JPH09309083A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH09309083A JPH09309083A JP15482496A JP15482496A JPH09309083A JP H09309083 A JPH09309083 A JP H09309083A JP 15482496 A JP15482496 A JP 15482496A JP 15482496 A JP15482496 A JP 15482496A JP H09309083 A JPH09309083 A JP H09309083A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】搬送装置に於いて、可動部の位置ずれを検出し
て事故の発生を防止する。 【解決手段】可動部８に反射部１８を設け、該反射部に
検出光を照射する反射型光検出計１７を設け、位置ずれ
を検出し装置の停止を行うことで、或は位置ずれを修正
することで搬送過程での事故の発生を防止する。
て事故の発生を防止する。 【解決手段】可動部８に反射部１８を設け、該反射部に
検出光を照射する反射型光検出計１７を設け、位置ずれ
を検出し装置の停止を行うことで、或は位置ずれを修正
することで搬送過程での事故の発生を防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は屈伸自在に連結され
た複数のアームを有し、複数のアームの屈伸、更にアー
ム全体の回転によりウェーハカセット、ウェーハ等所要
の被搬送物の搬送を行う搬送装置に関するものである。
た複数のアームを有し、複数のアームの屈伸、更にアー
ム全体の回転によりウェーハカセット、ウェーハ等所要
の被搬送物の搬送を行う搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７、図８に於いて搬送装置の一例を説
明する。
明する。
【０００３】機台フレーム１にはエンコーダ付きモータ
２が収納されており、該モータ２の出力軸３には第１ア
ーム４の基端部が固着され、該第１アーム４の先端部に
は中間軸５が回転自在設けられ、該中間軸５の上端には
第２アーム６の基端部が固着されている。該第２アーム
６の先端部には被動軸７が回転自在に設けられ、該被動
軸７の上端には受載台８が固着されている。
２が収納されており、該モータ２の出力軸３には第１ア
ーム４の基端部が固着され、該第１アーム４の先端部に
は中間軸５が回転自在設けられ、該中間軸５の上端には
第２アーム６の基端部が固着されている。該第２アーム
６の先端部には被動軸７が回転自在に設けられ、該被動
軸７の上端には受載台８が固着されている。
【０００４】前記出力軸３には駆動プーリ９が回転自在
に嵌合されると共に所要部材を介して前記機台フレーム
１に固着され、前記中間軸５には第１中間プーリ１０が
嵌着され、第２中間プーリ１１は前記中間軸５に回転自
在に嵌合されると共に前記第１アーム４に所要部材を介
して固着され、前記被動軸７には被動プーリ１２がそれ
ぞれ嵌着されている。前記駆動プーリ９と第１中間プー
リ１０間に第１ベルト１３が掛回され、前記第２中間プ
ーリ１１と前記被動プーリ１２間に第２ベルト１４が掛
回されている。
に嵌合されると共に所要部材を介して前記機台フレーム
１に固着され、前記中間軸５には第１中間プーリ１０が
嵌着され、第２中間プーリ１１は前記中間軸５に回転自
在に嵌合されると共に前記第１アーム４に所要部材を介
して固着され、前記被動軸７には被動プーリ１２がそれ
ぞれ嵌着されている。前記駆動プーリ９と第１中間プー
リ１０間に第１ベルト１３が掛回され、前記第２中間プ
ーリ１１と前記被動プーリ１２間に第２ベルト１４が掛
回されている。
【０００５】前記モータ２を駆動して前記出力軸３を回
転すると第１アーム４が回転すると共に前記出力軸３の
回転は前記第１ベルト１３を介して前記中間軸５に伝達
される。該中間軸５の回転により前記第２アーム６は前
記第１アーム４の回転方向とは逆方向に回転し、更に中
間軸５の回転は前記第２ベルト１４を介して前記被動軸
７に伝達され、被動軸７と回転と共に前記受載台８が第
２アーム６とは逆方向に回転、即ち第２アーム６の回転
を相殺する方向に回転する。
転すると第１アーム４が回転すると共に前記出力軸３の
回転は前記第１ベルト１３を介して前記中間軸５に伝達
される。該中間軸５の回転により前記第２アーム６は前
記第１アーム４の回転方向とは逆方向に回転し、更に中
間軸５の回転は前記第２ベルト１４を介して前記被動軸
