JPH09320543A - マイクロ波無電極放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波無電極放電光源装置Info
- Publication number
- JPH09320543A JPH09320543A JP13197496A JP13197496A JPH09320543A JP H09320543 A JPH09320543 A JP H09320543A JP 13197496 A JP13197496 A JP 13197496A JP 13197496 A JP13197496 A JP 13197496A JP H09320543 A JPH09320543 A JP H09320543A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- light
- electrodeless discharge
- waveguide
- source device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 25
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 claims description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 44
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 32
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 2
- 230000004397 blinking Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000004031 devitrification Methods 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000007496 glass forming Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】マイクロ波で放電する無電極放電光源装置にお
いて、コンパクトで高効率・長寿命のマイクロ波無電極
放電光源装置を提供すること。 【解決手段】マイクロ波空洞５の全構成面や、導波管３
の構成面を、マイクロ波は反射するが光や流体が透過し
かつ導電性を有する部材で構成し、さらにそれらの構成
面の外部に光反射器１１、１１１を配設してマイクロ波
無電極放電光源装置を構成する。これにより、冷却効率
を向上させ、装置を軽量化し、さらに、従来の構成で利
用できない方向に発せられていた光を利用し、光の利用
率を向上する。
いて、コンパクトで高効率・長寿命のマイクロ波無電極
放電光源装置を提供すること。 【解決手段】マイクロ波空洞５の全構成面や、導波管３
の構成面を、マイクロ波は反射するが光や流体が透過し
かつ導電性を有する部材で構成し、さらにそれらの構成
面の外部に光反射器１１、１１１を配設してマイクロ波
無電極放電光源装置を構成する。これにより、冷却効率
を向上させ、装置を軽量化し、さらに、従来の構成で利
用できない方向に発せられていた光を利用し、光の利用
率を向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波で放電
する無電極放電光源装置に関するものである。
する無電極放電光源装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、環境保護、省エネルギーの点で優
れた、マイクロ波を用いた放電によって光出力を得る光
源装置が注目されている。メタルハライドランプ、水銀
ランプ等の有電極の放電ランプは、電極の消耗によっ
て、その寿命が決まっている。しかし、マイクロ波無電
極放電ランプは電極を持たないため、本質的に長寿命な
光源である。また、電極がないため、発光スペクトルの
経時変化が少なく、さらに有電極放電ランプよりも実質
的に小型の放電ランプを作れる。そのため投射光を制御
するには理想的な、点光源に近い光源を得られる可能性
も持っている。さらにこのランプは、点滅動作にも強
く、始動・再始動特性も有電極ランプにくらべて優れて
いる。
れた、マイクロ波を用いた放電によって光出力を得る光
源装置が注目されている。メタルハライドランプ、水銀
ランプ等の有電極の放電ランプは、電極の消耗によっ
て、その寿命が決まっている。しかし、マイクロ波無電
極放電ランプは電極を持たないため、本質的に長寿命な
光源である。また、電極がないため、発光スペクトルの
経時変化が少なく、さらに有電極放電ランプよりも実質
的に小型の放電ランプを作れる。そのため投射光を制御
するには理想的な、点光源に近い光源を得られる可能性
も持っている。さらにこのランプは、点滅動作にも強
く、始動・再始動特性も有電極ランプにくらべて優れて
いる。
【０００３】図４は例えば特開昭６３−２３７３０２号
公報に示されたマイクロ波無電極放電光源装置の構成を
示す断面図である。図４には、周波数２４５０ＭＨｚの
マイクロ波を発振するマグネトロン１、マグネトロンア
ンテナ２、端部にマグネトロン１を配設した導波管３が
示されている。マイクロ波空洞５は、導波管３の他端部
に接続された空洞壁６と光透過性の円筒状金属メッシュ
部材７とで囲まれて形成される。給電口８は空洞壁６に
設けられ、導波管３よりマイクロ波空洞５内にマイクロ
波を供給するものである。マイクロ波空洞５内には球形
の無電極放電ランプ９が配設されている。この無電極放
電ランプ９は石英ガラスのような透光体の中に希ガスと
水銀や金属ハロゲン化物などが封入されたものである。
放電ランプ支持体９１は無電極放電ランプ９の外壁に取
り付けられた石英ガラスなどの誘電体であり、給電口８
および導波管３の壁面を貫通し、導波管３の外側の無電
極放電ランプ回転用モーター１４の回転軸に固定されて
いる。光反射器１１はマイクロ波空洞５から放射された
光を反射し、冷却ファン１２はマグネトロン１や無電極
放電ランプ９を冷却し、通風口４は冷却風を導波管内へ
導く。箱体１３は光反射器１１の光照出口である開口部
１００を除き全体を覆うものである。
公報に示されたマイクロ波無電極放電光源装置の構成を
示す断面図である。図４には、周波数２４５０ＭＨｚの
マイクロ波を発振するマグネトロン１、マグネトロンア
ンテナ２、端部にマグネトロン１を配設した導波管３が
示されている。マイクロ波空洞５は、導波管３の他端部
に接続された空洞壁６と光透過性の円筒状金属メッシュ
