄部２２
Ｂにおいて洗浄された洗浄済マスクをマスク搬送装置２
２Ｆによつて洗浄済マスク排出部２２Ｃに搬送して収納
する。この洗浄済マスク排出部２２Ｃは所定の清浄度に
維持された密閉路でなる搬送路３０を介して第１のマス
ク検査装置２３のマスク収納部２３Ａに接続されてい
る。この搬送路３０にはマスク搬送装置３０Ａが設けら
れており、該マスク搬送装置３０Ａは搬送路３０を介し
て洗浄済マスク排出部２２Ｃに収納されている洗浄済マ
スクをマスク収納部２３Ａに搬送する。
Ｂにおいて洗浄された洗浄済マスクをマスク搬送装置２
２Ｆによつて洗浄済マスク排出部２２Ｃに搬送して収納
する。この洗浄済マスク排出部２２Ｃは所定の清浄度に
維持された密閉路でなる搬送路３０を介して第１のマス
ク検査装置２３のマスク収納部２３Ａに接続されてい
る。この搬送路３０にはマスク搬送装置３０Ａが設けら
れており、該マスク搬送装置３０Ａは搬送路３０を介し
て洗浄済マスク排出部２２Ｃに収納されている洗浄済マ
スクをマスク収納部２３Ａに搬送する。
【００３１】割込みマスク収納部２２Ｄは所定の清浄度
に維持された密閉路でなる搬送路３１を介して第１のマ
スク検査装置２３及び第２のマスク検査装置２４に接続
されている。この割込みマスク収納部２２Ｄには、第１
のマスク検査装置２３及び第２のマスク検査装置２４に
おいてそれぞれ第１の異物及び第２の異物が付着してい
ると判定されて検査不合格となつたマスク（以下、これ
を検査不合格マスクと呼ぶ）がマスク搬送装置３１Ａに
よつて搬送されて収納される。またこの割込みマスク収
納部２２Ｄには、マスク洗浄装置２２における洗浄処理
だけが行われるマスク（以下、これを洗浄割込みマスク
と呼ぶ）が収納される。洗浄済割込みマスク排出部２２
Ｅにはマスク洗浄部２２Ｂにおいて洗浄された洗浄割込
みマスク（以下、これを洗浄済割込みマスクと呼ぶ）が
収納される。
に維持された密閉路でなる搬送路３１を介して第１のマ
スク検査装置２３及び第２のマスク検査装置２４に接続
されている。この割込みマスク収納部２２Ｄには、第１
のマスク検査装置２３及び第２のマスク検査装置２４に
おいてそれぞれ第１の異物及び第２の異物が付着してい
ると判定されて検査不合格となつたマスク（以下、これ
を検査不合格マスクと呼ぶ）がマスク搬送装置３１Ａに
よつて搬送されて収納される。またこの割込みマスク収
納部２２Ｄには、マスク洗浄装置２２における洗浄処理
だけが行われるマスク（以下、これを洗浄割込みマスク
と呼ぶ）が収納される。洗浄済割込みマスク排出部２２
Ｅにはマスク洗浄部２２Ｂにおいて洗浄された洗浄割込
みマスク（以下、これを洗浄済割込みマスクと呼ぶ）が
収納される。
【００３２】第１のマスク検査装置２３は、マスク収納
部２３Ａ、マスク検査部２３Ｂ、検査不合格マスク排出
部２３Ｃ及び割込みマスク収納部２３Ｄが所定の清浄度
に維持された１つのクリーンルーム内に設置されて構成
されている。またこの第１のマスク検査装置２３には、
第１のマスク検査装置２３から第２のマスク検査装置２
４を介して貼付け装置２５まで移動し得るようになされ
たマスク搬送装置３２が設けられている。第１のマスク
検査装置２３は、マスク収納部２３に収納されたマスク
（洗浄済マスク）をマスク搬送装置３２によつてマスク
検査部２３Ｂに搬送し、該マスク検査部２３Ｂにおいて
マスクに第１の異物が付着しているか否かを検査する。
部２３Ａ、マスク検査部２３Ｂ、検査不合格マスク排出
部２３Ｃ及び割込みマスク収納部２３Ｄが所定の清浄度
に維持された１つのクリーンルーム内に設置されて構成
されている。またこの第１のマスク検査装置２３には、
第１のマスク検査装置２３から第２のマスク検査装置２
４を介して貼付け装置２５まで移動し得るようになされ
たマスク搬送装置３２が設けられている。第１のマスク
検査装置２３は、マスク収納部２３に収納されたマスク
（洗浄済マスク）をマスク搬送装置３２によつてマスク
検査部２３Ｂに搬送し、該マスク検査部２３Ｂにおいて
マスクに第１の異物が付着しているか否かを検査する。
【００３３】第１のマスク検査装置２３は、マスク検査
部２３Ｂにおいて、検査対象のマスクに第１の異物が付
着していると判定した場合には、該マスクを検査不合格
マスクとしてマスク搬送装置３２によつて検査不合格マ
スク排出部２３Ｃに搬送して収納する。また第１のマス
ク検査装置２３は、マスク検査部２３Ｂにおいて、検査
対象のマスクに第１の異物が付着していないと判定した
場合には、該マスクを検査合格マスクとしてマスク搬送
装置３２によつて第２のマスク検査装置２４に搬送す
る。割込みマスク収納部２３Ｄには、第１のマスク検査
装置２３及び又は第２のマスク検査装置２４における検
査処理だけが行われるマスク（以下、これを検査割込み
マスクと呼ぶ）が収納される。
部２３Ｂにおいて、検査対象のマスクに第１の異物が付
着していると判定した場合には、該マスクを検査不合格
マスクとしてマスク搬送装置３２によつて検査不合格マ
スク排出部２３Ｃに搬送して収納する。また第１のマス
ク検査装置２３は、マスク検査部２３Ｂにおいて、検査
対象のマスクに第１の異物が付着していないと判定した
場合には、該マスクを検査合格マスクとしてマスク搬送
装置３２によつて第２のマスク検査装置２４に搬送す
る。割込みマスク収納部２３Ｄには、第１のマスク検査
装置２３及び又は第２のマスク検査装置２４における検
査処理だけが行われるマスク（以下、これを検査割込み
マスクと呼ぶ）が収納される。
【００３４】第２のマスク検査装置２４は、マスク検査
部２４Ａ、検査不合格マスク排出部２４Ｂ及び検査済割
込みマスク排出部２４Ｃが所定の清浄度に維持された１
つのクリーンルーム内に設置されて構成されている。第
２のマスク検査装置２４は、第１のマスク検査装置２３
からマスク搬送装置３２によつて搬送される検査合格マ
スクをマスク検査部２４Ａに搬送し、マスク検査部２４
Ａにおいて該マスクに第２の異物が付着しているか否か
を判定する。第２のマスク検査装置２４は検査対象のマ
スクに第２の異物が付着していないと判断した場合、該
マスクを検査合格マスクとしてマスク搬送装置３２によ
つて貼付け装置２５のペリクル貼付部２５Ａに搬送す
る。
部２４Ａ、検査不合格マスク排出部２４Ｂ及び検査済割
込みマスク排出部２４Ｃが所定の清浄度に維持された１
つのクリーンルーム内に設置されて構成されている。第
２のマスク検査装置２４は、第１のマスク検査装置２３
からマスク搬送装置３２によつて搬送される検査合格マ
スクをマスク検査部２４Ａに搬送し、マスク検査部２４
Ａにおいて該マスクに第２の異物が付着しているか否か
を判定する。第２のマスク検査装置２４は検査対象のマ
スクに第２の異物が付着していないと判断した場合、該
マスクを検査合格マスクとしてマスク搬送装置３２によ
つて貼付け装置２５のペリクル貼付部２５Ａに搬送す
る。
【００３５】第２のマスク検査装置２４は、検査対象の
マスクに第２の異物が付着していると判定した場合に
は、該マスクを検査不合格マスクとして検査不合格マス
ク排出部２４Ｂに収納する。従つて第２のマスク検査装
置２４の検査不合格マスク排出部２４Ｂには第１のマス
ク検査装置２４における検査については合格したが、第
２のマスク検査装置２４における検査については不合格
となつたマスクが収納されることになる。検査済割込み
マスク排出部２４Ｃには、第１のマスク検査装置２３及
び又は第２のマスク検査装置２４における検査がなされ
た検査割込みマスクが検査済割込みマスクとして収納さ
れる。
マスクに第２の異物が付着していると判定した場合に
は、該マスクを検査不合格マスクとして検査不合格マス
ク排出部２４Ｂに収納する。従つて第２のマスク検査装
置２４の検査不合格マスク排出部２４Ｂには第１のマス
ク検査装置２４における検査については合格したが、第
２のマスク検査装置２４における検査については不合格
となつたマスクが収納されることになる。検査済割込み
マスク排出部２４Ｃには、第１のマスク検査装置２３及
び又は第２のマスク検査装置２４における検査がなされ
た検査割込みマスクが検査済割込みマスクとして収納さ
れる。
【００３６】貼付け装置２５は、ペリクル貼付け部２５
Ａ、ペリクル付きマスク排出部２５Ｂ、ペリクル貼付け
割込みマスク収納部２５Ｃ、ペリクル付き割込みマスク
排出部２５Ｄ及びペリクル容器収納部２５Ｅが所定の清
浄度に維持された１つのクリーンルーム内に設置されて
構成されている。この貼付け装置２５はペリクル貼付け
部２５Ａにおいて、第２のマスク検査装置から搬送され
る検査合格マスクに、ペリクル収納装置２６からペリク
ル搬送装置３３によつて搬送されるペリクルを貼り付
け、このペリクル付きマスクをマスク搬送装置３２によ
つてペリクル付きマスク排出部２５Ｂに搬送して収納す
る。ここでペリクル貼付け部２５Ａは、ペリクル収納装
置２６から搬送されるペリクルが容器に収容された状態
で搬送されるので、該容器からペリクルを取り出して該
ペリクルを検査合格マスクに貼り付ける。またペリクル
が取り出された容器は容器搬送装置２５Ｆによつてペリ
クル容器収納部２５Ｅに収納される。
Ａ、ペリクル付きマスク排出部２５Ｂ、ペリクル貼付け
割込みマスク収納部２５Ｃ、ペリクル付き割込みマスク
排出部２５Ｄ及びペリクル容器収納部２５Ｅが所定の清
浄度に維持された１つのクリーンルーム内に設置されて
構成されている。この貼付け装置２５はペリクル貼付け
部２５Ａにおいて、第２のマスク検査装置から搬送され
る検査合格マスクに、ペリクル収納装置２６からペリク
ル搬送装置３３によつて搬送されるペリクルを貼り付
け、このペリクル付きマスクをマスク搬送装置３２によ
つてペリクル付きマスク排出部２５Ｂに搬送して収納す
る。ここでペリクル貼付け部２５Ａは、ペリクル収納装
置２６から搬送されるペリクルが容器に収容された状態
で搬送されるので、該容器からペリクルを取り出して該
ペリクルを検査合格マスクに貼り付ける。またペリクル
が取り出された容器は容器搬送装置２５Ｆによつてペリ
クル容器収納部２５Ｅに収納される。
【００３７】ペリクル付きマスク排出部２５Ｂは所定の
清浄度に維持された密閉路でなる搬送路３４を介して第
１のペリクル付きマスク検査装置２８のペリクル付きマ
スク収納部２８Ａに接続されている。ペリクル付きマス
ク排出部２５Ｂに収納されたペリクル付きマスクはペリ
クル付きマスク搬送装置３４Ａによつて搬送路３４を介
して第１のペリクル付きマスク検査装置２８のペリクル
付きマスク収納部２８Ａに収納される。ペリクル貼付け
割込みマスク収納部２５Ｃには、ペリクル貼付け部２５
Ａにおけるペリクル貼付け処理だけが行われるマスク
（以下、これをペリクル貼付け割込みマスクと呼ぶ）が
収納される。ペリクル付き割込みマスク排出部２５Ｄに
は、ペリクル貼付け部２５Ａにおいてペリクルが貼り付
けられたペリクル貼付け割込みマスク（以下、これをペ
リクル付き割込みマスクと呼ぶ）が収納される。
清浄度に維持された密閉路でなる搬送路３４を介して第
１のペリクル付きマスク検査装置２８のペリクル付きマ
スク収納部２８Ａに接続されている。ペリクル付きマス
ク排出部２５Ｂに収納されたペリクル付きマスクはペリ
クル付きマスク搬送装置３４Ａによつて搬送路３４を介
して第１のペリクル付きマスク検査装置２８のペリクル
付きマスク収納部２８Ａに収納される。ペリクル貼付け
割込みマスク収納部２５Ｃには、ペリクル貼付け部２５
Ａにおけるペリクル貼付け処理だけが行われるマスク
（以下、これをペリクル貼付け割込みマスクと呼ぶ）が
収納される。ペリクル付き割込みマスク排出部２５Ｄに
は、ペリクル貼付け部２５Ａにおいてペリクルが貼り付
けられたペリクル貼付け割込みマスク（以下、これをペ
リクル付き割込みマスクと呼ぶ）が収納される。
【００３８】ペリクル検査装置２７はペリクル収納部２
７Ａ、ペリクル検査部２７Ｂ、検査不合格ペリクル排出
部２７Ｃが所定の清浄度に維持された１つのクリーンル
ーム内に設置されて構成されている。このペリクル検査
装置２７には、該ペリクル検査装置２７からペリクル収
納装置２６を介して貼付け装置２５まで移動し得るよう
になされたペリクル搬送装置３３が設けられている。ペ
リクル検査装置２７はペリクル収納部２７Ａに収納され
たペリクルを、ペリクル搬送装置３３によつてペリクル
検査部２７Ｂに搬送し、ペリクル検査部２７Ｂにおいて
検査対象のペリクルに異物が付着しているか否かを検査
する。ここでペリクル収納部２７Ａには例えば１ロツト
