JPH09311262A - 顕微鏡用オートフォーカス機構 - Google Patents
顕微鏡用オートフォーカス機構Info
- Publication number
- JPH09311262A JPH09311262A JP12572296A JP12572296A JPH09311262A JP H09311262 A JPH09311262 A JP H09311262A JP 12572296 A JP12572296 A JP 12572296A JP 12572296 A JP12572296 A JP 12572296A JP H09311262 A JPH09311262 A JP H09311262A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- groove
- microscope
- lens holder
- fulcrum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Focusing (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 てこ式変位拡大機構を備える顕微鏡のオート
フォーカス機構のおいて、簡単な構成で、対物レンズの
移動中心と光軸が常に一致して動作するような顕微鏡用
オ−トフォ−カス機構を実現する。 【解決手段】 てこ式変位拡大機構の対物レンズを保持
するレンズホルダ２の対物レンズと支点の間に弾性変形
しやすいような溝６を設けるとともに、レンズホルダ２
の対物レンズ４側の端に溝７を設け、この溝に一端が接
合し、他端が固定された板バネ等の弾性体８を配置し、
レンズの変位を妨げる方向に作用する構成とする。
フォーカス機構のおいて、簡単な構成で、対物レンズの
移動中心と光軸が常に一致して動作するような顕微鏡用
オ−トフォ−カス機構を実現する。 【解決手段】 てこ式変位拡大機構の対物レンズを保持
するレンズホルダ２の対物レンズと支点の間に弾性変形
しやすいような溝６を設けるとともに、レンズホルダ２
の対物レンズ４側の端に溝７を設け、この溝に一端が接
合し、他端が固定された板バネ等の弾性体８を配置し、
レンズの変位を妨げる方向に作用する構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡用オ−トフ
ォ−カス機構の改良に関するものである。
ォ−カス機構の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のオートフォーカス機構を構成する
てこ式変位拡大機構を図３および図４に示す。図３
（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、てこ式変位拡大機構部の平
面図及び側面図である。図４は図３（Ｂ）の動作状態を
示す図である。
てこ式変位拡大機構を図３および図４に示す。図３
（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、てこ式変位拡大機構部の平
面図及び側面図である。図４は図３（Ｂ）の動作状態を
示す図である。
【０００３】図３において、圧電素子１５、対物レンズ
１４、レンズホルダ１２、支持ブロック１１は回転軸１
３によって、支持ブロック１１および１１’に回転可能
に固定されている。レンズホルダ１２の長軸端に対物レ
ンズ１４および１４’が取りつけられ、レンズホルダ１
２の短軸端に圧電素子１５が接続配置されている。また
圧縮ばね１６はレンズホルダ１２を介して圧電素子１５
に予圧をかけている。
１４、レンズホルダ１２、支持ブロック１１は回転軸１
３によって、支持ブロック１１および１１’に回転可能
に固定されている。レンズホルダ１２の長軸端に対物レ
ンズ１４および１４’が取りつけられ、レンズホルダ１
２の短軸端に圧電素子１５が接続配置されている。また
圧縮ばね１６はレンズホルダ１２を介して圧電素子１５
に予圧をかけている。
【０００４】被測定物のフォ−カス調整のため、圧電素
子１５が伸縮すると、てこの原理により、図４に示すよ
うに、レンズホルダが回転軸１３を支点に角度θ回転す
る。図４では圧電素子が伸長した場合を示しており、縮
小すると逆方向に回転する。従って、対物レンズ１４お
よび１４’は上方に移動して被測定物との距離が変化
し、最適な位置に調整される。しかし回転軸１３を支点
にした回転運動のため、対物レンズの中心軸が光軸に対
して角度θずれてしまう欠点があった。
子１５が伸縮すると、てこの原理により、図４に示すよ
うに、レンズホルダが回転軸１３を支点に角度θ回転す
る。図４では圧電素子が伸長した場合を示しており、縮
小すると逆方向に回転する。従って、対物レンズ１４お
よび１４’は上方に移動して被測定物との距離が変化
し、最適な位置に調整される。しかし回転軸１３を支点