部材７とで囲まれて形成される。給電口８は空洞壁６に
設けられ、導波管３よりマイクロ波空洞５内にマイクロ
波を供給するものである。マイクロ波空洞５内には球形
の無電極放電ランプ９が配設されている。この無電極放
電ランプ９は石英ガラスのような透光体の中に希ガスと
水銀や金属ハロゲン化物などが封入されたものである。
放電ランプ支持体９１は無電極放電ランプ９の外壁に取
り付けられた石英ガラスなどの誘電体であり、給電口８
および導波管３の壁面を貫通し、導波管３の外側の無電
極放電ランプ回転用モーター１４の回転軸に固定されて
いる。光反射器１１はマイクロ波空洞５から放射された
光を反射し、冷却ファン１２はマグネトロン１や無電極
放電ランプ９を冷却し、通風口４は冷却風を導波管内へ
導く。箱体１３は光反射器１１の光照出口である開口部
１００を除き全体を覆うものである。
【０００４】この従来装置の動作を説明する。まず、マ
グネトロン１から発生したマイクロ波はマグネトロンア
ンテナ２より導波管３に放射される。導波管３内を伝導
するマイクロ波は、給電口８から、マイクロ波空洞５に
放射される。マイクロ波空洞５内に入ったマイクロ波
は、マイクロ波空洞５内に高周波電磁界を形成する。こ
の高周波電磁界によって、マイクロ波空洞５内に設置さ
れた無電極放電ランプ９内のガスが放電を開始し、数秒
で求める光出力が得られる。
グネトロン１から発生したマイクロ波はマグネトロンア
ンテナ２より導波管３に放射される。導波管３内を伝導
するマイクロ波は、給電口８から、マイクロ波空洞５に
放射される。マイクロ波空洞５内に入ったマイクロ波
は、マイクロ波空洞５内に高周波電磁界を形成する。こ
の高周波電磁界によって、マイクロ波空洞５内に設置さ
れた無電極放電ランプ９内のガスが放電を開始し、数秒
で求める光出力が得られる。
【０００５】円筒状金属メッシュ部材７は、マイクロ波
に対しては反射するように作用し、光に対してはメッシ
ュ開口部から透過するように作用する。したがって、マ
イクロ波空洞５内には高周波電磁界が集中し、その中に
配設された無電極放電ランプ９を発光せしめる。こうし
て発光した光は、円筒状金属メッシュ部材７から空洞外
へ放射され、光反射器１１で特定方向へ反射される。光
反射器１１の形状は、必要な光照射分布など用途によっ
て定められる。無電極放電ランプ９の形状は図４に示す
ように球もしくは球に近い形状または細長い円筒状のも
のがよく用いられている。始動を容易にするため、無電
極放電ランプ９内のガス圧は、始動時で２００Torr以下
にしてあるが、点灯し管壁温度が上昇するとともに、発
光無電極放電ランプ９内部にある水銀等の封入物が蒸気
となって圧力は上昇し、定常点灯時には、効率の良い発
光を得るのに十分なプラズマを発生させるためのガス圧
（数気圧程度）に到達する。無電極放電ランプ９内の全
圧力は、水銀や希ガス以外の封入物によるのが主であ
り、その封入物による特有のプラズマ放電発光が得られ
る。
に対しては反射するように作用し、光に対してはメッシ
ュ開口部から透過するように作用する。したがって、マ
イクロ波空洞５内には高周波電磁界が集中し、その中に
配設された無電極放電ランプ９を発光せしめる。こうし
て発光した光は、円筒状金属メッシュ部材７から空洞外
へ放射され、光反射器１１で特定方向へ反射される。光
反射器１１の形状は、必要な光照射分布など用途によっ
て定められる。無電極放電ランプ９の形状は図４に示す
ように球もしくは球に近い形状または細長い円筒状のも
のがよく用いられている。始動を容易にするため、無電
極放電ランプ９内のガス圧は、始動時で２００Torr以下
にしてあるが、点灯し管壁温度が上昇するとともに、発
光無電極放電ランプ９内部にある水銀等の封入物が蒸気
となって圧力は上昇し、定常点灯時には、効率の良い発
光を得るのに十分なプラズマを発生させるためのガス圧
（数気圧程度）に到達する。無電極放電ランプ９内の全
圧力は、水銀や希ガス以外の封入物によるのが主であ
り、その封入物による特有のプラズマ放電発光が得られ
る。
【０００６】マグネトロン１および無電極放電ランプ９
は、動作中高温となるため、それぞれ冷却が必要であ
る。そのために、冷却ファン１２からの冷却風が、まず
マグネトロン１を冷却し、次に導波管３に設けられた通
風口４を通って導波管３内に導かれ、さらに給電口８を
介してマイクロ波空洞５内に導かれて無電極放電ランプ
９を冷却する。冷却風は円筒状金属メッシュ部材７を通
して装置外へ放出される。
は、動作中高温となるため、それぞれ冷却が必要であ
る。そのために、冷却ファン１２からの冷却風が、まず
マグネトロン１を冷却し、次に導波管３に設けられた通
風口４を通って導波管３内に導かれ、さらに給電口８を
介してマイクロ波空洞５内に導かれて無電極放電ランプ
９を冷却する。冷却風は円筒状金属メッシュ部材７を通
して装置外へ放出される。
【０００７】また、マイクロ波空洞５内でマイクロ波に
より形成される電磁界の方向によっては、無電極放電ラ
ンプ９内で形成されるプラズマ放電部が扁平した形状に
なる場合があること、あるいは無電極放電ランプ９内の
ガスが対流して無電極ランプ９の上部が高温になるなど
の理由から、無電極放電ランプ９の管壁温度の分布は不
均等となり、そのため局所的に、無電極放電ランプ９を
構成する石英ガラスの軟化点に達する場合がある。この
ような場合、管壁溶融による破損、管壁材料の失透が生
じやすくなり、光源としての寿命が短くなる。このよう
に無電極放電ランプ９内で形成される電磁界のモードが
固定されるのを防止するため無電極放電ランプ９をモー
ター１４によって回転させ、これにより無電極放電ラン
プ９の管壁温度を回転軸に対して均一化し、管壁温度が
局所的に上昇するのを防止している。また回転は同時
に、無電極放電管９に対して吹き付けられる冷却風によ
る冷却効果も均一化する。
より形成される電磁界の方向によっては、無電極放電ラ
ンプ９内で形成されるプラズマ放電部が扁平した形状に
なる場合があること、あるいは無電極放電ランプ９内の
ガスが対流して無電極ランプ９の上部が高温になるなど
の理由から、無電極放電ランプ９の管壁温度の分布は不
均等となり、そのため局所的に、無電極放電ランプ９を
構成する石英ガラスの軟化点に達する場合がある。この
ような場合、管壁溶融による破損、管壁材料の失透が生
じやすくなり、光源としての寿命が短くなる。このよう
に無電極放電ランプ９内で形成される電磁界のモードが
固定されるのを防止するため無電極放電ランプ９をモー
ター１４によって回転させ、これにより無電極放電ラン
プ９の管壁温度を回転軸に対して均一化し、管壁温度が
