JPH09320134A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH09320134A
JPH09320134A JP8131917A JP13191796A JPH09320134A JP H09320134 A JPH09320134 A JP H09320134A JP 8131917 A JP8131917 A JP 8131917A JP 13191796 A JP13191796 A JP 13191796A JP H09320134 A JPH09320134 A JP H09320134A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 面内磁化状態にある部分の記録磁区情報がマ
スクされ、集光された光ビームのビーム径内に隣接する
記録ビットが入る場合においても、高い信号品質で個々
の記録ビットを分離して再生することが可能な光磁気記
録媒体を提供する。 【解決手段】 再生層1は、室温において面内磁化状態
であり臨界温度以上の温度で垂直磁化状態となる。記録
層4は、情報の記録される垂直磁化膜である。中間層3
は再生層1と記録層4との間に形成された非磁性膜であ
る。面内磁化層2は、再生層1に隣接しており、上記臨
界温度近傍の温度で磁化が減少するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録再生装
置に適用される光磁気ディスク,光磁気テープ,光磁気
カード等の光磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、書き換え可能な光記録媒体とし
て、光磁気記録媒体が広く使用されている。光磁気記録
媒体では、光磁気記録媒体上に半導体レーザからの光ビ
ームを集光することにより、情報の記録再生を行う。し
かしながら、従来より、このような光磁気記録媒体で
は、光ビームのビーム径に対して、記録用磁区である記
録ビット径及び記録ビット間隔が小さくなってくると、
再生特性が劣化してくるという問題がある。これは、目
的とする記録ビット上に集光された光ビームのビーム径
内に、隣接する記録ビットが入るために、個々の記録ビ
ットを分離して再生することができなくなるためであ
る。
【0003】上記問題を解決する光磁気記録媒体とし
て、室温において面内磁化状態であり、温度上昇と共に
垂直磁化状態となる再生層と、垂直磁化膜からなり情報
を記録する記録層と、再生層と記録層との間に設けられ
た非磁性中間層とを有しており、再生層と記録層とが静
磁結合した構造の光磁気記録媒体が提案されている(特
開平6−150418号公報)。
【0004】この光磁気記録媒体では、再生層中の面内
磁化状態にある部分の記録磁区情報からは情報が再生さ
れない、つまりその部分がマスクされる。このため、再
生層上に集光された光ビームのビーム径内に複数の記録
ビットが入る場合においても、光ビームのパワーと再生
層が垂直磁化状態となる温度を適当に設定しておけば、
個々の記録ビットを分離して再生することができる。し
たがって、記録ビットを高密度化することが可能とな
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
特開平6−150418号公報に記載された構造の光記
録媒体では、さらに小さい記録ビット径及びさらに小さ
い記録ビット間隔で記録再生を行う場合、面内磁化状態
にある再生層によるマスクが不十分となり、十分な再生
信号が得られなくなるという問題がある。
【0006】本発明は、上記従来の問題点を解決するた
めになされたものであり、その目的は、さらに小さい記
録ビット径及び小さい記録ビット間隔で記録再生を行っ
た場合においても、十分な再生信号を得ることのできる
光記録媒体を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の光磁気記録媒体は以下のようなものである。
【0008】(1)請求項1に記載の光磁気記録媒体
は、室温において面内磁化状態であり臨界温度以上の温
度で垂直磁化状態に移行する再生層と、垂直磁化膜から
なり情報を光磁気記録する記録層と、非磁性膜からなり
再生層と記録層との間に配置された中間層と、を有して
なる光磁気記録媒体において、再生層の少なくとも一方
側に隣接し、臨界温度近傍の温度で磁化が減少する面内
磁化層を有してなるものである。
【0009】上記構成によれば、臨界温度以下では面内
磁化層と再生層とが交換結合するため、再生層における
面内磁化によるマスクが強調され、小さい記録ビット径
及びさらに小さい記録ビット間隔で記録再生を行った場
合においても、十分な再生信号を得ること、すなわち、
磁気的超解像再生が可能となる。また、中間層により、
再生層及び面内磁化層と記録層との交換結合を完全に遮
断し、再生層及び面内磁化層と記録層との間に良好な静
磁結合を実現することが可能となる。
【0010】(2)請求項2に記載の光磁気記録媒体
は、面内磁化層が、臨界温度近傍の温度で磁化が消失し
ているものである。
【0011】本構成では、臨界温度近傍において面内磁
化層の磁化が消失しているため、再生層の磁化の向きは
面内磁化層により規定されなくなり、再生層への記録層
からの浮遊磁界の転写を容易に行うことが可能となる。
【0012】(3)請求項3に記載の光磁気記録媒体
は、面内磁化層が、臨界温度近傍の温度で、再生層との
交換結合を解いて再生層に記録層からの浮遊磁化を転写
させるように、設定されてなるものである。
【0013】上記構成によれば、臨界温度以下では面内
磁化層と再生層とが交換結合することにより、再生層に
おける面内磁化によるマスクが強調される。また、臨界
温度以上では、再生層に記録層からの浮遊磁化が転写さ
れる。このため、小さい記録ビット径及びさらに小さい