分のマスクに対応した複数種類のペリクルが収納されて
いる。
７Ａ、ペリクル検査部２７Ｂ、検査不合格ペリクル排出
部２７Ｃが所定の清浄度に維持された１つのクリーンル
ーム内に設置されて構成されている。このペリクル検査
装置２７には、該ペリクル検査装置２７からペリクル収
納装置２６を介して貼付け装置２５まで移動し得るよう
になされたペリクル搬送装置３３が設けられている。ペ
リクル検査装置２７はペリクル収納部２７Ａに収納され
たペリクルを、ペリクル搬送装置３３によつてペリクル
検査部２７Ｂに搬送し、ペリクル検査部２７Ｂにおいて
検査対象のペリクルに異物が付着しているか否かを検査
する。ここでペリクル収納部２７Ａには例えば１ロツト
分のマスクに対応した複数種類のペリクルが収納されて
いる。
【００３９】ペリクル検査装置２７は、ペリクル検査部
２７Ｂにおいて、ペリクルに第１の異物及び又は第２の
異物が付着していないと判定した場合には、ペリクル搬
送装置３３によつてペリクル収納装置２６のペリクル収
納部２６Ａに搬送して収納する。またペリクル検査装置
２７は、ペリクル検査部２７Ａにおいて、第１の異物及
び又は第２の異物が付着していると判定した場合には、
該ペリクルをペリクル搬送装置３３によつて検査不合格
ペリクル排出部２７Ｃに搬送して収納する。
２７Ｂにおいて、ペリクルに第１の異物及び又は第２の
異物が付着していないと判定した場合には、ペリクル搬
送装置３３によつてペリクル収納装置２６のペリクル収
納部２６Ａに搬送して収納する。またペリクル検査装置
２７は、ペリクル検査部２７Ａにおいて、第１の異物及
び又は第２の異物が付着していると判定した場合には、
該ペリクルをペリクル搬送装置３３によつて検査不合格
ペリクル排出部２７Ｃに搬送して収納する。
【００４０】この場合、ペリクル検査装置２７は貼付け
装置２５に検査合格マスクが搬送されたときに、該マス
クに対応するペリクルをペリクル収納装置２６が貼付け
装置２５に搬送し得るように、予めペリクル収納装置２
６に検査合格ペリクルを搬送して蓄えておくようになさ
れている。ここで各ペリクルは容器に収容された状態で
ペリクル収納部２７Ａに収納される。従つてペリクル検
査部２７Ａは、ペリクルを検査する際には容器からペリ
クルを取り出して検査し、検査後には該ペリクルを容器
に収容する。
装置２５に検査合格マスクが搬送されたときに、該マス
クに対応するペリクルをペリクル収納装置２６が貼付け
装置２５に搬送し得るように、予めペリクル収納装置２
６に検査合格ペリクルを搬送して蓄えておくようになさ
れている。ここで各ペリクルは容器に収容された状態で
ペリクル収納部２７Ａに収納される。従つてペリクル検
査部２７Ａは、ペリクルを検査する際には容器からペリ
クルを取り出して検査し、検査後には該ペリクルを容器
に収容する。
【００４１】ペリクル収納装置２６はペリクル収納部２
６Ａ及び割込みペリクル収納部２６Ｂが所定の清浄度に
維持された１つのクリーンルームに設置されて構成され
ている。このペリクル収納装置２６はホストコンピユー
タ２１からの制御信号に基づいて、貼付け装置２５のペ
リクル貼付け部２５Ａに搬送されたマスクに対応したペ
リクルを、該マスクがペリクル貼付け部２５Ａに搬送さ
れるタイミングで、ペリクル搬送装置３３によつてペリ
クル収納部２６Ａからペリクル貼付け部２５に搬送す
る。すなわちこのペリクル貼付け装置２０では、ペリク
ル貼付け対象となるマスクがペリクル貼付け部２５Ａに
搬送されたとき、該マスクに貼り付けるペリクルがペリ
クル収納部２６Ａから搬送されるようになされている。
割込みペリクル収納部２６Ｂには、貼付け装置５のペリ
クル貼付け割込みマスク収納部２５Ｃに収納されたペリ
クル貼付け割込みマスクに対応した種類のペリクルが収
納される。
６Ａ及び割込みペリクル収納部２６Ｂが所定の清浄度に
維持された１つのクリーンルームに設置されて構成され
ている。このペリクル収納装置２６はホストコンピユー
タ２１からの制御信号に基づいて、貼付け装置２５のペ
リクル貼付け部２５Ａに搬送されたマスクに対応したペ
リクルを、該マスクがペリクル貼付け部２５Ａに搬送さ
れるタイミングで、ペリクル搬送装置３３によつてペリ
クル収納部２６Ａからペリクル貼付け部２５に搬送す
る。すなわちこのペリクル貼付け装置２０では、ペリク
ル貼付け対象となるマスクがペリクル貼付け部２５Ａに
搬送されたとき、該マスクに貼り付けるペリクルがペリ
クル収納部２６Ａから搬送されるようになされている。
割込みペリクル収納部２６Ｂには、貼付け装置５のペリ
クル貼付け割込みマスク収納部２５Ｃに収納されたペリ
クル貼付け割込みマスクに対応した種類のペリクルが収
納される。
【００４２】第１のペリクル付きマスク検査装置２８は
ペリクル付きマスク収納部２８Ａ、ペリクル付きマスク
検査部２８Ｂ及び検査割込みペリクル付きマスク収納部
２８Ｃが所定の清浄度に維持された１つのクリーンルー
ム内に設置されて構成されている。第１のペリクル付き
マスク検査装置２８には、該第１のペリクル付きマスク
検査装置２８と第２のペリクル付きマスク検査装置２９
との間を移動し得るようになされたペリクル付きマスク
搬送装置３５が設けられている。第１のペリクル付きマ
スク検査装置２８は、ペリクル付きマスク収納部２８Ａ
に収納されているペリクル付きマスク２８Ａをペリクル
付きマスク搬送装置３５によつてペリクル付きマスク検
査部２８Ｂに搬送し、ペリクル付きマスク検査部２８Ｂ
においてペリクル付きマスクに第１の異物が付着してい
るか否かを検査する。
ペリクル付きマスク収納部２８Ａ、ペリクル付きマスク
検査部２８Ｂ及び検査割込みペリクル付きマスク収納部
２８Ｃが所定の清浄度に維持された１つのクリーンルー
ム内に設置されて構成されている。第１のペリクル付き
マスク検査装置２８には、該第１のペリクル付きマスク
検査装置２８と第２のペリクル付きマスク検査装置２９
との間を移動し得るようになされたペリクル付きマスク
搬送装置３５が設けられている。第１のペリクル付きマ
スク検査装置２８は、ペリクル付きマスク収納部２８Ａ
に収納されているペリクル付きマスク２８Ａをペリクル
付きマスク搬送装置３５によつてペリクル付きマスク検
査部２８Ｂに搬送し、ペリクル付きマスク検査部２８Ｂ
においてペリクル付きマスクに第１の異物が付着してい
るか否かを検査する。
【００４３】第１のペリクル付きマスク検査装置２８は
ペリクル付きマスク検査部２８Ｂにおいてペリクル付き
マスクに第１の異物が付着していないと判定した場合に
は、該ペリクル付きマスクを検査合格ペリクル付きマス
クとして、ペリクル付きマスク搬送装置３５によつて第
２のペリクル付きマスク検査装置２９のペリクル付きマ
スク検査部２９Ａに搬送する。また第１のペリクル付き
マスク検査装置２８はペリクル付きマスク検査部２８Ｂ
においてペリクル付きマスクに第１の異物が付着してい
ると判定した場合には、該ペリクル付きマスクを検査不
合格ペリクル付きマスクとしてペリクル付きマスク搬送
装置３５によつて第２のペリクル付きマスク検査装置２
９の検査不合格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂに搬送
して収納する。検査割込みペリクル付きマスク収納部２
８Ｃには、第１のペリクル付きマスク検査装置２８及び
又は第２のペリクル付きマスク検査装置２９における検
査だけが行われるペリクル付きマスク、例えば既に露光
に使用しているペリクル付きマスクが収納される。
ペリクル付きマスク検査部２８Ｂにおいてペリクル付き
マスクに第１の異物が付着していないと判定した場合に
は、該ペリクル付きマスクを検査合格ペリクル付きマス
クとして、ペリクル付きマスク搬送装置３５によつて第
２のペリクル付きマスク検査装置２９のペリクル付きマ
スク検査部２９Ａに搬送する。また第１のペリクル付き
マスク検査装置２８はペリクル付きマスク検査部２８Ｂ
においてペリクル付きマスクに第１の異物が付着してい
ると判定した場合には、該ペリクル付きマスクを検査不
合格ペリクル付きマスクとしてペリクル付きマスク搬送
装置３５によつて第２のペリクル付きマスク検査装置２
９の検査不合格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂに搬送
して収納する。検査割込みペリクル付きマスク収納部２
８Ｃには、第１のペリクル付きマスク検査装置２８及び
又は第２のペリクル付きマスク検査装置２９における検
査だけが行われるペリクル付きマスク、例えば既に露光
に使用しているペリクル付きマスクが収納される。
【００４４】第２のペリクル付きマスク検査装置２９
は、ペリクル付きマスク検査部２９Ａ、検査不合格ペリ
クル付きマスク排出部２９Ｂ、検査終了ペリクル付きマ
スク排出部２９Ｃ及び検査割込みペリクル付きマスク排
出部２９Ｄが所定の清浄度に維持された１つのクリーン
ルーム内に設置されて構成されている。第２のペリクル
付きマスク検査装置２９は、ペリクル付きマスク検査部
２９Ａにおいて、ペリクル付きマスク搬送装置３５によ
つて第１のペリクル付きマスク検査装置２８から搬送さ
れるペリクル付きマスクに第２の異物が付着しているか
否かを検査する。
は、ペリクル付きマスク検査部２９Ａ、検査不合格ペリ
クル付きマスク排出部２９Ｂ、検査終了ペリクル付きマ
スク排出部２９Ｃ及び検査割込みペリクル付きマスク排
出部２９Ｄが所定の清浄度に維持された１つのクリーン
ルーム内に設置されて構成されている。第２のペリクル
付きマスク検査装置２９は、ペリクル付きマスク検査部
２９Ａにおいて、ペリクル付きマスク搬送装置３５によ
つて第１のペリクル付きマスク検査装置２８から搬送さ
れるペリクル付きマスクに第２の異物が付着しているか
否かを検査する。
【００４５】第２のペリクル付きマスク検査装置２９
は、ペリクル付きマスク検査部２９Ａにおいて、第３の
検査装置から搬送されるペリクル付きマスクに第２の異
物が付着していないと判定した場合、該ペリクル付きマ
スクをペリクル付きマスク搬送装置３５によつて検査終
了ペリクル付きマスク排出部２９Ｃに収納する。また第
２のペリクル付きマスク検査装置２９はペリクル付きマ
スク検査部２９Ａにおいて、第１のペリクル付きマスク
検査装置から搬送されたペリクル付きマスクに第２の異
物が付着していると判定した場合には、該ペリクル付き
マスクを検査不合格ペリクル付きマスクとして検査不合
格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂに収納する。検査割
込みペリクル付きマスク排出部２９Ｄには、第１のペリ
クル付きマスク検査装置２８及び又は第２のペリクル付
きマスク検査装置２９において検査がなされた検査割込
みペリクル付きマスクが収納される。
は、ペリクル付きマスク検査部２９Ａにおいて、第３の
検査装置から搬送されるペリクル付きマスクに第２の異
物が付着していないと判定した場合、該ペリクル付きマ
スクをペリクル付きマスク搬送装置３５によつて検査終
了ペリクル付きマスク排出部２９Ｃに収納する。また第
２のペリクル付きマスク検査装置２９はペリクル付きマ
スク検査部２９Ａにおいて、第１のペリクル付きマスク
検査装置から搬送されたペリクル付きマスクに第２の異
物が付着していると判定した場合には、該ペリクル付き
マスクを検査不合格ペリクル付きマスクとして検査不合
格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂに収納する。検査割
込みペリクル付きマスク排出部２９Ｄには、第１のペリ
クル付きマスク検査装置２８及び又は第２のペリクル付
きマスク検査装置２９において検査がなされた検査割込
みペリクル付きマスクが収納される。
【００４６】以上の構成において、このペリクル貼付け
装置２０では、マスク洗浄装置２２のマスク収納部２２
Ａに収納されたマスクは、マスク搬送装置２２Ｆによつ
てマスク洗浄部２２Ｂに搬送されて、オペレータによつ
て指定された洗浄条件に基づいて洗浄された後、洗浄済
マスク排出部２２Ｃに収納される。洗浄済マスク排出部
２２Ｃに収納された洗浄済マスクはマスク搬送装置３０
Ａによつて搬送路３０を介して第１のマスク検査装置２
３のマスク収納部２３Ａに収納される。
装置２０では、マスク洗浄装置２２のマスク収納部２２
Ａに収納されたマスクは、マスク搬送装置２２Ｆによつ