局所的に上昇するのを防止している。また回転は同時
に、無電極放電管９に対して吹き付けられる冷却風によ
る冷却効果も均一化する。
【０００８】マイクロ波無電極放電光源が、従来の有電
極放電ランプに比べて高輝度で長寿命であり、かつ小型
発光管としての可能性を持つという利点を活かして、液
晶投写型画像表示装置用のバックライト光源としての利
用も試みられている（たとえば ”投写型ディスプレイ
用小型長寿命安定光源”Ｄ．Ａ．マックレナン、ＳＩＤ
国際シンポジウム・テクニカルダイジェスト２４巻、７
１６−７１９頁（"Small Long-Lived Stable Light Sou
rce for Projection-Display Applications" D.A.MacLe
nnan,SID InternationalSynposium Digest of Technica
l PapersVolumeXXIV、pp、716-719)。
極放電ランプに比べて高輝度で長寿命であり、かつ小型
発光管としての可能性を持つという利点を活かして、液
晶投写型画像表示装置用のバックライト光源としての利
用も試みられている（たとえば ”投写型ディスプレイ
用小型長寿命安定光源”Ｄ．Ａ．マックレナン、ＳＩＤ
国際シンポジウム・テクニカルダイジェスト２４巻、７
１６−７１９頁（"Small Long-Lived Stable Light Sou
rce for Projection-Display Applications" D.A.MacLe
nnan,SID InternationalSynposium Digest of Technica
l PapersVolumeXXIV、pp、716-719)。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】無電極放電では、点灯
時に無電極放電ランプ９内の内部で生じるプラズマが管
壁付近におよぶ広がりを持つので、管壁温度が上昇す
る。また、マイクロ波空洞や導波管などマイクロ波無電
極放電光源装置の構成部品は比較的体積が大きくかつ重
いので、できるだけ小型化するのが望ましい。しかし小
型化するほどこれら構成部品の温度が高くなりやすく、
そのため無電極放電ランプ９やマグネトロン１が間接的
に熱せられて温度上昇の原因となる。このような温度上
昇がマイクロ波無電極放電光源装置の寿命に関わる要因
となる。したがって、図４の従来例のような冷却手段よ
り高能率の冷却能率が要望された。
時に無電極放電ランプ９内の内部で生じるプラズマが管
壁付近におよぶ広がりを持つので、管壁温度が上昇す
る。また、マイクロ波空洞や導波管などマイクロ波無電
極放電光源装置の構成部品は比較的体積が大きくかつ重
いので、できるだけ小型化するのが望ましい。しかし小
型化するほどこれら構成部品の温度が高くなりやすく、
そのため無電極放電ランプ９やマグネトロン１が間接的
に熱せられて温度上昇の原因となる。このような温度上
昇がマイクロ波無電極放電光源装置の寿命に関わる要因
となる。したがって、図４の従来例のような冷却手段よ
り高能率の冷却能率が要望された。
【００１０】また、マイクロ波無電極放電光源装置は、
無電極放電ランプ９がマイクロ波空洞５の内部に配設さ
れているので、無電極ランプ９から発生する光の若干部
は、マイクロ波空洞５を構成する円筒状金属メッシュ部
材７によって、吸収あるいは空洞内部へ反射され、空洞
外部へは取り出されない。また、マイクロ波空洞５の給
電口８側に向かって発せられる光の大部分は、給電口８
を取って導波管３の内部へ進行するため、利用されな
い。このため実際に発生する光の利用率は、有電極放電
ランプよりもかなり低い。本発明は上記課題を解決する
ためになされたもので、従来よりも冷却効率が良く、さ
らに光利用率が高い、高効率・長寿命のマイクロ波無電
極放電光源装置を提供することを目的としている。
無電極放電ランプ９がマイクロ波空洞５の内部に配設さ
れているので、無電極ランプ９から発生する光の若干部
は、マイクロ波空洞５を構成する円筒状金属メッシュ部
材７によって、吸収あるいは空洞内部へ反射され、空洞
外部へは取り出されない。また、マイクロ波空洞５の給
電口８側に向かって発せられる光の大部分は、給電口８
を取って導波管３の内部へ進行するため、利用されな
い。このため実際に発生する光の利用率は、有電極放電
ランプよりもかなり低い。本発明は上記課題を解決する
ためになされたもので、従来よりも冷却効率が良く、さ
らに光利用率が高い、高効率・長寿命のマイクロ波無電
極放電光源装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明に係るマイクロ
波無電極放電光源装置は、マイクロ波空洞の全構成壁面
や、導波管の構成壁面を、マイクロ波は反射するが光や
流体は透過しかつ導電性を有する部材で構成し、さらに
それらの構成壁面の外部に光反射器を配設した。本発明
により、冷却に寄与する流体の流れを良くし、冷却効率
を向上させることができる。さらに、従来の構成では利
用できなかった空洞壁６に向かって発せられた光を利用
できるようにし、光の利用率を向上させている。
波無電極放電光源装置は、マイクロ波空洞の全構成壁面
や、導波管の構成壁面を、マイクロ波は反射するが光や
流体は透過しかつ導電性を有する部材で構成し、さらに
それらの構成壁面の外部に光反射器を配設した。本発明
により、冷却に寄与する流体の流れを良くし、冷却効率
を向上させることができる。さらに、従来の構成では利
用できなかった空洞壁６に向かって発せられた光を利用
できるようにし、光の利用率を向上させている。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明に
係るマイクロ波無電極放電光源装置は、マイクロ波空洞
内のマイクロ波電磁界によって放電発光するマイクロ波
無電極放電光源装置において、マイクロ波発生源と、マ
イクロ波は反射するが光や流体は透過しかつ導電性を有
する部材で全ての壁面が構成されたマイクロ波空洞と、
前記マイクロ波発生源から前記マイクロ波空洞へマイク
ロ波を導く導波管と、前記マイクロ波空洞内に配設され
た無電極放電ランプと、前記無電極放電ランプから発生
した光を特定の方向へ投射する光反射器とを具備したこ
とを特徴とする。これにより冷却風が無電極放電ランプ
を全般的に均等に冷却するという作用を有する。
係るマイクロ波無電極放電光源装置は、マイクロ波空洞
内のマイクロ波電磁界によって放電発光するマイクロ波
無電極放電光源装置において、マイクロ波発生源と、マ
イクロ波は反射するが光や流体は透過しかつ導電性を有
する部材で全ての壁面が構成されたマイクロ波空洞と、
