JPH09308978A - テーブル移動誤差測定装置およびテーブル移動誤差測定装置を有するレーザ加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テーブルに回転が生じた場合においても、テ
ーブルの移動に伴う被処理物に対する処理位置の移動誤
差を正確に測定することができるテーブル移動誤差測定
装置およびテーブル移動誤差測定装置を有するレーザ加
工装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 画像記録装置は、装置本体２２に対して
Ｙ方向に往復移動可能なテーブル２３と、架台２４上を
Ｘ方向に往復移動する記録ヘッド２５とを備える。記録
ヘッド２５には、感光材料２６に画像を記録するための
光学系３６が配設されている。また、テーブル２３の下
方には、移動誤差測定用のレーザ光源３３が付設されて
おり、装置本体２２上には、このレーザ光源３３から出
射されるレーザビーム１をの位置を検出するＣＣＤ３７
が固設されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、一方向に往復移
動するテーブルの移動誤差を測定するテーブル移動誤差
測定装置およびこのテーブル移動誤差測定装置を有する
レーザ加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、レーザ描画装置や画像読取装置
など、処理部により、テーブル上に載置された被処理物
に対して加工を行ったり物体の状態を測定する等の処理
を行う装置においては、テーブルを精度よく一方向に移
動させる必要がある。このため、この種の装置において
は、テーブルの移動に伴って発生するテーブルの移動方
向に対する真直度の誤差（以下「移動誤差」という）を
測定することが行われる。

【０００３】このようなテーブルの移動誤差を測定する
ための手法として、従来、ツーリングレーザ法と称され
る手法が提案されている（書籍「精密加工と計測２」光
学工業技術協会発行第４６頁）。この手法は、固定部に
固定されたレーザ光源から、テーブルの移動方向と平行
な方向にレーザビームを出射するとともに、テーブルに
レーザ光源から照射されるレーザビームを検出する検出
器を付設し、テーブルを一方向に移動させた場合のテー
ブルの移動距離と検出器により検出されるレーザビーム
の位置との関係から、テーブルの移動方向の変位に対応
した移動誤差を測定するものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このツーリングレーザ
法においては、レーザビームを検出する検出器をテーブ
ルに付設し、これをテーブルと共に移動させる構成であ
るため、テーブルの移動に伴い、処理部による被処理物
への処理位置と検出器とが離隔することから、テーブル
に回転が生じた場合に、被処理物への処理位置の位置検
出の精度が劣化するという問題点がある。これにつき、
図６に基づいて説明する。

【０００５】図６（ａ）において、２はＹ方向に往復移
動するテーブルであり、その一端には、レーザ光源３か
らＹ方向に出射されるレーザビーム４を検出するための
検出器５が付設されている。図６（ａ）に示す点６は、
検出器５によるレーザビーム４の検出位置である。ま
た、図６（ａ）に示す点７は、テーブル２上に載置され
た被処理物に対する処理位置である。図６（ａ）に示す
点８は、テーブル２の短辺と点７からテーブル２の短辺
に下ろした垂線との交点である。テーブル移動誤差測定
の本来の目的は、この処理位置の位置誤差を測定するこ
とにある。図６（ａ）に示す状態においては、レーザビ
ーム４の出射方向とテーブル２の長辺方向（Ｙ）とが一
致しており、処理位置７はテーブル２の一端からＹ方向
に距離Ａ、また、レーザビーム４の照射位置からＸ方向
に距離Ｂだけ離隔している。すなわち、点８を検出器５
の原点とすると、検出器５による検出値はＢである。

【０００６】この状態において、図６（ｂ）に示すよう
にテーブル２が角度θだけ回転した場合、検出器５によ
る検出値は図６（ｂ）に示すＬ１＋Ｌ２に変化する。こ
の値は次の式（１）で表される。

