JPH09310196A

JPH09310196A - 空洞孔内面めっき装置及び空洞孔内面めっき方法

Info

Publication number: JPH09310196A
Application number: JP12318396A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Okochi; 智大河内; Hiroshi Makino; 浩牧野
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 1996-05-17
Filing date: 1996-05-17
Publication date: 1997-12-02

Abstract

(57)【要約】【課題】陽極体３に対する攪拌効果が向上し、めっき効
率の向上に貢献できる空洞孔内面めっき装置及び空洞孔
内面めっき方法を提供すること。【解決手段】被めっき物７の空洞孔７０内に配置された
陽極体３と、被めっき物７の空洞孔７０の内面７２と陽
極体３との間に回転可能に配置された攪拌羽根部材４と
を用いる。攪拌羽根部材４は、陽極体３に対して別個に
回転する。攪拌羽根部材４と陽極体３との間に相対的な
回転速度差をつけて、攪拌羽根部材４を回転させること
によりめっき液Ｗを攪拌しつつ、被めっき物７の空洞孔
７０の内面７２をめっき処理する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は空洞孔内面めっき装
置及び空洞孔内面めっき方法に関する。本発明は、空洞
孔をもつ被めっき物の空洞孔を区画する内面にめっき処
理する際に利用できる。

【０００２】

【従来の技術】実開平３−１２０５６２号公報には、め
っき液が供給される空洞孔をもつ被めっき物を用い、被
めっき物の空洞孔にめっき液を供給しながら、陰極とし
た被めっき物と陽極体との間に電圧を印加し、これによ
り被めっき物の空洞孔を区画する内面にめっき処理する
技術が開示されている。この技術によれば、攪拌羽根を
備えた陽極体を被めっき物の空洞孔に略同軸的に配置し
た状態で、陽極体を回転させるので、空洞孔内に供給さ
れためっき液が攪拌される。

【０００３】更に特公昭５９−３３６８０号公報にも、
円柱状の陽極体の外周面に攪拌羽根を一体的に設け、そ
の陽極体をめっき処理槽内で回転させながら、めっき処
理を行う技術が開示されている。この公報によれば、攪
拌効果が確保され、めっき液に共析粒子が含まれている
場合において、共析量の確保に有利であると記載されて
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した技術によれ
ば、攪拌羽根による攪拌効果により、めっき液の濃度の
ばらつきが低減され易くなり、めっき処理の品質が向上
する。殊に、陰極である被めっき物に対して、めっき液
の攪拌効果を期待できる。しかしながら、攪拌羽根が陽
極体に設けられている関係で、陽極体と攪拌羽根との回
転速度差は実質的にない。そのため陽極体の表面近傍の
めっき液が陽極体に対して移動する相対移動量は、小さ
いものである。故に、陽極体に対する攪拌効果は、必ず
しも充分ではない。従ってめっき効率の向上には限界が
ある。殊に、攪拌効果が充分でないため、陽極体が可溶
性である場合には、陽極体から溶解した金属イオンの分
散が不充分となり、陽極体の表面近傍で金属イオンが局
部的に高濃度化し易くなり、その結果、陽極体を構成す
る金属成分がめっき液に溶解する溶解効率は、必ずしも
充分ではなく、従ってめっき効率の向上には限界があ
る。

【０００５】本発明は上記した実情に鑑みなされたもの
であり、その課題は、陽極体の表面近傍での攪拌効率を
向上させることにより、陽極体に対する攪拌効果が向上
し、これによりめっき効率の向上に貢献できる空洞孔内
面めっき装置及び空洞孔内面めっき方法を提供すること
にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る空洞孔内面
めっき装置は、めっき液が供給される空洞孔をもつとと
もに陰極となる被めっき物の空洞孔を区画する内面にめ
っき処理する装置であって、被めっき物の空洞孔内に配
置され、空洞孔を区画する内面で包囲される陽極体と、
被めっき物の空洞孔を区画する内面と陽極体との間に回
転可能に配置され、陽極体に対して別個に回転する攪拌
羽根部材とを具備することを特徴とするものである。