前記マイクロ波発生源から前記マイクロ波空洞へマイク
ロ波を導く導波管と、前記マイクロ波空洞内に配設され
た無電極放電ランプと、前記無電極放電ランプから発生
した光を特定の方向へ投射する光反射器とを具備したこ
とを特徴とする。これにより冷却風が無電極放電ランプ
を全般的に均等に冷却するという作用を有する。
【００１３】本発明の請求項２に記載の発明に係るマイ
クロ波無電極放電光源装置は、請求項１に記載したもの
において、前記導波管の少なくとも一部の壁面が、マイ
クロ波は反射するが光や流体は透過しかつ導電性を有す
る部材で構成されたことを特徴とする。これにより導波
管に熱容量が小さく表面積が大きくなるため、冷却風は
導波管を効率よく冷却するという作用を有する。
クロ波無電極放電光源装置は、請求項１に記載したもの
において、前記導波管の少なくとも一部の壁面が、マイ
クロ波は反射するが光や流体は透過しかつ導電性を有す
る部材で構成されたことを特徴とする。これにより導波
管に熱容量が小さく表面積が大きくなるため、冷却風は
導波管を効率よく冷却するという作用を有する。
【００１４】本発明の請求項３に記載の発明に係るマイ
クロ波無電極放電光源装置は、請求項１又は請求項２に
記載したものにおいて、前記マイクロ波空洞を構成す
る、マイクロ波は反射するが光や流体は透過しかつ導電
性を有する部材を、金属メッシュとしたことを特徴とす
る。これにより冷却風が無電極放電ランプを全般的に均
等に冷却するという作用を有する。
クロ波無電極放電光源装置は、請求項１又は請求項２に
記載したものにおいて、前記マイクロ波空洞を構成す
る、マイクロ波は反射するが光や流体は透過しかつ導電
性を有する部材を、金属メッシュとしたことを特徴とす
る。これにより冷却風が無電極放電ランプを全般的に均
等に冷却するという作用を有する。
【００１５】本発明の請求項４に記載の発明に係るマイ
クロ波無電極放電光源装置は、請求項２又は請求項３に
記載したものにおいて、前記導波管の少なくとも一部の
壁面を構成する、マイクロ波は反射するが光や流体は透
過しかつ導電性を有する部材を、金属メッシュとしたこ
とを特徴とする。これにより導波管は熱容量が小さくな
るため、冷却風は導波管を効率よく冷却するという作用
を有する。
クロ波無電極放電光源装置は、請求項２又は請求項３に
記載したものにおいて、前記導波管の少なくとも一部の
壁面を構成する、マイクロ波は反射するが光や流体は透
過しかつ導電性を有する部材を、金属メッシュとしたこ
とを特徴とする。これにより導波管は熱容量が小さくな
るため、冷却風は導波管を効率よく冷却するという作用
を有する。
【００１６】本発明の請求項５に記載の発明に係るマイ
クロ波無電極放電光源装置は、請求項２、請求項３又は
請求項４に記載したものにおいて、前記光反射器が、前
記マイクロ波空洞の外部に装着され、前記無電極放電ラ
ンプで発せられて前記マイクロ波空洞を透過してくる光
を反射して特定方向に投射する反射面形状を有する第１
の光反射器と、前記導波管の外部に装着され、前記無電
極放電ランプで発せられて前記マイクロ波空洞および前
記導波管のマイクロ波は反射するが光や流体は透過しか
つ導電性を有する部材を透過してくる光を反射して特定
方向に投射する第２の光反射器との、２つの光反射器を
有することを特徴とする。これにより無電極放電ランプ
で発せられて導波管の構成壁面の方向へ放射された光
を、マイクロ波無電極放電装置の光照射方向へ反射する
という作用を有する。
クロ波無電極放電光源装置は、請求項２、請求項３又は
請求項４に記載したものにおいて、前記光反射器が、前
記マイクロ波空洞の外部に装着され、前記無電極放電ラ
ンプで発せられて前記マイクロ波空洞を透過してくる光
を反射して特定方向に投射する反射面形状を有する第１
の光反射器と、前記導波管の外部に装着され、前記無電
極放電ランプで発せられて前記マイクロ波空洞および前
記導波管のマイクロ波は反射するが光や流体は透過しか
つ導電性を有する部材を透過してくる光を反射して特定
方向に投射する第２の光反射器との、２つの光反射器を
有することを特徴とする。これにより無電極放電ランプ
で発せられて導波管の構成壁面の方向へ放射された光
を、マイクロ波無電極放電装置の光照射方向へ反射する
という作用を有する。
【００１７】以下、本発明の実施の形態について図面に
基づいて説明する。 《実施形態１》図１に本発明の第１の実施の形態に係る
マイクロ波無電極放電光源装置の断面図を示す。マグネ
トロン１はマイクロ波発生源であって２４５０ＭＨｚの
マイクロ波を発生し、マグネトロンアンテナ２は発生し
たマイクロ波を導波管３に放射する。マグネトロン１は
導波管３の一端部に配設してある。導波管３の他端部に
はマイクロ波空洞と導波管を仕切る仕切り壁面３１が設
けてある。さらに給電口８をこの仕切り壁面３１に設
け、この給電口８を介して導波管３からマイクロ波空洞
５へマイクロ波を供給する。マイクロ波空洞５内に球形
の無電極放電ランプ９が配設されている。この無電極放
電ランプ９は石英ガラスのような透光体の中に希ガスと
水銀や金属ハロゲン化物などを封入したものである。
基づいて説明する。 《実施形態１》図１に本発明の第１の実施の形態に係る
マイクロ波無電極放電光源装置の断面図を示す。マグネ
トロン１はマイクロ波発生源であって２４５０ＭＨｚの
マイクロ波を発生し、マグネトロンアンテナ２は発生し
たマイクロ波を導波管３に放射する。マグネトロン１は
導波管３の一端部に配設してある。導波管３の他端部に
はマイクロ波空洞と導波管を仕切る仕切り壁面３１が設
けてある。さらに給電口８をこの仕切り壁面３１に設
け、この給電口８を介して導波管３からマイクロ波空洞
５へマイクロ波を供給する。マイクロ波空洞５内に球形
の無電極放電ランプ９が配設されている。この無電極放
電ランプ９は石英ガラスのような透光体の中に希ガスと
水銀や金属ハロゲン化物などを封入したものである。
【００１８】マイクロ波空洞５内に放射されたマイクロ
波はマイクロ波空洞５内に高周波電磁界を形成する。こ
の高周波電磁界によってマイクロ波空洞５内に設置され
た無電極放電ランプ９内のガスが放電を開始し、数秒で
求める光出力を得る。
波はマイクロ波空洞５内に高周波電磁界を形成する。こ
の高周波電磁界によってマイクロ波空洞５内に設置され
た無電極放電ランプ９内のガスが放電を開始し、数秒で
求める光出力を得る。
【００１９】無電極放電ランプ９の外壁には石英ガラス
のような誘電体でできた放電ランプ支持体９１を取り付
ける。放電ランプ支持体９１は給電口８したがって仕切
り壁面３１を貫通し、導波管３の外側の無電極放電ラン