７に伝達され、被動軸７と回転と共に前記受載台８が第
２アーム６とは逆方向に回転、即ち第２アーム６の回転
を相殺する方向に回転する。
【０００６】而して、前記モータ２の駆動により前記第
１アーム４、第２アーム６が屈伸し、又前記受載台８は
その姿勢を保って平行移動する。
１アーム４、第２アーム６が屈伸し、又前記受載台８は
その姿勢を保って平行移動する。
【０００７】前記受載台８でウェーハカセットを受載
し、前記第１アーム４、第２アーム６の屈伸でウェーハ
カセットの搬送を行っている。
し、前記第１アーム４、第２アーム６の屈伸でウェーハ
カセットの搬送を行っている。
【０００８】斯かる搬送装置での前記受載台８の位置は
前記モータ２に設けられたエンコーダにより検出されて
おり、エンコーダが検出する出力軸３の回転角度から前
記受載台８の位置を演算している。
前記モータ２に設けられたエンコーダにより検出されて
おり、エンコーダが検出する出力軸３の回転角度から前
記受載台８の位置を演算している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記した様に、従来の
搬送装置では受載台８の位置をエンコーダによる出力軸
３の回転角検出で行っているが、搬送装置動作中に前記
受載台８、或は第１アーム４、第２アーム６が障害物に
衝突し、過負荷が掛かり、アームの関節部、即ち前記駆
動プーリ９、第１中間プーリ１０と第１ベルト１３間
で、又前記第２中間プーリ１１、被動プーリ１２と第２
ベルト１４間で滑りを生じた場合、或はモータ２がステ
ッピングモータであった場合に脱調を生じた場合には、
前記エンコーダを介して検出していた受載台８の位置が
正しく検出されないこととなる、或は駆動中に関節部で
微妙な滑りを生じた場合に、累積して顕在化した滑りは
前記エンコーダでは検出されない。
搬送装置では受載台８の位置をエンコーダによる出力軸
３の回転角検出で行っているが、搬送装置動作中に前記
受載台８、或は第１アーム４、第２アーム６が障害物に
衝突し、過負荷が掛かり、アームの関節部、即ち前記駆
動プーリ９、第１中間プーリ１０と第１ベルト１３間
で、又前記第２中間プーリ１１、被動プーリ１２と第２
ベルト１４間で滑りを生じた場合、或はモータ２がステ
ッピングモータであった場合に脱調を生じた場合には、
前記エンコーダを介して検出していた受載台８の位置が
正しく検出されないこととなる、或は駆動中に関節部で
微妙な滑りを生じた場合に、累積して顕在化した滑りは
前記エンコーダでは検出されない。
【００１０】受載台８の位置が正しく検出されない状態
で、継続して搬送装置を駆動した場合被搬送物を正しい
位置に搬送できない事態となり、被搬送物、例えばウェ
ーハの破損、ウェーハカセットの落下等の事故を招くこ
ととなる。
で、継続して搬送装置を駆動した場合被搬送物を正しい
位置に搬送できない事態となり、被搬送物、例えばウェ
ーハの破損、ウェーハカセットの落下等の事故を招くこ
ととなる。
【００１１】本発明は斯かる実情に鑑み、受載台又はア
ーム等可動部の正しい位置を検出する様にして搬送中の
事故を未然に防止しようとするものである。
ーム等可動部の正しい位置を検出する様にして搬送中の
事故を未然に防止しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、可動部に反射
部を設け、該反射部に検出光を照射する反射型光検出計
を設けた搬送装置に係り、又反射部が指標板であり、該
指標板の指標中心に高反射率部を形成した搬送装置に係
り、又反射型光検出計が光変位計であり、指標板の指標
中心に突起が形成された搬送装置に係り、更に又反射型
光検出計がレーザ変位計である搬送装置に係るものであ
り、位置ずれを検出し装置の停止を行うことで、或は位
置ずれを修正することで搬送過程での事故の発生を防止
する。
部を設け、該反射部に検出光を照射する反射型光検出計
を設けた搬送装置に係り、又反射部が指標板であり、該
指標板の指標中心に高反射率部を形成した搬送装置に係
り、又反射型光検出計が光変位計であり、指標板の指標
中心に突起が形成された搬送装置に係り、更に又反射型
光検出計がレーザ変位計である搬送装置に係るものであ
り、位置ずれを検出し装置の停止を行うことで、或は位
置ずれを修正することで搬送過程での事故の発生を防止
する。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。
実施の形態を説明する。
【００１４】図１に於いて図７、図８中で示したものと
同一のものには同符号を付してある。
同一のものには同符号を付してある。