にした回転運動のため、対物レンズの中心軸が光軸に対
して角度θずれてしまう欠点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
欠点を除去し、簡単な構成で、小形かつ安価ながら、対
物レンズの移動中心と光軸が常に一致して動作するよう
な顕微鏡用オ−トフォ−カス機構を実現することにあ
る。
欠点を除去し、簡単な構成で、小形かつ安価ながら、対
物レンズの移動中心と光軸が常に一致して動作するよう
な顕微鏡用オ−トフォ−カス機構を実現することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、てこの原理を採用した変位拡大機構の欠点で
ある傾き角度の発生を取り除くため、レンズホルダの一
部に弾性変形し易いような溝を設けるとともに、レンズ
ホルダの対物レンズ側の端に板ばね等の弾性体と接合溝
を配置した構成としたものである。
するため、てこの原理を採用した変位拡大機構の欠点で
ある傾き角度の発生を取り除くため、レンズホルダの一
部に弾性変形し易いような溝を設けるとともに、レンズ
ホルダの対物レンズ側の端に板ばね等の弾性体と接合溝
を配置した構成としたものである。
【０００７】その結果、レンズホルダが角度θ傾いても
弾性体によりレンズホルダの弾性変形用溝を支点に角度
θと反対方向に回転変形されるので、対物レンズは光軸
に対して平行に上下する。そのため視野ずれも発生せ
ず、高精度な顕微鏡用オ−トフォ−カス機構を実現する
ことができる。
弾性体によりレンズホルダの弾性変形用溝を支点に角度
θと反対方向に回転変形されるので、対物レンズは光軸
に対して平行に上下する。そのため視野ずれも発生せ
ず、高精度な顕微鏡用オ−トフォ−カス機構を実現する
ことができる。
【０００８】図１（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ本発明の変
位拡大機構の平面図及び側面図を示す。２はレンズホル
ダ、３は回転軸、４、４’は対物レンズ、６は弾性変形
用溝、七は接合溝、は弾性体である。
位拡大機構の平面図及び側面図を示す。２はレンズホル
ダ、３は回転軸、４、４’は対物レンズ、６は弾性変形
用溝、七は接合溝、は弾性体である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図２に示す本発明の実施例
について説明する。回転軸３、圧電素子５、対物レンズ
４、レンズホルダ２、支持ブロック１、レンズホルダ２
は回転軸３によって、支持ブロック１および１’に回転
可能に固定されている。
について説明する。回転軸３、圧電素子５、対物レンズ
４、レンズホルダ２、支持ブロック１、レンズホルダ２
は回転軸３によって、支持ブロック１および１’に回転
可能に固定されている。
【００１０】レンズホルダ２の長軸端に対物レンズ４お
よび４’が取りつけられ、レンズホルダ２の短軸端に圧
電素子５が接続配置されている。レンズホルダ２の一部
すなわち回転軸３と対物レンズ間に弾性変形用溝６を設
け、更に対物レンズ側の端に板ばね等の弾性体８と接合
溝７を設けている。１０は弾性体８の固定部である。ま
た、圧縮ばね９はレンズホルダ２を介して圧電素子５に
予圧をかけている。
よび４’が取りつけられ、レンズホルダ２の短軸端に圧
電素子５が接続配置されている。レンズホルダ２の一部
すなわち回転軸３と対物レンズ間に弾性変形用溝６を設
け、更に対物レンズ側の端に板ばね等の弾性体８と接合
溝７を設けている。１０は弾性体８の固定部である。ま
た、圧縮ばね９はレンズホルダ２を介して圧電素子５に
予圧をかけている。
【００１１】以下、この動作について説明する。圧電素
子５に外部（図示せず）から電圧が印加されると、その
電圧に応じて圧電素子５が長手方向に伸縮する。従って
圧電素子５に接続配置されているレンズホルダ２は回転
軸３を支点に角度θ回転する。ところがレンズホルダ２
に弾性変形用溝６と接合溝７および弾性体８を設けてあ
るため、弾性変形用溝６を支点にレンズホルダ２の一部
が角度θと反対方向に回転するため、対物レンズ４およ
び４’は水平に上下する。その結果、対物レンズ４およ
び４’の中心軸は光軸に対して平行に変位するので、視
野ずれも発生せず、高精度な顕微鏡用オ−トフォ−カス
機構を実現することができる。
子５に外部（図示せず）から電圧が印加されると、その
電圧に応じて圧電素子５が長手方向に伸縮する。従って
圧電素子５に接続配置されているレンズホルダ２は回転
軸３を支点に角度θ回転する。ところがレンズホルダ２
に弾性変形用溝６と接合溝７および弾性体８を設けてあ
るため、弾性変形用溝６を支点にレンズホルダ２の一部
が角度θと反対方向に回転するため、対物レンズ４およ
び４’は水平に上下する。その結果、対物レンズ４およ
び４’の中心軸は光軸に対して平行に変位するので、視
野ずれも発生せず、高精度な顕微鏡用オ−トフォ−カス