プ回転用モーター１４の回転軸に固定されている。光反
射器１１はマイクロ波空洞５から放射された光を反射
し、この光をマイクロ波無電極放電光源装置の光照射方
向へ照射する。箱体１３は光反射器１１の光照出口であ
る開口部１００を除き本発明に係るマイクロ波無電極放
電光源装置全体を覆う。
のような誘電体でできた放電ランプ支持体９１を取り付
ける。放電ランプ支持体９１は給電口８したがって仕切
り壁面３１を貫通し、導波管３の外側の無電極放電ラン
プ回転用モーター１４の回転軸に固定されている。光反
射器１１はマイクロ波空洞５から放射された光を反射
し、この光をマイクロ波無電極放電光源装置の光照射方
向へ照射する。箱体１３は光反射器１１の光照出口であ
る開口部１００を除き本発明に係るマイクロ波無電極放
電光源装置全体を覆う。
【００２０】仕切り壁面３１は円筒状金属メッシュ部材
７とでマイクロ波空洞５を構成している。金属材料で構
成された導波管３には、上記仕切り壁面３１も含めて、
全ての構成壁面に全面にわたって直径数ｍｍの孔が密に
設けられている。
７とでマイクロ波空洞５を構成している。金属材料で構
成された導波管３には、上記仕切り壁面３１も含めて、
全ての構成壁面に全面にわたって直径数ｍｍの孔が密に
設けられている。
【００２１】冷却ファン１２からの冷却風は、マグネト
ロン１を冷却するとともに導波管３を冷却する。導波管
３の構成壁面全体に孔が形成されているので、導波管３
は熱容量が小さくかつ表面積が大きくなっており、かつ
冷却風が至るところから出入りできるようになってい
る。このため導波管３は効率よく冷却される。さらに冷
却風は、仕切り壁面３１に形成された孔及び給電口８を
通じて、マイクロ波空洞５の内部に配設された無電極放
電ランプ９を冷却する。このとき仕切り壁面３１に多数
形成された孔から、マイクロ波空洞５へ大量の冷却風が
流れ込む。そのため給電口８だけを通風口とした従来の
構成に比べて、無電極放電ランプ９が全般的に冷却され
均等に冷却される。冷却風はさらに円筒状金属メッシュ
部材７を通ってマイクロ波空洞５外へ出て、光反射器１
１も冷却しつつ装置外へ流れていく。導波管３全体に孔
が形成されたことによって、導波管３の重さが大幅に軽
量化されるという利点もある。
ロン１を冷却するとともに導波管３を冷却する。導波管
３の構成壁面全体に孔が形成されているので、導波管３
は熱容量が小さくかつ表面積が大きくなっており、かつ
冷却風が至るところから出入りできるようになってい
る。このため導波管３は効率よく冷却される。さらに冷
却風は、仕切り壁面３１に形成された孔及び給電口８を
通じて、マイクロ波空洞５の内部に配設された無電極放
電ランプ９を冷却する。このとき仕切り壁面３１に多数
形成された孔から、マイクロ波空洞５へ大量の冷却風が
流れ込む。そのため給電口８だけを通風口とした従来の
構成に比べて、無電極放電ランプ９が全般的に冷却され
均等に冷却される。冷却風はさらに円筒状金属メッシュ
部材７を通ってマイクロ波空洞５外へ出て、光反射器１
１も冷却しつつ装置外へ流れていく。導波管３全体に孔
が形成されたことによって、導波管３の重さが大幅に軽
量化されるという利点もある。
【００２２】《実施形態２》図２に本発明の第２の実施
の形態に係るマイクロ波無電極放電光源装置の断面図を
示す。マグネトロン１はマイクロ波発生源であって２４
５０ＭＨｚのマイクロ波を発生し、マグネトロンアンテ
ナ２は発生したマイクロ波を導波管３に放射する。マグ
ネトロン１は導波管３の一端部に配設してある。導波管
３の他端部にはマイクロ波空洞と導波管を仕切る仕切り
壁面３１が設けてある。さらに給電口８をこの仕切り壁
面３１に設け、この給電口８を介して導波管３からマイ
クロ波空洞５へマイクロ波を供給する。マイクロ波空洞
５内に球形の無電極放電ランプ９が配設されている。こ
の無電極放電ランプ９は石英ガラスのような透光体の中
に希ガスと水銀や金属ハロゲン化物などを封入したもの
である。
の形態に係るマイクロ波無電極放電光源装置の断面図を
示す。マグネトロン１はマイクロ波発生源であって２４
５０ＭＨｚのマイクロ波を発生し、マグネトロンアンテ
ナ２は発生したマイクロ波を導波管３に放射する。マグ
ネトロン１は導波管３の一端部に配設してある。導波管
３の他端部にはマイクロ波空洞と導波管を仕切る仕切り
壁面３１が設けてある。さらに給電口８をこの仕切り壁
面３１に設け、この給電口８を介して導波管３からマイ
クロ波空洞５へマイクロ波を供給する。マイクロ波空洞
５内に球形の無電極放電ランプ９が配設されている。こ
の無電極放電ランプ９は石英ガラスのような透光体の中
に希ガスと水銀や金属ハロゲン化物などを封入したもの
である。
【００２３】マイクロ波空洞５内に放射されたマイクロ
波はマイクロ波空洞５内に高周波電磁界を形成する。こ
の高周波電磁界によってマイクロ波空洞５内に設置され
た無電極放電ランプ９内のガスが放電を開始し、数秒で
求める光出力を得る。
波はマイクロ波空洞５内に高周波電磁界を形成する。こ
の高周波電磁界によってマイクロ波空洞５内に設置され
た無電極放電ランプ９内のガスが放電を開始し、数秒で
求める光出力を得る。
【００２４】無電極放電ランプ９の外壁には石英ガラス
のような誘電体でできた放電ランプ支持体９１を取り付
ける。放電ランプ支持体９１は給電口８したがって仕切
り壁面３１を貫通し、導波管３の外側の無電極放電ラン
プ回転用モーター１４の回転軸に固定されている。光反
射器１１はマイクロ波空洞５から放射された光を反射
し、この光をマイクロ波無電極放電光源装置の光照射方
向へ照射する。箱体１３は光反射器１１の光照出口であ
る開口部１００を除き本発明に係るマイクロ波無電極放
電光源装置全体を覆う。
のような誘電体でできた放電ランプ支持体９１を取り付
ける。放電ランプ支持体９１は給電口８したがって仕切
り壁面３１を貫通し、導波管３の外側の無電極放電ラン
プ回転用モーター１４の回転軸に固定されている。光反
射器１１はマイクロ波空洞５から放射された光を反射
し、この光をマイクロ波無電極放電光源装置の光照射方
向へ照射する。箱体１３は光反射器１１の光照出口であ
る開口部１００を除き本発明に係るマイクロ波無電極放
電光源装置全体を覆う。
【００２５】仕切り壁面３１は円筒状金属メッシュ部材
７とでマイクロ波空洞５を構成している。金属材料で構
成された導波管３には、上記仕切り壁面３１も含めて、
全ての構成壁面に全面にわたって直径数ｍｍの孔が密に
設けられている。
７とでマイクロ波空洞５を構成している。金属材料で構
成された導波管３には、上記仕切り壁面３１も含めて、
全ての構成壁面に全面にわたって直径数ｍｍの孔が密に
設けられている。
