JPH09318438A - 走査光学系のビーム形状測定装置 - Google Patents
走査光学系のビーム形状測定装置Info
- Publication number
- JPH09318438A JPH09318438A JP13507196A JP13507196A JPH09318438A JP H09318438 A JPH09318438 A JP H09318438A JP 13507196 A JP13507196 A JP 13507196A JP 13507196 A JP13507196 A JP 13507196A JP H09318438 A JPH09318438 A JP H09318438A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dimensional sensor
- measuring
- optical system
- base
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転多面鏡、ｆ・θレンズからなる走査光学
系の各走査位置に対するビームの形状を精度よく測定す
るそ装置を提供する。 【解決手段】 ベース１０上の測定ヘッド１２の二次元
センサ１４の前方には、反射ミラー２０が配設される。
このミラー２０は、回転軸２２により支持されていて、
ミラー２０の反射面２４と二次元センサ１４の光軸線Ｃ
1とのなす角度αを調整することができる。そこで、こ
の測定部ベース１０をビームａ１，ａ２，ａ３のそれぞ
れの測定位置（Ａ部，Ｂ部，Ｃ部）に移動し、ビームａ
１，ａ２，ａ３を測定部ベース１０上にある反射ミラー
２０を回転することで角度αを調整して、主走査方向Ｍ
1に平行な光軸Ｉ2に変え、ビームａ１，ａ２，ａ３を二
次元センサ１４の中心部にあたるようにすることによ
り、ビームａ１，ａ２，ａ３を二次元センサ１４に結像
させる。この二次元センサ１４に結像したビームの形状
をマイクロコンピュータで算出する。
系の各走査位置に対するビームの形状を精度よく測定す
るそ装置を提供する。 【解決手段】 ベース１０上の測定ヘッド１２の二次元
センサ１４の前方には、反射ミラー２０が配設される。
このミラー２０は、回転軸２２により支持されていて、
ミラー２０の反射面２４と二次元センサ１４の光軸線Ｃ
1とのなす角度αを調整することができる。そこで、こ
の測定部ベース１０をビームａ１，ａ２，ａ３のそれぞ
れの測定位置（Ａ部，Ｂ部，Ｃ部）に移動し、ビームａ
１，ａ２，ａ３を測定部ベース１０上にある反射ミラー
２０を回転することで角度αを調整して、主走査方向Ｍ
1に平行な光軸Ｉ2に変え、ビームａ１，ａ２，ａ３を二
次元センサ１４の中心部にあたるようにすることによ
り、ビームａ１，ａ２，ａ３を二次元センサ１４に結像
させる。この二次元センサ１４に結像したビームの形状
をマイクロコンピュータで算出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザプリンタ等
の走査光学系におけるビーム形状測定装置に関し、レー
ザプリンタ等の走査光学系の測定に適用できるものであ
る。
の走査光学系におけるビーム形状測定装置に関し、レー
ザプリンタ等の走査光学系の測定に適用できるものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のビーム形状測定装置の全体
構成を示す説明図、図５は測定ヘッドの詳細を示す説明
図である。測定用レーザ光源１より発信したビームＬ1
は、回転する多面鏡２により反射されてｆ・θレンズ３
を通り、ビームａ１，ａ２，ａ３のように走査される。
構成を示す説明図、図５は測定ヘッドの詳細を示す説明
図である。測定用レーザ光源１より発信したビームＬ1
は、回転する多面鏡２により反射されてｆ・θレンズ３
を通り、ビームａ１，ａ２，ａ３のように走査される。
【０００３】ビーム形状を測定するヘッド４は、二次元
センサ５を備えたものであって、ベース６上に載置され
てガイドレール８上を主走査方向Ｍ1に沿って移動する
として、ｆ・θレンズ３の任意の位置から射出されるビ
ームａ１，ａ２，ａ３の光軸に二次元センサＳの中心と
を合致させ、ビームの形状を測定している。
センサ５を備えたものであって、ベース６上に載置され
てガイドレール８上を主走査方向Ｍ1に沿って移動する
として、ｆ・θレンズ３の任意の位置から射出されるビ
ームａ１，ａ２，ａ３の光軸に二次元センサＳの中心と
を合致させ、ビームの形状を測定している。
【０００４】その測定時にｆ・θレンズ３の中心位置
（Ｂ部）ではビームａ２の光軸と二次元センサ５からな