てマスク洗浄部２２Ｂに搬送されて、オペレータによつ
て指定された洗浄条件に基づいて洗浄された後、洗浄済
マスク排出部２２Ｃに収納される。洗浄済マスク排出部
２２Ｃに収納された洗浄済マスクはマスク搬送装置３０
Ａによつて搬送路３０を介して第１のマスク検査装置２
３のマスク収納部２３Ａに収納される。
【００４７】ここでこのペリクル貼付け装置２０では、
マスク洗浄装置２２及び第１のマスク検査装置２３がそ
れぞれ１つのクリーンルームとして構成されていると共
に、洗浄済マスクを人手を介さずにマスク搬送装置３０
Ａによつてマスク洗浄装置２２から第１のマスク検査装
置２３へ搬送しているので、洗浄済マスクをマスク洗浄
装置２２から第１のマスク検査装置２３に搬送する際
に、洗浄済マスクに異物が付着することを確実に防止す
ることができる。
マスク洗浄装置２２及び第１のマスク検査装置２３がそ
れぞれ１つのクリーンルームとして構成されていると共
に、洗浄済マスクを人手を介さずにマスク搬送装置３０
Ａによつてマスク洗浄装置２２から第１のマスク検査装
置２３へ搬送しているので、洗浄済マスクをマスク洗浄
装置２２から第１のマスク検査装置２３に搬送する際
に、洗浄済マスクに異物が付着することを確実に防止す
ることができる。
【００４８】第１のマスク検査装置２３のマスク収納部
２３Ａに収納された洗浄済マスクは、マスク搬送装置３
２によつてマスク検査部２３Ｂに搬送されて第１の異物
が付着しているか否かが検査される。マスク検査部２３
Ｂにおいて検査合格マスクと判定された場合には、該検
査合格マスクはマスク搬送装置３２によつて第２のマス
ク検査装置２４のマスク検査部２４Ａに搬送される。ま
たマスク検査部２３において検査不合格マスクと判断さ
れた場合には、該検査不合格マスクはマスク搬送装置３
２によつて検査不合格マスク排出部２３Ｃに収納され
る。
２３Ａに収納された洗浄済マスクは、マスク搬送装置３
２によつてマスク検査部２３Ｂに搬送されて第１の異物
が付着しているか否かが検査される。マスク検査部２３
Ｂにおいて検査合格マスクと判定された場合には、該検
査合格マスクはマスク搬送装置３２によつて第２のマス
ク検査装置２４のマスク検査部２４Ａに搬送される。ま
たマスク検査部２３において検査不合格マスクと判断さ
れた場合には、該検査不合格マスクはマスク搬送装置３
２によつて検査不合格マスク排出部２３Ｃに収納され
る。
【００４９】従つてこのペリクル貼付け装置２０では、
第１のマスク検査装置２３において検査不合格となつた
検査不合格マスクを検査合格マスクとは別個に検査不合
格マスク排出部２３Ｃに収納し得るので、検査不合格マ
スクを第２のマスク検査装置２４以降の工程に搬送する
必要がなくなくると共に、検査合格マスクと検査不合格
マスクとの選別の手間を省くことができる。この結果、
ペリクル貼付け装置２０における処理時間を大幅に低減
することができると共に、検査不合格マスクを容易に管
理することができる。
第１のマスク検査装置２３において検査不合格となつた
検査不合格マスクを検査合格マスクとは別個に検査不合
格マスク排出部２３Ｃに収納し得るので、検査不合格マ
スクを第２のマスク検査装置２４以降の工程に搬送する
必要がなくなくると共に、検査合格マスクと検査不合格
マスクとの選別の手間を省くことができる。この結果、
ペリクル貼付け装置２０における処理時間を大幅に低減
することができると共に、検査不合格マスクを容易に管
理することができる。
【００５０】またこのペリクル貼付け装置２０では、第
１のマスク検査装置２３及び第２のマスク検査装置２４
はそれぞれ１つのクリーンルームとして構成されている
と共に、検査合格マスクを人手を介さずにマスク搬送装
置３２によつて第２のマスク検査装置２４に搬送してい
るので、該検査合格マスクを第２のマスク検査装置２４
に搬送する際に、検査合格マスクに異物が付着すること
を確実に防止することができる。
１のマスク検査装置２３及び第２のマスク検査装置２４
はそれぞれ１つのクリーンルームとして構成されている
と共に、検査合格マスクを人手を介さずにマスク搬送装
置３２によつて第２のマスク検査装置２４に搬送してい
るので、該検査合格マスクを第２のマスク検査装置２４
に搬送する際に、検査合格マスクに異物が付着すること
を確実に防止することができる。
【００５１】第１のマスク検査装置２３において検査合
格マスクと判定されて第２のマスク検査装置２４に搬送
されたマスクは、第２のマスク検査装置２４のマスク検
査部２４Ａにおいて第２の異物が付着しているか否かが
検査される。このマスク検査部２４Ａにおいて検査合格
マスクと判定されたマスクは、マスク搬送装置３２によ
つて貼付け装置２５のペリクル貼付け部２５Ａに搬送さ
れる。またマスク検査部２４Ａにおいて検査不合格マス
クと判定されたマスクは、検査不合格マスク排出部２４
Ｂに収納される。
格マスクと判定されて第２のマスク検査装置２４に搬送
されたマスクは、第２のマスク検査装置２４のマスク検
査部２４Ａにおいて第２の異物が付着しているか否かが
検査される。このマスク検査部２４Ａにおいて検査合格
マスクと判定されたマスクは、マスク搬送装置３２によ
つて貼付け装置２５のペリクル貼付け部２５Ａに搬送さ
れる。またマスク検査部２４Ａにおいて検査不合格マス
クと判定されたマスクは、検査不合格マスク排出部２４
Ｂに収納される。
【００５２】従つてこのペリクル貼付け装置２０では、
第２のマスク検査装置２４において検査不合格となつた
検査不合格マスクを検査合格マスクとは別個に検査不合
格マスク排出部２４Ｂに収納し得るので、検査不合格マ
スクを貼付け装置２５以降の工程に搬送する必要がなく
なくると共に、検査合格マスクと検査不合格マスクとの
選別の手間を省くことができる。この結果、ペリクル貼
付け装置２０における処理時間を大幅に低減することが
できると共に、検査不合格マスクを容易に管理すること
ができる。
第２のマスク検査装置２４において検査不合格となつた
検査不合格マスクを検査合格マスクとは別個に検査不合
格マスク排出部２４Ｂに収納し得るので、検査不合格マ
スクを貼付け装置２５以降の工程に搬送する必要がなく
なくると共に、検査合格マスクと検査不合格マスクとの
選別の手間を省くことができる。この結果、ペリクル貼
付け装置２０における処理時間を大幅に低減することが
できると共に、検査不合格マスクを容易に管理すること
ができる。
【００５３】またこのペリクル貼付け装置２０では、第
２のマスク検査装置２４及び貼付け装置２５はそれぞれ
１つのクリーンルームとして構成されていると共に、検
査合格マスクを人手を介さずにマスク搬送装置３２によ
つて貼付け装置２５に搬送しているので、検査合格マス
クを貼付け装置２５に搬送する際に、検査合格マスクに
異物が付着することを確実に防止することができる。
２のマスク検査装置２４及び貼付け装置２５はそれぞれ
１つのクリーンルームとして構成されていると共に、検
査合格マスクを人手を介さずにマスク搬送装置３２によ
つて貼付け装置２５に搬送しているので、検査合格マス
クを貼付け装置２５に搬送する際に、検査合格マスクに
異物が付着することを確実に防止することができる。
【００５４】第２のマスク検査装置２４において検査合
格マスクと判定されてペリクル貼付け部２５Ａに搬送さ
れた検査合格マスクは、該ペリクル貼付け部２５Ａにお
いて、ペリクル収納装置２６から搬送される該マスクに
対応するペリクルが貼り付けられた後、ペリクル付きマ
スク排出部２５Ｂに収納される。ここでペリクル貼付け
部２５Ａにおいては、ペリクル貼付け部２５Ａに第２の
マスク検査装置２４から検査合格マスクが転送されたと
き、ペリクル収納装置２６から該検査合格マスクに対応
するペリクルがペリクル搬送装置３３によつて搬送され
るので、ペリクル貼付け装置２０における各処理工程を
停止させることなくマスクにペリクルを貼り付ける作業
を行うことができる。従つてペリクル貼付け装置２０に
おける処理時間を大幅に低減することができる。
格マスクと判定されてペリクル貼付け部２５Ａに搬送さ
れた検査合格マスクは、該ペリクル貼付け部２５Ａにお
いて、ペリクル収納装置２６から搬送される該マスクに
対応するペリクルが貼り付けられた後、ペリクル付きマ
スク排出部２５Ｂに収納される。ここでペリクル貼付け
部２５Ａにおいては、ペリクル貼付け部２５Ａに第２の
マスク検査装置２４から検査合格マスクが転送されたと
き、ペリクル収納装置２６から該検査合格マスクに対応
するペリクルがペリクル搬送装置３３によつて搬送され
るので、ペリクル貼付け装置２０における各処理工程を
停止させることなくマスクにペリクルを貼り付ける作業
を行うことができる。従つてペリクル貼付け装置２０に
おける処理時間を大幅に低減することができる。
【００５５】またこのペリクル貼付け装置２０では、ペ
リクル収納部２７Ｂに収納されたペリクルをペリクル検
査部２７Ａにおいて自動的に検査しているので、従来の
ように目視によつて検査する場合に比して、ペリクルに
対する検査時間を大幅に低減し得ると共に、検査精度を
大幅に向上することができる。さらにこのペリクル貼付
け装置２０では、ペリクル検査装置２７及びペリクル収
納装置２６はそれぞれ１つのクリーンルームとして構成
されていると共に、検査合格ペリクルを人手を介さずに
ペリクル搬送装置３３によつてペリクル収納装置２６に
搬送しているので、検査合格ペリクルをペリクル収納装
置２６に搬送する際に、ペリクルに異物が付着すること
を確実に防止することができる。
リクル収納部２７Ｂに収納されたペリクルをペリクル検
査部２７Ａにおいて自動的に検査しているので、従来の
ように目視によつて検査する場合に比して、ペリクルに
対する検査時間を大幅に低減し得ると共に、検査精度を
大幅に向上することができる。さらにこのペリクル貼付
け装置２０では、ペリクル検査装置２７及びペリクル収
納装置２６はそれぞれ１つのクリーンルームとして構成
されていると共に、検査合格ペリクルを人手を介さずに
ペリクル搬送装置３３によつてペリクル収納装置２６に
搬送しているので、検査合格ペリクルをペリクル収納装
置２６に搬送する際に、ペリクルに異物が付着すること
を確実に防止することができる。
【００５６】さらにこのペリクル貼付け装置２０では、
貼付け装置２５及びペリクル収納装置２６はそれぞれ１
つのクリーンルームとして構成されていると共に、ペリ
クル収納部２６Ａに収納された検査合格ペリクルをペリ
クル搬送装置３３によつて搬送しているので、該ペリク
ルをペリクル貼付け部２５に搬送する際に、ペリクルに
異物が付着することを確実に防止することができる。
貼付け装置２５及びペリクル収納装置２６はそれぞれ１
つのクリーンルームとして構成されていると共に、ペリ
クル収納部２６Ａに収納された検査合格ペリクルをペリ
クル搬送装置３３によつて搬送しているので、該ペリク
ルをペリクル貼付け部２５に搬送する際に、ペリクルに
異物が付着することを確実に防止することができる。
【００５７】ペリクル付きマスク排出部２５Ｂに収納さ
れたペリクル付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装
置３４Ａによつて搬送路３４を介して第１のペリクル付
きマスク検査装置２８のペリクル付きマスク収納部２８
Ａに収納される。ここでこのペリクル貼付け装置２０で
は、貼付け装置２５及び第１のペリクル付きマスク検査
装置２８はそれぞれ１つのクリーンルームとして構成さ
れていると共に、ペリクル付きマスクを人手を介さずに
第１のペリクル付きマスク検査装置２８へ搬送している
ので、ペリクル付きマスクを貼付け装置２５から第１の
ペリクル付きマスク検査装置２８に搬送する際に、ペリ
クル付きマスクに異物が付着する危険性を確実に防止す
ることができる。
れたペリクル付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装
置３４Ａによつて搬送路３４を介して第１のペリクル付
きマスク検査装置２８のペリクル付きマスク収納部２８
Ａに収納される。ここでこのペリクル貼付け装置２０で
は、貼付け装置２５及び第１のペリクル付きマスク検査
装置２８はそれぞれ１つのクリーンルームとして構成さ
れていると共に、ペリクル付きマスクを人手を介さずに
第１のペリクル付きマスク検査装置２８へ搬送している
ので、ペリクル付きマスクを貼付け装置２５から第１の
ペリクル付きマスク検査装置２８に搬送する際に、ペリ
