JPH09311073A - 波長走査型分光器 - Google Patents
波長走査型分光器Info
- Publication number
- JPH09311073A JPH09311073A JP12830796A JP12830796A JPH09311073A JP H09311073 A JPH09311073 A JP H09311073A JP 12830796 A JP12830796 A JP 12830796A JP 12830796 A JP12830796 A JP 12830796A JP H09311073 A JPH09311073 A JP H09311073A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bar
- exit slit
- slit
- fulcrum shaft
- wavelength scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大幅なコストの上昇を招来することなく、出
口スリットの移動精度を高め、高精度の分光分析を可能
にする。 【解決手段】 光検出器の手前に設けられる出口スリッ
ト１８を、支点軸２１を中心に揺動しうるバー１９に支
持させ、バー１９の支点軸２１から離れた部分には、該
バー１９を揺動させる揺動機構２０を連係させ、この連
係部分よりも支点軸２１に近い位置に出口スリット１８
を支持させることで、テコの作用で、揺動機構２０の駆
動量が縮小されて出口スリット１８側に伝わるようにし
た。
口スリットの移動精度を高め、高精度の分光分析を可能
にする。 【解決手段】 光検出器の手前に設けられる出口スリッ
ト１８を、支点軸２１を中心に揺動しうるバー１９に支
持させ、バー１９の支点軸２１から離れた部分には、該
バー１９を揺動させる揺動機構２０を連係させ、この連
係部分よりも支点軸２１に近い位置に出口スリット１８
を支持させることで、テコの作用で、揺動機構２０の駆
動量が縮小されて出口スリット１８側に伝わるようにし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長走査型分光器
に係り、詳しくは、光検出器の手前で出口スリットを回
折光に対して横移動させる機構部分に関する。
に係り、詳しくは、光検出器の手前で出口スリットを回
折光に対して横移動させる機構部分に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、高周波誘導結合プラズマを光源
とするＩＣＰ発光分光分析装置や、その他の発光分光分
析装置、分光光度計においては、波長走査型分光器が使
用される。
とするＩＣＰ発光分光分析装置や、その他の発光分光分
析装置、分光光度計においては、波長走査型分光器が使
用される。
【０００３】この波長走査型分光器では、試料からの放
射光を回折格子で各波長のスペクトル光に分光し、その
うちの特定のスペクトル光を選別、検出して、試料に含
まれる元素の定性、定量分析を行う。
射光を回折格子で各波長のスペクトル光に分光し、その
うちの特定のスペクトル光を選別、検出して、試料に含
まれる元素の定性、定量分析を行う。
【０００４】その従来例として、図５にツェルニターナ
型の波長走査型分光器の構成を示す。図中、符号１は、
プラズマトーチのような試料の光源で、この光源１から
の放射光は、集光レンズ２で集光されてハウジング３内
に入射し、入口スリット４、２つの凹面鏡５、６、回折
格子７、出口スリット８を通じて、フォトマルチプライ
ヤのような光検出器９に導かれる。
型の波長走査型分光器の構成を示す。図中、符号１は、
プラズマトーチのような試料の光源で、この光源１から
の放射光は、集光レンズ２で集光されてハウジング３内
に入射し、入口スリット４、２つの凹面鏡５、６、回折
格子７、出口スリット８を通じて、フォトマルチプライ
ヤのような光検出器９に導かれる。
【０００５】回折格子７には、パルスモータや、パルス
モータとウォームホイールとの組み合わせ等からなる回
転機構１０が設けられ、この回転機構１０により回折格
子７の角度を変えるようになっている。また、出口スリ
ット８には、これを入射光に対して横方向に移動させる
移動機構１１が付設されている。
モータとウォームホイールとの組み合わせ等からなる回
転機構１０が設けられ、この回転機構１０により回折格
子７の角度を変えるようになっている。また、出口スリ
ット８には、これを入射光に対して横方向に移動させる