【０００７】本発明に係る空洞孔内面めっき方法は、空
洞孔をもつと共に陰極となる被めっき物の空洞孔を区画
する内面にめっきする方法であって、被めっき物の空洞
孔内に陽極体を配置すると共に、被めっき物の空洞孔内
に回転可能な攪拌羽根部材を配置し、かつ、被めっき物
の空洞孔にめっき液を供給した状態で、攪拌羽根部材と
陽極体との間に相対的な回転速度差をつけて、攪拌羽根
部材を回転させることによりめっき液を攪拌しつつ、被
めっき物の空洞孔の内面をめっき処理することを特徴と
するものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明で用いる被めっき物は、め
っき液が供給される空洞孔をもつものである。代表的な
被めっき物としては筒状部材がある。筒状部材は有底状
でも無底状でも良い。筒状部材としては、例えば、内燃
機関に使用されるシリンダブロックがある。この場合、
筒状部材の内面はボア内周面となる。

【０００９】本発明に係る陽極体は、陰極となる被めっ
き物の空洞孔内に配置され、空洞孔の内面で包囲され
る。陽極体としては可溶性でも不溶性でも良い。可溶性
の場合には、陽極体が溶解した成分に基づいてめっき膜
が形成される。不溶性の場合には、めっき膜を形成する
金属イオンまたは金属イオン源がめっき液に供給され
る。

【００１０】陽極体は、めっき液を攪拌するために回転
する方式が好ましいが、場合によっては固定されている
方式でも良い。本発明に係る攪拌羽根部材は、陽極体と
は別個に回転するものである。めっき処理の際には、攪
拌羽根部材と陽極体との間に相対的な回転速度差をつけ
て、攪拌羽根部材を回転させる。これによりめっき液は
陽極体に対しても効果的に攪拌される。攪拌羽根部材の
数は適宜選択でき、１個でも複数個でも良い。

【００１１】攪拌羽根部材は、その向きが変更可能な方
式であることが好ましい。この場合には、めっき処理の
形態に応じて、攪拌羽根部材の向きを適宜変更して、陽
極体に対する攪拌効果を特に高めたり、陰極である被め
っき物に対する攪拌効果を特に高めたりできる。攪拌羽
根部材の材質は樹脂やセラミックス等を採用できる。本
発明で用いるめっき液は、共析粒子等の微粒子を含むも
のでも、含まないものでも良い。

【００１２】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は本実施例に係る空洞孔内面めっき装置の模
式構成図を示す。図２は図１のＩＩ−ＩＩ線矢視図を示
す。図１に示すように、空洞孔内面めっき装置は、被め
っき物が保持される保持部１と、めっき液Ｗが供給され
る通路２と、実質的に円柱状をなす回転可能な陽極体３
と、回転可能な攪拌羽根部材４とを備えている。

【００１３】被めっき物７は、円筒形状の空洞孔７０を
もつ筒形状であり、その軸芯が実質的に垂直方向にのび
るように縦型に保持されている。空洞孔７０の下部と通
路２とは連通している。被めっき物７と保持部１との間
には第１シール部材１１及び第２シール部材１２が設け
られており、これにより被めっき物７の境界は液密状態
にシールされている。

【００１４】被めっき物７の材質は適宜選択できるもの
の、一般的にはアルミ合金や鉄合金や銅合金を採用でき
る。この被めっき物７としては、例えば内燃機関に使用
するシリンダブロックを採用できる。この場合、空洞孔
７０はシリンダボアであり、内面７２はボア内周面であ
る。陽極体３は、被めっき物７の空洞孔７０内の略中央
位置に配置されており、被めっき物７の空洞孔７０を区
画する内面７２で包囲されている。陽極体３は、その軸
芯Ｐ１が実質的に垂直方向にのびるように縦型に配置さ
れている。

【００１５】陽極体３の下部は第１駆動源８１に接続さ
れている。第１駆動源８１が駆動すると、陽極体３がそ
の軸芯Ｐ１を中心として正方向または逆方向に回転す
る。陽極体３は可溶性であり、その材質は鉄系やニッケ
ル系を採用できる。本実施例では図１から理解できるよ
うに、半径方向の中心から外側に向かうにつれて、陽極
体３、攪拌羽根部材４、被めっき物７の順で、かつ実質
的に同軸的に配置されている。