【００１５】機台フレーム１の背面に反射型光センサ１
７を固着し、前記受載台８の背面に指標板１８を背面側
に突出させ取付ける。前記反射型光センサ１７は前記指
標板１８に検出光１９を照射する。
７を固着し、前記受載台８の背面に指標板１８を背面側
に突出させ取付ける。前記反射型光センサ１７は前記指
標板１８に検出光１９を照射する。
【００１６】該指標板１８は図２に示される様に、前記
反射型光センサ１７に対峙する裏面が反射面となってお
り、該反射面は指標中心には円形の高反射率部１８ａが
形成され、該高反射率部１８ａの周囲は低反射部１８ｂ
が形成されている。前記高反射率部１８ａは鏡面或は白
色の高反射率の面であり、前記低反射部１８ｂは黒色等
の低反射率の面である。更に、前記指標板１８の高反射
率部１８ａの中心は前記搬送装置がホーミングポジショ
ン、即ち図１の様に第１アーム４、第２アーム６が完全
に畳まれ、機台フレーム１に対して重合した状態となっ
ている場合に、前記反射型光センサ１７の光軸と合致す
る様に位置関係が決定されている。
反射型光センサ１７に対峙する裏面が反射面となってお
り、該反射面は指標中心には円形の高反射率部１８ａが
形成され、該高反射率部１８ａの周囲は低反射部１８ｂ
が形成されている。前記高反射率部１８ａは鏡面或は白
色の高反射率の面であり、前記低反射部１８ｂは黒色等
の低反射率の面である。更に、前記指標板１８の高反射
率部１８ａの中心は前記搬送装置がホーミングポジショ
ン、即ち図１の様に第１アーム４、第２アーム６が完全
に畳まれ、機台フレーム１に対して重合した状態となっ
ている場合に、前記反射型光センサ１７の光軸と合致す
る様に位置関係が決定されている。
【００１７】以下、作動を説明する。
【００１８】搬送装置のアームの位置ずれがなくホーミ
ングポジションにある状態では、前記した様に前記高反
射率部１８ａの中心と前記反射型光センサ１７から発せ
られる検出光１９の光軸とは合致している（図３（Ａ）
参照）。従って、検出光１９は高反射率部１８ａで反射
され、反射検出光は前記反射型光センサ１７により検出
され、受光量は最大である。
ングポジションにある状態では、前記した様に前記高反
射率部１８ａの中心と前記反射型光センサ１７から発せ
られる検出光１９の光軸とは合致している（図３（Ａ）
参照）。従って、検出光１９は高反射率部１８ａで反射
され、反射検出光は前記反射型光センサ１７により検出
され、受光量は最大である。
【００１９】搬送装置が作動し、アームが動作し、ホー
ミングポジションの状態から外れ受載台８が移動する
と、指標板１８も移動し、検出光１９は高反射率部１８
ａの中心からずれる（図３（Ｂ）参照）。高反射率部１
８ａでの反射は局部的となり、反射型光センサ１７の受
光光量が減少する。図示しない制御器で受光量を監視
し、設定光量値と検出光量値とを比較し、所定値以下の
光量と判断した時点で受載台８の移動を検出する。
ミングポジションの状態から外れ受載台８が移動する
と、指標板１８も移動し、検出光１９は高反射率部１８
ａの中心からずれる（図３（Ｂ）参照）。高反射率部１
８ａでの反射は局部的となり、反射型光センサ１７の受
光光量が減少する。図示しない制御器で受光量を監視
し、設定光量値と検出光量値とを比較し、所定値以下の
光量と判断した時点で受載台８の移動を検出する。
【００２０】前記構成に於いて、受載台８等に過度の荷
重が作用し、アームの関節部に滑り等が生じ、前記モー
タに取付けられたエンコーダにより装置の制御器（図示
せず）が認識するアームの位置と現実の位置に差が生じ
ると、制御器が認識するホーミングポジョンでは、第１
アーム４、第２アーム６が完全に畳まれた状態ではな
い。従って、前記指標板１８の高反射率部１８ａの中心
は反射型光センサ１７の光軸とはずれており、高反射率
部１８ａでの反射光量が少なく、前記制御器は位置ずれ
が生じたことを検出する。位置ずれを検出すると搬送装
置の停止、或はずれ修正を行う。尚、位置ずれ検出は搬
送装置がホーミングポジションを通過する度に行えばよ
い。
重が作用し、アームの関節部に滑り等が生じ、前記モー
タに取付けられたエンコーダにより装置の制御器（図示
せず）が認識するアームの位置と現実の位置に差が生じ
ると、制御器が認識するホーミングポジョンでは、第１
アーム４、第２アーム６が完全に畳まれた状態ではな
い。従って、前記指標板１８の高反射率部１８ａの中心
は反射型光センサ１７の光軸とはずれており、高反射率
部１８ａでの反射光量が少なく、前記制御器は位置ずれ
が生じたことを検出する。位置ずれを検出すると搬送装
置の停止、或はずれ修正を行う。尚、位置ずれ検出は搬