【０００７】 Ｌ１＋Ｌ２＝（Ａ＋Ｂｓｉｎθ）ｔａｎθ＋Ｂｃｏｓθ・・・（１）

【０００８】上記式（１）のうちｓｉｎθとｔａｎθと
の積は極めて小さい値であるため、上記式（１）は近似
的に次の式（２）として表すことができる。

【０００９】 Ｌ１＋Ｌ２＝Ａｔａｎθ＋Ｂｃｏｓθ・・・（２）

【００１０】そして、下記の式（３）に示すように、こ
の値から距離Ｂを減算した値が、測定誤差Ｄ１となる。

【００１１】 Ｄ１＝Ａｔａｎθ＋Ｂ（ｃｏｓθ−１）・・・（３）

【００１２】角度θが例えば１°程度の極めて小さい値
である場合、上記式（３）における（ｃｏｓθ−１）の
値は極めて小さいため、これを無視することができる
が、ｔａｎθの値は（ｃｏｓθ−１）の１００倍程度で
り、また距離Ａはテーブル２のストロークに応じて決定
される値であるため、上記測定誤差Ｄ１はテーブル２の
移動誤差測定時の測定結果に大きな影響を及ぼすことに
なる。

【００１３】この発明は上記課題を解決するためになさ
れたものであり、テーブルに回転が生じた場合において
も、テーブルの移動に伴う被処理物に対する処理位置の
移動誤差を正確に測定することができるテーブル移動誤
差測定装置およびテーブル移動誤差測定装置を有するレ
ーザ加工装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、被処理物を載置して一方向に往復移動するテーブル
と、前記テーブルに載置された被処理物に対して処理を
行う処理部と、前記テーブルに付設されることにより前
記テーブルと同期して一方向に往復移動するとともに、
前記テーブルの移動方向と略平行な方向にレーザビーム
を出射するレーザ光源と、前記テーブルの移動方向に対
して前記処理部による前記被処理物に対する処理位置と
略同一の座標位置に固定され、前記レーザビームから照
射されるレーザビームの位置を検出することにより前記
テーブルの移動誤差を測定する検出手段とを備えたこと
を特徴とする。

【００１５】請求項２に記載の発明は、被処理物を載置
して一方向に往復移動するテーブルと、前記テーブルに
載置された被処理物に対して加工用のレーザ光源からレ
ーザビームを照射することにより、前記被処理物に対し
てレーザ加工を施すレーザ加工手段と、前記テーブルに
付設されることにより前記テーブルと同期して一方向に
往復移動するとともに、前記テーブルの移動方向と略平
行な方向にレーザビームを出射する移動誤差測定用のレ
ーザ光源と、前記テーブルの移動方向に対して前記レー
ザ加工手段により前記被処理物に対してレーザ加工を行
う加工位置と略同一の座標位置に固定され、前記移動誤
差測定用のレーザ光源から照射されるレーザビームの位
置を検出することにより前記テーブルの移動誤差を測定
する検出手段とを備えたことを特徴とする。

【００１６】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記レーザ加工手段は、前記テーブル
に対し当該テーブルの移動方向と直交する方向に相対的
に移動する。

【００１７】請求項４に記載の発明は、請求項２または
３いずれかに記載の発明において、前記検出手段の検出
値に基づいて前記被処理物に対する前記レーザ加工手段
からのレーザビームの照射位置を補正する。

【００１８】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の発明において、前記検出手段の検出値に基づいて前記
テーブルの移動方向と前記移動誤差測定用のレーザ光源
から出射されるレーザビームの出射方向との角度誤差を
判定し、この判定値と前記検出手段の検出値とに基づい
て前記被処理物に対するレーザビームの照射位置を補正
する。

【００１９】なお、この明細書で述べる「処理」とは、
被処理物に対して加工等を行うような物理的変化を生じ
させる工程のみならず、被処理物に対して測定、読取等
を行うような被処理物に物理的変化を生じさせない工程
をも含む。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図面
に基づいて説明する。

【００２１】先ず、この発明の基本的な考え方につい
て、図５に基づいて説明する。

【００２２】図５（ａ）において、１２はＹ方向に往復
移動するテーブルであり、その一端にはＹ方向にレーザ
ビーム１４を出射するレーザ光源１３が付設されてい
る。図５（ａ）に示す点１７は、テーブル１２上に載置
された被処理物に対する処理位置である。また、テーブ
ル１２の下方において、Ｙ方向に対して前記処理位置１
７と同一の座標位置には、レーザ光源１３からＹ方向に
出射されるレーザビーム１４を検出するための検出器１
５が固設されている。図５（ａ）に示す点１６は、検出
器１５によるレーザビーム１４の検出位置である。図５
（ａ）に示す状態においては、図６（ａ）の場合と同
様、レーザビーム１４の出射方向とテーブル１２の長辺
方向（Ｙ）とが一致しており、処理位置１７はテーブル
１２の一端からＹ方向に距離Ａ、また、レーザビーム１
４の照射位置からＸ方向に距離Ｂだけ離隔している。す
なわち、点１７を検出器１５の原点とすると、検出器１
５による検出値はＢである。