クル付きマスクに異物が付着する危険性を確実に防止す
ることができる。
【００５８】またペリクル付きマスク排出部２５Ｂに収
納されたペリクル付きマスクは、ペリクル付きマスク搬
送装置３４Ａによつて第１のペリクル付きマスク検査装
置２８のペリクル付きマスク収納部２８Ａに収納される
ので、ペリクル付きマスクをペリクル付きマスク排出部
２５Ｂから第１のペリクル付きマスク検査装置２８のペ
リクル付きマスク収納部２８Ａに搬送する際に、露光時
に問題となる異物がペリクル付きマスクに付着すること
を確実に防止することができる。ここでマスクにペリク
ルが貼り付けられているとは言え、このペリクル付きマ
スクを人手を介して第１のペリクル付きマスク検査装置
２８に搬送した場合、ペリクル自体に露光時に問題とな
る異物が付着する可能性があるので、このような異物が
付着する危険性を排除することは有効である。
納されたペリクル付きマスクは、ペリクル付きマスク搬
送装置３４Ａによつて第１のペリクル付きマスク検査装
置２８のペリクル付きマスク収納部２８Ａに収納される
ので、ペリクル付きマスクをペリクル付きマスク排出部
２５Ｂから第１のペリクル付きマスク検査装置２８のペ
リクル付きマスク収納部２８Ａに搬送する際に、露光時
に問題となる異物がペリクル付きマスクに付着すること
を確実に防止することができる。ここでマスクにペリク
ルが貼り付けられているとは言え、このペリクル付きマ
スクを人手を介して第１のペリクル付きマスク検査装置
２８に搬送した場合、ペリクル自体に露光時に問題とな
る異物が付着する可能性があるので、このような異物が
付着する危険性を排除することは有効である。
【００５９】第１のペリクル付きマスク検査装置２８の
ペリクル付きマスク収納部２８Ａに収納されたペリクル
付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装置３５によつ
てペリクル付きマスク検査部２８Ｂに搬送されて第１の
異物が付着しているか否かが検査される。マスク検査部
２８Ｂにおいて検査合格ペリクル付きマスクと判定され
たペリクル付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装置
３５によつて第４の検査装置のペリクル付きマスク検査
部２９Ａに搬送される。またマスク検査部２８Ｂにおい
て検査不合格ペリクル付きマスクと判定されたペリクル
付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装置３５によつ
て検査不合格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂに収納さ
れる。
ペリクル付きマスク収納部２８Ａに収納されたペリクル
付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装置３５によつ
てペリクル付きマスク検査部２８Ｂに搬送されて第１の
異物が付着しているか否かが検査される。マスク検査部
２８Ｂにおいて検査合格ペリクル付きマスクと判定され
たペリクル付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装置
３５によつて第４の検査装置のペリクル付きマスク検査
部２９Ａに搬送される。またマスク検査部２８Ｂにおい
て検査不合格ペリクル付きマスクと判定されたペリクル
付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装置３５によつ
て検査不合格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂに収納さ
れる。
【００６０】ここでこのペリクル貼付け装置２０では、
第１のペリクル付きマスク検査装置２８及び第２のペリ
クル付きマスク検査装置２９は１つのクリーンルームと
して構成されていると共に、検査合格ペリクル付きマス
クを人手を介さずにペリクル付きマスク搬送装置３４に
よつて第４の検査装置２８に搬送しているので、該検査
合格ペリクル付きマスクを第１のペリクル付きマスク検
査装置２８から第２のペリクル付きマスク検査装置２９
に搬送する際に、検査合格ペリクル付きマスクに異物が
付着することを確実に防止することができる。
第１のペリクル付きマスク検査装置２８及び第２のペリ
クル付きマスク検査装置２９は１つのクリーンルームと
して構成されていると共に、検査合格ペリクル付きマス
クを人手を介さずにペリクル付きマスク搬送装置３４に
よつて第４の検査装置２８に搬送しているので、該検査
合格ペリクル付きマスクを第１のペリクル付きマスク検
査装置２８から第２のペリクル付きマスク検査装置２９
に搬送する際に、検査合格ペリクル付きマスクに異物が
付着することを確実に防止することができる。
【００６１】第１のペリクル付きマスク検査装置２８か
ら第２のペリクル付きマスク検査装置２９のペリクル付
きマスク検査部２９Ａに搬送された検査合格ペリクル付
きマスクは、ペリクル付きマスク検査部２９Ａにおいて
第２の異物が付着しているか否かが検査される。このマ
スク検査部２９Ａにおいて検査合格ペリクル付きマスク
と判定されたペリクル付きマスクは、ペリクル付きマス
ク搬送装置３５によつて検査終了ペリクル付きマスク排
出部２９Ｃに収納される。またマスク検査部２９Ａにお
いて検査不合格ペリクル付きマスクと判定されたペリク
ル付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装置３５によ
つて検査不合格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂに収納
される。
ら第２のペリクル付きマスク検査装置２９のペリクル付
きマスク検査部２９Ａに搬送された検査合格ペリクル付
きマスクは、ペリクル付きマスク検査部２９Ａにおいて
第２の異物が付着しているか否かが検査される。このマ
スク検査部２９Ａにおいて検査合格ペリクル付きマスク
と判定されたペリクル付きマスクは、ペリクル付きマス
ク搬送装置３５によつて検査終了ペリクル付きマスク排
出部２９Ｃに収納される。またマスク検査部２９Ａにお
いて検査不合格ペリクル付きマスクと判定されたペリク
ル付きマスクは、ペリクル付きマスク搬送装置３５によ
つて検査不合格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂに収納
される。
【００６２】従つてこのペリクル貼付け装置２０では、
第１のペリクル付きマスク検査装置２８又は第２のペリ
クル付きマスク検査装置２９において検査不合格と判定
された検査不合格ペリクル付きマスクを検査合格マスク
とは別個に検査不合格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂ
に収納し得るので、検査合格ペリクル付きマスクと検査
不合格ペリクル付きマスクとの選別の手間を省くことが
できる。この結果、ペリクル貼付け装置２０における処
理時間を大幅に低減することができると共に、検査不合
格ペリクル付きマスクを容易に管理することができる。
またこのペリクル貼付け装置２０では、ペリクル付きマ
スクに対しても第１のペリクル付きマスク検査装置２８
及び第２のペリクル付きマスク検査装置２９によつてペ
リクル付きマスクに第１及び第２の異物が付着している
か否かを検査しているので、ペリクル貼付け装置２０に
おける歩留りをさらに一段と向上させることができる。
第１のペリクル付きマスク検査装置２８又は第２のペリ
クル付きマスク検査装置２９において検査不合格と判定
された検査不合格ペリクル付きマスクを検査合格マスク
とは別個に検査不合格ペリクル付きマスク排出部２９Ｂ
に収納し得るので、検査合格ペリクル付きマスクと検査
不合格ペリクル付きマスクとの選別の手間を省くことが
できる。この結果、ペリクル貼付け装置２０における処
理時間を大幅に低減することができると共に、検査不合
格ペリクル付きマスクを容易に管理することができる。
またこのペリクル貼付け装置２０では、ペリクル付きマ
スクに対しても第１のペリクル付きマスク検査装置２８
及び第２のペリクル付きマスク検査装置２９によつてペ
リクル付きマスクに第１及び第２の異物が付着している
か否かを検査しているので、ペリクル貼付け装置２０に
おける歩留りをさらに一段と向上させることができる。
【００６３】他方、第１のマスク検査装置２３の検査不
合格マスク排出部２３Ｃ及び第２のマスク検査装置２４
の検査不合格マスク排出部２４Ｂにそれぞれ収納された
マスクは、マスク搬送装置３１Ａによつてマスク洗浄装
置２２の割込みマスク収納部２２Ｄに収納される。ここ
で実際上、割込みマスク収納部２２Ｄに収納された検査
不合格マスクを処理するためには、オペレータが該検査
不合格マスクに対する処理の順番を指定する。これによ
り、割込みマスク収納部２２Ｄに収納されたマスクはマ
スク搬送装置２２Ｆによつてマスク洗浄部２２Ｂに搬送
されて洗浄された後、洗浄済マスク排出部２２Ｃに収納
され、上述の工程を経る。従つてこのペリクル貼付け装
置２０では、検査不合格マスクをマスク洗浄装置２２の
割込みマスク収納部２２Ｄに自動的に搬送し得るので、
検査不合格マスクを即座に再処理することができる。こ
の結果、ペリクル貼付け装置２０における１ロツト分の
処理時間を大幅に短縮することができる。
合格マスク排出部２３Ｃ及び第２のマスク検査装置２４
の検査不合格マスク排出部２４Ｂにそれぞれ収納された
マスクは、マスク搬送装置３１Ａによつてマスク洗浄装
置２２の割込みマスク収納部２２Ｄに収納される。ここ
で実際上、割込みマスク収納部２２Ｄに収納された検査
不合格マスクを処理するためには、オペレータが該検査
不合格マスクに対する処理の順番を指定する。これによ
り、割込みマスク収納部２２Ｄに収納されたマスクはマ
スク搬送装置２２Ｆによつてマスク洗浄部２２Ｂに搬送
されて洗浄された後、洗浄済マスク排出部２２Ｃに収納
され、上述の工程を経る。従つてこのペリクル貼付け装
置２０では、検査不合格マスクをマスク洗浄装置２２の
割込みマスク収納部２２Ｄに自動的に搬送し得るので、
検査不合格マスクを即座に再処理することができる。こ
の結果、ペリクル貼付け装置２０における１ロツト分の
処理時間を大幅に短縮することができる。
【００６４】また検査不合格マスク排出部２３Ｃ及び２
４Ｂにそれぞれ収納されたマスクは、人手を介さずにマ
スク搬送装置３１Ａによつてマスク洗浄装置２２の割込
みマスク収納部２２Ｄに収納されるので、検査不合格マ
スクを割込みマスク収納部２２Ｄに搬送する際に、これ
ら検査不合格マスクに洗浄処理では洗浄されにくい異物
が付着することを確実に防止することができる。ここで
洗浄処理を行えば検査合格マスクとなるのに、割込み収
納部２２Ｄにこれら検査不合格マスクを人手によつて搬
送すると洗浄処理では洗浄されにくい異物が付着する可
能性があるので、マスク搬送装置３１Ａによつて検査不
合格マスクを搬送することにより、このような異物が付
着する危険性を排除することは有効である。
４Ｂにそれぞれ収納されたマスクは、人手を介さずにマ
スク搬送装置３１Ａによつてマスク洗浄装置２２の割込
みマスク収納部２２Ｄに収納されるので、検査不合格マ
スクを割込みマスク収納部２２Ｄに搬送する際に、これ
ら検査不合格マスクに洗浄処理では洗浄されにくい異物
が付着することを確実に防止することができる。ここで
洗浄処理を行えば検査合格マスクとなるのに、割込み収
納部２２Ｄにこれら検査不合格マスクを人手によつて搬
送すると洗浄処理では洗浄されにくい異物が付着する可
能性があるので、マスク搬送装置３１Ａによつて検査不
合格マスクを搬送することにより、このような異物が付
着する危険性を排除することは有効である。
【００６５】ここで割込みマスク収納部２２Ｄに洗浄割
込みマスクが収納されている場合、該洗浄割込みマスク
は、オペレータが該洗浄割込みマスクに対する処理の順
番を指定することにより、マスク搬送装置３１Ａによつ
てマスク洗浄部２２Ｂに搬送されて洗浄された後、洗浄
済割込みマスク排出部２２Ｅに収納される。従つてこの
ペリクル貼付け装置２０では、割込みマスク収納部２２
Ｄに洗浄割込みマスクを収納して該洗浄割込みマスクに
対する処理の順番を指定することにより、マスクに対し
て洗浄処理だけを実行することができる。