る測定部４が直角となりビームａ２の入光の光軸が垂直
な状態となり、測定が可能であるが、ｆ・θレンズ３の
中心以外の測定位置（Ａ部，Ｃ部）ではビームａ１，ａ
３の光軸が二次元センサＳからなる測定部４に斜めにビ
ームａ１，ａ３が入光することになりビームａ１，ａ３
の光軸と二次元センサ５からなる測定部４に角度Θ１が
つき、図６のグラフに示すように、Ｂ部に比べＡ部，Ｃ
部でのビーム形状のバラツキが大きくなり、精度のよい
測定ができない。この種のビーム形状測定装置は、特開
平４−３６６２９号公報にも開示されている。
（Ｂ部）ではビームａ２の光軸と二次元センサ５からな
る測定部４が直角となりビームａ２の入光の光軸が垂直
な状態となり、測定が可能であるが、ｆ・θレンズ３の
中心以外の測定位置（Ａ部，Ｃ部）ではビームａ１，ａ
３の光軸が二次元センサＳからなる測定部４に斜めにビ
ームａ１，ａ３が入光することになりビームａ１，ａ３
の光軸と二次元センサ５からなる測定部４に角度Θ１が
つき、図６のグラフに示すように、Ｂ部に比べＡ部，Ｃ
部でのビーム形状のバラツキが大きくなり、精度のよい
測定ができない。この種のビーム形状測定装置は、特開
平４−３６６２９号公報にも開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、回転多面鏡
で反射されｆ・θレンズから射出された各走査位置のビ
ームの形状を測定するためにｆ・θレンズの背後に配置
した、任意の角度に回転できる反射ミラーと二次元セン
サからなる測定部を同一ベース上に当際したものを移動
することにより、移動による位置ズレ、移動による傾き
等を考慮する必要がなく、また、任意の角度に回転でき
る反射ミラーと二次元センサからなる測定部を同一ベー
ス上に固定し反射ミラーを回転して各走査位置での光軸
を二次元センサからなる測定部に一定角度で入光するこ
とにより各走査位置での二次元センサからなる測定部へ
のビームの入射角を一定とし、測定誤差と移動に伴う測
定誤差を解消でき、より精度よく測定する手段を提供す
ることを目的とするものである。
で反射されｆ・θレンズから射出された各走査位置のビ
ームの形状を測定するためにｆ・θレンズの背後に配置
した、任意の角度に回転できる反射ミラーと二次元セン
サからなる測定部を同一ベース上に当際したものを移動
することにより、移動による位置ズレ、移動による傾き
等を考慮する必要がなく、また、任意の角度に回転でき
る反射ミラーと二次元センサからなる測定部を同一ベー
ス上に固定し反射ミラーを回転して各走査位置での光軸
を二次元センサからなる測定部に一定角度で入光するこ
とにより各走査位置での二次元センサからなる測定部へ
のビームの入射角を一定とし、測定誤差と移動に伴う測
定誤差を解消でき、より精度よく測定する手段を提供す
ることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、回転多面鏡、ｆ・θレンズと、ｆ・θレ
ンズから射出されるビームの形状を測定するための二次
元センサからなる測定部を備える走査光学系のビーム形
状測定装置において、前記測定部を主走査方向に平行に
置き、前記ｆ・θレンズと前記測定部との間に回転可能
で任意の角度にすることが可能な反射ミラーを設けて光
路を折り返す。この構成により、前記二次元センサ上に
ビームの光軸と二次元センサとが直角になり、ビームが
二次元センサに垂直に入射することが可能となる。その
場合において反射ミラーと測定部を同一のベース上に固
定し、前記ベースを主走査方向に移動することにより各
ビームの走査位置での測定を誤差なく、精度よくビーム
形状を測定可能にすることを特徴とするものである。
成するために、回転多面鏡、ｆ・θレンズと、ｆ・θレ
ンズから射出されるビームの形状を測定するための二次
元センサからなる測定部を備える走査光学系のビーム形
状測定装置において、前記測定部を主走査方向に平行に
置き、前記ｆ・θレンズと前記測定部との間に回転可能
で任意の角度にすることが可能な反射ミラーを設けて光
路を折り返す。この構成により、前記二次元センサ上に
ビームの光軸と二次元センサとが直角になり、ビームが
二次元センサに垂直に入射することが可能となる。その
場合において反射ミラーと測定部を同一のベース上に固
定し、前記ベースを主走査方向に移動することにより各
ビームの走査位置での測定を誤差なく、精度よくビーム
形状を測定可能にすることを特徴とするものである。
【０００７】本発明の構成により、回転多面鏡、ｆ・θ
レンズからなる走査光学系の各走査位置に対するビーム
の形状を精度よく測定することができる。
レンズからなる走査光学系の各走査位置に対するビーム