【００１６】被めっき物７は、制御装置９の陰極側に第
１ケーブル９１を介して接続されている。陽極体３は、
制御装置９の陽極側に第２ケーブル９２を介して接続さ
れている。これにより被めっき物７と陽極体３との間に
は所定の電圧が印加される。図１から理解できるよう
に、攪拌羽根部材４は、被めっき物７の半径方向におい
て、被めっき物７の空洞孔７０を区画する内面７２と陽
極体３との間の空間に配置されている。攪拌羽根部材４
は、陽極体３に対して別個に回転可能とされている。従
って攪拌羽根部材４は、陽極体３の回転速度に対して異
なる回転速度で回転可能である。

【００１７】攪拌羽根部材４の下部は第２駆動源８２に
接続されており、第２駆動源８２が駆動すると、攪拌羽
根部材４が前記軸芯Ｐ１を中心として正方向または逆方
向に回転する。第２駆動源８２、第１駆動源８１は、ベ
ルトやチェーンで回転する回転体で構成できる。図２に
攪拌羽根部材４の回転軌跡をＲとして示す。更に図２に
示すように、攪拌羽根部材４は、被めっき物７の周方向
において所定の間隔で複数個設けられている。図２から
理解できるように、攪拌羽根部材４は、その横断面では
互いに交差する向きに配設された第１羽根部４１と第２
羽根部４２とを備えており、『断面略Ｖ』の字形状をな
している。第１羽根部４１と第２羽根部４２との交差角
θ（図３参照）はめっき処理の形態に応じて適宜設定で
きるものの、例えば９０°にできる。

【００１８】図２から理解できるように、攪拌羽根部材
４の第１羽根部４１は、被めっき物７の空洞孔７０の内
面７２に対面している。即ち、横断面において、第１羽
根部４１の前面中央に対して垂直な法線Ｘ１が攪拌羽根
部材４の回転軌跡Ｒよりも外側に位置している。そのた
め、攪拌羽根部材４の第１羽根部４１が回転したときに
生じる旋回流は、回転軌跡Ｒの外側つまり被めっき物７
の空洞孔７０の内面７２に向けて流れ易い。そのため、
陰極である被めっき物７の空洞孔７０の内面７２近傍に
おける攪拌効果が一層向上する。従って内面７２近傍へ
の金属イオンの補給性が増加し、内面７２近傍における
金属イオンの欠乏層の回避に有利であり、故に陰極にお
けるめっき金属の析出効率を向上できる。よってめっき
効率が向上する。

【００１９】また図２から理解できるように、攪拌羽根
部材４の第２羽根部４２は陽極体３の外周面の側に寄せ
られている。即ち図２から理解できるように、第２羽根
部４２の前面中央に対して垂直な法線Ｘ２が攪拌羽根部
材４の回転軌跡Ｒよりも内側に位置している。そのた
め、攪拌羽根部材４の第２羽根部４２が回転したときに
生じる旋回流は、陽極体３の外周面に向けて流れ易い。
そのため、陽極体３の外周面近傍における攪拌効果が一
層向上する。よって、陽極体３から溶解した金属イオン
が陽極体３の外周面近傍で高濃度のまま偏在することを
抑え得る。即ち、陽極体３の外周面近傍での金属イオン
の高濃度化を回避するのに有利である。

【００２０】上記した陽極体３の回転速度や攪拌羽根部
材４の回転速度は、被めっき物７の種類やめっき処理の
種類等に応じて、適宜選択できる。例えば、陽極体３の
回転速度は例えば数十ｒｐｍ〜数百ｒｐｍ程度にできる
が、これに限定されるものではない。なおｒｐｍは一分
間あたりの回転数を意味する。攪拌羽根部材４の回転方
向と陽極体３の回転方向とは互いに同方向でも良いし、
互いに逆方向でも良い。