記録ビット間隔で記録再生を行った場合においても、十
分な再生信号を得ること、すなわち、磁気的超解像再生
が可能となる。
【0014】(4)請求項4に記載の光磁気記録媒体
は、面内磁化層のキュリー温度が、臨界温度と略同一で
あるものである。
【0015】この構成では、面内磁化層の温度が臨界温
度と略同一となったときに、面内磁化層の磁化が消失す
る。このため、臨界温度以下では再生層と面内磁化層が
交換結合して、再生層の磁化の向きが面内磁化層により
規定される。一方、臨界温度以上では面内磁化層の磁化
が消失するため、再生層の磁化の向きは面内磁化層によ
り規定されなくなり、垂直磁化状態となる。したがっ
て、臨界温度以下において、再生層の磁化の向きが膜面
に対して傾くようなことがなくなり面内磁化マスクが強
調される。また、臨界温度以上では、再生層に、記録層
からの磁化を容易に転写することが可能となる。
【0016】(5)請求項5に記載の光磁気記録媒体
は、面内磁化層がGdFe合金,GdFeAl合金,G
dFeTi合金,GdFeTa合金,GdFePt合
金,GdFeAu合金,GdFeCu合金,GdFeA
lTi合金,GdFeAlTa合金のいずれかの合金か
らなるものである。
【0017】上記構成によれば、面内磁化層と再生層と
の間の良好な交換結合状態を実現することが可能とな
り、再生層における面内磁化によるマスクが強調され、
良好な磁気的超解像再生を実現することが可能となる。
【0018】(6)請求項6に記載の光磁気記録媒体
は、再生層,面内磁化層,中間層、及び、記録層がこの
順に形成されており、面内磁化層の膜厚が、2nm以上
40nm以下であるものである。
【0019】上記構成によれば、面内磁化層と再生層と
の間に働く交換結合力が良好な状態に設定され、再生層
における面内磁化によるマスクを良好に強調することが
可能となる。
【0020】(7)請求項7に記載の光磁気記録媒体
は、再生層,面内磁化層,中間層、及び、記録層がこの
順に形成されており、再生層の膜厚が、10nm以上8
0nm以下であるものである。
【0021】上記構成によれば、再生層における面内磁
化によるマスクを良好に強調することが可能となる。ま
た、再生層膜厚が最適化されることにより、良好な再生
信号を得ることが可能となる。
【0022】(8)請求項8に記載の光磁気記録媒体
は、面内磁化層,再生層,中間層、及び、記録層がこの
順に形成されており、面内磁化層の膜厚が、2nm以上
10nm以下であることを特徴とするものである。
【0023】上記構成によれば、面内磁化層と再生層と
の間に働く交換結合力が良好な状態に設定され、再生層
における面内磁化によるマスクを良好に強調することが
可能となる。
【0024】(9)請求項9に記載の光磁気記録媒体
は、面内磁化層,再生層,中間層、及び、記録層がこの
順に形成されており、再生層の膜厚が、15nm以上6
0nm以下であることを特徴とするものである。
【0025】上記構成によれば、再生層における面内磁
化によるマスクを良好に強調することが可能となる。ま
た、再生層膜厚が最適化されることにより、良好な再生
信号を得ることが可能となる。
【0026】(10)請求項10に記載の光磁気記録媒
体は、請求項6乃至請求項9に記載の光磁気記録媒体に
おいて、中間層の膜厚が1nm以上80nm以下である
ものである。
【0027】この構成によれば、非磁性中間層膜厚が最
適化されることにより、良好な静磁結合状態が実現さ
れ、磁気的超解像再生を実現することが可能となる。
【0028】(11)請求項11に記載の光磁気記録媒
体は、中間層と記録層との間に反射層を有してなるもの
である。
【0029】この構成によれば、再生層と面内磁化層の
トータル膜厚が薄くなり、再生層と面内磁化層とを透過
した再生用の光ビームが反射層により反射され、磁気的
超解像再生にとって不要な記録層からの情報再生を完全
に遮断することが可能となるり、磁気的超解像再生特性
が改善される。
【0030】(12)請求項12に記載の光磁気記録媒
体は、反射層の膜厚が2nm以上40nm以下であるも
のである。
【0031】上記構成によれば、反射層膜厚が最適化さ
れることにより、再生用の光ビームが反射層により反射
され、磁気的超解像再生特性が改善されるとともに、再
生層及び面内磁化層と記録層との間に働く静磁結合力を
良好な状態に維持することが可能となる。
【0032】(13)請求項13に記載の光磁気記録媒
体は、反射層が、結晶化していない金属あるいは金属合
金からなるものである。
【0033】上記構成によれば、良好な磁気的超解像再
生を実現することが可能となるとともに、反射層上に形
成される記録層の磁気特性が改善され、より小さな消去
磁界で消去可能な光磁気ディスクを提供することが可能
となる。
【0034】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて詳細に説明する。
【0035】まず、光磁気記録媒体の再生動作原理を説
明する。図1は本発明の光磁気記録媒体の超解像再生動
作原理を説明する断面図であり、図2は従来の超解像再
生動作原理を説明する断面図である。
【0036】まず、従来の超解像再生動作について説明
する。従来の超解像光磁気記録媒体は、図2に示すよう
に、室温で面内磁化状態であり、臨界温度以上の温度で
垂直磁化状態となる希土類金属と遷移金属との合金から
なる再生層1と、室温に補償温度を有する希土類金属と
遷移金属との合金からなる記録層4との間に非磁性中間
層3が形成され、再生層1と記録層4とが静磁結合した
構成である。
【0037】再生は、光ビーム5を再生層1側から集光
照射することにより行われる。光ビーム5が照射される
と、媒体には光ビーム5の強度分布に対応したガウシア
ン分布状の温度分布が形成される。再生層1は、その温
度が分布に伴って面内磁化状態から垂直磁化状態へと遷
移する。図2では、Z部が臨界温度以上となっており、