【００２６】冷却ファン１２からの冷却風は、マグネト
ロン１を冷却するとともに導波管３を冷却する。導波管
３の構成壁面全体に孔が形成されているので、導波管３
は熱容量が小さくかつ表面積が大きくなっており、かつ
冷却風が至るところから出入りできるようになってい
る。このため導波管３は効率よく冷却される。さらに冷
却風は、仕切り壁面３１に形成された孔及び給電口８を
通じて、マイクロ波空洞５の内部に配設された無電極放
電ランプ９を冷却する。このとき仕切り壁面３１に多数
形成された孔から、マイクロ波空洞５へ大量の冷却風が
流れ込む。そのため給電口８だけを通風口とした従来の
構成に比べて、無電極放電ランプ９が全般的に冷却され
均等に冷却される。冷却風はさらに円筒状金属メッシュ
部材７を通ってマイクロ波空洞５外へ出て、光反射器１
１も冷却しつつ装置外へ流れていく。導波管３全体に孔
が形成されたことによって、導波管３の重さが大幅に軽
量化されるという利点もある。
ロン１を冷却するとともに導波管３を冷却する。導波管
３の構成壁面全体に孔が形成されているので、導波管３
は熱容量が小さくかつ表面積が大きくなっており、かつ
冷却風が至るところから出入りできるようになってい
る。このため導波管３は効率よく冷却される。さらに冷
却風は、仕切り壁面３１に形成された孔及び給電口８を
通じて、マイクロ波空洞５の内部に配設された無電極放
電ランプ９を冷却する。このとき仕切り壁面３１に多数
形成された孔から、マイクロ波空洞５へ大量の冷却風が
流れ込む。そのため給電口８だけを通風口とした従来の
構成に比べて、無電極放電ランプ９が全般的に冷却され
均等に冷却される。冷却風はさらに円筒状金属メッシュ
部材７を通ってマイクロ波空洞５外へ出て、光反射器１
１も冷却しつつ装置外へ流れていく。導波管３全体に孔
が形成されたことによって、導波管３の重さが大幅に軽
量化されるという利点もある。
【００２７】本実施の形態では、仕切り壁面対向導波管
構成壁面３２を、給電口８が形成された仕切り壁面３１
と対向する位置に設けている。これを放電ランプ支持体
９１が貫通する。この仕切り壁面対向導波管構成壁面３
２の外側には、上記第１の光反射器１１の他に第２の光
反射器１１１が設けられている。こうすることにより無
電極放電ランプ９から仕切り壁面３１の方向へ放射さ
れ、導波管３を通って仕切り壁面対向導波管構成壁面３
２を透過した光を、第２の光反射器１１１で光源装置の
光照射方向へ反射するので、従来無駄にしていた光を有
効に利用することができる。第２の光反射器１１１で反
射し照射する光の照射分布を均一化するために、第２の
光反射器１１１を無電極放電ランプ回転用モーター１４
もしくは無電極放電ランプ支持体９１に取り付けて回転
させることもできる。
構成壁面３２を、給電口８が形成された仕切り壁面３１
と対向する位置に設けている。これを放電ランプ支持体
９１が貫通する。この仕切り壁面対向導波管構成壁面３
２の外側には、上記第１の光反射器１１の他に第２の光
反射器１１１が設けられている。こうすることにより無
電極放電ランプ９から仕切り壁面３１の方向へ放射さ
れ、導波管３を通って仕切り壁面対向導波管構成壁面３
２を透過した光を、第２の光反射器１１１で光源装置の
光照射方向へ反射するので、従来無駄にしていた光を有
効に利用することができる。第２の光反射器１１１で反
射し照射する光の照射分布を均一化するために、第２の
光反射器１１１を無電極放電ランプ回転用モーター１４
もしくは無電極放電ランプ支持体９１に取り付けて回転
させることもできる。
【００２８】《実施形態３》図３に本発明の第３の実施
の形態に係るマイクロ波無電極放電光源装置の断面図を
示す。本実施の形態では、金属メッシュ部材３３及び３
４を、それぞれ図１または図２に示した仕切り壁面３１
及び仕切り壁面対向導波管構成壁面３２の位置に対向し
て設けている。そして放電ランプ支持体９１は、給電口
８側の導波管端部壁３５の外側から、この導波管端部壁
３５と円筒状金属メッシュ部材７の接続部を貫通する。
金属メッシュ部材３４の外側には、上記第１の光反射器
１１の他に第２の光反射器１１１が設けられている。な
お、他の構成は上記各実施形態と同様である。この様な
構成により、無電極放電ランプ９から金属メッシュ３３
の方向へ放射され導波管を通って金属メッシュ３４を透
過した光は第２の光反射器１１１で光源装置の光照射方
向へ反射されるので、従来無駄にしていた光を有効に利
用することができる。しかも金属メッシュ部材３３、３
４を光が透過するので、実施例２の孔を空けた仕切り壁
面３１及び仕切り壁面対向導波管構成壁面３２を光が透
過する場合に比べて、さらに光の利用率がよくなる。
の形態に係るマイクロ波無電極放電光源装置の断面図を
示す。本実施の形態では、金属メッシュ部材３３及び３
４を、それぞれ図１または図２に示した仕切り壁面３１
及び仕切り壁面対向導波管構成壁面３２の位置に対向し
て設けている。そして放電ランプ支持体９１は、給電口
８側の導波管端部壁３５の外側から、この導波管端部壁
３５と円筒状金属メッシュ部材７の接続部を貫通する。
金属メッシュ部材３４の外側には、上記第１の光反射器
１１の他に第２の光反射器１１１が設けられている。な
お、他の構成は上記各実施形態と同様である。この様な
構成により、無電極放電ランプ９から金属メッシュ３３
の方向へ放射され導波管を通って金属メッシュ３４を透
過した光は第２の光反射器１１１で光源装置の光照射方
向へ反射されるので、従来無駄にしていた光を有効に利
用することができる。しかも金属メッシュ部材３３、３
４を光が透過するので、実施例２の孔を空けた仕切り壁
面３１及び仕切り壁面対向導波管構成壁面３２を光が透
過する場合に比べて、さらに光の利用率がよくなる。
【００２９】なお実施形態１及び２の説明に用いた図１
及び２において、仕切り壁面３１及び仕切り壁面対向導
波管構成壁面３２の代わりにそのいずれか一方または両
方に金属メッシュ部材３３、３４を用いてもよいし、実
施形態３の説明で用いた図３の金属メッシュ部材３３、
３４のいずれか一方または両方を、孔を密に形成した仕
切り壁面３１又は仕切り壁面対向導波管構成壁面３２で
構成してもよい。
及び２において、仕切り壁面３１及び仕切り壁面対向導
波管構成壁面３２の代わりにそのいずれか一方または両
方に金属メッシュ部材３３、３４を用いてもよいし、実
施形態３の説明で用いた図３の金属メッシュ部材３３、
３４のいずれか一方または両方を、孔を密に形成した仕
切り壁面３１又は仕切り壁面対向導波管構成壁面３２で
構成してもよい。
【００３０】
【発明の効果】本発明のマイクロ波無電極放電光源装置
では、マイクロ波は反射するが光や物体は透過しかつ導