込みマスクが収納されている場合、該洗浄割込みマスク
は、オペレータが該洗浄割込みマスクに対する処理の順
番を指定することにより、マスク搬送装置３１Ａによつ
てマスク洗浄部２２Ｂに搬送されて洗浄された後、洗浄
済割込みマスク排出部２２Ｅに収納される。従つてこの
ペリクル貼付け装置２０では、割込みマスク収納部２２
Ｄに洗浄割込みマスクを収納して該洗浄割込みマスクに
対する処理の順番を指定することにより、マスクに対し
て洗浄処理だけを実行することができる。
【００６６】また検査割込みマスク収納部２３Ｄに検査
割込みマスクが収納されている場合、該検査割込みマス
クは、オペレータが該検査割込みマスクに対する処理の
順番及び検査内容（すなわち第１のマスク検査装置２３
における検査、第２のマスク検査装置２４における検査
又は第１及び第２の検査装置２３及び２４における検
査）を指定することにより、マスク搬送装置３２によつ
てマスク検査部２３Ｂ及び又はマスク検査部２４Ａに搬
送されて検査される。
割込みマスクが収納されている場合、該検査割込みマス
クは、オペレータが該検査割込みマスクに対する処理の
順番及び検査内容（すなわち第１のマスク検査装置２３
における検査、第２のマスク検査装置２４における検査
又は第１及び第２の検査装置２３及び２４における検
査）を指定することにより、マスク搬送装置３２によつ
てマスク検査部２３Ｂ及び又はマスク検査部２４Ａに搬
送されて検査される。
【００６７】この場合、オペレータが検査割込みマスク
に対する検査内容として第１のマスク検査装置２３にお
ける検査だけを指定したときには、検査割込みマスクは
マスク検査部２３Ｂにおいて検査がなされた後、マスク
搬送装置３２によつて第２のマスク検査装置２４の検査
済割込みマスク排出部２４Ｃに収納される。またオペレ
ータが検査割込みマスクに対する検査内容として第２の
マスク検査装置２４における検査だけを指定したときに
は、検査割込みマスクはマスク搬送装置３２によつて第
２のマスク検査装置２４のマスク検査部２４Ａに搬送さ
れて検査がなされた後、マスク搬送装置３２によつて検
査済割込みマスク排出部２４Ｃに収納される。
に対する検査内容として第１のマスク検査装置２３にお
ける検査だけを指定したときには、検査割込みマスクは
マスク検査部２３Ｂにおいて検査がなされた後、マスク
搬送装置３２によつて第２のマスク検査装置２４の検査
済割込みマスク排出部２４Ｃに収納される。またオペレ
ータが検査割込みマスクに対する検査内容として第２の
マスク検査装置２４における検査だけを指定したときに
は、検査割込みマスクはマスク搬送装置３２によつて第
２のマスク検査装置２４のマスク検査部２４Ａに搬送さ
れて検査がなされた後、マスク搬送装置３２によつて検
査済割込みマスク排出部２４Ｃに収納される。
【００６８】またオペレータが検査割込みマスクに対す
る検査内容として第１及び第２の検査装置２３及び２４
における双方の検査を指定したときには、検査割込みマ
スクはマスク搬送装置３２によつてマスク検査部２３Ｂ
に搬送されて検査された後、マスク搬送装置３２によつ
て第２のマスク検査装置２４のマスク検査部２４Ａに搬
送されて検査され、検査後マスク搬送装置３２によつて
検査済割込みマスク排出部２４Ｃに収納される。ここで
割込みマスクに対する検査結果は、該検査結果に応じた
信号が第１のマスク検査装置２３及び又は第２のマスク
検査装置２４からホストコンピユータ２１に送出され
る。従つてこのペリクル貼付け装置２０では、検査割込
みマスク収納部２３Ｄに検査割込みマスクを収納して該
検査割込みマスクに対する処理の順番及び検査内容を指
定することにより、検査割込みマスクに対して検査内容
に応じた検査を行うことができる。
る検査内容として第１及び第２の検査装置２３及び２４
における双方の検査を指定したときには、検査割込みマ
スクはマスク搬送装置３２によつてマスク検査部２３Ｂ
に搬送されて検査された後、マスク搬送装置３２によつ
て第２のマスク検査装置２４のマスク検査部２４Ａに搬
送されて検査され、検査後マスク搬送装置３２によつて
検査済割込みマスク排出部２４Ｃに収納される。ここで
割込みマスクに対する検査結果は、該検査結果に応じた
信号が第１のマスク検査装置２３及び又は第２のマスク
検査装置２４からホストコンピユータ２１に送出され
る。従つてこのペリクル貼付け装置２０では、検査割込
みマスク収納部２３Ｄに検査割込みマスクを収納して該
検査割込みマスクに対する処理の順番及び検査内容を指
定することにより、検査割込みマスクに対して検査内容
に応じた検査を行うことができる。
【００６９】またペリクル貼付け割込みマスク収納部２
５Ｃにペリクル貼付け割込みマスクが収納されている場
合、該ペリクル貼付け割込みマスクは、オペレータが該
ペリクル貼付け割込みマスクに対する処理の順番を指定
することにより、マスク搬送装置３２によつてペリクル
貼付け部２５Ａに搬送されてペリクル貼付け割込みマス
クに応じたペリクルを貼り付けた後、ペリクル付き割込
みマスク排出部２５Ｄに収納される。ここでペリクル貼
付け割込みマスク収納部２５Ｃに収納されたペリクル貼
付け割込みマスクに対応したペリクルがペリクル収納装
置２６のペリクル収納部２６Ａにない場合には、ペリク
ル収納装置２６のペリクル割込み収納部２６Ｂ内にペリ
クル貼付け割込みマスクに対応する種類のペリクルを収
納する。これにより、ペリクル貼付け装置２０の各装置
における処理を停止させることなく、ペリクル貼付け割
込みマスクに対するペリクル貼付け処理を行うことがで
きる。
５Ｃにペリクル貼付け割込みマスクが収納されている場
合、該ペリクル貼付け割込みマスクは、オペレータが該
ペリクル貼付け割込みマスクに対する処理の順番を指定
することにより、マスク搬送装置３２によつてペリクル
貼付け部２５Ａに搬送されてペリクル貼付け割込みマス
クに応じたペリクルを貼り付けた後、ペリクル付き割込
みマスク排出部２５Ｄに収納される。ここでペリクル貼
付け割込みマスク収納部２５Ｃに収納されたペリクル貼
付け割込みマスクに対応したペリクルがペリクル収納装
置２６のペリクル収納部２６Ａにない場合には、ペリク
ル収納装置２６のペリクル割込み収納部２６Ｂ内にペリ
クル貼付け割込みマスクに対応する種類のペリクルを収
納する。これにより、ペリクル貼付け装置２０の各装置
における処理を停止させることなく、ペリクル貼付け割
込みマスクに対するペリクル貼付け処理を行うことがで
きる。
【００７０】従つてこのペリクル貼付け装置２０では、
ペリクル貼付け割込みマスク収納部２５Ｃにペリクル貼
付け割込みマスクを収納して該ペリクル貼付け割込みマ
スクに対する処理の順番を指定することにより、マスク
に対してペリクル貼付け処理だけを実行することができ
る。
ペリクル貼付け割込みマスク収納部２５Ｃにペリクル貼
付け割込みマスクを収納して該ペリクル貼付け割込みマ
スクに対する処理の順番を指定することにより、マスク
に対してペリクル貼付け処理だけを実行することができ
る。
【００７１】また検査割込みペリクル付きマスク収納部
２８Ｃに検査割込みペリクル付きマスクが収納されてい
る場合、該検査割込みペリクル付きマスクは、オペレー
タが検査割込みペリクル付きマスクに対する処理の順番
及び検査内容（すなわち第１のペリクル付きマスク検査
装置２８における検査、第４の検査装置２８における検
査又は第３及び第４の検査装置２８及び２９における双
方の検査）を指定することにより、ペリクル付きマスク
搬送装置３５によつてペリクル付きマスク検査部２８Ｂ
及び又はマスク検査部２９Ａに搬送されて検査される。
この場合、オペレータが検査割込みペリクル付きマスク
に対する検査内容として第１のペリクル付きマスク検査
装置２８における検査だけを指定したときには、検査割
込みマスクはペリクル付きマスク検査部２８Ｂにおいて
検査がなされた後、ペリクル付きマスク搬送装置３５に
よつて第２のペリクル付きマスク検査装置２９の検査割
込みペリクル付きマスク排出部２９Ｄに収納される。ま
たオペレータが検査割込みペリクル付きマスクに対する
検査内容として第２のペリクル付きマスク検査装置２９
における検査だけを指定したときには、検査割込みマス
クはペリクル付きマスク搬送装置３５によつて第２のペ
リクル付きマスク検査装置２９のペリクル付きマスク検
査部２９Ａに搬送されて検査がなされた後、検査割込み
ペリクル付きマスク排出部２９Ｄに収納される。
２８Ｃに検査割込みペリクル付きマスクが収納されてい
る場合、該検査割込みペリクル付きマスクは、オペレー
タが検査割込みペリクル付きマスクに対する処理の順番
及び検査内容（すなわち第１のペリクル付きマスク検査
装置２８における検査、第４の検査装置２８における検
査又は第３及び第４の検査装置２８及び２９における双
方の検査）を指定することにより、ペリクル付きマスク
搬送装置３５によつてペリクル付きマスク検査部２８Ｂ
及び又はマスク検査部２９Ａに搬送されて検査される。
この場合、オペレータが検査割込みペリクル付きマスク
に対する検査内容として第１のペリクル付きマスク検査
装置２８における検査だけを指定したときには、検査割
込みマスクはペリクル付きマスク検査部２８Ｂにおいて
検査がなされた後、ペリクル付きマスク搬送装置３５に
よつて第２のペリクル付きマスク検査装置２９の検査割
込みペリクル付きマスク排出部２９Ｄに収納される。ま
たオペレータが検査割込みペリクル付きマスクに対する
検査内容として第２のペリクル付きマスク検査装置２９
における検査だけを指定したときには、検査割込みマス
クはペリクル付きマスク搬送装置３５によつて第２のペ
リクル付きマスク検査装置２９のペリクル付きマスク検
査部２９Ａに搬送されて検査がなされた後、検査割込み
ペリクル付きマスク排出部２９Ｄに収納される。
【００７２】またオペレータが検査割込みペリクル付き
マスクに対する検査内容として第３及び第４の検査装置
２８及び２９における双方の検査を指定したときには、
検査割込みペリクル付きマスクはペリクル付きマスク搬
送装置３５によつてペリクル付きマスク検査部２８Ｂに
搬送されて検査された後、ペリクル付きマスク搬送装置
３５によつて第４の検査装置２４のペリクル付きマスク
検査部２９Ａに搬送されて検査され、検査後、ペリクル
付きマスク搬送装置３５によつて検査割込みペリクル付
きマスク排出部２９Ｄに収納される。ここで検査割込み
ペリクル付きマスクに対する検査結果は、該検査結果に
応じた信号が第１のペリクル付きマスク検査装置２８及
び又は第２のペリクル付きマスク検査装置２９からホス
トコンピユータ２１に送出される。従つてこのペリクル
貼付け装置２０では、検査割込みペリクル付きマスク収
納部２８Ｃに検査割込みペリクル付きマスクを収納して
該検査割込みペリクル付きマスクに対する処理の順番及
び検査内容を指定することにより、検査割込みペリクル
付きマスクに対して検査内容に応じた検査を行うことが
できる。
マスクに対する検査内容として第３及び第４の検査装置
２８及び２９における双方の検査を指定したときには、
検査割込みペリクル付きマスクはペリクル付きマスク搬
送装置３５によつてペリクル付きマスク検査部２８Ｂに
搬送されて検査された後、ペリクル付きマスク搬送装置
３５によつて第４の検査装置２４のペリクル付きマスク
検査部２９Ａに搬送されて検査され、検査後、ペリクル
付きマスク搬送装置３５によつて検査割込みペリクル付
きマスク排出部２９Ｄに収納される。ここで検査割込み
ペリクル付きマスクに対する検査結果は、該検査結果に
応じた信号が第１のペリクル付きマスク検査装置２８及
び又は第２のペリクル付きマスク検査装置２９からホス
トコンピユータ２１に送出される。従つてこのペリクル
貼付け装置２０では、検査割込みペリクル付きマスク収
納部２８Ｃに検査割込みペリクル付きマスクを収納して
該検査割込みペリクル付きマスクに対する処理の順番及
び検査内容を指定することにより、検査割込みペリクル
付きマスクに対して検査内容に応じた検査を行うことが
できる。
【００７３】以上の構成によれば、マスク洗浄装置２２
と第１のマスク検査装置２３との間におけるマスクの移
動をマスク搬送装置３０で行い、第１のマスク検査装置
２３と第２のマスク検査装置２４との間におけるマスク
の移動及び第２のマスク検査装置２４と貼付け装置２５
との間におけるマスクの移動をマスク搬送装置３２で行
い、ペリクル検査装置２７とペリクル収納装置２６との