この部分が垂直磁化状態となる。このとき、再生層1の
Z部のトータル磁化の向きは記録層4から発生する漏洩
磁界の向きとなる。このように、この光磁気記録媒体で
は、理想的には光スポット5が照射された部分の一部の
みが垂直磁化状態となって再生に寄与することとなり、
超解像再生動作が実現する。
【0038】上記したように、この光磁気記録媒体の再
生においては、再生層1が垂直磁化状態となる臨界温度
以上の範囲のみの情報が再生されることが望ましいが、
実際には、臨界温度以下の範囲においても図2における
Z部の近傍では、再生層1の磁化は、記録層4のトータ
ル磁化から発生する漏洩磁界の影響を受けて、膜面に対
して傾いた磁化状態となる、つまり、再生に寄与する垂
直磁化成分を有することになる。これは、記録層4から
発生する漏洩磁界が温度上昇に伴い徐々に大きくなるこ
とと、再生層1の磁化状態が温度上昇に伴って徐々に面
内磁化状態から垂直磁化状態へと遷移することによる。
したがって、Z部に記録された情報を再生する場合に、
そのZ部の近傍の臨界温度以下の範囲の情報をも同時に
再生してしまい、再生分解能劣化が発生してしまう。
【0039】ここで、再生層1においては、室温で面内
磁化状態であり温度上昇に伴い垂直磁化状態となる特性
を実現するため、希土類金属副格子モーメントの大きさ
と遷移金属副格子モーメントの大きさとが同じ大きさに
なる補償組成に対して、希土類金属副格子モーメントを
多く含有していることが必要であり、再生層1の遷移金
属副格子モーメントの向きとトータル磁化の向きとが反
平行となる。一方、記録層4においては、室温に補償温
度を有する希土類遷移金属合金が用いられており、温度
上昇過程において、遷移金属副格子モーメントの大きさ
が希土類金属副格子モーメントより大きくなるため、記
録層4の遷移金属副格子モーメントの向きとトータル磁
化の向きとは平行となる。
【0040】次に、図1に示す本発明の超解像光磁気記
録媒体の再生動作原理を説明する。この光記録媒体で
は、再生層1に隣接して、面内磁化層2が形成されてい
る。この面内磁化層2は、臨界温度以上の温度において
磁化を持たないか、あるいは、臨界温度近傍の温度で磁
化の大きさが温度上昇とともに小さくなるように設定さ
れている。
【0041】このような光磁気記録媒体では、再生層1
と面内磁化層2は隣接しているため、面内磁化層2の面
内磁化と再生層1の面内磁化とは臨界温度以下では交換
結合している。したがって、再生層1の磁化の方向は正
確に面内方向を向くこととなる。
【0042】また、この光磁気記録媒体に光ビーム5が
照射され、光ビーム5の強度分布に対応したガウシアン
分布状の温度分布が形成されると、面内磁化層2は、そ
の温度分布に起因する温度上昇に伴って磁化の大きさが
小さくなる或いは消失する。一方、再生層1は、その温
度上昇に伴って面内磁化状態から垂直磁化状態へと遷移
しようとする。このため、温度上昇とともに面内磁化層
2と再生層1との交換結合力が弱くなり、臨界温度以上
では、再生層1が垂直磁化状態となる。このとき、再生
層1のZのトータル磁化の向きは記録層4から発生する
漏洩磁界の向きとなる。
【0043】以上のように、本発明の光磁気記録媒体で
は、臨界温度以下では、面内磁化層2の面内磁化と再生
層1の面内磁化とが交換結合し、面内磁化状態が保持さ
れ、臨界温度以上でのみ、面内磁化層2の磁化が小さく
なり交換結合力が弱くなって、再生層1が垂直磁化状態
となる。このため、目的とする再生層1の臨界温度以上
の範囲のみの情報を再生することが可能となる。
【0044】〔第1の実施の形態〕本発明の実施の形態
について、図面に基づいて説明すれば以下の通りであ
る。本実施の形態では、光磁気記録媒体として光磁気デ
ィスクを適用した場合について説明する。
【0045】図3はこの光磁気ディスクの構成を示す断
面図である。この光磁気ディスクは、基板6,透明誘電
体層7,再生層1,面内磁化層2,非磁性中間層3,記
録層4,保護層8,オーバーコート層9が、この順にて
積層されたディスク本体を有している。
【0046】このような光磁気ディスクでは、その記録
方式としてキュリー温度記録方式が用いられており、半
導体レーザから出射される光ビーム5が対物レンズによ
り再生層1に絞り込まれ、極カー効果として知られてい
る光磁気効果によって情報が記録再生されるようになっ
ている。上記極カー効果とは、入射表面に垂直な磁化の
向きにより、反射光の偏光面の回転の向きが逆方向にな
る現象である。
【0047】基板6は、例えばポリカーボネート等の透
明な基材からなり、ディスク状に形成される。
【0048】透明誘電体層7は、AlN,SiN,Al
SiN等の酸素を含まない材料で構成されることが望ま
しく、その膜厚は、入射するレーザ光に対して、良好な
干渉効果が実現し、媒体のカー回転角が増大すべく設定
される必要があり、再生光の波長をλ,透明誘電体層7
の屈折率をnとした場合、透明誘電体層7の膜厚は(λ
/4n)程度に設定される。例えば、レーザ光の波長を
680nmとした場合、透明誘電体層7の膜厚を40n
m〜100nm程度に設定すれば良い。
【0049】再生層1は、希土類遷移金属合金からなる
磁性膜であり、その磁気特性が、室温において面内磁化
状態であり、温度上昇にともない垂直磁化状態となるよ
うに組成調整されている。
【0050】面内磁化層2は、希土類遷移金属合金、ま
たは、希土類金属、または、遷移金属を主成分とする磁
性膜からなり、膜面に水平な方向に磁化を有するもので
ある。上記したように、面内磁化層2は、臨界温度以下
の温度で再生層1の面内磁化状態を保持し、臨界温度以
上において磁化が弱くなり記録層4から発生する漏洩磁
界が透過しやすくなるように、組成調整されている。
【0051】非磁性中間層3は、AlN,SiN,Al
SiN等の誘電体、または、Al,Ti,Ta等の非磁