移動機構１１が付設されている。
【０００６】従来、この移動機構１１は、図６に示すよ
うに、パルスモータ１２とネジ軸１３とを組み合わせた
もので、パルスモータ１２の回転を直線運動に変換して
直接的に出口スリット８を横移動させるようになってい
る。同図において、符号１４は、ネジ軸１３に螺合する
雌ネジ軸、１５は出口スリット８をスライド自在に支持
する支持台である。
うに、パルスモータ１２とネジ軸１３とを組み合わせた
もので、パルスモータ１２の回転を直線運動に変換して
直接的に出口スリット８を横移動させるようになってい
る。同図において、符号１４は、ネジ軸１３に螺合する
雌ネジ軸、１５は出口スリット８をスライド自在に支持
する支持台である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この種の分光器で波長
走査により特定のスペクトル光を選別し検出するには、
回転機構１０によって回折格子７の角度を変え、また、
光検出器９の手前では、出口スリット８の横位置を移動
機構１１により調整するのであるが、この分光器を発光
分光分析装置に使用する場合は、測定されるスペクトル
光のピークが先鋭なこともあって、波長角度は秒単位の
設定が必要であり、そのため、回折格子７の回転角度を
高精度に設定するのはもちろんのこと、出口スリット８
の横移動を高精度に行う必要がある。
走査により特定のスペクトル光を選別し検出するには、
回転機構１０によって回折格子７の角度を変え、また、
光検出器９の手前では、出口スリット８の横位置を移動
機構１１により調整するのであるが、この分光器を発光
分光分析装置に使用する場合は、測定されるスペクトル
光のピークが先鋭なこともあって、波長角度は秒単位の
設定が必要であり、そのため、回折格子７の回転角度を
高精度に設定するのはもちろんのこと、出口スリット８
の横移動を高精度に行う必要がある。
【０００８】ところが、従来の出口スリット移動機構１
１は、前記したような構成なので、移動の精度を上げる
ためには、ネジ軸のネジのピッチを細かくして一回転当
たりの移動量を小さくするか、パルスモータ１２の回転
分割数を多くするかしなければならず、実現が容易では
なく、また実現できたとしても、大幅なコスト高にな
る。
１は、前記したような構成なので、移動の精度を上げる
ためには、ネジ軸のネジのピッチを細かくして一回転当
たりの移動量を小さくするか、パルスモータ１２の回転
分割数を多くするかしなければならず、実現が容易では
なく、また実現できたとしても、大幅なコスト高にな
る。
【０００９】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、比較
的簡単な構成の付加により、大幅なコストの上昇を招来
することなく、出口スリットの移動精度を上げ、精度の
良い分光分析を行えるようにすることを課題とする。
的簡単な構成の付加により、大幅なコストの上昇を招来
することなく、出口スリットの移動精度を上げ、精度の
良い分光分析を行えるようにすることを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するために、光検出器の手前に出口スリットが横方向
移動自在に設けられている波長走査型分光器であって、
支点軸を中心に出口スリットの移動方向に沿って揺動し
うる出口スリット支持用のバーと、このバーの支点軸か
ら離れた部分に連係して該バーを揺動駆動する揺動機構
とを備え、この揺動機構のバー連係部分よりも支点軸に
近い位置で前記バーに出口スリットを支持した構成とし
た。
成するために、光検出器の手前に出口スリットが横方向
移動自在に設けられている波長走査型分光器であって、
支点軸を中心に出口スリットの移動方向に沿って揺動し
うる出口スリット支持用のバーと、このバーの支点軸か
ら離れた部分に連係して該バーを揺動駆動する揺動機構
とを備え、この揺動機構のバー連係部分よりも支点軸に
近い位置で前記バーに出口スリットを支持した構成とし
た。
【００１１】
【発明の実施の形態】図面に基づいて本発明の詳細を説
明すると、図１および図２は本発明の一実施の形態に係
る出口スリット移動機構を示すもので、図１は斜視図、
図２は平面図である。
明すると、図１および図２は本発明の一実施の形態に係
る出口スリット移動機構を示すもので、図１は斜視図、
図２は平面図である。
【００１２】これらの図において、符号１６は出口スリ
ット移動機構の全体を示し、１７は後段の凹面鏡、１８
は、光検出器（図示省略）の手前に設けられる出口スリ