機構を実現することができる。
【００１２】レンズホルダ２の回転角度θが変化しても
常に対物レンズ４および４’が水平に保持できるように
弾性変形用溝６の形状と弾性体８のばね定数を関係づけ
ることが重要である。また弾性体８の代わりに圧電素子
を用いて、対物レンズ４および４’を水平に保つ構成に
してもよい。なお、本実施例では、対物レンズを切替え
る移動機構については図および説明を省略した。
常に対物レンズ４および４’が水平に保持できるように
弾性変形用溝６の形状と弾性体８のばね定数を関係づけ
ることが重要である。また弾性体８の代わりに圧電素子
を用いて、対物レンズ４および４’を水平に保つ構成に
してもよい。なお、本実施例では、対物レンズを切替え
る移動機構については図および説明を省略した。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、簡単な構成ながら、小
形かつ安価で、高精度な顕微鏡用オ−トフォ−カス機構
を実現することができる。
形かつ安価で、高精度な顕微鏡用オ−トフォ−カス機構
を実現することができる。
【図１】本発明の構成を示す平面図（Ａ）及び側面図
（Ｂ）である。
（Ｂ）である。
【図２】本発明の実施例の側面図である。
【図３】従来の構成を示す平面図（Ａ）及び側面図
（Ｂ）である。
（Ｂ）である。
【図４】従来例の側面図である。
１、１’、１１、１１’ 支持ブロック ２、１２ レンズホルダ ３、１３ 回転軸 ４、４’、１４、１４’ 対物レンズ ５、１５ 圧電素子 ６ 弾性変形用溝 ７ 接合溝 ８ 弾性体 ９、１６ 圧縮ばね １０ 固定部
Claims (1)
- 【請求項１】 対物レンズを保持するてこ式変位拡大機
構を備える顕微鏡用オートフォーカス機構において、対
物レンズを上記てこ式変位拡大機構の支点から遠い一端
に、電気機械変換素子を支点に近い一端に配置するとと
もに、対物レンズ保持部材の支点側に弾性変形用溝を設
け、対物レンズ保持部材の支点と反対側に弾性体を接続
することにより、対物レンズを光軸と平行に移動させる
ようにしたことを特徴とする顕微鏡用オ−トフォ−カス
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12572296A JPH09311262A (ja) | 1996-05-21 | 1996-05-21 | 顕微鏡用オートフォーカス機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12572296A JPH09311262A (ja) | 1996-05-21 | 1996-05-21 | 顕微鏡用オートフォーカス機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09311262A true JPH09311262A (ja) | 1997-12-02 |
Family
ID=14917154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12572296A Pending JPH09311262A (ja) | 1996-05-21 | 1996-05-21 | 顕微鏡用オートフォーカス機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09311262A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0973053A3 (de) * | 1998-06-19 | 2003-07-02 | Sick AG | Vorrichtung zum Verstellen der Fokuslage einer optoelektronischen Vorrichtung |
| US7733586B2 (en) | 2008-05-16 | 2010-06-08 | Ffei Limited | Lens positioning assembly |
-
1996
- 1996-05-21 JP JP12572296A patent/JPH09311262A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0973053A3 (de) * | 1998-06-19 | 2003-07-02 | Sick AG | Vorrichtung zum Verstellen der Fokuslage einer optoelektronischen Vorrichtung |
| US7733586B2 (en) | 2008-05-16 | 2010-06-08 | Ffei Limited | Lens positioning assembly |
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