性金属合金からなり、再生層1及び面内磁化層2と記録
層4とが静磁結合すべく、その膜厚が1〜40nmに設
定されている。
【0052】記録層4は、希土類遷移金属合金からなる
垂直磁化膜からなり、その膜厚が、20〜80nmの範
囲に設定されている。
【0053】保護層8は、AlN,SiN,AlSiN
等の誘電体、または、Al,Ti,Ta等の非磁性金属
合金からなり、再生層1や記録層4に用いる希土類遷移
金属合金の酸化を防止する目的で形成されるものであ
り、その膜厚が5nm〜60nmの範囲に設定されてい
る。
【0054】オーバーコート層9は、紫外線硬化樹脂ま
たは熱硬化樹脂をスピンコートにより塗布して、紫外線
を照射するか、または、加熱するかによって形成され
る。
【0055】次に、この構成の光磁気ディスクの形成方
法及び記録再生特性の具体例を説明する。
【0056】(1)光磁気ディスクの形成方法 上記構成の光磁気ディスクの形成方法について説明す
る。
【0057】まず、Alターゲットと、GdFeCo合
金ターゲットと、GdFeAl合金ターゲットと、Gd
DyFeCo合金ターゲットとをそれぞれ備えたスパッ
タ装置内の基板ホルダーに、プリグルーブ及びプリピッ
トを有しディスク状に形成されたポリカーボネート製の
基板6を配置する。そして、スパッタ装置内を1×10
-6Torrまで真空排気した後、アルゴンと窒素の混合
ガスを導入し、Alターゲットに電力を供給して、ガス
圧4×10-3Torrの条件で、基板6にAlNからな
る透明誘電体層7を膜厚80nmで形成する。
【0058】次に、再度、スパッタ装置内を1×10-6
Torrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入し、
GdFeCo合金ターゲットに電力を供給して、ガス圧
4×10-3Torrとし、上記透明誘電体層7上に、G
0.30(Fe0.80Co0.200.70からなる再生層1を膜
厚40nmで形成する。その再生層1は、室温において
面内磁化状態であり、120℃の温度で垂直磁化状態と
なる特性を有し、その補償温度が300℃、そのキュリ
ー温度が320℃である。
【0059】続いて、GdFeAl合金ターゲットに電
力を供給して、ガス圧4×10-3Torrとし、上記再
生層1上に、(Gd0.11Fe0.890.75Al0.25からな
る面内磁化層2を膜厚20nmで形成する。その面内磁
化層2は、キュリー温度が120℃であり、室温からキ
ュリー温度(120℃)まで、膜面に平行な方向に磁化
を有する面内磁化層である。
【0060】次に、アルゴンと窒素の混合ガスを導入
し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10
-3Torrの条件で、面内磁化層2上にAlNからなる
非磁性中間層3を膜厚4nmで形成する。
【0061】続いて、再度、スパッタ装置内を1×10
-6Torrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入
し、GdDyFeCo合金ターゲットに電力を供給し
て、ガス圧4×10-3Torrとし、上記非磁性中間層
3上に、(Gd0.50Dy0.500.23(Fe0.80
0.200.77からなる記録層4を膜厚40nmで形成す
る。その記録層4は、25℃に補償温度を有し、キュリ
ー温度が275℃である。
【0062】次に、アルゴンと窒素の混合ガスを導入
し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10
-3Torrの条件で、記録層4上にAlNからなる保護
層8を膜厚20nmとして形成する。
【0063】最後に、上記保護層8上に、紫外線硬化樹
脂をスピンコートにより塗布して、紫外線を照射するこ
とによりオーバーコート層9を形成する。
【0064】(2)記録再生特性 上記光磁気ディスクを、波長680nmの半導体レーザ
を用いた光ピックアップで測定したCNR(信号対雑音
比)のマーク長依存性を図4に示す。
【0065】比較のため、面内磁化層2の存在しない構
成の光磁気ディスクのCNRのマーク長依存性も比較例
1として同図に記載する。なお、面内磁化層の存在しな
い光磁気ディスクの媒体は、本実施の形態の媒体構成に
おいて、面内磁化層2を取り除いた構成である。また、
ここで示すCNRのマーク長依存性は、マーク長に対応
する長さの記録磁区をマーク長の2倍の長さの記録磁区
ピッチで連続形成した時の信号対雑音比を表すものであ
る。
【0066】マーク長0.3μmの両者のCNRを比較
すると、比較例1の場合に34.0dBであるのに対し
て、本実施の形態の場合39.5dBと5.5dBのCN
R増加が観測されている。これは、面内磁化層2によ
り、再生層1の面内磁化マスクがより完全なものとな
り、再生分解能が上がったことによるものである。
【0067】以上のように、本実施の形態の光磁気記録
媒体では、再生層1に隣接し、再生層1の臨界温度近傍
で磁化が低下する面内磁化層2を有しているため、臨界
温度以下の温度で再生層1の磁化の方向が膜面に対して
傾くことが抑制され、再生分解能を向上させることがで
きる。
【0068】次に、本実施の形態の光磁気記録媒体にお
いて、再生層1及び面内磁化層2の膜厚、非磁性中
間層3の膜厚、面内磁化層2の材料及び組成、を変化
させて、記録再生特性を調べた結果について示す。
【0069】再生層1及び面内磁化層2の膜厚 表1は、再生層1と面内磁化層2の膜厚を変化させて、
マーク長が0.3μmでのCNRを測定した結果を示す
ものである。
【0070】
【表1】
【0071】尚、表1において、面内磁化層の膜厚0n
mというのは、面内磁化層を有していない従来の光磁気
記録媒体(以下、比較例1と記す)の結果を示してい
る。
【0072】表1から、面内磁化層2の膜厚を2nmと
極めて薄い場合においても、再生層1の臨界温度以下で