【００２１】攪拌羽根部材４の回転速度（一分間あたり
の回転数）をＶ_Mとし、陽極体３の回転速度（一分間あ
たりの回転数）をＶ_Aとしたとき、（Ｖ_M／Ｖ_A）は例
えば−１０〜１０程度、特に−２〜２程度にできる。た
だし、これに限定されるものではない。めっき処理する
場合には、被めっき物７が保持部１に保持されて固定さ
れている状態で、めっき液供給源Ｗ２からめっき液Ｗが
所定の流速で連続的に通路２に供給され、めっき液Ｗが
通路２の先端開口２ｃから被めっき物７の空洞孔７０内
に供給される。めっき液Ｗは、めっきする金属イオンを
含む溶液を用いる。めっき液Ｗには、セラミックス粒子
（例えばアルミナ、ジルコニア、炭化珪素等）等の微小
粒子が含まれていても良い。

【００２２】通路２の先端開口２ｃから供給されためっ
き液Ｗは、上向きに流れ、被めっき物７の内面７２に沿
って上昇し、保持部１の上端開口１ｈから流出される。
一般的には、上向きの流れの方向と、攪拌羽根部材４や
陽極体３により旋回流れの方向とが合成された方向に沿
って、つまり略螺旋方向に沿ってめっき液Ｗは流れる。

【００２３】上記のようなめっき処理においては、第１
駆動源８１及び第２駆動源８２が駆動して陽極体３と攪
拌羽根部材４とがそれぞれ回転する。これによりめっき
液Ｗを攪拌させる。なお本実施例によれば、被めっき物
７は固定されており、非回転状態である。上記のような
めっき処理では、陰極とされた被めっき物７と、陽極と
された陽極体３との間に電圧が印加され、従って陽極体
３を構成する成分が金属イオンとしてめっき液Ｗ中に溶
解する。溶解した金属イオンは、陰極である被めっき物
７の内面７２の側に泳動し、めっき金属として析出し、
これにより被めっき物７の内面７２にめっき膜が積層さ
れる。なお、必要に応じて高周波電流を流すパルスめっ
きを行うこともできる。

【００２４】陰極側に泳動した金属イオンは、次々と金
属として析出て陰極でめっき金属となるため、陰極側で
は金属イオンの欠乏層が生じ易い。めっき処理の効率を
高めるには、陰極側では、金属イオンの欠乏層を防止し
てめっき金属の析出効率を向上させることが好ましい。
更に陽極側では、陽極体３の表面近傍での金属イオンの
高濃度化を防止して金属イオンの溶解効率を向上させる
ことが好ましい。仮に、陽極体３の外周面近傍での攪拌
効果が小さいと、陽極体３から溶解した金属イオンが陽
極体３の外周面近傍に過剰に溜まり、陽極体３の外周面
での金属イオンが高濃度となり、結果として、陽極体３
から金属イオンが溶解する溶解効率が低下する傾向があ
る。

【００２５】しかし、陽極体３がめっき液Ｗ内で回転す
るだけでは、陰極である被めっき物７の内面７２に対す
る攪拌効果は得られるものの、陽極体３の外周面に対す
る攪拌効果は必ずしも充分ではない。その理由は、陽極
体３の外周面近傍のめっき液Ｗは、陽極体３の外周面に
対する相対移動量が小さいからである。この点本実施例
によれば、攪拌羽根部材４は陽極体３とは別個に回転す
るものである。そのため本実施例によれば、陽極体３を
回転させるため、陰極である被めっき物７の内面７２近
傍のめっき液Ｗを攪拌できるばかりか、攪拌羽根部材４
と陽極体３との間に相対的な回転速度差をつけて、攪拌
羽根部材４を回転させることができる。

【００２６】このように攪拌羽根部材４と陽極体３との
間に相対的な回転速度差をつけて、攪拌羽根部材４を回
転させれば、陽極体３の外周面近傍のめっき液Ｗは、陽
極体３に対する相対移動量が大きくなる。従って、陽極
体３の外周面近傍のめっき液Ｗの攪拌効果を一層向上さ
せることができる。故に陽極体３の外周面近傍での金属
イオンの高濃度化が抑制される。故に、陽極体３の外周
面近傍におけるめっき効率が向上し、高速めっきに有利
である。