間におけるペリクルの移動及びペリクル収納装置２６と
貼付け装置２５との間におけるペリクルの移動をペリク
ル搬送装置３３で行い、貼付け装置２５と第１のペリク
ル付きマスク検査装置２８との間におけるペリクル付き
マスクの移動をペリクル付きマスク搬送装置３４で行
い、第１のペリクル付きマスク検査装置２８と第２のペ
リクル付きマスク検査装置２９との間におけるペリクル
付きマスクの移動をマスク搬送装置３５で行うようにし
て、各装置間を搬送装置で接続するようにしたことによ
り、マスクの移動、ペリクルの移動及びペリクル付きマ
スクの移動を人手を介さずに行うことができるので、マ
スク、ペリクル及びペリクル付きマスクを次の工程処理
である装置に移動させる際に、マスク、ペリクル及びペ
リクル付きマスクに異物が付着することを確実に防止し
得、かくして歩留りを一段と向上し得るペリクル貼付け
装置２０及びペリクル貼付け方法を実現することができ
る。
と第１のマスク検査装置２３との間におけるマスクの移
動をマスク搬送装置３０で行い、第１のマスク検査装置
２３と第２のマスク検査装置２４との間におけるマスク
の移動及び第２のマスク検査装置２４と貼付け装置２５
との間におけるマスクの移動をマスク搬送装置３２で行
い、ペリクル検査装置２７とペリクル収納装置２６との
間におけるペリクルの移動及びペリクル収納装置２６と
貼付け装置２５との間におけるペリクルの移動をペリク
ル搬送装置３３で行い、貼付け装置２５と第１のペリク
ル付きマスク検査装置２８との間におけるペリクル付き
マスクの移動をペリクル付きマスク搬送装置３４で行
い、第１のペリクル付きマスク検査装置２８と第２のペ
リクル付きマスク検査装置２９との間におけるペリクル
付きマスクの移動をマスク搬送装置３５で行うようにし
て、各装置間を搬送装置で接続するようにしたことによ
り、マスクの移動、ペリクルの移動及びペリクル付きマ
スクの移動を人手を介さずに行うことができるので、マ
スク、ペリクル及びペリクル付きマスクを次の工程処理
である装置に移動させる際に、マスク、ペリクル及びペ
リクル付きマスクに異物が付着することを確実に防止し
得、かくして歩留りを一段と向上し得るペリクル貼付け
装置２０及びペリクル貼付け方法を実現することができ
る。
【００７４】また上述の構成によれば、マスク洗浄装置
２２、第１のマスク検査装置２３、第２のマスク検査装
置２４、貼付け装置２５、ペリクル収納装置２６、ペリ
クル検査装置２７、第１のペリクル付きマスク検査装置
２８及び第２のペリクル付きマスク検査装置２９をそれ
ぞれ所定の清浄度に維持された１つのクリーンルームで
構成すると共に、搬送路３０及び３１を所定の清浄度に
維持した密開路で構成し、マスクの移動、ペリクルの移
動及びペリクル付きマスクの移動を搬送装置を用いて行
うようにしたことにより、ペリクル貼付け装置２０にお
ける清浄度を一段と確保することができるので、ペリク
ル貼付け装置２０における歩留りをさらに一段と向上さ
せることができる。
２２、第１のマスク検査装置２３、第２のマスク検査装
置２４、貼付け装置２５、ペリクル収納装置２６、ペリ
クル検査装置２７、第１のペリクル付きマスク検査装置
２８及び第２のペリクル付きマスク検査装置２９をそれ
ぞれ所定の清浄度に維持された１つのクリーンルームで
構成すると共に、搬送路３０及び３１を所定の清浄度に
維持した密開路で構成し、マスクの移動、ペリクルの移
動及びペリクル付きマスクの移動を搬送装置を用いて行
うようにしたことにより、ペリクル貼付け装置２０にお
ける清浄度を一段と確保することができるので、ペリク
ル貼付け装置２０における歩留りをさらに一段と向上さ
せることができる。
【００７５】また上述の構成によれば、第１及び第２の
マスク検査装置２２及び２３にそれぞれ検査不合格マス
ク排出部２３Ｃ及び２４Ｂを設けると共に、マスク洗浄
装置２２に割込みマスク収納部２２Ｄを設けて、検査不
合格マスク排出部２３Ｃ及び２４Ｂに収納された検査不
合格マスクをマスク搬送装置３１Ａによつて割込みマス
ク収納部２２Ｄに搬送するようにしたことにより、検査
不合格マスクを第２のマスク検査装置２４以降の工程又
は貼付け装置２５以降の工程に搬送する必要がなくなく
ると共に、検査合格マスクと検査不合格マスクとの選別
の手間を省くことができるので、検査不合格マスクを即
座に再処理し得ると共に、検査不合格マスクを容易に管
理することができる。
マスク検査装置２２及び２３にそれぞれ検査不合格マス
ク排出部２３Ｃ及び２４Ｂを設けると共に、マスク洗浄
装置２２に割込みマスク収納部２２Ｄを設けて、検査不
合格マスク排出部２３Ｃ及び２４Ｂに収納された検査不
合格マスクをマスク搬送装置３１Ａによつて割込みマス
ク収納部２２Ｄに搬送するようにしたことにより、検査
不合格マスクを第２のマスク検査装置２４以降の工程又
は貼付け装置２５以降の工程に搬送する必要がなくなく
ると共に、検査合格マスクと検査不合格マスクとの選別
の手間を省くことができるので、検査不合格マスクを即
座に再処理し得ると共に、検査不合格マスクを容易に管
理することができる。
【００７６】さらに上述の構成によれば、ペリクル検査
装置２７で検査されて検査合格ペリクルと判定されたペ
リクルを収納するペリクル収納装置２６を設けると共
に、ペリクル貼付け部２５Ａに第２のマスク検査装置２
４から検査合格マスクが搬送されたとき、ペリクル収納
装置２６から該検査合格マスクに対応するペリクルをペ
リクル貼付け部２５Ａに搬送するようにしたことによ
り、ペリクル貼付け装置２０における各処理工程を停止
させることなくマスクにペリクルを貼り付ける作業を行
うことができるので、ペリクル貼付け装置２０における
処理時間を大幅に低減することができる。
装置２７で検査されて検査合格ペリクルと判定されたペ
リクルを収納するペリクル収納装置２６を設けると共
に、ペリクル貼付け部２５Ａに第２のマスク検査装置２
４から検査合格マスクが搬送されたとき、ペリクル収納
装置２６から該検査合格マスクに対応するペリクルをペ
リクル貼付け部２５Ａに搬送するようにしたことによ
り、ペリクル貼付け装置２０における各処理工程を停止
させることなくマスクにペリクルを貼り付ける作業を行
うことができるので、ペリクル貼付け装置２０における
処理時間を大幅に低減することができる。
【００７７】さらに上述の構成によれば、マスク洗浄装
置２２に割込みマスク収納部２２Ｄ及び洗浄済割込みマ
スク排出部２２Ｅを設け、オペレータが該洗浄割込みマ
スクに対する処理の順番を指定することにより、マスク
に対して洗浄処理だけを実行することができるので、ペ
リクル貼付け装置２０としての有用性を一段と向上させ
ることができる。さらに上述の構成によれば、第１のマ
スク検査装置２３に検査割込みマスク収納部２３Ｄを設
けると共に、第２のマスク検査装置２４に検査割込みマ
スク排出部２４Ｃを設け、オペレータが該検査割込みマ
スクに対する処理の順番及び検査内容を指定することに
より、検査割込みマスクに対して検査内容に応じた検査
を行うことができるので、ペリクル貼付け装置２０の有
用性を一段と向上させることができる。
置２２に割込みマスク収納部２２Ｄ及び洗浄済割込みマ
スク排出部２２Ｅを設け、オペレータが該洗浄割込みマ
スクに対する処理の順番を指定することにより、マスク
に対して洗浄処理だけを実行することができるので、ペ
リクル貼付け装置２０としての有用性を一段と向上させ
ることができる。さらに上述の構成によれば、第１のマ
スク検査装置２３に検査割込みマスク収納部２３Ｄを設
けると共に、第２のマスク検査装置２４に検査割込みマ
スク排出部２４Ｃを設け、オペレータが該検査割込みマ
スクに対する処理の順番及び検査内容を指定することに
より、検査割込みマスクに対して検査内容に応じた検査
を行うことができるので、ペリクル貼付け装置２０の有
用性を一段と向上させることができる。
【００７８】さらに上述の構成によれば、貼付け装置２
５にペリクル貼付け割込みマスク収納部２５Ｃ及びペリ
クル付き割込みマスク排出部２５Ｄを設け、オペレータ
が該ペリクル貼付け割込みマスクに対する処理の順番を
指定することにより、マスクに対してペリクル貼付け処
理だけを実行することができるので、ペリクル貼付け装
置２０としての有用性を一段と向上させることができ
る。さらに上述の構成によれば、第１のペリクル付きマ
スク検査装置２８に検査割込みペリクル付きマスク収納
部２８Ｃを設けると共に、第２のペリクル付きマスク検
査装置２９に検査割込みペリクル付きマスク排出部２９
Ｄを設け、オペレータが検査割込みペリクル付きマスク
に対する処理の順番及び検査内容を指定することによ
り、検査割込みペリクル付きマスクに対して検査内容に
応じた検査を行うことができるので、ペリクル貼付け装
置２０の有用性を一段と向上させることができる。
５にペリクル貼付け割込みマスク収納部２５Ｃ及びペリ
クル付き割込みマスク排出部２５Ｄを設け、オペレータ
が該ペリクル貼付け割込みマスクに対する処理の順番を
指定することにより、マスクに対してペリクル貼付け処
理だけを実行することができるので、ペリクル貼付け装
置２０としての有用性を一段と向上させることができ
る。さらに上述の構成によれば、第１のペリクル付きマ
スク検査装置２８に検査割込みペリクル付きマスク収納
部２８Ｃを設けると共に、第２のペリクル付きマスク検
査装置２９に検査割込みペリクル付きマスク排出部２９
Ｄを設け、オペレータが検査割込みペリクル付きマスク
に対する処理の順番及び検査内容を指定することによ
り、検査割込みペリクル付きマスクに対して検査内容に
応じた検査を行うことができるので、ペリクル貼付け装
置２０の有用性を一段と向上させることができる。
【００７９】なお上述の実施例においては、ペリクル貼
付け装置２０を、ホストコンピユータ２１、マスク洗浄
装置２２、第１のマスク検査装置２３、第２のマスク検
査装置２４、貼付け装置２５、ペリクル収納装置２６、
ペリクル検査装置２７、第１のペリクル付きマスク検査
装置２８及び第２のペリクル付きマスク検査装置２９に
よつて構成した場合について述べたが、本発明はこれに
限らず、図１及び図２との対応部分に同一符号を付して
示す図３及び図４に示すように、ペリクル貼付け装置４
０を、ホストコンピユータ２１、マスク洗浄装置２２、
マスク検査装置４１、貼付け装置２５、ペリクル収納装
置２６、ペリクル検査装置２７及びペリクル付きマスク
検査装置４２によつて構成しても上述の実施例と同様の
効果を得ることができる。
付け装置２０を、ホストコンピユータ２１、マスク洗浄
装置２２、第１のマスク検査装置２３、第２のマスク検
査装置２４、貼付け装置２５、ペリクル収納装置２６、
ペリクル検査装置２７、第１のペリクル付きマスク検査
装置２８及び第２のペリクル付きマスク検査装置２９に
よつて構成した場合について述べたが、本発明はこれに
限らず、図１及び図２との対応部分に同一符号を付して
示す図３及び図４に示すように、ペリクル貼付け装置４
０を、ホストコンピユータ２１、マスク洗浄装置２２、
マスク検査装置４１、貼付け装置２５、ペリクル収納装
置２６、ペリクル検査装置２７及びペリクル付きマスク
検査装置４２によつて構成しても上述の実施例と同様の
効果を得ることができる。
【００８０】マスク検査装置４１は、ペリクル貼付け装
置２０の第２のマスク検査装置２４にマスク収納部２３
Ａ及び検査割込みマスク収納部２３Ｄが設けられて構成
されており、マスクに第２の異物が付着しているか否か
を検査する。またペリクル付きマスク検査装置４２は、
ペリクル貼付け装置２０の第２のペリクル付きマスク検
査装置２９に割込みペリクル付きマスク収納部２８Ｃ及
びペリクル付きマスク収納部２８Ａが設けられて構成さ
れており、ペリクル付きマスクに第２の異物が付着して
いるか否かを検査する。
置２０の第２のマスク検査装置２４にマスク収納部２３
Ａ及び検査割込みマスク収納部２３Ｄが設けられて構成
されており、マスクに第２の異物が付着しているか否か
を検査する。またペリクル付きマスク検査装置４２は、
ペリクル貼付け装置２０の第２のペリクル付きマスク検
査装置２９に割込みペリクル付きマスク収納部２８Ｃ及
びペリクル付きマスク収納部２８Ａが設けられて構成さ
れており、ペリクル付きマスクに第２の異物が付着して
いるか否かを検査する。
【００８１】またこのペリクル貼付け装置４０では、マ
スク検査装置４１の検査不合格マスク排出部２４Ｂとマ