の面内磁化マスクが強化されることにより、比較例1よ
りもCNRが1dB上昇していることがわかる。また、
面内磁化層2の膜厚を増大してくと、20nmまではC
NRが増大するが、それ以上厚くするとCNRは低下し
ていき、60nmとなると比較例1よりもCNRが低下
してしまう。これは、面内磁化マスクが強化され過ぎ、
垂直磁化状態となるべき部分において、面内磁化マスク
の影響を受けて、完全な垂直磁化状態が得られなくなる
ことによるものであると考えられる。表1より、面内磁
化層2膜厚としては、比較例1よりもCNRの向上する
2〜40nmが望ましいことが分かる。
【0073】また、再生層1の膜厚は、表1から、その
膜厚が8nmとなると、再生信号が小さくなり、そのC
NRは比較例1よりも低くなってしまう。さらに、再生
層1の膜厚が120nmとなると、再生層1に発生する
磁壁エネルギーが増加し、臨界温度以上に温度上昇した
部分において完全な垂直磁化状態が得られなくなり、そ
のCNRが比較例1よりも低くなってしまう。表1よ
り、再生層1の膜厚としては、比較例1よりも高いCN
Rの得られる10〜80nmの範囲が望ましいことが分
かる。
【0074】非磁性中間層3の膜厚 表2は、非磁性中間層3の膜厚を変化させて、マーク長
0.3μmでのCNR、及び、消去に必要な磁界(消去
磁界)を測定した結果を示すものである。
【0075】
【表2】
【0076】表2からわかるように、非磁性中間層3の
膜厚が0.5nmの場合、CNRが著しく低下している
ことがわかる。これは、非磁性中間層3の膜厚が薄すぎ
るため、良好な静磁結合状態が得られなかったことによ
るものと考えられる。非磁性中間層3の膜厚が1nmの
時、最大のCNRが得られ、非磁性中間層3の膜厚が大
きくなるにつれて、静磁結合力が小さくなるとともにC
NRが低下していくことがわかる。比較例1よりも高い
CNRの得るためには、非磁性中間層3の膜厚を1〜8
0nmの範囲に設定する必要のあることが分かる。
【0077】さらに、非磁性中間層3の膜厚を厚くする
ことにより、再生層1と記録層4との静磁結合力が小さ
くなることにより、消去磁界が小さくなることがわか
る。消去磁界を実用的な31kA/m以下の範囲にする
ためには、非磁性中間層3の膜厚を4nm以上とするこ
とが望ましい。
【0078】面内磁化層2の材料及び組成 以上では、面内磁化層2としてキュリー温度が120℃
の(Gd0.11Fe0.890.75Al0.25を用いた場合の記
録再生特性について示したが、ここで、面内磁化層2の
Al含有率を変えて記録再生特性を調査した結果を記述
する。
【0079】表3は、面内磁化層2を膜厚20nmの
(Gd0.11Fe0.89XAl1-Xとして、X(atom
%)の値を変えて、面内磁化層2のキュリー温度T
C2と、波長680nmの半導体レーザを用いた光ピック
アップで測定したマーク長0.3μmでのCNR(信号
対雑音比)とを測定した結果を示すものである。
【0080】
【表3】
【0081】表3において、面内磁化層2が形成されて
いない比較例1において得られたCNR(34.0d
B)よりも高いCNRが得られるのは、0.30<X<
1.00の範囲であることがわかる。
【0082】ここで、再生層1は、120℃の温度で垂
直磁化状態となるものである。したがって、面内磁化層
2は、120℃以下の温度において、再生層1の面内磁
化マスクを強調することができればよいため、面内磁化
層2のキュリー温度の最適値は、120℃ということに
なる。
【0083】しかしながら、表3に示すように、面内磁
化層2のキュリー温度が、60℃以上220℃以下にお
いても、比較例1よりも高いCNRが得られており、こ
こから、面内磁化層2として、再生層1が垂直磁化状態
となる臨界温度と同一温度において磁化が0となるよう
なものを使用しなくとも、その臨界温度近傍で温度上昇
とともに磁化が低下するようなものを使用すれば、再生
層1の面内磁化マスクをある程度強調できることがわか
る。
【0084】尚、ここでは、面内磁化層2として、Gd
FeAlを用いた結果について記述しているが、キュリ
ー温度が60℃〜220℃の材料であればどのようなも
のでもよく、他に例えば、NdFe、NdFeAl、D
yFe、DyFeAlからなる面内磁化層を用いること
が可能である。以下に、その一例として、面内磁化層2
として、(Gd0.11Fe0.890.750.25(ZはAl以
外の金属元素)を用いた結果について記述する。
【0085】表4は、その場合における面内磁化層2の
キュリー温度TC2と、波長680nmの半導体レーザを
用いた光ピックアップで測定した0.3μmでのCNR
(信号対雑音比)とを測定した結果を示すものである。
ここで、Zとしては、Ti,Ta,Pt,Au,Cu,
Al0.5Ti0.5,Al0.5Ta0.5を用いた。比較のた
め、面内磁化層を有していない光磁気ディスクのCNR
を比較例1として記載している。
【0086】
【表4】
【0087】表4より、Zとして、Ti,Ta,Pt,
Au,Cu,Al0.5Ti0.5,Al0.5Ta0.5を用いた
すべての場合において、比較例1よりも高いCNRが得
られていることがわかる。このように、面内磁化層2の
キュリー温度が60℃〜220℃の範囲にあれば記録再
生特性は向上する。したがって、面内磁化層2として
は、他に、NdFeTi,NdFeTa,DyFeT
i,DyFeTaからなる面内磁化層を用いることも可
能である。
【0088】尚、以上の〜では、再生層1が40n
mのGd0.3(Fe0.8Co0.20.7,面内磁化層2が2
0nmの(Gd0.11Fe0.890.75Al0.25,非磁性中
間層3が4nmのAlN,記録層4が40nmの(Gd
0.5Dy0.50.23(Fe0.8Co0.20.77である場合を
基準として、再生層1及び面内磁化層2の膜厚,非