ットである。この出口スリット移動機構１６は、図５に
既に示したような波長走査型分光器に含まれるものであ
り、出口スリット１８およびその移動機構１６を除く部
分は、従来のものと異ならないので、その部分の構成は
自明のものとして説明を省略する。
ット移動機構の全体を示し、１７は後段の凹面鏡、１８
は、光検出器（図示省略）の手前に設けられる出口スリ
ットである。この出口スリット移動機構１６は、図５に
既に示したような波長走査型分光器に含まれるものであ
り、出口スリット１８およびその移動機構１６を除く部
分は、従来のものと異ならないので、その部分の構成は
自明のものとして説明を省略する。
【００１３】出口スリット移動機構１６は、出口スリッ
ト１８を支持するバー１９と、このバー１９に連係する
揺動機構２０とからなる。バー１９は、光検出器への入
射光の光路と平行に配置されており、支点軸２１により
縦軸周り揺動自在に支持されている。この例では、出口
スリット１８はバー１９の一端に立設され、支点軸２１
はバー１９の長さ方向中途部で出口スリット１８寄りの
位置に設定されている。
ト１８を支持するバー１９と、このバー１９に連係する
揺動機構２０とからなる。バー１９は、光検出器への入
射光の光路と平行に配置されており、支点軸２１により
縦軸周り揺動自在に支持されている。この例では、出口
スリット１８はバー１９の一端に立設され、支点軸２１
はバー１９の長さ方向中途部で出口スリット１８寄りの
位置に設定されている。
【００１４】揺動機構２０は、バー１９の各部分のう
ち、出口スリット１８とは反対側の部分の一側にあっ
て、バー１９の側面を押動することで該バー１９を支点
軸２１周りに揺動させるものである。この揺動機構２０
は、パルスモータ２２と、その駆動軸と一体に回転する
ネジ軸２３と、このネジ軸２３に螺合する雌ネジ軸２４
と、この雌ネジ軸２４を軸方向にはスライドしうるが回
転しないよう保持するブラケット２５とからなり、雌ネ
ジ軸２４の先端がバー１９の側面にほぼ直角に当接する
ようになっている。また、バー１９の一端とハウジング
側の固定部との間には、引っ張りバネ２６が設けられ、
このバネ２６によりバー１９の側面と雌ネジ軸２４の先
端とが接触状態に保たれている。
ち、出口スリット１８とは反対側の部分の一側にあっ
て、バー１９の側面を押動することで該バー１９を支点
軸２１周りに揺動させるものである。この揺動機構２０
は、パルスモータ２２と、その駆動軸と一体に回転する
ネジ軸２３と、このネジ軸２３に螺合する雌ネジ軸２４
と、この雌ネジ軸２４を軸方向にはスライドしうるが回
転しないよう保持するブラケット２５とからなり、雌ネ
ジ軸２４の先端がバー１９の側面にほぼ直角に当接する
ようになっている。また、バー１９の一端とハウジング
側の固定部との間には、引っ張りバネ２６が設けられ、
このバネ２６によりバー１９の側面と雌ネジ軸２４の先
端とが接触状態に保たれている。
【００１５】そして、この揺動機構２０とバー１９との
連係位置、すなわち、雌ネジ軸２４とバー１９との接触
位置は、支点軸２１から離れた位置に設定されており、
この連係位置から支点軸２１までの距離ｂは、支点軸２
１から出口スリット１８までの距離ａより長くなる（ａ
＜ｂ）ように設定されている。
連係位置、すなわち、雌ネジ軸２４とバー１９との接触
位置は、支点軸２１から離れた位置に設定されており、
この連係位置から支点軸２１までの距離ｂは、支点軸２
１から出口スリット１８までの距離ａより長くなる（ａ
＜ｂ）ように設定されている。
【００１６】上記構成において、パルスモータ２１の一
方向の回転により雌ネジ軸２４が突出すると、バー１９
は側面が押動されることで、図において反時計方向に揺
動し、これによってバー１９の他端にある出口スリット
１８が光検出器への入射光に対して横移動する。
方向の回転により雌ネジ軸２４が突出すると、バー１９
は側面が押動されることで、図において反時計方向に揺
動し、これによってバー１９の他端にある出口スリット
１８が光検出器への入射光に対して横移動する。
【００１７】この場合、バー１９は、揺動機構２０との
連係部分を力点、出口スリット１８の取り付け位置を作
用点とするテコとして、雌ネジ軸２４の移動量を縮小し
て出口スリット１８側に伝えるのであって、このバー１
９により、出口スリット１８の横方向移動量は、雌ネジ
軸２４の突出量のａ／ｂに縮小される。そのため、パル
スモータ２２やこれに直結するネジ等の機構の精度が従
来と同程度であっても、出口スリット１８の移動分解能