送装置がホーミングポジションを通過する度に行えばよ
い。
【００２１】反射型光センサ１７の受光信号を監視し、
受光量が極大値となった位置が正しいホーミングポジシ
ョンの位置である。ずれ量の修正は、極大値を検出した
時点でリセット信号を発する等してエンコーダのカウン
ト信号等をリセットすればよい。
受光量が極大値となった位置が正しいホーミングポジシ
ョンの位置である。ずれ量の修正は、極大値を検出した
時点でリセット信号を発する等してエンコーダのカウン
ト信号等をリセットすればよい。
【００２２】前記実施の形態では可動側の受載台８には
指標板１８を設けるだけでよく、受光素子等電気部品は
必要ないので面倒な電気的配線が必要なく装置が簡略に
なり、組立作業、保守作業性はよい。
指標板１８を設けるだけでよく、受光素子等電気部品は
必要ないので面倒な電気的配線が必要なく装置が簡略に
なり、組立作業、保守作業性はよい。
【００２３】図４、図５（Ａ）（Ｂ）は他の実施の形態
を示しており、機台フレーム１に反射型光変位計２０を
設け、受載台８に指標板２１を設けたものである。該指
標板２１は指標中心に突起２２を突設したものであり、
該突起２２の表面は平らで且鏡面、或は白色となってお
り、周囲は黒色等反射率を低くしてある。又、突起２２
の直径は２mm程度、突起の高さは１〜３mm程度とする。
を示しており、機台フレーム１に反射型光変位計２０を
設け、受載台８に指標板２１を設けたものである。該指
標板２１は指標中心に突起２２を突設したものであり、
該突起２２の表面は平らで且鏡面、或は白色となってお
り、周囲は黒色等反射率を低くしてある。又、突起２２
の直径は２mm程度、突起の高さは１〜３mm程度とする。
【００２４】該実施の形態では反射型光変位計２０から
指標板２１の裏面に検出光１９を照射し、指標板２１の
照射点迄の距離を検出している。従って、検出光が図５
（Ａ）の様に突起２２を照射した場合の検出値を設定値
として記憶しておき、反射型光変位計２０の検出結果を
前記設定値と比較することで検出光１９の光軸が指標板
２１の中心と一致したかどうかを判断できる。即ち、突
起２２の周囲を低反射率とした場合には図５（Ｂ）では
検出光１９の反射光は検出されず、或は反射光が検出さ
れた場合でも突起２２の突出分だけ距離が長くなり、指
標中心でないことが判断される。
指標板２１の裏面に検出光１９を照射し、指標板２１の
照射点迄の距離を検出している。従って、検出光が図５
（Ａ）の様に突起２２を照射した場合の検出値を設定値
として記憶しておき、反射型光変位計２０の検出結果を
前記設定値と比較することで検出光１９の光軸が指標板
２１の中心と一致したかどうかを判断できる。即ち、突
起２２の周囲を低反射率とした場合には図５（Ｂ）では
検出光１９の反射光は検出されず、或は反射光が検出さ
れた場合でも突起２２の突出分だけ距離が長くなり、指
標中心でないことが判断される。
【００２５】ずれを検出した結果後の処理、作動につい
ては前述した実施の形態と同様であるので説明は省略す
る。
ては前述した実施の形態と同様であるので説明は省略す
る。
【００２６】図６は更に他の実施の形態を示しており、
受載台８の背面の一部を鏡面、白色など反射率高くした
反射部２４とし、該反射部２４に向かってレーザ光線等
距離測定可能な検出光２６を照射する様にしたものであ
る。
受載台８の背面の一部を鏡面、白色など反射率高くした
反射部２４とし、該反射部２４に向かってレーザ光線等
距離測定可能な検出光２６を照射する様にしたものであ
る。
【００２７】レーザ変位計２５を筐体（図示せず）に取
付け、前記レーザ変位計２５からの検出光２６が、図６
の様に第１アーム４、第２アーム６が完全に畳まれ、機
台フレーム１に対して重合した状態となっている場合
に、前記反射部２４を照射し、且反射光を受光し得る様
に位置を決定する。
付け、前記レーザ変位計２５からの検出光２６が、図６
の様に第１アーム４、第２アーム６が完全に畳まれ、機
台フレーム１に対して重合した状態となっている場合
に、前記反射部２４を照射し、且反射光を受光し得る様
に位置を決定する。
【００２８】搬送装置が動作し、アームが動作すること
でレーザ変位計２５と反射部２４間の距離が変位する。
従って、正しいホーミングポジションでの反射部２４迄
の距離を測定し、基準値としておき、基準値とレーザ変
位計２５が検出する検出値とを比較することでアーム等
可動部のずれを検出することができる。尚、本実施の形
態に於いてもずれを検出した結果後の処理、作動につい
ては前述した実施の形態と同様である。
でレーザ変位計２５と反射部２４間の距離が変位する。