【００２７】陽極体３が鉄系であり、鉄めっき膜を積層
する場合を例にとって、更に説明を加える。この場合に
は、陽極側、陰極側においては、次のような反応が起こ
ると考えられている。陽極側の反応Ｆｅ→Ｆｅ²⁺＋２ｅ^- ２Ｈ₂Ｏ→Ｏ₂＋４Ｈ⁺＋４ｅ^- Ｆｅ²⁺→Ｆｅ³⁺＋ｅ^- 陰極側の反応Ｆｅ²⁺＋２ｅ^-→ＦｅＦｅ³⁺＋ｅ^-→Ｆｅ²⁺ ２Ｈ⁺＋２ｅ^-→Ｈ₂↑（↑印はガスを意味する。）ここでめっき処理において目的とする反応は、であ
り、の反応を促進させれば、めっき効率が向上す
る。なお、以外の他の反応は、めっき効率、めっき
品質の確保には、好ましくないと考えられている。

【００２８】陽極側での上記したの反応を促進するに
は、前述したように陽極表面近傍における金属イオンで
あるＦｅ²⁺の高濃度化を防止することが好ましい。また
陰極側での上記したの反応を促進するには、陰極表面
近傍に金属イオンであるＦｅ ²⁺を供給して、前述したよ
うに陰極表面でのＦｅ²⁺の欠乏層を防止することが好ま
しい。

【００２９】この点上記した実施例によれば、前述した
ように、攪拌羽根部材４と陽極体３との間に相対的な回
転速度差をつけて、攪拌羽根部材４を回転させるので、
陽極体３の外周面における攪拌効果を一層向上させるこ
とができ、従って陽極体３の外周面の近傍におけるＦｅ
²⁺の高濃度化を防止するのに有利である。よって上記し
たの反応が促進され、結果として、上記電気めっき処
理において好ましくないと考えられている上記した
の反応が起こりにくくなり、この意味においても、めっ
き効率の確保やめっき品質の向上に有利となる。

【００３０】勿論、本実施例によれば前述したように、
陽極体３及び攪拌羽根部材４の双方が回転するため、陰
極である被めっき物７の内面７２における攪拌効果も確
保される。故に、陰極である被めっき物７の内面７２近
傍で発生しがちのＦｅ²⁺の欠乏層を解消するのに貢献で
き、被めっき物７の内面７２近傍でＦｅ²⁺の欠乏を防止
するのに有利である。従って上記したの反応が促進さ
れ、結果として、好ましくないと考えられているの
反応が起こりにくくなり、この意味においても、めっき
効率の確保やめっき品質の向上に有利となる。

【００３１】更には攪拌効果が向上するため、陰極であ
るである被めっき物７の内面７２近傍で発生するＨ₂ガ
スを内面７２から離脱させるのにも有利である。（他の例）図４は他の例を示す。この例では攪拌羽根部
材４は、その横断面において平板状である。そしてこの
攪拌羽根部材４はその向きが変更可能とされており、攪
拌羽根部材４の前面は被めっき物７の空洞孔７０の内面
７２に対面したり、陽極体３の外周面に対面したりでき
る。

【００３２】図４に示すように、攪拌羽根部材４の前面
を被めっき物７の空洞孔７０の内面７２に対面させたと
きには、つまり攪拌羽根部材４の前面中央に対して垂直
な法線Ｘ３が攪拌羽根部材４の回転軌跡Ｒよりも外側に
位置するときには、攪拌羽根部材４が回転したときに生
じる旋回流は、被めっき物７の空洞孔７０の内面７２に
向けて流れ易いため、陰極である被めっき物７の空洞孔
７０の内面７２近傍における攪拌効果が一層向上でき
る。故に、陰極における金属イオンの欠乏層を防止する
のに有利であり、陰極におけるめっき金属の析出効率を
向上できる。

【００３３】また図５に示すように、攪拌羽根部材４の
前面が陽極体３の外周面に寄せられているときには、つ
まり攪拌羽根部材４の前面中央に対して垂直な法線Ｘ４
が攪拌羽根部材４の回転軌跡Ｒよりも内側に位置すると
きには、攪拌羽根部材４が回転したときに生じる旋回流
は、陽極体３の外周面に向けて流れ易い。そのため、陽
極体３の外周面近傍における攪拌効果が向上するので、
陽極体３の外周面近傍における金属イオンの高濃度化を
抑えるのに有利である。陽極体３の溶解効率を向上でき
る。