スク洗浄装置２２の割込みマスク収納部２２Ｄとが搬送
路３１を介して接続されている。また貼付け装置２５の
ペリクル付きマスク排出部２５Ｂとペリクル付きマスク
検査装置４２のペリクル付きマスク収納部２８Ａとが搬
送路３３を介して接続されている。ここでマスク検査装
置４１及びペリクル付きマスク検査装置４２における検
査として、マスクに第１の異物が付着しているか否かを
検査するようにしてもよい。
スク検査装置４１の検査不合格マスク排出部２４Ｂとマ
スク洗浄装置２２の割込みマスク収納部２２Ｄとが搬送
路３１を介して接続されている。また貼付け装置２５の
ペリクル付きマスク排出部２５Ｂとペリクル付きマスク
検査装置４２のペリクル付きマスク収納部２８Ａとが搬
送路３３を介して接続されている。ここでマスク検査装
置４１及びペリクル付きマスク検査装置４２における検
査として、マスクに第１の異物が付着しているか否かを
検査するようにしてもよい。
【００８２】また上述の実施例においては、第１のマス
ク検査装置２３、第２のマスク検査装置２４、貼付け装
置２５、ペリクル収納装置２６及びペリクル検査装置２
７をそれぞれ１つのクリーンルームとした場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、第１のマスク検査装
置２３、第２のマスク検査装置２４、貼付け装置２５、
ペリクル収納装置２６及びペリクル検査装置２７を１つ
のクリーンルームとしたり、第１のマスク検査装置２３
及び第２の検査装置を１つのクリーンルームとすると共
に、ペリクル収納装置２６及びペリクル検査装置２７を
１つのクリーンルームとするなど、この他種々の組み合
わせでクリーンルームを構成するようにしてもよい。
ク検査装置２３、第２のマスク検査装置２４、貼付け装
置２５、ペリクル収納装置２６及びペリクル検査装置２
７をそれぞれ１つのクリーンルームとした場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、第１のマスク検査装
置２３、第２のマスク検査装置２４、貼付け装置２５、
ペリクル収納装置２６及びペリクル検査装置２７を１つ
のクリーンルームとしたり、第１のマスク検査装置２３
及び第２の検査装置を１つのクリーンルームとすると共
に、ペリクル収納装置２６及びペリクル検査装置２７を
１つのクリーンルームとするなど、この他種々の組み合
わせでクリーンルームを構成するようにしてもよい。
【００８３】さらに上述の実施例においては、ペリクル
貼付け装置としてペリクル収納装置２６、ペリクル検査
装置２７、第１のペリクル付きマスク検査装置２８及び
第２のペリクル付きマスク検査装置２９が設置されたペ
リクル貼付け装置２０を用いた場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、要は洗浄装置２２、第１の検査
装置２６又は第２の検査装置２７及び貼付け装置２５を
もつていれば、ペリクル貼付け装置としてこの他種々の
ペリクル貼付け装置を適用し得る。
貼付け装置としてペリクル収納装置２６、ペリクル検査
装置２７、第１のペリクル付きマスク検査装置２８及び
第２のペリクル付きマスク検査装置２９が設置されたペ
リクル貼付け装置２０を用いた場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、要は洗浄装置２２、第１の検査
装置２６又は第２の検査装置２７及び貼付け装置２５を
もつていれば、ペリクル貼付け装置としてこの他種々の
ペリクル貼付け装置を適用し得る。
【００８４】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、マスクを
洗浄手段によつて洗浄し、洗浄手段によつて洗浄された
マスクを第１のマスク搬送手段によつて第１の検査手段
に搬送し、第１の搬送手段によつて搬送されるマスクに
異物が付着しているか否かを第１の検査手段によつて検
査し、第１の検査手段によつて異物が付着していないと
判定したマスクを第２の搬送手段によつてペリクル貼付
け手段に搬送し、第２の搬送手段によつて搬送されるマ
スクにペリクル貼付け手段によつてペリクルを貼り付け
ることにより、洗浄手段から第１の検査手段へのマスク
の移動と、第１の検査手段からペリクル貼付け手段への
マスクの移動とを人手を介さずに行うことができる。従
つて洗浄手段から第１の検査手段にマスクを移動する際
に、該マスクに異物が付着することを確実に防止し得る
と共に、第１の検査手段からペリクル貼付け手段にマス
クを移動する際に、該マスクに異物が付着することを確
実に防止し得る。かくして歩留りを一段と向上し得るペ
リクル貼付け装置及びペリクル貼付け方法を実現するこ
とができる。
洗浄手段によつて洗浄し、洗浄手段によつて洗浄された
マスクを第１のマスク搬送手段によつて第１の検査手段
に搬送し、第１の搬送手段によつて搬送されるマスクに
異物が付着しているか否かを第１の検査手段によつて検
査し、第１の検査手段によつて異物が付着していないと
判定したマスクを第２の搬送手段によつてペリクル貼付
け手段に搬送し、第２の搬送手段によつて搬送されるマ
スクにペリクル貼付け手段によつてペリクルを貼り付け
ることにより、洗浄手段から第１の検査手段へのマスク
の移動と、第１の検査手段からペリクル貼付け手段への
マスクの移動とを人手を介さずに行うことができる。従
つて洗浄手段から第１の検査手段にマスクを移動する際
に、該マスクに異物が付着することを確実に防止し得る
と共に、第１の検査手段からペリクル貼付け手段にマス
クを移動する際に、該マスクに異物が付着することを確
実に防止し得る。かくして歩留りを一段と向上し得るペ
リクル貼付け装置及びペリクル貼付け方法を実現するこ
とができる。
【図１】実施例によるペリクル貼付け装置の一部概略構
成を示すブロツク図である。
成を示すブロツク図である。
【図２】実施例によるペリクル貼付け装置の一部概略構
成を示すブロツク図である。
成を示すブロツク図である。
【図３】他の実施例によるペリクル貼付け装置の一部概
略構成を示すブロツク図である。
略構成を示すブロツク図である。
【図４】他の実施例によるペリクル貼付け装置の一部概
略構成を示すブロツク図である。
略構成を示すブロツク図である。
【図５】従来のペリクル貼付け工程の流れの一例を示す
フローチヤートである。
フローチヤートである。
【図６】ペリクル貼付け工程の流れの一例を示すフロー
チヤートである。
チヤートである。
【図７】マスク収納ケースの構成の説明に供する略線図
である。
である。
２０、４０……ペリクル貼付け装置、２１……ホストコ
ンピユータ、２２……マスク洗浄装置、２２Ａ、２３Ａ
……マスク収納部、２２Ｂ……マスク洗浄部、２２Ｃ…
…洗浄済マスク収納部、２２Ｄ……割込みマスク収納
部、２２Ｅ……洗浄済割込みマスク排出部、２３……第
１のマスク検査装置、２３Ｂ、２４Ａ……マスク検査
部、２３Ｃ、２４Ａ……検査不合格マスク収納部、２３
Ｄ……検査割込みマスク収納部、２４……第２のマスク
検査装置、２４Ｃ……検査済割込みマスク排出部、２５
……貼付け装置、２５Ａ……ペリクル貼付け部、２５Ｂ
……ペリクル付きマスク排出部、２５Ｃ……ペリクル貼
付け割込みマスク収納部、２５Ｄ……ペリクル付き割込
みマスク排出部、２５Ｅ……ペリクル容器収納部、２６
……ペリクル収納装置、２６Ａ……ペリクル収納部、２
６Ｂ……ペリクル割込み収納部、２７……ペリクル検査
装置、２７Ａ……ペリクル収納部、２７Ｂ……ペリクル
検査部、２７Ｃ……検査不合格ペリクル収納部、２８…
…第３の検査装置、２８Ａ……ペリクル付きマスク収納
部、２８Ｂ、２９Ａ……ペリクル付きマスク検査部、２
８Ｃ……割込みペリクル付きマスク収納部、２９……第
４の検査装置、２９Ｂ……検査不合格ペリクル付きマス
ク収納部、２９Ｃ……検査終了ペリクル付きマスク収納
部、３０、３１、３３……搬送路、３０Ａ、３１Ａ、３
２……マスク搬送装置、３４……ペリクル搬送装置、３
５……ペリクル付きマスク搬送装置、４１……マスク検
査装置、４２……ペリクル付きマスク検査装置。
ンピユータ、２２……マスク洗浄装置、２２Ａ、２３Ａ
……マスク収納部、２２Ｂ……マスク洗浄部、２２Ｃ…
…洗浄済マスク収納部、２２Ｄ……割込みマスク収納
部、２２Ｅ……洗浄済割込みマスク排出部、２３……第
１のマスク検査装置、２３Ｂ、２４Ａ……マスク検査
部、２３Ｃ、２４Ａ……検査不合格マスク収納部、２３
Ｄ……検査割込みマスク収納部、２４……第２のマスク
検査装置、２４Ｃ……検査済割込みマスク排出部、２５
……貼付け装置、２５Ａ……ペリクル貼付け部、２５Ｂ
……ペリクル付きマスク排出部、２５Ｃ……ペリクル貼
付け割込みマスク収納部、２５Ｄ……ペリクル付き割込
みマスク排出部、２５Ｅ……ペリクル容器収納部、２６
……ペリクル収納装置、２６Ａ……ペリクル収納部、２
６Ｂ……ペリクル割込み収納部、２７……ペリクル検査
装置、２７Ａ……ペリクル収納部、２７Ｂ……ペリクル
検査部、２７Ｃ……検査不合格ペリクル収納部、２８…
…第３の検査装置、２８Ａ……ペリクル付きマスク収納
部、２８Ｂ、２９Ａ……ペリクル付きマスク検査部、２
８Ｃ……割込みペリクル付きマスク収納部、２９……第
４の検査装置、２９Ｂ……検査不合格ペリクル付きマス
ク収納部、２９Ｃ……検査終了ペリクル付きマスク収納
部、３０、３１、３３……搬送路、３０Ａ、３１Ａ、３
２……マスク搬送装置、３４……ペリクル搬送装置、３
５……ペリクル付きマスク搬送装置、４１……マスク検
査装置、４２……ペリクル付きマスク検査装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０３Ｅ ５０３Ｇ
Claims (30)
- 【請求項１】所定の回路パターンが形成されたマスクに
ペリクルを貼り付けるペリクル貼付け装置において、 前記マスクを洗浄する洗浄手段と、 前記洗浄手段によつて洗浄された前記マスクを搬送する
第１のマスク搬送手段と、 前記第１のマスク搬送手段によつて搬送される前記マス
クに異物が付着しているか否かを検査する第１の検査手
段と、 前記第１の検査手段において前記異物が付着していない
と判定されたマスクを搬送する第２のマスク搬送手段
と、 前記第２のマスク搬送手段によつて搬送される前記マス
クにペリクルを貼り付けるペリクル貼付け手段とを具え
ることを特徴とするペリクル貼付け装置。 - 【請求項２】前記第１の検査手段は、 前記異物が付着していると判定した前記マスクを検査不
合格マスクとして収納する検査不合格マスク収納手段を
具えることを特徴とする請求項１に記載のペリクル貼付
け装置。 - 【請求項３】前記洗浄手段は、 前記検査不合格マスク収納手段から搬送される前記検査
不合格マスクを収納する検査不合格マスク収納手段を具
えることを特徴とする請求項２に記載のペリクル貼付け
装置。 - 【請求項４】前記検査不合格マスク収納手段に収納され
た前記検査不合格マスクを、前記洗浄手段の前記検査不
合格マスク収納手段に搬送する第３のマスク搬送手段を
具えることを特徴とする請求項３に記載のペリクル貼付
け装置。 - 【請求項５】前記洗浄手段は、 前記洗浄手段による洗浄処理だけが行われるマスクを割
込みマスクとして収納する第１のマスク収納手段と、 前記洗浄手段によつて前記洗浄された前記割込みマスク
を収納する第２のマスク収納手段とを具えることを特徴
とする請求項１に記載のペリクル貼付け装置。 - 【請求項６】前記第１の検査手段は、 該第１の検査手段による検査だけが行われるマスクを検
査割込みマスクとして収納する第１のマスク収納手段
と、 前記第１の検査手段によつて前記検査がなされた前記検
査割込みマスクを収納する第２のマスク収納手段とを具
えることを特徴とする請求項１に記載のペリクル貼付け
装置。 - 【請求項７】前記第１の検査手段は、 前記異物の種類に応じた複数の検査手段を具え、前記第
１の検査手段は、前記複数の検査手段によつて前記マス
クに前記異物が付着しているか否かを検査することを特
徴とする請求項１に記載のペリクル貼付け装置。 - 【請求項８】前記ペリクル貼付け手段は、 該ペリクル貼付け手段によるペリクル貼付け処理だけが
行われるマスクをペリクル貼付け割込みマスクとして収
納する第１のマスク収納手段と、 前記ペリクル貼付け手段によつて前記ペリクルが貼り付
けられた前記ペリクル貼付け割込みマスクを収納する第