の形状を精度よく測定することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は、本発明のビーム形状測定装置を
備えた走査光学系の全体構成を示し、図２は測定ヘッド
の構成を示す平面図である。
いて説明する。図１は、本発明のビーム形状測定装置を
備えた走査光学系の全体構成を示し、図２は測定ヘッド
の構成を示す平面図である。
【０００９】測定用レーザ光源１より発信したビームＡ
は、回転する多面鏡２により反射してｆ・θレンズ３を
通り、ビームａ１，ａ２，ａ３のように走査される。ガ
イドレール８上に摺動自在に装備されるベース１０上に
は測定ヘッド１２がとりつけられる。測定ヘッド１２
は、二次元センサ１４を有するが、この二次元センサ１
４の光軸線Ｃ1は、走査光学系の主走査方向Ｍ1と平行に
設置される。
は、回転する多面鏡２により反射してｆ・θレンズ３を
通り、ビームａ１，ａ２，ａ３のように走査される。ガ
イドレール８上に摺動自在に装備されるベース１０上に
は測定ヘッド１２がとりつけられる。測定ヘッド１２
は、二次元センサ１４を有するが、この二次元センサ１
４の光軸線Ｃ1は、走査光学系の主走査方向Ｍ1と平行に
設置される。
【００１０】ベース１０上の測定ヘッド１２の二次元セ
ンサ１４の前方には、反射ミラー２０が配設される。こ
のミラー２０は、回転軸２２により支持されていて、ミ
ラー２０の反射面２４と二次元センサ１４の光軸線Ｃ1
とのなす角度αを調整することができる。そこで、この
測定部ベース１０をビームａ１，ａ２，ａ３のそれぞれ
の測定位置（Ａ部，Ｂ部，Ｃ部）に移動し、ビームａ
１，ａ２，ａ３を測定部ベース１０上にある反射ミラー
２０を回転することで角度αを調整して、主走査方向Ｍ
1に平行な光軸Ｉ2に変え、ビームａ１，ａ２，ａ３を二
次元センサ１４の中心部にあたるようにすることによ
り、ビームａ１，ａ２，ａ３を二次元センサ１４に結像
させる。この二次元センサ１４に結像したビームの形状
をマイクロコンピュータで算出する。
ンサ１４の前方には、反射ミラー２０が配設される。こ
のミラー２０は、回転軸２２により支持されていて、ミ
ラー２０の反射面２４と二次元センサ１４の光軸線Ｃ1
とのなす角度αを調整することができる。そこで、この
測定部ベース１０をビームａ１，ａ２，ａ３のそれぞれ
の測定位置（Ａ部，Ｂ部，Ｃ部）に移動し、ビームａ
１，ａ２，ａ３を測定部ベース１０上にある反射ミラー
２０を回転することで角度αを調整して、主走査方向Ｍ
1に平行な光軸Ｉ2に変え、ビームａ１，ａ２，ａ３を二
次元センサ１４の中心部にあたるようにすることによ
り、ビームａ１，ａ２，ａ３を二次元センサ１４に結像
させる。この二次元センサ１４に結像したビームの形状
をマイクロコンピュータで算出する。
【００１１】本発明の測定結果では図３のグラフのよう
に、測定位置Ａ部，Ｂ部，Ｃ部でのバラツキに差はみら
れない。また、従来の測定結果を示す図６のグラフと比
較すると、測定位置Ａ部，Ｃ部での測定バラツキに大き
な差がみられる。このようにして、回転多面鏡の反射に
より走査される各ビームの走査位置に対応して、各ビー
ム走査位置におけるビームの形状を測定のバラツキがな
く、精度よく測定することができる。
に、測定位置Ａ部，Ｂ部，Ｃ部でのバラツキに差はみら
れない。また、従来の測定結果を示す図６のグラフと比
較すると、測定位置Ａ部，Ｃ部での測定バラツキに大き
な差がみられる。このようにして、回転多面鏡の反射に
より走査される各ビームの走査位置に対応して、各ビー
ム走査位置におけるビームの形状を測定のバラツキがな
く、精度よく測定することができる。
【００１２】なお、反射ミラー２０の角度調整は手動で
行うが、必要に応じてベース１０の主走査方向Ｍ1への
移動量に対応して、アクチュエータによる自動で調整す
る構成とすることができる。
行うが、必要に応じてベース１０の主走査方向Ｍ1への
移動量に対応して、アクチュエータによる自動で調整す
る構成とすることができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明の構成により、任意の走査位置に
おけるビーム光軸を二次元センサからなる測定部に回転
させ任意の角度に調整できる反射ミラーを用いて、ビー
ムの光軸が二次元センサからなる測定部に常に一定の角
度で入光し結像することにより、測定位置によるバラツ
キをなくすことができることになり精度よくビーム形状
が測定できる利点を有する。
おけるビーム光軸を二次元センサからなる測定部に回転
させ任意の角度に調整できる反射ミラーを用いて、ビー
ムの光軸が二次元センサからなる測定部に常に一定の角
度で入光し結像することにより、測定位置によるバラツ