【００３４】なお攪拌羽根部材４を回転可能とするにあ
たっては、公知の回転構造を採用できる。例えば図６に
示すように攪拌羽根部材４を支持するための支持軸４５
を設け、支持軸４５にピニオン４６を設け、このピニオ
ン４６をラック４７の直動で正方向または逆方向に適宜
回転させる構造を採用できる。（試験例）図１及び図２に示す装置を用いて、次の条件
で試験を行った。この試験例では、被めっき物７の空洞
孔７０の内面７２の内径Ｄ１は８７．５ｍｍ、攪拌羽根
部材４の回転軌跡の直径Ｄ２は８６．８ｍｍ、溶解前の
陽極体３の直径Ｄ３は８５．８ｍｍである。この試験で
用いた材質としては、めっき液Ｗが鉄イオンを含む硫酸
酸性水溶液、陽極体３が鉄系、被めっき物７がアルミ合
金、攪拌羽根部材４が樹脂である。めっき液Ｗの目標温
度は４０〜８０°Ｃであり、めっき液Ｗの目標流速は５
０〜１００ｃｍ／秒、陰極における電流密度は８０〜１
００Ａ／ｄｍ ²である。めっき膜の目標厚みは２００μ
ｍ程度である。

【００３５】この試験例では、第１羽根部４１は、断面
で、前面辺の長さＬ１（図３参照）が５ｍｍ、背向辺の
長さＬ２が３ｍｍであり、第２羽根部４２は、断面で、
前面辺の長さＬ３が５ｍｍ、背向辺の長さＬ４が３ｍｍ
であり、第１羽根部４１と第２羽根部４２との交差角θ
は９０°である。この試験例によれば、めっき効率が向
上し、被めっき物７の内面７２に高速にめっき処理でき
た。

【００３６】また図１及び図２に示す例において、攪拌
羽根部材４の回転速度をＶ_Mとし、陽極体３の回転速度
をＶ_Aとし、（Ｖ_M／Ｖ_A）を変化させたときにおける
陰極における析出効率と溶解効率との関係を測定した。
試験結果を図７図に示す。図７では、縦軸の左方は析出
効率を示し、縦軸の右方は陽極体３の溶解効率を示し、
横軸は、（Ｖ_M／Ｖ_A）、つまり陽極体３の回転速度よ
りも攪拌羽根部材４の回転速度が増加する割合を示す。
従って横軸において右方に向かうにつれて、陽極体３の
回転速度よりも攪拌羽根部材４の回転速度が増加するこ
とを意味する。

【００３７】図７の特性線Ａは析出効率を示し、特性線
Ｂは陽極溶解効率を示す。ここで、めっきに関するファ
ラデーの法則は、陽極と陰極との間に流れた電気量（電
流の強さ×時間）にめっき析出量や陽極溶解量が比例す
るという法則である。この法則に基づき、流した電気量
で換算した理論上のめっき膜厚を１００％と規定し、実
際のめっき膜の厚みに基づいて析出効率を求めた。また
流した電気量で換算した理論上の陽極体３の重量減少量
（溶解量に相当）を１００％と規定し、陽極体３の実際
の重量減少量に基づいて溶解効率を求めた。

【００３８】図７の特性線Ａ、特性線Ｂから理解できる
ように、（Ｖ_M／Ｖ_A）が増加すれば、つまり陽極体３
の回転速度よりも攪拌羽根部材４の回転速度が増加すれ
ば、析出効率が向上するばかりか、陽極溶解効率も向上
する。更に図４に示す形態でめっき処理を行い、析出効
率及び陽極溶解効率を測定し、その結果を図８に示し
た。図８の特性線Ａは析出効率を示し、特性線Ｂは陽極
溶解効率を示し、横軸のマイナス記号は、陽極体３の回
転方向と攪拌羽根部材４の回転方向とが逆であることを
意味する。図８の特性線Ａ、特性線Ｂから理解できるよ
うに、（Ｖ_M／Ｖ_A）が『１』の手前の領域で、析出効
率及び陽極溶解効率の向上度がやや停滞するものの、
（Ｖ_M／Ｖ_A）が『１』よりも増加すれば、つまり陽極
体３の回転速度よりも攪拌羽根部材４の回転速度が増加
すれば、析出効率が向上するばかりか、陽極溶解効率も
向上する。