電性を有する部材でマイクロ波空洞の全ての壁面を構成
することにより、給電口だけと通風口とする場合に比べ
て、冷却風が無電極放電ランプを全般的に均等に冷却す
るので従来より長寿命のマイクロ波無電極放電光源装置
を実現できるという効果がある。
では、マイクロ波は反射するが光や物体は透過しかつ導
電性を有する部材でマイクロ波空洞の全ての壁面を構成
することにより、給電口だけと通風口とする場合に比べ
て、冷却風が無電極放電ランプを全般的に均等に冷却す
るので従来より長寿命のマイクロ波無電極放電光源装置
を実現できるという効果がある。
【００３１】さらに導波管のすくなくとも一部の壁面
が、マイクロ波は反射するが光や物体は透過しかつ導電
性を有する部材で構成することにより、導波管の熱容量
が小さく表面積が大きくなるため、冷却風は導波管を効
率よく冷却するという効果を生じる。
が、マイクロ波は反射するが光や物体は透過しかつ導電
性を有する部材で構成することにより、導波管の熱容量
が小さく表面積が大きくなるため、冷却風は導波管を効
率よく冷却するという効果を生じる。
【００３２】またマイクロ波容洞を構成する、マイクロ
波は反射するが光や流体は透過しかつ導電性を有する部
材を、金属メッシュとすることにより、仕切り壁面で構
成するよりも、さらに効果的に冷却風が無極性放電ラン
プを全般的に均等に冷却するという効果がある。
波は反射するが光や流体は透過しかつ導電性を有する部
材を、金属メッシュとすることにより、仕切り壁面で構
成するよりも、さらに効果的に冷却風が無極性放電ラン
プを全般的に均等に冷却するという効果がある。
【００３３】また、導波管の少なくとも一部の壁面を構
成する、マイクロ波は反射するが光や流体は透過しかつ
導電性を有する部材を、金属メッシュ部材とすることに
より、この部分を仕切り壁面または仕切り壁面対向導波
管構成壁面とする場合に比べて、導波管の熱容量が小さ
くなるため、冷却風は導波管を効率よく冷却するという
効果がある。
成する、マイクロ波は反射するが光や流体は透過しかつ
導電性を有する部材を、金属メッシュ部材とすることに
より、この部分を仕切り壁面または仕切り壁面対向導波
管構成壁面とする場合に比べて、導波管の熱容量が小さ
くなるため、冷却風は導波管を効率よく冷却するという
効果がある。
【００３４】さらに第１と第２の光反射器を用いること
により、従来無駄にしていた光を有効に利用することが
できる。
により、従来無駄にしていた光を有効に利用することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施の形態に係るマイクロ波
無電極放電光源装置の構成を示す断面図
無電極放電光源装置の構成を示す断面図
【図２】 本発明の第２の実施の形態に係るマイクロ波
無電極放電光源装置の構成を示す断面図
無電極放電光源装置の構成を示す断面図
【図３】 本発明の第３の実施の形態に係るマイクロ波
無電極放電光源装置の構成を示す断面図
無電極放電光源装置の構成を示す断面図
【図４】 従来のマイクロ波無電極放電光源装置の構成
を示す断面図
を示す断面図
１ マグネトロン ２ マグネトロンアンテナ ３ 導波管 ４ 通風口 ５ マイクロ波空洞 ６ 空洞壁 ７ 円筒状金属メッシュ部材 ８ 給電口 ９ 無電極放電ランプ １１，１１１ 光反射器 １２ 冷却ファン １３ 箱体 １４ 無電極放電ランプ回転用モーター ３１ 仕切り壁面 ３２ 仕切り壁面対向導波管構成壁面 ３３、３４ 金属メッシュ部材 ３５ 導波管端部壁 ９１ 放電ランプ支持体 １００ 光照出口
Claims (5)
- 【請求項１】 マイクロ波空洞内のマイクロ波電磁界に
よって放電発光するマイクロ波無電極放電光源装置にお
いて、マイクロ波発生源と、マイクロ波は反射するが光
や流体は透過しかつ導電性を有する部材で全ての壁面が
構成されたマイクロ波空洞と、前記マイクロ波発生源か
ら前記マイクロ波空洞へマイクロ波を導く導波管と、前
記マイクロ波空洞内に配設された無電極放電ランプと、
前記無電極放電ランプから発生した光を特定の方向へ投
射する光反射器とを具備したことを特徴とするマイクロ
波無電極放電光源装置。 - 【請求項２】 前記導波管の少なくとも一部の壁面が、
マイクロ波は反射するが光や流体は透過しかつ導電性を
有する部材で構成されたことを特徴とする請求項１に記
載のマイクロ波無電極放電光源装置。 - 【請求項３】 前記マイクロ波空洞を構成する、マイク
ロ波は反射するが光や流体は透過しかつ導電性を有する
部材を、金属メッシュとしたことを特徴とする請求項１
又は請求項２に記載のマイクロ波無電極放電光源装置。 - 【請求項４】 前記導波管の少なくとも一部の壁面を構
成する、マイクロ波は反射するが光や流体は透過しかつ
導電性を有する部材を、金属メッシュとしたことを特徴
とする請求項２又は請求項３に記載のマイクロ波無電極
放電光源装置。 - 【請求項５】 前記光反射器が、前記マイクロ波空洞の
外部に装着され、前記無電極放電ランプで発せられて前
記マイクロ波空洞を透過してくる光を反射して特定方向
に投射する反射面形状を有する第１の光反射器と、前記
導波管の外部に装着され、前記無電極放電ランプで発せ
られて前記マイクロ波空洞および前記導波管のマイクロ
波は反射するが光や流体は透過しかつ導電性を有する部
材を透過してくる光を反射して特定方向に投射する第２
の光反射器との、２つの光反射器を有することを特徴と
する請求項２、請求項３又は請求項４に記載のマイクロ
波無電極放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13197496A JPH09320543A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | マイクロ波無電極放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13197496A JPH09320543A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | マイクロ波無電極放電光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320543A true JPH09320543A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15070589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13197496A Pending JPH09320543A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | マイクロ波無電極放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09320543A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010035890A (ko) * | 1999-10-04 | 2001-05-07 | 이종훈 | 무전극 방전등용 공동-반사경 일체형 전구 |