キをなくすことができることになり精度よくビーム形状
が測定できる利点を有する。
【図１】 本発明のビーム形状測定装置の構成を示す
図。
図。
【図２】 本発明のビーム形状測定装置の測定部を示す
図。
図。
【図３】 本発明のビーム形状測定装置の測定バラツキ
を示すグラフ。
を示すグラフ。
【図４】 従来のビーム形状測定装置の構成を示す図。
【図５】 従来のビーム形状測定装置の測定部を示す
図。
図。
【図６】 従来のビーム形状測定装置の測定バラツキを
示すグラフ。
示すグラフ。
１ レーザ光源、 ２ 回転多面鏡、 ３ ｆ・θレン
ズ、 １０ 測定部ベース、 １２ 測定ヘッド、 １
４ 二次元センサ、 ２０ 反射ミラー、 ２２ 回転
軸。
ズ、 １０ 測定部ベース、 １２ 測定ヘッド、 １
４ 二次元センサ、 ２０ 反射ミラー、 ２２ 回転
軸。
Claims (3)
- 【請求項１】 光源と、回転多面鏡と、ｆ・θレンズ
と、ｆ・θレンズから射出されるビームの形状を測定す
る二次元センサを有する測定ヘッドとを備える走査光学
系のビーム形状測定装置において、前記ｆ・θレンズと
前記測定ヘッドとの間に、ｆ・θレンズから射出された
ビームの光路上に任意の角度に回転できる反射ミラーを
設け、ビームを測定ヘッドのセンサに結像することを特
徴とする走査光学系のビーム形状測定装置。 - 【請求項２】 前記ビーム形状測定装置は、走査光学系
の主走査方向に配設されるガイドレールと、ガイドレー
ル上に摺動自在に装備されるベースと、ベース上に搭載
される測定ヘッドと、反射ミラーを備えることを特徴と
する請求項１記載の走査光学系のビーム形状測定装置。 - 【請求項３】 測定ヘッドは、その二次元センサの光軸
が主走査方向と平行にベース上に載置され、反射ミラー
は、ベースの主走査方向の位置に対応して、Ｆ・θレン
ズから射出されたビームを二次元センサの光軸に合致す
る角度位置に調整されることを特徴とする請求項２記載
の走査光学系のビーム形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13507196A JPH09318438A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 走査光学系のビーム形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13507196A JPH09318438A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 走査光学系のビーム形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09318438A true JPH09318438A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15143180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13507196A Pending JPH09318438A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 走査光学系のビーム形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09318438A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016147751A1 (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-22 | 日産自動車株式会社 | レーザビームの強度分布測定装置およびレーザビームの強度分布測定方法 |
-
1996
- 1996-05-29 JP JP13507196A patent/JPH09318438A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016147751A1 (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-22 | 日産自動車株式会社 | レーザビームの強度分布測定装置およびレーザビームの強度分布測定方法 |
| JP2016170104A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | 日産自動車株式会社 | レーザビームの強度分布測定装置およびレーザビームの強度分布測定方法 |
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