【００３９】更に、図５に示す形態でめっき処理を行
い、析出効率及び陽極溶解効率を測定し、その結果を図
９に示した。図９の特性線Ａは析出効率を示し、特性線
Ｂは陽極溶解効率を示す。図９の特性線Ｂから理解でき
るように、（Ｖ_M／Ｖ_A）が『１』よりも増加すれば、
つまり陽極体３の回転速度よりも攪拌羽根部材４の回転
速度が増加すれば、陽極溶解効率も向上する。図９にお
いて特性線Ｂの上昇勾配は大きいが、特性線Ａの上昇勾
配は、特性線Ｂの上昇勾配よりも小さい。

【００４０】（付記）上記した実施例から次の技術的思
想も把握できる。 ○攪拌羽根部材は、被めっき物の空洞孔の内面及び陽極
体の側に向けてそれぞれ方向変換可能であることを特徴
とする請求項１または請求項２。

【００４１】

【発明の効果】本発明装置によれば、攪拌羽根部材は、
陽極体とは別個に回転するものである。そのため陽極体
と羽根部材との間に相対的な回転速度差をつけて、攪拌
羽根部材を回転させることができる。従って、陽極体の
外周面近傍のめっき液の陽極体に対する相対移動量を大
きくできる。よって、陽極体の外周面近傍のめっき液の
攪拌効果を一層向上させることができる。故にめっき効
率が向上し、高速めっきに有利である。

【００４２】本発明方法によれば、陽極体と羽根部材と
の間に相対的な回転速度差をつけて、攪拌羽根部材を回
転させるため、前述同様に、陽極体の外周面近傍のめっ
き液の陽極体に対する相対移動量が大きくなる。よっ
て、陽極体の外周面近傍のめっき液の攪拌効果を一層向
上させることができる。故にめっき効率が向上し、高速
めっきに有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係る装置でめっき処理している形態を
模式的に示す構成図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線矢視図である。

【図３】攪拌羽根部材の横断面図である。

【図４】他の例に係る装置でめっき処理している形態を
模式的に示す構成図である。

【図５】他の例に係る装置でめっき処理している形態を
模式的に示す構成図である。

【図６】攪拌羽根部材の向き変更構造の一例を模式的に
示す構成図である。

【図７】攪拌羽根部材の回転速度と陽極体の回転速度と
の比と、析出効率及び陽極溶解効率との関係を示すグラ
フである。

【図８】攪拌羽根部材の回転速度と陽極体の回転速度と
の比と、析出効率及び陽極溶解効率との関係を示すグラ
フである。

【図９】攪拌羽根部材の回転速度と陽極体の回転速度と
の比と、析出効率及び陽極溶解効率との関係を示すグラ
フである。

【符号の説明】

図中、１は保持部、２は通路、３は陽極体、４は攪拌羽
根部材、Ｗはめっき液、７は被めっき物、７０は空洞
孔、７２は内面を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】めっき液が供給される空洞孔をもつととも
に陰極となる被めっき物の前記空洞孔を区画する内面に
めっき処理する装置であって、前記被めっき物の空洞孔内に配置され、前記空洞孔を区
画する内面で包囲される陽極体と、前記被めっき物の空洞孔を区画する内面と前記陽極体と
の間に回転可能に配置され、前記陽極体に対して別個に
回転する攪拌羽根部材とを具備することを特徴とする空
洞孔内面めっき装置。
【請求項２】空洞孔をもつと共に陰極となる被めっき物
の空洞孔を区画する内面にめっきする方法であって、前記被めっき物の空洞孔内に陽極体を配置すると共に、
前記被めっき物の空洞孔内に回転可能な攪拌羽根部材を
配置し、かつ、前記被めっき物の空洞孔にめっき液を供
給した状態で、前記攪拌羽根部材と前記陽極体との間に相対的な回転速
度差をつけて、前記攪拌羽根部材を回転させることによ
りめっき液を攪拌しつつ、前記被めっき物の空洞孔の内
面をめっき処理することを特徴とする空洞孔内面めっき
方法。