２のマスク収納手段とを具えることを特徴とする請求項
１に記載のペリクル貼付け装置。 - 【請求項９】前記ペリクル貼付け手段によつて前記ペリ
クルが貼り付けられたペリクル付きマスクに前記異物が
付着しているか否かを検査する第２の検査手段を具える
ことを特徴とする請求項１に記載のペリクル貼付け装
置。 - 【請求項１０】前記ペリクル付きマスクを前記第２の検
査手段に搬送するペリクル付きマスク搬送手段を具える
ことを特徴とする請求項９に記載のペリクル貼付け装
置。 - 【請求項１１】前記第２の検査手段は、 該第２の検査手段による検査だけが行われるペリクル付
きマスクを収納する第１のペリクル付きマスク収納手段
と、 前記第２の検査手段によつて前記検査がなされた前記ペ
リクル付きマスクを収納する第２のペリクル付きマスク
収納手段とを具えることを特徴とする請求項９に記載の
ペリクル貼付け装置。 - 【請求項１２】前記第２の検査手段は、 前記異物の種類に応じた複数の検査手段を具え、前記第
２の検査手段は、前記複数の検査手段によつて前記ペリ
クル付きマスクに前記異物が付着しているか否かを検査
することを特徴とする請求項９に記載のペリクル貼付け
装置。 - 【請求項１３】前記ペリクルに異物が付着しているか否
かを検査するペリクル検査手段と、 前記ペリクル検査手段によつて前記異物が付着していな
いと判定されたペリクルを前記ペリクル貼付け手段に搬
送するペリクル搬送手段とを具えることを特徴とする請
求項１に記載のペリクル貼付け装置。 - 【請求項１４】前記ペリクル検査手段によつて前記異物
が付着していないと判定された前記ペリクルを収納する
ペリクル収納手段を具え、前記ペリクル搬送手段は、前
記ペリクル貼付け手段からの要求に応じて前記ペリクル
収納手段に収納された前記ペリクルを前記ペリクル貼付
け手段に搬送することを特徴とする請求項１３に記載の
ペリクル貼付け装置。 - 【請求項１５】前記ペリクル貼付け手段は、 該ペリクル貼付け手段によるペリクル貼付け処理だけが
行われるマスクをペリクル貼付け割込みマスクとして収
納する第１のマスク収納手段と、 前記ペリクル貼付け手段によつて前記ペリクルが貼り付
けられた前記ペリクル貼付け割込みマスクを収納する第
２のマスク収納手段とを具え、 前記ペリクル収納手段は、 前記ペリクル貼付け手段の前記第１のマスク収納手段に
収納された前記ペリクル貼付け割込みマスクに応じたペ
リクルを割込みペリクルとして収納する割込みペリクル
収納手段を具え、前記ペリクル搬送手段は、前記ペリク
ル貼付け手段の前記第１のペリクル収納手段に前記ペリ
クル貼付け割込みマスクが収納された際、該ペリクル貼
付け割込みマスクに応じた前記割込みペリクルを前記割
込みペリクル収納手段から前記ペリクル貼付け手段に搬
送することを特徴とする請求項１４に記載のペリクル貼
付け装置。 - 【請求項１６】前記洗浄手段、第１のマスク搬送手段、
第１の検査手段、第２のマスク搬送手段、第２の検査手
段及びペリクル貼付け手段は、それぞれ所定の清浄度に
維持されたクリーンルーム内に設置されていることを特
徴とする請求項１に記載のペリクル貼付け装置。 - 【請求項１７】所定の回路パターンが形成されたマスク
にペリクルを貼り付けるペリクル貼付け方法において、 前記マスクを洗浄手段によつて洗浄する洗浄工程と、 前記洗浄手段によつて洗浄された前記マスクを第１のマ
スク搬送手段によつて第１の検査手段に搬送する第１の
マスク搬送工程と、 前記第１のマスク搬送手段によつて搬送される前記マス
クに異物が付着しているか否かを前記第１の検査手段に
よつて検査する第１の検査工程と、 前記第１の検査手段によつて検査された前記マスクを第
２のマスク搬送手段によつてペリクル貼付け手段に搬送
する第２のマスク搬送工程と、 前記第２のマスク搬送手段によつて搬送される前記マス
クに前記ペリクル貼付け手段によつて前記ペリクルを貼
り付けるペリクル貼付け工程とを具えることを特徴とす
るペリクル貼付け方法。 - 【請求項１８】前記第１の検査工程は、 前記異物が付着していると判定した前記マスクを検査不
合格マスクとして前記第１の検査手段の検査不合格マス
ク収納手段に収納する検査不合格マスク収納工程を具え
ることを特徴とする請求項１７に記載のペリクル貼付け
方法。 - 【請求項１９】前記検査不合格マスク収納手段に収納さ
れた前記検査不合格マスクを第３のマスク搬送手段によ
つて前記洗浄手段の第１のマスク収納手段に搬送する第
３のマスク搬送工程を具え、前記洗浄工程は、前記第１
のマスク収納手段に収納された前記検査不合格マスクを
洗浄することを特徴とする請求項１７に記載のペリクル
貼付け方法。 - 【請求項２０】前記洗浄工程は、 前記洗浄手段による洗浄処理だけが行われるマスクが洗
浄割込みマスクとして前記洗浄手段の第１のマスク収納
手段に収納された際、該洗浄割込みマスクを前記洗浄手
段によつて洗浄した後、該洗浄後の洗浄割込みマスクを
前記洗浄手段の第２のマスク収納手段に収納する洗浄割
込みマスクの洗浄工程を具えることを特徴とする請求項
１７に記載のペリクル貼付け方法。 - 【請求項２１】前記第１の検査工程は、 該第１の検査工程による検査だけが行われるマスクが検
査割込みマスクとして前記第１の検査手段の第１のマス
ク収納手段に収納された際、該検査割込みマスクを前記
第１の検査手段によつて検査した後、該検査後の検査割
込みマスクを前記第１の検査手段の第２のマスク収納手
段に収納する検査割込みマスクの検査工程を具えること
を特徴とする請求項１７に記載のペリクル貼付け方法。 - 【請求項２２】前記第１の検査工程は、 前記異物の種類に応じた複数の検査工程を具え、前記第
１の検査工程は、前記複数の検査工程によつて前記マス
クに前記異物が付着しているか否かを検査することを特
徴とする請求項１７に記載のペリクル貼付け方法。 - 【請求項２３】前記ペリクル貼付け工程は、 該ペリクル貼付け工程によるペリクル貼り付処理だけが
行われるマスクがペリクル貼付け割込みマスクとして前
記ペリクル貼付け手段の第１のマスク収納手段に収納さ
れた際、該ペリクル貼付け割込みマスクに前記ペリクル
貼付け手段によつて前記ペリクルを貼り付けた後、該ペ
リクル貼付け後のペリクル貼付け割込みマスクを前記ペ
リクル貼付け手段の第２のマスク収納手段に収納するペ
リクル貼付け割込みマスクのペリクル貼付け工程を具え
ることを特徴とする請求項１７に記載のペリクル貼付け
方法。 - 【請求項２４】前記ペリクル貼付け工程において前記ペ
リクルが貼り付けられたペリクル付きマスクに前記異物
が付着しているか否かを第２の検査手段によつて検査す
る第２の検査工程を具えることを特徴する請求項１７に
記載のペリクル貼付け方法。 - 【請求項２５】前記ペリクル付きマスクを前記第２の検
査手段に搬送するペリクル付きマスク搬送工程を具える
ことを特徴とする請求項２４に記載のペリクル貼付け方
法。 - 【請求項２６】前記第２の検査工程は、 該第２の検査工程による検査だけが行われるペリクル付
きマスクが検査割込みペリクル付きマスクとして前記第
２の検査手段の第１のペリクル付きマスク収納手段に収
納された際、該検査割込みペリクル付きマスクに前記異
物が付着しているか否かを検査した後、該検査後の検査
割込みペリクル付きマスクを前記第２の検査手段の第２
のペリクル付きマスク収納手段に収納する検査割込みマ
スクの検査工程を具えることを特徴とする請求項２４に
記載のペリクル貼付け方法。 - 【請求項２７】前記第２の検査工程は、 前記異物の種類に応じた複数の検査工程を具え、前記第
２の検査工程は、前記複数の検査工程によつて前記ペリ
クル付きマスクに前記異物が付着しているか否かを検査
することを特徴とする請求項２４に記載のペリクル貼付
け方法。 - 【請求項２８】前記ペリクルに異物が付着しているか否
かをペリクル検査手段によつて検査するペリクル検査工
程と、 前記ペリクル検査手段によつて前記異物が付着していな
いと判定されたペリクルを前記ペリクル貼付け手段に搬
送するペリクル搬送工程とを具えることを特徴とする請
求項１７に記載のペリクル貼付け方法。 - 【請求項２９】前記ペリクル検査工程は、 前記ペリクル検査手段によつて前記異物が付着していな
いと判定された前記ペリクルを第１のペリクル収納手段
に収納するペリクル収納工程を具え、前記ペリクル搬送
工程は、前記ペリクル貼付け手段からの要求に応じて前
記第１のペリクル収納手段に収納された前記ペリクルを
前記ペリクル貼付け手段に搬送することを特徴とする請
求項２８に記載のペリクル貼付け方法。 - 【請求項３０】前記ペリクル搬送工程は、 前記ペリクル貼付け工程によるペリクル貼り付処理だけ
が行われるペリクル貼付け割込みマスクが前記ペリクル
貼付け手段の第１のマスク収納手段に収納された際、該
ペリクル貼付け割込みマスクに応じたペリクルを収納す
る第２のペリクル収納手段から該ペリクルを前記ペリク
ル貼付け手段に搬送するペリクル貼付け割込みマスクの
ペリクル搬送工程を具えることを特徴とする請求項２８
に記載のペリクル貼付け方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14843996A JPH09304918A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | ペリクル貼付け装置及びペリクル貼付け方法 |
| US08/857,560 US5888327A (en) | 1996-05-17 | 1997-05-16 | Pellicle pasting system and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14843996A JPH09304918A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | ペリクル貼付け装置及びペリクル貼付け方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304918A true JPH09304918A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=15452826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14843996A Pending JPH09304918A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | ペリクル貼付け装置及びペリクル貼付け方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5888327A (ja) |
| JP (1) | JPH09304918A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005010700A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-13 | Toppan Printing Co Ltd | 露光用原板の検査装置及び検査方法 |
| JP2006030947A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Toppan Chunghwa Electronics Co Ltd | 半導体部品の洗浄方法及びその装置 |
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|---|---|---|---|---|
| US5938860A (en) | 1997-08-28 | 1999-08-17 | Micron Technology, Inc. | Reticle cleaning without damaging pellicle |
| US6264773B1 (en) * | 1998-09-01 | 2001-07-24 | Mark Damian Cerio | Apparatus and method for temporary and permanent attachment of pellicle frame to photomask substrate |
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