磁性中間層3の膜厚,面内磁化層2の材料及び組成、
を変化させた場合の記録再生特性を示したが、再生層
1,面内磁化層2,非磁性中間層3,記録層4の材料及
び組成が上記のものでない場合においても同様の結果が
得られた。したがって、再生層1,面内磁化層2,非磁
性中間層3の膜厚はそれぞれ10nm以上80nm以
下,2nm以上40nm以下,1nm以上80nm以下
であることが望ましい。
【0089】〔第2の実施の形態〕本発明の第2の実施
の形態について図面に基づいて説明すれば以下の通りで
ある。本実施の形態では、光磁気記録媒体として光磁気
ディスクを適用した場合について説明する。
【0090】図5は、本光磁気ディスクの構成を示す断
面図である。この図に示すように、基板6,透明誘電体
層7,面内磁化層2,再生層1,非磁性中間層3,記録
層4,保護層8,オーバーコート層9が、この順にて積
層されている。つまり、この光磁気ディスクは、第1の
実施の形態に記載の光磁気ディスクにおいて、再生層1
と面内磁化層2の形成順序が逆になった構成となってい
る。
【0091】次に、この光磁気ディスクの形成方法,記
録再生特性について説明する。
【0092】(1)光磁気ディスクの形成方法 本実施の形態の光磁気ディスクは、第1の実施の形態に
記載の光磁気ディスクの形成方法において、再生層1と
面内磁化層2の形成順序を逆にすることにより形成でき
る。ここでは、第1の実施の形態と同様の方法で、基板
6,透明誘電体層7,非磁性中間層3,記録層4,保護
層8,オーバーコート層9からなる光磁気ディスクを形
成した。
【0093】(2)記録再生特性 表5は、再生層1と面内磁化層2の膜厚を変えて、波長
680nmの半導体レーザを用いた光ピックアップで測
定した0.3μmでのCNR(信号対雑音比)を示すも
のである。
【0094】
【表5】
【0095】表5において、面内磁化層膜厚が0nmと
ある欄は、面内磁化層2を形成していない比較例1の結
果を示している。面内磁化層2の膜厚を2nmと極めて
薄くした場合においても、面内磁化マスクの強化が実現
することにより、CNRが1dB上昇する。面内磁化層
2の膜厚を10nmより大きくすると、比較例1よりも
CNRが低くなってしまうことがわかる。これは、レー
ザ光5が再生情報を持たない面内磁化層2を透過するこ
とにより、再生信号強度が低下することによる。以上の
ことより、比較例1よりも高いCNRの得られる面内磁
化層2の膜厚は、2〜10nmの範囲であることが分か
る。
【0096】また、第1の実施の形態の光磁気ディスク
と比較して、光ビーム5の入射側に面内磁化層2が存在
するため、相対的にCNRが低くなっており、第1の実
施の形態における比較例1より高いCNRを実現するた
めに必要な再生層1の膜厚範囲は狭くなり、再生層1の
膜厚が15nm〜60nmの範囲である必要がある。
【0097】尚、ここでは、再生層1がGd0.3(Fe
0.8Co0.20.7,面内磁化層2が(Gd0.11
0.890.75Al0.25,非磁性中間層3がAlN,記録
層4が(Gd0.5Dy0.50.23(Fe0.8Co0.20.77
である場合を基準として、再生層1及び面内磁化層2の
膜厚を変化させた場合の記録再生特性を示したが、再生
層1,面内磁化層2,非磁性中間層3,記録層4の材料
及び組成が上記のものでない場合においても同様の結果
が得られた。したがって、再生層1,面内磁化層2の膜
厚はそれぞれ15nm以上60nm以下,2nm以上1
0nm以下であることが望ましい。
【0098】また、非磁性中間層3は第1の実施の形態
と同一条件すなわち1nm以上80nm以下の膜厚であ
ることが望ましい。
【0099】〔第3の実施の形態〕本発明の第3の実施
の形態について、図面に基づいて説明すれば以下の通り
である。本実施の形態では、光磁気記録媒体として光磁
気ディスクを適用した場合について説明する。
【0100】図6は本実施の形態の光磁気ディスクの構
成を示す断面図である。図6に示すように、基板6,透
明誘電体層7,再生層1,面内磁化層2,非磁性中間層
3,反射層10,記録層4,保護層8,オーバーコート
層9が、この順にて積層されたディスク本体を有してい
る。
【0101】第1の実施の形態及び第2の実施の形態に
記載した光磁気ディスクでは、再生層1と面内磁化層2
のトータル膜厚が40nmより小さくなった場合、再生
層1と面内磁化層2とを透過した光ビーム5が記録層4
により反射され、再生信号に記録層4の情報が混入する
恐れがあり、この場合、再生層1と面内磁化層2の面内
磁化によるマスク効果が低下してしまう。
【0102】本実施の形態の光磁気ディスクは、上記の
問題を解決するために、第1の実施の形態に記載した光
磁気ディスクにおいて、非磁性中間層3と記録層4との
間に、反射層10を形成している。このようにすること
により、再生層1と面内磁化層のトータル膜厚が40n
m以下と薄くなった場合においても、再生層1と面内磁
化層2とを透過した光ビーム5は反射層10により反射
され、再生信号に記録層4の情報が混入することを防ぐ
ことが可能となり、再生層1と面内磁化層2の面内磁化
によるマスクの効果をより優れたものとすることができ
る。
【0103】以下、本実施の形態の光磁気ディスクの製
造方法及び記録再生特性について具体的に説明する。
【0104】(1)光磁気ディスクの形成方法 本実施の形態の光磁気ディスクは、第1の実施の形態の
光磁気ディスクの形成方法において、非磁性中間層3と
記録層4との間に、Alからなる反射層10を形成する
ものであり、基板6,透明誘電体層7,再生層1,面内
磁化層2,非磁性中間層3,記録層4,保護層8,オー
バーコート層9は第1の実施の形態と同様の方法で、再
生層1の膜厚を17.5nmとし、面内磁化層2の膜厚
を7.5nmとして形成した。
【0105】ここで、Al反射層10は、非磁性中間層
3を形成した後、再度、スパッタ装置内を1×10-6
orrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入し、A
lターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10-3To
rrとし、上記非磁性中間層3上に、Alからなる反射
層10を膜厚2〜80nmで形成した。
【0106】(2)記録再生特性 表6は、反射層10の膜厚を変えて、波長680nmの
半導体レーザを用いた光ピックアップで測定した0.3
μmでのCNR(信号対雑音比)を示すものである。
【0107】
【表6】
【0108】表6において、反射層膜厚が0nmとある
欄は、反射層10を形成していない場合(以下、比較例
2と記す)の結果を示している。反射層10の膜厚を2
nmと極めて薄くした場合においても、記録層4からの
情報再生遮断の効果が見られ、CNRが0.5dB上昇
する。また、反射層10の膜厚を厚くしていくと、CN
Rは徐々に大きくなり、膜厚が20nmでCNRが極大
となる。これは、反射層膜厚の増加に伴い、記録層4か
らの情報再生遮断の効果がより顕著になるためである。
表6において、膜厚20nm以上でCNRが低下してい
るが、記録層4と再生層1との距離が大きくなることに
より、両者間に働く静磁結合力が弱くなることによるも
のである。表6から、比較例2よりも高いCNRの得る
ためには、反射層10の膜厚を2〜40nmの範囲で設
定する必要があることがわかる。
【0109】次に、反射層として他の材料を使用した場
合における記録再生特性について説明する。
【0110】以上では、反射層10として、Alを用い
た再生特性について示したが、ここでは、まず、反射層
10として、AlとAl以外の金属との合金を用いた結
果について記述する。
【0111】表7は、反射層10を膜厚20nmのAl
1-XFeXとして、X(atom%)の値を変えて、波長
680nmの半導体レーザを用いた光ピックアップで測
定した0.3μmでのCNR(信号対雑音比)と消去磁
界の大きさを示している。
【0112】
【表7】
【0113】表7より、Fe含有量が多くなるにしたが
って、すなわち、Xが0.10よりも大きくなるにつれ
て、CNRが徐々に小さくなっているが、いずれのCN
Rも比較例2よりも大きく、反射層10を形成した効果
が見られる。一方、消去磁界を見ると、純粋なAlから
なる反射層10を用いた場合、50kA/mと大きな消
去磁界が必要であるのに対して、Xを0.02以上0.5
0以下に設定することにより、消去磁界を小さくするこ
とが可能であった。
【0114】次に、表8は、反射層10を膜厚20nm
のAl1-XNiXとして、X(atom%)の値を変え
て、波長680nmの半導体レーザを用いた光ピックア
ップで測定した0.3μmでのCNR(信号対雑音比)
と消去磁界の大きさを示している。
【0115】
【表8】
【0116】表8より、Feを含有した場合と同様に、
Xを0.02以上0.50以下に設定することにより、消
去磁界を小さくすることが可能であった。
【0117】Fe,Ni以外に、Co,Gd,Tb,D
y,Nd等の磁性金属を同様にしてAlに含有させるこ
とにより、消去磁界を小さくすることが可能である。
【0118】次に、反射層10として、Alに非磁性金
属元素を含有させた場合の記録特性改善について示す。
【0119】表9は、反射層10を膜厚20nmのAl
1-XTiXとして、X(atom%)の値を変えて、波長
680nmの半導体レーザを用いた光ピックアップで測
定した0.3μmでのCNR(信号対雑音比)と消去磁
界の大きさを示している。
【0120】
【表9】
【0121】表9より、Ti含有量が多くなるにしたが
って、すなわち、Xが0.10よりも大きくなるにつれ
て、CNRが徐々に小さくなっているが、いずれのCN
Rも比較例2よりも大きく、反射層10を形成した効果
が見られる。一方、消去磁界を見ると、純粋なAlから
なる反射層10を用いた場合、50kA/mと大きな消
去磁界が必要であるのに対して、Xを0.02以上0.9
8以下に設定することにより、消去磁界を小さくするこ
とが可能であった。
【0122】次に、表10は、反射層10として、Ti
以外の非磁性元素をAlに含有した場合の消去磁界低減
効果について示すものであり、反射層10をAl0.5
0.5として、ZをTi以外の非磁性金属を用いた場合に
おける、波長680nmの半導体レーザを用いた光ピッ
クアップで測定した0.3μmでのCNR(信号対雑音
比)と消去磁界の大きさを示している。
【0123】
【表10】
【0124】表10より、Zとして非磁性金属であるT
a、Pt、Au、Cu、Siを用いた場合において、い
ずれのCNRも比較例2よりも大きく、反射層10を形
成した効果が見られる。また、消去磁界を見ると、Al
にTiを含有させた場合と同様に、消去磁界を小さくで
きることがわかる。
【0125】以上のように、Alに磁性金属や非磁性金
属を含有することにより消去磁界を低減させることがで
きるのは、磁性金属や非磁性金属を含有することにより
Al反射層10を形成するときにAlの結晶化を防ぐこ
とができ、その上に形成する記録層4の磁気特性が改善
されるからである。
【0126】
【発明の効果】以上のように、本発明の光磁気記録媒体
によれば、再生層における面内磁化によるマスクを強調
することができ、小さい記録ビット径及び小さい記録ビ
ット間隔で記録再生を行った場合においても、十分な再
生信号品質を得ることが可能となる。また、非磁性中間
層により、再生層及び面内磁化層と記録層との交換結合
を完全に遮断し、再生層及び面内磁化層と記録層との間
に良好な静磁結合を実現できる。
【0127】また、中間層と記録層との間に反射層を形
成することにより、再生層と面内磁化層のトータル膜厚
が薄くなり、再生層と面内磁化層とを透過した再生用の