は、ｂ／ａ倍だけ向上し、出口スリット１８の高精度の
横移動が可能になる。
連係部分を力点、出口スリット１８の取り付け位置を作
用点とするテコとして、雌ネジ軸２４の移動量を縮小し
て出口スリット１８側に伝えるのであって、このバー１
９により、出口スリット１８の横方向移動量は、雌ネジ
軸２４の突出量のａ／ｂに縮小される。そのため、パル
スモータ２２やこれに直結するネジ等の機構の精度が従
来と同程度であっても、出口スリット１８の移動分解能
は、ｂ／ａ倍だけ向上し、出口スリット１８の高精度の
横移動が可能になる。
【００１８】なお、上記実施の形態のように、揺動機構
２０の先端部分（雌ネジ軸２４）でバー１９の側面を押
動し、引っ張りバネ２６によりその接触状態を保つよう
にして、バー１９と揺動機構２０とを連係させると、両
者の間に遊びがでぎず、揺動機構２０の動きがバー１９
にがたつきなく伝わる。バー１９と揺動機構２０とを連
係させるためには、ほかに、バー１９と、揺動機構２０
の先端部分（例えば雌ネジ軸２４）とを直接係合させて
もよい。その場合には、引っ張りバネを設ける必要がな
くなる。
２０の先端部分（雌ネジ軸２４）でバー１９の側面を押
動し、引っ張りバネ２６によりその接触状態を保つよう
にして、バー１９と揺動機構２０とを連係させると、両
者の間に遊びがでぎず、揺動機構２０の動きがバー１９
にがたつきなく伝わる。バー１９と揺動機構２０とを連
係させるためには、ほかに、バー１９と、揺動機構２０
の先端部分（例えば雌ネジ軸２４）とを直接係合させて
もよい。その場合には、引っ張りバネを設ける必要がな
くなる。
【００１９】また、上記実施の形態において、バー１９
を揺動させる揺動機構２０として、ネジ軸を用いた機構
を示したが、同機構はこれに限定されるものではなく、
例えば、パルスモータとカムとを組み合わせた機構を用
い、カムをバーの側面に接触させるようにしてもよい。
を揺動させる揺動機構２０として、ネジ軸を用いた機構
を示したが、同機構はこれに限定されるものではなく、
例えば、パルスモータとカムとを組み合わせた機構を用
い、カムをバーの側面に接触させるようにしてもよい。
【００２０】図３は他の実施の形態を示すものである。
この実施の形態では、バー１９の一端に支点軸２１が設
定され、他端に揺動機構２０との連係部分が設定されて
おり、この連係部分と支点軸２１との間に出口スリット
１８が支持されることで、支点軸２１から出口スリット
１８までの距離ａは、支点軸２１から揺動機構２０との
連係部分までの距離ｂより短くなっている。この例で
は、バー１９の長さが距離ｂ程度あればよく、バー１９
が図１の実施例のものより短くて済み、所要スペースを
小さくすることができる。
この実施の形態では、バー１９の一端に支点軸２１が設
定され、他端に揺動機構２０との連係部分が設定されて
おり、この連係部分と支点軸２１との間に出口スリット
１８が支持されることで、支点軸２１から出口スリット
１８までの距離ａは、支点軸２１から揺動機構２０との
連係部分までの距離ｂより短くなっている。この例で
は、バー１９の長さが距離ｂ程度あればよく、バー１９
が図１の実施例のものより短くて済み、所要スペースを
小さくすることができる。
【００２１】図４はさらに他の実施の形態を示すもので
ある。この実施の形態では、バー１９が作用点側の部分
１９Ａと力点側の部分１９Ｂとに分割されている。そし
て、支点軸２１がハウジングの外壁２７を内外に貫通
し、支点軸２１の内側部分に、バー１９の各部分のう
ち、出口スリット１８を支持する作用点側の部分１９Ａ
が取り付けられ、支点軸２１の外側部分に揺動機構２０
が連係する力点側の部分１９Ｂが取り付けられている。
この構成では、バー１９を揺動駆動する部分がハウジン
グの外部に配置されることになり、ハウジング内部の構
成が簡略化する。
ある。この実施の形態では、バー１９が作用点側の部分
１９Ａと力点側の部分１９Ｂとに分割されている。そし
て、支点軸２１がハウジングの外壁２７を内外に貫通
し、支点軸２１の内側部分に、バー１９の各部分のう
ち、出口スリット１８を支持する作用点側の部分１９Ａ
が取り付けられ、支点軸２１の外側部分に揺動機構２０
が連係する力点側の部分１９Ｂが取り付けられている。
この構成では、バー１９を揺動駆動する部分がハウジン
グの外部に配置されることになり、ハウジング内部の構
成が簡略化する。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、ネジ軸等からなる揺動