【００２３】この状態において、図５（ｂ）に示すよう
にテーブル１２が角度θだけ回転した場合、検出器１５
による検出値は図５（ｂ）に示すＬ３に変化する。この
値は次の式（４）で表される。

【００２４】Ｌ３＝Ｂ（１／ｃｏｓθ）・・・（４）

【００２５】そして、下記の式（５）に示すように、こ
の値から距離Ｂを減算した値が、測定誤差Ｄ２となる。

【００２６】 Ｄ２＝Ｂ［（１／ｃｏｓθ）−１］・・・（５）

【００２７】上記式（５）から明らかなように、測定誤
差Ｄ２はテーブル１２のＹ方向の座標位置にかかわらず
一定となる。また、角度θの値が極めて小さい場合ｃｏ
ｓθは１に極めて近いことから、たとえＢが一定の値を
有した場合であっても、上記測定誤差Ｄ２はテーブルの
移動誤差測定時の測定結果に影響を及ぼす程の値とはな
らない。

【００２８】前述したツーリングレーザ法による測定誤
差Ｄ１を示す式（３）と上記式（５）とを比較した場
合、角度θが例えば１°程度であれば、前述した式
（３）におけるｔａｎθは上記式（５）における［（１
／ｃｏｓθ）−１］の１００倍程度の値であるため、上
述した距離Ａと距離Ｂとが同程度であると考えれば、本
発明によれば、その測定誤差Ｄ２を従来のツーリングレ
ーザ法による測定誤差Ｄ１の約１／１００とすることが
可能となることが理解される。

【００２９】次に、この発明を、感光材料に対してレー
ザビームを照射することにより、感光材料に画像を記録
する画像記録装置に適用した場合の実施形態について説
明する。図１は画像記録装置の斜視図であり、図２はそ
の側面概要図である。

【００３０】この画像記録装置は、石定盤により構成さ
れる装置本体２２と、装置本体２２に対してＹ方向に往
復移動可能なテーブル２３と、装置本体２２に架設され
た架台２４上をＸ方向に往復移動する記録ヘッド２５と
を備える。

【００３１】テーブル２３上には、感光剤が塗布された
ガラス製の乾板からなる感光材料２６が載置されてい
る。このテーブル２３は同期ベルト２７を介してＹ軸駆
動モータ２８と連結されており、Ｙ方向に延びる一対の
エアガイド２９に案内されることにより図１に示すＹ方
向に往復移動する構成となっている。そして、テーブル
２３のＹ方向の位置は、図１および図２においては図示
を省略したＹ軸測長器により計測されている。また、テ
ーブル２３の下方には、移動誤差測定用のレーザ光源３
３が支持部材３２を介して付設されている。このレーザ
光源３３は、テーブル２３の下方において、テーブル２
３の移動方向であるＹ方向とほぼ平行な方向にレーザビ
ーム１を出射する。

【００３２】記録ヘッド２５は、ボールネジ３４を介し
てＸ軸駆動モータ３５と連結されており、Ｘ軸駆動モー
タ３５の駆動により図１に示すＸ方向に往復移動する。
そして、記録ヘッド２５のＸ方向の位置は、図１および
図２においては図示を省略したＸ軸測長器により計測さ
れている。また、記録ヘッド２５には、感光材料２６に
画像を記録するための光学系３６が配設されている。

【００３３】この光学系３６は、画像記録用のレーザ光
源４２と、レーザ光源４２から出射された画像記録用の
レーザビーム１１を変調するためのＡＯＭ（音響光学変
調器）４３と、ＡＯＭ４３により変調されたレーザビー
ム１１をＸ方向に微少な角度だけ偏向させるＡＯＤ（音
響光学偏向器）４４と、対物レンズ４５と、その他のレ
ンズおよび折返しミラーとから構成されている。

【００３４】装置本体２２上には、移動誤差測定用のレ
ーザ光源３３から出射されるレーザビーム１を検出する
ための検出器としての一次元のＣＣＤ （Charge-Couple
d Device）３７が固設されている。レーザ光源３３から
出射されるレーザビーム１は、通常ガウス分布をなすた
め、ＣＣＤ３７によりレーザビーム１の光量の重心位置
を測定することで、レーザビーム１の位置を検出するこ
とができる。