| KR100382915B1 (ko) * | 2000-08-26 | 2003-05-09 | 엘지전자 주식회사 | 비회전 마이크로웨이브 무전극 조명장치 |
| KR100393815B1 (ko) * | 2001-09-19 | 2003-08-02 | 엘지전자 주식회사 | 표면처리된 공진기를 가지는 무전극 조명기기 |
| KR100421387B1 (ko) * | 2001-09-28 | 2004-03-09 | 엘지전자 주식회사 | 마이크로파를 이용한 조명시스템의 도파관 구조 |
| KR100690651B1 (ko) * | 2004-10-02 | 2007-03-09 | 엘지전자 주식회사 | 무전극 조명기기 |
| KR101065793B1 (ko) * | 2009-07-10 | 2011-09-20 | 엘지전자 주식회사 | 무전극 조명기기 |
| CN102543656A (zh) * | 2010-12-28 | 2012-07-04 | Lg电子株式会社 | 等离子体照明系统 |
| KR101233059B1 (ko) * | 2005-06-22 | 2013-02-13 | 액셀리스 테크놀로지스, 인크. | 유전 물질을 처리하는 장치 및 프로세스 |
-
1996
- 1996-05-27 JP JP13197496A patent/JPH09320543A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010035890A (ko) * | 1999-10-04 | 2001-05-07 | 이종훈 | 무전극 방전등용 공동-반사경 일체형 전구 |
| KR100382915B1 (ko) * | 2000-08-26 | 2003-05-09 | 엘지전자 주식회사 | 비회전 마이크로웨이브 무전극 조명장치 |
| KR100393815B1 (ko) * | 2001-09-19 | 2003-08-02 | 엘지전자 주식회사 | 표면처리된 공진기를 가지는 무전극 조명기기 |
| KR100421387B1 (ko) * | 2001-09-28 | 2004-03-09 | 엘지전자 주식회사 | 마이크로파를 이용한 조명시스템의 도파관 구조 |
| KR100690651B1 (ko) * | 2004-10-02 | 2007-03-09 | 엘지전자 주식회사 | 무전극 조명기기 |
| KR101233059B1 (ko) * | 2005-06-22 | 2013-02-13 | 액셀리스 테크놀로지스, 인크. | 유전 물질을 처리하는 장치 및 프로세스 |
| KR101065793B1 (ko) * | 2009-07-10 | 2011-09-20 | 엘지전자 주식회사 | 무전극 조명기기 |
| US8508131B2 (en) | 2009-07-10 | 2013-08-13 | Lg Electronics Inc. | Electrodeless lighting system |
| CN102543656A (zh) * | 2010-12-28 | 2012-07-04 | Lg电子株式会社 | 等离子体照明系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3580205B2 (ja) | 電磁エネルギー励起点光源ランプ装置 | |
| JPH10321039A (ja) | マイクロ波放電ランプ装置 | |
| RU2232445C2 (ru) | Безэлектродная осветительная система | |
| GB2353897A (en) | Preventing leakage of microwaves, e.g. from ovens and lamps | |
| US7521852B2 (en) | Electrodeless lighting system | |
| JPH09320543A (ja) | マイクロ波無電極放電光源装置 | |
| RU2226305C2 (ru) | Колба лампы с отражателем и применяющая ее безэлектродная газоразрядная лампа | |
| CN100356504C (zh) | 无电极照明系统 | |
| KR100451359B1 (ko) | 마이크로 웨이브를 이용한 조명기기 | |
| JP3159809B2 (ja) | 無電極放電光源装置 | |
| RU2226017C2 (ru) | Безэлектродная система освещения (варианты) | |
| JPH0226359B2 (ja) | ||
| JPH10172520A (ja) | 無電極放電ランプ | |
| JP2011086383A (ja) | 光源装置および投射型表示装置 | |
| KR100856779B1 (ko) | 마이크로파를 이용한 조명기기 및 그의 공진기 | |
| KR100748542B1 (ko) | 무전극 조명기기 | |
| KR100748531B1 (ko) | 금속 박막 공진기를 구비한 무전극 조명기기 | |
| KR100343699B1 (ko) | 플라즈마 램프의 구조 | |
| KR100400401B1 (ko) | 무전극 조명기기의 램프 방열구조 | |
| KR100724383B1 (ko) | 무전극 조명기기 | |
| JP3202925B2 (ja) | マイクロ波放電ランプ点灯装置 | |
| JP3178368B2 (ja) | 高周波無電極放電ランプ光反射器と高周波無電極放電ランプ装置 | |
| KR100430012B1 (ko) | 무전극 램프의 열변형 방지장치 | |
| JP2008053014A (ja) | 光照射装置 | |
| JPH10149803A (ja) | マイクロ波放電ランプ |