光ビームが反射層により反射され、磁気的超解像再生に
とって不要な記録層からの情報再生を完全に遮断するこ
とが可能となり、磁気的超解像再生特性を改善できる。
【0128】また、再生層,面内磁化層,中間層を最適
化することにより、面内磁化層と再生層との間に働く交
換結合力が良好な状態に設定され、再生層における面内
磁化によるマスクを強調することが可能となる。また、
良好な再生信号を得ることが可能となる。更に、良好な
静磁結合状態が実現され、磁気的超解像再生を実現する
ことが可能となる。
【0129】また、反射層を結晶化していない金属ある
いは金属合金とすることにより、反射層上に形成される
記録層の磁気特性が最適化され、より小さな消去磁界で
の消去が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光磁気ディスクの再生原理を説明する
模式図である。
【図2】従来の光磁気ディスクの再生原理を説明する模
式図である。
【図3】第1の実施の形態の光磁気ディスクの構成を示
す断面図である。
【図4】第1の実施の形態の光磁気ディスクのCNRの
マーク長さ依存性を示す図である。
【図5】第2の実施の形態の光磁気ディスクの構成を示
す断面図である。
【図6】第3の実施の形態の光磁気ディスクの構成を示
す断面図である。
【符号の説明】
1 再生層 2 面内磁化層 3 非磁性中間層 4 記録層 5 光ビーム 6 基板 7 透明誘電体層 8 保護層 9 オーバーコート層 10 反射層

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 室温において面内磁化状態であり臨界温
    度以上の温度で垂直磁化状態に移行する再生層と、垂直
    磁化膜からなり情報を光磁気記録する記録層と、非磁性
    膜からなり前記再生層と前記記録層との間に配置された
    中間層と、を有してなる光磁気記録媒体において、 前記再生層の少なくとも一方側に隣接し、前記臨界温度
    近傍の温度で磁化が減少する面内磁化層を有してなるこ
    とを特徴とする光磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の光磁気記録媒体におい
    て、 前記面内磁化層は、前記臨界温度近傍の温度で磁化が消
    失しているものであることを特徴とする光記録媒体。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の光磁気記録媒体におい
    て、 前記面内磁化層は、前記臨界温度近傍の温度で、前記再
    生層との交換結合を解いて前記再生層に前記記録層から
    の浮遊磁化を転写させるように、設定されてなることを
    特徴とする光記録媒体。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の光磁気記録媒体におい
    て、 前記面内磁化層のキュリー温度が、前記臨界温度と略同
    一であることを特徴とする光記録媒体。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至請求項4に記載の光磁気記
    録媒体において、 面内磁化層が、GdFe合金、GdFeAl合金、Gd
    FeTi合金、GdFeTa合金、GdFePt合金、
    GdFeAu合金、GdFeCu合金、GdFeAlT
    i合金、GdFeAlTa合金のいずれかの合金からな
    ることを特徴とする光磁気記録媒体。
  6. 【請求項6】 請求項1乃至請求項5に記載の光磁気記
    録媒体において、 前記再生層,前記面内磁化層,前記中間層、及び、前記
    記録層がこの順に形成されており、 前記面内磁化層の膜厚が、2nm以上40nm以下であ
    ることを特徴とする光磁気記録媒体。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至請求項6に記載の光磁気記
    録媒体において、 前記再生層,前記面内磁化層,前記中間層、及び、前記
    記録層がこの順に形成されており、 前記再生層の膜厚が、10nm以上80nm以下である
    ことを特徴とする光磁気記録媒体。
  8. 【請求項8】 請求項1乃至請求項5に記載の光磁気記
    録媒体において、 前記面内磁化層,前記再生層,前記中間層、及び、前記
    記録層がこの順に形成されており、 前記面内磁化層の膜厚が、2nm以上10nm以下であ
    ることを特徴とする光磁気記録媒体。
  9. 【請求項9】 請求項1乃至請求項5または請求項8に
    記載の光磁気記録媒体において、 前記面内磁化層,前記再生層,前記中間層、及び、前記
    記録層がこの順に形成されており、 前記再生層の膜厚が、15nm以上60nm以下である
    ことを特徴とする光磁気記録媒体。
  10. 【請求項10】 請求項6乃至請求項9に記載の光磁気
    記録媒体において、 前記中間層の膜厚が1nm以上80nm以下であること
    を特徴とする光磁気記録媒体。
  11. 【請求項11】 請求項1乃至請求項10に記載の光磁
    気記録媒体において、 前記中間層と前記記録層との間に反射層を有してなるこ
    とを特徴とする光磁気記録媒体。
  12. 【請求項12】 請求項11に記載の光磁気記録媒体に
    おいて、 前記反射層の膜厚が、2nm以上40nm以下であるこ
    とを特徴とする光磁気記録媒体。
  13. 【請求項13】 請求項11または請求項12に記載の
    光磁気記録媒体において、 前記反射層は、結晶化していない金属或いは金属合金か
    らなることを特徴とする光磁気記録媒体。
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