【００３５】このＣＣＤ３７のＹ方向の座標位置は、前
記光学系３６による感光材料２６へのレーザビーム１１
の照射位置とほぼ同一の座標位置となっている。このと
き、このＣＣＤ３７は、テーブル２３の下方に設置され
ているため、光学系３６による感光材料２６への画像記
録やテーブル２３に対する感光材料２６の搬出入の支障
となることはない。なお、ＣＣＤ３７に換えて、ＰＳＤ
（ Position SensingDevice）等の検出器を使用しても
よい。

【００３６】図３は、図１および図２に示す画像記録装
置の電気的構成を示すブロック図である。この画像記録
装置は、ＣＰＵ５２と、ＲＯＭ５３と、ＲＡＭ５４とを
有する制御部５５を備える。ＣＰＵ５２は、前述したＣ
ＣＤ３７と、Ｙ軸測長器５６と、Ｘ軸測長器５７とに接
続されている。また、ＣＰＵ５２は、前述した画像記録
用のレーザビーム１１を変調するためのＡＯＭ４３を制
御するＡＯＭ制御部５８とも接続されている。このＡＯ
Ｍ制御部５８は、画像メモリ５９より出力される画像信
号を受け、ＡＯＭ４３の変調を制御する。

【００３７】上述した画像記録装置において感光材料２
６に画像を記録する際には、感光材料２６を載置したテ
ーブル２３を原点側からＹ方向（副走査方向）に一定速
度で移動させながら、ＡＯＭ４３により変調されたレー
ザビーム１１をＡＯＤ４４により偏向させることによ
り、対物レンズ４５を介して感光材料２６に照射される
レーザビーム１１をＸ方向（主走査方向）に例えば数ミ
リメートルの走査幅で往復走査させる。そして、テーブ
ル２３がストローク端部まで移動すれば、テーブル２３
を原点側に復帰させると共に、記録ヘッド２５を前記走
査幅と同一距離だけＸ方向に移動させる。そして、再度
テーブル２３をＹ方向に一定速度で移動させると共に、
ＡＯＭ４３により変調されたレーザビーム１１をＡＯＤ
４４により走査させる。この動作を繰り返すことによ
り、感光材料２６の全面に必要な画像が記録される。

【００３８】次に、上述した画像記録装置により、テー
ブル２３の移動誤差を測定すると共に、画像記録時に、
この測定値に基づいて感光材料２６に対するレーザビー
ム１１の照射位置を補正する動作について説明する。

【００３９】先ず、移動誤差測定用のレーザ光源３３を
点灯し、レーザビーム１をＹ方向に出射させる。この状
態において、テーブル２３をＹ方向に移動させると共
に、レーザビーム１の位置をＣＣＤ３７により測定す
る。そして、ＣＣＤ３７により測定されたレーザビーム
１の位置データと、Ｙ軸測長器５６により測定されたテ
ーブル２３のＹ座標値のデータとを対応づけて、制御部
５５のＲＡＭ５４に記憶する。これにより、テーブル２
３のＹ方向への移動に伴う移動誤差が測定される。

【００４０】次に、レーザビーム１の出射方向とテーブ
ル２３の移動方向との角度誤差の補正を行う。すなわ
ち、移動誤差測定用のレーザ光源３３から出射されるレ
ーザビーム１の出射方向とテーブル２３の移動方向とが
正確に一致しない場合には、テーブル２３が正確に移動
した場合においても、テーブル２３の移動に伴いＣＣＤ
３７により測定される位置のデータが変化することにな
ることから、これを補正するものである。

【００４１】この角度誤差の補正は次のようにして行
う。すなわち、図４（ａ）に示すように、先に制御部５
５のＲＡＭ５４に記憶したデータに基づき、テーブル２
３のＹ座標値と、その時のＣＣＤ３７により測定したレ
ーザビーム１の光量の重心位置（すなわちレーザビーム
１の位置）との関連を示す曲線６２を求める。そして、
この曲線６２の近似直線６３を求める。なお、この近似
直線６３の傾きは、テーブル２３の移動方向とレーザ光
源３３より出射されるレーザビーム１の出射方向との角
度誤差により生ずるものである。この近似直線６３を求
める場合には、例えば最小二乗法等の周知の手法を採用
することができる。そして、図４（ｂ）に示すように、
曲線６２の近似直線６３からの偏差を示す曲線６４を求
め、テーブル２３のＹ座標値に応じた偏差を制御部５５
のＲＡＭ５４に記憶する。これにより、レーザビーム１
の出射方向とテーブル２３の移動方向との角度誤差を補
正することができる。