従って、正しいホーミングポジションでの反射部２４迄
の距離を測定し、基準値としておき、基準値とレーザ変
位計２５が検出する検出値とを比較することでアーム等
可動部のずれを検出することができる。尚、本実施の形
態に於いてもずれを検出した結果後の処理、作動につい
ては前述した実施の形態と同様である。
【００２９】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、搬送装
置のアームのずれを検出できるので、搬送過程で被搬送
物を損傷する等の事故を未然に防止できる。
置のアームのずれを検出できるので、搬送過程で被搬送
物を損傷する等の事故を未然に防止できる。
【図１】本発明の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】該実施の形態の要部を示す斜視図である。
【図３】（Ａ）（Ｂ）は該実施の形態の作用を示す説明
図である。
図である。
【図４】本発明の他の実施の形態の要部を示す斜視図で
ある。
ある。
【図５】（Ａ）（Ｂ）は該他の実施の形態の作用を示す
説明図である。
説明図である。
【図６】本発明の他の実施の形態を示す斜視図である。
【図７】従来例を示す斜視図である。
【図８】従来例の概略構成図である。
１ 機台フレーム ４ 第１アーム ６ 第２アーム ８ 受載台 １７ 反射型光センサ １８ 指標板 １９ 検出光 ２０ 反射型光変位計 ２１ 指標板 ２２ 突起 ２５ レーザ変位計 ２６ 検出光
Claims (4)
- 【請求項１】 可動部に反射部を設け、該反射部に検出
光を照射する反射型光検出計を設けたことを特徴とする
搬送装置。 - 【請求項２】 反射部が指標板であり、該指標板の指標
中心に高反射率部を形成した請求項１の搬送装置。 - 【請求項３】 反射型光検出計が変位検出計であり、指
標板の指標中心に突起が形成された請求項２の搬送装
置。 - 【請求項４】 反射型光検出計がレーザ変位計である請
求項１の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15482496A JPH09309083A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15482496A JPH09309083A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09309083A true JPH09309083A (ja) | 1997-12-02 |
Family
ID=15592686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15482496A Pending JPH09309083A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09309083A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009140547A1 (en) * | 2008-05-15 | 2009-11-19 | The Boeing Company | Robotic system including foldable robotic arm |
| JP2011075391A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Daihatsu Motor Co Ltd | 可動軸の位置管理装置 |
| JP2014123673A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Tokyo Electron Ltd | 基板位置検出装置及びこれを用いた基板処理装置、成膜装置 |
| JP2017088395A (ja) * | 2015-11-17 | 2017-05-25 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| JP2019141919A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの補正値算出方法 |
-
1996
- 1996-05-27 JP JP15482496A patent/JPH09309083A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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