機構の駆動量をテコの作用により縮小して、出口スリッ
トを横方向に移動させるようにしたもので、出口スリッ
トを直接横移動させる従来のものに比べ、テコの比率分
だけ、移動分解能が上昇し、出口スリットを高精度に横
移動させることができる。
機構の駆動量をテコの作用により縮小して、出口スリッ
トを横方向に移動させるようにしたもので、出口スリッ
トを直接横移動させる従来のものに比べ、テコの比率分
だけ、移動分解能が上昇し、出口スリットを高精度に横
移動させることができる。
【００２３】この場合、機構的にはテコとなるバーを設
けるだけで、ネジのピッチを細かくしたり、パルスモー
タの回転分割数を大きくする等、負担の大きい改変を加
える必要がなく、比較的安価に実施しうる。
けるだけで、ネジのピッチを細かくしたり、パルスモー
タの回転分割数を大きくする等、負担の大きい改変を加
える必要がなく、比較的安価に実施しうる。
【図１】本発明の一実施の形態に係る出口スリット移動
機構の斜視図である。
機構の斜視図である。
【図２】上記移動機構の平面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態に係る移動機構の平面
図である。
図である。
【図４】本発明のさらに他の実施の形態に係る移動機構
の縦断側面図である。
の縦断側面図である。
【図５】波長走査型分光器の構成図である。
【図６】従来の出口スリット移動機構の側面図である。
１８ 出口スリット １９ バー ２０ 揺動機構 ２１ 支点軸 ２２ パルスモータ ２３ ネジ軸
Claims (1)
- 【請求項１】 光検出器の手前に出口スリットが横方向
移動自在に設けられている波長走査型分光器であって、 支点軸を中心に出口スリットの移動方向に沿って揺動し
うる出口スリット支持用のバーと、このバーの支点軸か
ら離れた部分に連係して該バーを揺動駆動する揺動機構
とを備え、この揺動機構のバー連係部分よりも支点軸に
近い位置で前記バーに出口スリットを支持したことを特
徴とする波長走査型分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12830796A JPH09311073A (ja) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | 波長走査型分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12830796A JPH09311073A (ja) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | 波長走査型分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09311073A true JPH09311073A (ja) | 1997-12-02 |
Family
ID=14981548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12830796A Pending JPH09311073A (ja) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | 波長走査型分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09311073A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013543120A (ja) * | 2010-10-14 | 2013-11-28 | アルコン レンゼックス， インコーポレーテッド | 光コヒーレンス・トモグラフィのための、検出器上の分散光のアライメントを制御するための調節可能なデフレクタを有する分光計 |
-
1996
- 1996-05-23 JP JP12830796A patent/JPH09311073A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013543120A (ja) * | 2010-10-14 | 2013-11-28 | アルコン レンゼックス， インコーポレーテッド | 光コヒーレンス・トモグラフィのための、検出器上の分散光のアライメントを制御するための調節可能なデフレクタを有する分光計 |
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