【００４２】続いて、感光材料２６に対する画像の記録
を行う。感光材料２６を載置したテーブル２３をＹ方向
に一定速度で移動させながら、ＡＯＭ４３により変調さ
れたレーザビーム１１をＡＯＤ４４により偏向させ感光
材料２６に照射する。このとき、テーブル２３のＹ座標
値をＹ軸測長器５６により測定し、このＹ座標値に対応
した偏差をＲＡＭ５４から読み出す。そして、読み出し
た偏差に基づき、感光材料２６に照射するレーザビーム
１の照射位置をテーブル２３の移動誤差を打ち消す方向
に移動させる。

【００４３】より具体的には、ＡＯＤ４４によるレーザ
ビーム１の主走査幅を実際の画像の記録に必要な幅より
大きい値に設定しておくと共に、テーブル２３のＹ座標
値に応じた偏差をＲＡＭ５４から読み出し、ＡＯＭ制御
部５８を制御することにより、ＡＯＭ４３の変調開始タ
イミングを読み出した偏差に応じて、ＡＯＤ４４による
１回の主走査ごとに変更する。これにより、感光材料２
３に照射されるレザービーム１は、先に求めた偏差、即
ちテーブル２３の移動誤差に応じて、Ｘ方向にシフトす
ることになる。従って、テーブル２３の移動誤差に伴
い、感光材料２３に記録される画像の精度が劣化するこ
とを防止することが可能となる。

【００４４】なお、上述した画像記録装置においては、
画像の記録に伴い、記録ヘッド２５がＸ方向に移動する
ことから、感光材料２６に対する記録位置とＣＣＤ３７
の位置とがＸ方向に離隔することになる。しかしなが
ら、このような状態でテーブル２３に回転方向の位置ず
れが生じたとしても、上述した式（５）に示すように、
レーザビーム１の照射位置と感光材料２６に対する記録
位置とのＸ方向の距離は測定誤差にほとんど影響を与え
ないことから、記録ヘッド２５のＸ方向への移動が問題
となることはない。

【００４５】上述した実施の形態においては、被処理物
として感光材料を使用し、この感光材料に対しレーザビ
ームにより画像を記録するというレーザ加工を行う場合
について説明したが、この発明はこれに限定されるもの
ではない。特に、請求項１に記載の発明は、レーザ加工
に限らず、一方向に移動するテーブル上に載置した被処
理物に対し、例えば記録や加工、あるいは読取や測定等
の何らかの処理を行う装置等において、テーブルの移動
誤差を測定する場合に広く利用することができる。

【００４６】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、テーブ
ルの移動方向に対して被処理物に対する処理位置と略同
一の座標位置に固定された検出手段により、テーブルと
同期して一方向に往復移動するレーザ光源から出射され
るレーザビームの位置を検出する構成であることから、
検出位置と処理位置とがテーブルの移動方向に対して常
に略同一となる。このため、テーブルの移動に伴いテー
ブルに回転が生じた場合であっても、この回転により生
じる測定誤差は極めて小さい。従って、テーブルの移動
に伴う被処理物に対する処理位置の移動誤差を正確に測
定することが可能となる。

【００４７】請求項２に記載の発明によれば、テーブル
の移動方向に対して被処理物に対する加工位置と略同一
の座標位置に固定された検出手段により、テーブルと同
期して一方向に往復移動するレーザ光源から出射される
レーザビームの位置を検出する構成であることから、加
工位置と処理位置とがテーブルの移動方向に対して常に
略同一となる。このため、テーブルの移動に伴いテーブ
ルに回転が生じた場合であっても、この回転により生じ
る測定誤差は極めて小さい。従って、テーブルの移動に
伴う被処理物に対する加工位置の移動誤差を正確に測定
することが可能となる。

【００４８】請求項３に記載の発明によれば、レーザ加
工手段がテーブルの移動方向と直交する方向に相対的に
移動することから、被処理物に対し二次元的な加工を行
うことが可能となり、また、レーザ加工手段が移動した
場合においても、テーブルの移動に伴う被処理物に対す
る処理位置の移動誤差を正確に測定することが可能とな
る。

【００４９】請求項４に記載の発明によれば、検出手段
の検出値に基づいて被処理物に対するレーザビームの照
射位置を補正することから、被処理物に対する処理位置
の移動誤差が生じた場合においても、被処理物を正確に
加工することができる。

【００５０】請求項５に記載の発明によれば、検出手段
の検出値に基づいてテーブルの移動方向と移動誤差測定
用のレーザ光源から出射されるレーザビームの出射方向
との角度誤差を判定し、この判定値と前記検出手段の検
出値とに基づいて前記被処理物に対するレーザビームの
照射位置を補正することから、テーブルの移動方向とレ
ーザ光源から出射されるレーザビームの出射方向が正確
に同一でない場合においても、移動誤差を正確に測定し
て被処理物を正確に加工することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る画像記録装置の斜視図である。

【図２】図１の側面概要図である。

【図３】画像記録装置の電気的構成を示すブロック図で
ある。

【図４】角度誤差の補正方法を示す説明図である。

【図５】この発明の基本的な考え方を示す説明図であ
る。

【図６】従来技術を示す説明図である。

【符号の説明】

１ レーザビーム １２ テーブル １３ レーザ光源 １４ レーザビーム １５ 検出器 １７ 処理位置 ２３ テーブル ２５ 記録ヘッド ２６ 感光材料 ３３ レーザ光源 ３６ 光学系 ３７ ＣＣＤ ４２ レーザ光源 ４３ ＡＯＭ ４４ ＡＯＤ ５５ 制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 直人 京都市南区東九条南石田町５番地 大日本 スクリーン製造株式会社十条事業所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理物を載置して一方向に往復移動す
   るテーブルと、 前記テーブルに載置された被処理物に対して処理を行う
   処理部と、 前記テーブルに付設されることにより前記テーブルと同
   期して一方向に往復移動するとともに、前記テーブルの
   移動方向と略平行な方向にレーザビームを出射するレー
   ザ光源と、 前記テーブルの移動方向に対して前記処理部による前記
   被処理物に対する処理位置と略同一の座標位置に固定さ
   れ、前記レーザビームから照射されるレーザビームの位
   置を検出することにより前記テーブルの移動誤差を測定
   する検出手段と、 を備えたことを特徴とするテーブル移動誤差測定装置。
2. 【請求項２】 被処理物を載置して一方向に往復移動す
   るテーブルと、 前記テーブルに載置された被処理物に対して加工用のレ
   ーザ光源からレーザビームを照射することにより、前記
   被処理物に対してレーザ加工を施すレーザ加工手段と、 前記テーブルに付設されることにより前記テーブルと同
   期して一方向に往復移動するとともに、前記テーブルの
   移動方向と略平行な方向にレーザビームを出射する移動
   誤差測定用のレーザ光源と、 前記テーブルの移動方向に対して前記レーザ加工手段に
   より前記被処理物に対してレーザ加工を行う加工位置と
   略同一の座標位置に固定され、前記移動誤差測定用のレ
   ーザ光源から照射されるレーザビームの位置を検出する
   ことにより前記テーブルの移動誤差を測定する検出手段
   と、 を備えたことを特徴とするテーブル移動誤差測定装置を
   有するレーザ加工装置。
3. 【請求項３】 前記レーザ加工手段は、前記テーブルに
   対し当該テーブルの移動方向と直交する方向に相対的に
   移動する請求項２に記載のテーブル移動誤差測定装置を
   有するレーザ加工装置。
4. 【請求項４】 前記検出手段の検出値に基づいて前記被
   処理物に対する前記レーザ加工手段からのレーザビーム
   の照射位置を補正する請求項２または３いずれかに記載
   のテーブル移動誤差測定装置を有するレーザ加工装置。
5. 【請求項５】 前記検出手段の検出値に基づいて前記テ
   ーブルの移動方向と前記移動誤差測定用のレーザ光源か
   ら出射されるレーザビームの出射方向との角度誤差を判
   定し、この判定値と前記検出手段の検出値とに基づいて
   前記被処理物に対するレーザビームの照射位置を補正す
   る請求項４に記載のテーブル移動誤差測定装置を有する
   レーザ加工装置。